TWM673119U - 適用於方形基板之基板載具 - Google Patents

Abstract

一種適用於方形基板之基板載具，包括一載具本體、複數側向支持部、至少一後端支持部、以及一門板；載具本體具有一底部、相對於底部的一頂部、包圍於底部與頂部之間的二側壁、以及位於底部與頂部及二側壁後方的一後壁，並於載具本體前方形成開口狀；側向支持部位於載具本體內並分別設於二側壁上，且各側向支持部至少具有間距排列的複數支持部件，且各支持部件具有由突出的一支持突緣、以及位於支持突緣與側壁角落間的一導引塊；後端支持部位於載具本體內並設於後壁上，後端支持部具有至少一連接壁、以及一體形成於連接壁上作間距排列的複數支持突塊，且各支持突塊分別對應各支持突緣的高度位置作配置；而門板則組設於載具本體以封閉載具本體前方開口處。

Description

適用於方形基板之基板載具

本創作係與一種收納容器有關，尤指一種用於供半導體基板作收納，以便進行如搬運且適用於方形基板的基板載具。

現有半導體產業中，所使用的基板大多為玻璃或矽晶片等易碎片狀或板狀物。因，在生產或加工等製造的過程中，通常需要透過如卡匣、容置盒或運載盒等載具作收納後，再視製程的需求作運送或儲存等。

惟，現有的基板載具，大多用於裝載呈圓形的基板。但若考量可利用面積時，則呈方形的基板確實更能具有較大的面積利用率，故有其使用上的需求。然而，現有的基板載具在提供方形基板裝載時，因方形基板的四邊皆會與載具的支持部位作接觸，以致在裝配與搬運的過程中都會增加對基板的碰撞或磨損，容易損壞方形基板。

有鑑於此，本創作人係為改善並解決上述之缺失，乃特潛心研究並配合學理之運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺失之本創作。

本創作之主要目的，在於可提供一種適用於方形基板之基板載具，可減少在裝配上的接觸，同時又能提供方形基板於基板載具中作良好的定位，防止運送過程中發生晃動而造成的損壞等。

為了達成上述之目的，本創作係提供一種適用於方形基板之基板載具，包括一載具本體、複數側向支持部、至少一後端支持部、以及一門板；載具本體具有一底部、相對於底部的一頂部、包圍於底部與頂部之間的二側壁、以及位於底部與頂部及二側壁後方的一後壁，並於載具本體前方形成開口狀；側向支持部位於載具本體內並分別設於二側壁上，且各側向支持部至少具有間距排列的複數支持部件，且各支持部件具有由突出的一支持突緣、以及位於支持突緣與側壁角落間的一導引塊；後端支持部位於載具本體內並設於後壁上，後端支持部具有至少一連接壁、以及一體形成於連接壁上作間距排列的複數支持突塊，且各支持突塊分別對應各支持突緣的高度位置作配置；而門板則組設於載具本體以封閉載具本體前方開口處。

為了能更進一步揭露本創作之特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作之詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。

請參閱圖1及圖2，係分別為本創作之立體分解圖及圖1之A部分放大詳圖。本創作係提供一種適用於方形基板之基板載具，其主要包括一載具本體1、複數側向支持部2、至少一後端支持部3、以及一門板4，並用以裝配至少一所述方形基板5；如圖13所示，所述方形基板5係具有一寬度W與一長度L，其寬度W與長度L舉例來說約為300x300mm，並通過載具本體1內與門板4在其長度L的方向上，提供穩定的固定作用來防止方形基板5產生晃動。

承上所述，如圖1及圖2所示，該載具本體1可具有一底部10、相對於該底部10的一頂部11、包圍於該底部10與該頂部11之間的二側壁12、以及位於該底部10與該頂部11及該二側壁12後方的一後壁13，並於該載具本體1前方形成開口狀，以供一或複數方形基板5得以置入該載具本體1內，再由上述門板4作蓋合而收納所置入的方形基板5（即如圖10所示）。

如圖1及圖3所示，該等側向支持部2係設於上述載具本體1內，並分別豎立設置於載具本體1之二側壁12上。如圖3所示，各該側向支持部2可具有豎立疊置於任一側壁12上的一連接板20、以及由該連接板20一表面作間距排列的複數支持部件21，且各支持部件21具有由連接板20一表面突出的一支持突緣210、以及位於該支持突緣210與連接板20（或側壁12）角落間的一導引塊211；而在其它可行的實施例中，各支持部件21也可以直接於任一側壁12內作間距排列。

再請參閱圖1及圖2所示，該後端支持部3係設於上述載具本體1內，並位於載具本體1之後壁13上。如圖2所示，該後端支持部3係具有至少一連接壁30、以及一體形成於該連接壁30上作間距排列的複數支持突塊31，且各支持突塊31係分別對應上述各支持突緣210的高度位置作配置，以供方形基板5在同一高度下，可通過相同高度下的二支持突緣210與一支持突塊31而被支持於載具本體1內。

如圖1及圖4所示，該門板4係組設於上述載具本體1的前方開口處，進而能封閉該載具本體1而防止收納於內的方形基板5掉出，並可進一步限制收納於載具本體1內的各方形基板5於搬運中發生如晃動等情事，以減少對方形基板5所造成的損傷。該門板4係具有一門體40、以及設於該門體40內的一前端支持部41，該前端支持部41具有一豎立框部410、以及設於該豎立框部410上作間距排列的複數彈性片體411，該豎立框部410組設於該門體40內，各彈性片體411可呈一側向的「V」字型（即如圖12所示），用以對置於載具本體1內的方形基板5提供彈性推力，以確實將方形基板5抵靠於上述後端支持部3上而防止運送中發生晃動。

是以，藉由上述之構造組成，即可得到本創作適用於方形基板之基板載具。

據此，如圖5及圖6所示，當方形基板5由載具本體1前方的開口處置入時，本創作可進一步於任一側向支持部2之支持突緣210前緣至導引塊211前緣預留一間隙d，所述間隙d約可為20mm為例，以便於方形基板5置入時的二側角隅處能銜接至所述間隙d的支持突緣210上，進而便於將方形基板5推入載具本體1內。再如圖3及圖6所示，由於各側向支持部2之導引塊211皆具有一導斜面211a與形成於該導斜面211a前、後端處的導引面211b；而在本創作所舉之實施例中，如圖7所示，各導引塊211的高度h在設計上可佔任二支持突緣210之間距P的1/2左右，具體而言各導引塊211的高度h可為1/3至2/3的所述間距P。藉此，當以機器手臂（圖略）或其它方式將方形基板5推入載具本體內1時，如方形基板5在任一側向上未能完全對正而有偏向任何一側（以圖7為例偏向右側），方形基板5的該側角隅處可受導引面211b的引導來調整偏位，該導引面211b可將方形基板5偏向的一側導向導斜面211a上，再由導斜面211a將方形基板5所偏向的該側平置於支持突緣210上（即如圖8所示）。

如圖9所示，藉由上述側向支持部2的設計，即可在減少方形基板5的側緣作接觸的情況下，將方形基板5順利置入載具本體1內，以如圖10或圖13所示。進一步地，如圖13所示，任一側向支持部2之導引塊211的導斜面211a係具有連接於連接板20（或側壁12）的一長邊l1、以及連接於支持突緣210上的一短邊l2，該長邊l1係大於該短邊l2可以有更大的導引面211b，因此該導引面211b不是單純的導角，對於方形基板5能有更好的導引效果，且該長邊l1或該短邊l2皆小於所述方形基板5之長度L、或至少為所述方形基板5之長度L的1/2。

再請參閱圖10至圖12所示，當各方形基板5皆置入載具本體1內時，即可將上述門板4蓋置於該載具本體1前方的開口處。此時，如圖11所示，各方形基板5朝向載具本體1之後壁13的一側恰可銜接至上述後端支持部3的支持突塊31上；具體而言，各支持突塊31上係具有一支持面310、以及由該支持面310作斜向向上延伸的一爬升面311，該爬升面311與支持面310間形成一外角α，所述外角α可為30至50度，較佳為45度。而各方形基板5相對後壁13的一側則疊置於該支持面310上，即如圖11所示虛線狀態的方形基板5。接著，如圖12所示，當門板4蓋上時，其前端支持部41的各彈性片體411即可分別以彈力推動各方形基板5，進而使各方形基板5皆可如圖11所示，使其相對後壁13的一側沿著該爬升面311上向抬升而定位，以具有一抬升距離D與一抬升高度H，其中所述抬升距離D約可為1.5至2.5mm，而所述抬升高度H則可為2mm或小於2mm，進而可使方形基板5相對後壁13的一側維持在不與支持突緣210及支持面310接觸的狀態下；更進一步地，於該爬升面311上係形成有一嵌溝312，該嵌溝312與圖12所示之各彈性片體411呈「V」字型的溝槽部位等高，且該嵌溝312具有一厚度T，門板4關閉時供方形基板5相對後壁13的一側可被抵頂於該嵌溝312上維持不與支持突緣210及支持面310接觸的狀態而舉起之。

最後，如圖13所示，本創作所舉之方形基板5的尺寸以300x300mm為例。當方形基板5置於上述載具本體1內時，方形基板5的中心線C在任一側向上，與門板4之前端支持部41上的彈性片體411間的側向位置F1約可佔方形基板5寬度W的1/6左右，而與各後端支持部3（本實施例以二後端支持部3為例，該二後端支持部3可由後壁13由外部向載具本體1內凹入而分別形成一延伸部32，且後端支持部3位於該延伸部32上）的側向位置F2可佔方形基板5寬度W的1/6至1/3（約為50至100mm），較佳可為1/4至1/3（約為75至100mm）；進一步地，所述側向位置F1小於所述側向位置F2，如此可構成類似三點抵頂的狀態，以最少或最小的接觸狀態下來穩固方形基板5。此外，二後端支持部3前緣相互連接一假想線S，且該二側向支持部2皆朝向後壁13延伸而至所述假想線S或超越所述假想線S，如此可使方形基板5更佳穩固地被配置於載具本體1內，而有別於適用如圓形基板。

綜上所述，本創作實為不可多得之新型創作，其確實可達到上述說明書所記載之創作目的，而解決習知之缺失，又因具有新穎性及進步性，完全符合新型專利申請要件，爰依專利法提出申請，以保障創作人之權利。

惟以上所述僅為本創作之較佳可行實施例，非因此即拘限本創作之專利範圍，故舉凡運用本創作說明書及圖式內容所為之等效結構變化，均同理皆包含於本創作之範圍內，合予陳明。

1:載具本體10:底部11:頂部12:側壁13:後壁2:側向支持部20:連接板21:支持部件210:支持突緣211:導引塊211a:導斜面211b:導引面3:後端支持部30:連接壁31:支持突塊310:支持面311:爬升面312:嵌溝32:延伸部4:門板40:門體41:前端支持部410:豎立框部411:彈性片體5:方形基板

圖1　係本創作之立體分解圖。

圖2　係根據圖1之A部分放大詳圖。

圖3　係本創作側向支持部之立體示意圖。

圖4　係本創作門板之分解示意圖。

圖5　係本創作置入方形基板前之側視動作示意圖。

圖6　係本創作置入方形基板時任一角隅接觸側向支持部之局部示意圖。

圖7　係本創作置入方形基板時作側向偏位之局部示意圖。

圖8　係本創作置入方形基板時導正後之局部示意圖。

圖9　係本創作方形基板於置入過程中之俯視動作示意圖。

圖10　係本創作置入方形基板後之側視示意圖。

圖11　係根據圖10之B部分放大及方形基板作後端爬升之局部示意圖。

圖12　係根據圖10之C部分放大詳圖。

圖13　係本創作方形基板於置入後之俯視示意圖。

1:載具本體

10:底部

11:頂部

12:側壁

13:後壁

2:側向支持部

3:後端支持部

4:門板

40:門體

41:前端支持部

Claims (15)

1. 一種適用於方形基板之基板載具，用以收納至少一方形基板，並包括：一載具本體，具有一底部、相對於該底部的一頂部、包圍於該底部與該頂部之間的二側壁、以及位於該底部與該頂部及該二側壁後方的一後壁，並於該載具本體前方形成開口狀；複數側向支持部，位於該載具本體內並分別設於該二側壁上，且各該側向支持部至少具有間距排列的複數支持部件，且各該支持部件具有由突出的一支持突緣、以及位於該支持突緣與該側壁角落間的一導引塊；至少一後端支持部，位於該載具本體內並設於該後壁上，該後端支持部具有至少一連接壁、以及一體形成於該連接壁上作間距排列的複數支持突塊，且各該支持突塊分別對應各該支持突緣的高度位置作配置；以及一門板，組設於該載具本體而封閉該載具本體前方開口處；其中，各該支持突塊上係具有一支持面、以及由該支持面作斜向向上延伸的一爬升面，且該門板封閉該載具本體前方開口處時，推抵所述方形基板而使所述方形基板相對該後壁的一側沿該爬升面作抬升。
2. 如請求項１所述之適用於方形基板之基板載具，其中各該側向支持部係具有豎立疊置於任一該側壁上的一連接板，且該等支持部件位於該連接板一表面上。
3. 如請求項１所述之適用於方形基板之基板載具，其中各該側向支持部之支持突緣前緣至該導引塊前緣係具有一間隙。
4. 如請求項１所述之適用於方形基板之基板載具，其中各該側向支持部之導引塊皆具有一導斜面與形成於該導斜面前、後端處的導引面。
5. 如請求項４所述之適用於方形基板之基板載具，其中各該側向支持部之導引塊的導斜面係具有連接於該側壁的一長邊、以及連接於該支持突緣的一短邊，該長邊與該短邊皆小於所述方形基板之長度、且至少為所述方形基板之長度的1/2。
6. 如請求項１至５任一項所述之適用於方形基板之基板載具，其中該導引塊的高度係為相鄰任二該支持突緣之間距的1/3至2/3。
7. 如請求項１所述之適用於方形基板之基板載具，其中該爬升面與該支持面間形成一外角，所述外角為30至50度。
8. 如請求項７所述之適用於方形基板之基板載具，其中所述外角為45度。
9. 如請求項１所述之適用於方形基板之基板載具，其中爬升面上係形成有一嵌溝，該嵌溝具有一厚度並供所述方形基板抵頂。
10. 如請求項１所述之適用於方形基板之基板載具，其中所述後端支持部係由該後壁由外部向該載具本體內凹入而形成至少一延伸部，且所述後端支持部位於所述延伸部上。
11. 如請求項１所述之適用於方形基板之基板載具，其中該門板係具有一門體、以及設於該門體內的一前端支持部，且該前端支持部上至少具有複數彈性片體並用以推抵所述方形基板。
12. 如請求項１１所述之適用於方形基板之基板載具，其中所述後端支持部的數量為二，且該二後端支持部前緣相互連接一假想線，而該二側向支持部皆朝向該後壁延伸而至所述假想線或超越所述假想線。
13. 如請求項１２所述之適用於方形基板之基板載具，其中所述方形基板的中心線在任一側向上，係與該前端支持部上的彈性片體間之側向位置為所述方形基板寬度的1/6，且與各該後端支持部的側向位置為所述方形基板寬度的1/6至1/3。
14. 如請求項１１所述之適用於方形基板之基板載具，其中該前端支持部更具有組設於該門體內的一豎立框部，且該等彈性片體間距排列於該豎立框部上。
15. 如請求項１１至１３任一項所述之適用於方形基板之基板載具，其中各該彈性片體係呈一側向的「V」字型。