[go: up one dir, main page]

TWM618161U - 低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組 - Google Patents

低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組 Download PDF

Info

Publication number
TWM618161U
TWM618161U TW110205685U TW110205685U TWM618161U TW M618161 U TWM618161 U TW M618161U TW 110205685 U TW110205685 U TW 110205685U TW 110205685 U TW110205685 U TW 110205685U TW M618161 U TWM618161 U TW M618161U
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
numerical aperture
low numerical
laser module
laser
fiber
Prior art date
Application number
TW110205685U
Other languages
English (en)
Inventor
王啓倫
李鴻生
張泰鳴
游淳惠
葉瑜晴
賴昇萍
林師緯
滕原合
鄒李昌
Original Assignee
騰錂鐳射股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 騰錂鐳射股份有限公司 filed Critical 騰錂鐳射股份有限公司
Priority to TW110205685U priority Critical patent/TWM618161U/zh
Publication of TWM618161U publication Critical patent/TWM618161U/zh

Links

Images

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

本創作開發一款新型的光纖輸出二極體雷射模組,將數顆獨立的二極體雷射,經由新設計之光束準直及空間合併,耦光進入纖核直徑105um,數值孔徑0.12光纖,相較於一般產品數值孔徑0.22光纖,出光角度降為55%,並用一般藍光雷射二極體進行驗證,先利用光學軟體協助進行光學鏡片參數之設計及優化,在實驗上,將8顆藍光二極體雷射,經由理論設計的光學鏡片組件進行精密組裝,耦光進入纖核直徑105um、數值孔徑0.12的光纖,達到功率30W的藍光雷射輸出,亦成為最小數值孔徑藍光雷射。

Description

低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組
本創作係有關一種低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其光學鏡片組件的準直及空間的光束合併,耦光進入纖核至低數值孔徑。
高亮度雷射乃今日材料加工、醫療、軍事、立體影視等應用之重要元件。半導體雷射因具可量產性、低成本、小體積及高電光轉換效率等特性,乃成為今日及未來製造高亮度雷射之首選。因此半導體雷射利用光纖輸出光束,獲得較高亮度,行之久已。但半導體雷射在輸出功率越大時,輸出光束品質會變差。若在配合現有一般纖核直徑105um作為輸出端,則光束參數積(Beam Parameter  Product, BPP)將大於10mm*mrad,難以呈現高亮度。也因此使半導體雷射的應用,無法擴展至更大的用途。是以,本創作人有鑑於上揭問題點,乃構思一種具有低數值孔徑光纖輸出的高亮度二極體雷射模組,為本創作所欲解決的課題。
緣是,本創作之主要目的,係在提供一種低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其採用低數值孔徑之輸出光纖,使光束發散角較小之功效增進。
本創作之另一目的,係在提供一種低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其採用高羥值,使光纖對波長<460nm之雷射,具有較佳之穿透率之功效增進。
本創作之又一目的,係在提供一種低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其光纖端面採用光束切割方式,有別於一般研磨拋光,此方法具有快速切割且適於量產之功效增進。
本創作之另一目的,係在提供一種低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其雷射晶片封裝於氣密環境,以提升雷射長期的耐用性之功效增進。
本創作之再一目的,係在提供一種低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其雷射晶片的共振腔鍍上反射膜,採用反射率≧20%的鍍膜,以承受更高的外部反射光之功效增進。
為達上述目的,本創作採用之技術手段包含:一外殼;複數雷射二極體,其位在該外殼內,並激發出複數光束;一光學鏡片組件,其位在該外殼內,並將各該光束分別準直後,而在空間合併成一合併光束;以及一光纖,具有一纖核,且該光纖輸出設定一低數值孔徑,並將該光纖結合在該外殼之側面,使該合併光束可耦合於該纖核至該低數值孔徑。
依據前揭特徵,該纖核直徑為105um;該低數值孔徑為0.12。
依據前揭特徵,該光纖採用高羥值。
依據前揭特徵,該光纖端面採用光束切割方式。
依據前揭特徵,該光纖輸出端採用一透明窗鏡,該透明窗鏡配合一氣密焊料。
依據前揭特徵,該雷射二極體包括一雷射晶片,該雷射晶片具有一共振腔,該共振腔端面形成一鏡面而可鍍上一反射膜,該反射膜之反射率≧20%。
依據前揭特徵,該雷射二極體至少8顆以上。
依據前揭特徵,該雷射二極體之波長為450nm。
依據前揭特徵,該光學鏡片組件包括複數快軸準直鏡、複數慢軸準直鏡、複數反射鏡,且各該光束經過各該快軸準直鏡、各該慢軸準直鏡分別準直後,並經過各該反射鏡後,而在空間合併成一合併光束,該合併光束經由該聚焦鏡可耦合至該纖核。
依據前揭特徵,該外殼包括一座體及一封蓋,該座體設有一凹槽,該凹槽具有一台階,該台階可承放各該雷射二極體,使各該雷射二極體之間可並行排列,且各該快軸準直鏡設在該台階上,而靠近各該雷射二極體之前方,又各該慢軸準直鏡與各該反射鏡設在該凹槽上,而各該慢軸準直鏡設在各該快軸準直鏡之前方、各該反射鏡設在各該慢軸準直鏡之前方,再該聚焦鏡設在各該反射鏡之側邊與該聚焦鏡結合在該凹槽之側面,並配合該聚焦鏡之位置相對應該纖核之位置。
藉助上揭技術手段,本創作具有如下的功效增進需再闡明者: 一、在於產生更小角度且耐用性更優的雷射產品,可以讓半導體雷射的應用,擴展至更大的用途,例如雷射焊接及金屬3D列印等。 二、亮度考量上,採用高羥值且數值孔徑為NA0.12之輸出光纖,在相同纖核直徑105um的條件下,其光束品質的光束參數積(Beam Parameter  Product, BPP)只有一般NA0.22光纖的55%,且光纖對波長<460nm之雷射,具有較佳之穿透率。 三、光纖端面採用光束切割方式,有別於一般研磨拋光,此方法具有快速切割且於量產。 四、雷射晶片封裝於氣密環境,以提升雷射長期的耐用性。實作上除了用焊接密封上封蓋外,光纖輸出端採用透明窗鏡配合氣密焊料,使雷射可以操作在氣密環境,避免環境空氣對共振腔的鏡面造成汙染。 五、雷射晶片的共振腔鍍上反射膜,採用較高反射率的鍍膜,用以承受較高的反射功率。一般高功率雷射二極體考慮出光效率,鍍膜反射率多設定在 10%以下,可以得到電光轉換效率大於50%的出光效率,但缺點在於對反射光較敏感,特別是對直接半導體雷射加工的用途。實作上將鍍膜反射率提高到 20%以上,可以承受更高的反射光,特別在雷射加工的用途。
首先,請參閱圖1~圖5B所示,本創作一種低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,包括:一外殼10,在本實施例中,該外殼10包括一座體11及一封蓋12,該座體11設有一凹槽111,該凹槽111具有一台階112,該台階112可承放各該雷射二極體20,使各該雷射二極體20之間可並行排列,但不限定於此。此外,該外殼10之形狀與大小不限定於圖式。
複數雷射二極體20,其位在該外殼10內,並激發出複數光束21,在本實施例中,該雷射二極體20為藍光雷射二極體、紅色雷射二極體、綠色雷射二極體或UV雷射二極體其中之一所構成,亦可經由此法達成高亮度需求;該雷射二極體20至少8顆以上;該雷射二極體20之波長為400nm~670nm,亦從UV至紅光,但不限定於此。
一光學鏡片組件30,其位在該外殼10內,並將各該光束21分別準直後,而在空間(S)合併成一合併光束(L),在本實施例中,該光學鏡片組件30包括複數快軸準直鏡31、複數慢軸準直鏡32、複數反射鏡33及一聚焦鏡34,各該快軸準直鏡31設在該台階112上,而靠近各該雷射二極體20之前方,又各該慢軸準直鏡32與各該反射鏡33設在該凹槽111上,而各該慢軸準直鏡32設在各該快軸準直鏡31之前方、各該反射鏡33設在各該慢軸準直鏡32之前方,使各該光束21經過各該快軸準直鏡31、各該慢軸準直鏡32分別準直後,並經過各該反射鏡33後,而在空間(S)合併成一合併光束(L),但不限定於此。
承上,在本實施例中,如圖2C所示,該雷射二極體20包括一雷射晶片22,該雷射晶片22具有一共振腔221,該共振腔221端面形成一鏡面222而可鍍上一反射膜223,該反射膜223之反射率≧20%,但不限定於此。
一光纖40,具有一纖核(Core Optical Fiber)41,且該光纖40輸出設定一低數值孔徑42,並結合在該外殼10之側面101,使該合併光束(L)可耦合於該纖核41至該低數值孔徑(Numerical Aperture,NA)42,在本實施例中,該聚焦鏡34設在各該反射鏡33之側邊與該聚焦鏡34結合在該凹槽111之側面1111,並配合該聚焦鏡34之位置相對應該纖核41之位置,使該合併光束(L)經由該聚焦鏡34可耦合至該纖核41,但不限定於此。
承上,在本實施例中,如圖3C所示,其該纖核41直徑(d)為105um,配合該低數值孔徑42為0.12,而數值孔徑定義為NA=sinα,該α為輸出光錐角,且該光纖40採用高羥(Hydroxyl,OH)值與該光纖40端面43採用光束切割,但不限定於此。此外,在另一實施例中,如圖3D所示,該光纖40輸出端44採用一透明窗鏡45,該透明窗鏡45配合一氣密焊料46,但不限定於此。
一光學軟體50,其對該雷射二極體20進行驗證,便於該光學鏡片組件30參數之設計及優化,達到理論耦光效率90%以上,但不限定於此。
基於如此之構成,採用數值孔徑≦NA0.12之輸出光纖,光束發散角較小,又採用高羥值,使該光纖40對波長<460nm之雷射,具有較佳之穿透率,另該光纖40端面43採用光束切割方式,有別於一般研磨拋光,此方法具有快速切割,適於量產且減少因研磨產生的鏡面損傷,加上該雷射晶片22封裝於氣密環境,以提升雷射長期的耐用性,及該雷射晶片22的該共振腔221鍍上該反射膜223,採用反射率≧20%的鍍膜,以承受更高的外部反射光,特別在雷射加工的用途,並配合圖4所示,其8顆藍光雷射空間光束合併之示意圖;圖5A所示,其為光纖輸出藍光雷射的輸出光功率對電流,而以波長為450nm、該纖核41直徑(d)為105um、數值孔徑≦NA0.12為條件,形成光纖耦合(Fibre Coupled, FC)模組(Module);圖5B所示,其為光纖輸出藍光雷射的輸出光功率轉換效率(power conversion efficiency, PCE),而波長為450nm、該纖核41直徑(d)為105um、數值孔徑≦NA0.12為條件,形成光纖耦合(Fibre Coupled, FC)模組(Module),但不限定於此。
綜上所述,本創作所揭示之技術手段,確具「新穎性」、「進步性」及「可供產業利用」等新型專利要件,祈請  鈞局惠賜專利,以勵創作,無任德感。
惟,上述所揭露之圖式、說明,僅為本創作之較佳實施例,大凡熟悉此項技藝人士,依本案精神範疇所作之修飾或等效變化,仍應包括在本案申請專利範圍內。
10:外殼 101:外殼之側面 11:座體 111:凹槽 1111:凹槽之側面 112:台階 12:封蓋 20:雷射二極體 21:複數光束 22:雷射晶片 221:共振腔 222:鏡面 223:反射膜 30:光學鏡片組件 31:快軸準直鏡 32:慢軸準直鏡 33:反射鏡 34:聚焦鏡 40:光纖 41:纖核 42:低數值孔徑 43:光纖端面 44:光纖輸出端 45:透明窗鏡 46:氣密焊料 50:光學軟體 S:空間 L:合併光束 d:直徑 α:輸出光錐角
圖1係本創作未封蓋之立體圖。 圖2A係本創作未封蓋之前視圖。 圖2B係圖2A中2B所示之放大圖。 圖2C係本創作雷射晶片之示意圖。 圖3A係本創作已封蓋之立體圖。 圖3B係圖3A中3B-3B之斷面剖視圖。 圖3C係本創作光纖之示意圖。 圖3D係本創作透明窗鏡配合氣密焊料之示意圖。 圖4係本創作8顆藍光雷射空間光束合併之示意圖。 圖5A係本創作光纖輸出藍光雷射的輸出光功率對電流圖。 圖5B係本創作光纖輸出藍光雷射的輸出光功率轉換效率圖。
40:光纖
41:纖核
42:低數值孔徑
43:端面
d:直徑
α:輸出光錐角

Claims (10)

  1. 一種低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組 ,包含 : 一外殼; 複數雷射二極體,其位在該外殼內,並激發出複數光束; 一光學鏡片組件,其位在該外殼內,並將各該光束分別準直後,而在空間合併成一合併光束;以及 一光纖,具有一纖核,且該光纖輸出設定一低數值孔徑,並將該光纖結合在該外殼之側面,使該合併光束可耦合於該纖核至該低數值孔徑。
  2. 如請求項1所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中,該纖核直徑為105um;該低數值孔徑為0.12。
  3. 如請求項1所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中,該光纖採用高羥值。
  4. 如請求項1所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中, 該光纖端面採用光束切割方式。
  5. 如請求項1所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中,該光纖輸出端採用一透明窗鏡,該透明窗鏡配合一氣密焊料。
  6. 如請求項1所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中,該雷射二極體包括一雷射晶片,該雷射晶片具有一共振腔,該共振腔端面形成一鏡面而可鍍上一反射膜,該反射膜之反射率≧20%。
  7. 如請求項1所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中,該雷射二極體至少8顆以上。
  8. 如請求項1所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中,該雷射二極體之波長為450nm。
  9. 如請求項1~8任一項中所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中,該光學鏡片組件包括複數快軸準直鏡、複數慢軸準直鏡、複數反射鏡,且各該光束經過各該快軸準直鏡、各該慢軸準直鏡分別準直後,並經過各該反射鏡後,而在空間合併成一合併光束,該合併光束經由該聚焦鏡可耦合至該纖核。
  10. 如請求項9所述之低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組,其中,該外殼包括一座體及一封蓋,該座體設有一凹槽,該凹槽具有一台階,該台階可承放各該雷射二極體,使各該雷射二極體之間可並行排列,且各該快軸準直鏡設在該台階上,而靠近各該雷射二極體之前方,又各該慢軸準直鏡與各該反射鏡設在該凹槽上,而各該慢軸準直鏡設在各該快軸準直鏡之前方、各該反射鏡設在各該慢軸準直鏡之前方,再該聚焦鏡設在各該反射鏡之側邊與該聚焦鏡結合在該凹槽之側面,並配合該聚焦鏡之位置相對應該纖核之位置。
TW110205685U 2021-05-18 2021-05-18 低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組 TWM618161U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW110205685U TWM618161U (zh) 2021-05-18 2021-05-18 低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW110205685U TWM618161U (zh) 2021-05-18 2021-05-18 低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TWM618161U true TWM618161U (zh) 2021-10-11

Family

ID=79603426

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW110205685U TWM618161U (zh) 2021-05-18 2021-05-18 低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWM618161U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8891579B1 (en) Laser diode apparatus utilizing reflecting slow axis collimators
CN103181040B (zh) 用于垂直外部腔体表面发射激光器的光学元件
US12189126B2 (en) Compact polarized illuminators using reflective polarizers
CN102916341A (zh) 一种单管半导体激光器合束方法
JP7737393B2 (ja) マルチレーザ装置およびマルチレーザ装置用のハウジングキャップ
CN102931585A (zh) 一种外腔合束半导体激光光纤耦合模块
CN104882784B (zh) 一种用于大功率半导体激光器的合束输出耦合装置
WO2019080345A1 (zh) 一种基于双胶合透镜的传输光器件
TWI805740B (zh) 用於光譜射束組合的方法和系統
JP7488445B2 (ja) 光源ユニット
US11888285B2 (en) Low numerical aperture fiber output diode laser module
CN108351076B (zh) 具有泵浦辐射源的照明设备
JP4146196B2 (ja) 複合光学装置およびその製造方法
CN105793757B (zh) 用于使激光辐射成形的装置
CN204615152U (zh) 一种用于大功率半导体激光器的合束输出耦合装置
TWM618161U (zh) 低數值孔徑光纖輸出二極體雷射模組
CN204615151U (zh) 一种多单管大功率光纤耦合半导体激光器
JP3234403U (ja) 低開口数ファイバー出力ダイオードレーザーモジュール
TWM606093U (zh) 高亮度光纖輸出雷射模組
CN118315911A (zh) 一种沿空间球面分布的半导体泵浦薄片激光器
JP2004085589A (ja) 光源用モジュールおよび光源装置
CN110556709A (zh) 一种激光器
CN222868324U (zh) 一种vcsel芯片和激光雷达
CN213341080U (zh) 一种半导体激光器
JP2020120000A (ja) 光源ユニット