UA93471C2 - Ионно-плазменная установка - Google Patents
Ионно-плазменная установка Download PDFInfo
- Publication number
- UA93471C2 UA93471C2 UAA201005669A UAA201005669A UA93471C2 UA 93471 C2 UA93471 C2 UA 93471C2 UA A201005669 A UAA201005669 A UA A201005669A UA A201005669 A UAA201005669 A UA A201005669A UA 93471 C2 UA93471 C2 UA 93471C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- magnetron
- coatings
- holder
- details
- coating
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 34
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 17
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 abstract description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002355 dual-layer Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
Ионно-плазменная установка относится к технологическому оборудованию для нанесения биметаллических покрытий со слоистой наноструктурой различного состава и назначения. Существенным признаком установки является использование двух соосных магнетронных распылителей радиального типа с коническими катодами. Магнетронные распылители смонтировано на оси вакуумной камеры с возможностью регулирования расстояния между ними. Детали, на которые наносится покрытие, крепятся на карусельном держатели. Величина диаметра монтажной поверхности карусельного держателя может регулироваться. Держатель с деталями имеет возможность планетарного и возвратно-поступательного перемещения относительно оси вращения. Существует возможность регулирования соотношения расстояния между магнетронными распылителями и диаметром монтажной поверхности держателя деталей. Установка позволяет проводить совместную обработку деталей или нанесение покрытий на внутреннюю поверхность трубчатых изделий, повысить качество слоистых покрытий.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA201005669A UA93471C2 (ru) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | Ионно-плазменная установка |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA201005669A UA93471C2 (ru) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | Ионно-плазменная установка |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA93471C2 true UA93471C2 (ru) | 2011-02-10 |
Family
ID=50830396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UAA201005669A UA93471C2 (ru) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | Ионно-плазменная установка |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| UA (1) | UA93471C2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU169200U1 (ru) * | 2015-11-20 | 2017-03-09 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук (ИФПМ СО РАН) | Устройство вакуумно-плазменной однородной модификации поверхности деталей |
-
2010
- 2010-05-11 UA UAA201005669A patent/UA93471C2/ru unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU169200U1 (ru) * | 2015-11-20 | 2017-03-09 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук (ИФПМ СО РАН) | Устройство вакуумно-плазменной однородной модификации поверхности деталей |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7520965B2 (en) | Magnetron sputtering apparatus and method for depositing a coating using same | |
| CN103252938B (zh) | 涂覆的马氏体钢制品和形成涂覆的钢制品的方法 | |
| US9115755B2 (en) | Current insulated bearing components and bearings | |
| US20060076231A1 (en) | Method for magnetron sputter deposition | |
| CN109267007B (zh) | 用于在工件上沉积无氢四面体非晶碳层的装置和方法 | |
| US20090068450A1 (en) | Method and Apparatus for Multi-Cathode PVD Coating and Substrate with PVD Coating | |
| US7790003B2 (en) | Method for magnetron sputter deposition | |
| US6171454B1 (en) | Method for coating surfaces using a facility having sputter electrodes | |
| JP2016516134A5 (ru) | ||
| CN1993490A (zh) | 引导等离子体流的内部通道涂覆装置 | |
| CN104213076A (zh) | Pvd与hipims制备超硬dlc涂层方法及设备 | |
| CN109576641B (zh) | 一种空间机构高结合力固体抗菌润滑膜层及其制备方法 | |
| EP3644343B1 (en) | A coating system for high volume pe-cvd processing | |
| CN102011102A (zh) | 高界面强度类金刚石薄膜材料的常温沉积设备及其方法 | |
| US20220127726A1 (en) | Methods and apparatuses for deposition of adherent carbon coatings on insulator surfaces | |
| CN104862654B (zh) | 一体化大尺寸高纯度超导钇钡铜氧旋转靶材及其制备方法 | |
| CN105441871A (zh) | 一种pvd与hipims工业化制备超硬dlc碳涂层方法及装置 | |
| UA93471C2 (ru) | Ионно-плазменная установка | |
| CN211367703U (zh) | 一种沉积dlc薄膜的磁控溅射镀膜机 | |
| US20120308810A1 (en) | Coated article and method for making the same | |
| CN112210752A (zh) | 一种沉积dlc薄膜的磁控溅射技术和镀膜机 | |
| WO2005089272B1 (en) | Pulsed cathodic arc plasma source | |
| CN105112872A (zh) | 制备圆筒零件内表面涂层的脉冲磁控溅射装置及其应用 | |
| Vetter et al. | Domino platform: PVD coaters for arc evaporation and high current pulsed magnetron sputtering | |
| CN105369199A (zh) | 一种耐摩擦磨损抗腐蚀碳基薄膜的制备方法 |