TWI878621B

TWI878621B - 除污方法

Info

Publication number: TWI878621B
Application number: TW110136563A
Authority: TW
Inventors: 茂田誠; 池田卓司
Original assignee: 日商新田股份有限公司
Priority date: 2020-10-02
Filing date: 2021-09-30
Publication date: 2025-04-01
Also published as: US20230405168A1; WO2022071603A1; TW202222357A; EP4223323A1; EP4223323A4; JP7087211B1; JPWO2022071603A1

Abstract

一種除污方法係用以除污存在於除污對象內部的微生物和病毒中的至少一種。該除污方法包含有在除污對象內部釋放含有過乙酸的蒸氣而不釋放含有過乙酸的霧的步驟。除污過程中除污對象內部的平均濕度為RH82%以上。過乙酸蒸氣負荷量為2000ppm以上，所述過乙酸蒸氣負荷量係透過從除污開始到除污結束每分鐘對所述蒸氣中的過乙酸的濃度進行添加而所得到的值。

Description

除污方法

本發明係有關於一種除污方法，尤其是有關於除污存在於除污對象內部的微生物和病毒中的至少一種的除污方法。

日本專利第2018-121826號公報(日本專利文獻1)揭示一種對無菌生產設施等進行除污的除污裝置。該除污裝置係使用含有過乙酸的乾霧對除污對象空間進行除污(生物除污)。

專利文獻1：日本專利第2018-121826號公報

本發明人們認為使用含有過乙酸的蒸氣代替含有過乙酸的乾霧(霧)對除污對象內部進行除污。上述日本專利文獻1完全沒有揭示當使用含有過乙酸的蒸氣對除污對象的內部進行除污時，應該使用什麼樣的方法來適當地對除污對象的內部進行除污。

本發明就是為了解決如此般的問題而發明之，其目的係提供一種可以使用含有過乙酸的蒸氣對除污對象的內部進行適當除污的除污方法。

根據本發明的除污方法，除污存在於除污對象內部的微生物和病毒中的至少一種。該除污方法包含在除污對象的內部釋放含有過乙酸的蒸氣而不釋放含有過乙酸的霧的步驟。除污過程中除污對象內部的平均濕度為RH82%以上。過乙酸蒸氣負荷量為2000ppm以上，所述過乙酸蒸氣負荷量係透過從除污開始到除污結束每分鐘對蒸氣中的過乙酸的濃度進行添加而所得到的值。

本發明人們發現當除污過程中除污對象內部的平均濕度為RH82%以上並且當過乙酸蒸氣負荷量為2000ppm以上時，除污對象內部的除污就成功。在根據本發明的除污方法中，除污過程中除污對象內部的平均濕度為RH82%以上，並且過乙酸蒸氣負荷量為2000ppm以上。因此，根據該除污方法，可以適當地對除污對象的內部進行除污。

在上述除污方法中，平均濕度可以為RH99%以下，並且過乙酸蒸氣負荷量可以為12000ppm以下。

如果在除污過程中除污對象內部的平均濕度超過RH99%，則除污對象內部很有可能會出現結露。除污對象內部的結露將導致除污對象內部的腐蝕。此外，當過乙酸蒸氣負荷量超過12000ppm時，除污對象內部的易腐蝕金屬部件可能產生腐蝕。此外，如果過乙酸濃度超過100ppm，則除污對象內部的金屬部件可能會產生腐蝕。本發明人們發現了此等事實。在根據本發明的除污方法中，平均濕度為RH99%以下，並且過乙酸蒸氣負荷量為12000ppm以下。因此，根據該除污方法，可以抑制除污裝置內部的腐蝕。

上述除污方法中，過乙酸蒸氣負荷量與平均濕度還可以滿足以下關係。

y>-350x+33250

x：該平均濕度

y：該過乙酸蒸氣負荷量

本發明人們發現當過乙酸蒸氣負荷量和平均濕度滿足上述關係時，除污為成功的。在根據本發明的除污方法中，過乙酸蒸氣負荷量和平均濕度滿足上述關係。因此，根據該除污方法，可以適當地對除污對象的內部進行除污。

在上述除污方法中，可以在從除污開始到除污結束的50%以上的時間釋放該蒸氣。

例如，在釋放含有過乙酸的霧的方法(以下也稱為「霧類型」)的情況下，由於霧漂浮在待除污的空間中，因此很可能產生結露。為了防止除污對象內部結露，設定產生霧氣的濕度上限，間歇性地排出霧氣。產生霧氣的濕度上限通常為RH80%~RH92%。在霧類型的情況下，從除污開始到結束，釋放霧的時間往往不到30%。

另一方面，在釋放含有過乙酸的蒸氣的方法(以下也稱為「氣化類型」)的情況下，由於只懸浮蒸氣，不懸浮霧氣，因此不太容易會產生結露。

在根據本發明的除污方法中，可以在從除污開始到除污結束的時間內長時間釋放蒸氣。例如，該蒸氣可以在50%以上的時間內釋放。根據除污環境的不同，從除污開始到除污結束，蒸氣可以在100%的時間內被釋放出來。因此，根據該除污方法，由於採用氣化類型並在短時間內停止蒸氣釋放，故可以抑制除污對象空間中讓過乙酸蒸氣分解並讓過乙酸濃度顯著降低。

在上述除污方法中，在持續釋放該蒸氣的時間中，最長時間可為從除污開始到除污結束時間的50%以上。

根據該除污方法，由於採用氣化類型且長時間連續釋放出蒸氣，因此可以抑制過乙酸濃度的大幅下降。

根據本發明，可以提供一種能夠使用含有過乙酸的蒸氣來適當地對除污對象的內部進行除污的除污方法。

10:除污系統

101,102,116,102B,116B:管道

110:泵

120,120B:蒸氣產生部

121,121A:容器

122,205:風扇

124A,124B:吸水氣化促進構件

126,126A,126B:去污劑

200:安全櫃體

210,220:HEPA過濾網

230:生物指示劑

250:百葉窗

268:連通孔

WA1:工作區

第1圖繪示除污系統的示意構造圖。

第2圖繪示蒸氣產生部的示意構造圖。

第3圖繪示安全櫃體中的除污步驟的示例流程圖。

第4圖繪示第1變形例的蒸氣產生部的示意構造圖。

第5圖繪示第2變形例的蒸氣產生部的示意構造圖。

第6圖繪示使用10⁴作為生物指示劑時的結果圖。

第7圖繪示使用10⁶作為生物指示劑時的結果圖。

以下，請參考附圖並詳細說明本發明的實施例。此外，圖中相同或相應的部分將採用相同的標號表示，且不再重複說明。

[1.除污系統的構造]

第1圖繪示除污系統100的示意構造圖。如第1圖所示，除污系統10包含泵110、蒸氣產生部120和安全櫃體(cabinet)200。在除污系統10中，泵110透過管道101、102連接到安全櫃體200。雖然蒸氣產生部120設置在安全櫃體200內部，但也可以配置在安全櫃體200的外部，例如，在管道101、102的路徑上。蒸氣產生部120用以用於產生含有過乙酸的蒸氣(以下也稱為「過乙酸蒸氣」)。稍後將詳細說明蒸氣產生部120。利用在除污系統10中循環過乙酸蒸氣，例如，除污存在於安全櫃體200內的微生物和病毒中的至少一種。

安全櫃體200係一個箱形的抑制生物危害的實驗設備。實驗者將他的手插入到工作區WA1並使用例如生物材料來進行實驗。安全櫃體200包含風扇205、HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾器210、220以及百葉窗250。實驗時，風扇205運轉將產生氣流，使清潔空氣透過HEPA過濾器210排放到外部，並讓清潔空氣透過HEPA過濾器220供給到工作區WA1。百葉窗250用以可開闔。

例如，連通孔268形成在安全櫃體200的天花板部分中。連通孔268可以開闔。在第1圖的例子中，管道102從百葉窗250的下方插入到工作區WA1，並且管道101連接到連通孔268。管道101、102中的每一個皆連接到泵110。泵110用以從管道101側吸入空氣並往管道102側供應空氣。當泵110運行時，從蒸氣產生部120產生的過乙酸蒸氣在除污系統10中循環。

在除污期間，百葉窗250為關閉。即使當百葉窗250關閉時，安全櫃體200的內部和外部也沒有被完全遮斷，並且可能形成微小的間隙。在除污過程中，該間隙會被保護，例如，使用保護膠帶。

此外，在除污之前，生物指示劑(Biological Indicator,BI)230被配置在HEPA過濾器210上方的空間中。除污完成後，根據BI230的死亡狀態確認除污效果。之所以根據BI230的死亡狀態來確認除污效果，係因為BI230設置於離導入過乙酸蒸氣的部分最遠，且位於HEPA過濾器210的下游側，過乙酸蒸氣最難以到達的地方。當過乙酸蒸氣最難到達的地方的BI死亡時，可以認為過乙酸蒸氣已經在安全櫃體200內充分擴散。BI細菌的數量並沒有特別限制，但可以為例如10³至10⁶個。

第2圖繪示蒸氣產生部的示意構造圖。如第2圖所示，蒸氣產生部120包含容器121和風扇122。

容器121由不受去污劑126腐蝕的材料(例如金屬或樹脂等)構成，並用以容置去污劑126。去污劑126係含有過乙酸的水溶液。亦即，去污劑126係過乙酸製劑。風扇122設置在容器121上方。

風扇122用以藉由旋轉以產生從容器121外部到內部的氣流和從容器121內部到外部的氣流。隨著風扇122旋轉，去污劑126蒸發而產生的過乙酸蒸氣被釋放到容器121的外部。在蒸氣產生部120中，由於僅由去污劑126蒸發而產生的過乙酸蒸氣被釋放到容器121的外部，從而不釋放含有過乙酸的霧。

如此一來，在除污系統10中，安全櫃體200的內部被過乙酸蒸氣除污。HEPA過濾器210、220也透過安全櫃體200中的除污而淨化。以下，將說明在除污系統10中透過過乙酸蒸氣而非含有過乙酸的霧來進行除污的原因。亦即，將說明使用氣化類型(蒸氣)代替霧類型的原因。

例如，當HEPA過濾器210、220被含有過乙酸的霧進行除污時，霧被HEPA過濾器210、220收集。結果，HEPA過濾器210、220可能藉由附著的霧(液滴)而變濕並且壓力損失可能增加。

HEPA過濾器210、220難以收集過乙酸蒸氣。因此，不會出現上述霧類型中的問題。為此，在除污系統10中採用氣化類型。在除污系統10中，當使用氣化類型時採用適當的除污方法。

以下，將說明產生含有過乙酸的蒸氣的方法。加熱溶液的方法已知作為從溶液有效地產生蒸氣的手段。若根據該方法，將產生過乙酸受熱分解而導致除污效果降低的問題及加熱過的蒸氣在除污對象空間中溫度相對較低的部分被冷卻並且產生結露的可能性增加的問題。結露的產生將會造成該部件的腐蝕、蒸發殘渣等問題。

根據蒸氣產生部120，由於不加熱去污劑126，所以能夠抑制過乙酸的分解且有效地產生過乙酸蒸氣。此外，根據該除污系統10，由於將含有過乙酸的去污劑126的溫度維持在與配置有待除污的HEPA過濾器210、220的空間中的溫度相同的水平，故可以抑制該空間內結露的可能性。以下，將說明在除污系統10中使用的除污方法。

[2.除污方法]

第3圖繪示安全櫃體200中的除污步驟的示例流程圖。此流程圖中所示的每個步驟均由操作者執行。

參考第3圖，操作者將BI230配置在安全櫃體200中(步驟S100)。操作者將蒸氣發生部120配置在安全櫃體200中，並使用管道101、102將泵110連接到安全櫃體200(步驟S110)。操作者用保護膠帶等保護安全櫃體200中的間隙(步驟S120)。操作者操作泵110以開始安全櫃體200中的除污(步驟S130)。

操作者判斷是否經過了預定時間(步驟S140)。操作者等待直到預定時間過去(步驟S140中的「否」)。當預定時間過去時(步驟S140中的「是」)，操作者將根據生物指示劑230的死亡狀態確認除污效果(步驟S150)。當確認生物指示劑230死亡時，安全櫃體200內的除污完成。

此外，步驟S140的預定時間，係指安全櫃體200中的濕度變為RH82%以上且RH99%以下，且過乙酸蒸氣負荷量變為2000ppm以上且12000ppm以下所需的時間。預定時間係透過實驗預先確定。此外，過乙酸蒸氣負荷量係透過從除污開始到除污結束每分鐘對所述過乙酸蒸氣中的過乙酸的濃度進行添加而所得到的值。

本發明人們透過後述的實驗發現當除污過程中安全櫃體200中的平均濕度為RH82%以上並且過乙酸蒸氣負荷量為2000ppm以上時，安全櫃體200的除污為成功。在除污系統10中，除污期間安全櫃體200中的平均濕度為RH82%以上，並且過乙酸蒸氣負荷量為2000ppm以上。因此，根據除污系統10，可以適當地對安全櫃體200的內部進行除污。

此外，如果在除污過程中安全櫃體200內的平均濕度超過RH99%，則安全櫃體200內極有可能產生結露。安全櫃體200中的結露，會因安全櫃體200中的腐蝕或蒸發殘留物而導致污染。此外，當過乙酸蒸氣負荷量超過12000ppm時，於安全櫃體200內很可能產生腐蝕。本發明人們發現了此等事實。在除污系統10中，安全櫃體200中的平均濕度保持在RH99%以下，並且過乙酸蒸氣負荷量為12000ppm以下。因此，根據除污系統10，可以抑制安全櫃體200中的腐蝕。又，安全櫃體200內的平均濕度更佳者為RH95%以下。過乙酸蒸氣負荷量更佳者為10,000ppm以下。

此外，本發明人們透過後述的實驗發現當過乙酸蒸氣負荷量和平均濕度滿足以下關係時，安全櫃體200中的除污係成功的。例如，在需要高除污水平的除污系統10中，例如使用具有10⁶以上菌數的BI，除了上述條件(RH82%以上，過乙酸蒸氣負荷量2000ppm以上)之外，還發現過乙酸蒸氣負荷量和平均濕度應滿足以下關係。因此，根據除污系統10，可以適當地對安全櫃體200的內部進行除污。

y>-350x+33250

x：該平均濕度

y：該過乙酸蒸氣負荷量

此外，在步驟S130之後的步驟中，在從除污開始到除污結束的50%以上的時間內釋放過乙酸蒸氣。從除污開始到除污結束的時間中，釋放過乙酸蒸氣的時間較佳地為70%以上，更佳為90%以上。此外，在步驟S130以後，持續釋放過乙酸蒸氣的時間中，最長的時間係從除污開始到除污結束的時間的50%以上。持續釋放過乙酸蒸氣的時間中，最長的時間較佳地為從除污開始到除污結束時間的70%以上，更佳者90%以上。

例如，在霧類型的情況下，為了防止安全櫃體200中的濕度上升太高，可以間歇地排出霧。產生霧氣的濕度限值大多為RH80%~RH92%。在霧類型的情況下，從除污開始到結束，釋放霧的時間往往不到30%。

另一方面，在氣化類型的情況下，由於霧不漂浮，因此不太可能產生結露。

在除污系統10中，從除污開始到除污結束可以長時間釋放蒸氣。例如，過乙酸蒸氣可在50%以上的時間內釋放。根據除污環境的不同，從除污開始到除污結束，蒸氣可以在100%的時間內釋放出來。因此，根據除污系統10，由於採用氣化類型且停止釋放過乙酸蒸氣的時間較短，故可以抑制除污對象空間中過乙酸蒸氣的分解使過乙酸濃度的大幅降低。

此外，在除污系統10中，持續釋放過乙酸蒸氣的時間中最長的時間係從除污開始到除污結束的時間的50%以上。因此，根據除污系統10，由於採用氣化類型並且長時間連續釋放蒸氣，故可以抑制安全櫃體200中過乙酸濃度的大幅降低。

[3.特徵]

如上所述，於除污系統10中所使用的除污方法中，除污過程中安全櫃體200中的平均濕度為RH82%以上，並且過乙酸蒸氣負荷量為2000ppm以上。因此，根據該除污方法，能夠對安全櫃體200的內部進行適當的除污。

[4.變形例]

以上已說明過該實施例，但本發明並不限於上述實施例，且在不脫離本發明的宗旨的情況下皆可以進行各種修改。以下，將說明變形例。

<4-1>

上述實施例中，設置在安全櫃體200中的空氣過濾器為HEPA過濾器210、220。然而，設置在安全櫃體200中的空氣過濾器並不限於此。待除污的空氣過濾器例如可為中等性能過濾器或ULPA過濾器。

<4-2>

此外，在上述實施例中，除污對象係安全櫃體200。然而，除污對象並不限於此。例如，除污對象可以為任何對象，只要它需要內部除污。此外，除污對象可以為封閉或者為半封閉狀態。亦即，除污對象的封閉程度只要過乙酸蒸氣的濃度不會因過乙酸蒸氣的洩漏而極度降低即可。例如，除污對象可以為隔離裝置、培養箱、離心機、傳遞箱(pass box)、儲藏室、空調設備、清潔工作台(clean benches)、管道等。

<4-3>

再者，在上述實施例中，蒸氣產生部120設置在安全櫃體200中。然而，蒸氣產生部120的構造並不限於此。例如，在蒸氣產生部120中，可以不設置風扇122。此外，可以設置吸水氣化促進構件124A。吸水氣化促進構件124A例如可以利用將諸如織物、針織物、不織布或薄膜的片狀材料加工成折疊狀或波紋狀而形成。在吸水氣化促進構件124A中，可以將諸如矽膠或沸石的多孔材料封裝在織物、針織物、不織布或薄膜等中。

第4圖繪示變形例的蒸氣產生部120A的概略構造圖。可以採用蒸氣產生部120A來代替蒸氣產生部120。如第4圖所示，管道101、102連接到泵110。泵110用以從管道101側吸入空氣並往管道102側供應空氣。

蒸氣產生部120A包含有容器121A，吸水氣化促進構件124A和去污劑126A。容器121A例如為圓筒狀的密閉容器。容器121A包含吸水氣化促進構件124A和去污劑126A。去污劑126A係含有過乙酸的液體劑。吸水氣化促進構件124A由例如多孔材料構成。吸水氣化促進構件124A浸入到去污劑126A中。吸水氣化促進構件124A利用毛細管現象吸取容器121A中的去污劑126A。亦即，去污劑126A浸漬到吸水氣化促進構件124A中。

此外，吸水氣化促進構件124A的結構或構件並沒有特別限制，只要它們被去污劑126A潤濕並且可利用通風有效地氣化(汽化)去污劑126A即可。例如，吸水氣化促進構件124A可以利用將諸如織物、針織物、不織布或薄膜的片狀材料加工成折疊狀或波紋狀而形成。可以將矽膠或沸石等多孔材料封裝在織物、針織物、不織布、薄膜等中。

從泵110經由管道102供給空氣，加快浸入到吸水氣化促進構件124A的去污劑126A的氣化。藉此產生過乙酸蒸氣。過乙酸蒸氣透過管道116供應到安全櫃體200的內部。蒸氣產生部120A不一定必須包含吸水氣化促進構件124A。

此外，蒸氣產生部120的結構可以如第5圖所示。亦即，在蒸氣產生部120B中，吸水氣化促進構件124B透過毛細管現象吸取化學溶液126B。過乙酸蒸氣(氣體)藉由透過管道102B而導入到蒸氣產生部120B的空氣流向管道116B側。過乙酸蒸氣透過管道116B被導入到安全櫃體200。

[5.實驗]

<5-1.實驗內容>

在該實驗中，準備了第1圖所示的除污系統10。作為安全櫃體200，使用日立工業設備系統有限公司製造的IIA級安全櫃體SCV-1308EC II A2。作為用於測量安全櫃體200中過乙酸濃度的過乙酸濃度計，使用了ATI公司製造的F12/D-3-6-1-1感測器模組：00-1705。作為用於測量安全櫃體200中的溫度和濕度的溫濕度計，使用了由日本日置公司製造的溫濕度記錄器LR5001。作為去污劑126(如第2圖所示)，使用日本Cantel公司製造的MINNCARE。作為BI230，使用日本MesaLabs公司製造的HMV-091菌數10⁶和KCD-404菌數10⁴。BI230的培養液使用日本MesaLabs公司製造的PM/100。

泵110和安全櫃體200利用管道101、102連接，以便從HEPA過濾器210的下游側吸入空氣，並從百葉窗250的下方將空氣供應到安全櫃體200中。安全櫃體200保護，安全櫃體200內部盡可能保持為封閉。蒸氣產生部120設置在工作區WA1中以產生過乙酸蒸氣。在除污過程中，風扇205可以運轉，但這次它並沒有運轉。當風扇205運轉並發熱時，安全櫃體200中的空氣溫度會升高，這是導致除污系統10中相對較低溫度的部分結露的原因。

BI230設置在HEPA過濾器210的下游側。除污完成後，培養BI230。

用純水稀釋的MINNCARE(過乙酸含量4.5%)用作去污劑126。使用稀釋比例為1~25%的稀釋液，且根據所產生的過乙酸蒸氣的濃度來調整。使用葉片直徑為11cm的軸流風扇作為風扇122。

在除污期間，每分鐘記錄安全櫃體200中的溫度/濕度及過乙酸蒸氣濃度。培養BI230後，判斷陰性/陽性。

<5-2.實驗結果>

第6圖繪示使用10⁴作為BI時的結果圖。第7圖繪示使用10⁶作為BI時的結果圖。在第6圖和第7圖中，橫軸表示安全櫃體200內的平均濕度(從除污開始到除污結束每分鐘的濕度平均值)，縱軸表示過氧乙酸在安全櫃體200中的過乙酸蒸氣負荷量。此外，在第6圖和第7圖中，作為代表性示例，由蒸氣產生部120產生的過乙酸蒸氣的過乙酸濃度和除污時間彼此相關。例如，18.3ppm(4h)係指蒸氣發生部120產生的過乙酸蒸氣的平均過乙酸濃度為18.3ppm，顯示從除污開始到除污結束的時間為4小時。

請參考第6圖和第7圖，除非在除污過程中安全櫃體200中的平均濕度為RH82%以上，否則BI230不會死亡(請參考陰性圖)。殺死10⁴的BI230的條件係RH82%以上的平均濕度且過乙酸蒸氣負荷量為2000ppm以上。

10⁶的BI230死亡的條件係平均濕度為RH82%以上，且過乙酸蒸氣負荷量和平均濕度滿足以下關係(第7圖中直線所示的關係)。

y>-350x+33250

x：該平均濕度

y：該過乙酸蒸氣負荷量

此外，安全櫃體200的內部用配置在安全櫃體200中的銅板來除污。在這種情況下，當過乙酸蒸氣負荷量超過6000ppm時，銅板輕微生鏽。因此，發現過乙酸蒸氣負荷量較佳地為12000ppm以下，更佳地為7000ppm以下。

綜上所述，雖然本公開已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本公開所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本公開之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10:除污系統 101:管道 102:管道 110:泵 120:蒸氣產生部 200:安全櫃體 205:風扇 210:HEPA過濾網 220:HEPA過濾網 230:生物指示劑 250:百葉窗 268:連通孔 WA1:工作區

Claims

一種除污方法，用以除污存在於除污對象內部的微生物和病毒中的至少一種，該除污方法包含在該除污對象內部釋放含有過乙酸的蒸氣而不釋放含有過乙酸的霧的步驟，除污過程中該除污對象內部的平均濕度為RH82%以上，過乙酸蒸氣負荷量為2000 ppm以上，所述過乙酸蒸氣負荷量係透過從除污開始到除污結束每分鐘對所述蒸氣中的過乙酸的濃度進行添加而所得到的值，釋放的所述蒸氣中的所述過乙酸的濃度為100ppm以下。
如請求項1所述之除污方法，其中該平均濕度為RH99%以下，該過乙酸蒸氣負荷量為12000ppm以下。
如請求項1或2所述之除污方法，其中該過乙酸蒸氣負荷量和該平均濕度滿足以下關係： y＞ -350x + 33250 x：該平均濕度 y：該過乙酸蒸氣負荷量。
如請求項1至2之任一項所述之除污方法，其中從除污開始到除污結束有50%以上的時間釋放該蒸氣。
如請求項1至2之任一項所述之除污方法，其中在持續釋放該蒸氣的時間中，最長時間為從除污開始到除污結束時間的50%以上。
請求項3所述之除污方法，其中從除污開始到除污結束有50%以上的時間釋放該蒸氣。
如請求項4所述之除污方法，其中在持續釋放該蒸氣的時間中，最長時間為從除污開始到除污結束時間的50%以上。
如請求項6所述之除污方法，其中在持續釋放該蒸氣的時間中，最長時間為從除污開始到除污結束時間的50%以上。