TWM668359U - 真空閥 - Google Patents

Abstract

一種真空閥，包括：閥殼體（1），所述閥殼體具有第一閥開口（4）和第二閥開口（5），所述第一閥開口具有第一軸線（6），所述第二閥開口具有與所述第一軸線（6）成一定角度的第二軸線（7）；和封閉件（10），所述封閉件能夠平行於所述第一軸線（6）在打開位置和關閉位置之間移動。在所述封閉件（10）的所述打開位置中，從所述第一閥開口（4）延伸至所述第二閥開口（5）的穿過所述真空閥的貫穿通道被開通。所述貫穿通道具有由管件（24）形成的區段，所述管件平行於所述第一閥開口（4）的所述第一軸線（6）並且至少從所述閥座（19）的區域延伸到所述第一閥開口（4）的所述第一軸線（6）和所述第二閥開口（5）的所述第二軸線（7）之間的交點（8）的區域，其中，所述閥殼體（1）或所述封閉件（10）具有所述管件（24），並且所述管件（24）在朝向所述第一閥開口（4）的第一端處敞開，並且在對置的第二端處封閉，並且在所述第一軸線（6）和所述第二軸線（7）之間的所述交點（8）的軸向區域中具有指向所述第二閥開口（4）的側開口（26）。

Description

真空閥

本實用新型涉及一種真空閥，包括：閥殼體，該閥殼體具有第一閥開口和第二閥開口，第一閥開口具有第一軸線，第二閥開口具有與第一軸線成一定角度的第二軸線，其中，第一軸線和第二軸線相交於交叉點；和封閉件，該封閉件佈置在閥殼體的內部空間中，並且能夠平行於第一軸線在打開位置和關閉位置之間移動，並且在關閉位置貼靠在閥殼體的圍繞第一軸線的閥座上，並且在打開位置從閥座抬起，其中，在封閉件的打開位置，從第一閥開口延伸至第二閥開口的穿過真空閥的貫穿通道被開通。

真空閥的閥殼體的第一閥開口和第二閥開口彼此成一定角度，特別是成直角，並且封閉件可以直線地平行於閥開口的軸線之一在打開位置和關閉位置之間移動，這種真空閥也被稱為角閥，並且在不同的實施方式中是已知的。於是由US 2015/0285396 A1、US 2006/016940 A1和US 6,669,170 B2已知帶有手動驅動器的角閥，並且由US 6,289,932 B1、US 2009/0194728 A1、US 5,678,595 A和US 9,851,012 B2已知帶有活塞-氣缸單元形式的氣動驅動器的角閥。

在使用侵蝕性工藝氣體的真空設備中，例如在半導體工業中，存在真空閥的密封件相對較快地損壞的問題，因此需要頻繁的維護以及相應的設備停機時間。因此，已經採取措施來降低維護成本。在從US 7,527,238 B2已知的角閥中，封閉件包括板形主要部分，該主要部分具有彈性密封圈，用於在封閉件的關閉位置中相對於閥座密封，並且在遠離閥座的後側，在主要部分的凹部中。封閉件有一個板狀的附加部分，該附加部分具有彈性的附加密封圈。在封閉件的打開位置，附加密封圈貼靠閥殼體的密封面。用於承載封閉件的閥杆的線性貫通部的密封件由此被保護免受所使用的侵蝕性工藝氣體的影響，閥杆經由該線性貫通部從閥殼體的內部空間伸出。

在從JP 3210186 U已知的角閥中，同樣在封閉件的背面上佈置了附加密封件，該附加密封件在封閉件的打開位置中與閥殼體的密封面配合作用。在正面，封閉件具有與佈置在閥座上的密封圈配合作用的密封面。閥座佈置在閥殼體前壁的內側，管接頭從該內側向外突伸，該管接頭形成真空閥的閥開口之一。在殼體內側，前壁具有環形的延伸部，該延伸部使得由管接頭形成的通道在殼體內側略微延長，並且被閥座圍繞。封閉件在其朝向閥座的前側上具有凹部，以避免在關閉位置中與環形延伸部碰撞。通過該環形延伸部，經由該閥開口進入的氣流被引導經過密封圈所在的區域，使得侵蝕性工藝氣體較少沉積在密封圈上。然而，這只能實現有限地保護密封圈。

本實用新型的目的是，提供一種開篇所述類型的有利的真空閥，其可以特別是在使用侵蝕性工藝氣體時有利地使用。根據本實用新型，這通過使用具有請求項1的特徵的真空閥來實現。

在根據本實用新型的真空閥中，在封閉件的打開位置中延伸穿過閥殼體的通道具有由與第一軸線平行、優選地同軸的管件形成的區段，閥殼體或封閉件配備有該區段，並且該區段至少從閥座的區域延伸至第一和第二閥開口的第一和第二軸線之間的交點區域。該管件在朝向第一閥開口的第一端處敞開，並且在對置的第二端處封閉。管件在第一閥開口和第二閥開口的第一軸線和第二軸線之間的交點的軸向區域中具有指向第二閥開口的側開口。

由於根據本實用新型的設計，侵蝕性工藝氣體的氣流可被有效地引導經過密封圈，在真空閥的關閉狀態下，封閉件通過密封圈相對於閥座密封，使得盡可能少的工藝氣體與密封圈接觸。

在本實用新型的第一可能的實施方式中，閥殼體具有管件，其中，該管件以其第一端安置在封閉件的殼體前壁的內側（=殼體內側），或者與殼體前壁一體地構造。因此，管件從殼體前壁延伸到閥殼體的內部空間中。封閉件構造成杯形的，並且在關閉位置圍繞管件，在關閉位置封閉件貼靠在閥座上。因此，在封閉件的封閉位置中，管件被杯形封閉件的內部空間容納。閥座在此有利地佈置在殼體前壁的內側上，並且在管件的第一端的區域中圍繞管件。

在本實用新型的第二可能的實施方式中，封閉件具有管件，其中，管件以其第二端安置在封閉件的基部部分上，或者與其一體地構造，並且在其第二端處由封閉件的基部部分封閉。管件的第一端伸入從第一閥開口開始延伸穿過閥殼體的管接頭的通道中，確切地說，在封閉件的打開位置中比在關閉位置中更小距離。閥座有利地又佈置在閥殼體的前壁的內側上並且圍繞管件。除了必要的間隙之外，管件的外徑有益地等於管接頭的內徑，以便在管接頭中形成對管件的滑動引導。因此，管件的外徑略小於管接頭的內徑，優選小不到1mm。

彈性密封圈優選佈置在閥座上，在關閉位置中，封閉件通過彈性密封圈相對於閥座密封。但原則上也可考慮且可行的是，佈置在封閉件上，如將在附圖描述中更詳細地解釋的。

本實用新型的一個優選實施方式規定，在封閉件的背離第一閥開口的背面上佈置了彈性的附加密封圈，在封閉件的打開位置中，附加密封圈壓靠在閥殼體的密封面上。通過這種方式，可以實現密封，防止侵蝕性工藝氣體滲透到閥杆的滑動貫通部的區域中，封閉件被閥杆承載。

圖1至圖6中示出了根據本實用新型的真空閥的第一實施例。真空閥具有閥殼體1，該閥殼體帶有第一管接頭2和第二管接頭3。管接頭2、3用於將真空閥與真空設備的其他部件連接。例如，第二管接頭3可以以真空密封的方式與真空腔連接，並且在第一管接頭2上可以連接用於工藝氣體的供應管線。第一管接頭2的自由端具有第一閥開口4，第二管接頭3的自由端具有第二閥開口5。真空閥被設計為角閥，並且第一閥開口4的第一軸線6垂直於第二閥開口5的第二軸線7。特別是在從45°至135°的範圍內的其他角度是可以考慮並且可行的，但不太優選。

第一閥開口4的第一軸線6同時是第一管接頭2的縱向中心軸線，第二閥開口的第二軸線7同時是第二管接頭3的縱向中心軸線。管接頭2、3均具有從相應的殼體壁突伸的接管和佈置在相應的接管的自由端處的連接凸緣。

第一軸線6和第二軸線7相交於交點8。

閥殼體1具有內部空間9。在該內部空間中佈置有封閉件10。封閉件10可在打開位置（圖5）和關閉位置（圖6）之間直線地且平行於第一軸線6移動，在打開位置中真空閥打開，在關閉位置中真空閥關閉。封閉件10由閥杆11承載。第一軸線6形成閥杆11的縱向中心軸線，因此閥杆11與第一閥開口4同軸。閥杆11通過滑動貫通部從真空閥的內部空間9伸出，也就是說，閥杆11可相對於閥殼體1平行於第一軸線6移動，其中，閥杆相對於閥殼體1被密封。在該實施例中，環形彈性密封件12、13、14用於使得閥杆11相對於閥殼體1密封。這些密封件佈置在環形的凹槽中，凹槽圍繞閥殼體1上的開口，閥杆11穿過該開口伸展。如已知的，通過波紋管、特別是折疊波紋管進行密封也是可行的。

在該實施例中，閥杆11同時是氣動活塞-氣缸單元15的活塞杆，該單元形成真空閥的驅動器。

在最靠近內部空間9的密封件12和與其鄰接的密封件13之間，設置有環形空間17，該環形空間通過孔16通風並圍繞閥杆11，該環形空間由在貫穿閥殼體1的孔的壁上的凹槽形成，該孔被閥杆11穿過。由此保護密封件12免受來自活塞-氣缸單元15的可能克服密封件13、14的過大壓力。環形空間17也可以通過孔16被抽吸。

在該實施例中，活塞-氣缸單元15具有雙作用的活塞。如已知的，也可以與沿另一方向（特別是沿關閉方向）作用的彈簧結合地設置單作用的活塞。

也可以設置其他類型的驅動器或手動操縱部。

在封閉件10的關閉位置，封閉件10的密封面18壓靠佈置在閥座19上的彈性密封圈20。閥座19圍繞第一軸線6。特別地，閥座19佈置在閥殼體的前壁21的內側。第一管接頭2位於該前壁21的外側。

在該實施例中，閥殼體1的前壁21通過螺紋連接和位於其間的環形密封件22以真空密封的方式與閥殼體的側壁連接。第二管接頭3佈置在這些側壁之一上。

在該實施例中，閥殼體1的側壁與閥殼體的後壁23一體地構造。後壁23還可以由單獨的部件形成，並且經由密封件和螺紋連接以真空密封的方式與閥殼體的側壁連接。特別是在這種情況下，前壁21也可以與閥殼體的側壁一體地構造。

在該實施例中，閥殼體1基本上構造為長方體形狀。相反，它可以例如基本上圓柱形地構造，具有圓柱護套形狀的側壁。

在閥殼體1的前壁21的內側（=在界定閥殼體的內部空間9的一側）佈置了管件24。第一閥開口4的第一軸線6是管件24的縱向中心軸線，即，如優選的，管件24與第一閥開口4同軸。由管件24形成的通道使得由第一管接頭2形成的通道優選連續地延續。

附圖中示出了由前壁21、第一管接頭2和管件24形成的單元的一體式設計。相反，該單元也可以被設計成多個部分，其中，兩個或更多個部分可以特別地通過焊接而彼此連接。於是例如，第一管接頭2和管件24可以一體地構造，並且被焊接到殼體前壁21上的開口中。

因此，管件24利用第一端在殼體的內側安置在前壁21上，或者與前壁21一體地構造。管件24在其對置的第二端處由蓋子25封閉，蓋子25例如與管件24一體地構造。

關於第一軸線6的方向，管件24在第一軸線6和第二軸線7之間的交點8的軸向區域中具有側開口26。該側開口是由在圍繞管件24的縱向軸線的壁上的窗口凹缺形成的。該側開口26指向第二閥開口5。側開口26的軸線優選地與第二軸線7同軸。兩個軸線之間的一定偏移也是可以考慮並且可行的。

閥座19在管件的第一端的區域中圍繞管件24，管件在該區域從閥殼體1的前壁21審出。因此，管件24從前壁21伸入到閥殼體1的內部空間9中，並且在此關於第一軸線6的軸向方向至少從閥座19的區域延伸到第一軸線6和第二軸線7之間的交點8的區域。

關於第一軸線6的方向，密封圈20與側開口26間隔開，優選地間隔了側開口26的關於第一軸線6的方向的直徑的至少四分之一。

封閉件10是杯形的，並且在該實施例中具有盤形基部部分27，橫截面為環形的壁28從該基部部分朝向閥座19突伸。在與基部部分27對置的端部處，密封面18佈置在壁28的端面上，該密封面因此構造成環形的。

在封閉件的關閉位置中，封閉件10圍繞管件24，在該關閉位置中，封閉件10以密封面18貼靠在密封圈20上。也就是說，管件24在封閉件10的關閉位置中位於杯形封閉件10的內部空間中。

在封閉件的打開位置，封閉件被拉離管件24至少達到使得管件24的側開口26被開通的程度。

在封閉件10的打開位置，貫穿通道穿過閥殼體1，該貫穿通道從第一閥開口4延伸至第二閥開口5。該貫穿通道的第一區段從第一閥開口4開始，延伸穿過由第一管接頭2形成的通道。接下來的區段從其敞開的第一端開始，延伸穿過管件24，直至其側開口26。從側開口26開始，貫穿通道延伸穿過閥殼體1的內部空間的區域，該區域位於側開口26和由管接頭3形成的通道之間。此外，貫穿通道延伸穿過由第二管接頭3形成的通道，直至第二閥開口5。

在封閉件10的關閉狀態下，貫穿通道被封閉件10以真空密封的方式封閉。

在所示的該實施例中，管件24的側開口26的直徑小於貫穿通道的直徑，該貫穿通道在從第二閥開口到進入閥殼體內部空間中的入口部的區段中具有該直徑。於是如果允許工藝氣體經由第一閥開口4流入並且第二閥開口5與處於真空下的真空腔的內部空間連通，則氣流從管件24的側開口26大部分直接流入到第二管接頭3的通道中，即，氣流基本上僅流過閥殼體1的內部空間9的區域，該區域直接位於側開口26和第二管接頭3的入口部之間，進入閥殼體的內部空間中。因此，佈置在閥座19上的密封圈20幾乎不與工藝氣體接觸。

側開口的直徑大於貫穿通道的直徑的設計也是可以考慮並且可行的，該貫穿通道在從第二閥開口到進入閥殼體內部空間中的入口部的區段中具有該直徑。於是，工藝氣體的供給優選地通過第二閥開口進行，並且第一閥開口於是與真空腔的內部空間連通，工藝氣體應被供給該真空腔。

在第一實施例的變型中，也可以考慮且可行的是，將密封圈20佈置在封閉件10上，特別地佈置在環形壁28的朝向閥座19的端面上。於是閥座19將具有密封面。在這種情況下，封閉件10在打開位置將比圖5所示進一步縮回，確切地說，縮回的程度使得密封圈20關於第一軸線6的軸向方向與側開口26軸向地間隔開，優選至少間隔了側開口26直徑的四分之一。

在封閉件10的背離第一閥開口4的背面設有彈性的附加密封圈29，該附加密封圈圍繞第一軸線6。在封閉件的打開位置，其貼靠在閥殼體1的密封面30上。密封面30佈置在閥殼體的後壁23的內側上，並且圍繞後壁23上的開口，閥杆11經由該開口從閥殼體1的內部空間9伸出。在封閉件10的打開位置中，密封件12受到保護，免受工藝氣體殘留物的影響，否則工藝氣體殘留物可能會滲透到該區域中。

下面參考圖7和圖8解釋本實用新型的第二實施例。除了下面描述的差異之外，該設計對應於第一實施例的設計，並且在這方面第一實施例的描述也可以用於第二實施例。

第二實施例與第一實施例的主要區別在於，在第二實施例中，封閉件10配備有具有側開口26的管件24。因此，管件24以其第二端安置在封閉件10的基部部分27上，或者（如圖所示）與其一體地構造，並且在第二端處由封閉件的基部部分27封閉。與第一軸線6同軸的管件24以其第一端突伸到從第一閥開口4開始延伸穿過第一管接頭2的通道中，確切地說，與在封閉件的關閉位置（圖8）中相比，在封閉件的打開位置中（圖7）突伸較短的距離。管件24的外徑在此優選地僅稍微小於通道的內徑，優選地小不到1mm。也就是說，除了用於在管件24和第一管接頭2之間形成滑動引導的間隙之外，管件24的外徑等於管接頭2的內徑。

如圖所示，密封圈20又可以有利地佈置在閥座19上，並且密封面18佈置在封閉件10上，確切地說，佈置在封閉件10的基部部分27上（在朝向閥座19的一側上），其中，密封面18圍繞管件24的第二端。

閥殼體1的前壁21在此與側壁一體地構造，並且閥殼體的後壁23密封地與側壁連接（為了簡單起見，未示出位於其間的密封件和連接螺釘）。然而，與第一實施例類似，又可以規定與側壁分開地構造的前壁21的密封的螺紋連接，並且後壁23可與側壁一體地構造。

從第二閥開口5開始貫穿第二管接頭3的通道在此至少在其通入閥殼體的內部空間9中的一個端部區段中具有比管件24中的側開口26的直徑更小的直徑。側開口26又指向第二閥開口5，其中，其軸線在此在打開位置中相對於第二閥開口5的第二軸線7稍微偏移（其更靠近第一閥開口4），參見圖7。然而在封閉件的打開位置中，側開口26的軸線也可以又與第二軸線7同軸。

在封閉件10的打開位置，再次形成穿過閥殼體的貫穿通道。從第二閥開口5開始，貫穿通道延伸穿過由第二管接頭3形成的通道，並且進一步穿過閥殼體的內部空間9的區域，該區域位於該通道的殼體內側的入口部與側開口26之間。貫穿通道的另一區段延伸穿過管件24，確切地說，從側開口26延伸至管件的敞開的第一端。此外，貫穿通道延伸穿過由第一管接頭2形成的通道，直至第一閥開口4。

佈置在閥座19上的密封圈20在封閉件10的打開位置中關於第一軸線6的方向與管件24上的側開口26間隔開。該軸向間距根據圖7相對較小地設計，但也可以選擇得更大，如果這看起來適宜的話。

如果允許工藝氣體經由第二閥開口5流入，其中，真空閥通過第一閥開口4與處於真空下的真空腔的內部空間連通，則該工藝氣體的大部分從延伸穿過第二管接頭3的通道的內入口部，通過閥殼體1的內部空間9的直接位於該入口部和側開口26之間的區域，直接進入管件24，其中，只有一小部分工藝氣體進入閥殼體1的內部空間9的另一區域中，並由此到達佈置在閥座19上的密封圈20。

在該實施例中，密封圈20也可以又佈置在封閉件10上而不是佈置在閥座19上，其中，密封圈將會圍繞管件24的第二端。閥座19於是將具有與密封圈20配合作用的密封面。密封圈20在此將佈置成關於第一軸線6與側開口26軸向地間隔開。為此，側開口26可距管件24的第二端更遠地佈置在該管件中。

在本實用新型的該第二實施例中，與第一實施例中所示的類似，側開口26的直徑可設計得小於貫穿通道的從第二閥開口延伸至進入閥殼體1的內部空間9中的入口部的區段的直徑。在這種情況下，工藝氣體可以有益地經由第一閥開口4供應，並且真空閥可以利用其第二閥開口5與真空腔的內部空間連通。

在所描述的第一實施例和第二實施例中都可以省略第二管接頭3。於是，第二閥開口將直接設置在閥殼體1的相應側壁上，並且閥殼體1可直接利用該側壁與真空設備的另一部分連接。

在所描述的第一實施例中，可以省略第一管接頭2，並且第一閥開口4於是可以直接佈置在閥殼體1的前壁21上，並且真空設備的另一部分可以直接以真空密封的方式與閥殼體的前壁21連接。

1:閥殼體 2:第一管接頭 3:第二管接頭 4:第一閥開口 5:第二閥開口 6:第一軸線 7:第二軸線 8:交點 9:內部空間 10:封閉件 11:閥杆 12:密封件 13:密封件 14:密封件 15:活塞-氣缸單元 16:孔 17:環形空間 18:密封面 19:閥座 20:密封圈 21:前壁 22:密封件 23:後壁 24:管件 25:蓋子 26:側開口 27:基部部分 28:壁 29:附加密封圈 30:密封面

下面參考附圖解釋本實用新型的進一步的優點和細節。其中：

[圖1]是根據本實用新型的一個實施方式的真空閥的斜視圖；

[圖2]在部分分解的狀態下示出了圖1中的真空閥；

[圖3]是從與圖1和圖2不同的觀察方向看的殼體前壁的斜視圖，殼體前壁帶有安置於其上的管接頭和管件；

[圖4]是真空閥的背側視圖；

[圖5]示出了在封閉件的打開位置沿圖4中的線A-A的剖視圖；

[圖6]示出了在封閉件的關閉位置沿圖4中的線A-A的剖視圖；

[圖7]和[圖8]是與圖5和圖6類似的本實用新型第二實施方式的在封閉件的打開位置和關閉位置真空閥的前部的剖視圖（為簡單起見而沒有示出閥殼體的後部和驅動器）。

2:第一管接頭

3:第二管接頭

4:第一閥開口

5:第二閥開口

6:第一軸線

7:第二軸線

8:交點

9:內部空間

10:封閉件

11:閥杆

12:密封件

13:密封件

14:密封件

15:活塞-氣缸單元

16:孔

17:環形空間

18:密封面

19:閥座

20:密封圈

21:前壁

22:密封件

23:後壁

24:管件

25:蓋子

26:側開口

27:基部部分

28:壁

29:附加密封件

Claims (10)

1. 一種真空閥，其包括： -閥殼體（1），所述閥殼體具有第一閥開口（4）和第二閥開口（5），所述第一閥開口具有第一軸線（6），所述第二閥開口具有與所述第一軸線（6）成一定角度的第二軸線（7），其中，所述第一軸線（6）和所述第二軸線（7）相交於交點（8）；和 -封閉件（10），所述封閉件佈置在所述閥殼體（1）的內部空間（9）中，並且能夠平行於所述第一軸線（6）在打開位置和關閉位置之間移動，以及在所述關閉位置中貼靠在所述閥殼體（1）的圍繞所述第一軸線（6）的閥座（19）上，並在所述打開位置中從所述閥座（19）抬起， 其中，在所述封閉件（10）的所述打開位置中，從所述第一閥開口（4）延伸至所述第二閥開口（5）的穿過所述真空閥的貫穿通道被開通， 其特徵在於，在所述封閉件（10）的打開位置中延伸穿過所述閥殼體（1）的所述貫穿通道具有由管件（24）形成的區段，所述管件平行於所述第一軸線（6）並且關於所述第一軸線（6）的軸向方向至少從所述閥座（19）的區域延伸到所述第一軸線（6）和所述第二軸線（7）之間的所述交點（8）的區域， 其中，所述閥殼體（1）或所述封閉件（10）具有所述管件（24），並且所述管件（24）在朝向所述第一閥開口（4）的第一端處敞開，並且在對置的第二端處封閉，並且在所述第一軸線（6）和所述第二軸線（7）之間的所述交點（8）的軸向區域中具有指向所述第二閥開口（5）的側開口（26）。
2. 根據請求項1所述的真空閥，其特徵在於，所述管件（24）以其第一端安置在所述閥殼體（1）的前壁（21）上，或與所述前壁（21）一體地構造，並從所述前壁（21）開始突伸到所述閥殼體（1）的內部空間（9）中，並且所述封閉件（10）構造成杯形的並且在所述關閉位置圍繞所述管件（24）。
3. 根據請求項2所述的真空閥，其特徵在於，所述閥座（19）設置在所述閥殼體（1）的前壁（21）的內側並圍繞所述管件（24）的第一端。
4. 根據請求項1所述的真空閥，其特徵在於，所述管件（24）以其第二端安置在所述封閉件（10）的基部部分（27）上，或與所述封閉件（10）的基部部分（27）一體地構造，並且在第二端處被所述封閉件（10）的基部部分（27）封閉，並且以其第一端突伸到從所述第一閥開口（4）開始延伸穿過所述閥殼體（1）的管接頭（2）的通道中。
5. 根據請求項4所述的真空閥，其特徵在於，所述管件（24）的外徑比所述通道的內徑小不到1mm。
6. 根據請求項1至5中任一項所述的真空閥，其特徵在於，彈性的密封圈（20）佈置在所述閥座（19）上，所述封閉件（10）在所述關閉位置中通過所述密封圈相對於所述閥座（19）密封。
7. 根據請求項1至5中任一項所述的真空閥，其特徵在於，在所述封閉件（10）的背離所述第一閥開口（4）的背面上佈置有彈性的附加密封圈（29），所述附加密封圈在所述封閉件（10）的打開位置貼靠在所述閥殼體（1）的密封面上。
8. 根據請求項1至5中任一項所述的真空閥，其特徵在於，所述封閉件（10）由閥杆（11）承載，所述閥杆平行於所述第一閥開口（4）的第一軸線（6）延伸，並且真空密封地且可軸向移動地從所述閥殼體（1）的內部空間（9）中伸出。
9. 根據請求項1至5中任一項所述的真空閥，其特徵在於，穿過所述閥殼體（1）的處於所述封閉件（10）的打開位置中的所述貫穿通道的所述區段的直徑大於所述管件（24）的側開口（26）的直徑，所述區段從所述第二閥開口（5）延伸至進入所述閥殼體（1）的內部空間（9）中的入口部。
10. 根據請求項9所述的真空閥，其特徵在於，穿過所述閥殼體（1）的在所述封閉件（10）的打開位置中形成的所述貫穿通道的所述區段的直徑至少在進入所述閥殼體（1）的內部空間（9）中的所述入口部的區域內小於所述管件（24）的側開口（26）的直徑。

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