TW202114047A - 支撐構件系統 - Google Patents

Abstract

一種與高架運輸系統相關聯的支撐構件系統。支撐構件系統為高架運輸系統提供安全特徵，通過所述安全特徵，高架運輸系統能夠避免損壞容置在由高架運輸系統無意釋放的晶圓匣內的晶圓。支撐構件系統能夠防止此種釋放的匣衝擊地面或位於高架運輸系統之下的工具。支撐構件系統以晶圓匣為目標，所述晶圓匣的尺寸不同於高架運輸系統最初設計用於運輸的晶圓匣的尺寸。還提供用於接收、存儲及遞送不同類型的晶圓匣的儲料器系統。

Description

支撐構件系統

本發明是有關於一種支撐構件系統。

為了生產半導體元件，作為用於半導體元件的原材料的半導體基板（例如矽晶圓）必須經過一系列複雜而精確的製程步驟。通常，為了完成所述系列步驟，晶圓必須從一件製造設備實體地運輸到另一件製造設備。在這些製造設備中，在晶圓上進行各種製程，例如擴散、離子植入、化學氣相沉積、光刻、刻蝕、物理氣相沉積及化學機械研磨。為了將晶圓高效地移動通過所述系列步驟並在半導體製造廠（通常稱為“晶圓廠”）中的不同製造設備之間高效地移動，多個晶圓被收容在前開式統一標準盒（front opening unified pod，FOUP）中，且在晶圓廠中實施自動化材料搬運系統（automated material handling system，AMHS），以將FOUP從一件製造設備移動到另一件製造設備。

在一些情況下，高架運輸車是晶圓廠中的AMHS的一部分。高架運輸車用於通過在高架軌道上行進並直接進入儲料器或其他製程設備（通常稱為“工具”）的裝載口來運輸FOUP。

本發明實施例的一種支撐構件系統，包括：高架運輸車（overhead transport vehicle）安裝支架，包括位於所述支架的第一端部處的第一樞軸點、位於所述支架的第二端部處的第二樞軸點及至少一個連接點；第一支撐臂，具有位於所述第一支撐臂的第三端部上的第三樞軸點；第二支撐臂，具有位於所述第二支撐臂的第四端部上的第四樞軸點；軸，延伸穿過所述第一樞軸點、所述第二樞軸點、所述第三樞軸點及所述第四樞軸點；以及支撐構件，耦合到所述第一支撐臂的與所述第三端部相對的端部及所述第二支撐臂的與所述第四端部相對的端部。

本發明實施例的一種儲料器系統，包括：機架；附接到所述機架的第一引導臂；及附接到所述機架的第二引導臂，所述第二引導臂平行於所述第一引導臂，其中所述第一引導臂與所述第二引導臂彼此間隔開，以容納至少兩種類型的晶片匣。

本發明實施例的一種晶片匣儲料器系統，包括：高架運輸車，包括支撐構件系統，所述支撐構件系統包括：高架運輸車安裝支架，包括位於所述支架的第一端部處的第一樞軸點、位於所述支架的第二端部處的第二樞軸點及至少一個連接點；第一支撐臂，具有位於所述第一支撐臂的第三端部上的第三樞軸點；第二支撐臂，具有位於所述第二支撐臂的第四端部上的第四樞軸點；軸，延伸穿過所述第一樞軸點、所述第二樞軸點、所述第三樞軸點及所述第四樞軸點；以及支撐構件，耦合到所述第一支撐臂的與所述第三端部相對的端部及所述第二支撐臂的與所述第四端部相對的端部；以及多匣儲料器系統，所述多匣儲料器系統包括：機架；附接到所述機架的第一引導臂；及附接到所述機架的第二引導臂，所述第二引導臂平行於所述第一引導臂，其中所述第一引導臂與所述第二引導臂彼此間隔開，以容納至少兩種類型的晶片匣。

以下公開內容提供用於實施所提供主題的不同特徵的許多不同的實施例或實例。以下闡述元件及佈置的具體實例以簡化本公開。當然，這些僅為實例而非旨在進行限制。舉例來說，在以下說明中，在第二特徵之上或第二特徵上形成第一特徵可包括其中第一特徵與第二特徵被形成為直接接觸的實施例，且也可包括其中第一特徵與第二特徵之間可形成附加特徵從而使得第一特徵與第二特徵可不直接接觸的實施例。另外，本公開在各種實例中可重複使用參考編號和/或字母。此種重複使用是為了簡明及清晰起見，且自身並不表示所論述的各個實施例和/或配置之間的關係。

此外，為易於說明，本文中可能使用例如“在…之下”、“在…下方”、“下部”、“在…上方”、“上部”等空間相對性用語來闡述圖中所示一個元件或特徵與另一（其他）元件或特徵的關係。除圖中所繪示的取向以外，所述空間相對性用語旨在涵蓋器件在使用或操作中的不同取向。設備可被另外取向（旋轉90度或處於其他取向），且本文所使用的空間相對性描述語可同樣相應地作出解釋。

根據本文所述主題的實施例包括能夠接收、存儲及遞送不同類型及尺寸的晶圓匣的集成晶圓匣儲料器系統。此種晶圓匣儲料器系統的實施例包括支撐構件系統，所述支撐構件系統能夠與被設計用於搬運一種類型的晶圓匣的高架運輸系統相關聯。根據本文所述實施例的支撐構件系統使得此種高架運輸系統能夠在高架運輸系統無意釋放晶圓匣時避免損壞晶圓，所述高架運輸系統最初並未設計用於搬運所述晶圓匣。支撐構件系統通過防止此種釋放的晶圓匣掉落到地面或位於高架運輸系統之下的工具上，來避免損壞容置在此種無意釋放的晶圓匣內的晶圓。根據本公開的實施例還包括多匣機架，所述多匣機架能夠接收不同類型及尺寸的晶圓匣、存儲此種晶圓匣及遞送此種晶圓匣。

圖1是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的儲料器系統100的概況的透視圖。

參考圖1，儲料器系統100包括支撐構件系統300（在圖2中繪示出，但在圖1中未繪示出）、多匣機架510及多匣機架510中的多匣分類器712。多匣機架510包括多匣埠512及多匣高架起重運輸埠612（以下稱為“多匣OHT埠”）。根據本文所述的一些實施例，儲料器系統100被集成到晶圓廠中的現有AMHS中。根據本文所述的實施例，當各種類型的匣遍歷晶圓廠中的不同工具時，儲料器系統100為所述匣提供臨時存儲。

圖2是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的與高架運輸車800相關聯的支撐構件系統300的左側透視圖。

圖3是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的與高架運輸車800相關聯的支撐構件系統300的左上透視圖。

參考圖2及圖3，根據本公開的一個或多個實施例的支撐構件系統300包括支架310、第一支撐臂320、第二支撐臂330、軸340及支撐構件350。在所示實施例中，支撐構件系統300可附接到高架運輸車800或從高架運輸車800拆卸。支撐構件系統300在附接到高架運輸車800時，能夠支撐各種類型的晶圓匣，而無需對高架運輸車800作出改變或作出很少改變。支撐構件系統300可在不同位置之間移動。在一個位置（例如，當高架運輸車要釋放晶圓匣時，與製程中的步驟相關聯的釋放位置）中，支撐構件系統300能夠將晶圓匣從高架運輸車轉移到工具及不同的位置（例如，當製程處於晶圓匣需要由高架運輸車保持的階段處時所佔據的支撐位置）中，其中支撐構件系統300能夠防止高架運輸車意外釋放或從高架運輸車無意脫離的晶圓匣衝擊地面或位於意外釋放或脫離的晶圓匣下方的工具。

根據圖2及圖3所示的實施例，支架310經由一個或多個連接點312固定到高架運輸車的一部分。可在連接點312處使用例如鉚釘、螺栓及螺母、螺釘等各種類型的緊固件，將支架310固定到高架運輸車。支架310包括第一端部及與第一端部相對的第二端部，其中第一樞軸點（連接點312）位於支架310的第一端部處，第二樞軸點314（在圖2及圖3中不可見）位於支架310的第二端部處（類似於第一樞軸點（連接點312）位於支架310的第一端部處的情況）。在圖2及圖3所示的實施例中，至少一個連接點316位於支架的第一端部與第二端部之間。如圖2及圖3所示，所述至少一個連接點316可包括兩個或更多個連接點，且每個連接點可包括一個以上的緊固件。

如圖2及圖3所示，第一樞軸點（連接點312）位於支架310的第一端部處，且第二樞軸點314位於支架310的第二端部處（例如，相對於第一樞軸點（連接點312）的相對位置）。在第一樞軸點（連接點312）及第二樞軸點314處，支架310分別可樞轉地連接到第一支撐臂320及第二支撐臂330。

支架310由能夠承載晶圓匣（例如，托盤及料盒）、晶圓匣中的晶圓以及支撐構件系統300的元件（例如第一支撐臂320、第二支撐臂330、軸340及支撐構件350）的重量的任何合適的材料構成。例如，支架310可由塑膠、複合材料、鋁、鎂、鋼等及其組合構成。

此外，如果構成支架310的材料足夠堅固以具有一個或多個開口，則支架可在支架310的本體中包括一個或多個開口，以減輕支撐構件系統300的重量。支架310不限於由上述示例性材料構成，而是可由足夠堅牢以支撐晶圓匣的任何材料形成。第一樞軸點（連接點312）與第二樞軸點314之間的支架310的寬度可為可調節的（例如，更長或更短），因此支架310可配合到具有不同設計（例如，高架運輸車被設計用於運輸的晶圓匣的不同製造商、不同模型以及不同大小）的不同高架運輸車模型。

第一支撐臂320在位於第一支撐臂320的第三端部上的第三樞軸點322處可樞轉地連接到支架310的第一端部。第二支撐臂330在位於第二支撐臂330的第四端部上的第四樞軸點332處可樞轉地連接到支架310的第二端部。第三樞軸點322用於將第一支撐臂320可旋轉地耦合到支架310的第一端部。在所示實施例中，第三樞軸點322包括一個或多個樞軸點，以穩定第一支撐臂320圍繞軸340的樞轉運動。

第一支撐臂320可由能夠承載晶圓匣（例如，托盤及料盒）、晶圓匣中的晶圓及支撐構件350的重量的任何合適的材料構成。例如，第一支撐臂320可由塑膠、複合材料、鋁、鎂、鋼等及其組合構成。

此外，如果構成第一支撐臂320的材料足夠堅固，則第一支撐臂320可在支架310的本體中包括一個或多個開口，以減輕支撐構件系統300的重量。第一支撐臂320不限於由上述示例性材料構成，而是可由足夠堅牢以支撐晶圓匣的任何材料形成。第一支撐臂320的大小（例如，長度）可變化或可調節（例如，被製作成短的或更長），因此第一支撐臂320可與具有不同設計（例如，高架運輸車被設計用於運輸的晶圓的不同製造商、不同模型及不同大小）的高架運輸車模型一起使用。

在所示實施例中，第一支撐臂320包括第一止動件（在圖2及圖3中不可見，但類似於第二止動件334位於第二支撐臂330上的情況，位於第一支撐臂320上），以在支撐構件系統300脫離時將第一支撐臂320定位在預定位置中。第一止動件324可包含彈性材料，以緩衝第一支撐臂320對高架運輸車800的表面的衝擊。

第二支撐臂330包括位於第二支撐臂330的第四端部上的第四樞軸點332。第二支撐臂330通過軸340在第四樞軸點332處可樞轉地耦合到支架310。第四樞軸點332包括一個或多個樞軸點，以穩定第二支撐臂330圍繞軸340的樞轉運動。

第二支撐臂330可由能夠支撐晶圓匣（例如，托盤及料盒）、晶圓匣中的晶圓及支撐構件350的重量的任何合適的材料構成。例如，第二支撐臂330可由塑膠、複合材料、鋁、鎂、鋼等及其組合構成。

此外，如果構成第二支撐臂330的材料足夠堅固以具有一個或多個開口，則第二支撐臂330可在第二支撐臂330的本體中包括一個或多個開口，以減輕支撐構件系統300的重量。第二支撐臂330不限於由上述示例性材料構成，而是可由足夠堅牢以支撐晶圓匣的任何材料形成。第二支撐臂330的大小（例如，長度）可變化或可調節（例如，被製作成更短或更長），因此第二支撐臂330可與具有不同設計（例如，高架運輸車將運輸的晶圓的不同製造商、不同模型及不同大小）的高架運輸車模型一起使用。

如上所述，第二支撐臂330包括第二止動件334，以在支撐構件系統300脫離時將第二支撐臂330定位在預定位置中。第二止動件334可包含彈性材料，以緩衝第二支撐臂330對高架運輸車800的表面的衝擊。

軸340延伸穿過第一樞軸點（連接點312）、第二樞軸點314、第三樞軸點322及第四樞軸點332，且將第一支撐臂320及第二支撐臂330可樞轉地耦合到支架310。通過使第一支撐臂320及第二支撐臂330相對於由軸340界定的樞轉軸前後樞轉，支撐構件系統300能夠在不同位置（例如，上述釋放位置及支撐位置）之間移動。

軸340可由能夠支撐晶圓匣（例如，托盤及料盒）、晶圓匣中的晶圓以及其他元件（例如第一支撐臂320、第二支撐臂330及支撐構件350）的重量的任何合適的材料構成。例如，軸340可由塑膠、複合材料、鋁、鎂、鋼等及其組合構成。軸340的內部可為中空的，以減輕支撐構件系統300的重量。

根據本文所述的支撐構件系統300的實施例，支撐構件350耦合到第一支撐臂320及第二支撐臂330。例如，支撐構件350耦合到第一支撐臂320的與第一支撐臂320的第三端部相對的端部，且耦合到第二支撐臂330的與第二支撐臂330的第四端部相對的端部。支撐構件350以任何合適的方式耦合到第一支撐臂320及第二支撐臂330，包括使用螺栓、螺母、開口、孔隙、孔、溝槽、引導件、鉤、閂鎖、互鎖件、緊固件、螺釘、銷等及其組合。

支撐構件350包括側壁構件352及板354。側壁構件352耦合到第一支撐臂320的與第一支撐臂320的第三端部相對的端部，且耦合到第二支撐臂330的與第二支撐臂330的第四端部相對的端部。板354連接到側壁構件352的邊緣，以將板354定向成實質上垂直於側壁構件352的一部分。在所示實施例中，垂直於其長度的支撐構件350的橫截面具有L形狀。側壁構件352及板354是由一片材料構成或者由一片以上的材料形成。

側壁構件352及板354可由能夠承載晶圓匣（例如，托盤及料盒）、晶圓匣中的晶圓的重量的任何合適的材料構成。例如，側壁構件352及板354可由塑膠、複合材料、鋁、鎂、鋼等及其組合構成。

當用於構成側壁構件352及板354的材料足夠堅固以具有一個或多個開口時，側壁構件352及板354可包括一個或多個開口以減輕支撐構件系統300的重量。發明所屬領域中具有通常知識者將認識到，側壁構件352及板354不限於上述示例性材料，而是可由能夠支撐晶圓匣及晶圓匣中的晶圓的重量的其他材料形成。第一支撐臂320與第二支撐臂330之間的側壁構件352及板354的大小（例如，其長度或寬度）可變化或被製作成可調節的（例如，被製作成更短或更長），因此側壁構件352及板354可容納具有不同設計（例如，高架運輸車被設計用於運輸的晶圓的不同製造商、不同模型及不同大小）的高架運輸車模型。

參考圖2，根據本公開的一個或多個實施例的支撐構件系統300包括第一介面構件362、第二介面構件364、接合杆（joint bar）372及連接到第一介面構件362及第二介面構件364中的一者或兩者的轉移構件382。

在所示實施例中，當所公開實施例的支撐構件系統300與高架運輸車800相關聯時，第一介面構件362附接到高架運輸車800的第一支撐構件812。當支架310與高架運輸車800相關聯時，第二介面構件364連接到高架運輸車800的第二支撐構件814。高架運輸車800的第一支撐構件812及第二支撐構件814可從晶圓匣釋放位置及晶圓匣支撐位置移動，在所述晶圓匣釋放位置中，第一支撐構件812及第二支撐構件814已朝向高架運輸車800向內移動，例如朝向高架運輸車800向內旋轉，在所述晶圓匣支撐位置中，第一支撐構件812及第二支撐構件814已遠離高架運輸車800向外移動，例如遠離高架運輸車800向外旋轉。例如，當高架運輸車800運輸FOUP時，高架運輸車800的第一支撐構件812及第二支撐構件814被旋出（或伸出）作為背撐（backup），以在從高架運輸車800無意卸放FOUP或無意釋放FOUP的情況下支撐FOUP（例如，晶圓匣支撐位置）。在晶圓匣釋放位置中，FOUP被有意地從高架運輸車800卸載，例如卸載到晶圓匣儲料器或其他製程設備的裝載口，在這種情況下，高架運輸車800的第一支撐構件812及第二支撐構件814被旋入（或朝向高架運輸車800縮回）。

第一支撐構件812及第二支撐構件814對於比FOUP小的其他晶圓匣類型（例如，托盤及料盒）以相同的方式操作。然而，由於尺寸（例如長度及寬度）以及第一支撐構件812及第二支撐構件814在高架運輸車800上的位置，高架運輸車800的第一支撐構件812及第二支撐構件814不具有適當的結構或尺寸來為用於比FOUP小的晶圓匣類型的支撐位置提供相同的安全特徵（即，在高架運輸車800意外卸放或釋放較小晶圓匣的情況下，第一支撐構件812及第二支撐構件814不適於支撐、例如“擷取”比高架運輸車被設計用於運輸的FOUP小的晶圓匣）。根據本文所述的實施例，支撐構件系統300與高架運輸車800的第一支撐構件812及第二支撐構件814相關聯，且提供“擷取”比高架運輸車800被設計用於運輸的FOUP小的晶圓匣的適當結構，而不對高架運輸車800的現有安全設備（例如，第一支撐構件812及第二支撐構件814）作出顯著改變。例如，可通過以下方式將根據本公開的支撐構件系統300的實施例安裝在現有高架運輸系統（高架運輸車800）上：移除高架運輸車的第一支撐構件812與高架運輸車的第二支撐構件814之間的原始接合杆，將支架310固定到高架運輸系統（高架運輸車800），將第一介面構件362安裝在第一支撐構件812上，並將第二介面構件364安裝在第二支撐構件814上。換句話說，根據本文所述的實施例的支撐構件系統300提供安全機制，由此高架運輸系統可安全地運輸大小比高架運輸系統最初設計用於運輸的FOUP小的晶圓匣。

第一介面構件362及第二介面構件364分別使用任何合適的方法附接到高架運輸車的第一支撐構件812及高架運輸車的第二支撐構件814，所述方法可包括開口、孔隙、孔、溝槽、引導件、鉤、閂鎖、互鎖件、緊固件、螺釘、銷等及其組合。第一介面構件362、第二介面構件364及轉移構件382被配置成將使高架運輸車的第一支撐構件812及第二支撐構件814延伸或縮回的移動轉移到側壁構件352。第一介面構件362包括第一旋轉點366，且第二介面構件364包括第二旋轉點368。接合杆372在第一旋轉點366與第二旋轉點368之間延伸，且在第一旋轉點366處可旋轉地固定到第一介面構件362，並且在第二旋轉點368處可旋轉地固定到第二介面構件364。第一旋轉點366及第二旋轉點368可由任何合適的材料構成，且可包括開口、孔隙、孔、銷、松鉚釘等及其組合。如上所述，第一介面構件362及第二介面構件364根據高架運輸車的第一支撐構件812及第二支撐構件814的移動而旋轉。

從第一介面構件362延伸到第二介面構件364的接合杆372包括位於接合杆372的一個端部上的第三旋轉點374及位於接合杆372的另一端部上的第四旋轉點376。當第一介面構件362及第二介面構件364根據高架運輸車的第一支撐構件812及第二支撐構件814的移動旋入或旋出時，分別連接到第一旋轉點366及第二旋轉點368的第三旋轉點374及第四旋轉點376允許接合杆372保持連接到第一介面構件362及第二介面構件364。第三旋轉點374及第四旋轉點376可由任何合適的材料構成，且可包括開口、孔隙、孔、銷、松鉚釘等及其組合。

接合杆372可由任何合適的材料構成。例如，接合杆372可由塑膠、複合材料、鋁、鎂、鋼等及其組合構成。

此外，如果用於構成接合杆372的材料足夠堅固以具有一個或多個開口，則接合杆372可在接合杆372的本體中包括一個或多個開口，以減輕支撐構件系統300的重量。接合杆372不限於上述示例性材料，而是可由任何材料形成。接合杆372的大小（例如長度和/或寬度）可為可調節的（例如，使得更長或更短），因此接合杆372可容納具有不同設計（例如，高架運輸車被設計用於運輸的晶圓的不同製造商、不同模型以及不同大小）的不同高架運輸車模型。

根據本公開的實施例，轉移構件382耦合到第一介面構件362及第二介面構件364中的一者或兩者。在圖1及圖2所示的實施例中，轉移構件382耦合到第一介面構件362，且在一個端部處包括輥384，並在相對的端部處包括穩定器386。

為了容納在垂直方向上實質上平行於側壁構件352設置的輥384，轉移構件382包括在垂直方向上實質上平行於側壁構件352設置的垂直旋轉軸385。輥384安裝在旋轉軸（垂直旋轉軸385）上，將第一介面構件362及第二介面構件364中的一者或兩者的移動轉移到側壁構件352。例如，當高架運輸車的第一支撐構件812及第二支撐構件814旋出（或延伸）時，第一介面構件362及第二介面構件364也相應地旋轉並移動到延伸位置（圖1及圖2所示的最向外的位置）。最終，連接到第一介面構件362及第二介面構件364中的一者或兩者的轉移構件382也相應地旋轉並沿著側壁構件352的背面移動。當轉移構件382從縮回位置（例如，與支撐構件系統300所固定到的高架運輸系統（高架運輸車800）的表面平行的位置）旋轉到延伸位置（例如，與支撐構件系統300所固定到的高架運輸系統（高架運輸車800）的表面垂直的位置）時，接觸側壁構件352的背面的輥384推壓側壁構件352的背面，直到轉移構件382實質上垂直於側壁構件352。當轉移構件382實質上垂直於側壁構件352時，支撐構件系統300佔據延伸位置或支撐位置。

在延伸位置或支撐位置中，從側壁構件352延伸的板354的下部分被定位為背撐，以在高架運輸車800運輸比FOUP小的晶圓匣（例如，托盤及料盒）時無意卸放晶圓匣的情況下支撐晶圓匣。

根據本公開的實施例，穩定器386位於轉移構件382的與輥384相對的端部上。當轉移構件382實質上垂直於側壁構件352及支撐構件系統300所固定到的高架運輸系統（高架運輸車800）的表面時，如圖2及圖3所示，轉移構件382的端部上的穩定器386變為實質上垂直於支撐構件系統300所固定到的高架運輸車800的內側。結果，與支撐構件系統300所固定到的高架運輸車800的內側及側壁構件352接觸的轉移構件382在其處於支撐位置中時，為整個支撐構件系統300提供附加結構支撐。

在根據本公開的一些實施例中，穩定器386包括阻尼器388。阻尼器388吸收由於晶圓匣降落在板354上而對支撐構件系統300造成衝擊的力。阻尼器388可包括彈簧、氣彈簧、流體彈簧或其他緩衝結構。阻尼器388被配置成吸收來自所述衝擊的能量，以保護匣中的晶圓。

根據本公開的一個或多個實施例，支撐構件系統300被配置成安裝到高架運輸車800的一側，以為比FOUP小的晶圓匣（例如，托盤及料盒）提供安全特徵。此處，由支撐構件系統300延伸的安全特徵包括提供支撐構件系統300，支撐構件系統300可固定比高架運輸車最初被設計所針對的晶圓匣和/或FOUP小的晶圓匣，尤其是在高架運輸車800上發生起重機構故障的情況下。所述故障可由起重機構的內部機械問題或外部環境（例如地震）觸發，並可導致起重機構無意地釋放晶圓匣，在這種情況下，釋放的晶圓匣可衝擊地面或起重機構下方的工具。此種衝擊可破壞或損壞容置在晶圓匣中的晶圓。

在安裝時，高架運輸車800上的支撐構件系統300將與高架運輸車的現有安全設備一起工作，並將高架運輸車的第一支撐構件812及第二支撐構件814的安全特徵延伸到高架運輸車所運輸的比FOUP小的晶圓匣（例如，托盤及料盒）。根據本文所述的實施例，安裝一對支撐構件系統300，例如，一個支撐構件系統300安裝在高架運輸車的第一內側上，且第二個支撐構件系統300安裝在所述車的與第一內側相對的第二內側上。

圖4是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的多匣機架510中的多匣埠512的透視圖。

參考圖4，根據本公開的一個或多個實施例的多匣機架510包括多匣埠512，多匣埠512用於接收由人、人引導的車或自動化引導的車運輸的各種類型的晶圓匣。因此，具有用於晶圓匣的一個或多個裝載或卸載位置的多匣埠512包括在裝載位置處附接到多匣機架510的第一引導臂520以及在裝載位置處附接到多匣機架510的第二引導臂530。第二引導臂530平行於第一引導臂520設置。第一引導臂520與第二引導臂530彼此間隔開，以容納各種類型的晶圓匣（例如，不同尺寸的托盤及料盒）。

第一引導臂520及第一引導臂530可由能夠承載晶圓匣（例如，托盤及料盒）及晶圓匣中的晶圓的重量的任何合適的材料構成。例如，第一引導臂520及第一引導臂530可由塑膠、複合材料、鋁、鎂、鋼等及其組合構成。為了防止或減少靜電的積聚，第一引導臂520及第二引導臂530可包含抗靜電材料。例如，可利用抗靜電塑膠材料來構成或封閉第一引導臂520及第二引導臂530。第一引導臂520及第二引導臂530可由一件構成，或者由多於一件組裝而成。

根據本文所述的實施例，第一引導臂520及第二引導臂530具有大於約10 mm的長度。為了容納各種類型的晶圓匣，第一引導臂520與第二引導臂530之間的距離可為約100 mm或長於100 mm。第一引導臂520與第二引導臂530之間的距離可為可調節的，以容納不同類型的晶圓匣。

第一引導臂520包括第一前導塊522、第一後導塊524、第一前上引導體526及第一後上引導體528。

第一前導塊522設置在第一引導臂520的前端部處。第一前導塊522包括六面體形狀、立方體形狀、矩形棱柱形狀或包括平坦頂表面的任何其他形狀。

第一後導塊524設置在第一引導臂520的後端部處。第一後導塊524包括六面體形狀、立方體形狀、矩形棱柱形狀或包括平坦頂表面的任何其他形狀。

根據本文所述的一些實施例，第一前導塊522具有大於10 mm的寬度，且第一後導塊524具有大於10 mm的寬度。第一前導塊522與第一後導塊524可具有不同的寬度。此外，第一前導塊522及第一後導塊524可具有大於10 mm的高度。

第一引導臂520包括設置在第一前導塊522上的第一前上引導體526。第一前上引導體526包括傾斜表面。第一前上引導體526上的傾斜表面被佈置成面向第二引導臂530。第一前上引導體526的大小小於第一前導塊522的大小。

第一引導臂520包括設置在第一後導塊524上的第一後上引導體528。第一後上引導體528包括傾斜表面。第一後上引導體528上的傾斜表面被佈置成面向第二引導臂530。第一後上引導體528的大小小於第一後導塊524的大小。

第二引導臂530包括第二前導塊532、第二後導塊534、第二前上引導體536及第二後上引導體538。

第二前導塊532設置在第二引導臂530的前端部處。第二前導塊532可包括六面體形狀、立方體形狀、矩形棱柱形狀或包括平坦頂表面的任何其他形狀。

第二後導塊534設置在第二引導臂530的後端部處。第二後導塊534可包括六面體形狀、立方體形狀、矩形棱柱或包括平坦頂表面的任何其他形狀。

第二前導塊532具有大於10 mm的寬度，且第二後導塊534具有大於10 mm的寬度。第二前導塊532與第二後導塊534可具有不同的寬度。此外，第二前導塊532及第二後導塊534可具有大於10 mm的高度。

第二引導臂530包括設置在第二前導塊532上的第二前上引導體536。第二前上引導體536包括傾斜表面。第二前上引導體536上的傾斜表面可面向第一引導臂520。第二前上引導體536的大小可小於第二前導塊532的大小。

第二引導臂530包括設置在第二後導塊534上的第二後上引導體538。第二後上引導體538包括傾斜表面。第二後上引導體538上的傾斜表面可面向第一引導臂520。第二後上引導體538的大小可小於第二後導塊534的大小。

根據所公開的實施例，第一前上引導體526的傾斜表面以約45度面對第二前上引導體536的傾斜表面。第一後上引導體528的傾斜表面以約45度面對第二後上引導體538的傾斜表面。

多匣埠512支撐各種類型的晶圓匣（例如，不同尺寸及形狀的晶圓匣），並且被配置成在地震或類似情況下防止晶圓匣從多匣機架510掉落。

參考圖4，根據本公開的一個或多個實施例的多匣機架510包括前擋板542，前擋板542在圖4中設置在第一引導臂520及第二引導臂530的前面，並延伸穿過第一引導臂520與第二引導臂530之間的開口。前擋板542及引導臂（第一引導臂520、第二引導臂530）可具有相同的高度或不同的高度。例如，前擋板542的高度可大於引導臂（第一引導臂520、第二引導臂530）的高度（例如，約15 mm或大於15 mm）。前擋板542設置在引導臂（第一引導臂520、第二引導臂530）的前面及其之間的開口中，以用柵欄隔開晶圓匣裝載位置中的一者或多者。此處，前擋板542被配置成通過向前移動穿過第一引導臂520與第二引導臂530之間的開口，防止在地震或類似情況下晶圓匣從晶圓匣裝載位置掉落。

根據本公開的一個或多個實施例的多匣機架510可包括後擋板544，後擋板544在圖4中被設置到第一引導臂520及第二引導臂530的後面，並延伸穿過第一引導臂520與第二引導臂530之間的開口。後擋板544及引導臂（第一引導臂520、第二引導臂530）可具有相同的高度或不同的高度。例如，後擋板544的高度可大於引導臂（第一引導臂520、第二引導臂530）的高度（例如，約15 mm或大於15 mm）。後擋板544設置到引導臂（第一引導臂520、第二引導臂530）的後面及其之間的開口，以用柵欄隔開晶圓匣存儲位置中的一者或多者。此處，後擋板544被配置成通過向後移動到第一引導臂520與第二引導臂530之間的開口，防止在地震或類似情況下晶圓匣從晶圓匣存儲位置掉落。

如上所述，根據本公開的一個或多個實施例，第一前導塊522、第一後導塊524、第二前導塊532及第二後導塊534的頂表面中的至少一者可被佈置成支撐至少一種或多種類型的晶圓匣（例如，料盒及托盤）。更具體來說，第一前上引導體526、第一後上引導體528、第二前上引導體536及第二後上引導體538中的至少一者利用上引導體（第一前上引導體526、第一後上引導體528、第二前上引導體536、第二後上引導體538）上的傾斜表面中的至少一者將由人、人引導的車、自動化引導的車或其他晶圓運輸器件卸載的晶圓匣引導到多匣機架510，以到達引導塊（第一前導塊522、第一後導塊524、第二前導塊532、第二後導塊534）的頂表面中的至少一者。

根據本公開的實施例，第一前導塊522及第一後導塊524被佈置成在第一前導塊522與第一後導塊524之間界定第一空間以用於第一前導塊522與第一後導塊524之間至少一種晶圓匣類型（例如，托盤）中的第一底部中心部分。第二前導塊532及第二後導塊534被佈置成在第二前導塊532與第二後導塊534之間界定第二空間，以用於第二前導塊532與第二後導塊534之間的至少一種晶圓匣類型（例如，托盤）中的第二底部中心部分。

圖5是根據本公開的一個或多個實施例的具有料盒匣500的多匣埠512的側剖視圖。

如圖1所示，儲料器系統100包括支撐構件系統300（在圖2中繪示出，但在圖1中未繪示出）、多匣機架510及多匣機架510中的多匣分類器712。為晶圓匣提供存儲位置的多匣機架510包括多匣埠512，以接收由人、人引導的車、自動化引導的車或其他晶圓運輸器件卸載的各種類型的晶圓匣（例如，托盤及料盒）。多匣埠512也可用於存儲各種類型的晶圓匣（例如，托盤及料盒）。

圖5繪示出根據本公開的一個或多個實施例的支撐料盒匣500的多匣埠512的結構。

第一前導塊522（在圖5中不可見）、第一後導塊524（在圖5中不可見）、第二前導塊532及第二後導塊534的頂表面被佈置成與料盒匣500的底表面接觸。更具體來說，第一前上引導體526、第一後上引導體528、第二前上引導體536及第二後上引導體538使用上引導體（第一前上引導體526、第一後上引導體528、第二前上引導體536、第二後上引導體538）上的傾斜表面作為引導件，將待由人、人引導的車、自動化引導的車或其他晶圓運輸器件卸載的料盒匣500引導到引導塊（第一前導塊522、第一後導塊524、第二前導塊532、第二後導塊534）的頂表面。

圖6繪示出根據本公開的一個或多個實施例的具有托盤匣600的多匣埠512的側剖視圖。

如圖1所示，儲料器系統100包括支撐構件系統300（在圖2中繪示出，但在圖1中未繪示出）、多匣機架510及多匣機架510中的多匣分類器712。為晶圓匣提供存儲位置的多匣機架510包括多匣埠512，以接收由人、人引導的車、自動化引導的車或其他晶圓運輸器件卸載的各種類型的晶圓匣（例如，托盤及料盒）。多匣埠512也可用於存儲各種類型的晶圓匣（例如，托盤及料盒）。

圖6繪示出根據本公開的一個或多個實施例的支撐托盤匣600的多匣埠512的結構。

第一前導塊522（在圖6中不可見）、第一後導塊524（在圖6中不可見）、第二前導塊532及第二後導塊534的頂表面被佈置成與托盤匣600的底表面接觸。更具體來說，第一前上引導體526、第一後上引導體528、第二前上引導體536及第二後上引導體538被佈置成使用上引導體（第一前上引導體526、第一後上引導體528、第二前上引導體536、第二後上引導體538）上的傾斜表面作為引導件，將待由人、人引導的車、自動化引導的車或其他晶圓運輸器件卸載的托盤匣600引導到引導塊（第一前導塊522、第一後導塊524、第二前導塊532、第二後導塊534）的頂表面。

第一前導塊522及第一後導塊524被佈置成在第一前導塊522與第一後導塊524之間界定第一空間以用於第一前導塊522與第一後導塊524之間的托盤匣600的第一底部中心部分。第二前導塊532及第二後導塊534被佈置成在第二前導塊532與第二後導塊534之間界定第二空間，以用於第二前導塊532與第二後導塊534之間的托盤匣600的第二底部中心部分。以上參考圖4到圖6闡述的多匣機架510的實施例的組件不限於以上所提出的特定尺寸。根據本公開的實施例包括多匣機架510的與上述特定尺寸不同的組件。

圖7是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的儲料器系統100的多匣OHT埠612的放大透視圖。

參考圖7，根據本公開的一個或多個實施例的多匣機架510包括多匣OHT埠612，多匣OHT埠612用於接收由高架運輸車800運輸的各種類型的晶圓匣。例如，承載各種類型的晶圓匣的高架運輸車800在高架軌道上行進，並且直接進入多匣機架510。高架運輸車800可配備有支撐構件系統300，以安全地運輸各種不同類型的晶圓匣。因此，具有用於晶圓匣的一個或多個裝載或卸載位置的多匣OHT埠612包括輸送器614，輸送器614被配置成將在多匣OHT埠612處接收的匣運輸到多匣機架510中的存儲位置。此外，輸送器614還被配置成將匣從多匣機架510中的存儲位置運輸到多匣OHT埠612。輸送器614可包括多個輥615。輸送器614還可包括對準器616。對準器616被配置成保持輸送器614上的晶圓匣與輸送器614對準。對準器616可被程式設計為將具有不同尺寸的各種類型的晶圓匣（例如，托盤及料盒）對準。

圖8是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的儲料器系統100的多匣分類器712的透視圖。

如圖1所示，儲料器系統100包括支撐構件系統300（在圖2中繪示出，但在圖1中未繪示出）、多匣機架510及多匣機架510中的多匣分類器712。多匣分類器712被配置成將經由多匣OHT埠612或多匣埠512運輸到多匣機架510的各種類型的晶圓匣（例如，托盤及料盒）分類。多匣分類器712可位於多匣機架510內的不同位置。例如，如圖1所示，多匣分類器712可位於多匣機架510的第一機架（在圖1中被繪示出為前機架）與第二機架（在圖1中被繪示出為後機架）之間。

參考圖8，根據本公開的一個或多個實施例的多匣機架510包括多匣分類器712，多匣分類器712用於對多匣機架510中的各種類型的晶圓匣（例如，托盤及料盒）進行分類及移動。

多匣分類器712被配置成從多匣埠512或多匣OHT埠612中的至少一者拾取晶圓匣，並且基於從AMHS中的控制器傳輸的命令將晶圓匣移動到多匣機架510中的存儲位置之一。至少一些存儲位置被佈置成與多匣埠512相同或類似，因此多匣分類器712可安全地卸載各種類型的匣（例如，托盤及料盒）。然而，根據本公開的實施例不限於多匣分類器512，多匣分類器512被配置成將晶圓匣卸載到僅類似於多匣埠512佈置的存儲位置。

多匣分類器712被配置成當用於後續製程的工具準備好用於晶圓匣中的晶圓時，從存儲位置拾取晶圓匣並將晶圓匣移動到多匣埠512或多匣OHT埠612。

根據本公開的實施例，多匣分類器712包括吊車714。吊車714包括具有兩個臂的叉715，叉715被配置成通過抓住晶圓匣的頂部分來拾取各種類型的晶圓匣。吊車714包括至少一個晶圓匣檢測感測器。第一晶圓匣檢測感測器（晶圓匣檢測感測器716）及第二晶圓匣檢測感測器（晶圓匣檢測感測器718）（如圖1所示）可在叉715的每個臂上平行設置。由晶圓匣檢測感測器716、718收集的檢測結果用於確定叉具有或將拾取的晶圓匣的類型（例如，托盤及料盒）。

通過提供包括支持各種類型的晶圓匣的一個存儲位置的多匣機架510及也支持各種類型的晶圓匣的多匣分類器712，儲料器系統100會避免對多個機架的需要，一個機架用於將在工廠中處理的各種不同類型的晶圓匣中的每一者，所述工廠與儲料器相關聯。

圖9是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的使用晶圓匣檢測感測器716、718來確定匣類型的過程的流程圖。

參考圖9，根據一個或多個實施例的確定匣類型的方法可包括：測量匣的高度的步驟S100；確定匣的類型的步驟S200；以及將匣資訊傳輸到AMHS控制器的步驟S300。

測量匣的高度的步驟S100是使用在叉715的臂上平行設置的第一晶圓匣檢測感測器（晶圓匣檢測感測器716）及第二晶圓匣檢測感測器（晶圓匣檢測感測器718）測量高度的步驟。每個檢測感測器（晶圓匣檢測感測器716、718）可包括具有發光構件及光檢測構件的光學感測器。發光構件發射光（例如，鐳射或紅外線（infrared ray，IR）。當光在特定高度處接觸晶圓匣的一部分時，一些光被反射並返回到光學感測器。光學感測器中的光檢測構件檢測和/或測量反射光。

確定匣的類型的步驟S200是確定匣的類型的步驟。由於托盤匣（高度：196 mm）與料盒匣（高度：170 mm）之間的高度差（例如，26 mm），多匣分類器712基於在特定高度處的反射光測量來確定（或確認）多匣分類器712正在運輸的匣的類型。基於測量結果，多匣分類器712可確定匣類型。

將匣類型資訊傳輸到AMHS控制器的步驟S300是基於來自步驟S200的確定結果將匣類型資訊從多匣分類器712傳輸到AMHS控制器的步驟。AMHS控制器可基於來自多匣分類器712的資訊更新其資料庫。此外，如果從多匣分類器712接收的資訊與其資料庫不匹配，則AMHS伺服器可向操作者發出警告。

如上所述，高架運輸車800上的支撐構件系統300與高架運輸車的現有安全設備（第一支撐構件812、第二支撐構件814）協作，並將安全設備（第一支撐構件812、第二支撐構件814）的安全特徵延伸到比FOUP小的晶圓匣（例如，托盤及料盒）。此處，由支撐構件系統300延伸的安全特徵可包括在高架運輸車800上發生起重機構故障的情況下固定較小的晶圓匣。此種故障可由起重機構的內部機械問題或外部環境（例如地震）觸發。

此外，包括高架運輸系統（高架運輸車800）且包括支撐構件系統300及多匣機架510的儲料器系統100支援利用各種類型的晶圓匣（例如，托盤及料盒）的工廠。通過在一個混合存儲系統中支援多個匣，儲料器系統100可用於減少在為每種晶圓匣類型安裝不同的儲料器及分類器時的重複投資，且不增加操作者的數量。最終，儲料器系統100可降低製成半導體元件的成本。

根據一個或多個實施例，一種支撐構件系統包括：高架運輸車安裝支架，包括位於所述支架的第一端部處的第一樞軸點、位於所述支架的第二端部處的第二樞軸點及至少一個連接點；第一支撐臂，具有位於第一支撐臂的第三端部處的第三樞軸點；第二支撐臂，具有位於第二支撐臂的第四端部處的第四樞軸點；軸，延伸穿過第一樞軸點、第二樞軸點、第三樞軸點及第四樞軸點；以及支撐構件，耦合到第一支撐臂的與第三端部相對的端部及第二支撐臂的與第四端部相對的端部。根據本公開實施例的支撐構件系統可與高架運輸系統相關聯，以提供附加安全特徵，所述附加安全特徵會降低在高架運輸系統無意釋放匣的情況下，例如由於操作者的錯誤或者由於環境事件（例如地震），由高架運輸系統運輸的匣中的晶圓將被損壞的可能性。

根據一個或多個實施例，提供一種能夠接受及存儲不同類型的晶圓匣的儲料器系統，所述晶圓匣包括晶圓、托盤匣或晶圓料盒匣。根據本公開的儲料器系統包括：機架；附接到機架的第一引導臂；以及附接到機架的第二引導臂，第二引導臂平行於第一引導臂，其中第一引導臂與第二引導臂彼此間隔開以容納至少兩種類型的晶圓匣。

儲料器系統還可包括位於高架運輸車上的可移動安全構件，所述可移動安全構件包括：支架，包括位於所述支架的第一端部處的第一樞軸點、位於所述支架的第二端部處的第二樞軸點及至少一個連接點，當支架與高架運輸車相關聯時，所述至少一個連接點接觸高架運輸車的元件；第一支撐臂，具有位於第一支撐臂的第三端部上的第三樞軸點；第二支撐臂，具有位於第二支撐臂的第四端部上的第四樞軸點；軸，延伸穿過第一樞軸點、第二樞軸點、第三樞軸點及第四樞軸點；以及支撐構件，耦合到第一支撐臂及第二支撐臂。

在實施例中，一種支撐構件系統，包括：高架運輸車安裝支架，包括位於所述支架的第一端部處的第一樞軸點、位於所述支架的第二端部處的第二樞軸點及至少一個連接點；第一支撐臂，具有位於所述第一支撐臂的第三端部上的第三樞軸點；第二支撐臂，具有位於所述第二支撐臂的第四端部上的第四樞軸點；軸，延伸穿過所述第一樞軸點、所述第二樞軸點、所述第三樞軸點及所述第四樞軸點；以及支撐構件，耦合到所述第一支撐臂的與所述第三端部相對的端部及所述第二支撐臂的與所述第四端部相對的端部。

在實施例中，當所述高架運輸車安裝支架與所述高架運輸車相關聯時，所述至少一個連接點附接到所述高架運輸車的內側。

在實施例中，所述支撐構件系統還包括連接到所述第一支撐臂的第一止動件及連接到所述第二支撐臂的第二止動件。

在實施例中，所述至少一個連接點是兩個或更多個連接點。

在實施例中，所述支撐構件耦合到所述第一支撐臂的與所述第一支撐臂的所述第三端部相對的端部，且耦合到所述第二支撐臂的與所述第二支撐臂的所述第四端部相對的端部。

在實施例中，所述支撐構件包括：側壁構件，耦合到所述第一支撐臂的與所述第一支撐臂的所述第三端部相對的端部，且耦合到所述第二支撐臂的與所述第二支撐臂的所述第四端部相對的端部；及連接到所述側壁構件的邊緣的板，所述板定向成實質上垂直於所述側壁構件的一部分。

在實施例中，所述支撐構件系統還包括：第一高架運輸車介面構件，當所述高架運輸車安裝支架與所述高架運輸車相關聯時，所述第一高架運輸車介面構件連接到所述高架運輸車的第一支撐構件；第二高架運輸車介面構件，當所述高架運輸車安裝支架與所述高架運輸車相關聯時，所述第二高架運輸車介面構件連接到所述高架運輸車的第二支撐構件；接合杆，在所述第一高架運輸車介面構件與所述第二高架運輸車介面構件之間延伸並連接到所述第一高架運輸車介面構件及所述第二高架運輸車介面構件；以及轉移構件，連接到所述第一高架運輸車介面構件及所述第二高架運輸車介面構件中的一者或兩者。

在實施例中，所述轉移構件包括輥。

在實施例中，所述支撐構件系統還包括與所述第一高架運輸車介面構件及所述第二高架運輸車介面構件中的一者或兩者相關聯的穩定器。

在實施例中，所述穩定器包括阻尼器。

在實施例中，一種儲料器系統，包括：機架；附接到所述機架的第一引導臂；及附接到所述機架的第二引導臂，所述第二引導臂平行於所述第一引導臂，其中所述第一引導臂與所述第二引導臂彼此間隔開，以容納至少兩種類型的晶片匣。

在實施例中，所述第一引導臂包括：第一前導塊；及第一後導塊，所述第一前導塊設置在所述第一引導臂的前端部處，且所述第一後導塊設置在所述第一引導臂的後端部處，其中所述第二引導臂包括：第二前導塊；及第二後導塊，所述第二前導塊設置在所述第二引導臂的前端部處，且所述第二後導塊設置在所述第二引導臂的後端部處。

在實施例中，所述第一引導臂包括：第一前上引導體，設置在所述第一前導塊上；及第一後上引導體，設置在所述第一後導塊上，其中所述第二引導臂包括：第二前上引導體，設置在所述第二前導塊上；及第二後上引導體，設置在所述第二後導塊上。

在實施例中，所述第一前上引導體、所述第一後上引導體、所述第二前上引導體及所述第二後上引導體中的至少一者包括傾斜表面。

在實施例中，所述第一前上引導體的所述傾斜表面面向所述第二前上引導體的所述傾斜表面，且其中所述第一後上引導體的所述傾斜表面面向所述第二後上引導體的所述傾斜表面。

在實施例中，所述儲料器系統還包括至少一個高架起重運輸（OHT）口。

在實施例中，所述第一前導塊、所述第一後導塊、所述第二前導塊及所述第二後導塊的頂表面被佈置成支撐A型晶片匣。

在實施例中，所述第一前導塊及所述第一後導塊被佈置成在所述第一前導塊與所述第一後導塊之間具有用於B型晶片匣的第一底部中心部分的第一空間，且其中所述第二前導塊及所述第二後導塊被佈置成在所述第二前導塊與所述第二後導塊之間具有用於所述B型晶片匣的第二底部中心部分的第二空間。

在實施例中，所述儲料器系統還包括具有至少一個晶片匣檢測感測器的晶片匣分類器，其中所述晶片匣檢測感測器用於確定晶片匣是A型晶片匣還是B型晶片匣。

在實施例中，一種晶片匣儲料器系統，包括：高架運輸車，包括支撐構件系統，所述支撐構件系統包括：高架運輸車安裝支架，包括位於所述支架的第一端部處的第一樞軸點、位於所述支架的第二端部處的第二樞軸點及至少一個連接點；第一支撐臂，具有位於所述第一支撐臂的第三端部上的第三樞軸點；第二支撐臂，具有位於所述第二支撐臂的第四端部上的第四樞軸點；軸，延伸穿過所述第一樞軸點、所述第二樞軸點、所述第三樞軸點及所述第四樞軸點；以及支撐構件，耦合到所述第一支撐臂的與所述第三端部相對的端部及所述第二支撐臂的與所述第四端部相對的端部；以及多匣儲料器系統，所述多匣儲料器系統包括：機架；附接到所述機架的第一引導臂；及附接到所述機架的第二引導臂，所述第二引導臂平行於所述第一引導臂，其中所述第一引導臂與所述第二引導臂彼此間隔開，以容納至少兩種類型的晶片匣。

以上概述了若干實施例的特徵，以使發明所屬領域中具有通常知識者可更好地理解本公開的各個方面。發明所屬領域中具有通常知識者應理解，其可容易地使用本公開作為設計或修改其他製程及結構的基礎來施行與本文中所介紹的實施例相同的目的和/或實現與本文中所介紹的實施例相同的優點。發明所屬領域中具有通常知識者還應認識到，這些等效構造並不背離本公開的精神及範圍，而且他們可在不背離本公開的精神及範圍的條件下對其作出各種改變、代替及變更。

100:儲料器系統 300:支撐構件系統 310:支架 312:連接點 314:第二樞軸點 316:連接點 320:第一支撐臂 322:第三樞軸點 324:第一止動件 330:第二支撐臂 332:第四樞軸點 334:第二止動件 340:軸 350:支撐構件 352:側壁構件 354:板 362:第一介面構件 364:第二介面構件 366:第一旋轉點 368:第二旋轉點 372:接合杆 374:第三旋轉點 376:第四旋轉點 382:轉移構件 384:輥 385:垂直旋轉軸 386:穩定器 388:阻尼器 500:料盒匣 510:多匣機架 512:多匣埠 520:第一引導臂 522:第一前導塊 524:第一後導塊 526:第一前上引導體 528:第一後上引導體 530:第二引導臂 532:第二前導塊 534:第二後導塊 536:第二前上引導體 538:第二後上引導體 542:前擋板 544:後擋板 600:托盤匣 612:多匣高架起重運輸埠 614:輸送器 615:輥 616:對準器 712:多匣分類器 714:吊車 715:叉 716:晶圓匣檢測感測器 718:晶圓匣檢測感測器 800:高架運輸車 812:第一支撐構件 814:第二支撐構件 S100、S200、S300:步驟

結合附圖閱讀以下詳細說明，會最好地理解本公開的各個方面。注意，根據本行業中的標準慣例，各種特徵並非按比例繪製。事實上，為論述清晰起見，可任意增大或減小各種特徵的尺寸。 圖1是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的儲料器系統100的概況的透視圖。 圖2是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的與高架運輸車800相關聯的支撐構件系統300的左側透視圖。 圖3是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的與高架運輸車800相關聯的支撐構件系統300的左上透視圖。 圖4是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的多匣機架510中的多匣埠512的透視圖。 圖5是根據本公開的一個或多個實施例的具有料盒匣（magazine cassette）的多匣埠512的側剖視圖。 圖6是根據本公開的一個或多個實施例的具有托盤匣的多匣埠512的側剖視圖。 圖7是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的多匣高架起重運輸（Overhead Hoist Transport，OHT）埠612的透視圖。 圖8是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的多匣分類器712的透視圖。 圖9是繪示出根據本公開的一個或多個實施例的使用晶圓匣檢測感測器716、718來確定匣類型的過程的流程圖。

100:儲料器系統

510:多匣機架

512:多匣埠

612:多匣高架起重運輸埠

712:多匣分類器

714:吊車

715:叉

716:晶圓匣檢測感測器

718:晶圓匣檢測感測器

Claims (1)

1. 一種支撐構件系統，包括： 高架運輸車安裝支架，包括位於所述支架的第一端部處的第一樞軸點、位於所述支架的第二端部處的第二樞軸點及至少一個連接點； 第一支撐臂，具有位於所述第一支撐臂的第三端部上的第三樞軸點； 第二支撐臂，具有位於所述第二支撐臂的第四端部上的第四樞軸點； 軸，延伸穿過所述第一樞軸點、所述第二樞軸點、所述第三樞軸點及所述第四樞軸點；以及 支撐構件，耦合到所述第一支撐臂的與所述第三端部相對的端部及所述第二支撐臂的與所述第四端部相對的端部。

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