TWI866235B - 可捕獲磁性粒子的光罩容器 - Google Patents
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Abstract
光罩容器包括一罩蓋及一底板，其中磁性粒子捕集器包括於該罩蓋或該底板中之至少一者中。該罩蓋及該底板各自包括密封表面，且該等密封表面中之至少一者包括可受該等磁性粒子捕集器吸引之磁性材料。該等密封表面可經選擇使得藉由該等密封表面處之磨損而產生之顆粒主要為該磁性材料。該等磁性粒子捕集器可進一步經構形以藉由減小該等磁性粒子捕集器對顆粒物質之吸引力來進行清潔。
Description
本發明係關於經構形以磁性地捕獲顆粒物質之光罩容器。
光罩容器可包括可彼此接觸之金屬組件。摩擦可能導致產生金屬顆粒污染，在污染情況下，此等金屬組件接觸光罩容器之其他部分。金屬顆粒可能為一種污染物，對光罩容器中容納之光罩產生不利影響，從而導致昂貴的損耗並降低光罩處理(例如光微影處理，如極紫外線(EUV)光微影)之良率。
本發明係關於經構形以磁性地捕獲顆粒物質之光罩容器。
藉由在光罩容器之罩蓋及底板之密封表面處使用磁性材料，產生藉由此等密封表面處之接觸而產生之顆粒。
在實施例中，一種物品包括光罩容器，該光罩容器包括：罩蓋，其包括罩蓋密封表面；底板，其包括底板密封表面；及一或多個磁性粒子捕集器。各磁性粒子捕集器包括磁體。該罩蓋及該底板界定經構形以接納光罩之內部空間，且該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之一者或兩者包括磁性材料。
在實施例中，一種物品包括光罩容器。該光罩容器包括罩蓋及底板，該罩蓋包括罩蓋密封表面，該底板包括底板密封表面。該罩蓋及該底板界定經構形以接納光罩之內部空間。該光罩容器進一步包括安置於該罩蓋、該底板或其組合上或中之一或多個磁性粒子捕集器。
在實施例中，該一或多個磁性粒子捕集器包括設置於該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之一者上之複數個凹陷部。在實施例中，該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之另一者包括複數個突出部，各突出部經構形以延伸至該複數個凹陷部中之一者中。
在實施例中，該罩蓋包括一或多個過濾器開口，且該一或多個磁性粒子捕集器各自安置於該一或多個過濾器開口中之一者處。
在實施例中，該一或多個磁性粒子捕集器安置於該內部空間內。
在實施例中，該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之至少一者包括磁性材料。在實施例中，該磁性材料包括於施加至該罩蓋或該底板之塗層中以形成該罩蓋密封表面或該底板密封表面。
在實施例中，該等磁性粒子捕集器經構形使得該磁性粒子捕集器與該罩蓋或該底板之間的吸引力小於該底板之重量。
在實施例中，一種容納光罩之方法，其包含將該光罩置放在光罩容器之內部空間中，該光罩容器包括罩蓋、底板及各自包括磁體之一或多個磁性粒子捕集器，其中該罩蓋包括罩蓋密封表面，該底板包括底板密封表面。
在實施例中，該方法進一步包括在該一或多個磁性粒子捕集器處捕獲磁性粒子。在實施例中，該方法進一步包括藉由減小該一或多個磁性粒子捕集器中之各者之該磁體與該等磁性粒子之間的吸引力來清潔該等磁性粒子捕集器。在實施例中，清潔該等磁性粒子捕集器進一步包括將氣流施加至該等磁性粒子捕集器。
在實施例中，該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之一者或兩者包括磁性材料，且該等磁性粒子係因包括該磁性材料之該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之該一者或兩者處之磨損而產生。
在實施例中，該方法進一步包括藉由支撐該罩蓋並允許該底板下降來使該罩蓋與該底板分離。
在實施例中，一種製造光罩容器之方法包括：提供具有罩蓋密封表面之罩蓋；提供具有底板密封表面之底板；及在該罩蓋、該底板或其組合上或中提供一或多個磁性粒子捕集器。
在實施例中，該方法進一步包括在該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之一者或兩者處提供磁性材料。在實施例中，該在該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之該一者或兩者處提供磁性材料包括將含有該磁性材料之塗層施加至該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之該一者或兩者。
在實施例中，該提供一或多個磁性粒子捕集器包括在該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之一者中提供複數個凹陷部及將磁體安置於該複數個凹陷部中之各者中。
在實施例中，該罩蓋包括一或多個過濾器開口，且提供該一或多個磁性粒子捕集器包括將該一或多個磁性粒子捕集器中之該各者安置在該一或多個過濾器開口中之一者處。
在實施例中，提供該一或多個磁性粒子捕集器包括將該一或多個磁性粒子捕集器中之各者安置於界定該光罩容器之該內部空間的該罩蓋或該底板之表面上。
本發明係關於經構形以磁性地捕獲顆粒物質之光罩容器。本發明主張2022年5月27日申請之美國臨時專利第63/346,736號的優先權，該美國臨時專利以引用之方式併入本文中。
圖1展示根據實施例之光罩容器。光罩容器100包括罩蓋102及底板104。罩蓋102包括罩蓋密封表面106及突出部108。底板104包括底板密封表面110且包括磁性粒子捕集器112，該等磁性粒子捕集器可視情況安置於凹部114中。
光罩容器100為經構形以例如在儲存、運輸或處理光罩116期間接納該光罩之容器。光罩之儲存、運輸及/或處理可為例如極紫外線(EUV)光微影等光微影之製程之部分。
罩蓋102形成光罩容器100之部分。罩蓋102與底板104之組合界定能夠接納待容納在光罩容器100內之光罩116之內部空間。罩蓋102在罩蓋102之一或多個位置處包括罩蓋密封表面106，該罩蓋密封表面經構形以與底板110對置或接觸。在實施例中，罩蓋密封表面106可包括磁性材料，例如鎳或能夠受磁場吸引之任何其他材料。突出部108可視情況包括於光罩容器100中，例如包括於罩蓋102中，自罩蓋密封表面106延伸。
底板104形成光罩容器100之另一部分。底板104經構形使得當底板104與罩蓋102組合時，界定能夠接納光罩之內部空間。在實施例中，磁性粒子捕集器112可包括於底板104中而非如上文所描述之罩蓋102中。底板104在對應於罩蓋密封表面106之一或多個位置處包括底板密封表面110。底板密封表面110可經構形以與罩蓋密封表面106一起形成密封，例如藉由罩蓋密封表面106與底板密封表面110之間的接觸形成密封。罩蓋密封表面106與底板密封表面110之間的接觸可使粒子藉由罩蓋密封表面106與底板密封表面110中之一者或兩者之摩擦磨損而產生。
罩蓋密封表面106或底板密封表面110中之至少一者可在表面處提供磁性材料。磁性材料可包括能夠受磁體吸引之任何材料。磁性材料本身可被或可不被磁化。在實施例中，磁性材料可包括鎳、鐵、鈷、釓等中之一或多者。在實施例中，罩蓋密封表面106及底板密封表面110中之一者或兩者之表面處之磁性材料可被磁化，使得整個密封表面106、110可在磁性粒子捕集器112處提供服務。磁性材料可為在罩蓋密封表面106或底板密封表面110中之至少一者處施加之塗層，例如在對應密封表面106、110處施加至罩蓋102或底板104之鎳鍍層。在實施例中，罩蓋密封表面106及底板密封表面110兩者均包括磁性材料。在實施例中，僅罩蓋密封表面106或底板密封表面110中之一者包括磁性材料。在此實施例中，罩蓋密封表面106或底板密封表面110中之一者的不為磁性材料之材料可經選擇使得來自密封表面106與110之間的接觸之磨損主要產生磁性材料之粒子。例如，當罩蓋密封表面106或底板密封表面110中之一者不為磁性材料時，材料之硬度大於罩蓋密封表面106或底板密封表面110中之另一者處包括的磁性材料之硬度。在實施例中，非磁性材料與磁性材料之間的硬度差可為至少15洛氏C硬度。在一些實施例中，可包括於罩蓋密封表面或底板密封表面110處之非磁性材料之非限制性實例可包括鋁、鈦、鉬及非磁性合金或其組合。
磁性粒子捕集器112包括磁體，其經構形以吸引磁性粒子並捕獲該等磁性粒子以減少由罩蓋102及底板104形成之內部空間內之顆粒。磁性粒子捕集器112包括經構形以提供能夠將磁性粒子吸引至磁性粒子捕集器之磁場之磁體。磁體可為任何合適的磁體，例如永磁體。此類磁體之非限制性實例包括釹永磁體、釤鈷磁體等。磁性粒子可由場捕獲並保持至磁體。磁性粒子捕集器可安置於罩蓋102及底板104中之一者或兩者上之任何合適位置中。例如罩蓋102等罩蓋上用於磁性粒子捕集器112之合適位置之非限制性實例展示於圖2中且在下文進行描述。例如底板104等底板上用於磁性粒子捕集器112之合適位置之非限制性實例展示於圖3中且在下文進行描述。磁性粒子捕集器112可進一步包括例如用以定位磁體、由磁體引導可能攜帶顆粒之流之額外結構，或任何其他合適的結構。在圖1所展示之實施例中，磁性粒子捕集器112被包括作為經構形以收納於凹部114中之定位盤或圓盤。磁性粒子捕集器112可以任何合適的位置及構形被包括，在該位置及構形中，磁性粒子捕集器可捕獲顆粒物質，之後該顆粒物質接觸容納在由罩蓋102及底板104形成之內部空間內之光罩。用於磁性粒子捕集器112之位置之其他非限制性實例包括設置在罩蓋102上：恰好在罩蓋密封表面106內部，在突出部108之末端上或處，在形成於罩蓋102中之過濾器開口處或附近，包括設置在底板104上：恰好在底板密封表面110內部，等等。磁性粒子捕集器112包括一或多個磁體，其提供能夠吸引包括於罩蓋密封表面106及底板密封表面110中之一者或兩者中之磁性材料之磁場。包括於磁性粒子捕集器112中之磁體可經選擇使得磁性粒子捕集器與罩蓋102及/或底板104之間的吸引力使得此種吸引不會干擾光罩容器100之敞開、關閉或其他操作。例如，吸引力可小於底板104之重量，使得底板104可相對於罩蓋102下落以使光罩容器100敞開。
磁性粒子捕集器112可經構形使得可自磁性粒子捕集器112中去除捕集到之顆粒。去除捕集到之顆粒可包括減小磁性粒子捕集器112對顆粒物質之吸引程度。去除捕集到之顆粒可另外或替代地包括施加氣態或液態流體流以排出捕集到之粒子。作為非限制性實例，例如氮氣或乾淨乾燥空氣等氣體可吹過磁性粒子捕集器112以去除顆粒。作為另一非限制性實例，可噴射例如去離子水等液體流以去除顆粒。在實施例中，磁性粒子捕集器112包括能夠被供能以形成電磁體之電接觸件，使得對捕集到之顆粒之吸引力減小。在實施例中，磁性粒子捕集器112經構形以置放於能夠提供場之磁體內，該場能夠減小磁性粒子捕集器112對捕集到之顆粒之吸引力。在實施例中，磁性粒子捕集器112可自罩蓋102或底板104移除。在實施例中，整個罩蓋102或底板104可置放於包括磁體之裝置中，該磁體用於減小磁性粒子捕集器112對顆粒之吸引力。在實施例中，清潔磁性粒子捕集器112可包括提供較強磁場，以將捕集到之顆粒自磁性粒子捕集器112拉離至施加該較強磁場之磁體。
凹部114可視情況基於磁性粒子捕集器112之位置及/或構形設置在底板104上。在實施例中，凹部114容納磁性粒子捕集器112，例如置放於凹部114中之磁性圓盤或定位盤。在實施例中，凹部114經構形以接納突出部108，以便允許將罩蓋102組裝至底板104。在突出部108代替地設置於底板104上之實施例中，凹部114可代替地在對應於突出部108之位置中設置於罩蓋102上。在磁性粒子捕集器112不會干擾罩蓋102與底板104之連接或光罩116在光罩容器100內之接納的實施例中，可省略凹部114。在實施例中，凹部114可經構形使得當罩蓋102及底板104接合在一起時，罩蓋密封表面106及底板密封表面110彼此接觸。在實施例中，凹部114及突出部108可經構形以當罩蓋102及底板104接合在一起時，在罩蓋密封表面106與底板密封表面110之間提供間隙。
圖2展示根據實施例之光罩容器之罩蓋。罩蓋200包括罩蓋密封表面202及視情況為突出部204。在實施例中，罩蓋200可包括磁性粒子捕集器206a、磁性粒子捕集器206b及/或磁性粒子捕集器206c。
罩蓋密封表面202為經構形以在組裝包括罩蓋200之光罩容器時接觸底板之罩蓋200之一部分。罩蓋密封表面202可在表面處包括磁性材料，使得藉由罩蓋密封表面202之磨損而產生之粒子能夠受包括於磁性粒子捕集器(例如磁性粒子捕集器206a、206b或206c)中之磁體吸引。在實施例中，罩蓋密封表面202不包括磁性材料。在此實施例中，底板在對應於罩蓋密封表面202之表面處包括磁性材料，且罩蓋密封表面包括硬度大於磁性材料之硬度之材料，使得藉由包括罩蓋密封表面202之摩擦而產生之磨損粒子主要包括磁性材料。磁性材料可例如包括鎳。
在實施例中，罩蓋200可包括突出部204。突出部204自罩蓋密封表面202延伸。突出部204可經定位以延伸至與罩蓋200一起用以形成光罩容器之底板中形成之凹部中。在實施例中，突出部之高度使得當組裝包括罩蓋200之光罩容器時罩蓋密封表面202接觸底板。在實施例中，突出部204之高度使得罩蓋密封表面202與底板之對應表面間隔開一間隙，該間隙之大小經設定使得壓力差可維持在光罩容器之外部與內部之間持續一時段。在實施例中，突出部204可包括磁性粒子捕集器206a。磁性粒子捕集器206a可視情況被提供作為突出部204上之塗層及/或藉由在突出部204中之各者之尖端處提供磁體而提供。磁性粒子捕集器206a包括磁體，該磁體提供能夠吸引藉由涉及罩蓋密封表面202之摩擦磨損而產生之磁性粒子(例如，顆粒材料)之場。磁性粒子捕集器206a可進一步包括例如鍍覆、塗層或含有磁體之其他材料。
在實施例中，磁性粒子捕集器206b可視情況包括於罩蓋200中。磁性粒子捕集器206b可設置於如由罩蓋200及對應底板界定之光罩容器之內部空間中。磁性粒子捕集器206b可設置於罩蓋密封表面202內部。在實施例中，磁性粒子捕集器206b圍繞罩蓋密封表面202之內部周邊係連續的。在實施例中，磁性粒子捕集器206b包括一或多個片段，各片段對應於罩蓋密封表面202之內部周邊之一部分延伸。在實施例中，磁性粒子捕集器206b被施加為塗層。在實施例中，磁性粒子捕集器206b係經由機械連接及/或黏合劑而附接。在實施例中，磁性粒子捕集器206b在罩蓋密封表面202內部與罩蓋200之相鄰表面齊平。在實施例中，磁性粒子捕集器206b相對於罩蓋200之相鄰表面安置於凹部中。在實施例中，磁性粒子捕集器206b可相對於罩蓋200之相鄰表面突出。磁性粒子捕集器206b可進一步包括例如鍍覆、塗層或含有磁體之其他材料。在實施例中，磁性粒子捕集器206b可設置於一些或全部罩蓋密封表面202處。例如，罩蓋密封表面202之塗層可被磁化以提供磁性粒子捕集器206b。
在實施例中，磁性粒子捕集器206c可視情況包括於罩蓋200中。磁性粒子捕集器206c可設置於過濾器開口208處或附近。在實施例中，磁性粒子捕集器206c包圍過濾器開口208。在實施例中，磁性粒子捕集器206c圍繞過濾器開口208之一部分設置。在實施例中，磁性粒子捕集器206c設置於至少兩個過濾器開口208之間。在實施例中，磁性粒子捕集器206c設置於一或多個過濾器開口208上方之網狀物上。在實施例中，磁性粒子捕集器206c被施加為塗層。在實施例中，磁性粒子捕集器206c係經由機械連接及/或黏合劑而附接。在實施例中，磁性粒子捕集器206c在過濾器開口208處或附近與罩蓋200之相鄰表面齊平。在實施例中，磁性粒子捕集器206c相對於罩蓋200之相鄰表面安置於凹部中。在實施例中，磁性粒子捕集器206c可相對於罩蓋200之相鄰表面突出。磁性粒子捕集器206c可進一步包括例如鍍覆、塗層或含有磁體之其他材料。
當可選的磁性粒子捕集器206a、206b及/或206c包括於罩蓋200中時，罩蓋200中包括之磁性粒子捕集器206a-c之吸引力可經選擇使得吸引力不會干擾罩蓋200與對應底板之分離。例如，磁性粒子捕集器206a-c與底板之間的吸引力可小於底板之重量，使得當罩蓋200提昇時或當底板之支撐件移除時，底板可與罩蓋200分離，同時罩蓋200保持在工具中。
圖3展示根據實施例之光罩容器之底板。底板300包括底板密封表面302及視情況為凹部304。在實施例中，底板300可包括磁性粒子捕集器306a及/或磁性粒子捕集器306b。
底板密封表面302為底板300之一部分，其經構形以接觸與底板300一起用以提供光罩容器之罩蓋之對應表面。底板密封表面302可包括磁性材料，該磁性材料能夠受磁場吸引，例如由如上文所描述及在圖2中展示之磁性粒子捕集器206a-c或磁性粒子捕集器306a或306b提供之磁場。作為非限制性實例，磁性材料可為鎳。在實施例中，底板密封表面302不包括磁性材料，但與底板300一起使用之罩蓋之對應表面確實包括磁性材料。在此實施例中，底板密封表面302之硬度可大於磁性材料之硬度，使得藉由涉及底板密封表面302之摩擦而產生之顆粒主要為磁性材料。
視情況，凹部304可包括於底板300中。在實施例中，包括凹部304，其中用於與底板300一起使用之罩蓋包括突出部。凹部304可定位成對應於相對於罩蓋之此種突出部，例如在沿著底板密封表面302之特定位置處。在實施例中，凹部304之大小經設定使得可收納對應突出部，使得當將罩蓋組裝至底板300時，底板密封表面302及罩蓋之對應表面彼此接觸。在實施例中，凹部304之大小經設定使得當相對於罩蓋之突出部收納在凹部304中時，底板密封表面302與罩蓋之對應表面間隔開一間隙，該間隙之大小經設定使得壓力差可維持在光罩容器之外部與內部之間持續一時段。在實施例中，凹部304可為形成於底板密封表面302處或內部之溝槽或凹槽。凹部304可經構形以自底板密封表面302外部或在底板密封表面處收納顆粒物質。
磁性粒子捕集器306a可視情況位於凹部304中。磁性粒子捕集器306a包括磁體，該磁體提供能夠吸引藉由涉及底板密封表面302之摩擦磨損而產生之磁性粒子(例如，顆粒材料)之場。磁性粒子捕集器306a可進一步包括例如鍍覆、塗層或含有磁體之其他材料。磁性粒子捕集器306a可為例如大小經設定以對應於磁性粒子捕集器306a安裝至其中之凹部304的磁性圓盤或定位盤。在實施例中，磁性粒子捕集器306a被提供作為施加在凹部304中之塗層。在實施例中，磁性粒子捕集器306a藉由機械連接及/或黏合劑附接至凹部304。藉由安置於凹部304中，磁性粒子捕集器306a可將顆粒物質吸入凹部304中，與進入包括底板300之光罩容器之內部空間之路徑不在同一平面內。因此，可減少進入包括底板300之光罩容器之內部空間中之顆粒。
當底板300與對應罩蓋接合時，磁性粒子捕集器306b可視情況包括於光罩容器之內部空間中。磁性粒子捕集器306b包括磁體，且可進一步包括例如鍍覆、塗層或含有磁體之其他材料。磁性粒子捕集器306b可設置於底板密封表面302內部。在實施例中，磁性粒子捕集器306b圍繞底板密封表面302之內部周邊係連續的。在實施例中，磁性粒子捕集器306b包括一或多個片段，各片段對應於底板密封表面302之內部周邊之一部分延伸。在實施例中，磁性粒子捕集器306b被施加為塗層。在實施例中，磁性粒子捕集器306b係經由機械連接及/或黏合劑而附接。在實施例中，磁性粒子捕集器306b在底板密封表面302內部與底板300之相鄰表面齊平。在實施例中，磁性粒子捕集器306b相對於底板300之相鄰表面安置於凹部中。在實施例中，磁性粒子捕集器306b可相對於底板300之相鄰表面突出。
當可選的磁性粒子捕集器306a及/或306b包括於底板300中時，底板300中包括之磁性粒子捕集器306a及/或306b之吸引力可經選擇使得吸引力不會干擾底板300與對應罩蓋之分離。例如，磁性粒子捕集器306a及/或306b與底板之間的吸引力可小於底板300之重量，使得當罩蓋提昇時或當底板300之支撐件移除時，底板300可與罩蓋分離，同時罩蓋保持在工具中。
態樣
：
應理解，態樣1至8中任一項可與態樣9至14或15至20中任一項組合。應理解，態樣9至14中任一項可與態樣15至20中任一項組合。
態樣1. 一種物品，其包含光罩容器，該光罩容器包括：
罩蓋，其包括罩蓋密封表面；及
底板，其包括底板密封表面；
其中該罩蓋及該底板界定經構形以接納光罩之內部空間，且
該光罩容器進一步包括安置於該罩蓋、該底板或其組合上或中之一或多個磁性粒子捕集器。
態樣2. 如態樣1之物品，其中該一或多個磁性粒子捕集器包括設置於該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之一者上之複數個凹陷部。
態樣3. 如態樣2之物品，其中該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之另一者包括複數個突出部，各突出部經構形以延伸至該複數個凹陷部中之一者中。
態樣4. 如態樣1至3中任一項之物品，其中該罩蓋包括一或多個過濾器開口，且該一或多個磁性粒子捕集器各自安置於該一或多個過濾器開口中之一者處。
態樣5. 如態樣1至4中任一項之物品，其中該一或多個磁性粒子捕集器安置於該內部空間內。
態樣6. 如態樣1至5中任一項之物品，其中該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之至少一者包括磁性材料。
態樣7. 如態樣6之光罩容器，其中該磁性材料包括於施加至該罩蓋或該底板之塗層中以形成該罩蓋密封表面或該底板密封表面。
態樣8. 如態樣1至7中任一項之光罩容器，其中該等磁性粒子捕集器經構形使得該磁性粒子捕集器與該罩蓋或該底板之間的吸引力小於該底板之重量。
態樣9. 一種容納光罩之方法，其包含將該光罩置放在光罩容器之內部空間中，該光罩容器包括罩蓋、底板及各自包括磁體之一或多個磁性粒子捕集器，其中該罩蓋包括罩蓋密封表面，該底板包括底板密封表面。
態樣10. 如態樣9之方法，其進一步包含在該一或多個磁性粒子捕集器處捕獲磁性粒子。
態樣11. 如態樣10之方法，其進一步包含藉由減小該一或多個磁性粒子捕集器中之各者之該磁體與該等磁性粒子之間的吸引力來清潔該等磁性粒子捕集器。
態樣12. 如態樣11之方法，其中清潔該等磁性粒子捕集器進一步包括將氣流施加至該等磁性粒子捕集器。
態樣13. 如態樣10至12中任一項之方法，其中該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之一者或兩者包括磁性材料，且該等磁性粒子係因包括該磁性材料之該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之該一者或兩者處之磨損而產生。
態樣14. 如態樣9至13中任一項之方法，其進一步包含藉由支撐該罩蓋並允許該底板下降來使該罩蓋與該底板分離。
態樣15. 一種製造光罩容器之方法，其包含：
提供具有罩蓋密封表面之罩蓋；
提供具有底板密封表面之底板；及
在該罩蓋、該底板或其組合上或中提供一或多個磁性粒子捕集器。
態樣16. 如態樣15之方法，其進一步包含在該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之一者或兩者處提供磁性材料。
態樣17. 如態樣16之方法，其中該在該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之該一者或兩者處提供磁性材料包括將含有該磁性材料之塗層施加至該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之該一者或兩者。
態樣18. 如態樣15至17中任一項之方法，其中該提供一或多個磁性粒子捕集器包括在該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之一者中提供複數個凹陷部及將磁體安置於該複數個凹陷部中之各者中。
態樣19. 如態樣15至18中任一項之方法，其中該罩蓋包括一或多個過濾器開口，且提供該一或多個磁性粒子捕集器包括將該一或多個磁性粒子捕集器中之該各者安置在該一或多個過濾器開口中之一者處。
態樣20. 如態樣15至19中任一項之方法，其中提供該一或多個磁性粒子捕集器包括將該一或多個磁性粒子捕集器中之各者安置於界定該光罩容器之該內部空間的該罩蓋或該底板之表面上。
本申請案中揭示之實例在所有方面都被視為說明性而非限制性的。本發明之範疇係由所附申請專利範圍而非由前述描述來指定的；且其中意欲涵蓋在申請專利範圍之等效含義及範圍內之所有變化。
100:光罩容器
102:罩蓋
104:底板
106:罩蓋密封表面
108:突出部
110:底板密封表面
112:磁性粒子捕集器
114:凹部
116:光罩
200:罩蓋
202:罩蓋密封表面
204:突出部
206a:磁性粒子捕集器
206b:磁性粒子捕集器
206c:磁性粒子捕集器
208:過濾器開口
300:底板
302:底板密封表面
304:凹部
306a:磁性粒子捕集器
306b:磁性粒子捕集器
圖1展示根據實施例之光罩容器。
圖2展示根據實施例之光罩容器之罩蓋。
圖3展示根據實施例之光罩容器之底板。
100:光罩容器
102:罩蓋
104:底板
106:罩蓋密封表面
108:突出部
110:底板密封表面
112:磁性粒子捕集器
114:凹部
116:光罩
Claims (8)
- 一種光罩容器，該光罩容器包括：一罩蓋，其包括一罩蓋密封表面；及一底板，其包括一底板密封表面；其中該罩蓋及該底板界定經構形以接納一光罩之一內部空間，且該光罩容器進一步包括安置於該罩蓋、該底板或其一組合上或中之一或多個磁性粒子捕集器；其中該一或多個磁性粒子捕集器包括設置於該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之一者上之複數個凹陷部。
- 如請求項1之光罩容器，其中該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之另一者包括複數個突出部，各突出部經構形以延伸至該複數個凹陷部中之一者中。
- 如請求項1之光罩容器，其中該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之至少一者包括一磁性材料。
- 一種容納一光罩之方法，其包含將該光罩置放在一光罩容器之一內部空間中，該光罩容器包括一罩蓋、一底板及各自包括一磁體之一或多個磁性粒子捕集器，其中該罩蓋包括一罩蓋密封表面，該底板包括一底板密封表面；其中該一或多個磁性粒子捕集器包括設置於該罩蓋密封表面或該底板密封表面中之一者上之複數個凹陷部。
- 如請求項4之方法，其進一步包含在該一或多個磁性粒子捕集器處捕獲磁性粒子。
- 如請求項5之方法，其進一步包含藉由減小該一或多個磁性粒子捕集器中之各者之該磁體與該等磁性粒子之間的一吸引力來清潔該等磁性粒子捕集器。
- 一種製造一光罩容器之方法，其包含：提供具有一罩蓋密封表面之一罩蓋；提供具有一底板密封表面之一底板；及在該罩蓋、該底板或其一組合上或中提供一或多個磁性粒子捕集器；其中該罩蓋包括一或多個過濾器開口，且提供該一或多個磁性粒子捕集器包括將該一或多個磁性粒子捕集器中之各者安置在該一或多個過濾器開口中之一者處。
- 如請求項7之方法，其進一步包含在該罩蓋密封表面及該底板密封表面中之一者或兩者處提供磁性材料。
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