TWI888242B

TWI888242B - 電極裝置

Info

Publication number: TWI888242B
Application number: TW113128898A
Authority: TW
Inventors: 陳禹誠; 黃俊壬; 唐鈺涵
Original assignee: 漢泰國際電子股份有限公司
Priority date: 2024-08-02
Filing date: 2024-08-02
Publication date: 2025-06-21

Abstract

一種電極裝置，包含一電極板，以及數陶瓷管組。該電極板包括彼此相反的一第一板面與一第二板面，以及數個由該第一板面延伸至該第二板面的貫孔。每一該陶瓷管組包括一個塞裝於各別的一個該貫孔中的陶瓷管件，以及一個連接該陶瓷管件的陶瓷塊體。每一該陶瓷塊體的一最大塊體寬度大於各別的一個該陶瓷管件的一最大管體寬度。由於每一該陶瓷塊體的寬度較大而具有可額外連接該電極板的該第一板面的部位，從而可透過提供較大的遮蔽部位與接觸部位來提升對該電極板的防護性以及與該電極板結合的結合強度。

Description

電極裝置

本發明是有關於一種乾蝕刻設備，特別是指一種乾蝕刻設備的電極裝置。

參閱圖1、2，一種現有的乾蝕刻設備的電極裝置，適用於作為下電極使用。該電極裝置包括一塊電極板11，以及數個塞裝在該電極板11中的陶瓷管12。

該電極板11包括彼此相反的一第一板面111與一第二板面112，以及數個分別界定出數貫孔113的孔圍面114。

該第一板面111形成有一個往該第二板面112凹的氣體流道115。

每一該貫孔113延伸於該第一板面111與該第二板面112間而上下貫通。每一貫孔113的其中一端連通該氣體流道115。

該等陶瓷管12分別塞裝在該等貫孔113中，並黏附該等孔圍面114。每一該陶瓷管12呈直管狀，且各部位的內外管徑相等。

此種現有的電極裝置的特點在於設置有可保護該等孔圍面114的該等陶瓷管12，可防止該等孔圍面114產生電弧放電（Arcing）的現象，但效果仍不夠好。

本發明的目的在於：改善先前技術的至少一個缺點。

本發明電極裝置，包含一電極板，以及數陶瓷管組。該電極板包括彼此相反的一第一板面與一第二板面，以及數個由該第一板面延伸至該第二板面的貫孔。每一該陶瓷管組包括一個塞裝於各別的一個該貫孔中的陶瓷管件，以及一個連接該陶瓷管件的陶瓷塊體。每一該陶瓷塊體的一最大塊體寬度大於各別的一個該陶瓷管件的一最大管體寬度。

本發明的功效在於：由於該陶瓷塊體的該最大塊體寬度大於該陶瓷管件的該最大管體寬度，因此該陶瓷塊體具有可額外覆蓋與接觸該第一板面的部位，從而可透過提供較大的遮蔽部位與接觸部位來提高防護性與結合強度，同時更好地防止電弧現象的發生。

在以下的說明內容中，類似或相同的元件將以相同的編號來表示。

參閱圖3，本發明電極裝置的一個實施例，可以是一上電極或一下電極。在本實施例中該電極裝置為一下電極。該電極裝置包含一塊電極板2，以及數個塞裝於該電極板2中的陶瓷管組3。

參閱圖4、5、6，該電極板2包括彼此相反的一位於下方的第一板面21與一位於上方的第二板面22，以及數個分別界定出數貫孔23的孔圍面24。

該電極板2的該第一板面21形成有一個由下往上朝該第二表面52凹的氣體流道25。該氣體流道25包括數個彼此間隔且分別連通該等貫孔23的容納槽部251，以及數個連通該等容納槽部251且筆直延伸的連接槽部252。

每一該容納槽部251呈圓槽狀，並由該第一板面21的一個圓槽面部253與一個環槽面部254相配合界定而成。每一該圓槽面部253水平橫向延伸且概呈圓環狀。每一該環槽面部254直立延伸且概呈圓環狀。

每一該貫孔23由該第一板面21的該圓槽面部253往上延伸至該第二板面22，而上下貫通該電極板2的本體。每一該貫孔23為孔徑一致的一圓柱孔。

每一該陶瓷管組3包括一個塞裝於該各別的一個該貫孔23中的陶瓷管件4，以及一個連接該陶瓷管件4並塞裝於各別的一個該容納槽部251中的陶瓷塊體5。

每一該陶瓷管件4主要呈圓管狀，並包括一個插設在陶瓷塊體5中的管體部41，以及一個連接該管體部41其中一端的突環部42。

每一該管體部41包括一外管面411與一內管面412。每一該外管面411黏著於各別的一個該孔圍面24上，並黏著於各別的一個該陶瓷塊體5上。每一該內管面412界定出一連通該氣體流道25的一第一管道413，以及一個相反於該第一管道413的第二管道414。該第一管道413的一第一管徑D1大於該第二管道414的一第二管徑D2。

每一該突環部42呈圓環狀（見圖4），且每一該突環部42的一環寬W11大於各別的一個該管體部41的一管寬W12。因此，每一該陶瓷管件4藉由額外往外延伸的該突環部42而可黏著於該陶瓷塊體5上。在本第一實施例中，由於該突環部42呈圓環狀，因此每一該陶瓷管件4整體的一最大管體寬度W21即為該環寬W11。

每一該陶瓷塊體5呈圓環狀，並設置在該氣體流道25各別的一個該容納槽部251中。雖然每一該陶瓷塊體5因為呈圓環狀而具有等方向性並利於安裝，但在本發明的其他實施態樣中，每一該陶瓷塊體5也可以是其他環狀，例如方環狀或六角環狀。每一該陶瓷塊體5定義出一最大塊體寬度W22，且每一該陶瓷塊體5的該最大塊體寬度W22大於各別的一個該陶瓷管件4的該最大管體寬度W21。

每一該陶瓷塊體5包括一連接該電極板2的該第一板面21的第一表面51、一相反於該第一表面51的第二表面52，以及內外間隔地連接於該第一表面51與該第二表面52間的一內表面53與一外表面54。

每一該第一表面51黏著於該第一板面21各別的一個該圓槽面部253上。每一該第二表面52形成有一個或數個可供流體流動的流動槽511（見圖4）。該等流動槽511用以連通該等連接槽部252。每一該內表面53界定出一供各別的一個該陶瓷管件4的該管體部41插設的插孔531，且每一該內表面53黏著於該陶瓷管件4的該外管面411。每一該外表面54黏著於該第一板面21各別的一個該環槽面部254上。

在本第一實施例中，由於每一該陶瓷塊體5的該最大塊體寬度W22大於各別的一個該陶瓷管件4的該最大管體寬度W21，因此相較於單純僅塞裝所述陶瓷管件4來說，塞裝每一該陶瓷管組3能額外多出每一該陶瓷塊體5的該第一表面51覆蓋/接觸該第一板面21的各別的一個該圓槽面部253的部分，並增加每一該陶瓷塊體5的該外表面54覆蓋/接觸該第一板面21各別的一個該環槽面部254的部分。如此一來，由於該電極板2受到遮蔽保護的部分，以及用來黏著接觸的部分增加了，故該電極板2可以受到更充分的保護，且該等陶瓷管組3與該電極板2黏接的結合強度也會跟著提升。同時由於該電極板2被遮蔽的面積增加，也可以更好地防止電弧現象的發生。

參閱圖7、8、9，本發明電極裝置的一個第二實施例與該第一實施例類似，不同的地方在於該第二實施例的每一該陶瓷管件4省略了該突環部42（見圖4），並一體連接各別的一個該陶瓷塊體5。具體來說，每一該陶瓷管件4的該管體部41一體連接各別的一個該陶瓷塊體5的該第一表面51。另外，由於每一該陶瓷管件4省略了該突環部42，因此每一該陶瓷管件4的該最大管體寬度W21即為該管體部41的管寬W12。

由於本第二實施例的每一該陶瓷塊體5的該最大塊體寬度W22同樣大於各別的一個該陶瓷管件4的該最大管體寬度W21，因此本第二實施例同樣可以透過該陶瓷塊體5的該第一表面51與該外表面54帶來與該電極板2的該第一板面21的該圓槽面部253及該環槽面部254接觸的額外接觸面積，故本第二實施例同樣具有對該電極板2有較佳的防護效果及該等陶瓷管組3與該電極板2結合性較佳的功效。

綜上所述，本發明電極裝置的功效在於：由於該陶瓷塊體5的該最大塊體寬度W22大於該陶瓷管件4的該最大管體寬度W21，因此該陶瓷塊體5具有可額外連接該第一板面21的部位，從而可透過提供較大的遮蔽部位與接觸部位來提升對該電極板2的防護性，並提高與該電極板2結合的結合強度，也更好地防止了電弧現象的發生。

以上所述者，僅為本發明的實施例而已，不能以此限定本發明的申請專利範圍，且依本發明申請專利範圍及專利說明書簡單等效變化與修飾之態樣，亦應為本發明申請專利範圍所涵蓋。

2:電極板 21:第一板面 25:氣體流道 251:容納槽部 252:連接槽部 253:圓槽面部 254:環槽面部 22:第二板面 23:貫孔 24:孔圍面 3:陶瓷管組 4:陶瓷管件 41:管體部 411:外管面 412:內管面 413:第一管道 414:第二管道 42:突環部 5:陶瓷塊體 51:第一表面 511:流動槽 52:第二表面 53:內表面 531:插孔 54:外表面 D1:第一管徑 D2:第二管徑 W11:環寬 W12:管寬 W21:最大管體寬度 W22:最大塊體寬度

本發明其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是一個不完整的立體圖，說明一個現有的電極裝置；圖2是一個不完整的剖視圖，說明該電極裝置使用一段時間後的狀態；圖3是一個不完整的立體圖，說明本發明電極裝置的一個第一實施例；圖4是一個不完整且部分分解的立體分解圖，說明一電極板與數陶瓷管組的結合關係，並說明每一該陶瓷管組的一陶瓷管件與一陶瓷塊體的結合關係；圖5是一個不完整的剖視圖，沿著一氣體流道的延伸方向剖切，說明該等陶瓷管組設置在該電極板中的狀態；圖6是一個不完整的剖視圖，沿著垂直該氣體流道的延伸方向剖切；圖7是一個不完整且部分分解的立體分解圖，說明本發明電極裝置的一個第二實施例；圖8是一個不完整的剖視圖，沿著該氣體流道的延伸方向剖切，；及圖9是一個不完整的剖視圖，沿著垂直該氣體流道的延伸方向剖切。

2:電極板

21:第一板面

251:容納槽部

253:圓槽面部

254:環槽面部

22:第二板面

23:貫孔

24:孔圍面

3:陶瓷管組

4:陶瓷管件

41:管體部

411:外管面

412:內管面

413:第一管道

414:第二管道

42:突環部

5:陶瓷塊體

51:第一表面

511:流動槽

52:第二表面

53:內表面

531:插孔

54:外表面

D1:第一管徑

D2:第二管徑

W11:環寬

W12:管寬

W21:最大管體寬度

W22:最大塊體寬度

Claims

一種電極裝置，包含：一電極板，包括彼此相反的一第一板面與一第二板面，以及數個由該第一板面延伸至該第二板面的貫孔；數陶瓷管組，每一該陶瓷管組包括一個塞裝於各別的一個該貫孔中的陶瓷管件，以及一個連接該陶瓷管件的陶瓷塊體，每一該陶瓷塊體的一最大塊體寬度大於各別的一個該陶瓷管件的一最大管體寬度。
如請求項1所述的電極裝置，其中，每一該陶瓷塊體呈環狀，並包括一連接該電極板的該第一板面的第一表面、一相反於該第一表面的第二表面，以及內外間隔地連接於該第一表面與該第二表面間的一內表面與一外表面，每一該內表面界定出一插孔，每一該陶瓷管件插設在各別的一個該插孔中。
如請求項2所述的電極裝置，其中，每一該陶瓷管件包括一個插設在各別的一個該插孔中的管體部，以及一個連接該管體部其中一端的突環部，每一該突環部的一環寬大於各別的一個該管體部的一管寬，每一該突環部連接各別的一個該陶瓷塊體的該第二表面。
如請求項1所述的電極裝置，其中，每一該陶瓷塊體包括一連接該電極板的該第一板面的第一表面、一相反於該第一表面的第二表面，以及內外間隔地連接於該第一表面與該第二表面間的一內表面與一外表面，每一該陶瓷管件一體連接各別的一個該第一表面。
如請求項1至4中任一項所述的電極裝置，其中，該陶瓷管件呈圓管狀，該陶瓷塊體呈圓環狀。
如請求項1至4中任一項所述的電極裝置，其中，該電極板的該第一板面形成有一個往該第二板面凹的氣體流道，該氣體流道包括數個彼此間隔且分別容納該等陶瓷塊體的容納槽部，以及數個連通該等容納槽部的連接槽部。
如請求項6所述的電極裝置，其中，該陶瓷管件界定出一連通該氣體流道的一第一管道，以及一個相反於該第一管道的第二管道，該第一管道的一第一管徑大於該第二管道的一第二管徑。
如請求項6所述的電極裝置，其中，每一該陶瓷塊體形成有至少一個可供一流體流動的流動槽，該等流動槽連通該等連接槽部。