TWI895165B - 傳送車 - Google Patents

Abstract

一種傳送車包含移動式運送裝置、充氣模組以及傳送箱。移動式運送裝置包含充氣接收設備及連接充氣接收設備的氣體連接口。移動式運送裝置為可配合自動化運載或人力運送，亦可為運送車作為廠區間的運送或是廠區外不同區域的運送。移動式運送裝置用以承載傳送箱，藉由充氣模組持續不斷的提供氣體予傳送箱，使傳送箱內部濕度有效降低與大幅改善微塵、VOC產生問題。

Description

傳送車

本發明是有關於一種用於傳送半導體容器的傳送車。

晶圓(wafer)或光罩(reticle)必須透過晶圓盒或光罩盒保護(以下統稱為傳送盒)。緩衝區內的傳送盒需先放置在台車上，接著被推送到傳送車旁。台車上的傳送盒需一盒一盒放置傳送車內。然而，多次拿放的方式將會造成顆粒(particle)產生及人員疲勞。

一般來說，傳送盒外會先套塑膠袋以防塵、防止外部濕度內侵，再透過傳送車傳送至各廠。然而，目前傳統傳送車內部僅有冷氣功能，但並無對於傳送盒內部的低溼度維持設計，傳送盒會因A廠到B廠之間因距離、溫度、存放方式而導致不良率提升。另外，前述塑膠袋是利用機器由上往下壓迫空走行式無人搬運車(OHT)夾頭。然而，此作法會造成傳送盒變形，導致顆粒產生。

再者，傳統傳送車一般有上下兩層可放置傳送盒。雖然傳統傳送車具備冷氣功能，但上層因靠近上車殼外，會因太陽照射而溫度較高。縱然有冷氣維持內部溫度，上層傳送盒依舊較易受熱，導致揮發性有機化合物(VOC)上升。

因此，如何提出一種可解決上述問題的傳送車，是目前業界亟欲投入研發資源解決的問題之一。

有鑑於此，本發明之一目的在於提出一種可有解決上述問題的傳送車。

為了達到上述目的，依據本發明之一實施方式，一種適用於傳送半導體容器的傳送車包含移動式運送裝置、充氣模組以及傳送箱。移動式運送裝置包含充氣接收設備及連接充氣接收設備的氣體連接口。充氣模組配置於移動式運送裝置。充氣模組用以對接充氣接收設備，並提供氣體傳送至氣體連接口中。傳送箱承載於移動式運送裝置上。傳送箱具有氣閥口。氣閥口位置對應於氣體連接口。氣閥口接收氣體以傳送至傳送箱內。

於本發明的一或多個實施方式中，充氣模組為氣體儲存瓶。

於本發明的一或多個實施方式中，傳送箱用以容納半導體容器。半導體容器具有匹配氣體連接口與氣閥口的氣體接收部。氣體接收部用以接收氣體經傳送箱傳送至半導體容器內。

於本發明的一或多個實施方式中，移動式運送裝置進一步包含運送架與多個輪體。充氣接收設備配置於運送架上。運送架用以承載傳送箱。輪體設置於運送架並用以移動運送架。

於本發明的一或多個實施方式中，移動式運送裝置進一步包含伸縮框架。伸縮框架設置於運送架上。伸縮框架用以環設固定傳送箱於運送架上。

於本發明的一或多個實施方式中，伸縮框架包含第一桿體、第二桿體以及壓板。第一桿體連接運送架，並配置以抵接傳送箱的側壁。第二桿體與第一桿體套合，並配置以相對於第一桿體線性滑動。壓板連接於第二桿體並遠離第一桿體的一端。壓板用以抵接固定傳送箱。

於本發明的一或多個實施方式中，第一桿體與運送架之間更包含旋轉軸件。第一桿體配置以藉由旋轉軸件向運送架外側旋轉平行展開、或旋轉垂直佇立於運送架上。

於本發明的一或多個實施方式中，運送架與輪體之間設置有避震模組。運送架包含振動感測模組與微控制器。振動感測模組用以偵測避震模組反饋所產生的震動資訊，並由微控制器將震動資訊傳送至雲端伺服器處理。

於本發明的一或多個實施方式中，運送架更設有多個定位元件。定位元件用以定位傳送箱於運送架上。

於本發明的一或多個實施方式中，傳送箱的底部具有定位槽。定位元件為定位銷，並配置以插入定位槽。

於本發明的一或多個實施方式中，傳送車進一步包含運送車，其配置充氣模組。運送車包含腔體。腔體用以承載移動式運送裝置。充氣模組用以對接充氣接收設備，並提供氣體傳送經氣體連接口、氣閥口至傳送箱內。

於本發明的一或多個實施方式中，充氣接收設備包含內部流道。內部流道連通於氣體連接口。

於本發明的一或多個實施方式中，充氣模組包含濕度感測模組以及微控制器。濕度感測模組配置以量測傳送箱內的濕度資訊。微控制器耦接濕度感測模組。微控制器用以儲存濕度資訊，並將濕度資訊傳送至雲端伺服器處理。

綜上所述，於本發明的傳送車中，可以解決習知的運送裝置無充氣功能而影響半導體容器的潔淨度的問題。本發明利用具有充氣功能的傳送車，不論是短距離的跨廠區運送或是遠距離跨區域的運送，皆可以藉由移動式運送裝置對接充氣模組，充氣模組可設置於運送架或運送車，經氣體路徑將氣體傳送至傳送箱內或傳送至半導體容器內部，藉以維持傳送箱或/及半導體容器內的濕氣與降低VOC的產生。本發明更具多功能應用，如傳送車具有偵測震動功能與偵測濕度功能，使作業人員能夠即時取得相關資訊，據以執行對應的處理措施，能夠解決因運送距離、溫度變化、存放方式所導致產品不良率問題。

以上所述僅係用以闡述本發明所欲解決的問題、解決問題的技術手段、及其產生的功效等等，本發明之具體細節將在下文的實施方式及相關圖式中詳細介紹。

以下將以圖式揭露本發明之複數個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。

請參照第1A圖以及第1B圖。第1A圖為繪示根據本發明傳送車10用以承載傳送箱130前的立體圖。第1B圖為繪示根據本發明傳送車10用以承載傳送箱130後的立體圖，其中傳送箱130承載於運送架101上且以虛線表示。傳送車10包含移動式運送裝置100、充氣模組120以及傳送箱130。移動式運送裝置100包含充氣接收設備110及連接充氣接收設備110的多個氣體連接口111。移動式運送裝置100可以同時配置多個傳送箱130。氣體連接口111包含有充氣口、排氣口或以上之組合或其中之一者。氣體連接口111與傳送箱130所具有的氣閥口131為相匹配，氣閥口131接收氣體以傳送至傳送箱130內，容後詳述。

充氣模組120配置於移動式運送裝置100。充氣模組120用以對接充氣接收設備110，並提供氣體傳送至氣體連接口111中。傳送箱130承載於移動式運送裝置100上。移動式運送裝置100進一步包含運送架101與多個輪體102。充氣接收設備110配置於運送架101上。運送架101用以承載傳送箱130。輪體102設置於運送架101並用以移動運送架101。

於本實施方式中，配置於運送架101上的充氣模組120為氣體儲存瓶，但本發明並不以此為限。於一些實施例中，氣體儲存瓶例如儲存有超潔淨乾空氣(Extreme Clean Dry Air, XCDA)。

第1B圖所示，於本實施方式中，傳送箱130用以容納半導體容器300a，例如為前開式晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod, FOUP)，而另一傳送箱130用以容納半導體容器300b，例如為光罩盒(reticle box)或極紫外光光罩盒(EUV POD)。傳送箱130不限定容納半導體容器300a、300b種類。

請參照第2圖，其為繪示根據本發明傳送車10的局部剖面示意圖。如第2圖所示，充氣接收設備110包含內部流道112。內部流道112設置於運送架101上。內部流道112連通於氣體連接口111。氣閥口131位置對應於氣體連接口111。氣閥口131從充氣接收設備110的氣體連接口111接收氣體以傳送至傳送箱130內。藉由將氣體灌輸至傳送箱130內，進而吹掃容納於傳送箱130內的半導體容器300a、300b，即可達到維持傳送箱130內濕度於15%以下的目的。同時亦可以控制半導體容器300a、300b的溫度變化，以有效抑制半導體容器300a、300b產生揮發性有機化合物(VOC)問題。

請參照第3圖，其為繪示根據本發明傳送車10的另一局部剖面示意圖。半導體容器300a的底部具有匹配氣體連接口111與氣閥口131的氣體接收部310，且彼此相連通。充氣模組120用以提供氣體，氣體行進路經包括內部流道112、氣體連接口111、氣閥口131、氣體接收部310。氣體接收部310用以接收氣體經傳送箱130的氣閥口131傳送至半導體容器300a、300b內，以達到將氣體引入半導體容器300a、300b的目的。

如第1A圖與第1B圖所示，移動式運送裝置100進一步包含一伸縮框架103，伸縮框架103設置於運送架101上。伸縮框架103用以環設固定傳送箱130於運送架101上。具體來說，伸縮框架103包括第一桿體103a、第二桿體103b以及壓板103c。第一桿體103a連接運送架101，並配置以抵接傳送箱130的側壁。第二桿體103b與第一桿體103a套合，並配置以相對於第一桿體103a線性滑動，本發明不限定第二桿體103b與第一桿體103a的連接方式，只要能伸縮調整長度皆屬於本發明專利保護範疇。壓板103c連接於第二桿體103b並遠離第一桿體103a的一端。壓板103c用以抵接固定傳送箱130。藉此，本實施方式的伸縮框架103可以根據傳送箱130的尺寸對應調整，以達到固定緊迫傳送箱130的功能。

如第1A圖與第1B圖所示，進一步詳述移動式運送裝置100的結構設計。移動式運送裝置100為可調整式運送架，進一步包含第一腳架部101a、避震模組101b以及第二腳架部101c。第一腳架部101a連接於運送架101與輪體102之間，充氣接收設備110設置於運送架101下方。避震模組101b設置於第一腳架部101a與輪體102之間。第二腳架部101c連接第一腳架部101a與運送架101之間，用以將第一腳架部101a收折平行於運送架101下方，或是將第一腳架部101a展開垂直佇立於運送架101下方。當移動式運送裝置100藉由輪體102移動於非平整的路面時，連接於第一腳架部101a與運送架101之間的避震模組101b可吸收路面反饋給輪體102的震動。

於一些實施方式中，避震模組101b可利用氣壓避震器、油壓避震器或彈性件(例如軟膠、彈簧)，但本發明並不以此為限。

請同時參照第1A圖與第4圖，第4圖為繪示運送架101的部分結構展開狀態立體圖。伸縮框架103更包含旋轉軸件101g，旋轉軸件101g設置於第一桿體103a與運送架101之間。藉由旋轉軸件101g將第一桿體103a向運送架101外側旋轉平行展開、或旋轉垂直佇立於運送架101上。藉此，作業人員可以先將伸縮框架103向運送架101外側旋轉平行展開，接著將傳送箱130承載於運送架101上，再將伸縮框架103旋轉垂直佇立於運送架101上，從而可便利地將傳送箱130固定緊迫於運送架101上。

請參照第5A圖以及第5B圖。第5A圖為繪示根據本發明運送架101與傳送箱130間定位的局部剖面示意圖。第5B圖為繪示根據本發明運送架101與傳送箱130間定位的另一局部剖面示意圖。如第1A圖、第5A圖與第5B圖所示，運送架101更設有多個定位元件101f。相對地，傳送箱130的底部具有定位槽132。定位元件101f為定位銷，並配置以插入定位槽132。藉由定位元件101f與定位槽132的相互配合，即可達到將傳送箱130定位於運送架101上的目的。

於第5A圖所示的本實施方式中，傳送箱130的定位槽132的剖面形狀呈三角形。於第5B圖所示的本實施方式中，傳送箱130的定位槽132的剖面形狀呈矩形。然而，定位槽132的剖面形狀並不以此為限。於實際應用中，只要能達到與定位元件101f相互定位的目的，傳送箱130的定位槽132可以彈性地修改成其他特定形狀。

請參照第6圖，其為繪示根據本發明傳送車10具偵測震動功能的功能方塊圖。如第6圖所示，運送架101進一步包含振動感測模組101d與微控制器101e。微控制器101e例如為可程式化邏輯控制器(programmable logic controller, PLC)，但本發明並不以此為限。振動感測模組101d用以偵測避震模組101b反饋所產生的震動資訊，並由微控制器101e將震動資訊例如通過無線方式傳送至雲端伺服器400處理。藉此，作業人員可以藉由雲端伺服器400的震動資訊的記錄內容而即時處理異常狀態。

請參照第7圖，其為繪示根據本發明傳送車10具偵測濕度功能的功能方塊圖。如第7圖所示，充氣模組120包含濕度感測模組121以及微控制器122。微控制器122例如為PLC，但本發明並不以此為限。濕度感測模組121配置以量測傳送箱130內的濕度資訊。微控制器122耦接濕度感測模組121。微控制器122用以儲存濕度資訊，並將濕度資訊例如通過無線方式傳送至雲端伺服器400處理。藉此，作業人員可以藉由雲端伺服器400的濕度資訊的記錄內容，如起始地到目的地的傳送箱130內部濕度資訊，而即時調整充氣模式以控制內部濕度維持程度。

除了半導體容器300a、300b可跨廠區(短距離)的運送之外，本發明提出另一種可遠距離跨區域運送的實施例。請參照第8圖以及第9圖。第8圖為繪示根據本發明一實施方式的傳送車20的側視圖。第9圖為繪示第8圖中的移動式運送裝置200的局部立體圖。如第8圖與第9圖所示，傳送車20進一步包含運送車202。運送車202配置充氣模組220。運送車202包含腔體202a（第8圖中以虛線表示），腔體202a用以承載移動式運送裝置200。運送車202配置有充氣模組220，充氣模組220可位於腔體202a內、或是架設於腔體202a外，但充氣模組220必須可連通於腔體202a內。由於腔體202a屬於大空間可以容納多個移動式運送裝置200，為方便運送，可以先將第一腳架部101a收折平行於運送架201下方。充氣模組220所提供的氣體傳送路徑為充氣接收設備210、氣體連接口211、氣閥口131（參照第2圖或第3圖）至傳送箱130內。

具體來說，運送車202可以配置多組充氣模組220，運送架201於腔體202a內採上下堆疊方式排列成兩層，其中壓板103c（配合參照第1A圖）除了可作為抵接固定該傳送箱130，以同時可作為堆疊運送架201的平台使用。充氣模組220可與充氣接收設備210對接，將氣體沿氣體路徑傳送至傳送箱130內、或同時傳送至傳送箱130與半導體容器300a/半導體容器300b內，使內部維持一定濕度直到目的地為止。透過此設計，源源不斷的氣體由傳送箱130內部由內向外溢出，達到傳送箱130的氣體循環而達到預定的潔淨度與濕度控制。又或者源源不斷的氣體直通充進半導體容器300a/半導體容器300b內部，其由內向外溢出，達到傳送箱130與半導體容器300a/半導體容器300b皆呈現正壓狀態，可以杜絕微塵(particle)進入半導體容器300a、300b內，同時維持上下層半導體容器300a、300b內部溫度維持一致，並減少VOC產生。

綜上所述，於本發明的傳送車中，可以解決習知的運送裝置無充氣功能而影響半導體容器的潔淨度的問題。本發明利用具有充氣功能的傳送車，不論是短距離的跨廠區運送或是遠距離跨區域的運送，皆可以藉由移動式運送裝置對接充氣模組，充氣模組可設置於運送架或運送車，經氣體路徑將氣體傳送至傳送箱內或傳送至半導體容器內部，藉以維持傳送箱或/及半導體容器內的濕氣與降低VOC的產生。本發明更具多功能應用，如傳送車具有偵測震動功能與偵測濕度功能，使作業人員能夠即時取得相關資訊，據以執行對應的處理措施，能夠解決因運送距離、溫度變化、存放方式所導致產品不良率問題。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並不用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作各種的更動與潤飾，因此本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

10,20:傳送車 100,200:移動式運送裝置 101,201:運送架 101a:第一腳架部 101b:避震模組 101c:第二腳架部 101d:振動感測模組 101e,122:微控制器 101f:定位元件 101g:旋轉軸件 102:輪體 103:伸縮框架 103a:第一桿體 103b:第二桿體 103c:壓板 110,210:充氣接收設備 111,211:氣體連接口 112:內部流道 120,220:充氣模組 121:濕度感測模組 130:傳送箱 131:氣閥口 132:定位槽 202:運送車 202a:腔體 300a,300b:半導體容器 310:氣體接收部 400:雲端伺服器

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下： 第1A圖為繪示根據本發明傳送車用以承載傳送箱前的立體圖。 第1B圖為繪示根據本發明傳送車用以承載傳送箱後的立體圖。 第2圖為繪示根據本發明傳送車的局部剖面示意圖。 第3圖為繪示根據本發明傳送車的另一局部剖面示意圖。 第4圖為繪示根據本發明運送架的部分結構展開狀態立體圖。 第5A圖為繪示根據本發明運送架與傳送箱間定位的局部剖面示意圖。 第5B圖為繪示根據本發明運送架與傳送箱間定位的另一局部剖面示意圖。 第6圖為繪示根據本發明傳送車具偵測震動功能的功能方塊圖。 第7圖為繪示根據本發明傳送車具偵測濕度功能的功能方塊圖。 第8圖為繪示根據本發明傳送車的側視圖。 第9圖為繪示第8圖中的移動式運送裝置的局部立體圖。

國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

10:傳送車

100:移動式運送裝置

101:運送架

101a:第一腳架部

101b:避震模組

101c:第二腳架部

101f:定位元件

102:輪體

103:伸縮框架

103a:第一桿體

103b:第二桿體

103c:壓板

110:充氣接收設備

111:氣體連接口

120:充氣模組

130:傳送箱

Claims (13)

1. 一種傳送車，適用於傳送一半導體容器，該傳送車包含： 一移動式運送裝置，包含一充氣接收設備及連接該充氣接收設備的一氣體連接口； 一充氣模組，配置於該移動式運送裝置，該充氣模組用以對接該充氣接收設備，並提供一氣體傳送至該氣體連接口中；以及 一傳送箱，承載於該移動式運送裝置上，該傳送箱具有一氣閥口，該氣閥口位置對應於該氣體連接口，該氣閥口接收該氣體以傳送至該傳送箱內。
2. 如請求項1所述之傳送車，其中該充氣模組為一氣體儲存瓶。
3. 如請求項1所述之傳送車，其中該傳送箱用以容納該半導體容器，該半導體容器具有匹配該氣體連接口與該氣閥口的一氣體接收部，且該氣體接收部用以接收該氣體經該傳送箱傳送至該半導體容器內。
4. 如請求項1所述之傳送車，其中該移動式運送裝置進一步包含一運送架與多個輪體，該充氣接收設備配置於該運送架上，該運送架用以承載該傳送箱，該些輪體設置於該運送架並用以移動該運送架。
5. 如請求項4所述之傳送車，其中該移動式運送裝置進一步包含一伸縮框架，該伸縮框架設置於該運送架上，該伸縮框架用以環設固定該傳送箱於該運送架上。
6. 如請求項5所述之傳送車，其中該伸縮框架包含： 一第一桿體，連接該運送架，並配置以抵接該傳送箱的側壁； 一第二桿體，與該第一桿體套合，並配置以相對於該第一桿體線性滑動；以及 一壓板，連接於該第二桿體並遠離該第一桿體的一端，該壓板用以抵接固定該傳送箱。
7. 如請求項6所述之傳送車，其中該第一桿體與該運送架之間更包含一旋轉軸件，該第一桿體配置以藉由該旋轉軸件向該運送架外側旋轉平行展開、或旋轉垂直佇立於該運送架上。
8. 如請求項4所述之傳送車，其中該運送架與該些輪體之間設置有一避震模組，該運送架包含一振動感測模組與一微控制器，該振動感測模組用以偵測該避震模組反饋所產生的一震動資訊，並由該微控制器將該震動資訊傳送至一雲端伺服器處理。
9. 如請求項4所述之傳送車，其中該運送架更設有多個定位元件，且該些定位元件用以定位該傳送箱於該運送架上。
10. 如請求項9所述之傳送車，其中該傳送箱的底部具有一定位槽，該些定位元件為定位銷，並配置以插入該定位槽。
11. 如請求項1所述之傳送車，進一步包含： 一運送車，配置該充氣模組，該運送車包含一腔體，該腔體用以承載該移動式運送裝置，該充氣模組用以對接該充氣接收設備，並提供該氣體傳送經該氣體連接口、該氣閥口至該傳送箱內。
12. 如請求項1所述之傳送車，其中該充氣接收設備包含一內部流道，且該內部流道連通於該氣體連接口。
13. 如請求項1所述之傳送車，其中該充氣模組包含： 一濕度感測模組，配置以量測該傳送箱內的一濕度資訊；以及 一微控制器，耦接該濕度感測模組，該微控制器用以儲存該濕度資訊，並將該濕度資訊傳送至一雲端伺服器處理。