TWI900231B - 示教支援裝置、示教支援方法以及示教支援程序 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠縮短決定禁止區域的位置的時間的示教支援裝置。示教支援裝置(30)是使機器人(10)的模型的圖像顯示在顯示器(21)的裝置，所述機器人(10)具有臂(12)和連接在臂(12)的手(14)。示教支援裝置(30)包括設定器(321)、受理器(322)、判定器(326)、導出器(323)和圖像生成器(324)，所述設定器(321)對將機器人(10)模型化的機器人模型(10m)和機器人模型(10m)的不是動作區域的禁止區域進行設定，所述受理器(322)受理禁止區域的改變，所述判定器(326)判定機器人模型(10m)和禁止區域的干擾，所述導出器(323)導出機器人模型(10m)的姿勢，所述圖像生成器(324)生成禁止區域以及機器人模型(10m)的圖像。當經由受理器(322)禁止區域被改變時，圖像生成器(324)生成被改變而移動的禁止區域的圖像。當判定器(326)判定機器人模型(10m)和改變後的禁止區域的干擾時，導出器(323)導出不干擾禁止區域的機器人模型(10m)的姿勢，且圖像生成器(324)將圖像中的機器人模型(10m)的姿勢改變為被導出器(323)導出的姿勢。

Description

示教支援裝置、示教支援方法以及示教支援程序

本發明關於示教支援裝置、示教支援方法以及示教支援程序。

至今為止，確認機器人的姿勢的示教支援裝置被眾所周知。例如，專利文獻1中所公開的示教支援裝置藉由根據從所設定的起點以及終點所求出的動作軌跡在觸控螢幕上再現機器人模型的動作，來確認機器人模型的動作。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本專利第6526098號公報

不過，在所述那樣的示教支援裝置中，在用戶設定了機器人模型的一個起點以及一個終點之後，顯示機器人模型的動作。這裡，有時用戶想改變機器人模型的不是動作區域的禁止區域。此時，用戶為了找到禁止區域的適當位置，需要確認禁止區域的多個位置。也就是說，用戶需要一個一個地設定禁止區 域，有關不干擾禁止區域的姿勢是否可能，需要一個一個地確認機器人模型的姿勢。因此，當根據機器人模型的姿勢來決定禁止區域的位置時，決定禁止區域的位置的時間增加。

鑒於所述內容，本發明的目的在於縮短決定禁止區域的位置的時間。

本發明的示教支援裝置是使機器人的模型的圖像顯示在顯示器的示教支援裝置，所述機器人具有臂和連接在所述臂的末端執行器，所述示教支援裝置包括設定器、受理器、判定器、導出器和圖像生成器，所述設定器對將所述機器人模型化的機器人模型和所述機器人模型的不是動作區域的禁止區域進行設定，所述受理器受理所述禁止區域的改變，所述判定器判定所述機器人模型和所述禁止區域的干擾，所述導出器導出所述機器人模型的姿勢，所述圖像生成器生成所述禁止區域以及所述機器人模型的圖像，當經由所述受理器所述禁止區域被改變時，所述圖像生成器生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，當所述判定器判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，所述導出器導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的姿勢且所述圖像生成器將所述圖像中的所述機器人模型的姿勢改變為被所述導出器導出的姿勢。

本發明的示教支援方法是使機器人的模型的圖像顯示在顯示器的示教支援方法，所述機器人具有臂和連接在所述臂的末端執行器，本發明的所述示教支援方法包括對將所述機器人模型化的機器人模型和所述機器人模型的不是動作區域的禁止區域進行設定的步驟、受理所述禁止區域的改變的步驟、判定所述機器人模型和所述禁止區域的干擾的步驟、導出所述機器人模型的姿勢，當判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，還導出不干擾所述 禁止區域的所述機器人模型的姿勢的步驟以及生成所述禁止區域以及所述機器人模型的圖像，當所述禁止區域被改變時，還生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，當判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，還將所述圖像中的所述機器人模型的姿勢改變為所述被導出的姿勢的步驟。

本發明的所述示教支援程序是使機器人的模型的圖像顯示在顯示器的示教支援程序，所述機器人具有臂和連接在所述臂的末端執行器，所述示教支援程序使計算機實現對將所述機器人模型化的機器人模型和所述機器人模型的不是動作區域的禁止區域進行設定的功能、受理所述禁止區域的改變的功能、判定所述機器人模型和所述禁止區域的干擾的功能、導出所述機器人模型的姿勢，當判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，還導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的姿勢的功能以及生成所述禁止區域以及所述機器人模型的圖像，當所述禁止區域被改變時，還生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，當判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，還將所述圖像中的所述機器人模型的姿勢改變為所述被導出的姿勢的功能。

藉由所述示教支援裝置、所述示教支援方法以及所述示教支援程序，能夠縮短決定禁止區域的位置的時間。

1:無塵室

2:筐體

2m:筐體模型

4:前開式晶圓傳送盒

4m:前開式晶圓傳送盒模型

5:處理裝置

5m:處理裝置模型

6:干擾物

6m:干擾物模型

10:機器人

10m:機器人模型

12,12m:臂

14,14m:手(末端執行器)

14a,14am:第一手(第一末端執行器)

14b,14bm:第二手(第二末端執行器)

21:顯示器

30:示教支援裝置

311:示教支援程序

321:設定器

322:受理器

323:導出器

324:圖像生成器

325:警報器

326:判定器

圖1是表示包含實施方式所關於的示教支援裝置的示教支援系統的概略圖。

圖2是表示在無塵室使用的機器人的概略圖。

圖3是表示示教支援裝置的結構的方塊圖。

圖4是表示顯示在顯示器的各個模型的圖像的圖。

圖5是表示示教支援裝置的動作的流程圖。

圖6是表示包含初始規格的筐體模型的圖像的圖。

圖7是表示改變干擾物模型的位置之前的圖像的圖。

圖8是表示改變了干擾物模型的位置之後的圖像的圖。

圖9是表示由於機器人模型和干擾物模型正干擾而改變了機器人模型的顯示的圖像的圖。

圖10是表示姿勢被改變的機器人模型的圖像的圖。

圖11是表示在變形例1所關於的示教支援裝置中由於機器人模型和干擾物模型正干擾而改變了機器人模型的顯示的圖像的圖。

圖12是表示在變形例1所關於的示教支援裝置中姿勢被改變的機器人模型的圖像的圖。

圖13是表示在變形例2所關於的示教支援裝置中由於機器人模型和干擾物模型正干擾而改變了機器人模型的顯示的圖像的圖。

圖14是表示在變形例2所關於的示教支援裝置中種類被改變的機器人模型的圖像的圖。

圖15是表示顯示在顯示器的各個模型的三維圖像的圖。

以下，根據附圖對示例的實施方式進行詳細說明。圖1是表示包含實施方式所關於的示教支援裝置30的示教支援系統20的概略圖。示教支援 系統20用於根據將機器人模型化的機器人模型的圖像等來決定使用機器人的場所的佈局。示教支援系統20包含示教支援裝置30、顯示器21和滑鼠22。

示教支援裝置30生成機器人模型的圖像等，將所生成的圖像顯示在顯示器21。顯示器21接收來自示教支援裝置30的訊號，顯示圖像。顯示器21例如是液晶顯示器或有機EL顯示器。滑鼠22受理來自用戶的輸入操作。滑鼠22將響應於輸入操作的訊號輸出到示教支援裝置30。滑鼠22是輸入裝置的一個例子。

圖2是表示在無塵室1使用的機器人10的概略圖。圖2所示的機器人10是示教支援裝置30作為對象的機器人的一個例子。機器人10是水平多關節機器人(標量型機器人)。機器人10具有基座11、臂12和手14，所述臂12連接在基座11，所述手14連接在臂12。臂12在水平方向可旋轉地連接在基座11。臂12具有彼此連接的多個連桿13。手14是末端執行器的一個例子。

臂12由兩根連桿13構成。兩根連桿13彼此在水平方向可旋轉地連接著。兩根連桿13從基座11側依次成為第一連桿13a、第二連桿13b。第一連桿13a以在垂直方向延伸的第一軸心L1為中心可旋轉地連接在基座11。第二連桿13b以在垂直方向延伸的第二軸心L2為中心可旋轉地連接在第一連桿13a。當不區分第一連桿13a和第二連桿13b時，簡單地稱為“連桿13”。

機器人10具有兩個手14即第一手14a以及第二手14b。第一手14a是第一末端執行器的一個例子，第二手14b是第二末端執行器的一個例子。第一手14a與第二手14b相比更位於下側。第一手14a以及第二手14b的每一個的基本結構彼此相同。手14的形狀是在水平方向擴展的板狀，手14的前端的形狀是叉狀。也就是說，手14的形狀在朝向其厚度方向來看時大致是Y字形。第 一手14a以及第二手14b以在垂直方向延伸的第三軸心L3為中心可旋轉地連接在第二連桿13b。第一軸心L1、第二軸心L2以及第三軸心L3彼此平行地延伸著。在不區分第一手14a和第二手14b時，簡單地稱為“手14”。

第一連桿13a、第二連桿13b、第一手14a以及第二手14b以該順序從下向上堆積。雖然無圖示，機器人10具有旋轉驅動兩根連桿13以及兩個手14的多個馬達。機器人10將作為對象物的基板S不固定地載置在手14的上表面來進行運送。也就是說，對象物僅載置在手14的上表面，沒有被固定。

無塵室1包括筐體2，機器人10配置在筐體2內。無塵室1被用於例如EFEM(Equipment Front End Module)。筐體2是大致長方體形狀。筐體2的內部是被潔淨的空間。機器人10在無塵室1內運送基板S。例如，基板S是圓盤狀的半導體晶圓。

在筐體2從筐體2的外側安裝多個前開式晶圓傳送盒(FOUP：Front Opening Unified Pod)4和多個處理裝置5。在該例子中，3個前開式晶圓傳送盒4和兩個處理裝置5設置在筐體2。多個前開式晶圓傳送盒4配置在筐體2中的一側壁。多個處理裝置5在筐體2中配置在側壁，該側壁與配置有前開式晶圓傳送盒4的側壁對著。前開式晶圓傳送盒4以及處理裝置5的每一個的內部成為與筐體2的內部可連通。前開式晶圓傳送盒4收納基板S。前開式晶圓傳送盒4例如在水平狀態下在垂直方向以隔開相等間隔地收納多個基板S。處理裝置5處理基板S。處理裝置5是對基板S進行例如熱處理、雜質導入處理、薄膜形成處理等各種處理的處理裝置。

機器人10在前開式晶圓傳送盒4和處理裝置5之間運送基板S。也就是說，臂12以及手14在前開式晶圓傳送盒4和處理裝置5之間運送基板 S。筐體2、前開式晶圓傳送盒4以及處理裝置5的內部的區域相當於機器人10的可動作區域。

也可以在筐體2內配置干擾物6。干擾物6是靜態或動態的干擾物。靜態的干擾物6是例如柱子、螺絲、配線蓋等靜止的干擾物。動態的干擾物6是例如其他機器人、百葉窗等移動的干擾物。

示教支援裝置30使機器人10的模型的圖像顯示在顯示器21，所述機器人10具有臂12和連接在臂12的手14。示教支援裝置30還使顯示器21顯示機器人10的模型的動作區域和機器人10的模型的不是動作區域的禁止區域。示教支援裝置30當由用戶使禁止區域被改變時，生成被改變而移動的禁止區域的圖像。示教支援裝置30在改變後的禁止區域干擾到機器人10的模型時，生成不干擾禁止區域的機器人10的模型的圖像。圖3是表示示教支援裝置30的結構的方塊圖。示教支援裝置30具有儲存裝置31、處理器32和記憶體33。

處理器32進行各種運算處理。例如，處理器32用CPU(中央處理器)等處理器形成。處理器32也可以用MCU(微控制器單元)、MPU(微處理器单元)、FPGA(現場可編程門陣列)、PLC(可編程邏輯控制器)、系統LSI等形成。

儲存裝置31儲存有用處理器32執行的各種程序以及各種數據。儲存裝置31用非易失性記憶體、HDD(硬盤驅動器)或SSD(固態驅動器)等形成。儲存裝置31儲存有示教支援程序311等控制程序。示教支援程序311是用於使計算機即示教支援裝置30實現生成使顯示在顯示器21的機器人10的模型等的圖像的各種功能的示教支援程序。示教支援程序311例如以遺傳演算法作為基礎構建。

記憶體33暫時儲存數據等。例如，記憶體33用易失性記憶體形成。

處理器32藉由將示教支援程序311等控制程序從儲存裝置31讀入記憶體33並展開，來實現各種功能。具體而言，處理器32將設定器321、受理器322、導出器323、圖像生成器324和判定器326作為功能塊具有。處理器32還可以將警告器325作為功能塊具有。

設定器321對將機器人10模型化的機器人模型10m和機器人模型10m的不是動作區域的禁止區域進行設定。設定器321作為禁止區域設定將筐體2模型化的筐體模型2m和將干擾物6模型化的干擾物模型6m。詳細而言，筐體模型2m的內側是動作區域，筐體模型2m的外側是禁止區域。干擾物模型6m的內側是禁止區域。設定器321還設定將前開式晶圓傳送盒4模型化的前開式晶圓傳送盒模型4m和將處理裝置5模型化的處理裝置模型5m。這裡，對各個模型進行說明。圖4是表示顯示在顯示器21的各個模型的圖像的概略圖。圖4所示的圖像與圖2所示的佈局相對應。

機器人模型10m包含將機器人10的臂12以及手14模型化的要素。對機器人模型10m的各個要素賦予符號，該符號是對機器人10的相對應的要素的符號加上了“m”的符號。即，機器人模型10m具有臂12m和手14m。臂12m包含連桿13m，參照圖7，連桿13m包含第一連桿13am和第二連桿13bm。參照圖7，手14m包含第一手14am和第二手14bm。機器人模型10m還包含載置在手14m的基板Sm。在第一手14am以及第二手14bm的每一個載置有基板Sm。機器人模型10m省略了機器人10的基座11。在不區分第一連桿13am和 第二連桿13bm時，簡單地稱為“連桿13m”。在不區分第一手14am和第二手14bm時，簡單地稱為“手14m”。

機器人模型10m的位置由例如第一連桿13am的旋轉中心即第一軸心L1的位置定義。需要說明的是，機器人模型10m的位置既可以由第一連桿13am的角度等的位置定義，或者，當機器人10的基座11被模型化時，也可以由被模型化的基座的位置定義。

筐體模型2m將筐體2的側周壁即筐體2的平面形狀模型化。

前開式晶圓傳送盒模型4m將前開式晶圓傳送盒4的側周壁即前開式晶圓傳送盒4的平面形狀模型化。在3個前開式晶圓傳送盒模型4m的內部分別設定有目標位置P1、P2、P3。目標位置P1、P2、P3的每一個是前開式晶圓傳送盒模型4m中的手14m的目標位置。在該例子中，手14m的位置用載置在手14m的基板Sm的中心位置定義，前開式晶圓傳送盒模型4m中的手14m的目標位置用收納在前開式晶圓傳送盒模型4m的基板Sm的中心位置定義。即，將前開式晶圓傳送盒模型4m內的基板Sm載置在手14m時的手14m的位置是前開式晶圓傳送盒模型4m中的手14m的目標位置。

處理裝置模型5m將處理裝置5的側周壁即處理裝置5的平面形狀模型化。在兩個處理裝置模型5m的內部分別設定有目標位置P4、P5。目標位置P4、P5的每一個是處理裝置模型5m中的手14m的目標位置。在該例子中，手14m的位置用載置在手14m的基板Sm的中心位置定義，處理裝置模型5m中的手14m的目標位置用收納在處理裝置模型5m的基板Sm的中心位置定義。即，將處理裝置模型5m內的基板Sm載置在手14m時的手14m的位置是處理裝置模型5m中的手14m的目標位置。

干擾物模型6m將干擾物6的平面形狀模型化。

設定器321在模型的設定時，設定各個模型的規格(參數)。具體而言，設定器321關於筐體模型2m的規格，設定筐體的位置、平面形狀、側周壁的個數以及側周壁的大小等。設定器321關於機器人模型10m的規格，設定機器人模型10m相對於筐體模型2m的相對位置、連桿13m的數量、連桿13m的長度、手14m的數量、手14m的大小以及手14m的形狀等。設定器321關於前開式晶圓傳送盒模型4m的規格，設定前開式晶圓傳送盒模型4m的數量、大小、形狀以及相對於筐體模型2m的相對位置等。設定器321關於處理裝置模型5m的規格，設定處理裝置模型5m的數量、大小、形狀以及相對於筐體模型2m的相對位置等。設定器321關於干擾物模型6m，設定數量、大小、形狀以及相對於筐體模型2m的相對位置等。

各個模型的規格包含有可改變的規格。設定器321能夠改變所述各個模型的規格的至少之一。例如，設定器321關於機器人模型10m，能夠改變連桿13m的數量或連桿13m的長度等。設定器321響應於來自用戶的輸入來改變可改變的規格。與來自用戶的各個模型的規格有關的輸入被輸入到受理器322。設定器321響應於與被受理器322受理的規格有關的輸入，來設定各個模型的規格。設定器321在關於可改變的規格，沒有來自用戶的輸入時，將可改變的規格設定為初始設定。

圖像生成器324生成禁止區域以及機器人模型10m等的圖像，將所生成的圖像輸出到顯示器21。詳細而言，圖像生成器324生成機器人模型10m、筐體模型2m、前開式晶圓傳送盒模型4m、處理裝置模型5m以及干擾物模型 6m的圖像。此時，圖像生成器324生成由設定器321所設定的模型的圖像。所生成的圖像顯示在顯示器21。

受理器322受理禁止區域的改變。設定器321設定經由受理器322而被改變了的禁止區域。具體而言，受理器322經由滑鼠22受理與來自用戶的禁止區域有關的輸入。當受理器322受理禁止區域的改變時，設定器321將禁止區域更新為改變後的禁止區域。禁止區域的改變是指例如禁止區域的追加、禁止區域的形狀的變形、禁止區域的位置的移動。

用戶對滑鼠22進行操作，由顯示在顯示器21的游標Q選擇干擾物模型6m且進行拖曳使其移動。受理器322將經由滑鼠22的、對於干擾物模型6m的拖曳操作作為禁止區域的改變受理。由於藉由拖曳操作，干擾物模型6m的位置被連續改變，因此由滑鼠22對干擾物模型6m進行的拖曳操作是禁止區域的連續改變。也可以是用戶對滑鼠22進行操作，在圖像中重新配置干擾物模型6m。干擾物模型6m的重新配置是新的禁止區域的輸入。同樣，用戶也可以對滑鼠22進行操作，藉由顯示在顯示器21的游標Q選擇筐體模型2m且進行拖曳使形狀發生變化。受理器322將經由滑鼠22的、對於筐體模型2m的拖曳操作作為禁止區域的改變受理。由於藉由拖曳操作，使得筐體形狀2m的形狀連續發生變化，因此由滑鼠22對筐體模型2m進行的拖曳操作是禁止區域的連續改變。

判定器326判定機器人模型10m和禁止區域的干擾。例如，當經由受理器322使禁止區域被改變時，判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾。

導出器323導出機器人模型10m的姿勢。具體而言，導出器323對機器人模型10m的手14m位於目標位置或其它位置時的機器人模型10m的姿勢進行導出。其它位置是指包含在手14m到達目標位置之前經由的經由位置。例如，手14m在到達前開式晶圓傳送盒模型4m以及處理裝置模型5m的每一個之前在經由位置待機。具體而言，由於在實際的無塵室1中，前開式晶圓傳送盒4以及處理裝置5具有百葉窗，因此手14在百葉窗打開為止在經由位置待機。對前開式晶圓傳送盒模型4m以及處理裝置模型5m也設定經由位置，以對應於前開式晶圓傳送盒4以及處理裝置5的經由位置。導出器323在筐體模型2m、前開式晶圓傳送盒模型4m以及處理裝置模型5m的區域內導出機器人模型10m的姿勢。導出器323考慮到第一連桿13am、第二連桿13bm、第一手14am以及第二手14bm的可旋轉角度等條件導出機器人模型10m的姿勢。以下，將“手14m位於目標位置時的機器人模型10m的姿勢”還簡單地稱為“目標姿勢”。例如，導出器323作為機器人模型10m的目標姿勢，對第一手14am位於目標位置且第二手14bm位於動作區域內的規定位置時的機器人模型10m的姿勢進行導出。

導出器323導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。導出器323在由設定器321所設定的禁止區域被改變，判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，重新導出不干擾被改變的禁止區域的機器人模型10m的姿勢。

圖像生成器324生成禁止區域以及機器人模型10m的圖像。圖像生成器324將所生成的圖像輸出到顯示器21。圖像生成器324作為禁止區域的圖像，生成筐體模型2m的圖像和干擾物模型6m的圖像。圖像生成器324作為目標位置的圖像，還生成前開式晶圓傳送盒模型4m的圖像和處理裝置模型5m 的圖像。圖像生成器324將筐體模型2m的圖像、前開式晶圓傳送盒模型4m的圖像、處理裝置模型5m的圖像、干擾物模型6m的圖像以及機器人模型10m的圖像合成。圖像生成器324將所合成的圖像輸出到顯示器21。

圖像生成器324在由導出器323導出了機器人模型10m的目標姿勢時，生成目標姿勢的機器人模型10m的圖像。也就是說，在所生成的圖像中，機器人模型10m的手14m位於目標位置，機器人模型10m的臂12m成為實現向目標位置的手14m的配置的姿勢。圖像生成器324當由導出器323更新目標姿勢後，生成更新後的目標姿勢的機器人模型10m的圖像。

圖像生成器324在經由受理器322使禁止區域被改變時，生成被改變而移動的禁止區域的圖像。換句話說，圖像生成器324生成被改變的禁止區域的移動的圖像(移動圖像)。圖像生成器324在判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為由導出器323所導出的、不干擾禁止區域的姿勢。

如上所述，受理器322可受理禁止區域的連續輸入即連續改變。那時，設定器321響應於禁止區域的連續改變來逐次更新被改變的禁止區域。圖像生成器324逐次生成被更新的禁止區域的圖像。其結果是圖像生成器324在經由受理器322使禁止區域被改變時，生成被改變而移動的禁止區域的圖像。也就是說，圖像生成器324生成禁止區域的動圖像。圖像生成器324將被改變而移動的禁止區域的圖像輸出到顯示器21。

此時，判定器326逐次判定被逐次更新的禁止區域和機器人模型10m的干擾。當禁止區域的改變使得機器人模型10m和禁止區域干擾時，導出器323對不干擾被改變的禁止區域的機器人模型10m的目標姿勢進行導出。圖 像生成器324生成被導出器323導出的目標姿勢的機器人模型10m的圖像。其結果是圖像生成器324將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為被導出器323導出的姿勢。也就是說，圖像生成器324將干擾到禁止區域之前的機器人模型10m的圖像向迴避與改變後的禁止區域的干擾的機器人模型10m的圖像改變。圖像生成器324將被改變的機器人模型10m的圖像輸出到顯示器21。

例如，作為由圖像生成器324生成的姿勢發生變化的機器人模型10m的圖像，機器人模型10m的位置和位於目標位置的第一手14am的位置不發生變化且臂12m或第二手14bm的姿勢發生變化，從而使得機器人模型10m的姿勢發生變化。或者，機器人模型10m的位置發生變化，第一手14am的位置不發生變化且臂12m或第二手14bm的姿勢發生變化，從而使得機器人模型10m的姿勢發生變化。

警報器325在判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，向用戶報知機器人模型10m干擾到禁止區域。具體而言，警報器325在向用戶報知時，使圖像生成器324改變機器人模型10m的顯示。例如，警報器325使禁止區域被改變而干擾到禁止區域時的機器人模型10m的顯示色彩與禁止區域被改變而沒有干擾到禁止區域時的機器人模型10m的顯示色彩相比，發生改變。作為一個例子，使正干擾時的機器人模型10m的顯示色彩為紅色，使沒有干擾時的機器人模型10m的顯示色彩為藍色。

其次，一邊參照圖5的流程圖，一邊說明由示教支援裝置30進行的佈局設定處理。佈局設定處理是指一邊確認機器人模型10m和禁止區域的干擾，一邊決定禁止區域的位置的處理。

首先，在步驟S1中，設定器321進行各個模型的規格的初始設定。具體而言，設定器321進行筐體模型2m的初始設定、目標位置的初始設定、干擾物模型6m的初始設定和機器人模型10m的初始設定。初始設定中的各個模型的規格的一部分預先保存在儲存裝置31，其餘的規格由用戶輸入。也就是說，設定器321根據儲存在儲存裝置31的各個模型的初始規格和受理器322從用戶受理的規格，來進行筐體模型2m、目標位置、干擾物模型6m以及機器人模型10m的初始設定。步驟S1是示教支援方法中的“設定機器人模型10m和禁止區域”的一個例子。

圖像生成器324在初始設定中生成筐體模型2m、目標位置、干擾物模型6m以及機器人模型10m被合成了的圖像，將所生成的圖像顯示在顯示器21。此時，機器人模型10m成為初始姿勢。例如，機器人模型10m的初始姿勢是第一連桿13am以及第二連桿13bm和第一手14am以及第二手14bm在平面視中重疊的姿勢。需要說明的是，也可以是導出器323在初始設定中對手14m位於任意一個目標位置時的機器人模型的姿勢進行導出，圖像生成器324生成被導出的姿勢的機器人模型10m的圖像。

具體而言，設定器321設定大小以及形狀是初始規格的筐體模型2m。如圖6所示，圖像生成器324生成包含初始規格的筐體模型2m(參照實線)的圖像，使所生成的圖像顯示在顯示器21。用戶藉由用滑鼠22對游標Q進行操作，拖曳筐體模型2m的一個頂點，來改變筐體模型2m的大小以及形狀。當受理器322受理由用戶進行的滑鼠22的操作輸入時，設定器321根據由受理器322所受理的操作輸入來設定筐體模型2m的大小以及形狀。與此同時，如圖4所示，圖像生成器324生成所設定的大小以及形狀的筐體模型2m的圖像，使所生 成的圖像顯示在顯示器21。需要說明的是，也可以代替所述滑鼠22的操作，例如，受理器322受理經由由用戶進行的鍵盤等的坐標值的輸入，設定器321根據由受理器322所受理的坐標值來設定筐體模型2m的大小。

設定器321根據用戶的輸入操作，設定目標位置。設定器321作為目標位置，設定前開式晶圓傳送盒模型4m和處理裝置模型5m。具體而言，設定器321設定前開式晶圓傳送盒模型4m和處理裝置模型5m的數量、形狀、大小以及位置。例如，關於前開式晶圓傳送盒模型4m，設定器321設定與形狀以及大小有關的多個選擇項。圖像生成器324生成包含與前開式晶圓傳送盒模型4m的形狀以及大小有關的選擇項的圖像，並顯示在顯示器21。受理器322受理由用戶經由滑鼠22進行的選擇項的選擇。設定器321響應於由受理器322所受理的選擇項來設定前開式晶圓傳送盒模型4m的形狀以及大小。受理器322受理由用戶經由滑鼠22進行的初始位置的指定。設定器321將由受理器322所受理的指定位置作為前開式晶圓傳送盒模型4m的初始位置進行設定。需要說明的是，當前開式晶圓傳送盒模型4m的數量、形狀、大小或初始位置被預先保存在儲存裝置31時，設定器321也可以讀出保存在儲存裝置31的數量、形狀、大小或初始位置進行設定。與處理裝置模型5m有關的設定也與與前開式晶圓傳送盒模型4m有關的設定相同。

當由設定器321設定目標位置後，圖像生成器324生成包含設定了數量、形狀、大小以及位置的前開式晶圓傳送盒模型4m以及處理裝置模型5m的圖像，並顯示在顯示器21。圖像生成器324生成前開式晶圓傳送盒模型4m以及處理裝置模型5m被組入到筐體模型2m的圖像。筐體模型2m和前開式晶圓傳送盒模型4m以及處理裝置模型5m以內部空間連續的方式結合。

設定器321藉由用戶的輸入操作來設定干擾物模型6m。設定器321設定干擾物模型6m的數量、形狀、大小以及位置。具體而言，關於干擾物模型6m，設定器321設定與形狀以及大小有關的多個選擇項。圖像生成器324生成包含與干擾物模型6m的形狀以及大小有關的選擇項的圖像，並顯示在顯示器21。受理器322受理由用戶經由滑鼠22進行的選擇項的選擇。設定器321響應於由受理器322所受理的選擇項來設定干擾物模型6m的形狀以及大小。受理器322受理用戶經由滑鼠22進行的干擾物模型6m的初始位置的指定。設定器321將由受理器322所受理的指定位置作為干擾物模型6m的初始位置設定。需要說明的是，當干擾物模型6m的數量、形狀、大小或初始位置被預先保存在儲存裝置31時，設定器321也可以讀出被保存在儲存裝置31的形狀、大小或初始位置進行設定。需要說明的是，干擾物模型6m的位置也能夠藉由輸入坐標值來進行設定。

在由設定器321設定干擾物模型6m後，圖像生成器324生成包含設定了數量、形狀、大小以及位置的干擾物模型6m的圖像，並顯示在顯示器21。

設定器321藉由用戶的輸入操作來設定機器人模型10m。設定器321設定機器人模型10m的形狀、大小以及位置。具體而言，關於機器人模型10m，設定器321設定與形狀以及大小有關的多個選擇項。圖像生成器324生成包含與機器人模型10m的形狀以及大小有關的選擇項的圖像，並顯示在顯示器21。受理器322受理由用戶經由滑鼠22進行的選擇項的選擇。設定器321響應於由受理器322所受理的選擇項來設定機器人模型10m的形狀以及大小。受理器322受理由用戶經由滑鼠22進行的機器人模型10m的初始位置的指定。設定 器321將由受理器322所受理的指定位置作為機器人模型10m的初始位置設定。需要說明的是，當機器人模型10m的形狀、大小或初始位置被預先保存在儲存裝置31時，設定器321也可以讀出被保存在儲存裝置31的形狀、大小或初始位置進行設定。需要說明的是，機器人模型10m的位置也能夠藉由輸入坐標值來進行設定。

在由設定器321設定機器人模型10m後，圖像生成器324生成包含設定了形狀、大小以及位置的機器人模型10m的圖像，並顯示在顯示器21。

在步驟S2中，受理器322受理目標位置的選擇。用戶預先考慮與所有的目標位置的每一個相對應的機器人模型0m的目標姿勢中的、有可能藉由禁止區域的改變而干擾到禁止區域的機器人模型10m的目標姿勢，選擇與有可能干擾的機器人模型10m的目標姿勢相對應的目標位置。具體而言，受理器322經由滑鼠22等受理目標位置的選擇的輸入。例如，受理器322將對於一個目標位置的點擊操作作為目標位置的選擇的輸入受理。

在步驟S3中，導出器323導出與被選擇的目標位置相對應的機器人模型10m的目標姿勢。在步驟S4中，圖像生成器324生成被導出的目標姿勢的機器人模型10m的圖像，使所生成的圖像顯示在顯示器21。

具體而言，如圖4所示，用戶用滑鼠22對游標Q進行操作，指定目標位置P1的前開式晶圓傳送盒模型4m。這樣一來，受理器322受理由用戶對滑鼠22進行的操作輸入，導出器323對機器人模型10m的第一手14am的基板Sm位於被指定的前開式晶圓傳送盒模型4m時的機器人模型10m的姿勢進行導出。導出器323對不干擾筐體模型2m以及干擾物模型6m即禁止區域的機器人模型10m的目標姿勢進行導出。圖像生成器324根據由導出器323導出 的機器人模型10m的姿勢來生成與被指定的前開式晶圓傳送盒模型4m相對應的目標姿勢的機器人模型10m的圖像。如圖7所示，所生成的圖像顯示在顯示器21。

在步驟S5中，受理器322判定是否受理了禁止區域的改變。具體而言，受理器322判定是否有了經由滑鼠22等的、禁止區域的改變的輸入。例如，受理器322將對於一個禁止區域的拖曳操作作為禁止區域的改變的輸入受理。當沒有禁止區域的改變的輸入時，受理器322在步驟S6中，判定是否有佈局的確定輸入。例如，在顯示器21顯示有用於確定佈局的確定按鈕。藉由用戶經由滑鼠22點擊確定按鈕，受理器322受理佈局的確定輸入。當受理器322受理了佈局的確定輸入時，設定器321將現在的佈局即各個模型的設定保存在儲存裝置31，佈局設定處理完成。當沒有佈局的確定輸入時，受理器322返回到步驟S5。受理器322週期性地重複步驟S5和步驟S6，對禁止區域的改變或佈局的確定輸入進行待機。需要說明的是，藉由確定按鈕的點擊作為佈局的確定，也可以代替確定按鈕的點擊，或者，除了確定按鈕的點擊之外，當沒有禁止區域的改變的輸入的時間超過一定時間時，作為佈局的確定。

當在步驟S5中受理器322受理了禁止區域的改變時，在步驟S7中，設定器321設定由受理器322受理的改變後的禁止區域。在步驟S8中，圖像生成器324生成被改變的禁止區域的圖像，使所生成的改變後的禁止區域的圖像顯示在顯示器21。步驟S5是示教支援方法中的“受理禁止區域的改變”的一個例子。步驟S8是示教支援方法中的“禁止區域被改變時，生成被改變而移動的禁止區域的圖像”的一個例子。

在步驟S9中，判定器326判定機器人模型10m和禁止區域的干擾。步驟S9是示教支援方法中的“判定機器人模型10m和禁止區域的干擾”的一個例子。

當在步驟S9中機器人模型10m和禁止區域不干擾時，在步驟S10中，受理器322判定禁止區域的改變的受理是否在繼續。具體而言，受理器322判定經由滑鼠22等的、禁止區域的改變的輸入的繼續或停止。例如，受理器322將對於一個禁止區域的拖曳操作的維持作為禁止區域的改變的輸入的繼續受理。另一方面，受理器322將對於一個禁止區域的放置操作作為禁止區域的改變的輸入的停止受理。當在步驟S10中繼續禁止區域的改變的受理時，返回到步驟S7的處理。當在步驟S10中不繼續即停止禁止區域的改變的受理時，返回到步驟S5的處理。

藉由重複步驟S5、步驟S7、步驟S8、步驟S9以及步驟S10或者步驟S7、步驟S8、步驟S9以及步驟S10，使得受理器322可受理禁止區域的連續改變。那時，設定器321響應於禁止區域的連續改變，逐次更新被改變的禁止區域。圖像生成器324逐次生成被更新的禁止區域的圖像。其結果是圖像生成器324生成被改變而移動的禁止區域的圖像。也就是說，圖像生成器324生成禁止區域的動圖像。需要說明的是，當在步驟S10中不繼續禁止區域的改變的受理時，圖像生成器324生成改變的輸入被停止而靜止的禁止區域的圖像。

例如，當作為禁止區域，干擾物模型6m的位置被改變時，如圖8所示，用戶藉由用滑鼠22對游標Q進行操作，如虛線到實線所示，對干擾物模型6m進行拖曳操作，來改變干擾物模型6m的位置。干擾物模型6m的拖曳是來自用戶的干擾物模型6m的位置的連續的(嚴格地說，斷續的)改變的輸入。 因此，設定器321連續設定即改變干擾物模型6m的位置。響應於此，判定器326逐次判定機器人模型10m和干擾物模型6m的干擾。此時，由於機器人模型10m和干擾物模型6m沒有干擾，因此圖像生成器324逐次生成被改變的干擾物模型6m的圖像。其結果是圖像生成器324連續生成變化後的干擾物模型6m的圖像，作為結果，生成干擾物模型6m移動的動圖像。

當在步驟S9中機器人模型10m和禁止區域干擾時，在步驟S11中，警報器325向用戶報知機器人模型10m干擾到禁止區域，進行警報。具體而言，警報器325使圖像生成器324改變機器人模型10m的顯示。例如，圖像生成器324接收來自警報器325的命令，改變機器人模型10m的色彩。

具體而言，如圖9所示，用戶藉由用滑鼠22對游標Q進行操作，如從箭頭的起點的虛線到箭頭的終點的點劃線所示，對干擾物模型6m進行拖曳操作，來改變干擾物模型6m的位置。受理器322在受理由用戶對滑鼠22進行的連續操作輸入後，設定器321根據由受理器322受理的操作輸入來逐次設定干擾物模型6m的位置。判定器326逐次判定機器人模型10m和干擾物模型6m正干擾。圖像生成器324生成被改變而移動的干擾物模型6m的圖像並顯示在顯示器21。

由於在被改變而移動的干擾物模型6m到達實線所示的位置時，機器人模型10m和干擾物模型6m干擾，因此警報器325對於圖像生成器324使與干擾物模型6m正干擾的機器人模型10m的顯示如陰影線所示地那樣改變。陰影線顯示例如在實際的圖像中表現紅色。警報器325使例如與干擾物模型6m正干擾的第二手14bm的基板Sm的顯示改變。

在步驟S12中，受理器322判定禁止區域的改變的受理是否正繼續。具體而言，受理器322判定經由滑鼠22等的、禁止區域的改變的輸入的繼續或停止。例如，受理器322將對於一個禁止區域的拖曳操作的維持作為禁止區域的改變的輸入的繼續受理。另一方面，受理器322將對於一個禁止區域的放置操作作為禁止區域的改變的輸入的停止受理。當在步驟S12中繼續禁止區域的改變的受理時，返回到步驟S7的處理。當在步驟S12中不繼續即停止禁止區域的改變的受理時，進入步驟S13。

在步驟S13中，導出器323導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的目標姿勢。步驟S13是在示教支援方法中的“當判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢”的一個例子。

在步驟S14中，圖像生成器324將圖像中的機器人模型10m的目標姿勢改變為由導出器323導出的目標姿勢。圖像生成器324使被改變的機器人模型10m的圖像顯示在顯示器21。具體而言，圖像生成器324將干擾到禁止區域之前的機器人模型10m的圖像向迴避與改變後的禁止區域的干擾的機器人模型10m的圖像改變。圖像生成器324在警報器325向用戶報知機器人模型10m干擾到禁止區域之後，改變機器人模型10m的圖像。然後，返回到步驟S5的處理。只要禁止區域的改變的受理繼續，就重複步驟S5之後的處理。步驟S14是在示教支援方法中的“當判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為被導出的姿勢”的一個例子。

具體而言，如圖9所示，在警報器325向用戶報知機器人模型10m干擾到干擾物模型6m之後，如圖10所示，導出器323導出不干擾改變後的干 擾物模型6m的機器人模型10m的姿勢。伴隨於此，圖像生成器324生成由導出器323導出的姿勢被改變的機器人模型10m的圖像並顯示在顯示器21。例如，如圖9所示，在用戶對干擾物模型6m進行拖曳操作期間，警報器325使機器人模型10m的顯示改變，藉由用戶在虛線所示的位置對干擾物模型6m進行放置操作，如圖10所示，來使導出器323導出機器人模型10m的姿勢，圖像生成器324生成且輸出改變後的機器人模型10m的圖像。具體而言，導出器323藉由使機器人模型10m的位置和位於目標位置的第一手14am的位置不發生變化且使第二手14bm的姿勢發生變化，來導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。

這樣一來，用戶能夠在顯示器21中一邊改變干擾物模型6m的位置，一邊目視確認為了不干擾干擾物模型6m而姿勢發生變形的機器人模型10m。具體而言，用戶關於與作為目標位置P1的前開式晶圓傳送盒模型4m相對應的目標姿勢的機器人模型10m，能夠確認與干擾物模型6m的干擾。同樣，用戶關於與目標位置P2、P3、P4、P5的每一個相對應的目標姿勢的機器人模型10m，能夠確認與干擾物模型6m的干擾。因此，用戶能夠在根據機器人模型10m的姿勢來決定禁止區域的位置時，縮短決定禁止區域的位置的時間。

藉由所述示教支援裝置30，當經由受理器322禁止區域被改變時，圖像生成器324生成被改變而移動的禁止區域的圖像，當判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出器323導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢，同時，圖像生成器324將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為由導出器323導出的姿勢。這樣一來，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。因此， 用戶能夠在根據機器人模型10m的姿勢來決定禁止區域的位置時，縮短決定禁止區域的位置的時間。

並且，由於包括警報器325，因此當用戶改變禁止區域，機器人模型10m干擾到禁止區域時，用戶能夠由警報器325較容易地得知。並且，用戶能夠在知道了機器人模型10m干擾到禁止區域之後，確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。

並且，警報器325在報知用戶時，使圖像生成器324改變機器人模型10m的顯示。這樣一來，用戶能夠藉由機器人模型10m的顯示的改變較容易地判別機器人模型10m正干擾禁止區域。

並且，由於導出器323導出手14m位於目標位置時的機器人模型10m的姿勢，因此用戶能夠確認手14m位於目標位置時的機器人模型10m的姿勢。

並且，由於機器人模型10m是包含第一手14a以及第二手14b的機器人10的模型，因此機器人模型10m以更複雜的結構的機器人10作為對象。即使對於這樣的複雜的機器人，也能夠縮短決定禁止區域的位置的時間。

並且，機器人模型10m是手14運送基板S的水平多關節機器人10的模型。即使對於這樣的機器人，也能夠縮短決定禁止區域的位置的時間。

並且，當判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出器323使第一手14am的姿勢不發生變化且使第二手14bm的姿勢發生變化，導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。這樣一來，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的第二手14bm的姿勢。

並且，由於禁止區域包含干擾物模型6m的內側的區域，因此用戶能夠作為禁止區域將干擾物6顯示在顯示器21。

並且，由於禁止區域包含筐體模型2m的外側的區域，因此用戶能夠作為禁止區域將筐體2顯示在顯示器21。這樣一來，用戶能夠確認在無塵室1中所用的機器人10的姿勢。因此，能夠確認在動作限制嚴格的環境下所用的機器人10的姿勢。

《變形例1》

在變形例1關於的示教支援裝置中，當判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出器323藉由導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的位置，來導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。

具體而言，如圖11所示，用戶藉由用滑鼠22對游標Q進行操作，如從箭頭的起點的虛線到箭頭的終點的點劃線所示，對干擾物模型6m進行拖曳操作，來改變干擾物模型6m的位置。受理器322在受理由用戶對滑鼠22進行的連續操作輸入後，設定器321根據由受理器322受理的操作輸入來逐次設定干擾物模型6m的位置。判定器326逐次判定機器人模型10m和干擾物模型6m正干擾。圖像生成器324生成被改變而移動的干擾物模型6m的圖像並顯示在顯示器21。

由於在被改變而移動的干擾物模型6m到達實線所示的位置時，機器人模型10m和干擾物模型6m干擾，因此警報器325對於圖像生成器324使與干擾物模型6m正干擾的機器人模型10m的顯示如陰影線所示地那樣改變。具體而言，警報器325使與干擾物模型6m正干擾的第一連桿13am的顯示改變。

然後，用戶藉由在用點劃線示出的位置對干擾物模型6m進行放置操作，如圖12所示，來使導出器323重新導出不干擾改變後的干擾物模型6m的機器人模型10m的目標姿勢。伴隨於此，圖像生成器324生成由導出器323導出的機器人模型10m的圖像並顯示在顯示器21。具體而言，導出器323使機器人模型10m的位置發生變化且使位於目標位置的第一手14am的位置不發生變化，導出不干擾干擾物模型6m的機器人模型10m的姿勢。

藉由變形例1關於的示教支援裝置，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的位置。

《變形例2》

在變形例2關於的示教支援裝置中，當判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出器323藉由導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的種類，來導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。機器人模型10m的種類是指例如連桿13m的長度以及連桿13m的個數不同的機器人模型10m的集合體。機器人模型10m的種類的導出是指從機器人模型10m的集合體選擇規定的機器人模型10m。導出器323例如根據經驗值等預先累積的數據來導出機器人模型10m的適當種類。

具體而言，如圖13所示，用戶藉由用滑鼠22對游標Q進行操作，如從箭頭的起點的虛線到箭頭的終點的點劃線所示，對干擾物模型6m進行拖曳操作，來改變干擾物模型6m的位置。受理器322在受理由用戶對滑鼠22進行的連續操作輸入後，設定器321根據由受理器322受理的操作輸入來逐次設定干擾物模型6m的位置。判定器326逐次判定機器人模型10m和干擾物模 型6m正干擾。圖像生成器324生成被改變而移動的干擾物模型6m的圖像並顯示在顯示器21。

由於在被改變而移動的干擾物模型6m到達實線所示的位置時，機器人模型10m和干擾物模型6m干擾，因此警報器325對於圖像生成器324使與干擾物模型6m正干擾的機器人模型10m的顯示如陰影線所示地那樣改變。具體而言，警報器325使與干擾物模型6m正干擾的第二手14bm的基板Sm的顯示改變。

然後，用戶藉由在用點劃線示出的位置對干擾物模型6m進行放置操作，如圖14所示，來使導出器323重新導出不干擾改變後的干擾物模型6m的機器人模型10m的目標姿勢。伴隨於此，圖像生成器324生成由導出器323導出的機器人模型10m的圖像並顯示在顯示器21。具體而言，導出器323導出增加了連桿13m的個數的機器人模型10m，導出不干擾干擾物模型6m的機器人模型10m的姿勢。詳細而言，導出器323選擇將第三連桿13cm追加到第一連桿13am以及第二連桿13bm的機器人模型10m，導出不干擾干擾物模型6m的機器人模型10m的姿勢。此時，導出器323使機器人模型10m的位置不發生變化且使位於目標位置的第一手14am的位置不發生變化，導出機器人模型10m的姿勢。

藉由變形例2關於的示教支援裝置，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的種類。

《其它實施方式》

如上所述，將所述實施方式作為在本申請中公開的技術的例子進行了說明。但是，本公開的技術並不限定於此，還能夠適用於進行了適當改變、置換、附加、 省略等的實施方式。並且，還能夠將在所述實施方式中所說明的各個構成要素進行組合作為新的實施方式。並且，在記載在附圖以及詳細說明的構成要素中不僅包含了為解決課題所必須的構成要素，為了對所述技術舉例，還可能包含不是為解決課題所必須的構成要素。因此，不應該以那些不是必須的構成要素被記載在附圖以及詳細說明中，而立刻認為那些不是必須的構成要素是必須的。

例如，機器人10的使用場所並不限於處理半導體晶圓的無塵室，也可以是處理其它部件的空間，也就是說，也可以是空氣潔淨度較低的空間。

前開式晶圓傳送盒4以及處理裝置5的數量並不限於所述例子，這些數量也可以增加或減少。伴隨於此，前開式晶圓傳送盒模型4m以及處理裝置模型5m的數量並不限於所述例子，這些數量也可以增加或減少。

機器人10在包含前開式晶圓傳送盒4以及處理裝置5兩者的場所使用，也可以在包含前開式晶圓傳送盒4或處理裝置5的任意之一的場所使用。也就是說，設定器321也可以僅設定前開式晶圓傳送盒模型4m或處理裝置模型5m的任意之一。例如，當機器人在分類機使用時，機器人在前開式晶圓傳送盒與前開式晶圓傳送盒之間運送基板。因此，設定器僅設定前開式晶圓傳送盒模型。或者，當機器人在真空處理室中使用時，機器人在處理裝置5與處理裝置之間運送基板。因此，設定器設定處理裝置模型。像這樣，設定器321也可以設定前開式晶圓傳送盒模型4m以及處理裝置模型5m的至少之一。

在筐體2設置有前開式晶圓傳送盒4以及處理裝置5，也可以設置有其它空間。例如，當機器人在儲料器中使用時，機器人在前開式晶圓傳送盒與基板保管室(儲藏室)之間運送基板。此時，在筐體設置前開式晶圓傳送盒以及儲藏室。此時，設定器設定前開式晶圓傳送盒模型以及儲藏室模型。

干擾物6的數量並不限於所述例子，這些數量也可以增加或減少。伴隨於此，干擾物模型6m的數量並不限於所述例子，這些數量也可以增加或減少。

設定器321也可以作為禁止區域僅設定筐體模型2m或干擾物模型6m之一。設定器321也可以作為禁止區域設定筐體以及干擾物的其它物體的模型。

在筐體2設置有前開式晶圓傳送盒4以及處理裝置5，也可以設置有預對準裝置。預對準裝置是例如檢測基板S的中心位置、凹口位置，將基板S定位在所期望的位置的裝置。伴隨於此，也可以作為機器人模型10m的手14m的目標位置，設定將預對準裝置模型化的預對準裝置模型。

機器人10的末端執行器是手14，也可以是切削工具或研磨工具等機械工具。

示教支援系統20的輸入設備是滑鼠22，也可以是鍵盤，或者，也可以是滑鼠以及鍵盤兩者。

處理器32只要將設定器321、受理器322、導出器323、圖像生成器324和判定器326作為功能塊具有即可，也可以不將警報器325作為功能塊具有。

警報器325在判定器326判定經由受理器322禁止區域被改變，機器人模型10m干擾禁止區域時，使機器人模型10m的顯示改變，也可以用警報顯示或聲音向用戶報知。

警報器325在機器人模型10m和干擾物模型6m正干擾時，使圖像生成器324改變機器人模型10m的顯示，也可以用警報顯示或聲音向用戶報 知。具體而言，警報器325也可以使圖像生成器324在畫面顯示機器人模型10m和干擾物模型6m干擾的內容的信息。或者，警報器325也可以輸出機器人模型10m和干擾物模型6m干擾的內容的聲音。

警報器325也可以在機器人模型10m和干擾物模型6m正干擾時，使圖像生成器324將機器人模型10m之外的圖像的顯示從沒有干擾時的顯示改變。例如，警報器325也可以使圖像生成器324改變干擾物模型6m的顯示色彩或顯示方式(閃爍顯示等)。

受理器322作為禁止區域的改變，受理禁止區域的位置的移動，例如，也可以受理禁止區域的追加或禁止區域的形狀的變形。例如，在用戶在顯示器21的畫面中新追加禁止區域後，受理器322受理新追加的禁止區域。並且，在用戶在顯示器21的畫面中使禁止區域的形狀變形後，受理器322受理被變形的禁止區域。

圖像生成器324在警報器325向用戶報知之後，將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為被導出器323導出的姿勢，也可以在警報器325向用戶報知之前，將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為被導出器323導出的姿勢。

設定器321也可以在機器人模型10m的第一手14am到達目標位置之前，設定所經由的經由位置。導出器323也可以導出第一手14am位於經由位置且機器人模型10m的第二手14bm位於動作區域內的規定位置時的機器人模型10m的姿勢。

當判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出器323也可以使第一手14am以及第二手14bm的姿勢不發生變化且使 臂12m的姿勢發生變化，導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。例如，導出器323也可以以第一連桿13am和第二連桿13bm的彎曲在相反方向彎曲的方式使臂12m的姿勢發生變化。

如圖4所示，圖像生成器324生成各個模型的二維圖像，也可以如圖15所示，生成三維圖像。在圖15中，使用了與圖4以及圖7相同的符號。並且，用兩點劃線描繪處理裝置模型5m，省略了筐體模型2m。並且，機器人模型10m包含將基座11模型化的基座11m。那時，各個模型的位置由三維位置定義。例如，受理器322受理目標位置的三維位置，設定器321設定目標位置的三維位置，導出器323導出在目標位置的三維位置中的機器人模型10m的姿勢。

流程圖只不過是一個例子。也可以對流程圖中的步驟適當地進行改變、置換、附加、省略等。並且，也可以或改變流程圖中的步驟的順序，或並行處理串行的處理。例如，在流程圖(圖5)中，在步驟S1的初始設定中，筐體模型的設定、前開式晶圓傳送盒模型的設定、干擾物模型的設定和機器人模型的設定也可以改變順序，或者，也可以並行進行。並且，步驟S13的機器人模型的姿勢的導出也可以在步驟S11的警報之前進行。並且，步驟S11的警報也可以在步驟S14的改變後的機器人模型的顯示之後進行。

示教支援方法並不限於所述示教支援裝置30，也可以藉由其它裝置實現。示教支援程序並不限於所述示教支援裝置30，也可以藉由其它裝置實現。

藉由本說明書中所記載的構成要素所實現的功能也可以在包含為實現所記載的功能而被程序化的通用處理器、專用處理器、集成電路、ASICs(Application Specific Integrated Circuits)、CPU(a Central Processing Unit)、常規電 路以及/或者它們的組合的電路(circuitry)或處理電路(processing circuitry)中實現。處理器包含晶體管和其他電路，被看作電路或處理電路。處理器也可以是執行儲存在記憶體中的程序的可編程處理器(programmed processor)。

在本說明書中，電路(circuitry)、單元或裝置是為了實現所記載的功能而被程序化的硬體或執行的硬體。該硬體也可以是本說明書中所公開的各種硬體或者為了實現該被記載的功能而被程序化的或作為執行的硬體而被眾所周知的各種硬體。

當該硬體是被看作電路(circuitry)的類型的處理器時，該電路、裝置或單元是硬體和為了構成該硬體以及/或者處理器而使用的軟體的組合。

〔方式〕

所述實施方式是以下方式的具體例子。

〔方式1〕

示教支援裝置30是使機器人10的模型的圖像顯示在顯示器21的示教支援裝置，所述機器人10具有臂12和連接在所述臂12的手14(末端執行器)，所述示教支援裝置30包括設定器321、受理器322、判定器326、導出器323和圖像生成器324，所述設定器321對將所述機器人10模型化的機器人模型10m和所述機器人模型10m的不是動作區域的禁止區域進行設定，所述受理器322受理所述禁止區域的改變，所述判定器326判定所述機器人模型10m和所述禁止區域的干擾，所述導出器323導出所述機器人模型10m的姿勢，所述圖像生成器324生成所述禁止區域以及所述機器人模型10m的圖像，當經由所述受理器322所述禁止區域被改變時，所述圖像生成器324生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，當所述判定器326判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區 域的干擾時，所述導出器323導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型10m的姿勢且所述圖像生成器324將所述圖像中的所述機器人模型10m的姿勢改變為被所述導出器323導出的姿勢。

藉由該結構，當經由受理器322禁止區域被改變時，圖像生成器324生成被改變而移動的禁止區域的圖像，當判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出器323導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢，同時，圖像生成器324將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為被導出器323導出的姿勢。這樣一來，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。因此，能夠在根據機器人模型10m的姿勢決定禁止區域的位置時，縮短決定禁止區域的位置的時間。

〔方式2〕

在方式1所記載的示教支援裝置30中，還包括警報器325，所述警報器325在所述判定器326判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區域的干擾時，向用戶報知所述機器人模型10m正干擾到所述禁止區域，所述圖像生成器324在所述警報器325向用戶報知了所述機器人模型10m正干擾到所述禁止區域之後，將所述圖像中的所述機器人模型10m的姿勢改變為被所述導出器323導出的姿勢。

藉由該結構，由於包括警報器325，因此當用戶改變禁止區域，機器人模型10m干擾禁止區域時，用戶能夠藉由警報器325較容易地得知。並且，用戶能夠在得知機器人模型10m干擾禁止區域之後，確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。

〔方式3〕

在方式1或方式2所記載的示教支援裝置30中，所述警報器325在向用戶報知時，使所述圖像生成器324改變所述機器人模型10m的顯示。

藉由該結構，警報器325在向用戶報知時，使圖像生成器324改變機器人模型10m的顯示。這樣一來，用戶能夠藉由機器人模型10m的顯示的改變較容易地判別機器人模型10m正干擾禁止區域。

〔方式4〕

在方式1到方式3的任意一項所記載的示教支援裝置30中，所述設定器321設定所述機器人模型10m的手14m(末端執行器)的目標位置，所述導出器323導出所述手14m(末端執行器)位於所述目標位置時的所述機器人模型10m的姿勢。

藉由該結構，由於導出器323導出手14m位於目標位置時的機器人模型10m的姿勢，因此用戶能夠確認手14m位於目標位置時的機器人模型10m的姿勢。

〔方式5〕

在方式1到方式4的任意一項所記載的示教支援裝置30中，所述機器人模型10m是包含作為所述手14(末端執行器)的、連接在所述臂12的第一手14a(第一末端執行器)以及第二手14b(第二末端執行器)的機器人10的模型。

藉由該結構，由於機器人模型10m是包含第一手14a以及第二手14b的機器人10的模型，因此機器人模型10m以更複雜的結構的機器人10作為對象。即使對於這樣複雜的機器人，也能夠縮短決定禁止區域的位置的時間。

〔方式6〕

在方式1到方式5的任意一項所記載的示教支援裝置30中，所述設定器321設定所述機器人模型10m的第一手14am(第一末端執行器)的目標位置，所述導 出器323導出所述第一手14am(第一末端執行器)位於所述目標位置且所述機器人模型10m的第二手14bm(第二末端執行器)位於所述動作區域內的規定位置時的所述機器人模型10m的姿勢，當所述判定器326判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區域的干擾時，所述導出器323使所述第一手14am(第一末端執行器)的姿勢不發生變化且使所述第二手14bm(第二末端執行器)的姿勢發生變化，導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型10m的姿勢。

藉由該結構，當判定器326判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出器323使第一手14am的姿勢不發生變化且使第二手14bm的姿勢發生變化，導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。這樣一來，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的第二手14bm的姿勢。

〔方式7〕

在方式1到方式6的任意一項所記載的示教支援裝置30中，所述設定器321設定將動態或靜態的干擾物6模型化的干擾物模型6m，所述禁止區域包含所述干擾物模型6m的內側的區域。

藉由該結構，由於禁止區域包含干擾物模型6m的內側的區域，因此用戶能夠作為禁止區域將干擾物6顯示在顯示器21。

〔方式8〕

在方式1到方式7的任意一項所記載的示教支援裝置30中，所述設定器321設定將無塵室1的筐體2模型化的筐體模型2m，所述禁止區域包含所述筐體模型2m的外側的區域。

藉由該結構，由於禁止區域包含筐體模型2m的外側的區域，因此用戶能夠作為禁止區域將筐體2顯示在顯示器21。這樣一來，用戶能夠確認在無塵室1中使用的機器人10的姿勢。因此，能夠確認在動作限制嚴格的環境下使用的機器人10的姿勢。

〔方式9〕

在方式1到方式8的任意一項所記載的示教支援裝置30中，當所述判定器326判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區域的干擾時，所述導出器323藉由導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型10m的位置，來導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型10m的姿勢。

藉由該結構，導出器323藉由導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的位置，來導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。這樣一來，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的位置。

〔方式10〕

在方式1到方式9的任意一項所記載的示教支援裝置30中，當所述判定器326判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區域的干擾時，所述導出器323藉由導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型10m的種類，來導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型10m的姿勢。

藉由該結構，導出器323藉由導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的種類，來導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。這樣一來，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的種類。

〔方式11〕

在方式1到方式10的任意一項所記載的示教支援裝置30中，所述機器人模型10m是所述手14(末端執行器)運送基板S的水平多關節機器人10的模型。

藉由該結構，機器人模型10m是手14運送基板S的水平多關節機器人10的模型。即使對於這樣的機器人，也能夠縮短決定禁止區域的位置的時間。

〔方式12〕

示教支援方法是使機器人10的模型的圖像顯示在顯示器21的示教支援方法，所述機器人10具有臂12和連接在所述臂12的手14(末端執行器)，所述示教支援方法包括對將所述機器人10模型化的機器人模型10m和所述機器人模型10m的不是動作區域的禁止區域進行設定的步驟、受理所述禁止區域的改變的步驟、判定所述機器人模型10m和所述禁止區域的干擾的步驟、導出所述機器人模型10m的姿勢，當判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區域的干擾時，還導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型10m的姿勢的步驟以及生成所述禁止區域以及所述機器人模型10m的圖像，在所述禁止區域被改變時還生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，當判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區域的干擾時，還將所述圖像中的所述機器人模型10m的姿勢改變為所述被導出的姿勢的步驟。

藉由該結構，當禁止區域被改變時，生成被改變而移動的禁止區域的圖像，當判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢，同時，將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為被導出的姿勢。這樣一來，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域， 一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。因此，能夠在根據機器人模型10m的姿勢決定禁止區域的位置時，縮短決定禁止區域的位置的時間。

〔方式13〕

示教支援程序311是使機器人10的模型的圖像顯示在顯示器21的示教支援程序，所述機器人10具有臂12和連接在所述臂12的手14(末端執行器)，所述示教支援程序311使計算機實現對將所述機器人10模型化的機器人模型10m和所述機器人模型10m的不是動作區域的禁止區域進行設定的功能、受理所述禁止區域的改變的功能、判定所述機器人模型10m和所述禁止區域的干擾的功能、導出所述機器人模型10m的姿勢，當判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區域的干擾時，還導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型10m的姿勢的功能以及生成所述禁止區域以及所述機器人模型10m的圖像，當所述禁止區域被改變時還生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，當判定所述機器人模型10m和改變後的所述禁止區域的干擾時，還將所述圖像中的所述機器人模型10m的姿勢改變為所述被導出的姿勢的功能。

藉由該結構，當禁止區域被改變時，生成被改變而移動的禁止區域的圖像，當判定機器人模型10m和改變後的禁止區域的干擾時，導出不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢，同時，將圖像中的機器人模型10m的姿勢改變為被導出的姿勢。這樣一來，用戶能夠一邊看著顯示器21改變禁止區域，一邊確認不干擾禁止區域的機器人模型10m的姿勢。因此，能夠在根據機器人模型10m的姿勢決定禁止區域的位置時，縮短決定禁止區域的位置的時間。

30:示教支援裝置

31:儲存裝置

311:示教支援程序

32:處理器

321:設定器

322:受理器

323:導出器

324:圖像生成器

325:警報器

326:判定器

33:記憶體

Claims (13)

1. 一種示教支援裝置，其是使機器人的模型的圖像顯示在顯示器的示教支援裝置，所述機器人具有臂和連接在所述臂的末端執行器，

   所述示教支援裝置包括設定器、受理器、判定器、導出器和圖像生成器，所述設定器對將所述機器人模型化的機器人模型和所述機器人模型的不是動作區域的禁止區域進行設定，所述受理器受理所述禁止區域的改變，所述判定器判定所述機器人模型和所述禁止區域的干擾，所述導出器導出所述機器人模型的姿勢，所述圖像生成器生成所述禁止區域以及所述機器人模型的圖像，

   當經由所述受理器，所述禁止區域被改變時，所述圖像生成器生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，

   當所述判定器判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，所述導出器導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的姿勢且所述圖像生成器將所述圖像中的所述機器人模型的姿勢改變為被所述導出器導出的姿勢。
2. 如請求項1所述之示教支援裝置，其還包括警報器，所述警報器在所述判定器判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，向用戶報知所述機器人模型正干擾到所述禁止區域，

   所述圖像生成器在所述警報器向用戶報知了所述機器人模型正干擾到所述禁止區域之後，將所述圖像中的所述機器人模型的姿勢改變為被所述導出器導出的姿勢。
3. 如請求項2所述之示教支援裝置，所述警報器在向用戶報知時，使所述圖像生成器改變所述機器人模型的顯示。
4. 如請求項1所述之示教支援裝置，所述設定器設定所述機器人模型的末端執行器的目標位置，

   所述導出器導出所述末端執行器位於所述目標位置時的所述機器人模型的姿勢。
5. 如請求項1所述之示教支援裝置，所述機器人模型是包含作為所述末端執行器的、連接在所述臂的第一末端執行器以及第二末端執行器的機器人的模型。
6. 如請求項5所述之示教支援裝置，所述設定器設定所述機器人模型的第一末端執行器的目標位置，

   所述導出器導出所述第一末端執行器位於所述目標位置且所述機器人模型的第二末端執行器位於所述動作區域內的規定位置時的所述機器人模型的姿勢，

   當所述判定器判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，所述導出器使所述第一末端執行器的姿勢不發生變化且使所述第二末端執行器的姿勢發生變化，導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的姿勢。
7. 如請求項1所述之示教支援裝置，所述設定器設定將動態或靜態的干擾物模型化的干擾物模型，

   所述禁止區域包含所述干擾物模型的內側的區域。
8. 如請求項1所述之示教支援裝置，所述設定器設定將無塵室的筐體模型化的筐體模型，

   所述禁止區域包含所述筐體模型的外側的區域。
9. 如請求項1所述之示教支援裝置，當所述判定器判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，所述導出器藉由導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的位置，來導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的姿勢。
10. 如請求項1所述之示教支援裝置，當所述判定器判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，所述導出器藉由導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的種類，來導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的姿勢。
11. 如請求項1所述之示教支援裝置，所述機器人模型是所述末端執行器運送基板的水平多關節機器人的模型。
12. 一種示教支援方法，其是使機器人的模型的圖像顯示在顯示器的示教支援方法，所述機器人具有臂和連接在所述臂的末端執行器，

    所述示教支援方法包括對將所述機器人模型化的機器人模型和所述機器人模型的不是動作區域的禁止區域進行設定的步驟、受理所述禁止區域的改變的步驟、判定所述機器人模型和所述禁止區域的干擾的步驟、導出所述機器人模型的姿勢，當判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，還導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的姿勢的步驟以及生成所述禁止區域以及所述機器人模型的圖像，在所述禁止區域被改變時，還生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，當判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，還將所述圖像中的所述機器人模型的姿勢改變為所述被導出的姿勢的步驟。
13. 一種示教支援程序，其是使機器人的模型的圖像顯示在顯示器的示教支援程序，所述機器人具有臂和連接在所述臂的末端執行器，

    所述示教支援程序使計算機實現對將所述機器人模型化的機器人模型和所述機器人模型的不是動作區域的禁止區域進行設定的功能、受理所述禁止區域的改變的功能、判定所述機器人模型和所述禁止區域的干擾的功能、導出所述機器人模型的姿勢，當判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，還導出不干擾所述禁止區域的所述機器人模型的姿勢的功能以及生成所述禁止區域以及所述機器人模型的圖像，當所述禁止區域被改變時，還生成被改變而移動的所述禁止區域的圖像，當判定所述機器人模型和改變後的所述禁止區域的干擾時，還將所述圖像中的所述機器人模型的姿勢改變為所述被導出的姿勢的功能。