TWM557778U - 氣動式液體輸送裝置 - Google Patents

Abstract

一種氣動式液體輸送裝置，包含一氣動式旋轉驅動器及一液壓泵。氣動式旋轉驅動器包括一第一外殼段、一轉軸及一致動單元。第一外殼段界定一進氣孔及一排氣孔。轉軸包含一第一軸段及一第二軸段，第一軸段樞接於第一外殼段，第二軸段凸伸出第一外殼段。致動單元透過氣體帶動而致動轉軸旋轉。液壓泵包括一第二外殼段及一液體傳輸單元。第二外殼段界定一進液通道及一排液通道。第二軸段樞接於第二外殼段，液體傳輸單元設置於第二軸段。第二軸段用以帶動液體傳輸單元運轉使其吸取經由進液通道所流入的液體並且將其加壓後排出至排液通道。

Description

氣動式液體輸送裝置

本新型是有關於一種氣動式液體輸送裝置，特別是指一種以氣體作為動力源並將其轉換成機械能對液體作功的氣動式液體輸送裝置。

現有用以輸送液體的泵主要區分為往復式泵及旋轉式泵。往復式泵主要是透過氣壓缸往復地施壓以進行液體的輸送。由於氣壓缸往復地施壓時會產生脈衝，因此，易造成液體排出時產生脈動而導致排出壓力不穩定。有些往復式泵為了降低液體排出時的脈動現象，在出口端處會額外裝設蓄壓器，如此，易增添製造的成本。

旋轉式泵是以例如變頻馬達的電動馬達作為動力源驅動旋轉件旋轉以進行液體的輸送。然而，當工作環境的濕度高於一定程度時或是工作環境嚴禁火源時，電動馬達易產生漏電或產生火花的情形，導致使用上的安全性受到影響。再者，當系統停滯並暫時停止使用液體時，排液管上的控制閥會切換至關閉狀態，此時，由於電動馬達仍處於持續運轉使旋轉式泵持續輸出加壓液體至排液管內的狀態，排液管內因液體壓力使得負載會持續加大甚至到達超載狀態，因此，易造成排液管產生破裂的情形，且亦會導致電動馬達過熱甚至因而損壞。

因此，本新型之一目的，即在提供一種氣動式液體輸送裝置，能使液體排出壓力穩定並能提升使用上的安全性。

本新型之另一目的，即在提供一種氣動式液體輸送裝置，藉由氣動式旋轉驅動器的轉速可隨著負載而改變，能避免系統負載過大或超載造成氣動式旋轉驅動器損壞以及排液管產生破裂。

於是，本新型氣動式液體輸送裝置，包含一氣動式旋轉驅動器，及一液壓泵。

氣動式旋轉驅動器包括一第一外殼段、一轉軸，及一致動單元。該第一外殼段界定一用以供一氣體流入的進氣孔，及一用以供該氣體流出的排氣孔。該轉軸包含一第一軸段，及一由該第一軸段一端軸向延伸而出的第二軸段，該第一軸段可轉動地樞接於該第一外殼段且位於該第一外殼段內，該第二軸段凸伸出該第一外殼段。該致動單元設置於該第一軸段並透過該氣體帶動而致動該轉軸旋轉。液壓泵包括一第二外殼段，及一液體傳輸單元。該第二外殼段設置於該第一外殼段一側並界定一用以供一液體流入的進液通道，及一用以排出該液體的排液通道。該第二軸段可轉動地樞接於該第二外殼段並且位於該第二外殼段內，該液體傳輸單元位於該第二外殼段內且設置於該第二軸段。該第二軸段用以帶動該液體傳輸單元運轉，使該液體傳輸單元吸取經由該進液通道所流入的該液體並且將其加壓後排出至該排液通道。

在一些實施態樣中，該液體傳輸單元包含一斜盤、一旋轉缸體，及多個活塞，該斜盤套設於該第二軸段，該旋轉缸體固定於該第二軸段且位於該斜盤與該進液、排液通道之間並形成有多個環繞該第二軸段的缸室，各該活塞一端可滑動地接觸於該斜盤而另一端可移動地穿設於對應的該缸室內，當該旋轉缸體被該第二軸段帶動旋轉時，該旋轉缸體會帶動各該活塞轉動且各該活塞會同時於對應的該缸室內往復移動以改變其容積，使對應的該缸室能通過該進液通道吸取該液體並通過該排液通道排出。

在一些實施態樣中，各該活塞包括一外周面，各該缸室是由該旋轉缸體的一內周面界定而出，該外周面與該內周面至少其中之一設置有一潤滑件。

在一些實施態樣中，各該活塞與該旋轉缸體至少其中之一為一潤滑件。

在一些實施態樣中，該液體傳輸單元還包含一閥板，該閥板設置於該旋轉缸體相反於該斜盤的一側與該進液、排液通道之間，該閥板形成有一吸入槽，及一排出槽，該吸入槽與該進液通道相連通且位於各該缸室的轉動路徑上，當任一個該缸室與該吸入槽連通時會通過該吸入槽吸取該液體，該排出槽與該排液通道相連通且位於各該缸室的轉動路徑上，當任一個該缸室與該排出槽連通時會通過該排出槽排出該液體。

在一些實施態樣中，該進液通道具有一與該吸入槽相連通的進液槽，及一與該進液槽相連通的進液孔，該排液通道具有一與該排出槽相連通的排液槽，及一與該排液槽相連通的排液孔，該進液孔的孔徑大於該排液孔的孔徑。

在一些實施態樣中，該斜盤具有一供各該活塞一端滑動接觸的盤面，該盤面與一垂直於該第二軸段的徑向面之間夾一角度，該液體傳輸單元還包含一設置於該第二外殼段與該斜盤之間用以調整該角度的角度調整總成。

在一些實施態樣中，該角度調整總成能將該角度調整至介於10度至60度之間的任一角度。

在一些實施態樣中，該第一外殼段包含一氣缸體，該氣缸體具有該進氣孔及該排氣孔，該第一軸段偏心地穿設於該氣缸體內，該第一軸段外表面徑向凹陷形成有多個凹槽，該致動單元包含多個分別穿設於該等凹槽且呈放射狀相間隔排列的葉片，各該葉片可沿該第一軸段的徑向於對應的該凹槽內伸縮移動。

在一些實施態樣中，該第二外殼段一體成型於該第一外殼段一側。

本新型之功效在於：藉由氣動式旋轉驅動器採用氣動馬達的方式，能提升使用上的安全性。氣動式旋轉驅動器的轉軸轉速可隨著負載而改變，藉此，能避免系統負載過大或超載造成氣動式旋轉驅動器損壞以及排液管產生破裂，並藉由液壓泵採用斜盤式軸向活塞泵的方式，能降低液體排出時產生的脈動而使排出壓力穩定。

參閱圖1，是本新型氣動式液體輸送裝置的第一實施例，氣動式液體輸送裝置100應用在例如為半導體溼式處理製程的設備，氣動式液體輸送裝置100包含一氣動式旋轉驅動器1，及一液壓泵2。

參閱圖1、圖2及圖3，氣動式旋轉驅動器1包括一第一外殼段11、一轉軸12、一致動單元13，及一接合單元14。第一外殼段11包含一氣缸體110、一第一密封蓋111，及一第二密封蓋112。氣缸體110界定一腔室113、一與腔室113相連通的進氣孔114，及一與腔室113相連通的排氣孔115。進氣孔114用以供氣體流入腔室113內，而排氣孔115則用以供腔室113內的氣體排出。在本實施例中，氣體是以乾燥壓縮空氣(Clean Dry Air,CDA)為例。第一密封蓋111可透過例如螺絲鎖固方式固定地接合於氣缸體110一端，第一密封蓋111氣密地接合於氣缸體110並且封閉腔室113一端。第二密封蓋112可透過例如螺絲鎖固方式固定地接合於氣缸體110另一端，第二密封蓋112氣密地接合於氣缸體110並且封閉腔室113另一端。

轉軸12包含一第一軸段121，及一由第一軸段121一端軸向延伸而出的第二軸段122。第一軸段121可轉動地樞接於第一外殼段11的第一密封蓋111與第二密封蓋112且位於氣缸體110的腔室113內。第二軸段122凸伸出第一外殼段11的第二密封蓋112。致動單元13設置於第一軸段121且位於腔室113內，致動單元13透過氣體帶動而致動轉軸12旋轉。

在本實施例中，氣動式旋轉驅動器1為一葉片式氣動馬達。進氣孔114設置於第一密封蓋111，而排氣孔115設置於氣缸體110。第一軸段121偏心地穿設於氣缸體110的腔室113內，第一軸段121具有一樞接於第一密封蓋111與第二密封蓋112的樞軸部123，及一套設並固定於樞軸部123的套筒124。套筒124外表面徑向凹陷形成多個彼此相間隔排列的凹槽125。致動單元13包含多個分別穿設於該等凹槽125且呈放射狀相間隔排列的葉片131，各葉片131可沿第一軸段121的徑向於對應的凹槽125內伸縮移動。

參閱圖4及圖5，液壓泵2包括一第二外殼段21，及一液體傳輸單元23。第二外殼段21設置於第一外殼段11一側並包含一殼體210，及一端蓋211。殼體210透過接合單元14固定地接合於第一外殼段11的氣缸體110，且殼體210界定一容室212。端蓋211可透過例如螺絲鎖固方式固定地接合於殼體210相反於氣缸體110的一端並且封閉容室212。端蓋211界定一用以供液體流入的進液通道213，及一用以排出液體的排液通道214。在本實施例中，液體是例如為水或是製程中所需的處理液體。轉軸12的第二軸段122可轉動地樞接於第二外殼段21的殼體210且位於容室212內。液體傳輸單元22位於第二外殼段21的容室212內且設置於第二軸段122。第二軸段122用以帶動液體傳輸單元22運轉，使液體傳輸單元22吸取經由進液通道213所流入的液體並且將其加壓後排出至排液通道214。

在本實施例中，液壓泵2為一斜盤式軸向活塞泵。第一外殼段11的氣缸體110形成有多個第一穿孔119，第二外殼段21的殼體210形成有多個分别與該等第一穿孔119相連通的第二穿孔215。接合單元14包含多個螺栓141，及多個螺帽142。各螺栓141穿設於位置對應且相互連通的第一穿孔119與第二穿孔215並且螺接於對應的螺帽142。藉此，接合單元14能穩固地將氣缸體110與殼體210接合在一起。

參閱圖4、圖5及圖6，端蓋211還界定有一朝向容室212的容置槽216。進液通道213具有一與容置槽216相連通並呈弧形的進液槽217，及一與進液槽217相連通的進液孔218。進液孔218與一供液管(圖未示)相連接，藉此，液體供應源可透過供液管輸送液體至進液通道213內。排液通道214具有一與容置槽216相連通並呈弧形的排液槽219，及一與排液槽219相連通的排液孔220。排液孔220與一排液管(圖未示)相連接，藉此，經過液體傳輸單元22加壓後的液體可經由排液通道214排出至排液管。

在本實施例中，進液孔218的一孔徑D1大於排液孔220的一孔徑D2，藉此，能使液體經由排液孔220所排出的排出壓力大於經由進液孔218所輸入的輸入壓力。

參閱圖4及圖7，液體傳輸單元23包含一斜盤24、一旋轉缸體25、多個活塞26。斜盤24套設於轉軸12的第二軸段122並形成一供第二軸段122穿設的貫穿孔241，貫穿孔241的孔徑大於第二軸段122的外徑，藉此，使得斜盤24可呈傾斜狀地套設於第二軸段122上且不會被第二軸段122帶動旋轉。斜盤24具有一盤面242，盤面242與一垂直於第二軸段122的徑向面F之間夾一角度A。

參閱圖4、圖7及圖8，旋轉缸體25套設並固定於第二軸段122且位於斜盤24與端蓋211的進液、排液通道213、214之間。在本實施例中，第二軸段122具有一栓槽部126，旋轉缸體25形成一供栓槽部126穿設的栓槽孔251，藉此，使得旋轉缸體25能被第二軸段122帶動旋轉且不會相對於第二軸段122轉動。旋轉缸體25還形成有多個環繞栓槽孔251及第二軸段122的缸室252，各缸室252具有一活塞孔253，及一連通於活塞孔253一端的開孔254。活塞孔253呈圓形狀且朝向斜盤24，開孔254呈弧形狀且朝向端蓋211。活塞孔253和開孔254的形狀可依實際需求而設計，不以本實施例為限。

各活塞26一端可滑動地接觸於斜盤24的盤面242，而另一端可移動地穿設於對應的缸室252的活塞孔253內。本實施例的各活塞26包括一滑塊261及一活塞桿262。滑塊261可滑動地接觸於盤面242上。活塞桿262可移動地穿設於對應缸室252的活塞孔253內，且活塞桿262的一端可轉動地樞接於滑塊261。當旋轉缸體25被第二軸段122帶動旋轉時，旋轉缸體25會帶動各活塞26轉動且各活塞26會同時於對應的缸室252的活塞孔253內往復移動以改變其容積，使對應的缸室252能通過進液通道213吸取液體並通過排液通道214排出液體。

各活塞26的活塞桿262具有一外周面263，各缸室252的活塞孔253是由旋轉缸體25的一對應的內周面255界定而出。為了降低活塞桿262與旋轉缸體25之間的摩擦力使活塞桿262能順暢地在活塞孔253內移動，外周面263與內周面255至少其中之一設置有一潤滑件27，藉此，能避免外周面263與內周面255兩者直接接觸摩擦，使活塞桿262能順暢地在活塞孔253內移動。具體而言，本實施例的潤滑件27為固設在外周面263且液密地抵接於內周面255，潤滑件27可以是由潤滑性佳的石墨材質所製成或者是耐磨性佳的銅材質所製成。當然，潤滑件27也可以是由其他潤滑性佳的材質或者是其他耐磨性佳的材質所製成，不以本實施例所揭露的材質為限。

參閱圖4、圖5及圖9，為了區隔出旋轉缸體25的各缸室252的一吸取液體的吸取行程，及一排出液體的排出行程，液體傳輸單元23還包含一用以控制各缸室252的開孔254開啟或封閉的閥板28。閥板28固定地設置於端蓋211的容置槽216內，閥板28形成有一呈弧形狀的吸入槽281，及一呈弧形狀的排出槽282。吸入槽281與進液通道213的進液槽217相連通且位在各缸室252的開孔254的轉動路徑上，當任一個缸室252的開孔254與吸入槽281連通並且在吸入槽281所界定的角度範圍內轉動時，該缸室252在通過吸入槽281吸取液體的吸取行程。排出槽282與排液通道214的排液槽219相連通且位在各缸室252的開孔254的轉動路徑上，當任一個缸室252的開孔254與排出槽282連通並且在排出槽282所界定的角度範圍內轉動時，該缸室252在通過排出槽282排出液體的排出行程。

參閱圖4及圖7，為了調整斜盤24傾斜的角度A以改變活塞26的活塞桿262於缸室252內移動的行程，液體傳輸單元23還包含一設置於第二外殼段21的殼體210與斜盤24之間用以調整角度A的角度調整總成29。本實施例的斜盤24可轉動地抵靠於殼體210。角度調整總成29包括穿設於第二外殼段21的殼體210相反側的一伸縮單元291，及一彈性連接單元292。伸縮單元291具有一活塞293，及一樞接於活塞293與斜盤24一端之間的樞接件294。彈性連接單元292具有一固定桿295、一活動桿296、一設置於固定桿295與活動桿296之間的壓縮彈簧297，及一樞接於活動桿296與斜盤24另一端之間的樞接件298。

透過將氣體輸送至一氣室290內並驅動活塞293朝容室212方向移動，活塞293會透過樞接件294頂推斜盤24一端使其相對於殼體210轉動，斜盤24另一端則透過樞接件298及活動桿296擠壓壓縮彈簧297，使壓縮彈簧297變形並蓄積復位彈力。藉此，能將角度A調小。

反之，透過對氣室290抽氣以吸取活塞293使其朝相反於容室212方向移動，活塞293會透過樞接件294拉動斜盤24一端使其相對於殼體210轉動，壓縮彈簧297所蓄積的復位彈力會透過活動桿296及樞接件298施加於斜盤24另一端並推動斜盤24另一端，藉由活塞293移動時所產生的拉力以及壓縮彈簧297施加的復位彈力所產生的推力，使得斜盤24能順暢地相對於殼體210轉動。或者，透過對氣室290進行洩壓而不對氣室290抽氣，此時，壓縮彈簧297本身所蓄積的復位彈力會透過活動桿296及樞接件298施加於斜盤24另一端並將其回彈，以促使斜盤24相對於殼體210轉動且斜盤24透過樞接件294將活塞293朝相反於容室212方向推動。藉此，能將角度A調大。

藉由伸縮單元291及彈性連接單元292相配合，能將角度A調整至介於10度至60度之間的任一角度。透過調整角度A改變活塞26的活塞桿262於缸室252內移動的行程，從而能改變液壓泵2排出液體的流量或壓力。

以下針對氣動式液體輸送裝置100的作動方式進行說明：

參閱圖2及圖3，當氣體經由進氣孔114流入腔室113時，氣體會施壓在葉片131凸伸出凹槽125外的部位，使葉片131產生力矩進而帶動第一軸段121沿一旋轉方向R旋轉。在氣體所施加的推力以及第一軸段121旋轉時所產生的離心力作用下，葉片131在旋轉過程中會緊密地抵接在氣缸體110內壁面。對葉片131施壓作功後的氣體會由排氣孔115排出。

參閱圖4、圖5、圖7及圖9，第一軸段121旋轉時第二軸段122會跟著一起轉動，且第二軸段122會帶動旋轉缸體25沿旋轉方向R旋轉，旋轉缸體25旋轉過程中會同時帶動所有的活塞26一起轉動。當斜盤24的盤面242呈傾斜使角度A大於10度且小於60度時，各活塞26在轉動過程中其滑塊261會受到盤面242及一固持板30的導引及牽制作用進而帶動活塞桿262於缸室252的活塞孔253內產生軸向往復移動，使得缸室252內的容積產生變化。當任一個缸室252的開孔254與吸入槽281連通並且在吸入槽281所界定的角度範圍內轉動時，活塞桿262往遠離開孔254的方向移動，該缸室252在吸取液體的吸取行程，此時，該缸室252的開孔254會通過吸入槽281吸取進液通道213所流入的液體。接著，當該缸室252的開孔254移離吸入槽281且在吸入槽281底端與排出槽282底端之間轉動時，開孔254是處於被閥板28封閉的狀態，此時，活塞桿262會將液體朝開孔254方向擠壓，使該缸室252處在一壓縮液體的壓縮行程。隨後，當該缸室252的開孔254與排出槽282連通並且在排出槽282所界定的角度範圍內轉動時，該缸室252在排出液體的排出行程，此時，活塞桿262會繼續將液體朝開孔254方向擠壓，使液體依序經由開孔254及排出槽282流至排液通道214內。藉此，液壓泵2能輸出加壓後的液體至排液管內以供半導體溼式處理製程中的基板處理裝置使用。

參閱圖3及圖7，液體輸送裝置100在使用時會依照實際需求對相關參數進行調整，以下說明三種參數調整的方式:

第一種參數調整方式：固定氣體經由進氣孔114輸入的壓力，藉由控制角度調整總成29來調整斜盤24的角度A，能改變液體排出的壓力及流量。例如當角度A越大時，液體排出的壓力及流量越大，當角度A越小時，液體排出的壓力及流量越小。

第二種參數調整方式：固定斜盤24的角度A在例如45度，藉由控制氣體經由進氣孔114輸入的壓力，能改變液體排出的壓力及流量。例如當氣體輸入壓力越大時，液體排出的壓力及流量越大，當氣體輸入壓力越小時，液體排出的壓力及流量越小。

第三種參數調整方式：固定液體經由進液通道213輸入的壓力，藉由控制角度調整總成29來調整斜盤24的角度A，能改變氣體輸入壓力。例如當角度A越大時，氣體輸入的需求壓力越小，當角度A越小時，氣體輸入的需求壓力越大。

藉由氣動式旋轉驅動器1採用氣動馬達的方式，使得氣動式液體輸送裝置100用於潮濕的半導體溼式處理製程的工作環境時，氣動式旋轉驅動器1能正常地運作且不會因工作環境的濕度過高而產生漏電的情形，能提升使用上的安全性。此外，氣動式旋轉驅動器1的轉軸12轉速可隨著負載而改變，直至系統超載也不會對氣動式旋轉驅動器1造成損壞。例如基板處理裝置在製程中會暫時停止使用氣動式液體輸送裝置100所輸出的液體，控制排液管是否輸出液體至基板處理裝置的控制閥會切換至關閉狀態，使排液管無法排出液體。此時，氣體仍可繼續經由進氣孔114輸入至腔室113內，氣動式旋轉驅動器1的轉軸12只會降低轉速或者是停止轉動，原因為當排液管內的液體壓力持續加大至接近超載狀態時，氣體會推不動轉軸12或氣體經由排氣孔115排出，以達到腔室113內氣體壓力穩定的狀態，藉此，不會造成氣動式旋轉驅動器1內部的元件損壞進而產生故障，亦不會造成排液管產生破裂的情形，可同時保護氣動式旋轉驅動器1和排液管。當控制閥切換至開啟狀態使排液管排出液體時，氣動式旋轉驅動器1便能立即重新正常運轉。

另一方面，藉由液壓泵2採用斜盤式軸向活塞泵的方式，能降低液體排出時產生的脈動而使排出壓力穩定。因此，與先前技術相較下能省略蓄壓器的使用。再者，體積小的液壓泵2便能達到所需求的高增壓比，因此，能縮小氣動式液體輸送裝置100整體的體積以降低其所佔據的空間。

參閱圖10，是本新型氣動式液體輸送裝置的第二實施例，其整體結構與作動方式大致與第一實施例相同，不同處在於潤滑件27的設置方式。

在本實施例中，潤滑件27是固定在內周面255且液密地抵接於活塞桿262的外周面263，藉此，同樣能達到使活塞桿237順暢地在活塞孔253內移動的功效。

參閱圖11，是本新型氣動式液體輸送裝置的第三實施例，其整體結構與作動方式大致與第一實施例相同，不同處在於潤滑件27的設置方式。

在本實施例中，各活塞桿262的外周面263與對應活塞孔253的內周面255各自設置有一潤滑件27，兩個潤滑件27分別套固於外周面263及固定在內周面255並且液密地相互抵接在一起，藉此，同樣能達到使活塞桿237順暢地在活塞孔253內移動的功效。

參閱圖12，是本新型氣動式液體輸送裝置的第四實施例，其整體結構與作動方式大致與第一實施例相同，不同處在於各活塞26的活塞桿262與旋轉缸體25至少其中之一為一潤滑件。

藉由各活塞26的活塞桿262為潤滑件、或者旋轉缸體25為潤滑件，或者前述兩者皆為潤滑件的設計方式，前述潤滑件可以是由潤滑性佳的石墨材質所製成或者是耐磨性佳的銅材質所製成，使得各活塞26的活塞桿262同樣能順暢地在活塞孔253內移動。藉此，能省略如圖7所示的潤滑件27，以降低結構設計複雜度。

參閱圖13，是本新型氣動式液體輸送裝置的第五實施例，其整體結構與作動方式大致與第一實施例相同，不同處在於第二外殼段21設置於第一外殼段11方式。

在本實施例中，第二外殼段21的殼體210一體成型於第一外殼段11的氣缸體110一側，使兩者共同構成單一殼體結構。在其他實施方式中，第二外殼段21與第一外殼段11之間的設置或連接方式也可依照實際需求而有不同的變化設計，只要第二外殼段21與第一外殼段11兩者可分別界定出容室212和腔室113即可，不以上述舉例的一體成型方式為限。

綜上所述，各實施例的氣動式液體輸送裝置100，藉由氣動式旋轉驅動器1採用氣動馬達的方式，能提升使用上的安全性。此外，氣動式旋轉驅動器1的轉軸12轉速可隨著負載而改變，藉此，能避免系統負載過大或超載造成氣動式旋轉驅動器1損壞以及排液管產生破裂。另一方面，藉由液壓泵2採用斜盤式軸向活塞泵的方式，能降低液體排出時產生的脈動而使排出壓力穩定，且體積小的液壓泵2便能達到所需求的高增壓比，能縮小氣動式液體輸送裝置100整體的體積以降低其所佔據的空間，故確實能達成本新型之目的。

惟以上所述者，僅為本新型之實施例而已，當不能以此限定本新型實施之範圍，凡是依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。

100‧‧‧氣動式液體輸送裝置
1‧‧‧氣動式旋轉驅動器
11‧‧‧第一外殼段
110‧‧‧氣缸體
111‧‧‧第一密封蓋
112‧‧‧第二密封蓋
113‧‧‧腔室
114‧‧‧進氣孔
115‧‧‧排氣孔
116‧‧‧第一穿孔
12‧‧‧轉軸
121‧‧‧第一軸段
122‧‧‧第二軸段
123‧‧‧樞軸部
124‧‧‧套筒
125‧‧‧凹槽
126‧‧‧栓槽部
13‧‧‧致動單元
131‧‧‧葉片
14‧‧‧接合單元
141‧‧‧螺栓
142‧‧‧螺帽
2‧‧‧液壓泵
21‧‧‧第二外殼段
210‧‧‧殼體
211‧‧‧端蓋
212‧‧‧容室
213‧‧‧進液通道
214‧‧‧排液通道
215‧‧‧第二穿孔
216‧‧‧容置槽
217‧‧‧進液槽
218‧‧‧進液孔
219‧‧‧排液槽
220‧‧‧排液孔
23‧‧‧液體傳輸單元
24‧‧‧斜盤
241‧‧‧貫穿孔
242‧‧‧盤面
25‧‧‧旋轉缸體
251‧‧‧栓槽孔
252‧‧‧缸室
253‧‧‧活塞孔
254‧‧‧開孔
255‧‧‧內周面
26‧‧‧活塞
261‧‧‧滑塊
262‧‧‧活塞桿
263‧‧‧外周面
27‧‧‧潤滑件
28‧‧‧閥板
281‧‧‧吸入槽
282‧‧‧排出槽
29‧‧‧角度調整總成
290‧‧‧氣室
291‧‧‧伸縮單元
292‧‧‧彈性連接單元
293‧‧‧活塞
294‧‧‧樞接件
295‧‧‧固定桿
296‧‧‧活動桿
297‧‧‧壓縮彈簧
298‧‧‧樞接件
30‧‧‧固持板
A‧‧‧角度
D1‧‧‧孔徑
D2‧‧‧孔徑
F‧‧‧徑向面
R‧‧‧旋轉方向

本新型之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中： 圖1是本新型氣動式液體輸送裝置的第一實施例的一前視圖，說明一第二外殼段的一殼體與一第一外殼段的一氣缸體透過一接合單元接合在一起； 圖2是一立體分解圖，說明該第一實施例的一氣動式旋轉驅動器的細部結構； 圖3是沿圖1中的S1－S1線所截取的一剖視圖，說明各葉片被氣體施壓而帶動一第一軸段旋轉； 圖4是該第一實施例的一不完整的局部剖視圖，說明一液壓泵的細部結構； 圖5是一立體分解圖，說明該第一實施例的該液壓泵的一端蓋與一閥板之間的組裝關係； 圖6是沿圖5中的S2－S2線所截取的一剖視圖； 圖7是該第一實施例的一不完整的局部剖視圖，說明該液壓泵的細部結構； 圖8是該第一實施例的一旋轉缸體的一右側視圖； 圖9是該第一實施例的該閥板組合於該旋轉缸體的一右側視圖，說明該閥板的一吸入槽及一排出槽分別與該旋轉缸體的多個缸室的連通關係； 圖10是本新型氣動式液體輸送裝置的第二實施例的一不完整的局部剖視圖，說明一潤滑件固定在一內周面且液密地抵接於一活塞桿的一外周面； 圖11是本新型氣動式液體輸送裝置的第三實施例的一不完整的局部剖視圖，說明該活塞桿的該外周面與該內周面各自設置有該潤滑件； 圖12是本新型氣動式液體輸送裝置的第四實施例的一不完整的局部剖視圖，說明該活塞桿與該旋轉缸體至少其中之一為一潤滑件；及 圖13是本新型氣動式液體輸送裝置的第五實施例的一前視圖，說明該第二外殼段的該殼體一體成型於該第一外殼段的該氣缸體一側。

Claims (10)

1. 一種氣動式液體輸送裝置，包含： 一氣動式旋轉驅動器，包括一第一外殼段、一轉軸，及一致動單元，該第一外殼段界定一用以供一氣體流入的進氣孔，及一用以供該氣體流出的排氣孔，該轉軸包含一第一軸段，及一由該第一軸段一端軸向延伸而出的第二軸段，該第一軸段可轉動地樞接於該第一外殼段且位於該第一外殼段內，該第二軸段凸伸出該第一外殼段，該致動單元設置於該第一軸段並透過該氣體帶動而致動該轉軸旋轉；及 一液壓泵，包括一第二外殼段，及一液體傳輸單元，該第二外殼段設置於該第一外殼段一側並界定一用以供一液體流入的進液通道，及一用以排出該液體的排液通道，該第二軸段可轉動地樞接於該第二外殼段並且位於該第二外殼段內，該液體傳輸單元位於該第二外殼段內且設置於該第二軸段，該第二軸段用以帶動該液體傳輸單元運轉，使該液體傳輸單元吸取經由該進液通道所流入的該液體並且將其加壓後排出至該排液通道。
2. 如請求項1所述的氣動式液體輸送裝置，其中，該液體傳輸單元包含一斜盤、一旋轉缸體，及多個活塞，該斜盤套設於該第二軸段，該旋轉缸體固定於該第二軸段且位於該斜盤與該進液、排液通道之間並形成有多個環繞該第二軸段的缸室，各該活塞一端可滑動地接觸於該斜盤而另一端可移動地穿設於對應的該缸室內，當該旋轉缸體被該第二軸段帶動旋轉時，該旋轉缸體會帶動各該活塞轉動且各該活塞會同時於對應的該缸室內往復移動以改變其容積，使對應的該缸室能通過該進液通道吸取該液體並通過該排液通道排出。
3. 如請求項2所述的氣動式液體輸送裝置，其中，各該活塞包括一外周面，各該缸室是由該旋轉缸體的一內周面界定而出，該外周面與該內周面至少其中之一設置有一潤滑件。
4. 如請求項2所述的氣動式液體輸送裝置，其中，各該活塞與該旋轉缸體至少其中之一為一潤滑件。
5. 如請求項2所述的氣動式液體輸送裝置，其中，該液體傳輸單元還包含一閥板，該閥板設置於該旋轉缸體相反於該斜盤的一側與該進液、排液通道之間，該閥板形成有一吸入槽，及一排出槽，該吸入槽與該進液通道相連通且位於各該缸室的轉動路徑上，當任一個該缸室與該吸入槽連通時會通過該吸入槽吸取該液體，該排出槽與該排液通道相連通且位於各該缸室的轉動路徑上，當任一個該缸室與該排出槽連通時會通過該排出槽排出該液體。
6. 如請求項5所述的氣動式液體輸送裝置，其中，該進液通道具有一與該吸入槽相連通的進液槽，及一與該進液槽相連通的進液孔，該排液通道具有一與該排出槽相連通的排液槽，及一與該排液槽相連通的排液孔，該進液孔的孔徑大於該排液孔的孔徑。
7. 如請求項2所述的氣動式液體輸送裝置，其中，該斜盤具有一供各該活塞一端滑動接觸的盤面，該盤面與一垂直於該第二軸段的徑向面之間夾一角度，該液體傳輸單元還包含一設置於該第二外殼段與該斜盤之間用以調整該角度的角度調整總成。
8. 如請求項7所述的氣動式液體輸送裝置，其中，該角度調整總成能將該角度調整至介於10度至60度之間的任一角度。
9. 如請求項1所述的氣動式液體輸送裝置，其中，該第一外殼段包含一氣缸體，該氣缸體具有該進氣孔及該排氣孔，該第一軸段偏心地穿設於該氣缸體內，該第一軸段外表面徑向凹陷形成有多個凹槽，該致動單元包含多個分別穿設於該等凹槽且呈放射狀相間隔排列的葉片，各該葉片可沿該第一軸段的徑向於對應的該凹槽內伸縮移動。
10. 如請求項1所述的氣動式液體輸送裝置，其中，該第二外殼段一體成型於該第一外殼段一側。