TWI874040B - 搬送裝置及搬送裝置之控制方法 - Google Patents

Abstract

搬送裝置（1）包含：批量式搬送機器人（20），能夠自載置於裝載埠（10）之卡式盒成批地進行複數個基板之取出／放入；單片式搬送機器人（30），能夠自卡式盒個別地進行基板之取出／放入、或者進行僅一片基板之取出／放入；以及移行軸（40），延伸至使得批量式搬送機器人（20）能夠自卡式盒進行複數個該基板之取出／放入的位置、且延伸至使得單片式搬送機器人（30）能夠自卡式盒進行基板之取出／放入的位置，並且被批量式搬送機器人（20）與單片式搬送機器人（30）共用。

Description

搬送裝置及搬送裝置之控制方法

本發明係關於一種搬送裝置以及搬送裝置之控制方法。

以往，已知一種批量式搬送裝置，其包含複數個夾頭部，藉由各夾頭部對基板進行夾持而對複數個基板成批地進行搬送。

例如，在專利文獻1中揭示了一種搬送機器人，其包含複數個夾頭部，複數個夾頭部對收容於卡式盒中之複數個基板分別進行夾持，從而對複數個基板成批地進行搬送。

另一方面，在基板處理裝置中，亦有對基板逐片地進行處理者。為了向此種基板處理裝置搬送基板，已知一種對基板逐片地進行搬送之單片式搬送裝置。

例如，在專利文獻2中揭示了一種包含單片式搬送機器人之搬送裝置，該單片式搬送機器人各自包含二個分別僅夾持一片基板之夾頭部，且設置有使各夾頭部獨立移動之臂。

專利文獻2所記載之搬送裝置更包含批量式搬送機器人，該批量式搬送機器人各自包含分別夾持基板之5個夾頭部，從而對5片基板成批地進行搬送。而且，批量式搬送機器人係自卡式盒中取出5片基板並搬送至用於進行基板交接之埠，進而將5片基板載置於該埠上。對此，單片式搬送機器人係對載置於埠上之5片基板逐片地進行夾持並搬送至基板處理裝置。

[先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開第2005-347315號公報 [專利文獻2]日本專利特開第2017-224658號公報

[發明所欲解決之課題]

在搬送裝置中，在相同之裝載埠上不僅自卡式盒中成批地取出複數個基板，而且視情況亦期望自卡式盒中逐片地取出基板。然而，如從專利文獻2所記載之搬送裝置之結構所顯而易見的，若在搬送裝置中設置批量式搬送機器人與單片式搬送機器人，則會導致搬送裝置大型化。結果，設置所需之空間變大。

本發明係為用於解決上述課題而成者，其目的在於提供一種搬送裝置以及搬送裝置之控制方法，可使用對複數個基板成批地進行搬送之機器人以及使用對基板個別地進行搬送之機器人來搬送基板，並且裝置為小型的且實現了空間節省。 [解決課題之手段]

為了達成上述目的，本發明之第一觀點之搬送裝置之特徵在於包含： 第一機器人，能夠自載置於裝載埠之卡式盒成批地進行複數個基板之取出／放入； 第二機器人，能夠自該卡式盒個別地進行該基板之取出／放入、或者進行僅一片該基板之取出／放入；以及 移行路徑，延伸至使得該第一機器人能夠自該卡式盒進行複數個該基板之取出／放入的位置、且延伸至使得該第二機器人能夠自該卡式盒進行該基板之取出／放入的位置，並且被該第一機器人與該第二機器人共用。

該移行路徑可為使該第一機器人與該第二機器人沿著向一個方向延伸之軸線移行的移行軸。

該搬送裝置可更包含： 第一感測器，對該第一機器人與該第二機器人各自在該移行路徑之延伸方向上的位置進行測定；以及 控制器，對該第一機器人與該第二機器人各自之移行進行控制， 該控制器在使該第一機器人與該第二機器人之任一者在該移行路徑上移行的情況下，基於該第一感測器所測定之該第一機器人與該第二機器人之位置，求出該第一機器人與該第二機器人之間的距離，並在所求出之距離小於第一閾值時，可使該第一機器人與該第二機器人之任一者的移行停止。

該第一感測器可具有： 線性標度尺，沿著該移行路徑延伸； 第一檢測器，設置於該第一機器人，對在該線性標度尺之延伸方向上的位置進行檢測；以及 第二檢測器，設置於該第二機器人，對在該線性標度尺之延伸方向上的位置進行檢測， 該第一檢測器與該第二檢測器可在位置檢測中共用相同之該線性標度尺。

該搬送裝置可更包含：至少一個第二感測器，設置於該第一機器人與該第二機器人之至少一者，對該第一機器人與該第二機器人相較於第二閾值還要更接近之情況進行檢測， 該控制器在使該第一機器人與該第二機器人之任一者在該移行路徑上移行、且該至少一個第二感測器檢測出該第一機器人與該第二機器人相較於該第二閾值還要更接近之情況下，可使該第一機器人與該第二機器人之任一者之移行停止。

該第二閾值可為該第一閾值以下。

該控制器在使該第一機器人位於該移行路徑上之第一點之情況下，可使該第二機器人在該移行路徑之遠離該第一點的第一區間內移行，且在使該第二機器人位於該移行路徑上之不同於該第一點之第二點的情況下，可使該第一機器人在該移行路徑之遠離該第二點的第二區間內移行。

該第一閾值可為自該第一點至該第一區間之距離的值以下以及可為自該第二點至該第二區間之距離的值以下。

該搬送裝置可更包含線性馬達，該線性馬達可具有：設置於該移行路徑之定子；對該第一機器人進行支撐，並且相對於該定子而言可動之第一動子；以及對該第二機器人進行支撐，並且相對於該定子而言可動之第二動子。

本發明之第二觀點之搬送裝置之控制方法係為如下搬送裝置之控制方法， 該搬送裝置包含： 第一機器人，能夠自載置於裝載埠之卡式盒成批地進行複數個基板之取出／放入； 第二機器人，能夠自該卡式盒個別地進行該基板之取出／放入、或者進行僅一片該基板之取出／放入；以及 移行路徑，延伸至使得該第一機器人能夠自該卡式盒進行複數個該基板之取出／放入的位置、且延伸至使得該第二機器人能夠自該卡式盒進行該基板之取出／放入的位置，並且被該第一機器人與該第二機器人共用， 該搬送裝置之控制方法之特徵在於包含： 在使該第一機器人停止於該移行路徑上之第一點之後，使該第二機器人在該移行路徑之遠離該第一點的第一區間內移行的步驟；以及 在使該第二機器人停止於該移行路徑上之不同於該第一點的第二點之後，使該第一機器人在該移行路徑之遠離該第二點的第二區間內移行的步驟。 [發明之效果]

根據本發明之結構，移行路徑係延伸至使得第一機器人能夠自卡式盒進行複數個基板之取出／放入的位置、且延伸至使得第二機器人能夠自卡式盒進行基板之取出／放入的位置，並且被第一機器人與第二機器人共用。結果，可使用第一機器人以及第二機器人從裝載埠搬送基板。另外，由於第一機器人與第二機器人並非分別具有移行路徑，儘管搬送裝置包含第一機器人與第二機器人，但其仍為小型的且節省了空間。

以下，參照圖式對本發明實施態樣之搬送裝置以及搬送裝置之控制方法進行詳細說明。再者，圖中對相同或同等之部分係附註相同之符號。另外，在圖中所示之正交座標系統XYZ中，搬送裝置所包含之移行軸之延伸方向為X軸，上下方向為Z軸，與X軸及Z軸正交之方向為Y軸。以下，適宜地引用該座標系進行說明。

為了節省空間，實施態樣之搬送裝置係為批量式搬送機器人與單片式搬送機器人共用一個移行軸的搬送裝置。以下，係以從作為卡式盒之一種的FOUP（front opening unified pod，前開式晶圓傳送盒）中取出晶圓並進行搬送的搬送裝置為例，對實施態樣之搬送裝置的結構進行說明。首先，參照第1圖及第2圖，對搬送裝置整體之結構進行說明。

第1圖係為將實施態樣之搬送裝置1以水平面切斷時的剖面圖。第2圖係為搬送裝置1的透視圖。再者，在第2圖中，為了容易理解，係省略了裝置前表面之蓋體、處於裝置前表面之裝載埠及左側面之蓋體而示出可目視確認裝置內部之狀態的搬送裝置1。

如第1圖所示，搬送裝置1係包含複數個裝載埠10、批量式搬送機器人20及單片式搬送機器人30，搬送機器人20係從載置於裝載埠10之FOUP（圖未示出）中取出晶圓並搬送。

裝載埠10係在上表面具有水平之台部。在該台部上能夠載置晶圓收容用之FOUP。另一方面，搬送裝置1之外周係由前面板11、右側面板12、後方面板13及左側面板14所包圍。在其內部空間中，藉由流動已除去塵埃之空氣而形成有無塵室。而且，雖然圖未示出，但在前面板11上係沿左右方向而並排形成有4個搬出／搬入口。在該等搬出／搬入口分別設置有裝載埠10。裝載埠10係藉由載置有FOUP而向該搬出／搬入口供給作為搬入對象之晶圓。或者，提供自該搬出／搬入口所搬出之晶圓的收容目的地。

批量式搬送機器人20係配置於該無塵室中。然後，如第2圖所示，批量式搬送機器人20係具有與上述FOUP之最大晶圓收容數相同個數之夾頭部21，該等夾頭部21分別對晶圓進行夾持。其結果為，批量式搬送機器人20能夠對收容於FOUP中之晶圓成批地進行夾持。換言之，批量式搬送機器人20能夠對收容於FOUP中之全部晶圓進行夾持。

另外，批量式搬送機器人20具有使該等夾頭部成批地進退及升降之驅動部（圖未示出）（例如馬達等）。批量式搬送機器人20係利用驅動部（圖未示出）而使複數個夾頭部在載置於裝載埠10之FOUP中進出，或者係利用複數個夾頭部抬起收容於FOUP中之晶圓。再者，批量式搬送機器人20係為對申請專利範圍中所提及之第一機器人進行具體例示者。

對此，如第2圖所示，單片式搬送機器人30係包含分別僅夾持一片晶圓之二個夾頭部31。而且，各夾頭部31能夠藉由不同之臂32而向前後左右移動。另外，各個臂32具有將該等集中升降之驅動部（圖未示出）。單片式搬送機器人30係藉由具有此種結構，從而對收容於FOUP中之晶圓逐片地進行取出／放入。

另外，單片式搬送機器人30係具有使二個臂32旋轉之驅動部（圖未示出）。另一方面，在搬送裝置1之該無塵室之後方區域中，設置有使晶圓之凹槽之位置對準的對準器33、以及使晶圓之表背反轉的反轉單元34。單片式搬送機器人30係藉由使二個臂32旋轉，從而向對準器33或反轉單元34供給晶圓。或者，自對準器33或反轉單元34取出晶圓。再者，單片式搬送機器人30係為對申請專利範圍中所提及之第二機器人進行具體例示者。

搬送裝置1係藉由包含上述批量式搬送機器人20，從而可將在裝載埠10上之FOUP中所收容的複數個晶圓成批地取出，並將該等晶圓成批地轉移至別的FOUP中。進而，搬送裝置1係藉由包含上述單片式搬送機器人30，從而可將在裝載埠10上之FOUP中所收容的晶圓逐片地取出，並對該晶圓實施凹槽之對位、表背之反轉等處理後逐片地收納至別的FOUP中。

然而，上述之複數個裝載埠10係在搬送裝置1之前方沿左右方向排列。另外，對準器33與反轉單元34係在搬送裝置1之無塵室之後方區域沿左右方向排列。因此，需要使批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30往左右方向移行。在此，考慮在批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30分別設置沿左右方向延伸之移行軸。然而，在該情況下，二個移行軸在前後方向上並排，導致設置該等移行軸之空間變大。

因此，在搬送裝置1中，批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30係共用一個移行軸40。接著，參照第3圖，對搬送裝置1所包含之移行軸40之結構進行說明。

第3圖係為搬送裝置1所包含之移行軸40的透視圖。再者，在第3圖中，為了示出移行軸40被安裝於搬送裝置1之狀態，亦示出了支撐批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之基底部25、35。

移行軸40係為了使批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30沿著向一個方向延伸之軸線（詳言之為第3圖所示之X軸）移行而被稱為「移行軸」之構件，且亦被稱為軌道之構件。另外，移行軸40係為對申請專利範圍中所提及之移行路徑進行具體例示者。若對其結構進行詳細說明，則如第3圖所示，移行軸40係形成為沿左右方向延伸之樑之形狀。而且，移行軸40包含線性導軌41、42以及線性馬達43。

各線性導軌41、42係沿左右方向呈直線狀延伸。而且，線性導軌41與42係在上下方向上分離地配置於移行軸40之樑主體的上下方向兩端。在該等線性導軌41、42上，係以能夠沿著線性導軌41與42之延伸方向滑動之方式嵌有滑動件45、46。進而，滑動件45、46係分別對批量式搬送機器人20所具有之基底部25、單片式搬送機器人30所具有之基底部35之各者進行支撐。

在第3圖中，雖然省略了在基底部25上方之批量式搬送機器人20的結構與在基底部35上方之單片式搬送機器人30的結構，但各線性導軌41、42係藉由包含此種結構而分別對批量式搬送機器人20整體與單片式搬送機器人30整體以使其能夠滑動之方式進行支撐。在線性導軌41與42之間，為了使批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30往左右方向滑動而設置有線性馬達43之複數個定子。

雖然圖未示出，但線性馬達43係包含複數個定子以及第一動子、第二動子。複數個定子係分別由永久磁鐵形成。而且，複數個定子係在移行軸40之樑主體上沿左右方向排列。其結果為，N極與S極係交替地朝向前表面側。另一方面，第一動子、第二動子分別包含鐵心與線圈或者包含線圈。而且，第一動子、第二動子係設置於上述之滑動件45、46上。

在線性馬達43中，藉由向第一動子、第二動子各自之線圈分別供給電力，第一動子、第二動子之各者係分別沿複數個定子之排列方向移動，或者僅第一動子、第二動子之一者移動。藉此，滑動件45、46係分別沿複數個定子之排列方向滑動，或者僅滑動件45、46之一者係沿複數個定子之排列方向滑動。亦即，沿移行軸40之延伸方向滑動。其結果為，線性馬達43接受電力供給，藉此批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之一或二者係沿著移行軸40移行。

如此一來，批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30能夠沿著同一移行軸40移行。而且，移行軸40係延伸至使得批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30二者均能夠自裝載埠10上之FOUP中取出晶圓的位置。詳言之，如第1圖所示，移行軸40係經過與各裝載埠10在後方側相鄰之位置，其結果為，批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30二者均能夠自裝載埠10上之FOUP中取出晶圓。儘管移行軸40經過與各裝載埠10在後方側相鄰之位置而延伸，但因批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30二者係共有同一移行軸40，能夠實現搬送裝置1之小型化、節省了空間。

然而，若批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30係沿著同一移行軸40移行，則有批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30發生接觸或碰撞之虞。

在此，在搬送裝置1中，係包含基於線性編碼器、近接感測器等感測器之輸出而對線性馬達43進行控制之控制器。接下來，參照第4圖，對包含感測器與控制器之搬送裝置1的結構進行說明。

第4圖係為搬送裝置1所包含之控制器60的硬體結構圖。再者，在第4圖中，為了容易理解，亦示出搬送裝置1所包含之感測器等各項零件。另外，省略了對批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30進行驅動之馬達等驅動部的圖示。

如第4圖所示，搬送裝置1係包含：對批量式搬送機器人20、單片式搬送機器人30之位置進行檢測的位置檢測器51、52；對批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30接近之情況進行檢測的近接感測器53；以及控制器60，控制器60係基於位置檢測器51、52及近接感測器53而對批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之移行進行控制。

位置檢測器51、52（亦稱為第一檢測器、第二檢測器）係為線性編碼器（亦稱為第一感測器）之零件。另一方面，第4圖所示之線性標度尺55亦為線性編碼器之零件。位置檢測器51、52係藉由測定其自身相對於線性標度尺55之位置，而測定其在移行軸40上之位置。

詳言之，位置檢測器51係設置於支撐批量式搬送機器人20之第3圖所示之滑動件45上。另外，位置檢測器52係設置於支撐單片式搬送機器人30之滑動件46上。而且，位置檢測器51、52係與第4圖所示之線性標度尺55相向。關於線性標度尺55，雖然圖未示出其形狀，但其設置於移行軸40之樑主體上，且沿左右方向延伸。位置檢測器51、52係在該線性標度尺55之延伸方向上測定位置，亦即，測定相對於左右方向而言之位置。其結果為，位置檢測器51、52係測定滑動件45、46在移行軸40之延伸方向上的位置。藉此，位置檢測器51、52係測定批量式搬送機器人20、單片式搬送機器人30在移行軸40上之位置。位置檢測器51、52係定期地對該等位置進行測定，並在每次測定時，將所測定之位置資料發送至控制器60。

另一方面，如第3圖所示，近接感測器53係設置於支撐批量式搬送機器人20之滑動件45上。其位置係在滑動件45之左側部分（即-X側部分）。在滑動件45之-X側，存在有支撐單片式搬送機器人30之滑動件46。在滑動件45、46之一或二者滑動，藉此滑動件46接近滑動件45到相較於閾值A（在申請專利範圍中稱為第二閾值）之距離還要更接近的情況下，近接感測器53係輸出近接訊號。換言之，在批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之一或二者沿著移行軸40移行，藉此批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30相較於閾值A之距離還要更接近的情況下，近接感測器53係輸出近接訊號。近接感測器53係與控制器60電性連接，從而向控制器60輸出近接訊號。

如第4圖所示，控制器60係包含處理器61、記憶體62及介面63。然後，處理器61、記憶體62及介面63係藉由匯流排64而連接。

介面63係使得處理器61及記憶體62能夠與批量式搬送機器人20及單片式搬送機器人30分別所具有之驅動部（圖未示出）進行通訊。另外，介面63係使得處理器61及記憶體62能夠與上述之位置檢測器51、52、近接感測器53、線性馬達43進行通訊。

處理器61及記憶體62係構成電腦。然後，控制器60係藉由處理器61讀出並執行記憶體62中所儲存之各種程式，而進行用於對批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之各部分進行控制的各種處理。

例如，控制器60係進行用於防止在同一移行軸40上移行之批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之接觸、碰撞的各種處理。

以下進行詳細說明。舉例言之，控制器60在使單片式搬送機器人30移行之情況下，如第1圖所示，係對批量式搬送機器人20是否停止於移行軸40之右端之特定位置P1（申請專利範圍中所提及之第一點）進行判定，並在判定為停止之情況下，係使單片式搬送機器人30在自該右端之特定位置P1往左方向隔開一定距離D1之區間S1（亦稱為第一區間）內移行，以防止其與批量式搬送機器人20之接觸、碰撞。另一方面，控制器60在判定批量式搬送機器人20並未停止於移行軸40之右端之特定位置P1的情況下，係使單片式搬送機器人30不進行移行而使其待機。控制器60係藉由進行此種處理而防止單片式搬送機器人30與處於同一移行軸40之批量式搬送機器人20的接觸、碰撞。

同樣地，控制器60在使批量式搬送機器人20移行之情況下，係對單片式搬送機器人30是否停止於左端之特定位置P2（申請專利範圍中所提及之第二點）進行判定，並在判定為停止之情況下，係使批量式搬送機器人20在自該左端之特定位置P2往右方向隔開一定距離D2之區間S2（亦稱為第二區間）內移行。另一方面，控制器60在判定單片式搬送機器人30並未停止於移行軸40之左端之特定位置P2的情況下，係使批量式搬送機器人20不進行移行而使其待機。控制器60係藉由進行此種處理而防止批量式搬送機器人20與處於同一移行軸40之單片式搬送機器人30的接觸、碰撞。

進而，控制器60係基於線性編碼器所包含之第4圖所示之位置檢測器51、52所發送的位置資料，對批量式搬送機器人20、單片式搬送機器人30之移行進行控制。

詳言之，每當位置檢測器51、52各自對批量式搬送機器人20、單片式搬送機器人30各自之位置進行測定時，控制器60係自位置檢測器51、52各者接收位置資料。而且，控制器60係基於在同時期所接收之位置檢測器51的位置資料以及位置檢測器52的位置資料，算出自位置檢測器51至位置檢測器52之距離、或者自位置檢測器51所在之滑動件45至位置檢測器52所在之滑動件46的距離。在記憶體62中儲存有各種參數，且控制器60係預先讀出該等參數。控制器60在所算出之距離小於所讀出之參數中的閾值B（在申請專利範圍中稱為第一閾值）時，在批量式搬送機器人20或單片式搬送機器人30正在移行之情況下，係使該移行停止。藉此，控制器60係防止批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之接觸、碰撞。

控制器60係電性連接有可顯示各種資訊之顯示裝置70。控制器60在使移行停止之情況下，係使顯示裝置70顯示內容為批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之距離過近的警告。

另外，控制器60係基於第4圖所示之近接感測器53的輸出，對批量式搬送機器人20、單片式搬送機器人30之移行進行控制。

詳言之，如上所述，在批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30接近至小於一定之閾值A之距離的情況下，近接感測器53係輸出近接訊號。控制器60在接收到該近接訊號之情況下，若批量式搬送機器人20或單片式搬送機器人30正在移行，則使該移行停止。藉此，控制器60係防止批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之接觸、碰撞。

再者，作為近接感測器53輸出近接訊號之基準的閾值A係理想為閾值B以下，該閾值B係作為上述之控制器60根據線性編碼器之位置檢測器51與52的測定結果而使批量式搬送機器人20或單片式搬送機器人30之移行停止的基準。若係為此種閾值A與閾值B，則除了基於線性編碼器之測定結果來進行批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之移行的控制之外，亦基於近接感測器53之輸出來進行批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之移行的控制，因此可更有效地防止批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之接觸、碰撞。

另外，上述之閾值B係理想為距離D1以下且為距離D2以下，距離D1係用於規定上述之單片式搬送機器人30移行之區間S1，距離D2用於規定批量式搬送機器人20移行之區間S2。若係為此種閾值B，則當單片式搬送機器人30在區間S1內之移行與批量式搬送機器人20在區間S2內之移行係為不受控制器60之控制的移行時，能夠防止由該移行引起之批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之接觸、碰撞。

如上所述，在實施態樣之搬送裝置1中，移行軸40延伸至使得批量式搬送機器人20能夠自FOUP進行複數個晶圓之取出／放入之位置、且延伸至使得單片式搬送機器人30能夠自FOUP進行複數個晶圓之取出／放入之位置，移行軸40係使批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30沿著該移行軸40自身移行，並與載置FOUP之裝載埠10相鄰。因此，批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30可使用相同之移行軸40而移行至與裝載埠10相鄰之位置。批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30並非分別具有移行軸而是共用一個移行軸40，因此搬送裝置1係為小型的。而且節省了空間。

另外，在搬送裝置1中，控制器60係根據線性編碼器所具有之位置檢測器51、52之檢測結果，求出批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之距離，並在所求出之距離小於閾值B時，使批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30中正在移行之機器人的移行停止。因此，儘管批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30係共用同一移行軸40，但批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30不易發生接觸、碰撞。

進而，批量式搬送機器人20係包含對與單片式搬送機器人30接近之情況進行檢測的近接感測器53。而且，在近接感測器53檢測出單片式搬送機器人30已接近之情況下，控制器60係使批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30中正在移行之機器人的移行停止。因此，儘管批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30係共用同一移行軸40，但批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30不易發生接觸、碰撞。

以上，係對關於本發明實施態樣之搬送裝置1以及搬送裝置1之控制方法進行了說明，但搬送裝置1及搬送裝置1之控制方法並不限定於此。

在實施態樣中，移行軸40係為樑之形狀，換言之，係為細長之平板之形狀。但本發明並不限定於此。在本發明中，移行軸40只要使批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30沿著該移行軸40自身移行且與載置FOUP（即卡式盒）之裝載埠10相鄰即可。因此，只要滿足該條件，則移行軸40之形狀可為任意形狀。例如，移行軸40可為稜柱狀，亦可為圓柱狀。

在實施態樣中，搬送裝置1係包含線性標度尺55。但本發明並不限定於此。在本發明中，搬送裝置1可包含對批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30各自在移行軸40之延伸方向上的位置進行測定之第一感測器。因此，線性標度尺55之有無係為任意的。例如，在線性編碼器之位置檢測器51、52為磁性頭、且線性標度尺55為磁性標度尺之情況下，亦可省略線性標度尺55而以線性馬達43之複數個定子來代替。

在實施態樣中，近接感測器53係設置於批量式搬送機器人20。但本發明並不限定於此。在本發明中，搬送裝置1可包含至少一個感測器（在申請專利範圍中稱為第二感測器），該至少一個感測器設置於批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30之至少一者、且對批量式搬送機器人20與單片式搬送機器人30接近至小於閾值A之情況進行檢測。因此，近接感測器53亦可設置於單片式搬送機器人30。或者，近接感測器53亦可設置於單片式搬送機器人30而代替設置於批量式搬送機器人20。

本發明能夠在不脫離本發明之廣義精神與範圍之情況下採用各種實施態樣及變形。另外，上述之實施態樣僅用於對本發明進行說明，而非限定本發明之範圍者。亦即，本發明之範圍係由申請專利範圍而非實施態樣示出。而且，在申請專利範圍內以及與其同等之發明意義之範圍內實施之各種變形係被視為在本發明之範圍內。

1:搬送裝置 10:裝載埠 11:前面板 12:右側面板 13:後方面板 14:左側面板 20:批量式搬送機器人（第一機器人） 21:夾頭部 25:基底部 30:單片式搬送機器人（第二機器人） 31:夾頭部 32:臂 33:對準器 34:反轉單元 35:基底部 40:移行軸 41,42:線性導軌 43:線性馬達 45,46:滑動件 51,52:位置檢測器（第一檢測器、第二檢測器） 53:近接感測器（第二感測器） 55:線性標度尺 60:控制器 61:處理器 62:記憶體 63:介面 64:匯流排 70:顯示裝置（警告裝置） D1,D2:距離 P1,P2:特定位置 S1,S2:區間 X,Y,Z:方向

第1圖係為將本發明實施態樣之搬送裝置以水平面切斷時的剖面圖。 第2圖係為實施態樣之搬送裝置的透視圖。 第3圖係為實施態樣之搬送裝置所包含之移行軸的透視圖。 第4圖係為實施態樣之搬送裝置所包含之控制器的硬體構成圖。

1:搬送裝置

10:裝載埠

11:前面板

12:右側面板

13:後方面板

14:左側面板

20:批量式搬送機器人(第一機器人)

30:單片式搬送機器人(第二機器人)

31:夾頭部

32:臂

33:對準器

34:反轉單元

40:移行軸

D1,D2:距離

P1,P2:特定位置

S1,S2:區間

X,Y,Z:方向

Claims (10)

1. 一種搬送裝置，包含：第一機器人，能夠自載置於裝載埠之卡式盒成批地進行複數個基板之取出/放入；第二機器人，能夠自該卡式盒個別地進行該基板之取出/放入、或者進行僅一片該基板之取出/放入；以及移行路徑，延伸至使得該第一機器人能夠自該卡式盒進行複數個該基板之取出/放入的位置、且延伸至使得該第二機器人能夠自該卡式盒進行該基板之取出/放入的位置，並且被該第一機器人與該第二機器人共用，其中，該移行路徑係沿著第一方向延伸之移行軸，該移行軸包含第一線性導軌及第二線性導軌，該第一線性導軌及該第二線性導軌係沿著該第一方向延伸，且該第一線性導軌及該第二線性導軌在與該第一方向垂直的第二方向上配置於該移行軸之樑主體。
2. 一種搬送裝置，包含：第一機器人，能夠自載置於裝載埠之卡式盒成批地進行複數個基板之取出/放入；第二機器人，能夠自該卡式盒個別地進行該基板之取出/放入、或者進行僅一片該基板之取出/放入；移行路徑，延伸至使得該第一機器人能夠自該卡式盒進行複數個該基板之取出/放入的位置、且延伸至使得該第二機器人能夠自該卡式盒進行該基板之取出/放入的位置，並且被該第一機器人與該第二機器人共用； 第一感測器，對該第一機器人與該第二機器人各自在該移行路徑之延伸方向上的位置進行測定；以及控制器，對該第一機器人與該第二機器人各自之移行進行控制，該控制器在使該第一機器人與該第二機器人之任一者在該移行路徑上移行的情況下，基於該第一感測器所測定之該第一機器人與該第二機器人之位置，求出該第一機器人與該第二機器人之間的距離，並在所求出之距離小於第一閾值時，使該第一機器人與該第二機器人之任一者的移行停止。
3. 如請求項2所述之搬送裝置，其中，該第一感測器具有：線性標度尺，沿著該移行路徑延伸；第一檢測器，設置於該第一機器人，對在該線性標度尺之延伸方向上之位置進行檢測；以及第二檢測器，設置於該第二機器人，對在該線性標度尺之延伸方向上之位置進行檢測，該第一檢測器與該第二檢測器係在位置檢測中共用相同之該線性標度尺。
4. 如請求項2或3所述之搬送裝置，更包含：至少一個第二感測器，設置於該第一機器人與該第二機器人之至少一者，對該第一機器人與該第二機器人相較於第二閾值還要更接近之情況進行檢測， 該控制器在使該第一機器人與該第二機器人之任一者在該移行路徑上移行、且該至少一個第二感測器檢測出該第一機器人與該第二機器人相較於該第二閾值還要更接近之情況下，使該第一機器人與該第二機器人之任一者之移行停止。
5. 如請求項4所述之搬送裝置，其中，該第二閾值係為該第一閾值以下。
6. 如請求項2或3所述之搬送裝置，其中，該控制器在使該第一機器人位於該移行路徑上之第一點的情況下，使該第二機器人在該移行路徑之遠離該第一點之第一區間內移行，且在使該第二機器人位於該移行路徑上之與該第一點不同之第二點的情況下，使該第一機器人在該移行路徑之遠離該第二點之第二區間內移行。
7. 如請求項6所述之搬送裝置，其中，該第一閾值係為自該第一點至該第一區間之距離的值以下以及為自該第二點至該第二區間之距離的值以下。
8. 如請求項1或2所述之搬送裝置，更包含線性馬達，該線性馬達具有：定子，設置於該移行路徑；第一動子，對該第一機器人進行支撐，並且相對於該定子而言可動；以及第二動子，對該第二機器人進行支撐，並且相對於該定子而言可動。
9. 一種搬送裝置之控制方法，該搬送裝置包含： 第一機器人，能夠自載置於裝載埠之卡式盒成批地進行複數個基板之取出/放入；第二機器人，能夠自該卡式盒個別地進行該基板之取出/放入、或者進行僅一片之該基板之取出/放入；以及移行路徑，延伸至使得該第一機器人能夠自該卡式盒進行複數個該基板之取出/放入的位置、且延伸至使得該第二機器人能夠自該卡式盒進行該基板之取出/放入的位置，並且被該第一機器人與該第二機器人共用，該搬送裝置之控制方法包含：在使該第一機器人停止於該移行路徑上之第一點之後，使該第二機器人在該移行路徑之遠離該第一點之第一區間內移行之步驟；以及在使該第二機器人停止於該移行路徑上之與該第一點不同之第二點之後，使該第一機器人在該移行路徑之遠離該第二點之第二區間內移行之步驟。
10. 一種搬送裝置，包含：第一機器人，能夠自載置於裝載埠之卡式盒成批地進行複數個基板之取出/放入；第二機器人，能夠自該卡式盒個別地進行該基板之取出/放入、或者進行僅一片之該基板之取出/放入；移行路徑，延伸至使得該第一機器人能夠自該卡式盒進行複數個該基板之取出/放入的位置、且延伸至使得該第二機器人能夠自該卡式盒進行該基板之取出/放入的位置，並且被該第一機器人與該第二機器人共用；以及 控制器，被配置為當該第一機器人停止於該移行路徑上之第一點時，使該第二機器人在該移行路徑之遠離該第一點之第一區間內移行，以及當該第二機器人停止於該移行路徑上之與該第一點不同之第二點時，使該第一機器人在該移行路徑之遠離該第二點之第二區間內移行。

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