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TWI812731B - 物品搬送體 - Google Patents

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TWI812731B
TWI812731B TW108119767A TW108119767A TWI812731B TW I812731 B TWI812731 B TW I812731B TW 108119767 A TW108119767 A TW 108119767A TW 108119767 A TW108119767 A TW 108119767A TW I812731 B TWI812731 B TW I812731B
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衣川知孝
坂田博史
大塚洋
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日商大福股份有限公司
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Abstract

支撐部具備受行走部支撐的第1部分、連結於保持部的第2部分、及設置在第1部分與第2部分之間的阻尼部。阻尼部具備：引導部，沿著特定的引導方向來引導第1部分相對於第2部分的移動；連桿機構，連結於第1部分及第2部分的每一個，並且連動於第1部分相對於第2部分的移動；及彈性體。彈性體是以使連桿機構的動作減弱的方式連結於連桿機構。

Description

物品搬送體
發明領域 本發明是有關於一種物品搬送體，前述物品搬送體具備有行走部、保持物品的保持部、及相對於行走部來支撐保持部的支撐部。
發明背景 如上述之物品搬送體的一例已記載於日本專利特開2016-94263號公報(專利文獻1)中。以下，在先前技術的說明中於括弧內所附上的符號是專利文獻1的符號。在專利文獻1中揭示有天花板搬送車(1)，前述天花板搬送車(1)具備有行走移動部(16)、保持搬送物(6)的搬送物支撐部(32)、及相對於行走移動部(16)來支撐搬送物支撐部(32)的支撐機構(23)。支撐機構(23)具備有透過升降操作機構(24)而受行走移動部(16)支撐的升降體(31)、及支撐搬送物支撐部(32)的引導支撐部(35)。並且，在此天花板搬送車(1)中，是將緩衝體(36)設置在升降體(31)與引導支撐部(35)之間，前述緩衝體(36)是由橡膠等之彈性構件所構成而可在上下方向上彈性變形自如，藉此抑制從行走移動部(16)側往已保持在搬送物支撐部(32)的搬送物(6)之振動的傳達。
發明概要 如上述，在專利文獻1所記載的構成中，是將可在成為振動的抑制對象之方向(以下稱為「對象方向」)上變形的彈性體，以可在對象方向上相對位移地設置的2個構件(在專利文獻1的構成中為升降體與引導支撐部)來夾持，藉此抑制在2個構件之間的對象方向之振動的傳達，以抑制從行走部側往已保持在保持部的物品之振動的傳達。在像這樣的構成中，因為是藉由因應於2個構件在對象方向上的相對位移，來使彈性體以和2個構件的相對位移量相同程度的方式在對象方向上變形，而抑制2個構件之間的對象方向之振動的傳達，所以必須使用在對象方向上具有所期望的彈性變形特性(對負載的變形量等)的彈性體來作為彈性體。但是，因彈性體的配置空間的限制等，而有使用在對象方向上具有所期望的彈性變形特性的彈性體較困難之情形。
於是，所期望的是在下述物品搬送體的實現：可在使用彈性體來抑制從行走部側往已保持在保持部的物品之振動的傳達之情況下，放寬對彈性體所要求的彈性變形特性的限制。
本揭示之物品搬送體具備行走部、保持物品的保持部、及相對於前述行走部來支撐前述保持部的支撐部，前述支撐部具備有：第1部分，受前述行走部支撐；第2部分，連結於前述保持部；及阻尼部，設置在前述第1部分與前述第2部分之間，前述阻尼部具備：引導部，沿著特定的引導方向來引導前述第1部分相對於前述第2部分的移動；連桿機構，連結於前述第1部分及前述第2部分的每一個，並且連動於前述第1部分相對於前述第2部分的移動；及彈性體，前述彈性體是以使前述連桿機構的動作減弱的方式連結於前述連桿機構。
在此構成中，設置在第1部分與第2部分之間的阻尼部具備：引導部，沿著特定的引導方向來引導第1部分相對於第2部分的移動；連桿機構，連動於第1部分相對於第2部分的移動；及彈性體，又，彈性體是以使連桿機構的動作減弱的方式連結於連桿機構。據此，可以藉由阻尼部來抑制第1部分與第2部分之間的引導方向之振動的傳達。此時，因為彈性體是以使連桿機構的動作減弱的方式連結於連桿機構，所以變得可藉由連桿機構之位移量或位移方向的轉換作用，而使彈性體的變形量不同於第1部分相對於第2部分的位移量、或使彈性體的變形方向和第1部分相對於第2部分的位移方向(亦即，引導方向)不同。據此，和以第1部分與第2部分來夾持彈性體的情況不同，可以藉由連桿機構之構成或彈性體相對於連桿機構之連結構成等，來調整對彈性體所要求的彈性變形特性，而可以放寬對彈性體所要求的彈性變形特性的限制。並且，在上述的構成中，因為第1部分是受行走部支撐，且第2部分連結於保持物品的保持部，所以可以使用彈性體來抑制從行走部側往已保持在保持部的物品的引導方向之振動的傳達。 如此，根據上述的構成，可以在使用彈性體來抑制從行走部側往已保持在保持部的物品之振動的傳達之情況下，放寬對彈性體所要求的彈性變形特性的限制。
物品搬送體之進一步的特徵與優點，透過以下之參照圖式來說明的實施形態之記載將變得明確。
用以實施發明之形態 [第1實施形態] 參照圖式(圖1~圖5)來說明物品搬送體的第1實施形態。
如圖1所示，物品搬送體1具備有行走部2、保持物品9的保持部3、及相對於行走部2來支撐保持部3的支撐部4。行走部2是構成為沿著行走軌道8(在此為一對行走軌道8)行走。具體而言，行走部2所具備的行走機構21具備有在行走軌道8上滾動的行走輪23、以及驅動行走輪23的行走用馬達22(驅動力源的一例)。藉由以行走用馬達22來驅動行走輪23，行走部2沿著行走軌道8行走。行走機構21具備有引導行走部2沿著行走軌道8的行走之引導輪24，且行走部2在引導輪24被行走軌道8的側面接觸引導之狀態下沿著行走軌道8行走。如此，行走部2的行走方向A為行走軌道8的延伸方向。
行走軌道8是以從天花板懸吊支撐的狀態而固定於天花板。亦即，物品搬送體1為沿著設在天花板側的行走軌道8行走的天花板搬送車。並且，支撐部4是相對於行走部2而將保持部3支撐成使保持部3相對於行走部2而配置於下側(鉛直方向V的下側)。具體而言，支撐部4是受行走部2所具備的升降機構25所懸吊支撐。
升降機構25具備有：皮帶或繩索等之傳動構件28、供傳動構件28捲繞的捲繞體27、及使捲繞體27旋轉的升降用馬達26(驅動力源的一例)。在傳動構件28的前端部連結有支撐部4(後述之第1部分41)(參照圖2)，捲繞體27是藉由升降用馬達26來朝正方向或反方向旋轉，而捲繞或送出傳動構件28，藉此以藉由傳動構件28懸吊支撐的狀態來使支撐部4上升或下降。升降機構25是在第1高度與第2高度之間使支撐部4升降，前述第1高度是行走部2之行走時的高度(圖1所示的高度)，前述第2高度是比第1高度更低的高度，並且是在與物品9的移載對象地點(例如處理裝置的裝載口)之間交接物品9的高度。行走部2具備有蓋部20，在支撐部4位於第1高度的狀態下，保持部3所保持之物品9的上側(鉛直方向V的上側)及行走方向A的兩側是被蓋部20所覆蓋。詳細將於後文描述，保持部3連結於像這樣地被行走部2懸吊支撐的支撐部4(後述之第2部分42)。藉此，保持部3即可藉由支撐部4而被行走部2懸吊支撐。
保持部3是構成為從上側來保持物品9。在此，物品搬送體1搬送的物品9為容置半導體晶圓的容器，具體而言為FOUP(前開式晶圓傳送盒，Front Opening Unified Pod)。並且，保持部3具備有把持部30(在此為一對把持部30)，前述把持部30是把持形成於物品9的上部之凸緣部9a。亦即，保持部3是藉由把持物品9來保持該物品9。在凸緣部9a的上表面形成有往下側凹陷的凹部，並且構成為在物品9被把持部30把持的狀態下，保持部3所具備的卡合部32從上側對該凹部嵌合。藉此，變得能夠提升保持部3所進行之物品9的保持的安定性。
保持部3具備有切換把持部30的狀態之把持用馬達31(參照圖2)，把持部30的狀態是藉由把持用馬達31的驅動而切換成支撐凸緣部9a的支撐狀態(圖1所示的狀態)、以及解除對凸緣部9a的支撐之解除狀態。具體而言，藉由切換一對把持部30的每一個的位置及姿勢之至少一者來使一對把持部30互相接近，而將把持部30的狀態從解除狀態切換成支撐狀態，藉由切換一對把持部30的每一個的位置及姿勢之至少一者來使一對把持部30互相遠離，而將把持部30的狀態從支撐狀態切換成解除狀態。在將物品9從物品搬送體1移載至移載對象地點的情況下，是在支撐部4位於上述之第2高度的狀態下將把持部30的狀態從支撐狀態切換至解除狀態，在將物品9從移載對象地點移載至物品搬送體1的情況下，是在支撐部4位於第2高度的狀態下將把持部30的狀態從解除狀態切換至支撐狀態。
以下，說明本揭示的主要部分即支撐部的構成。如圖2所示，支撐部4具備有：受行走部2支撐的第1部分41、連結於保持部3的第2部分42、及設置在第1部分41與第2部分42之間的阻尼部43。如圖2所示，傳動構件28的前端部連結於第1部分41，藉此第1部分41會受行走部2懸吊支撐。第1部分41是形成為板狀，且第1部分41是被行走部2支撐成以沿著水平面的方向來配置。在此，支撐部4具備有形成阻尼部43的容置空間之形成為箱狀的罩殼，該罩殼中的上壁部(從上側覆蓋該容置空間的部分)是構成第1部分41。
第2部分42是配置成在交叉於引導方向G(後述)的方向(在此為正交於引導方向G的方向)上與第1部分41相向。具體而言，第2部分42是相對於第1部分41而在下側配置成在鉛直方向V上與第1部分41相向。第2部分42是形成為平板狀，且第2部分42是被第1部分41支撐成以沿著水平面的方向來配置。第2部分42是以藉由阻尼部43所具備之後述的引導部50而限制相對於第1部分41的鉛直方向V及水平方向H(正交於引導方向G的水平方向)之移動的狀態，被第1部分41支撐成可沿著引導方向G移動。
第2部分42是藉由連結於保持部3而支撐保持部3。如上所述，保持部3具備有把持部30，把持部30是藉由被第2部分42支撐成可將把持部30的狀態切換成支撐狀態與解除狀態，而連結於第2部分42。如圖2所示，在此，一對把持部30是藉由直線運動機構，而以可互相接近或遠離的方式被第2部分42支撐，其中前述直線運動機構具備引導軌道、與受引導軌道引導支撐的引導塊。
如圖2及圖3所示，支撐部4具備有賦與勢能構件90，前述賦與勢能構件90是用於在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下(換言之，第2部分42已相對於第1部分41而沿著引導方向G移動的情況下)，使第1部分41相對於第2部分42的位置返回至中立位置(圖3所示的位置)的構件。支撐部4具備有以下2個種類的賦與勢能構件90：將第1部分41相對於第2部分42朝引導方向G的一側即引導方向第1側G1賦與勢能之賦與勢能構件90、以及將第1部分41相對於第2部分42朝引導方向G的另一側即引導方向第2側G2賦與勢能之賦與勢能構件90。在此，是使用沿著引導方向G伸縮的拉伸彈簧(拉伸線圈彈簧)來作為賦與勢能構件90。
將第1部分41相對於第2部分42朝引導方向第1側G1賦與勢能之賦與勢能構件90，設置在引導方向第2側G2的端部的鉤是掛在固定於第1部分41的第1固定部91，而設置在引導方向第1側G1的端部的鉤是掛在固定於第2部分42的第2固定部92。又，將第1部分41相對於第2部分42朝引導方向第2側G2賦與勢能之賦與勢能構件90，設置在引導方向第1側G1的端部的鉤是勾掛在固定於第1部分41的第1固定部91，而設置在引導方向第2側G2的端部的鉤是勾掛在固定於第2部分42的第2固定部92。並且，將這2個種類的賦與勢能構件90的賦與勢能力相平衡的位置設成中立位置。藉此，即使在第1部分41已相對於第2部分42從中立位置朝引導方向G之任一側移動的情況下，仍然可藉由這2個種類的賦與勢能構件90來使第1部分41相對於第2部分42的位置返回到中立位置。
如圖2所示，阻尼部43是設置在鉛直方向V中的第1部分41與第2部分42之間。阻尼部43具備有引導部50、連桿機構70、及彈性體60。引導部50是沿著特定的引導方向G來引導第1部分41相對於第2部分42的移動。亦即，第1部分41與第2部分42是構成為可藉由引導部50來沿著引導方向G相對移動。在此，阻尼部43具備有配置在水平方向H之互相不同的位置的2個引導部50。由於這2個引導部50除了水平方向H的配置位置之外是同樣地構成，因此在以下不將這2個引導部50作區別來說明。
如圖2及圖3所示，引導部50具備有：沿著引導方向G設置的引導軌道52、及藉由引導軌道52而沿著引導方向G被引導支撐的引導塊51。引導塊51是嵌合於引導軌道52，以限制相對於引導軌道52之正交於引導方向G的各方向(鉛直方向V或水平方向H等)之移動，第1部分41與第2部分42是構成為可在正交於引導方向G的各方向的相對移動已受到限制的狀態下，沿著引導方向G相對移動。在此，引導部50具備有一對引導塊51，前述一對引導塊51是在引導方向G之互相不同的位置上受引導軌道52所引導支撐。如圖3所示，引導軌道52是設置成沿著行走部2的行走方向A。亦即，引導方向G是沿著行走方向A的方向。
如圖2所示，引導塊51是固定於第1部分41中的和第2部分42的相向面(在此為第1部分41的下表面)，引導軌道52是固定於第2部分42中的和第1部分41的相向面(在此為第2部分42的上表面)。也可以和像這樣的構成不同，而設成下述構成：將引導軌道52固定於第1部分41中的和第2部分42的相向面，並將引導塊51固定於第2部分42中的和第1部分41的相向面。又，也可採用使用引導塊51與引導軌道52之構成以外的構成來作為引導部50。
連桿機構70是構成為連結於第1部分41及第2部分42的每一個，並且連動於第1部分41相對於第2部分42的移動。亦即，連桿機構70是構成為連動於第1部分41與第2部分42之沿著引導方向G的相對移動。並且，彈性體60是以使連桿機構70的動作減弱的方式連結於連桿機構70。藉此，變得可以藉由阻尼部43來抑制第1部分41與第2部分42之間的引導方向G之振動的傳達。如後所述，阻尼部43具備有複數個(具體而言為2個)連桿機構70，且彈性體60連結於連桿機構70的每一個。再者，彈性體60包含除了彈性之外還具有黏性的黏彈性體。使用黏彈性體來作為彈性體60，藉此可提升振動能量的吸收性能(振動的減弱性能)，而變得較容易抑制第1部分41與第2部分42之間的引導方向G之振動的傳達。例如，可以使用藉由丙烯酸橡膠或聚氨酯橡膠等之橡膠所形成的黏彈性體來作為彈性體60。
以下，說明本實施形態之連桿機構70及彈性體60的具體構成。再者，如圖3所示，阻尼部43具備有配置在水平方向H之互相不同的位置的2個連桿機構70。由於這2個連桿機構70具有在水平方向H上互相反轉之構成(以正交於水平方向H的面為對稱面而成為鏡像對稱的關係之構成)，因此在以下是在不區別這2個連桿機構70的情形下進行說明。再者，阻尼部43所具備的連桿機構70的數量可適當變更，也可設成阻尼部43僅具備1個或具備3個以上的連桿機構70之構成。
如圖2及圖3所示，連桿機構70具備有第1連桿體71及第2連桿體72，前述第1連桿體71及第2連桿體72是在連結部73中以繞著交叉於引導方向G的旋轉軸心R且旋轉自如的方式連結。在此，旋轉軸心R為正交於引導方向G的軸心。支撐部4是被行走部2支撐成使此旋轉軸心R沿著鉛直方向V。第1連桿體71及第2連桿體72是透過第3連結構件13(在此為連結銷)而在連結部73中旋轉自如地互相連結，前述第3連結構件13是在連結部73配置成沿著旋轉軸心R延伸。
第1連桿體71是在和連結部73不同的位置上旋轉自如地對第1部分41連結。第1連桿體71是相對於第1部分41以繞著平行於旋轉軸心R的軸心且旋轉自如的方式連結。在此，第1連桿體71是在沿著鉛直方向V的鉛直方向視角(參照圖3)下形成為直線狀地延伸。並且，在鉛直方向視角下，在第1連桿體71的一端部形成有連結部73，在第1連桿體71的另一端部形成有第1連桿體71與第1部分41的連結部。具體而言，第1連桿體71是透過第1連結構件11(在此為連結銷)而以旋轉自如的方式連結於安裝構件10，前述第1連結構件11是配置成沿著平行於旋轉軸心R的軸心延伸，前述安裝構件10是固定於第1部分41。安裝構件10是在引導方向G中之一對引導塊51之間固定於第1部分41。再者，也可以設成：將第1連桿體71透過第1連結構件11以旋轉自如的方式連結於引導塊51之構成、或將第1連桿體71透過第1連結構件11以旋轉自如的方式連結於第1部分41中的安裝構件10或未固定有引導塊51的部分之構成。
第2連桿體72是在和連結部73不同的位置上旋轉自如地對第2部分42連結。第2連桿體72是相對於第2部分42以繞著平行於旋轉軸心R的軸心且旋轉自如的方式連結。在此，第2連桿體72是形成為在鉛直方向視角下延伸成直線狀。並且，在鉛直方向視角下，在第2連桿體72的一端部形成有連結部73，在第2連桿體72的另一端部形成有第2連桿體72與第2部分42的連結部。具體而言，第2連桿體72是透過第2連結構件12(在此為連結銷)而以旋轉自如的方式連結於第2部分42，前述第2連結構件12是配置成沿著平行於旋轉軸心R的軸心延伸。
第1連桿體71中的和第1部分41的連結部、以及第2連桿體72中的和第2部分42的連結部是配置在水平方向H的相同位置上。亦即，在此，將第1連桿體71及第2連桿體72形成為在鉛直方向視角下為互相相同長度的直線狀。並且，如圖3所示，在第1部分41相對於第2部分42的位置為中立位置的狀態下，第1連桿體71及第2連桿體72是配置成使繞旋轉軸心R的相對角度成為零(亦即，在鉛直方向視角下互相重疊)。
由於連桿機構70是像這樣地構成，因此如圖4所示，在第1部分41已相對於第2部分42朝引導方向第1側G1移動的情況下(換言之，第2部分42已相對於第1部分41朝引導方向第2側G2移動的情況下)，連結部73相對於第2部分42之往引導方向第1側G1的位移量，是成為第1部分41相對於第2部分42之往引導方向第1側G1的位移量的一半之值。又，如圖5所示，在第1部分41已相對於第2部分42朝引導方向第2側G2移動的情況下(換言之，第2部分42已相對於第1部分41朝引導方向第1側G1移動的情況下)，連結部73相對於第2部分42之往引導方向第2側G2的位移量，是成為第1部分41相對於第2部分42之往引導方向第2側G2的位移量的一半之值。亦即，如圖4及圖5所示，當第1部分41相對於第2部分42朝引導方向G的任一側位移的情況下，連結部73相對於第2部分42之沿著引導方向G的移動量即第2位移量ΔD2，是成為第1部分41相對於第2部分42之沿著引導方向G的位移量即第1位移量ΔD1的一半之值。
再者，在圖3~圖5中，“P1＂是表示第1部分41的引導方向G的位置(在此為第1連結構件11的位置)，“P2＂是表示第2部分42的引導方向G的位置(在此為第2連結構件12的位置)。又，在圖4及圖5中，以2點鏈線來顯示第1部分41相對於第2部分42的位置為中立位置時的安裝構件10、引導塊51、及第3連結構件13的各位置。
如此，在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下之連結部73相對於第2部分42之沿著引導方向G的位移量(第2位移量ΔD2)，是成為第1部分41相對於第2部分42之沿著引導方向G的位移量(第1位移量ΔD1)的一半之值。由於第1部分41並未相對於第2部分42而朝水平方向H移動，因此第1位移量ΔD1是等於第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動時之第1部分41相對於第2部分42的位移量(在此為水平面上的位移量)。另一方面，雖然連結部73相對於第2部分42而朝水平方向H移動，但第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動時之連結部73相對於第2部分42的位移量(在此為水平面上的位移量)，是變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量更小，在第1部分41相對於第2部分42的位置位於中立位置的附近之狀態下，連結部73相對於第2部分42的位移量是成為第1部分41相對於第2部分42的位移量的一半左右之值。亦即，連桿機構70具有連結部73，前述連結部73在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下之相對於第2部分42的位移量，變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量更小。
如此，連桿機構70具有低位移部80，前述低位移部80在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下之相對於第2部分42的位移量，變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量更小。並且，彈性體60連結於低位移部80。在此，彈性體60連結於低位移部80即連結部73。
具體而言，如圖2所示，彈性體60具有：第1連結部61，連結成和低位移部80(在此為連結部73)一體地移動的部分；及第2連結部62，連結成和第1部分41及第2部分42之一者(在此為第2部分42)一體地移動的部分。彈性體60與連結對象部分的連結(例如，第2連結部62與第2部分42的連結)可以設成例如由接著固定所形成的連結。較理想的是，亦可將彈性體60與連結對象部分的連結設成由螺栓等所形成的緊固固定。第1連結部61是形成在彈性體60中的相向於第1部分41的面(在此為彈性體60的上表面)，第2連結部62是形成在彈性體60中的相向於第2部分42的面(在此為彈性體60的下表面)。彈性體60是形成為鉛直方向V成為厚度方向的板狀(在此為在鉛直方向視角下為矩形的板狀)，在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下，是沿著引導方向G的剪切負載作用於彈性體60。
低位移部80是相對於第2部分42的位移量變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量更小的部分(連桿機構70的一部分)。因此，藉由像這樣地將彈性體60連結於低位移部80，如圖4及圖5所示，在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下，彈性體60的變形量會變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量(第1位移量ΔD1)更小。具體而言，彈性體60的變形量是成為因應於低位移部80(連結部73)相對於第2部分42的位移量之比較小的量。若單純化來考量，如圖4及圖5所示，彈性體60之沿著引導方向G的變形量(剪切負載所造成的變形量)是成為和上述之第2位移量ΔD2相同程度。
如此，彈性體60連結於連桿機構70，以使得在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下之彈性體60的變形量變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量更小。藉此，相較於彈性體60的變形量和第1部分41相對於第2部分42的位移量相同或比其更大的情況，變得可將為了配置彈性體60所需要的空間抑制得較小。又，即使是具有下述特性的彈性體60，也變得容易適當地使用：彈性體60相對於負載之變形量相較於視為必要的變形量為較小。
再者，在此，雖然是設成將彈性體60的第2連結部62連結成和第2部分42一體地移動之構成，但是也可以設成將第2連結部62連結成和第1部分41一體地移動。在此情況下，在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動時之彈性體60的變形量，是成為因應於第1部分41相對於低位移部80(連結部73)的位移量之變形量。又，在此，雖然是設成第1連桿體71及第2連桿體72之雙方為相對於彈性體60而繞著旋轉軸心R旋轉自如之構成，但是亦可將第1連桿體71及第2連桿體72的其中一者連結成相對於彈性體60而繞著旋轉軸心R一體地旋轉，藉此積極地使彈性體60扭轉變形。又，在此，雖然是設成將彈性體60連結於連結部73之構成，但是也可以設成將彈性體60連結於連桿機構70中的連結部73以外的低位移部80(例如，第1連桿體71或第2連桿體72的中間部分)之構成。
[第2實施形態] 參照圖式(圖6~圖9)來說明物品搬送體的第2實施形態。在本實施形態中，相對於彈性體60的連桿機構70之連結構造和上述第1實施形態不同。以下，針對本實施形態的物品搬送體，以和第1實施形態之不同點為中心來說明。針對未特別清楚記載之點，是與第1實施形態同樣，並附上相同的符號而省略詳細的說明。
本實施形態的物品搬送體1具備有和上述第1實施形態同樣的構成之連桿機構70。亦即，連桿機構70具備有第1連桿體71及第2連桿體72，前述第1連桿體71及第2連桿體72是以繞著交叉於引導方向G的旋轉軸心R且旋轉自如的方式連結。並且，如圖7~圖9所示，第1連桿體71及第2連桿體72是在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下，繞著旋轉軸心R來相對地旋轉。亦即，連桿機構70具有第1構件81與第2構件82，前述第1構件81與第2構件82是在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下，繞著交叉於引導方向G的旋轉軸心R來相對地旋轉，在此，第1連桿體71為第1構件81，第2連桿體72為第2構件82。再者，圖6~圖9是對應於上述第1實施形態中的圖2~圖5的圖式。
如圖6所示，彈性體60具有：第1連結部61，和第1構件81(在此為第1連桿體71)一體地連結的部分；及第2連結部62，和第2構件82(在此為第2連桿體72)一體地連結的部分。具體而言，彈性體60是和上述第1實施形態同樣地連結於連結部73。並且，第1連結部61是形成在彈性體60中相向於第1部分41的面(在此為彈性體60的上表面)，第2連結部62是形成在彈性體60中相向於第2部分42的面(在此為彈性體60的下表面)。彈性體60是連結成在第1連結部61中和第1構件81一體地繞著旋轉軸心R旋轉，並且連結成在第2連結部62中和第2構件82一體地繞著旋轉軸心R旋轉。
彈性體60是形成為鉛直方向V成為厚度方向的板狀(在此，在鉛直方向視角下為圓形的板狀)，在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下，繞旋轉軸心R的扭轉負載會作用於彈性體60。亦即，如圖8及圖9所示，在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下之彈性體60的變形量(扭轉負載所造成的變形量)，是成為因應於第3位移量ΔD3的變形量，前述第3位移量ΔD3是第1構件81與第2構件82之繞旋轉軸心R的相對旋轉量(相對的旋轉位移量、相對的角度位移量)。
若單純化來考量，可以將彈性體60之因應於第3位移量ΔD3的變形量，視為彈性體60的外周面(鉛直方向視角下的外周面)中的繞旋轉軸心R的變形量(對該外周面的半徑乘上第3位移量ΔD3之值)。若像這樣地考量，則由圖8及圖9可清楚得知，可以將第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動時之彈性體60的變形量(因應於第3位移量ΔD3的變形量)，設得比第1部分41相對於第2部分42的位移量(第1位移量ΔD1)更小。亦即，在本實施形態中，也和上述第1實施形態同樣地，在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下，彈性體60的變形量是變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量更小。
再者，在此，雖然是設成第1連桿體71為第1構件81，且第2連桿體72為第2構件82之構成(亦即，連結彈性體60之第1構件81與第2構件82的連結部為第1連桿體71與第2連桿體72的連結部73之構成)，但是也可以設成連結彈性體60之第1構件81與第2構件82的連結部不是連結部73之構成。例如，也可以設成：第1連桿體71為第1構件81，且第1部分41為第2構件82之構成(亦即，將彈性體60連結於與第1連結構件11繞著同軸的旋轉軸心來相對地旋轉的第1連桿體71與第1部分41的連結部之構成)、或設成：第2連桿體72為第1構件81，且第2部分42為第2構件82之構成(亦即，將彈性體60連結於與第2連結構件12繞著同軸的旋轉軸心來相對地旋轉的第2連桿體72與第2部分42的連結部之構成)。又，在此，雖然是設成將彈性體60形成為鉛直方向V成為厚度方向的板狀之構成，但是也可以設成將彈性體60形成為在鉛直方向V上延伸的圓柱狀之構成等。
[其他的實施形態] 接著，針對物品搬送體的其他實施形態進行說明。
(1)上述之各實施形態所示的連桿機構70之構成僅為一例，連桿機構70之構成可以作適當變更。例如，在上述之各實施形態中，雖然是將連桿機構70構成為：在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下之連結部73相對於第2部分42之沿著引導方向G的位移量(第2位移量ΔD2)，成為第1部分41相對於第2部分42之沿著引導方向G的位移量(第1位移量ΔD1)的一半之值，但是亦可將連桿機構70構成為使第2位移量ΔD2成為和第1位移量ΔD1的一半不同之值。又，例如，在上述之各實施形態中，雖然是設成連桿機構70僅具備有2個連桿體(支臂)之構成，但是亦可設成連桿機構70除了第1連桿體71及第2連桿體72以外還具備有連桿體之構成。在此情況下，可以設成例如第1連桿體71是透過其他連桿體而連結於第1部分41之構成、或第2連桿體72是透過其他連桿體而連結於第2部分42之構成。
(2)在上述之各實施形態中，是以將彈性體60以如下的方式連結於連桿機構70之構成為例來說明：使得在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下之彈性體60的變形量，變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量更小。但是，並非限定於像這樣的構成，也可以設成將彈性體60以如下的方式連結於連桿機構70之構成：使得在第1部分41已相對於第2部分42而沿著引導方向G移動的情況下之彈性體60的變形量，變得比第1部分41相對於第2部分42的位移量更大。
(3)在上述之各實施形態中，是以下述之構成為例來說明：保持部3從上側保持物品9之構成，具體而言，是保持部3具備有把持物品9的凸緣部9a之把持部30之構成。但是，並非限定於像這樣的構成，也可以設成例如保持部3從下側保持物品9之構成。具體而言，可以設成保持部3具備有從下側支撐物品9的支撐部之構成。亦即，可以設成保持部3是藉由支撐物品9(從下側支撐)而保持該物品9之構成。在像這樣的情況等之中，也可以設成以下構成：將保持部3中的保持物品9的部分，和第2部分42一體地形成，藉此將第2部分42連結於保持部3之構成(例如，第2部分42中的和第1部分41相向之側為相反側之面，作為物品9的保持部(支撐部)來發揮功能之構成)。
(4)在上述之各實施形態中，是以下述構成為例來說明：支撐部4相對於行走部2來支撐保持部3，以使得保持部3相對於行走部2而配置在下側。但是，並非限定於像這樣的構成，也可以設成以下構成：支撐部4相對於行走部2來支撐保持部3，以使得保持部3相對於行走部2而配置在上側。亦即，並非藉由支撐部4將如上述之各實施形態的保持部3懸吊支撐於行走部2之構成，而是可以設成藉由支撐部4從下側將保持部3支撐於行走部2之構成。在設成像這樣的構成之情況等之中，也可以和上述之實施形態不同，而設成將第2部分42相對於第1部分41而配置在上側之構成。
(5)在上述之各實施形態中，是以下述構成為例來說明：引導方向G為沿著行走部2的行走方向A的方向之構成。但是，並非限定於像這樣的構成，也可以設成使引導方向G成為沿著行走方向A以外的方向(例如正交於行走方向A的水平方向)之方向之構成。
(6)在上述之各實施形態中，是以下述構成為例來說明：物品搬送體1為沿著設在天花板側的行走軌道8而行走的天花板搬送車之構成。但是，並非限定於像這樣的構成，也可以設成例如物品搬送體1為沿著設在地板面上的行走軌道8而行走的地板面行走式的物品搬送車之構成。像這樣地物品搬送體1為地板面行走式的物品搬送車的情況等之中，也可以設成未設置行走軌道8之構成，亦即，行走部2並未沿著行走軌道8(亦即，不受行走軌道8所引導)來行走之構成。
(7)在上述之各實施形態中，是以物品9為FOUP之構成為例而進行了說明。然而，也可以不受限於該種構成，而將物品9設成容置倍縮光罩的容器或容置玻璃基板的容器等。又，物品9亦可為容器以外的物品。
(8)再者，在上述的各實施形態中所揭示之構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他實施形態所揭示之構成組合來適用(作為其他的實施形態而包含所說明的實施形態彼此的組合)。關於其他的構成，在本說明書中所揭示的實施形態在全部的點上只不過是例示。從而，在不脫離本揭示的主旨之範圍內，可進行適當的、各種的改變。
[上述實施形態的概要] 以下，針對在上述所說明之物品搬送體的概要進行說明。
一種物品搬送體，具備行走部、保持物品的保持部、及相對於前述行走部來支撐前述保持部的支撐部，前述支撐部具備有：第1部分，受前述行走部支撐；第2部分，連結於前述保持部；及阻尼部，設置在前述第1部分與前述第2部分之間，前述阻尼部具備：引導部，沿著特定的引導方向來引導前述第1部分相對於前述第2部分的移動；連桿機構，連結於前述第1部分及前述第2部分的每一個，並且連動於前述第1部分相對於前述第2部分的移動；及彈性體，前述彈性體是以使前述連桿機構的動作減弱的方式連結於前述連桿機構。
在此構成中，設置在第1部分與第2部分之間的阻尼部具備：引導部，沿著特定的引導方向來引導第1部分相對於第2部分的移動；連桿機構，連動於第1部分相對於第2部分的移動；及彈性體，彈性體是以使連桿機構的動作減弱的方式連結於連桿機構。據此，可以藉由阻尼部來抑制第1部分與第2部分之間的引導方向之振動的傳達。此時，因為彈性體是以使連桿機構的動作減弱的方式連結於連桿機構，所以變得可藉由連桿機構之位移量或位移方向的轉換作用，而使彈性體的變形量不同於第1部分相對於第2部分的位移量、或使彈性體的變形方向和第1部分相對於第2部分的位移方向(亦即，引導方向)不同。據此，和以第1部分與第2部分來夾持彈性體的情況不同，可以藉由連桿機構之構成或彈性體相對於連桿機構之連結構成等，來調整對彈性體所要求的彈性變形特性，而可以放寬對彈性體所要求的彈性變形特性的限制。並且，在上述的構成中，因為第1部分是受行走部支撐，且第2部分連結於保持物品的保持部，所以可以使用彈性體來抑制從行走部側往已保持在保持部的物品的引導方向之振動的傳達。 如此，根據上述的構成，可以在使用彈性體來抑制從行走部側往已保持在保持部的物品之振動的傳達之情況下，放寬對彈性體所要求的彈性變形特性的限制。
在此，較理想的是，前述彈性體是以下述方式連結於前述連桿機構：在前述第1部分已相對於前述第2部分而沿著前述引導方向移動的情況下之前述彈性體的變形量，變得比前述第1部分相對於前述第2部分的位移量更小。
根據此構成，相較於彈性體的變形量和第1部分相對於第2部分的位移量相同或比其更大的情況，變得可將為了配置彈性體所需要的空間抑制得較小。又，即使是具有下述特性的彈性體，也變得容易適當地使用：彈性體相對於負載之變形量相較於視為必要的變形量為較小。
又，較理想的是，前述連桿機構具有低位移部，前述低位移部在前述第1部分已相對於前述第2部分而沿著前述引導方向移動的情況下之相對於前述第2部分的位移量，變得比前述第1部分相對於前述第2部分的位移量更小，前述彈性體具有連結成和前述低位移部一體地移動的部分、及連結成和前述第1部分及前述第2部分之一者一體地移動的部分。
根據此構成，可以將第1部分已相對於第2部分而沿著引導方向移動的情況下之彈性體的變形量，設成因應於下述位移量的變形量：比第1部分相對於第2部分的位移量更小的位移量(具體而言，是低位移部相對於第2部分的位移量、或第1部分相對於低位移部的位移量)。據此，可以適當地實現如上述地彈性體的變形量變得比第1部分相對於第2部分的位移量更小之構成。
又，較理想的是，前述連桿機構具有第1構件與第2構件，前述第1構件與第2構件是在前述第1部分已相對於前述第2部分而沿著前述引導方向移動的情況下，繞著交叉於前述引導方向的旋轉軸心相對地旋轉，前述彈性體具有一體地連結於前述第1構件的部分、及一體地連結於前述第2構件的部分。
根據此構成，變得可將第1部分已相對於第2部分而沿著引導方向移動的情況下之彈性體的變形量，設成因應於第1構件與第2構件之間的繞旋轉軸心的相對旋轉量之比較小的變形量。據此，可以適當地實現如上述地彈性體的變形量變得比第1部分相對於第2部分的位移量更小之構成。
又，較理想的是，前述連桿機構具備第1連桿體及第2連桿體，前述第1連桿體及第2連桿體是在連結部以繞著交叉於前述引導方向的旋轉軸心且旋轉自如的方式連結，前述第1連桿體是在和前述連結部不同的位置上旋轉自如地對前述第1部分連結，前述第2連桿體是在和前述連結部不同的位置上旋轉自如地對前述第2部分連結，前述彈性體連結於前述連結部。
根據此構成，可以既將連桿機構的構成設成比較簡單的構成，並且將連桿機構適當地設置成連動於第1部分相對於第2部分的移動。並且，可以藉由例如使用連結部來作為上述之低位移部、或者使用第1連桿體及第2連桿體來作為上述之第1構件及第2構件，而適當地實現如上述之彈性體的變形量變得比第1部分相對於第2部分的位移量更小之構成。
又，較理想的是，前述引導方向是沿著前述行走部的行走方向的方向。
一般而言，在行走部上可能會因加減速等而產生比較大的行走方向的振動。根據此構成，由於是將行走方向設成由阻尼部所進行之振動的抑制對象的方向，因此可以適當地抑制從行走部側對已保持在保持部的物品傳達較大的振動之情形。
又，較理想的是，前述保持部是藉由前述支撐部而懸吊支撐於前述行走部。
在像這樣的構成中，因為是成為保持部及已保持在保持部的物品在相對於行走部而受懸吊支撐的狀態下受到支撐，所以會因行走部的加減速等所造成的振動而易於讓保持部大幅地搖動。從而，在像這樣地將保持部懸吊支撐於行走部的情況下，藉由使用如上述的構成，可以特別有效地抑制從行走部側往已保持在保持部的物品之振動的傳達。
本揭示之物品搬送體只要在上述的各效果當中，可以發揮至少1個效果即可。
1:物品搬送體 2:行走部 3:保持部 4:支撐部 8:行走軌道 9:物品 9a:凸緣部 10:安裝構件 11:第1連結構件 12:第2連結構件 13:第3連結構件 20:蓋部 21:行走機構 22:行走用馬達 23:行走輪 24:引導輪 25:升降機構 26:升降用馬達 27:捲繞體 28:傳動構件 30:把持部 31:把持用馬達 32:卡合部 41:第1部分 42:第2部分 43:阻尼部 50:引導部 51:引導塊 52:引導軌道 60:彈性體 61:第1連結部 62:第2連結部 70:連桿機構 71:第1連桿體 72:第2連桿體 73:連結部 80:低位移部 81:第1構件 82:第2構件 90:賦與勢能構件 91:第1固定部 92:第2固定部 A:行走方向 G:引導方向 G1:引導方向第1側 G2:引導方向第2側 H:水平方向 P1:第1部分的引導方向的位置 P2:第2部分的引導方向的位置 R:旋轉軸心 V:鉛直方向 ΔD1:第1位移量 ΔD2:第2位移量 ΔD3:第3位移量
圖1是第1實施形態之物品搬送體的側面圖。 圖2是第1實施形態之支撐部的縱剖正面圖。 圖3是第1實施形態之支撐部的橫剖平面圖。 圖4是顯示第1實施形態之支撐部的第1部分相對於第2部分而朝引導方向第1側位移的狀態的圖。 圖5是顯示第1實施形態之支撐部的第1部分相對於第2部分而朝引導方向第2側位移的狀態的圖。 圖6是第2實施形態之支撐部的縱剖正面圖。 圖7是第2實施形態之支撐部的橫剖平面圖。 圖8是顯示第2實施形態之支撐部的第1部分相對於第2部分而朝引導方向第1側位移的狀態的圖。 圖9是顯示第2實施形態之支撐部的第1部分相對於第2部分而朝引導方向第2側位移的狀態的圖。
3:保持部
4:支撐部
10:安裝構件
11:第1連結構件
12:第2連結構件
13:第3連結構件
28:傳動構件
30:把持部
31:把持用馬達
32:卡合部
41:第1部分
42:第2部分
43:阻尼部
50:引導部
51:引導塊
52:引導軌道
60:彈性體
61:第1連結部
62:第2連結部
70:連桿機構
71:第1連桿體
72:第2連桿體
73:連結部
80:低位移部
81:第1構件
82:第2構件
90:賦與勢能構件
91:第1固定部
92:第2固定部
H:水平方向
R:旋轉軸心
V:鉛直方向

Claims (7)

  1. 一種物品搬送體，具備以下： 行走部； 保持部，保持物品；及 支撐部，相對於前述行走部來支撐前述保持部， 前述物品搬送體具有以下之特徵： 前述支撐部具備：第1部分，受前述行走部支撐；第2部分，連結於前述保持部；及阻尼部，設置在前述第1部分與前述第2部分之間， 前述阻尼部具備：引導部，沿著特定的引導方向來引導前述第1部分相對於前述第2部分的移動；連桿機構，連結於前述第1部分及前述第2部分的每一個，並且連動於前述第1部分相對於前述第2部分的移動；及彈性體， 前述彈性體是以使前述連桿機構的動作減弱的方式連結於前述連桿機構。
  2. 如請求項1之物品搬送體，其中前述彈性體是以下述方式連結於前述連桿機構：在前述第1部分已相對於前述第2部分而沿著前述引導方向移動的情況下之前述彈性體的變形量，變得比前述第1部分相對於前述第2部分的位移量更小。
  3. 如請求項2之物品搬送體，其中前述連桿機構具有低位移部，前述低位移部在前述第1部分已相對於前述第2部分而沿著前述引導方向移動的情況下之相對於前述第2部分的位移量，變得比前述第1部分相對於前述第2部分的位移量更小， 前述彈性體具有連結成和前述低位移部一體地移動的部分、及連結成和前述第1部分及前述第2部分之一者一體地移動的部分。
  4. 如請求項2之物品搬送體，其中前述連桿機構具有第1構件與第2構件，前述第1構件與第2構件是在前述第1部分已相對於前述第2部分而沿著前述引導方向移動的情況下，繞著交叉於前述引導方向的旋轉軸心相對地旋轉， 前述彈性體具有一體地連結於前述第1構件的部分、及一體地連結於前述第2構件的部分。
  5. 如請求項1至4中任一項之物品搬送體，其中前述連桿機構具備第1連桿體及第2連桿體，前述第1連桿體及第2連桿體是在連結部以繞著交叉於前述引導方向的旋轉軸心且旋轉自如的方式連結， 前述第1連桿體是在和前述連結部不同的位置上旋轉自如地對前述第1部分連結， 前述第2連桿體是在和前述連結部不同的位置上旋轉自如地對前述第2部分連結， 前述彈性體連結於前述連結部。
  6. 如請求項1至4中任一項之物品搬送體，其中前述引導方向是沿著前述行走部的行走方向的方向。
  7. 如請求項1至4中任一項之物品搬送體，其中前述保持部是藉由前述支撐部而懸吊支撐於前述行走部。
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