TWI835675B - 自動化探針卡取放裝置及其控制方法 - Google Patents

Abstract

一種自動化探針卡取放裝置包含運輸載具、至少一容置層架配置以容置探針卡、搭接位置調整模組、取放組件配置以取放探針卡、複數個伸縮件以及控制元件。控制元件電性或通訊連接運輸載具、搭接位置調整模組、伸縮件以及取放組件。控制元件配置以：控制運輸載具移動至毗鄰針測機之目標位置；驅動搭接位置調整模組校準至少一容置層架以及取放組件相對於針測機之相對位置；致動伸縮件以將至少一容置層架以及取放組件朝向以及遠離針測機移動；以及致動取放組件以取放容置於至少一容置層架或針測機之載臺中之探針卡。

Description

自動化探針卡取放裝置及其控制方法

本揭露係有關於一種自動化探針卡取放裝置及其控制方法。

目前各家封測廠以及測試設備商，需要以人工搬運的方式來搬運探針卡(Probe Card)並裝卸探針卡於針測機(Prober)內。然而，此舉花費了許多時間與工程人力。除此之外，由於探針卡的安裝人員的操作熟練程度不一，若不當操作則容易造成探針卡的損壞。

因此，如何提出一種自動化探針卡取放裝置及其控制方法以降低人為安裝探針卡之風險，是目前業界亟欲投入研發資源解決的問題之一。

有鑑於此，本揭露之一目的在於提出一種可以解決上述問題的自動化探針卡取放裝置及其控制方法。

為了達到上述目的，依據本揭露之一實施方式，一種自動化探針卡取放裝置包含運輸載具、至少一容置層架配置以容置探針卡、搭接位置調整模組、取放組件配置以取放探針卡、數個伸縮件以及控制元件。至少一容置層架位於運輸載具上方。至少一容置層架配置以容置探針卡。搭接位置調整模組設置於至少一容置層架與運輸載具之間。取放組件設置於至少一容置層架上方。取放組件配置以取放探針卡。伸縮件連接於至少一容置層架中並連接於取放組件與至少一容置層架之間。控制元件電性或通訊連接運輸載具、搭接位置調整模組、伸縮件以及取放組件。控制元件配置以：控制運輸載具移動至毗鄰針測機之目標位置；驅動搭接位置調整模組校準至少一容置層架以及取放組件相對於針測機之相對位置；致動伸縮件以將至少一容置層架以及取放組件朝向以及遠離針測機移動；以及致動取放組件以取放容置於至少一容置層架或針測機之載臺中之探針卡。

於本揭露的一或多個實施方式中，至少一容置層架進一步包含第一容置層架以及第二容置層架。第一容置層架設置於搭接位置調整模組上。第二容置層架可移動地位於第一容置層架與取放組件之間。

於本揭露的一或多個實施方式中，伸縮件進一步連接於第一容置層架與第二容置層架之間並致動第二容置層架朝向以及遠離第一容置層架移動。第二容置層架與第一容置層架於平行於伸縮件之致動方向上彼此分離。

於本揭露的一或多個實施方式中，搭接位置調整模組包含橫向位移組件，且橫向位移組件致動至少一容置層架以沿著垂直於伸縮件之致動方向之方向移動。

於本揭露的一或多個實施方式中，搭接位置調整模組包含水平調整組件，且水平調整組件致動至少一容置層架相對於運輸載具擺動。

於本揭露的一或多個實施方式中，水平調整組件進一步包含基座、活動部、至少一滾動件以及致動器。活動部連接基座。活動部包含與至少一容置層架連接之連接板以及連接連接板之擺塊。擺塊具有弧形滑槽。至少一滾動件樞接於基座上並銜接弧形滑槽，使得擺塊可滑動地連接基座。致動器致動活動部以使活動部相對於基座擺動。

於本揭露的一或多個實施方式中，自動化探針卡取放裝置進一步包含數個感測裝置。感測裝置配置以發射以及感測光。

於本揭露的一或多個實施方式中，搭接位置調整模組包含旋轉調整組件。旋轉調整組件致使至少一容置層架以旋轉調整組件之中央為圓心旋轉。

於本揭露的一或多個實施方式中，自動化探針卡取放裝置進一步包含至少一第一定位軸設置於伸縮件上。至少一第一定位軸配置以與針測機之定位套筒結合。

於本揭露的一或多個實施方式中，搭接位置調整模組包含數個浮動組件連接至少一容置層架。浮動組件中之每一者包含互相疊置之數個滑塊。滑塊包含沿著第一方向延伸之第一軌道以及沿著垂直於第一方向之第二方向延伸之第二軌道。

於本揭露的一或多個實施方式中，搭接位置調整模組進一步包含數個鎖合結構。鎖合結構配置以使至少一容置層架固定於搭接位置調整模組以及配置以使至少一容置層架相對於搭接位置調整模組可移動。

於本揭露的一或多個實施方式中，鎖合結構中之每一者包含與至少一容置層架連接之套孔件以及設置於搭接位置調整模組上並對應於套孔件之第二定位軸。

為了達到上述目的，依據本揭露之一實施方式，一種控制方法用以自動化探針卡取放裝置。自動化探針卡取放裝置包含運輸載具、位於運輸載具上方之第一容置層架以及第二容置層架、連接於第一容置層架與運輸載具之間之搭接位置調整模組、位於第二容置層架上方之取放組件以及連接於第一容置層架與第二容置層架之間以及連接於第二容置層架與取放組件之間之數個伸縮件。控制方法包含：控制運輸載具移動至毗鄰針測機之目標位置；驅動搭接位置調整模組校準第一容置層架、第二容置層架以及取放組件相對於針測機之相對位置；致動伸縮件以移動第二容置層架以及取放組件，使得第二容置層架與第一容置層架於平行於伸縮件之致動方向上彼此分離；以及致動取放組件以取放容置於第一容置層架、第二容置層架或針測機之載臺中之探針卡。

於本揭露的一或多個實施方式中，致動伸縮件以移動第二容置層架以及取放組件的步驟使得取放組件與第二容置層架彼此分離。

於本揭露的一或多個實施方式中，驅動搭接位置調整模組校準第一容置層架、第二容置層架以及取放組件相對於針測機之相對位置的步驟進一步包含：致動搭接位置調整模組之水平調整組件，使得與水平調整組件連接之第一容置層架之承載面以及第二容置層架之承載面平行於針測機之頂面；致動搭接位置調整模組之旋轉調整組件，使得與旋轉調整組件連接之第一容置層架、第二容置層架以及取放組件以旋轉調整組件之中央為圓心旋轉；以及致動搭接位置調整模組之橫向位移組件，使得與橫向位移組件連接之第一容置層架、第二容置層架以及取放組件相對於針測機側向移動。

於本揭露的一或多個實施方式中，水平調整組件進一步包含連接第一容置層架、第二容置層架以及取放組件之連接板。致動搭接位置調整模組之水平調整組件的步驟使得連接板平行於針測機之頂面。

於本揭露的一或多個實施方式中，自動化探針卡取放裝置進一步包含兩感測裝置配置以發射以及感測光。針測機進一步包含兩基準定位板設置於針測機之頂面上並對應於兩感測裝置。驅動搭接位置調整模組校準第一容置層架、第二容置層架以及取放組件相對於針測機之相對位置的步驟進一步包含：驅動兩感測裝置朝向兩基準定位板發射光。

於本揭露的一或多個實施方式中，致動搭接位置調整模組之旋轉調整組件的步驟使得兩感測裝置感測反射自兩基準定位板之光之距離數值相同。

於本揭露的一或多個實施方式中，致動搭接位置調整模組之橫向位移組件的步驟使得兩感測裝置發射之光分別對準兩基準定位板之兩定位桿。

於本揭露的一或多個實施方式中，自動化探針卡取放裝置進一步包含至少一第一定位軸設置於伸縮件上。針測機進一步包含對應於至少一第一定位軸之至少一定位套筒。致動伸縮件以移動第二容置層架以及取放組件的步驟使得至少一第一定位軸與至少一定位套筒結合。

於本揭露的一或多個實施方式中，搭接位置調整模組進一步包含數個鎖合結構。致動伸縮件以移動第二容置層架以及取放組件的步驟使得第一容置層架藉由鎖合結構固定於搭接位置調整模組或相對於搭接位置調整模組可移動。

於本揭露的一或多個實施方式中，致動伸縮件以移動第二容置層架以及取放組件的步驟使得當第二容置層架以及取放組件朝向針測機之載臺移動時，第一容置層架相對於搭接位置調整模組可移動。

於本揭露的一或多個實施方式中，致動伸縮件以移動第二容置層架以及取放組件的步驟使得當第二容置層架以及取放組件遠離針測機之載臺移動時，第一容置層架固定於搭接位置調整模組。

於本揭露的一或多個實施方式中，致動取放組件的步驟拿取容置於載臺中之探針卡並將探針卡放置於第一容置層架中。

於本揭露的一或多個實施方式中，致動取放組件的步驟拿取容置於第二容置層架中之探針卡並將探針卡放置於載臺中。

於本揭露的一或多個實施方式中，載臺容置第一探針卡，第二容置層架容置第二探針卡。致動取放組件的步驟進一步包含：拿取容置於載臺中之第一探針卡並將第一探針卡放置於第一容置層架中；以及在將第一探針卡放置於第一容置層架中之後，拿取容置於第二容置層架中之第二探針卡並將第二探針卡放置於載臺中。

綜上所述，在本揭露之自動化探針卡取放裝置及其控制方法中，由於搭接位置調整模組搭配了感測裝置，且伸縮件搭配了浮動組件，使得自動化探針卡取放裝置與針測機可以精準接合，以利探針卡自動裝卸之作業。在本揭露之自動化探針卡取放裝置及其控制方法中，由於第一容置層架、第二容置層架以及取放組件可以藉由伸縮件的致動達成水平分離，使得自動化探針卡取放裝置可以一次性地完成新探針卡與舊探針卡的置換作業，或者可以同時安裝數個新探針卡以及同時回收數個舊探針卡。在本揭露之自動化探針卡取放裝置及其控制方法中，自動化探針卡取放裝置可以配合自製的前開式晶舟盒(Front Opening Shipping Box；FOSB)裝卸運載車以及開發中的智能倉儲系統，以構建網宇實體(Cyber-physical；CP)系統的智能工廠，進而實現探針卡裝卸系統的全面自動化。

以上所述僅係用以闡述本揭露所欲解決的問題、解決問題的技術手段、及其產生的功效等等，本揭露之具體細節將在下文的實施方式及相關圖式中詳細介紹。

以下將以圖式揭露本揭露之複數個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本揭露。也就是說，在本揭露部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。在所有圖式中相同的標號將用於表示相同或相似的元件。

以下將詳細介紹本實施方式之自動化探針卡取放裝置100所包含的各元件的結構、功能以及各元件之間的連接關係。

請參考第1圖。第1圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100的立體圖。在本實施方式中，自動化探針卡取放裝置100包含運輸載具110、搭接位置調整模組120、至少一個容置層架130以及取放組件140。搭接位置調整模組120、容置層架130以及取放組件140設置於運輸載具110上。如第1圖所示，搭載有搭接位置調整模組120、容置層架130以及取放組件140的運輸載具110可以依循路線RT到達目標位置。搭接位置調整模組120設置於運輸載具110上。搭接位置調整模組120配置以調整容置層架130以及取放組件140在空間中的位置。如第1圖所示，容置層架130設置於運輸載具110上方並配置以容置探針卡PC。具體來說，容置層架130設置於搭接位置調整模組120上，換言之，搭接位置調整模組120設置於容置層架130與運輸載具110之間。取放組件140可移動地設置於容置層架130上方並配置以取放探針卡PC。在一些實施方式中，搭接位置調整模組120進一步包含水平調整組件122、旋轉調整組件124、升降組件126、橫向位移組件128以及浮動組件129。在一些實施方式中，容置層架130包含第一容置層架132以及第二容置層架134。然而，本揭露不意欲針對容置層架130的數量進行限制，意即，本揭露可依據需求可以包含任意數量的容置層架130。在一些實施方式中，如第1圖所示，第一容置層架132設置於搭接位置調整模組120上，且第二容置層架134可移動地位於第一容置層架132與取放組件140之間。上述元件的詳細結構、功能以及各元件之間的連接關係將於下文說明。

在一些實施方式中，運輸載具110可以是例如無人搬運車(Automatic Guided Vehicle；AGV)或其他自動化動力總成。

在一些實施方式中，探針卡PC為例如用以測試晶圓(未繪示)的積體電路的媒介元件。

請繼續參考第1圖。如第1圖所示，自動化探針卡取放裝置100進一步包含數個伸縮件150。伸縮件150連接於容置層架130中並連接於取放組件140與容置層架130之間。在一些實施方式中，如第1圖所示，伸縮件150包含第一伸縮件152以及第二伸縮件154。第一伸縮件152連接於第一容置層架132與第二容置層架134之間並配置以沿著致動方向AD移動。第二伸縮件154連接於第二容置層架134與取放組件140之間並配置以沿著致動方向AD移動。在一些實施方式中，致動方向AD平行於第一方向(例如，方向X)。

請繼續參考第1圖。如第1圖所示，自動化探針卡取放裝置100進一步包含感測裝置160。感測裝置160配置以發射以及感測光L。在一些實施方式中，光L可以是例如雷射光(Laser)或其他合適的光的類型。配置以發射以及感測光L的感測裝置160係作為測距的用途，下文將更詳細地說明。在一些實施方式中，自動化探針卡取放裝置100可以包含一個、兩個或大於兩個感測裝置160。本揭露不意欲針對感測裝置160的數量進行限制。

請繼續參考第1圖。如第1圖所示，自動化探針卡取放裝置100進一步包含第一定位軸170。第一定位軸170設置於伸縮件150上。在一些實施方式中，第一定位軸170設置於第一伸縮件152上。第一定位軸170配置以使自動化探針卡取放裝置100與針測機(第1圖未繪示)結合。下文將更詳細地說明。

在一些實施方式中，伸縮件150可以是例如伸縮叉(Telescopic Fork)或其他類似的滑軌組件。在一些實施方式中，伸縮件150亦可搭配滑輪組，以達到提升機械利益而能省力的功效。

在一些實施方式中，感測裝置160可以是例如雷射感測器或其他類似的光學感測器。

請參考第2圖以及第3圖。第2圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100的功能方塊圖。第3圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100之控制方法CM的流程圖。如第2圖所示，自動化探針卡取放裝置100進一步包含控制元件CE。控制元件CE電性或通訊連接運輸載具110、搭接位置調整模組120、取放組件140以及伸縮件150。具體來說，自動化探針卡取放裝置100的控制方法CM係由控制元件CE來控制。如第3圖所示，自動化探針卡取放裝置100的控制方法CM包含步驟S10、步驟S12、步驟S14以及步驟S16。為了更好地理解步驟S10，請參考第4圖。為了更好地理解步驟S12，請參考第5圖至第11圖。為了更好地理解步驟S14，請參考第12圖至第20圖。為了更好地理解步驟S16，請參考第21圖至第22圖。

以下將詳細說明自動化探針卡取放裝置100的控制方法CM的步驟S10、步驟S12、步驟S14以及步驟S16。

步驟S10：控制運輸載具110移動至毗鄰針測機200之目標位置。

請參考第4圖。第4圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100以及針測機200的示意圖。為了簡單說明，自動化探針卡取放裝置100的部分元件被省略。在本實施方式中，如第1圖、第2圖以及第4圖所示，控制元件CE控制自動化探針卡取放裝置100移動至目標位置。具體來說，控制元件CE可以控制運輸載具110沿著如第1圖所示的路線RT到達目標位置。舉例來說，如第4圖所示，目標位置係毗鄰針測機200的一個位置。如第4圖所示，針測機200包含載臺230、基準定位板260以及定位套筒270，且針測機200具有頂面200a。載臺230設置於頂面200a上。在一些實施方式中，載臺230配置以承載晶圓並容置探針卡PC。基準定位板260配置以承受來自感測裝置160的光L。定位套筒270配置以與自動化探針卡取放裝置100的第一定位軸170結合。下文將更詳細地說明。

在一些實施方式中，針測機200可以是例如承載晶圓並藉由探針卡PC對晶圓的積體電路執行電性測試的晶圓針測機(Prober)。

步驟S12：驅動搭接位置調整模組120校準第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140相對於針測機200之相對位置。

在本實施方式中，步驟S12係執行於步驟S14之前，且步驟S12係作為步驟S14的前置步驟。執行步驟S12係為了調整第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140在空間中的位置，進而達到校準第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140相對於針測機200的相對位置的目的。詳細來說，控制元件CE執行步驟S12以確保第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140在三個軸向(例如，方向X、方向Y以及方向Z)上的對準。

請參考第5圖。第5圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100之控制方法CM的步驟S12的詳細流程圖。在本實施方式中，步驟S12進一步包含步驟S121、步驟S122、步驟S123以及步驟S124。為了更好地理解步驟S121，請參考第6圖以及第7圖。為了更好地理解步驟S122，請參考第8圖以及第9圖。為了更好地理解步驟S123，請參考第10圖。為了更好地理解步驟S124，請參考第11圖。

以下將詳細說明步驟S121、步驟S122、步驟S123以及步驟S124。

步驟S121：驅動兩感測裝置160朝向兩基準定位板260發射光L。

請參考第6圖。第6圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100以及針測機200的局部放大圖。在本實施方式中，當控制元件CE在執行步驟S10之後，控制元件CE控制感測裝置160朝向基準定位板260發射光L。接著，當光L抵達基準定位板260時，光L受到基準定位板260反射而隨後受到感測裝置160的感測。藉此，控制元件CE可以藉由感測裝置160測得感測裝置160與基準定位板260之間的距離數值(The Value of Distance)。在本實施方式中，自動化探針卡取放裝置100實質上包含兩個感測裝置160(如第13圖所示)，且兩個感測裝置160位於自動化探針卡取放裝置100的兩側，因此，針測機200也相應地包含兩個基準定位板260。在這種情況下，控制元件CE可以藉由位於兩側的兩個感測裝置160測得其中一側的感測裝置160與基準定位板260之間以及另一側的感測裝置160與基準定位板260之間的兩個距離數值，以作為校準的依據。

請參考第7圖。第7圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100以及針測機200的側視圖。在本實施方式中，如第7圖所示，基準定位板260包含定位桿262。在一些實施方式中，定位桿262在第三方向(例如，方向Z)上拉長延伸，且定位桿262自基準定位板260沿著第二方向(例如，方向Y)突伸。定位桿262的設置有助於控制元件CE判斷步驟S12的操作是否完成。舉例來說，當感測裝置160發射的光L感測到定位桿262時，控制元件CE所測得的距離數值變小，據此可以判斷第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140相對於針測機200的相對位置已到達基準點。

在一些實施方式中，兩個基準定位板260的兩個定位桿262之間的距離等於兩個感測裝置160之間的距離。

步驟S122：致動搭接位置調整模組120之水平調整組件122，使得與水平調整組件122連接之第一容置層架132之承載面132a以及第二容置層架134之承載面134a平行於針測機200之頂面200a。

請參考第8圖。第8圖為根據本揭露之一實施方式之水平調整組件122的立體圖。在本實施方式中，水平調整組件122包含第一水平調整組件122A以及第二水平調整組件122B。第一水平調整組件122A以及第二水平調整組件122B配置以調整第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140的水平(Levelling)狀態。如第8圖所示，第一水平調整組件122A包含基座1221A以及第一活動部MP1。第一活動部MP1連接基座1221A。第一活動部MP1包含連接板1223A以及與連接板1223A連接的兩個擺塊1222A。第一活動部MP1相對於基座1221A擺動。如第8圖所示，第二水平調整組件122B包含基座1221B以及第二活動部MP2。第二活動部MP2連接基座1221B。基座1221B與連接板1223A連接。第二活動部MP2包含與第一容置層架132連接的連接板1223B以及與連接板1223B連接的兩個擺塊1222B。第二活動部MP2相對於基座1221B擺動。

舉例來說，如第8圖所示，第一活動部MP1沿著平行於方向Y的一軸向相對於基座1221A擺動，且第二活動部MP2沿著平行於方向X的一軸向相對於基座1221B擺動。藉此，控制元件CE可以藉由致動水平調整組件122調整第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140的水平(Levelling)狀態。詳細來說，如第1圖、第4圖、第8圖、第12圖所示，當控制元件CE執行步驟S122時，由於連接板1223B連接第一容置層架132，可以使得連接板1223A以及連接板1223B平行於針測機200的頂面200a，進而致使與水平調整組件122連接的第一容置層架132的承載面132a以及第二容置層架134的承載面134a皆平行於針測機200的頂面200a。

請參考第9圖。第9圖為根據本揭露之一實施方式之水平調整組件122的局部放大圖。第9圖繪示了更詳細的水平調整組件122的結構，為了更具體地說明水平調整組件122如何作動，故此處以第二水平調整組件122B為例來說明。需要說明的是，第一水平調整組件122A所包含的元件與第二水平調整組件122B所包含的元件相似，故此處亦不針對第一水平調整組件122A進行贅述。如第9圖所示，第二水平調整組件122B的兩個擺塊1222B具有弧形滑槽1224B，且第二水平調整組件122B進一步包含至少一個滾動件1225B以及致動器1226。滾動件1225B樞接於基座1221B上並銜接弧形滑槽1224B，使得擺塊1222B可滑動地連接基座1221B。致動器1226致動第二活動部MP2以使第二活動部MP2相對於基座1221B擺動。

步驟S123：致動搭接位置調整模組120之旋轉調整組件124，使得與旋轉調整組件124連接之第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140以旋轉調整組件124之中央CTR為圓心旋轉。

請參考第10圖。第10圖為根據本揭露之一實施方式之旋轉調整組件124以及升降組件126的立體圖。在本實施方式中，旋轉調整組件124配置以帶動第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140以旋轉調整組件124的中央CTR為圓心旋轉。具體來說，如第1圖以及第10圖所示，由於旋轉調整組件124藉由水平調整組件122連接至第一容置層架132，因此第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140可以同時藉由旋轉調整組件124沿著平行於例如方向Z且通過中央CTR的一軸向旋轉。如第10圖所示，旋轉調整組件124包含活動平臺1242、活動柱1243、軸承環1244以及致動器1246。活動柱1243連接於活動平臺1242的四個角落，且活動柱1243在第三方向(例如，方向Z)上拉長延伸。軸承環1244設置於活動平臺1242上並以中央CTR為圓心旋轉。致動器1246連接軸承環1244，且致動器1246配置以受控制元件CE的控制往復作動以帶動軸承環1244旋轉。

請繼續參考第10圖。升降組件126連接旋轉調整組件124。在本實施方式中，升降組件126配置以帶動第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140上升以及下降。具體來說，如第1圖以及第10圖所示，由於升降組件126藉由旋轉調整組件124以及水平調整組件122連接至第一容置層架132，因此第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140可以同時藉由升降組件126沿著第三方向(例如，方向Z)上升以及下降。如第10圖所示，升降組件126包含底板1262、柱筒1263以及致動器1266。底板1262平行於活動平臺1242延伸。柱筒1263設置於底板1262的四個角落，且柱筒1263對應於活動柱1243設置並可往復移動地銜接於活動柱1243。換言之，升降組件126藉由柱筒1263與活動柱1243的銜接而連接旋轉調整組件124。致動器1266設置於底板1262，且致動器1266的一端固定於底板1262，致動器1266的另一端抵接於活動平臺1242。在一些實施方式中，致動器1266配置以受控制元件CE的控制以致動旋轉調整組件124上升以及下降，使得第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140可以同時沿著第三方向(例如，方向Z)上升以及下降，以達到調整高度的目的。

在本實施方式中，控制元件CE藉由兩個感測裝置160來完成步驟S123。如第1圖、第7圖以及第10圖所示，當控制元件CE執行步驟S123時，控制元件CE不但致動旋轉調整組件124，更同時監控兩個感測裝置160感測反射自兩個基準定位板260的光L的兩個距離數值。當控制元件CE判斷兩個距離數值相異時，控制元件CE致動旋轉調整組件124的致動器1246以使軸承環1244旋轉以同時帶動第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140以旋轉調整組件124之中央CTR為圓心旋轉，直到兩個距離數值相同。當控制元件CE判斷兩個距離數值相同時，控制元件CE控制致動器1246停止作動以使軸承環1244停止旋轉，以完成步驟S123的操作。

步驟S124：致動搭接位置調整模組120之橫向位移組件128，使得與橫向位移組件128連接之第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140相對於針測機200側向移動。

請參考第11圖。第11圖為根據本揭露之一實施方式之橫向位移組件128的立體圖。在本實施方式中，橫向位移組件128配置以致動第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140以沿著垂直於致動方向AD的一方向移動。具體來說，如第1圖以及第11圖所示，由於橫向位移組件128藉由升降組件126、旋轉調整組件124以及水平調整組件122連接至第一容置層架132，因此第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140可以同時藉由橫向位移組件128沿著垂直於致動方向AD的橫移方向LD相對於針測機200側向(Laterally)移動。如第11圖所示，橫向位移組件128包含底座1282、兩個側牆1283、線軌1284以及致動器1286。如第1圖、第10圖以及第11圖所示，底座1282連接於運輸載具110與升降組件126之間。兩個側牆1283沿著橫移方向LD設置於底座1282的兩端。線軌1284設置於底座1282上，且線軌1284沿著橫移方向LD拉長延伸。致動器1286連接升降組件126的底板1262，且致動器1286配置以受控制元件CE的控制往復作動以帶動升降組件126以上的元件相對於針測機200側向移動。

在本實施方式中，控制元件CE藉由兩個感測裝置160來完成步驟S124。如第1圖、第7圖以及第11圖所示，當控制元件CE執行步驟S124時，控制元件CE不但致動橫向位移組件128，更同時監控兩個感測裝置160發射的光L是否分別對準兩個基準定位板260的兩個定位桿262。當控制元件CE判斷兩個感測裝置160發射的光L沒有對準兩個定位桿262時，控制元件CE致動橫向位移組件128的致動器1286以同時帶動第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140相對於針測機200側向移動。當控制元件CE判斷兩個感測裝置160發射的光L分別對準兩個定位桿262時，控制元件CE控制致動器1286停止作動以使升降組件126以上的元件停止移動，以完成步驟S124的操作。

步驟S14：致動伸縮件150以移動第二容置層架134以及取放組件140，使得第二容置層架134與第一容置層架132於平行於伸縮件150之致動方向AD上彼此分離。

請參考第12圖。第12圖為根據本揭露之一實施方式之第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140水平分離的示意圖。當控制元件CE執行步驟S12之後，執行步驟S14。在本實施方式中，控制元件CE配置以致動伸縮件150以移動第二容置層架134以及取放組件140，以展開自動化探針卡取放裝置100，如第12圖所示。如第2圖以及第12圖所示，當控制元件CE致動第一伸縮件152以及第二伸縮件154以移動第二容置層架134以及取放組件140時，使得第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140在致動方向AD上彼此分離(即，水平分離)。

請參考第13圖。第13圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100以及針測機200的斜俯視圖。第13圖繪示了更詳細的自動化探針卡取放裝置100以及針測機200的結構。如第13圖所示，自動化探針卡取放裝置100在兩側包含兩個感測裝置160，且針測機200包含與上述兩個感測裝置160對應的基準定位板260。在一些實施方式中，定位套筒270具有凹部R，凹部R與第一定位軸170吻合。舉例來說，如第13圖所示，定位套筒270具有3個凹部R，第一伸縮件152上設置有3個第一定位軸170。每一個第一定位軸170對應於每一個凹部R設置，且每一個第一定位軸170配置以與每一個凹部R結合。然而，本揭露不意欲針對凹部R以及第一定位軸170的數量進行限制。在本實施方式中，控制元件CE配置以致動伸縮件150以將第二容置層架134以及取放組件140朝向以及遠離針測機200移動。如第2圖、第12圖以及第13圖所示，當控制元件CE致動伸縮件150以將第二容置層架134以及取放組件140朝向針測機200移動時，使得第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140水平分離。

請參考第14圖。第14圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100與針測機200搭接之第一態樣S1的示意圖。在步驟S14中，控制元件CE致動第一伸縮件152以及第二伸縮件154進一步使得自動化探針卡取放裝置100與針測機200可以互相搭接。在本實施方式中，第一態樣S1為自動化探針卡取放裝置100與針測機200搭接的中間階段(Intermediate Stage)。如第14圖所示，當控制元件CE致動第一伸縮件152以及第二伸縮件154使得自動化探針卡取放裝置100處於第一態樣S1(相當於自動化探針卡取放裝置100的展開狀態)時，第一定位軸170位於定位套筒270的正上方。在這種狀況下，第一定位軸170尚未與定位套筒270結合，意即控制元件CE尚未完成自動化探針卡取放裝置100與針測機200的搭接操作。

請參考第15圖。第15圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100與針測機200搭接之第二態樣S2的示意圖。在本實施方式中，第二態樣S2為自動化探針卡取放裝置100與針測機200搭接的完成階段。如第15圖所示，當自動化探針卡取放裝置100處於第一態樣S1時，接著控制元件CE致動搭接位置調整模組120沿著平行於第三方向(例如，方向Z)的升降方向UD下降，使得設置於第一伸縮件152上的第一定位軸170與定位套筒270結合，控制元件CE便完成自動化探針卡取放裝置100與針測機200的搭接操作。當第一定位軸170與定位套筒270結合，控制元件CE停止致動搭接位置調整模組120。

請同時參考第16圖至第18圖。第16圖為根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置100與針測機200搭接之立體圖。第17圖以及第18圖分別為根據本揭露之一實施方式之浮動組件129的側視圖以及立體圖。在本實施方式中，數個浮動組件129位於搭接位置調整模組120的頂部並連接第一容置層架132。在一些實施方式中，自動化探針卡取放裝置100包含四個浮動組件129，但本揭露不意欲針對浮動組件129的數量進行限制。如第17圖以及第18圖所示，每一個浮動組件129包含互相疊置的數個滑塊。在本實施方式中，每一個浮動組件129包含第一滑塊1291、第二滑塊1293以及第三滑塊1296。第一滑塊1291包含軌道1292。第二滑塊1293包含數個滑動件1294。第三滑塊1296包含軌道1295。第一滑塊1291連接水平調整組件122。第三滑塊1296連接第一容置層架132。軌道1292設置於第一滑塊1291上並沿著第二方向(例如，方向Y)拉長延伸。軌道1295設置於第三滑塊1296上並沿著第一方向(例如，方向X)拉長延伸。第二滑塊1293藉由滑動件1294與第一滑塊1291以及第三滑塊1296可滑動地銜接。藉此，浮動組件129使得第一容置層架132與水平調整組件122之間可以在第一方向(例如，方向X)以及第二方向(例如，方向Y)上彼此滑動。

請參考第19圖。第19圖為根據本揭露之一實施方式之鎖合結構180之第三態樣S3的示意圖。在本實施方式中，自動化探針卡取放裝置100進一步包含數個鎖合結構180。鎖合結構180配置以使第一容置層架132固定於搭接位置調整模組120(即，鎖扣狀態)以及配置以使第一容置層架132相對於搭接位置調整模組120可移動(即，解鎖狀態)。如第19圖所示，每一個鎖合結構180包含與第一容置層架132連接的套孔件182以及設置於搭接位置調整模組120上並對應於套孔件182的第二定位軸186。在一些實施方式中，套孔件182具有容置空間184配置以容置第二定位軸186。第二定位軸186於容置空間184中往復作動。如第19圖所示，第三態樣S3為鎖合結構180的解鎖狀態，因為第二定位軸186尚未與套孔件182卡合。在一些實施方式中，第二定位軸186沿著第三方向(例如，方向Z)往復作動。

請參考第20圖。第20圖為根據本揭露之一實施方式之鎖合結構180之第四態樣S4的示意圖。如第20圖所示，第四態樣S4為鎖合結構180的鎖扣狀態，因為第二定位軸186與套孔件182卡合。舉例來說，第二定位軸186沿著第三方向(例如，方向Z)向上移動以與套孔件182卡合。

請同時參考第14圖、第15圖以及第19圖。在一使用情境中，當自動化探針卡取放裝置100自如第1圖所示的狀態展開而轉換到第一態樣S1時，或者當自動化探針卡取放裝置100自第一態樣S1轉換到第二態樣S2時，由於第二定位軸186未與套孔件182卡合，故自動化探針卡取放裝置100欲與針測機200搭接時，第一容置層架132與水平調整組件122之間因浮動組件129自由滑動，更使得當第一定位軸170與定位套筒270結合時，在執行步驟S12時並未足夠精準地完成校準的情況下，仍然可以使自動化探針卡取放裝置100順利與針測機200搭接。

請同時參考第14圖、第15圖以及第20圖。在另一使用情境中，當自動化探針卡取放裝置100自第二態樣S2轉換到第一態樣S1時，或者當自動化探針卡取放裝置100自第一態樣S1轉換到如第1圖所示的收合狀態時，由於第二定位軸186與套孔件182卡合，故自動化探針卡取放裝置100欲脫離針測機200或自動化探針卡取放裝置100欲收合時，控制元件CE可以在平穩的狀態下致動搭接位置調整模組120以及伸縮叉。

步驟S16：致動取放組件140以取放容置於第一容置層架132、第二容置層架134或針測機200之載臺230中之探針卡PC。

請參考第5圖、第21圖以及第22圖。當控制元件CE執行步驟S14之後，執行步驟S16。具體來說，當控制元件CE完成自動化探針卡取放裝置100與針測機200的搭接操作之後，便執行利用取放組件140取放探針卡PC的操作。

如第21圖所示，其繪示了根據第3圖中的步驟S16的不同實施方式。第21圖繪示了步驟S161以及步驟S162。第22圖繪示了自動化探針卡取放裝置100與針測機200搭接的局部立體圖。為了簡單說明，在第22圖中省略了自動化探針卡取放裝置100的部分元件。在控制元件CE執行步驟S14之後，第一容置層架132、第二容置層架134以及取放組件140在致動方向AD上彼此分離，如第22圖所示。需要說明的是，在第22圖中繪示了一個探針卡PC容置於第二容置層架134中，但實際上一個或多個探針卡PC可以在不同使用情境中而容置於第一容置層架132、第二容置層架134及/或針測機200之載臺230中。為了更好地理解步驟S161以及步驟S162，請參考第21圖以及第22圖。

步驟S161：拿取容置於載臺230中之第一探針卡PC並將第一探針卡PC放置於第一容置層架132中。步驟S162：拿取容置於第二容置層架134中之第二探針卡PC並將第二探針卡PC放置於載臺230中。

請參考第21圖以及第22圖。在一使用情境中，在執行步驟S14之後，執行步驟S161，再執行步驟S162。舉例來說，當針測機200的載臺230中容置有舊的探針卡PC且第二容置層架134容置有新的探針卡PC時，取放組件140拿取容置於載臺230中的舊的探針卡PC並將舊的探針卡PC放置於第一容置層架132。接著，取放組件140拿取容置於第二容置層架134中的新的探針卡PC並將新的探針卡PC放置於載臺230中。

請繼續參考第21圖以及第22圖。在另一使用情境中，在執行步驟S14之後，執行步驟S161。舉例來說，當針測機200的載臺230中容置有探針卡PC時，取放組件140拿取容置於載臺230中的探針卡PC並將探針卡PC放置於第一容置層架132中。在一些實施方式中，當第一容置層架132以及第二容置層架134都沒有容置任何探針卡PC時，取放組件140亦可拿取容置於載臺230中的探針卡PC並將探針卡PC放置於第一容置層架132或第二容置層架134中。

請繼續參考第21圖以及第22圖。在又一使用情境中，在執行步驟S14之後，執行步驟S162。舉例來說，當第二容置層架134容置有探針卡PC時，取放組件140拿取容置於第二容置層架134中的探針卡PC並將探針卡PC放置於載臺230中。在一些實施方式中，當第一容置層架132容置有探針卡PC時，取放組件140亦可拿取容置於第一容置層架132中的探針卡PC並將探針卡PC放置於載臺230中。

在一額外使用情境中，舉例來說，當第一容置層架132以及第二容置層架134都容置有新的探針卡PC時，取放組件140拿取容置於第一容置層架132中的新的探針卡PC放置於載臺230中。接著，控制元件CE控制運輸載具110前往毗鄰另一針測機200的目標位置，取放組件140再拿取容置於第二容置層架134中的新的探針卡PC放置於另一針測機200的另一載臺230中。

在另一額外使用情境中，舉例來說，當載臺230以及另一載臺230中分別容置有舊的探針卡PC，取放組件140拿取容置於載臺230中的舊的探針卡PC放置於第一容置層架132中。接著，控制元件CE控制運輸載具110前往毗鄰另一針測機200的目標位置，取放組件140再拿取容置於另一針測機200的另一載臺230中的舊的探針卡PC放置於第二容置層架134中。

由以上對於本揭露之具體實施方式之詳述，可以明顯地看出，在本揭露之自動化探針卡取放裝置及其控制方法中，由於搭接位置調整模組搭配了感測裝置，且伸縮件搭配了浮動組件，使得自動化探針卡取放裝置與針測機可以精準接合，以利探針卡自動裝卸之作業。在本揭露之自動化探針卡取放裝置及其控制方法中，由於第一容置層架、第二容置層架以及取放組件可以藉由伸縮件的致動達成水平分離，使得自動化探針卡取放裝置可以一次性地完成新探針卡與舊探針卡的置換作業，或者可以同時安裝數個新探針卡以及同時回收數個舊探針卡。在本揭露之自動化探針卡取放裝置及其控制方法中，自動化探針卡取放裝置可以配合自製的前開式晶舟盒(Front Opening Shipping Box；FOSB)裝卸運載車以及開發中的智能倉儲系統，以構建網宇實體(Cyber-physical；CP)系統的智能工廠，進而實現探針卡裝卸系統的全面自動化。

雖然本揭露已以實施方式揭露如上，然其並不用以限定本揭露，任何熟習此技藝者，在不脫離本揭露的精神和範圍內，當可作各種的更動與潤飾，因此本揭露的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100:自動化探針卡取放裝置

110:運輸載具

120:搭接位置調整模組

122:水平調整組件

122A:第一水平調整組件

122B:第二水平調整組件

124:旋轉調整組件

126:升降組件

128:橫向位移組件

129:浮動組件

130:容置層架

132:第一容置層架

132a,134a:承載面

134:第二容置層架

140:取放組件

150:伸縮件

152:第一伸縮件

154:第二伸縮件

160:感測裝置

170:第一定位軸

180:鎖合結構

182:套孔件

184:容置空間

186:第二定位軸

200:針測機

200a:頂面

230:載臺

260:基準定位板

262:定位桿

270:定位套筒

1221A,1221B:基座

1222A,1222B:擺塊

1223A,1223B:連接板

1224B:弧形滑槽

1225B:滾動件

1226,1246,1266,1286:致動器

1242:活動平臺

1243:活動柱

1244:軸承環

1262:底板

1263:柱筒

1282:底座

1283:側牆

1284:線軌

1291:第一滑塊

1292,1295:軌道

1293:第二滑塊

1294:滑動件

1296:第三滑塊

AD:致動方向

CE:控制元件

CM:控制方法

CTR:中央

L:光

LD:橫移方向

MP1:第一活動部

MP2:第二活動部

PC:探針卡

R:凹部

RT:路線

S1:第一態樣

S2:第二態樣

S3:第三態樣

S4:第四態樣

S10,S12,S14,S16,S121,S122,S123,S124,S161,S162:步驟

UD:升降方向

X,Y,Z:方向

為讓本揭露之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下： 第1圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置的立體圖。 第2圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置的功能方塊圖。 第3圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置之控制方法的流程圖。 第4圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置以及針測機的示意圖。 第5圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置之控制方法之一步驟的流程圖。 第6圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置以及針測機的局部放大圖。 第7圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置以及針測機的側視圖。 第8圖繪示根據本揭露之一實施方式之水平調整組件的立體圖。 第9圖繪示根據本揭露之一實施方式之水平調整組件的局部放大圖。 第10圖繪示根據本揭露之一實施方式之旋轉調整組件以及升降組件的立體圖。 第11圖繪示根據本揭露之一實施方式之橫向位移組件的立體圖。 第12圖繪示根據本揭露之一實施方式之第一容置層架、第二容置層架以及取放組件水平分離的示意圖。 第13圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置以及針測機的斜俯視圖。 第14圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置與針測機搭接之第一態樣的示意圖。 第15圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置與針測機搭接之第二態樣的示意圖。 第16圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置與針測機搭接之立體圖。 第17圖繪示根據本揭露之一實施方式之浮動組件的側視圖。 第18圖繪示根據本揭露之一實施方式之浮動組件的立體圖。 第19圖繪示根據本揭露之一實施方式之鎖合結構之第三態樣的示意圖。 第20圖繪示根據本揭露之一實施方式之鎖合結構之第四態樣的示意圖。 第21圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置之控制方法之一步驟的流程圖。 第22圖繪示根據本揭露之一實施方式之自動化探針卡取放裝置與針測機搭接的局部立體圖。

國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

100:自動化探針卡取放裝置

110:運輸載具

120:搭接位置調整模組

122:水平調整組件

124:旋轉調整組件

126:升降組件

128:橫向位移組件

129:浮動組件

130:容置層架

132:第一容置層架

134:第二容置層架

140:取放組件

150:伸縮件

152:第一伸縮件

154:第二伸縮件

160:感測裝置

170:第一定位軸

AD:致動方向

L:光

PC:探針卡

RT:路線

X,Y,Z:方向

Claims (25)

1. 一種自動化探針卡取放裝置，包含：一運輸載具；至少一容置層架，位於該運輸載具上方並配置以容置一探針卡；一搭接位置調整模組，設置於該至少一容置層架與該運輸載具之間；一取放組件，設置於該至少一容置層架上方並配置以取放該探針卡；複數個伸縮件，連接於該至少一容置層架中並連接於該取放組件與該至少一容置層架之間；以及一控制元件，電性或通訊連接該運輸載具、該搭接位置調整模組、該些伸縮件以及該取放組件，該控制元件配置以：控制該運輸載具移動至毗鄰一針測機之一目標位置；驅動該搭接位置調整模組校準該至少一容置層架以及該取放組件相對於該針測機之一相對位置；致動該些伸縮件以將該至少一容置層架以及該取放組件朝向以及遠離該針測機移動；以及致動該取放組件以取放容置於該至少一容置層架或該針測機之一載臺中之該探針卡，其中該至少一容置層架進一步包含：一第一容置層架，設置於該搭接位置調整模組上； 以及一第二容置層架，可移動地位於該第一容置層架與該取放組件之間。
2. 如請求項1所述之自動化探針卡取放裝置，其中該些伸縮件進一步連接於該第一容置層架與該第二容置層架之間並致動該第二容置層架朝向以及遠離該第一容置層架移動，且該第二容置層架與該第一容置層架於平行於該些伸縮件之一致動方向上彼此分離。
3. 如請求項1所述之自動化探針卡取放裝置，其中該搭接位置調整模組包含一橫向位移組件，且該橫向位移組件致動該至少一容置層架以沿著垂直於該些伸縮件之一致動方向之一方向移動。
4. 如請求項1所述之自動化探針卡取放裝置，其中該搭接位置調整模組包含一水平調整組件，且該水平調整組件致動該至少一容置層架相對於該運輸載具擺動。
5. 如請求項4所述之自動化探針卡取放裝置，其中該水平調整組件進一步包含：一基座；一活動部，連接該基座，並包含與該至少一容置層架 連接之一連接板以及連接該連接板之一擺塊，且該擺塊具有一弧形滑槽；至少一滾動件，樞接於該基座上並銜接該弧形滑槽，使得該擺塊可滑動地連接該基座；以及一致動器，致動該活動部以使該活動部相對於該基座擺動。
6. 如請求項1所述之自動化探針卡取放裝置，進一步包含複數個感測裝置配置以發射以及感測光。
7. 如請求項1所述之自動化探針卡取放裝置，其中該搭接位置調整模組包含一旋轉調整組件，且該旋轉調整組件致使該至少一容置層架以該旋轉調整組件之中央為圓心旋轉。
8. 如請求項1所述之自動化探針卡取放裝置，進一步包含至少一第一定位軸設置於該些伸縮件上，且該至少一第一定位軸配置以與該針測機之一定位套筒結合。
9. 如請求項1所述之自動化探針卡取放裝置，其中該搭接位置調整模組包含複數個浮動組件連接該至少一容置層架，該些浮動組件中之每一者包含互相疊置之複數個滑塊，且該些滑塊包含沿著一第一方向延伸之 一第一軌道以及沿著垂直於該第一方向之一第二方向延伸之一第二軌道。
10. 如請求項1所述之自動化探針卡取放裝置，其中該搭接位置調整模組進一步包含複數個鎖合結構，且該些鎖合結構配置以使該至少一容置層架固定於該搭接位置調整模組以及配置以使該至少一容置層架相對於該搭接位置調整模組可移動。
11. 如請求項10所述之自動化探針卡取放裝置，其中該些鎖合結構中之每一者包含與該至少一容置層架連接之一套孔件以及設置於該搭接位置調整模組上並對應於該套孔件之一第二定位軸。
12. 一種控制方法，用以控制一自動化探針卡取放裝置，該自動化探針卡取放裝置包含一運輸載具、位於該運輸載具上方之一第一容置層架以及一第二容置層架、連接於該第一容置層架與該運輸載具之間之一搭接位置調整模組、位於該第二容置層架上方之一取放組件以及連接於該第一容置層架與該第二容置層架之間以及連接於該第二容置層架與該取放組件之間之複數個伸縮件，該控制方法包含：控制該運輸載具移動至毗鄰一針測機之一目標位置；驅動該搭接位置調整模組校準該第一容置層架、該第 二容置層架以及該取放組件相對於該針測機之一相對位置；致動該些伸縮件以移動該第二容置層架以及該取放組件，使得該第二容置層架與該第一容置層架於平行於該些伸縮件之一致動方向上彼此分離；以及致動該取放組件以取放容置於該第一容置層架、該第二容置層架或該針測機之一載臺中之一探針卡。
13. 如請求項12所述之控制方法，其中該致動該些伸縮件以移動該第二容置層架以及該取放組件的步驟使得該取放組件與該第二容置層架彼此分離。
14. 如請求項12所述之控制方法，其中該驅動該搭接位置調整模組校準該第一容置層架、該第二容置層架以及該取放組件相對於該針測機之該相對位置的步驟進一步包含：致動該搭接位置調整模組之一水平調整組件，使得與該水平調整組件連接之該第一容置層架之一承載面以及該第二容置層架之一承載面平行於該針測機之一頂面；致動該搭接位置調整模組之一旋轉調整組件，使得與該旋轉調整組件連接之該第一容置層架、該第二容置層架以及該取放組件以該旋轉調整組件之中央為圓心旋轉；以及致動該搭接位置調整模組之一橫向位移組件，使得與 該橫向位移組件連接之該第一容置層架、該第二容置層架以及該取放組件相對於該針測機側向移動。
15. 如請求項14所述之控制方法，其中該水平調整組件進一步包含連接該第一容置層架、該第二容置層架以及該取放組件之一連接板，且該致動該搭接位置調整模組之該水平調整組件的步驟使得該連接板平行於該針測機之該頂面。
16. 如請求項12所述之控制方法，其中該自動化探針卡取放裝置進一步包含兩感測裝置配置以發射以及感測光，該針測機進一步包含兩基準定位板設置於該針測機之一頂面上並對應於該兩感測裝置，且該驅動該搭接位置調整模組校準該第一容置層架、該第二容置層架以及該取放組件相對於該針測機之該相對位置的步驟進一步包含：驅動該兩感測裝置朝向該兩基準定位板發射該光。
17. 如請求項16所述之控制方法，其中該致動該搭接位置調整模組之該旋轉調整組件的步驟使得該兩感測裝置感測反射自該兩基準定位板之該光之距離數值相同。
18. 如請求項16所述之控制方法，其中該致 動該搭接位置調整模組之該橫向位移組件的步驟使得該兩感測裝置發射之該光分別對準該兩基準定位板之兩定位桿。
19. 如請求項12所述之控制方法，其中該自動化探針卡取放裝置進一步包含至少一第一定位軸設置於該些伸縮件上，該針測機進一步包含對應於該至少一第一定位軸之至少一定位套筒，且該致動該些伸縮件以移動該第二容置層架以及該取放組件的步驟使得該至少一第一定位軸與該至少一定位套筒結合。
20. 如請求項12所述之控制方法，其中該搭接位置調整模組進一步包含複數個鎖合結構，且該致動該些伸縮件以移動該第二容置層架以及該取放組件的步驟使得該第一容置層架藉由該些鎖合結構固定於該搭接位置調整模組或相對於該搭接位置調整模組可移動。
21. 如請求項12所述之控制方法，其中該致動該些伸縮件以移動該第二容置層架以及該取放組件的步驟使得當該第二容置層架以及該取放組件朝向該針測機之該載臺移動時，該第一容置層架相對於該搭接位置調整模組可移動。
22. 如請求項12所述之控制方法，其中該致 動該些伸縮件以移動該第二容置層架以及該取放組件的步驟使得當該第二容置層架以及該取放組件遠離該針測機之該載臺移動時，該第一容置層架固定於該搭接位置調整模組。
23. 如請求項12所述之控制方法，其中該致動該取放組件的步驟拿取容置於該載臺中之該探針卡並將該探針卡放置於該第一容置層架中。
24. 如請求項12所述之控制方法，其中該致動該取放組件的步驟拿取容置於該第二容置層架中之該探針卡並將該探針卡放置於該載臺中。
25. 如請求項12所述之控制方法，其中該載臺容置一第一探針卡，該第二容置層架容置一第二探針卡，且該致動該取放組件的步驟進一步包含：拿取容置於該載臺中之該第一探針卡並將該第一探針卡放置於該第一容置層架中；以及在將該第一探針卡放置於該第一容置層架中之後，拿取容置於該第二容置層架中之該第二探針卡並將該第二探針卡放置於該載臺中。