TWI878083B - 均熱板之製造方法 - Google Patents

Abstract

一種均熱板的製造方法，包含一印刷步驟、一固化步驟以及一組裝步驟，該印刷步驟包含：透過一圖案網版將一印刷材料印刷在一第一金屬板，使該第一金屬板的表面形成一印刷圖案，其中該印刷材料包含可固化的樹脂；該固化步驟包含：對具有該印刷圖案的該第一金屬板施予一固化手段，固化後的印刷圖案包含至少一腔室支撐結構；該組裝步驟包含：將至少一網片鋪設於該至少一腔室支撐結構，將該第一金屬板與該第二金屬板的周緣結合，並將該第一金屬板與該第二金屬板之間的空間抽氣，藉此形成該均熱板。

Description

均熱板之製造方法

本發明係與散熱裝置有關，特別是一種均熱板之製造方法及均熱板。

均熱板為一種片狀結構，該均熱板包含一上板以及一下板，該上板及該下板之間具有一真空腔室及一網狀結構，該真空腔室充填少量液體，當該下板接觸熱點時時，該真空腔室中的少量液體帶走大量熱且迅速蒸發成氣體，並在較遠端冷凝成液滴，並透過該網狀結構將液體收集回該下板接觸熱點位置完成散熱循環作動。

隨著科技的不斷發展，各種產品對均熱板的需求與日俱增，而各種電子產品的開始往重量輕及尺寸薄的方向發展，對於散熱板尺寸的要求也相應提升，散熱板隨著輕量化的需求也越做越薄，而該上板與該下板之間的距離也越窄，該真空腔室的尺寸受到相當程度的壓縮，以往均熱板當中的液體受熱化成蒸氣後能往整個真空腔室去擴散，薄型化均熱板當中的液體受熱化成蒸氣後，由於真空腔室太過狹窄且受到背壓的影響，蒸氣無法有效的擴散至整個真空腔室，使離熱點遠的蒸氣十分稀薄，這也意味著整片薄型化散熱板只有接近熱點處在運作，而其他部分無法有效的散熱，這會導致散熱的效率大幅下滑。

由此可知，如何使均熱板具備良好的散熱效率，同時能夠低成本的大量生產，是各家廠商急需解決的問題。

有鑑於此，本發明之目的在於提供一種均熱板之製造方法，可製做出低成本且兼顧良好的散熱效率之均熱板。

緣以達成上述目的，本發明提供一種均熱板之製造方法包含一印刷步驟、一固化步驟及一組裝步驟，該印刷步驟包含：透過一圖案網版將一印刷材料印刷在一第一金屬板的一表面，使該印刷材料於該第一金屬板的該表面形成一印刷圖案，其中該印刷材料包括可固化的樹脂；該固化步驟包含：將具有該印刷圖案的該第一金屬板施予一固化手段，使該印刷圖案固化，且固化後的印刷圖案包括至少一腔室支撐結構；該組裝步驟包括：將至少一網片鋪設於該至少一腔室支撐結構；將一第二金屬板疊置於該第一金屬板，該第二金屬板的一表面面對該第一金屬板的該表面，且至少一網片位於該第一金屬板的該表面與該第二金屬板的該表面之間；將該第一金屬板與該第二金屬板的周緣結合，並將該第一金屬板與該第二金屬板之間的空間抽氣，藉此，形成該均熱板；其中該組裝步驟中，該至少一網片附著一冷卻液。

緣以達成上述目的，本發明提供另一種均熱板之製造方法，包含一印刷步驟、一固化步驟及一組裝步驟，該印刷步驟包含：透過一圖案網版將一印刷材料印刷在一第一金屬板的一表面，使該印刷材料於該金屬板的該表面形成一印刷圖案，該印刷圖案包括一第一腔壁圖案、一第二腔壁圖案、一輸出通道圖案與一回流通道圖案；其中該印刷材料包括可固化的樹脂；該固化步驟包含：將具有該印刷圖案的該第一金屬板施予一固化手段，使該印刷圖案固化形成一分隔結構，該分隔結構包括一第一腔壁結構、一第二腔壁結構、一輸出通道結構與一回流通道結構；該組裝步驟包含：將一第一網片鋪設於該第一腔壁結構所圍繞的區域中；將一第二網片鋪設於該第二腔壁結構所圍繞的區域中；將一第二金屬板疊置於該第一金屬板，該第二金屬板的一表面面對該第一金屬板的該表面，且該第一網片與該第二網片位於該第一金屬板的該表面與該第二金屬板的該表面之間；及將該第一金屬板與該第二金屬板的周緣結合，並將該第一金屬板與該第二金屬板之間的空間抽氣，使該分隔結構抵壓該第二金屬板的該表面，藉此，形成該均熱板；其中，該組裝步驟中，該至少一網片附著一冷卻液。

本發明之效果在於，該均熱板之製造方法中的印刷材料為可固化的樹脂，一開始為流體狀的樹脂能夠形塑成均熱板上的印刷圖案，再將其固化後便能產生支撐結構及分隔結構，可固化的樹脂同時具有可塑性高及成本低的特徵，有助於均熱板的大量生產。

為能更清楚地說明本創作，茲舉較佳實施例並配合圖式詳細說明如後。請參閱圖1所示，為本發明一第一較佳實施例之一種均熱板之製造方法及均熱板，一均熱板需透過一印刷步驟S1、一固化步驟S2以及一組裝步驟S3所製成。於後配合圖2至圖8一併說明均熱板的製造方法及均熱板的結構。

請參閱圖2至圖4及圖7所示，均熱板之製造方法，選用一第一金屬板10一及第二金屬板30作為被印刷的基材，該第一金屬板10的厚度為一間距D1，該間距D1介於0.03mm~0.1mm之間，該第二金屬板30的厚度為一間距D2，該間距D2介於0.03mm~0.1mm之間，在本實施例中，該第一金屬板10的該間距D1為0.05mm，該第二金屬板30的該間距D2為0.05mm，其中該第一金屬板10及該第二金屬板30以銅板為例，但不以此為限，亦可為不鏽鋼板或其它的金屬板。

選用一第一圖案網版O1、一第二圖案網版O2以及一第三圖案網版O3作為印刷時所用的網版。請配合圖2，該第一圖案網版O1包含一第一腔壁網孔區O11、一第二腔壁網孔區O12、一輸出通道網孔區O13及一回流通道網孔區O14。請配合圖3，該第二圖案網版O2為用以在第一金屬板10上印刷至少一腔室支撐結構之圖案網版，該第二圖案網版O2包含一第二腔室支撐結構網孔區O21（即至少一腔室支撐結構網孔區）。請配合圖4，該第三圖案網版O3包含一第一腔室支撐結構網孔區O31。

選用一印刷材料作為印刷時所用材料，該印刷材料包含可固化的樹脂，較佳者，係於攝氏150度以下可固化的樹脂本實施例中係採用環氧樹脂，該印刷材料可以根據目的做出對應的成分調整，在本實施例中，該印刷材料包含環氧樹脂，可以是單液型環氧樹脂或是雙液型環氧樹脂。單液型環氧樹脂包含環氧樹脂、稀釋劑、二氧化矽及添加劑碳黑，單液型環氧樹脂不同於雙液型環氧樹脂，並不會馬上固化，而是經過烘烤才會硬化，因此，可用加熱作為一固化手段。二氧化矽能使硬化的單液型環氧樹脂更具韌性，碳黑用於填充及變色；而稀釋劑用於降低單液型環氧樹脂的黏度，稀釋劑例如是苯、二甲苯等但不以此為限。雙液型環氧樹脂置於室溫下待其完成交聯反應而固化，因此，可用在室溫下的一等待時間作為一固化手段。無論是單液型或雙液型環氧樹脂，固化後的環氧樹脂皆具有較佳的導熱性，適合於均熱板中作為熱傳導之用。

請參閱圖2及圖7所示，該印刷步驟S1包括：透過該第一圖案網版O1將該印刷材料印刷在該第一金屬板10的一表面，該印刷材料分別通過該第一腔壁網孔區O11、該第二腔壁網孔區O12、該輸出通道網孔區O13與該回流通道網孔區O14，使該印刷材料於該第一金屬板10的該表面形成一第一印刷圖案P1，該第一印刷圖案P1包括一第一腔壁圖案P11、一第二腔壁圖案P12、一輸出通道圖案P13與一回流通道圖案P14。

該固化步驟S2包括：將具有該第一印刷圖案P1的該第一金屬板10施予以加熱為例的固化手段，可置於烤箱中加熱，加熱溫度及所需時間會隨使用量、材料尺寸不同而不同，一般而言，加熱溫度控制在攝氏150度以下，以避免該第一金屬板10或該第二金屬板30氧化或變形，在本實施例中，加熱溫度可例如為攝氏120度且加熱時間可例如為1小時，使該第一印刷圖案P1固化形成一分隔結構20，該第一腔壁圖案P11固化形成一第一腔壁結構21；該第二腔壁圖案P12固化形成一第二腔壁結構22；該輸出通道圖案P13固化形成一輸出通道結構23；該回流通道圖案P14固化形成一回流通道結構24，該分隔結構20包含該第一腔壁結構21、該第二腔壁結構22、該輸出通道結構23以及該回流通道結構24，該分隔結構20的厚度為一間距D3，該間距D3介於0.1mm~0.15mm之間，在本實施例中，該間距D3為0.1mm。前述加熱溫度與加熱時間只是舉例說明，實務上，可依據所使用的印刷材料的特性對應調整。

請參閱圖3及圖7所示，該印刷步驟S1包括：透過該第二圖案網版O2將該印刷材料印刷在該第一金屬板10的該表面，使該印刷材料通過該第二腔室支撐結構網孔區O21，使該印刷材料於該第一金屬板10的該表面上之該第二腔壁結構22所圍設的區域中形成一第二印刷圖案P2，該第二印刷圖案P2包括一第二腔室支撐圖案P21。

該固化步驟S2包括：將具有該第二印刷圖案P2的該第一金屬板10加熱，使該第二印刷圖案P2固化，且該第二腔室支撐圖案P21固化形成一第二腔室支撐結構70，該第二腔室支撐結構70構成至少一腔室支撐結構，該第二腔室支撐結構70的厚度為一間距D7，該間距D7介於0.05mm~0.1mm之間，在本實施例中，該間距D7為0.05mm，其中該第二印刷圖案P2的厚度小於該第一印刷圖案P1的厚度；該第二腔室支撐結構70的厚度小於該分隔結構20的厚度。

請參閱圖4及圖7所示，該印刷步驟S1包括：透過該第三圖案網版O3將該印刷材料印刷在該第二金屬板30的一表面使該印刷材料通過該第一腔室支撐結構網孔區O31，使該印刷材料於該第二金屬板30的該表面形成一第三印刷圖案P3，該第三印刷圖案P3包含一第一腔室支撐圖案P31。

該固化步驟S2包括：將具有該第三印刷圖案P3的該第二金屬板30加熱，使該第三印刷圖案P3固化，且該第一腔室支撐圖案P31固化形成一第一腔室支撐結構60，該第一腔室支撐結構60的厚度為一間距D6，該間距D6介於0.05mm~0.1mm之間，在本實施例中，該間距D6為0.05mm，其中該第三印刷圖案P3的厚度小於該第一印刷圖案P1的厚度；該第一腔室支撐結構60的厚度小於該分隔結構20的厚度。

上述該印刷步驟S1及該固化步驟S2中，該第一金屬板10與該第二金屬板30的印刷順序不以上述說明為限，此外，該第一金屬板10與該第二金屬板30的加熱順序亦不以上述說明為限。

請參閱圖5至圖7所示，該均熱板之製造方法包括選用一第一網片40及一第二網片50作為該均熱板當中的網狀結構，該第一網片40的厚度為一間距D4，該間距D4介於0.03mm~0.06mm，該第二網片50的厚度為一間距D5，該間距D5介於0.03mm~0.06mm，在本實施例中，該第一網片40及該第二網片50均為銅網，該第一網片40的厚度為0.045mm，該第二網片50的厚度為0.045mm。

該組裝步驟S3包括：將該第一網片40鋪設於該第一金屬板10的該第一腔壁結構21所圍繞的區域中，本實施例中，該第一網片40附著一冷卻液L，其中該冷卻液L可以是水、醇類、乙酸及丙酮之中的一者或多者的混合；再將該第二網片50鋪設於該第二腔壁結構22所圍繞的區域中，該第二網片50位於該第二腔室支撐結構70的上方；接著將該第一金屬板10與該第二金屬板30的周緣結合，且該第二金屬板30的該第一腔室支撐結構60對應於該第一金屬板10的該第一腔壁結構21所圍設的區域，周緣結合的過程中並將該第一金屬板10與該第二金屬板30之間的空間抽氣至真空或低壓，使該分隔結構20抵壓該第二金屬板30的該表面，其中結合的方式可為膠合、焊接、鎖固等方式，而焊接又可為雷射焊接、固態焊接或滾壓焊接等，藉此，形成一均熱板100，該均熱板100的厚度為一間距D，該間距D為0.35mm以下，較佳者，該間距D為0.2mm以下，更佳者，該間距D為0.16mm。

在一實施例中，該組裝步驟S3中，鋪設於該第一金屬板10的該第一網片40可先不附著冷卻液L，而是抽氣過程中將冷卻液L注入該第一金屬板10與該第二金屬板30之間，使冷卻液L附著於該第一網片40。

藉由上述之均熱板之製造方法之第一較佳實施例，即可得到本第一較佳實施例之均熱板100，以下對該均熱板100的結構進行說明。

請參閱圖5至圖7所示，該均熱板100包含該第一金屬板10、該分隔結構20、該第二金屬板30、該第一網片40、該第二網片50、該第一腔室支撐結構60及該第二腔室支撐結構70，該第一金屬板10具有一表面，該第二金屬板30具有一表面，該第二金屬板30的周緣與該第一金屬板10的周緣相結合，且該第二金屬板30的該表面面對該第一金屬板10的該表面，該分隔結構20位於該第一金屬板10的該表面與該第二金屬板30的該表面之間，在本實施例中，該分隔結構20設置於該第一金屬板10的該表面上，且該分隔結構20抵於該第二金屬板30的該表面上。

該分隔結構20包含該第一腔壁結構21、該第二腔壁結構22、該輸出通道結構23以及該回流通道結構24，該第一腔壁結構21所圍繞的區域定義為該第一腔室211，該第一腔室211具有一第一出口部212及一第一入口部213，該第一出口部212連通輸出通道結構23，該第一入口部213連通該回流通道結構24，該第一網片40附著該冷卻液L且鋪設於該第一腔室211，該第一網片40貼齊該第一入口部213；該第一腔室支撐結構60設置於該第二金屬板30的該表面且位於該第一腔室211，該第一腔室支撐結構60抵於該第一網片40面對該第二金屬板30的一側，其中該第一腔室支撐結構60的厚度小於該分隔結構20的厚度，該第一腔室支撐結構60為複數第一凸柱61，該些第一凸柱61之間具有孔隙可供該冷卻液L汽化後的蒸氣流通。

該第二腔壁結構22所圍繞的區域定義為一第二腔室221，該第二腔室221具有一第二入口部222及一第二出口部223，該第二入口部222連通輸出通道結構23，該第二出口部223連通該回流通道結構24，該第二網片50鋪設於該第二腔室221，該第二網片50貼齊該第二出口部223；該第二腔室支撐結構70設置於該第一金屬板10的該表面且位於該第二腔室221，該第二腔室支撐結構70抵於該第二網片50面對該第一金屬板10的一側，其中該第二腔室支撐結構70的厚度小於該分隔結構20的厚度，該第二腔室支撐結構70為複數第二凸柱71，該些第二凸柱71之間具有孔隙可供該冷卻液L汽化後的蒸氣流通。

該輸出通道結構23一端連通該第一腔室211的該第一出口部212，另一端連通該第二腔室221的該第二入口部222，該輸出通道結構23包含一匯流段231及一加速段232及複數支撐柱233，該匯流段231一端連通該第一腔室211的該第一出口部212，另一端連通該加速段232的一端，該匯流段231的寬度自背離該第一出口部212的方向漸進變窄；該加速段232的寬度小於該匯流段231的寬度，且該加速段232的另一端連通該第二腔室221的該第二入口部222，其中，該些支撐柱233設置於該匯流段231及該加速段232，該些支撐柱233之間具有孔隙可供該冷卻液L汽化後的蒸氣流通。

該回流通道結構24具有一外側壁241、一內側壁242及複數通道壁243，該外側壁241設置於該第一金屬板10的外緣，該內側壁242設置於該第一金屬板10裡側，該些通道壁243設置於該外側壁241與該內側壁242之間，該外側壁241、該些通道壁243及該內側壁242之間具有複數毛細通道244，每一該毛細通道244的一入口端連通該第二腔室221的該第二出口部223，每一該毛細通道244的一出口端連通該第一腔室211的該第一入口部213，該些毛細通道244出入口貼齊該第一網片40及該第二網片50，能大幅提升毛細作用的效用，其中，該外側壁241的長度大於任一通道壁243的長度，任一通道壁243的長度大於該內側壁242，該些通道壁243的長度自背離該外側壁241的方向往裡側漸進變短。

請參閱圖8所示，該均熱板100於使用時，以該第一金屬板10對應該第一腔室211處接觸一熱源H，熱源H例如是積體電路元件。當該第一腔室211受熱於接觸該第一金屬板10的熱源H，附著於該第一網片40的該冷卻液L受熱蒸發成蒸氣，蒸氣在該些第一凸柱61之間擴散，擴散的蒸氣大多會流入開口較大的第一出口部212(而不會流入開口極為狹小的毛細通道244)，進入該輸出通道結構23後，蒸氣由該匯流段231流入該加速段232，隨著通道寬度的漸進變窄，蒸氣的速度也隨之上升，以此快速通過該輸出通道結構23，經過該第二入口部222並注入該第二腔室221，蒸氣透過該些第二凸柱71的孔隙擴散至整個該第二腔室221，蒸氣接觸該第二網片50遇冷凝結，凝結後的液滴受到該回流通道結構24毛細作用的吸引，流入該第二出口部223並進入該些毛細通道244，與該些毛細通道244出入口靠近該第一網片40的邊緣及該第二網片50的邊緣，液滴隨著該些毛細通道244流回該第一腔室211後，由第一網片40的邊緣擴散到整個第一網片40，如此，便完成了散熱循環。在本實施例中，由於該第一網片40係抵於第一金屬板10的表面，熱源H所產生的熱能夠由第一金屬板10直接傳導到第一網片40，藉此，可加快冷卻液L被蒸發的效率。以往的薄型均熱板100受限於厚度狹窄的腔室，很難擴散至整個腔室，離熱點越遠的蒸氣越稀薄，這會導致只有部分腔室在作功散熱，其他部分的腔室則沒有納入至整個散熱循環，而本發明之均熱板100除了第一腔室211之外，更增添了一第二腔室221及輸出通道結構23與回流通道結構24，該輸出通道結構23中該些支撐柱233之間孔隙厚度大於該第一腔室211的該些第一凸柱61之間孔隙厚度，使蒸氣能夠更容易自該第一腔室211流入該輸出通道結構23，也使蒸氣能夠透過該輸出通道結構23自該第一腔室211傳遞至該第二腔室221，該第二腔室221能充分利用整個空間協力散熱，讓蒸氣能夠遠離熱源H，並將凝結的液滴透過該回流通道結構24導回該第一腔室211。

請參閱圖9至圖11所示，為本發明一第二較佳實施例之一種均熱板之製造方法，該第二較佳實施例與該第一較佳實施例不同的地方在於，只需要該第一圖案網版O1及一第二圖案網版O2’，並不需要該第三圖案網版O3，該第一圖案網版O1的印刷流程與上述相同並不贅述，以下對該第二圖案網版O2’的印刷流程進行說明。

該印刷步驟S1包括：透過該第二圖案網版O2’將該印刷材料印刷在該第一金屬板10的該表面，該印刷材料分別通過一第一腔室支撐結構網孔區O21’、一第二腔室支撐結構網孔區O22’，使該印刷材料於該第一金屬板10的該表面上之該第一腔壁結構21所圍設的區域及第二腔壁結構22所圍設的區域中形成一第二印刷圖案P2’，該第二印刷圖案P2’包括該第一腔室支撐圖案P21’及該第二腔室支撐圖案P22’。

該固化步驟S2包括：將具有該第二印刷圖案P2’的該第一金屬板10加熱，使該第二印刷圖案P2’固化，該第一腔室支撐圖案P21’固化形成該第一腔室支撐結構60，該第二腔室支撐圖案P22’固化形成該第二腔室支撐結構70。

該組裝步驟S3包括：將該第一網片40鋪設於該第一金屬板10的該第一腔壁結構21所圍繞的區域中，該第一網片40位於該第一腔室支撐結構60的上方，該第一網片40附著該冷卻液L；再將該第二網片50鋪設於該第二腔壁結構22所圍繞的區域中，該第二網片50位於該第二腔室支撐結構70的上方；接著利用膠合、焊接、鎖固等方式，將該第一金屬板10與該第二金屬板30的周緣結合，並將該第一金屬板10與該第二金屬板30之間的空間抽氣至真空，使該分隔結構20抵壓該第二金屬板30的該表面，藉此，形成一均熱板101。第二實施例中只用到兩塊網版，相比第一實施例的流程更簡化，製造過程也能更加快速。

藉由上述之均熱板之製造方法之第二較佳實施例，即可得到本第二較佳實施例之均熱板101，以下對該均熱板101的結構進行說明。

請參閱圖9至圖11，第二較佳實施例與該第一較佳實施例不同的地方在於，該第一腔室支撐結構60設置於該第一金屬板10的該表面且位於該第一腔室211，該第一腔室支撐結構60抵於該第一網片40面對該第一金屬板10的一側。

請參閱圖12所示，為本發明一第三較佳實施例之一種均熱板之製造方法，該第三較佳實施例與該第一較佳實施例不同的地方在於，僅需要該第一圖案網版O1印刷，並不需要該第二圖案網版O2及該第三圖案網版O3，以下對該第一圖案網版O1的印刷流程進行說明。

該印刷步驟S1包括：透過該第一圖案網版O1將該印刷材料印刷在該第一金屬板10的該表面，使該印刷材料於該第一金屬板10的該表面形成該第一印刷圖案P1。

該固化步驟S2包括：將具有該第一印刷圖案P1的該第一金屬板10加熱，使該第一印刷圖案P1固化形成一分隔結構20，該分隔結構20包含該第一腔壁結構21、該第二腔壁結構22、該輸出通道結構23以及該回流通道結構24。

該組裝步驟S3包括：將該第一網片40鋪設於該第一金屬板10的該第一腔壁結構21所圍繞的區域中，該第一網片40附著該冷卻液L；再將該第二網片50鋪設於該第二腔壁結構22所圍繞的區域中；接著將該第一金屬板10與該第二金屬板30的周緣結合，並將該第一金屬板10與該第二金屬板30之間的空間抽氣至真空，使該分隔結構20抵壓該第二金屬板30的該表面，藉此，形成一均熱板102。第三實施例中只用到一塊圖案網版，相比第一實施例的流程更簡化，製造過程也能更加快速。

藉由上述之均熱板之製造方法之第三較佳實施例，即可得到本第三較佳實施例之均熱板102，以下對該均熱板102的結構進行說明。

請參閱圖12所示，本發明第三較佳實施例之均熱板102與該第一較佳實施例不同的地方在於，該均熱板102不具有該第一腔室支撐結構60及該第二腔室支撐結構70，在本實施例中，該第一網片40及該第二網片50同時兼具網狀結構及支撐結構的功能。

請參閱圖13所示，為本發明一第四較佳實施例之一種均熱板之製造方法，該第四較佳實施例與該第一較佳實施例不同的地方在於，該第一金屬板10另包含一第一鏤空區11，該第二金屬板30另包含一第二鏤空區31，在組裝時，將該第一金屬板10的周緣與該第二金屬板30的周緣結合，且需要將該第二鏤空區31的周緣及第一鏤空區11的周緣對應相結合，形成一鏤空區80。

藉由上述之均熱板之製造方法之第四較佳實施例，即可得到本第四較佳實施例之均熱板103，以下對該均熱板103的結構進行說明。

請參閱圖13所示，為本發明第四較佳實施例之均熱板103與該第一較佳實施例不同的地方在於，該第一金屬板10另包含一第一鏤空區11，該第一鏤空區11受該第一腔壁結構21、該第二腔壁結構22、該輸出通道結構23以及該回流通道結構24所包圍，該第二金屬板30另包含一第二鏤空區31，該第二鏤空區31對應於該第一鏤空區11，將該第二鏤空區31的周緣及第一鏤空區11的周緣對應相結合，形成一鏤空區80，本實施例因為少了該鏤空區80的部分，能使該均熱板100變得更輕，達到輕量化的功效。

請參閱圖14及圖15所示，為本發明第五較佳實施例之均熱板104，選用一圖案網版O4作為印刷時所用的網版，該圖案網版O4包含一腔室支撐結構網孔區O41，該印刷步驟S1包括，透過該圖案網版O4將該印刷材料印刷在該第一金屬板10的該表面，該印刷材料通過該腔室支撐結構網孔區O41，使該印刷材料於該第一金屬板10的該表面形成一印刷圖案P4，該印刷圖案P4具有凸出的厚度，例如介於0.05mm~0.1mm之間。

該固化步驟S2包括：將具有該印刷圖案P4的該第一金屬板10置於烤箱中加熱，使該印刷圖案P4固化，且固化後的該印刷圖案P4包含一腔室支撐結構90，該腔室支撐結構90具有凸出的厚度，例如介於0.05mm~0.1mm之間。

該組裝步驟S3包括：將一網片M鋪設於該腔室支撐結構90，再將一第二金屬板30疊置於該第一金屬板10，該第二金屬板30的一表面面對該第一金屬板10的該表面，且該網片M位於該第一金屬板10的該表面與該第二金屬板30的該表面之間，將該第一金屬板10與該第二金屬板30的周緣結合，並將該第一金屬板10與該第二金屬板30之間的空間抽氣，藉此，形成該均熱板104。

在本實施例中，該組裝步驟S3中，該網片M上所附著該冷卻液L，係於抽氣過程中將冷卻液L注入該第一金屬板10與該第二金屬板30之間，使冷卻液L附著於該網片M。在一實施例中，亦可先將附著有冷卻液L的該網片M鋪設於該腔室支撐結構90。

請參閱圖16及圖17所示，本發明第六較佳實施例之均熱板105，其與第二實施例大致相同，差別在於，輸出通道結構23’為等寬，以及回流通道結構24’內為複數個凸柱。選用一第一圖案網版O5與一第二圖案網版O6作為印刷時所用的網版，該第一圖案網版O5包含一第一腔壁網孔區O51、一第二腔壁網孔區O52、一輸出通道網孔區O53、一回流通道網孔區O54。該第二圖案網版O6包含一第一腔室支撐結構網孔區O61與一第二腔室支撐結構網孔區O62。

該印刷步驟S1包括，透過該第一圖案網版O5將該印刷材料印刷在該第一金屬板10的該表面，該印刷材料通過一第一腔壁網孔區O51、一第二腔壁網孔區O52、一輸出通道網孔區O53、一回流通道網孔區O54，使該印刷材料於該第一金屬板10的該表面形成一印刷圖案P5，該印刷圖案P5具有凸出的厚度，例如介於0.1mm~0.15mm之間。

該固化步驟S2包括：將具有該印刷圖案P5的該第一金屬板10置於烤箱中加熱，使該印刷圖案P5固化，且固化後的該印刷圖案P5包含一第一腔壁結構21’、一第二腔壁結構22’、一輸出通道結構23’、一回流通道結構24’，前述結構之厚度例如介於0.1mm~0.15mm之間。

接著，再進行該印刷步驟S1，透過該第二圖案網版O6將該印刷材料印刷在該第一金屬板10的該表面，該印刷材料通過該第一腔室支撐結構網孔區O61與該第二腔室支撐結構網孔區O62，使該印刷材料於該第一金屬板10的該第一腔室支撐結構60’與該第二腔室支撐結構70’，使該印刷材料於該第一金屬板10的該表面形成一印刷圖案P6，該第一腔室支撐結構60’與該第二腔室支撐結構70’具有凸出的厚度，例如介於0.05mm~0.1mm之間。

接著再進行該組裝步驟以形成該均熱板105。

另說明的是，上述各實施例的，印刷材料亦可為紫外線固化樹脂，紫外線固化樹脂包含樹脂與光敏劑，紫外線固化樹脂受到紫外線照射後由流體狀轉變為固態。在固化步驟S2中，可採用紫外線照射作為固化手段，亦即，使用一紫外線燈發出紫外線照射第一金屬板10及/或第二金屬板30上的各種印刷圖案，使印刷圖案固化形成對應的結構，藉此，可不需用加熱，在室溫下便可進行固化。

以上所述僅為本發明較佳可行實施例而已，舉凡應用本發明說明書及申請專利範圍所為之等效變化，理應包含在本發明之專利範圍內。

100,101,102,103,104,105:均熱板 10:第一金屬板 11:第一鏤空區 20:分隔結構 21,21’:第一腔壁結構 211:第一腔室 212:第一出口部 213:第一入口部 22,22’:第二腔壁結構 221:第二腔室 222:第二入口部 223:第二出口部 23,23’:輸出通道結構 231:匯流段 232:加速段 233:支撐柱 24,24’:回流通道結構 241:外側壁 242:內側壁 243:通道壁 244:毛細通道 30:第二金屬板 31:第二鏤空區 40:第一網片 50:第二網片 60,60’:第一腔室支撐結構 61:第一凸柱 70,70’:第二腔室支撐結構 71:第二凸柱 80:鏤空區 90:腔室支撐結構 L:冷卻液 S1:印刷步驟 S2:固化步驟 S3:組裝步驟 O1:第一圖案網版 O11,O51:第一腔壁網孔區 O12,O52:第二腔壁網孔區 O13,O53:輸出通道網孔區 O14,O54:回流通道網孔區 O2,O2’:第二圖案網版 O21,O22’,O62:第二腔室支撐結構網孔區 O3:第三圖案網版 O31,O21’,O61:第一腔室支撐結構網孔區 O4:圖案網版 O41:腔室支撐結構網孔區 O5:第一圖案網版 O6:第二圖案網版 P1:第一印刷圖案 P11:第一腔壁圖案 P12:第二腔壁圖案 P13:輸出通道圖案 P14:回流通道圖案 P2,P2’:第二印刷圖案 P21,P22’:第二腔室支撐圖案 P3:第三印刷圖案 P31,P21’:第一腔室支撐圖案 P4,P5,P6:印刷圖案 M:網片 H:熱源 D,D1,D2,D3,D4,D5,D6,D7:間距

圖1為本發明第一較佳實施例之均熱板之製造方法的流程圖。 圖2為本發明第一較佳實施例之均熱板之製造方法中的示意圖，揭示一第一圖案網版及透過該第一圖案網版印刷並固化的第一金屬板。 圖3為本發明第一較佳實施例之均熱板之製造方法中的示意圖，揭示一第二圖案網版及透過該第二圖案網版印刷並固化的第一金屬板。 圖4為本發明第一較佳實施例之均熱板之製造方法中的示意圖，揭示一第三圖案網版及透過該第三圖案網版印刷並固化的第二金屬板。 圖5為本發明第一較佳實施例之均熱板之製造方法的示意圖，揭示一第一網片及一第二網片分別置入一第一腔室及一第二腔室，且該第二金屬板與該第一金屬板進行組接。 圖6為本發明第一較佳實施例之均熱板之製造方法的示意圖，揭示該第二金屬板的周緣及該第一金屬板的周緣進行焊接。 圖7為本發明第一較佳實施例之均熱板各部位的剖視結構，其中(a)為該第一腔室的剖視示意圖，(b)為一輸出通道結構的剖視示意圖，(c)為該第二腔室的剖視示意圖，(d)為一回流通道結構的剖視示意圖。 圖8為本發明第一較佳實施例之均熱板內部的流動方向之示意圖。 圖9為本發明第二較佳實施例之均熱板之製造方法中的示意圖，揭露一第二圖案網版及透過該第二圖案網版印刷並固化的第一金屬板。 圖10為本發明第二較佳實施例之均熱板之製造方法中的示意圖，揭示該第一網片及該第二網片分別置入該第一腔室及該第二腔室，且該第二金屬板與該第一金屬板進行組接。 圖11為本發明第二較佳實施例之均熱板的示意圖，揭示該第一腔室的剖視示意圖。 圖12為本發明第三較佳實施例之均熱板之製造方法中的示意圖，揭示該第一網片及該第二網片分別置入該第一腔室及該第二腔室，且該第二金屬板與該第一金屬板進行組接。 圖13為本發明第四較佳實施例之均熱板之製造方法的示意圖，揭示該均熱板具有一鏤空區。 圖14為本發明第五較佳實施例之均熱板之製造方法的示意圖，揭示一圖案網版及透過該圖案網版印刷並固化的第一金屬板。 圖15為本發明第五較佳實施例之均熱板之製造方法的示意圖，揭示一網片鋪設於一腔室支撐結構，且該第二金屬板與該第一金屬板進行組接。 圖16為本發明第六較佳實施例之均熱板之製造方法的示意圖，揭示一第一圖案網版及一第二圖案網版，透過該第一圖案網版及該第一圖案網版印刷並固化的第一金屬板。 圖17為本發明第六較佳實施例之均熱板之製造方法的示意圖，揭示該第二金屬板與該第一金屬板進行組接。

S1:印刷步驟

S2:固化步驟

S3:組裝步驟

Claims (10)

1. 一種均熱板的製造方法，包含下列步驟： 一印刷步驟，包括： 透過一圖案網版將一印刷材料印刷在一第一金屬板的一表面，使該印刷材料於該第一金屬板的該表面形成一印刷圖案，其中該印刷材料包括可固化的樹脂； 一固化步驟，包括： 將具有該印刷圖案的該第一金屬板施予一固化手段，使該印刷圖案固化，且固化後的印刷圖案包括至少一腔室支撐結構； 一組裝步驟，包括： 將至少一網片鋪設於該至少一腔室支撐結構； 將一第二金屬板疊置於該第一金屬板，該第二金屬板的一表面面對該第一金屬板的該表面，且該至少一網片位於該第一金屬板的該表面與該第二金屬板的該表面之間；及 將該第一金屬板與該第二金屬板的周緣結合，並將該第一金屬板與該第二金屬板之間的空間抽氣，藉此，形成該均熱板； 其中，該組裝步驟中，該至少一網片附著一冷卻液。
2. 如請求項1所述之均熱板的製造方法，其中該印刷步驟中，包括透過一第一圖案網版將該印刷材料印刷在該第一金屬板的該表面，使該印刷材料於該第一金屬板的該表面形成一第一印刷圖案；該第一印刷圖案包括一第一腔壁圖案、一第二腔壁圖案、一輸出通道圖案以及一回流通道圖案；其中該固化步驟中，將具有該第一印刷圖案的該第一金屬板施予該固化手段，使該第一印刷圖案固化形成一分隔結構，該分隔結構包括一第一腔壁結構、一第二腔壁結構、一輸出通道結構與一回流通道結構；其中，該圖案網版為一第二圖案網版；該印刷步驟中係透過該第二圖案網版將該印刷材料印刷在該第一金屬板的該表面，使該印刷材料於該第一金屬板的該表面上之該第二腔壁結構所圍設的區域中形成一第二印刷圖案，該第二印刷圖案包括一第二腔室支撐圖案，該第二印刷圖案構成該印刷圖案； 其中該固化步驟包括：將具有該第二印刷圖案的該第一金屬板施予該固化手段，使該第二印刷圖案固化，且該第二腔室支撐圖案固化形成一第二腔室支撐結構，該第二腔室支撐結構構成該至少一腔室支撐結構； 其中該組裝步驟中，該至少一網片包含一第一網片及一第二網片，將該第一網片鋪設於該第一腔壁結構所圍繞的區域中，將該第二網片鋪設於該第二腔壁結構所圍繞的區域中且該第二網片係疊置於該腔室支撐結構上。
3. 如請求項2所述之均熱板的製造方法，其中該腔室支撐結構的厚度小於該分隔結構的厚度。
4. 如請求項2所述之均熱板的製造方法，其中該印刷步驟包括：透過一第三圖案網版將一第三印刷材料印刷在該第二金屬板的該表面，使該印刷材料於該第二金屬板的該表面形成一第三印刷圖案，該第三印刷圖案包含一第一腔室支撐圖案； 其中該固化步驟包括：將具有該第三印刷圖案的該第二金屬板施予該固化手段，使該第三印刷圖案固化，且該第一腔室支撐圖案固化形成一第一腔室支撐結構； 其中該組裝步驟中，該第二金屬板的該第一腔室支撐結構對應於該第一金屬板的該第一腔壁結構所圍設的區域。
5. 如請求項4所述之均熱板的製造方法，其中該第一腔室支撐結構的厚度小於該分隔結構的厚度。
6. 如請求項1所述之均熱板的製造方法，其中該印刷步驟中，包括透過一第一圖案網版將該印刷材料印刷在該第一金屬板的該表面，使該印刷材料於該第一金屬板的該表面形成一第一印刷圖案；該第一印刷圖案包括一第一腔壁圖案、一第二腔壁圖案、一輸出通道圖案以及一回流通道圖案；其中該固化步驟中，將具有該第一印刷圖案的該第一金屬板施予該固化手段，使該第一印刷圖案固化形成一分隔結構，該分隔結構包括一第一腔壁結構、一第二腔壁結構、一輸出通道結構與一回流通道結構；其中該圖案網版為一第二圖案網版；該印刷步驟中係透過該第二圖案網版將該印刷材料印刷在該第一金屬板的該表面，使該印刷材料於該第一金屬板的該表面形成一第二印刷圖案，該第二印刷圖案包括一第一腔室支撐圖案及一第二腔室支撐圖案，該第一腔室支撐圖案位於該第一腔壁結構所圍繞的區域，該第二腔室支撐圖案位於該第二腔壁結構所圍繞的區域，該第二印刷圖案構成該印刷圖案； 其中該固化步驟包括：將具有該第二印刷圖案的該第一金屬板施予該固化手段，使該第二印刷圖案固化，其中，該至少一腔室支撐結構包括一第一腔室支撐結構與一第二腔室支撐結構，且該第一腔室支撐圖案固化形成該第一腔室支撐結構，該第二腔室支撐圖案固化形成該第二腔室支撐結構； 其中該組裝步驟中，該至少一網片包含一第一網片及一第二網片，將該第一網片鋪設於該第一腔壁結構所圍繞的區域中且該第一網片係疊置於該第一腔室支撐結構上，將該第二網片鋪設於該第二腔壁結構所圍繞的區域中且該第二網片係疊置於該第二腔室支撐結構上。
7. 如請求項6所述之均熱板的製造方法，其中該第一腔室支撐結構的厚度與該第二腔室支撐結構的厚度小於該分隔結構的厚度。
8. 如請求項1所述之均熱板的製造方法，其中該第一金屬板包含一第一鏤空區，該第二金屬板包含一第二鏤空區，其中該組裝步驟中，該第二鏤空區的周緣與該第一鏤空區的周緣相結合形成一鏤空區。
9. 如請求項1所述之均熱板的製造方法，其中該印刷材料之可固化的樹脂為環氧樹脂或紫外線固化樹脂。
10. 一種均熱板的製造方法，包含下列步驟： 一印刷步驟，包括： 透過一圖案網版將一印刷材料印刷在一第一金屬板的一表面，使該印刷材料於該金屬板的該表面形成一印刷圖案，該印刷圖案包括一第一腔壁圖案、一第二腔壁圖案、一輸出通道圖案與一回流通道圖案；其中該印刷材料包括可固化的樹脂； 一固化步驟，包括： 將具有該印刷圖案的該第一金屬板施予一固化手段，使該印刷圖案固化形成一分隔結構，該分隔結構包括一第一腔壁結構、一第二腔壁結構、一輸出通道結構與一回流通道結構； 一組裝步驟，包括： 將一第一網片鋪設於該第一腔壁結構所圍繞的區域中；將一第二網片鋪設於該第二腔壁結構所圍繞的區域中； 將一第二金屬板疊置於該第一金屬板，該第二金屬板的一表面面對該第一金屬板的該表面，且該第一網片與該第二網片位於該第一金屬板的該表面與該第二金屬板的該表面之間；及 將該第一金屬板與該第二金屬板的周緣結合，並將該第一金屬板與該第二金屬板之間的空間抽氣，使該分隔結構抵壓該第二金屬板的該表面，藉此，形成該均熱板； 其中，該組裝步驟中，該至少一網片附著一冷卻液。