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TWI866171B - 具有磁性栓鎖的光罩容器 - Google Patents

具有磁性栓鎖的光罩容器 Download PDF

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TWI866171B
TWI866171B TW112114177A TW112114177A TWI866171B TW I866171 B TWI866171 B TW I866171B TW 112114177 A TW112114177 A TW 112114177A TW 112114177 A TW112114177 A TW 112114177A TW I866171 B TWI866171 B TW I866171B
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華平 王
羅斯 Ｖ 拉許克
卡萊布 艾爾維爾
馬修 雷伯
布萊恩 懷斯曼
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美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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Abstract

光罩容器包含一磁性栓鎖以關閉該容器且夾緊裝納在該容器內之光罩。該磁性栓鎖包含至少一個磁體及另一鐵磁材料，該另一鐵磁材料可為另一磁體抑或一磁性可吸引材料。可操縱該等磁體及該另一鐵磁材料之至少一者以緊固或打開該容器。該操縱可包含一外殼之滑動、一磁體之旋轉或一外部磁場之施加之至少一者，以改變該磁體及該另一鐵磁材料之吸引力。

Description

具有磁性栓鎖的光罩容器
本發明係關於一種用於儲存及/或運輸一光罩之容器，特定言之包含用於關閉容器之一磁性栓鎖之容器。
光罩通常係在光罩容器中運輸、處理及儲存，該等光罩容器包含一內盒(pod)及一外盒。內盒經組態使得其可在光罩之處理期間(例如在諸如極紫外線(EUV)製程之光微影中)使用。使內盒適合用於光罩處理中之內盒之特徵(諸如過濾器、密封之形成及/或內盒之其他特徵)可使內盒更複雜且昂貴，且不太適合於光罩之儲存。
本發明係關於一種用於儲存及/或運輸一光罩之容器，特定言之包含用於關閉容器之一磁性栓鎖之容器。
一磁性栓鎖可允許緊固用於一光罩之一容器(諸如一光罩容器、用於一光罩貯存器中之一盒或其他容器，或類似者)且將光罩夾緊在容器內。磁性栓鎖可允許關閉容器，同時提供相對減少的顆粒產生及/或引起任何顆粒產生遠離容器之內部發生，且因此不太可能污染光罩。磁性栓鎖進一步可允許跨可裝納在光罩容器內之光罩之一系列不同厚度關閉及夾緊。
在一實施例中，一種光罩容器包含：一第一容器段，其包含一鐵磁材料；及一第二容器段，其包含一或多個磁體。該光罩容器經組態以在一栓鎖狀態與一解鎖狀態之間切換，在該栓鎖狀態下該一或多個磁體吸引該第一容器段之該鐵磁材料，在該解鎖狀態下該鐵磁材料與該一或多個磁體之間的吸引力減小使得該第一容器段可與該第二容器段分離。該第一容器段及該第二容器段界定經組態以容納一光罩之一內部空間。
在一實施例中，該第一容器段之該鐵磁材料包含一或多個磁體。在一實施例中，當處於該解鎖狀態時，該第二容器段之該一或多個磁體排斥該第一容器段之該鐵磁材料。
在一實施例中，該第二容器段之該一或多個磁體包含至少一個可旋轉磁體。
在一實施例中，該第二容器段包含一可滑動主體，該可滑動主體包含該一或多個磁體。在一實施例中，該可滑動主體包含複數個磁體。在一實施例中，該可滑動主體包含一種聚合物材料。
在一實施例中，該第一容器段之該鐵磁材料係設置在包含於該第一容器段中之一可滑動主體上。在一實施例中，該可滑動主體包含一種聚合物材料。
在一實施例中，該第一容器段之該鐵磁材料係組態為經通電以提供一電磁體。
在一實施例中，該一或多個磁體係組態為經通電以將該容器切換至該解鎖狀態。
在一實施例中，一種緊固及打開一光罩容器之方法包含：藉由包含於一第一容器段中之一鐵磁材料與包含於一第二容器段中之一或 多個磁體之間的吸引力將該第一容器段磁性地栓鎖至該第二容器段；及藉由減小該鐵磁材料與該一或多個磁體之間的該吸引力使得該第一容器段可與該第二容器段分離來將該第一容器段與該第二容器段解鎖。
在一實施例中，切換該磁性栓鎖包含：使一或多個磁體及該鐵磁材料彼此移開。在一實施例中，使該一或多個磁體及該鐵磁材料彼此移開包含：使包含該一或多個磁體或該鐵磁材料之一者之一主體滑動。
在一實施例中，包含於該第一容器段中之該鐵磁材料包含一或多個磁體。在一實施例中，將該第一容器段與該第二容器段解鎖包含：定位包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體以與具有相同極性之該第二容器段之該一或多個磁體相對。在一實施例中，定位包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體以與具有相同極性之該第二容器段之一或多個磁體相對包含：使含有包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體或該第二容器段之該一或多個磁體之一主體滑動。在一實施例中，定位包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體以與具有相同極性之該第二容器段之該一或多個磁體相對包含：使包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體或該第二容器段之該一或多個磁體之至少一者旋轉。
在一實施例中，將該第一容器段與該第二容器段解鎖包含：對一電磁體通電使得該一或多個磁體及該鐵磁材料彼此排斥。
本發明係關於一種用於儲存及/或運輸一光罩之容器，特定言之包含用於關閉容器之一磁性栓鎖之容器。
如本文中所定義，「鐵磁材料」包含能夠被磁體吸引或排斥之材料，包含經磁化以形成一磁體之材料及以其他方式對磁場作出回應之材料。鐵磁材料之非限制性實例包含鐵、鎳、鈷、其等之合金、稀土材料、諸如天然磁石及類似者之礦物，以及諸如釹及類似者之天然及合成永磁體。在一些實施例中，鐵磁材料本身尚未經磁化以提供一磁場，但可被由一單獨磁體提供之一磁場吸引。在一些實施例中，鐵磁材料已磁化且本身係提供一磁場之一磁體，該磁場可與另一磁體之一磁場相互作用以被吸引至該另一磁體或被該另一磁體排斥。
圖1展示根據一實施例之一光罩容器及光罩之一分解圖。光罩容器100包含蓋102及底板104。光罩容器經組態以容納光罩106。蓋102包含一或多個蓋磁性栓鎖特徵部108。底板104包含一或多個底板磁性栓鎖特徵部110。
光罩容器100係經組態以容納一光罩106(諸如用於諸如光微影之處理，例如極紫外線(EUV)處理之一光罩)之一容器。光罩容器100 可用來運輸及/或儲存光罩。在一實施例中，光罩容器100係一EUV光罩容器。在一實施例中，光罩容器100係用於在處理之前、期間或之後儲存光罩106之貯存盒。在一實施例中，光罩容器100可經接納在一EUV處理裝置之一裝載埠處以被打開且用於將光罩106添加至光罩容器100或自光罩容器100移除。光罩容器100將光罩106裝納在光罩容器100內之一內部空間中。在一實施例中，光罩容器100夾緊光罩106以將光罩106緊固在一特定位置中。在一實施例中，當光罩106被裝納在光罩容器100內時，光罩容器100圍繞其周邊形成一密封。在一實施例中，當光罩106被裝納在光罩容器100內時，光罩容器100未形成一密封且在周邊之至少一些區域中包含一間隙。
蓋102形成光罩容器100之一第一容器段。蓋102形成經組態以容納光罩106之一內部空間之部分。蓋102包含蓋磁性栓鎖特徵部108。蓋磁性栓鎖特徵部108經組態以藉由磁場與底板磁性栓鎖特徵部110相互作用，使得蓋102及底板104可在一栓鎖狀態下彼此緊固，且可在一釋放狀態下彼此分離。在一實施例中，蓋磁性栓鎖特徵部108包含一或多個磁體。在一實施例中，蓋磁性栓鎖特徵部108包含一或多種鐵磁材料。在一實施例中，蓋磁性栓鎖特徵部108經組態以連接至一電源，使得可在蓋磁性栓鎖特徵部108中對一電磁體通電。在一實施例中，蓋磁性栓鎖特徵部108包含含有一或多個磁體或鐵磁材料之一可滑動主體。在一實施例中，蓋磁性栓鎖特徵部108包含含有一或多個磁體或鐵磁材料之一可旋轉主體。
底板104形成光罩容器100之一第二容器段。底板104當與蓋102組合時形成能夠容納光罩106之內部空間。底板104包含底板磁性栓 鎖特徵部110。蓋磁性栓鎖特徵部108經組態以藉由磁場與底板磁性栓鎖特徵部110相互作用，使得蓋102及底板104可在一栓鎖狀態下彼此緊固，且可在一釋放狀態下彼此分離。在一實施例中，底板磁性栓鎖特徵部110包含一或多個磁體。在一實施例中，底板磁性栓鎖特徵部110包含一或多種鐵磁材料。在一實施例中，底板磁性栓鎖特徵部110經組態以連接至一電源，使得可在底板磁性栓鎖特徵部110中對一電磁體通電。在一實施例中，底板磁性栓鎖特徵部110包含含有一或多個磁體或鐵磁材料之一可滑動主體。在一實施例中，底板磁性栓鎖特徵部110包含含有一或多個磁體或鐵磁材料之一可旋轉主體。
當蓋磁性栓鎖特徵部108及底板磁性栓鎖特徵部110處於解鎖狀態時，蓋磁性栓鎖特徵部108與底板磁性栓鎖特徵部110之間的吸引力處於或低於蓋102及底板104可容易分離之一位準。在一實施例中，當處於解鎖狀態時，蓋磁性栓鎖特徵部108及底板磁性栓鎖特徵部110彼此排斥。在一實施例中，藉由改變蓋磁性栓鎖特徵部108及/或底板磁性栓鎖特徵部110之位置(例如藉由使含有包含於其中之磁體或鐵磁材料之主體旋轉或滑動或對一電磁體通電)，來減小蓋磁性栓鎖特徵部108與底板磁性栓鎖特徵部110之間的吸引力。當蓋磁性栓鎖特徵部108及底板磁性栓鎖特徵部110處於栓鎖狀態時，蓋磁性栓鎖特徵部108與底板磁性栓鎖特徵部110之間的吸引力可足以在光罩容器100之處置及儲存期間(例如在光罩容器100例如在光罩106之處理及儲存期間由工人或自動化移動期間)將蓋102及底板104保持在一起。在一實施例中，在栓鎖狀態下之吸引力可足以抵抗諸如盒之掉落之典型距離、蓋102或底板104之意外撞擊或類似者之衝擊。在一實施例中，在栓鎖狀態下之吸引力包含蓋磁性栓鎖特徵部 108及底板磁性栓鎖特徵部110之各者中所包含的磁體之各自相反磁極之間的吸引力。在一實施例中，在栓鎖狀態下之吸引力包含設置於蓋磁性栓鎖特徵部108或底板磁性栓鎖特徵部110之一者中的一或多個磁體與在蓋磁性栓鎖特徵部108或底板磁性栓鎖特徵部110之另一者中之本身未磁化的鐵磁材料之間的吸引力。當處於栓鎖狀態時，光罩106可由蓋磁性栓鎖特徵部108與底板磁性栓鎖特徵部110之間的吸引力夾緊於蓋102與底板104之間。當處於栓鎖狀態時，吸引力可足以克服蓋102及/或底板104之重量。例如，在栓鎖狀態下之吸引力可為200克力(gf)或更大。在一實施例中，吸引力可為500gf或更大。在一實施例中，在栓鎖狀態下之吸引力可在2磅力(lbf)與4 lbf之間。當處於栓鎖狀態時，吸引力可限制或防止蓋102及/或底板104相對於彼此之平移運動。當處於一解鎖狀態時，吸引力可減小使得蓋102及底板104可由例如執行將光罩106貯存於光罩容器100中之自動化分離。在一實施例中，在解鎖狀態下，蓋102及底板104彼此排斥。在一實施例中，在解鎖狀態下，蓋102與底板104之間的一吸引力充分減小以允許蓋102因重力與底板104分離，例如使吸引力小於蓋102或底板104之一重量。可藉由提升蓋102或底板104之一者，或藉由丟棄蓋102及底板104之一者下方之一支撐同時支撐蓋102及底板104之另一者而將蓋102及底板104分離。在一實施例中，蓋102及底板104之吸引力可經減小使得致動器(諸如一裝載埠中之自動化)能夠分離蓋102及底板104。
圖2展示根據一實施例之一光罩容器之一蓋。蓋200包含蓋主體202、蓋磁性材料保持器204及蓋磁性材料206。移動通道208可視情況包含於蓋主體202中。電接觸件210可視情況包含於蓋主體202或蓋磁性材料保持器204中。
蓋200係一光罩容器(例如，如上文所論述及圖1中所展示之光罩容器100)之部分。蓋主體202形成蓋200之部分，該部分經組態以形成用於裝納諸如光罩106之一光罩之一封閉空間之一部分。蓋主體202可經組態以連結至一底板，諸如如下文所論述及圖3中所展示之底板300。
蓋磁性材料保持器204經組態以裝納蓋磁性材料206。蓋磁性材料保持器204可為用於裝納蓋磁性材料206之任何合適材料。在一實施例中，蓋磁性材料保持器204包含一種聚合物材料，諸如聚碳酸酯。在一實施例中，蓋磁性材料保持器204包含諸如鋁之一金屬材料。在一實施例中，蓋磁性材料保持器204係與蓋主體202一體成型且係由相同材料製成。在一實施例中，蓋磁性材料保持器204可包含用來裝納蓋磁性材料206之一或多個隔室。在一實施例中，蓋磁性材料可裝入蓋磁性材料保持器204內。在一實施例中，蓋磁性材料保持器204可固持蓋磁性材料206，使得蓋磁性材料206可例如藉由允許設置於蓋磁性材料206中之一突出部或凹部暴露而旋轉。在一實施例中，蓋磁性材料保持器204包含經組態以容納蓋磁性材料206之一或多個可旋轉隔室。在實施例中，蓋磁性材料保持器204之可旋轉隔室可包含經組態以由使用者或自動化與之介接使得可使隔室旋轉之一突出部或凹部。
蓋磁性材料206可為如上文所定義之一鐵磁材料。在一實施例中，蓋磁性材料206包含一磁體，諸如一永磁體。在一實施例中，蓋磁性材料包含對磁場作出回應但本身未磁化之一材料。在一實施例中，蓋磁性材料206經組態使得其可經通電以提供一電磁體。當蓋磁性材料206包含一磁體時，底板可包含如上文所定義之一鐵磁材料，其係另一磁體抑 或未磁化但對由蓋磁性材料提供之磁場作出回應之一材料。當蓋磁性材料206包含本身未磁化之一鐵磁材料時，包含於一底板中之磁性材料包含一磁體。蓋磁性材料206可被提供為包含於蓋磁性材料保持器204中之一或多片鐵磁材料。
在一實施例中，蓋磁性材料保持器204可為可滑動的，以使蓋磁性材料206移動使得光罩容器可自栓鎖狀態切換至解鎖狀態。在此一實施例之一實例中，蓋磁性材料保持器204可經組態以在可水平地形成於蓋主體202中之一移動通道208中行駛。在此實施例中，蓋磁性材料保持器204沿著移動通道208之滑動可使蓋磁性材料206與包含於底板中之磁性材料對準或不對準，以基於蓋磁性材料206相對於包含於底板中之磁性材料之位置增加或減小吸引力且將光罩容器置於栓鎖或解鎖狀態。
在一實施例中，蓋磁性材料206可組態為經通電以提供一電磁體以栓鎖或解鎖容器。例如，蓋磁性材料206可為通常經吸引至設置於底板上之一或多個磁體以將蓋200栓鎖至底板之磁性材料。當光罩容器待解鎖時，蓋磁性材料206可經通電以形成排斥設置於底板上之一或多個磁體以將蓋200與底板解鎖之一電磁體。蓋磁性材料206可由一外部源(諸如處置光罩容器之一裝載埠或一貯存裝置處之自動化，或由一操作者使用之一手持工具)所提供之電流通電以形成此一電磁體。在此等實施例中，電流可藉由可設置於蓋主體202或蓋磁性材料保持器204上之電接觸件210處之接觸自外部源提供至蓋磁性材料206。
在一實施例中，蓋磁性材料206可包含一磁體，該磁體組態為經旋轉使得可更改對包含於底板中之磁性材料之吸引力以使光罩容器200在栓鎖狀態與解鎖狀態之間切換。在圖5及圖6中提供且在下文論述此 等可旋轉磁體及其等操作之實例。當可旋轉磁體係用作蓋磁性材料206時，蓋磁性材料保持器204可為用於允許磁體適當地旋轉之任何合適容器，如下文所論述。
圖3展示根據一實施例之一光罩容器之一底板。底板300包含底板主體302、底板磁性材料保持器304及磁性材料306。移動通道308可視情況包含於底板主體302中。電接觸件310可視情況包含於底板主體302或底板磁性材料保持器304中。
底板300可為一光罩容器(諸如如上文所論述及圖1中所展示之光罩容器100)之一段。底板300可與諸如上文所描述及圖2中所展示之蓋200之一蓋組合以形成光罩容器。底板主體302形成底板300之主要部分。底板主體302可部分界定當底板300與一蓋組合時，一光罩(諸如如上文所描述及圖1中所展示之光罩106)可裝納在其中之一區域。
底板磁性材料保持器304經組態以裝納底板磁性材料306。底板磁性材料保持器304可為用於裝納底板磁性材料306之任何合適材料。在一實施例中，底板磁性材料保持器304包含一種聚合物材料，諸如聚碳酸酯。在一實施例中，底板磁性材料保持器304包含諸如鋁之一金屬材料。在一實施例中，底板磁性材料保持器304係與底板主體302一體成型且係由相同材料製成。在一實施例中，底板磁性材料保持器304可包含用來裝納底板磁性材料306之一或多個隔室。在一實施例中，底板磁性材料可裝入底板磁性材料保持器304內。在一實施例中，底板磁性材料保持器304可固持底板磁性材料306，使得底板磁性材料306可例如藉由允許設置於底板磁性材料306中之一突出部或凹部暴露而旋轉。在一實施例中，底板磁性材料保持器304包含經組態以容納底板磁性材料306之一或多個 可旋轉隔室。在實施例中，底板磁性材料保持器304之可旋轉隔室可包含經組態以由使用者或自動化與之介接使得可使隔室旋轉之一突出部或凹部。
底板磁性材料306可為如上文所定義之一鐵磁材料。在一實施例中，底板磁性材料306包含一磁體，諸如一永磁體。在一實施例中，底板磁性材料包含對磁場作出回應但本身未磁化之一材料。在一實施例中，底板磁性材料306經組態使得其可經通電以提供一電磁體。當底板磁性材料306包含一磁體時，諸如蓋200之蓋可包含如上文所定義之一鐵磁材料，其係另一磁體抑或未磁化但對由底板磁性材料提供之磁場作出回應之一材料。當底板磁性材料306包含本身未磁化之一鐵磁材料時，包含於諸如蓋200之蓋中之磁性材料包含一磁體。底板磁性材料306可被提供為包含於底板磁性材料保持器304中之一或多片鐵磁材料。
在一實施例中，底板磁性材料保持器304可為可滑動的，以使底板磁性材料306移動使得光罩容器可自栓鎖狀態切換至解鎖狀態。在此一實施例之一實例中，底板磁性材料保持器304可經組態以在可水平地形成於底板主體302中之一移動通道308中行駛。在此實施例中，底板磁性材料保持器304沿著移動通道308之滑動可使底板磁性材料306與包含於蓋中之磁性材料對準或不對準，以基於底板磁性材料306相對於包含於蓋中之磁性材料之位置增加或減小吸引力且將光罩容器置於栓鎖或解鎖狀態。
在一實施例中，底板磁性材料306可組態為經通電以提供一電磁體以栓鎖或解鎖容器。例如，底板磁性材料306可為通常經吸引至設置於諸如蓋200之蓋上之一或多個磁體以將底板300栓鎖至蓋之磁性材料。當光罩容器待解鎖時，底板磁性材料306可經通電以形成排斥設置於 蓋上之一或多個磁體以將底板300與蓋解鎖之一電磁體。底板磁性材料306可由一外部源(諸如處置光罩容器之一裝載埠或一貯存裝置處之自動化，或由一操作者使用之一手持工具)所提供之電流通電以形成此一電磁體。在此等實施例中，電流可藉由可設置於底板主體302或底板磁性材料保持器304上之電接觸件310處之接觸自外部源提供至底板磁性材料306。
在一實施例中，底板磁性材料306可包含一磁體，該磁體組態為經旋轉使得可更改對包含於底板中之磁性材料之吸引力以使光罩容器300在栓鎖狀態與解鎖狀態之間切換。在圖5及圖6中提供且在下文論述此等可旋轉磁體及其等操作之實例。當可旋轉磁體係用作底板磁性材料306時，底板磁性材料保持器304可為用於允許磁體適當地旋轉之任何合適容器，如下文所論述。
圖4展示根據一實施例之一裝載埠中之一光罩容器。光罩容器400包含蓋402及底板404。蓋402包含一或多個蓋磁性栓鎖特徵部406。底板404包含一或多個底板磁性栓鎖特徵部408。裝載埠410經組態以接納光罩容器400。裝載埠410包含經組態以操縱蓋磁性栓鎖特徵部406或底板磁性栓鎖特徵部408之至少一者以進行光罩容器400之關閉的一致動器412。
光罩容器400可為如本文中所描述之任何合適光罩容器。光罩容器400經組態以裝納由用來處理光罩(例如透過諸如極紫外線(EUV)光微影之光微影)之一工具414的裝載埠410處置之一光罩。光罩容器400可為經組態以儲存光罩(例如藉由將其放入一貯存器裝置(未展示)中)之一貯存盒。光罩容器400包含蓋402及底板404，蓋402及底板404組合以形成經組態以容納光罩之一內部空間。光罩容器400經組態以由設置於蓋402 上之蓋磁性栓鎖特徵部406與設置於底板404上之底板磁性栓鎖特徵部之間的吸引力緊固。
裝載埠410係工具414之部分，該部分經組態以接納光罩容器400且自光罩容器400移除一光罩或將一光罩放入光罩容器400中。裝載埠410包含致動器412。致動器412可為用於與蓋磁性栓鎖特徵部406及/或底板磁性栓鎖特徵部408介接，使得光罩容器400可自栓鎖狀態切換至解鎖狀態或自解鎖狀態切換至栓鎖狀態之任何合適致動器。在一實施例中，致動器經組態以推動包含於蓋磁性栓鎖特徵部406及/或底板磁性栓鎖特徵部408中之一可滑動主體以改變磁體及鐵磁材料之一對準，使得蓋402及底板404彼此具有增加的或減小的吸引力。在一實施例中，致動器412經組態以使磁體或磁體總成旋轉，諸如如下文所描述且分別在圖5及圖6中所展示之可旋轉磁體500或可旋轉磁體總成600。致動器412可經組態以與設置於可旋轉磁體或可旋轉磁體總成上之界面特徵部接合以驅動旋轉來改變磁體之對準或發射磁場之強度，使得蓋402及底板404彼此具有增加的或減小的吸引力。在一實施例中，致動器412經組態以在電接觸件(諸如如上文所描述且分別在圖2及圖3中所展示之電接觸件210或310)處接觸蓋磁性栓鎖特徵部406及/或底板磁性栓鎖特徵部408，使得致動器412可對蓋磁性栓鎖特徵部406及/或底板磁性栓鎖特徵部408通電。通電可在蓋磁性栓鎖特徵部406及/或底板磁性栓鎖特徵部408處提供一電磁體，該電磁體經組態使得蓋402與底板404之間的吸引力減小或彼此排斥，使得蓋402及底板404可解鎖且分離。
圖5展示根據一實施例之一可旋轉磁體。可旋轉磁體500具有一圓柱形形狀，包含一北極側502及一南極側504。可旋轉磁體500可進 一步包含一界面特徵部506。可旋轉磁體500係組態為經旋轉使得北極側502及南極側504之位置可藉由旋轉而相對於其他磁體位置顛倒。在一實施例中，可旋轉磁體500可由與界面特徵部506接合之一使用者或自動化旋轉。界面特徵部506可為具有使得可旋轉磁體500可容易藉由用一工具或使用者接合而旋轉的一橫截面區域之一凹陷或一突出部。例如，界面特徵部之橫截面區域可為一狹槽、一星形、一十字形、一橢圓形或允許可旋轉磁體藉由與界面特徵部506接合而旋轉之任何其他合適形狀。在一實施例中，可旋轉磁體500可容置於經旋轉以顛倒北極側502及南極側504之位置之一外殼中。可旋轉磁體500可用來藉由改變北極側502及南極側504相對於設置於光罩容器之一相對部分上的另一磁體之北極及南極之位置而在栓鎖位置與解鎖位置之間切換。在栓鎖狀態下，可旋轉磁體500可經定位使得北極側502係朝向光罩容器之相對部分上之磁體之一南極定位，且南極側504係朝向光罩容器之相對部分上之磁體之一北極定位，使得光罩容器之部分彼此吸引。在解鎖狀態下，可旋轉磁體500可經定位使得北極側502係朝向光罩容器之相對部分上之磁體之一北極定位，且南極側504係朝向光罩容器之相對部分上之磁體之一南極定位，使得光罩容器之部分彼此排斥。
在一實施例中，可旋轉磁體500係經磁化使得其具有北極側502及南極側504之一片磁性材料。在一實施例中，可旋轉磁體500可代替地為裝納在一圓柱形外殼內之一條形磁體，其中條形磁體之北極安置於對應於北極側502之圓柱形外殼之一部分中，條形磁體之南極安置於對應於南極側504之圓柱形外殼之一部分中。界面特徵部506可形成為圓柱形外殼之部分。此一可旋轉磁體可如上文所論述般使用。
圖6A及圖6B展示根據一實施例之一可旋轉磁體總成。可旋轉磁體總成600包含可旋轉磁體段602及固定磁體段604。可旋轉磁體段602包含北極段606、南極段608及視情況界面特徵部610。固定磁體604包含固定北極612及固定南極614。在一實施例中，可旋轉磁體總成600可進一步包含一鐵磁材料之一外套筒616。
可旋轉磁體總成600可定向成如圖6A中所展示之一高磁場組態，其中可旋轉磁體段602之北極段606係與固定北極612對準，且可旋轉磁體段602之南極段608係與固定南極614對準。
可旋轉磁體總成600可替代地定向成如圖6B中所展示之一低磁場組態，其中可旋轉磁體段602之北極段606係與固定南極614對準，且可旋轉磁體段602之南極段608係與固定北極612對準。
在圖6A之高磁場組態中，相對於處於圖6B之低磁場組態時，可旋轉磁體總成600在可旋轉磁體總成600外部提供更強磁場。例如，當在一磁性栓鎖中包含可旋轉磁體總成600之一光罩容器處於栓鎖狀態時，可使用圖6A之高磁場組態。藉由例如由與界面特徵部610接合之一使用者、工具或自動化使可旋轉磁體段602相對於固定磁體604旋轉，可旋轉磁體總成600可自圖6A之高磁場組態切換至圖6B之低磁場組態。當可旋轉磁體總成600切換至圖6B之低磁場組態時，可旋轉磁體總成600外部之磁場減小，因此減小對外部鐵磁材料(諸如包含可旋轉磁體總成600之一光罩容器之一相對部分上所包含之鐵磁材料)之吸引力，使得可將容器置於解鎖狀態。
態樣：應理解，態樣1至11之任何者可與態樣中12至19之任何者 組合。
態樣1.一種光罩容器，其包括一第一容器段，其包含一鐵磁材料；及一第二容器段，其包含一或多個磁體，其中該光罩容器經組態以在一栓鎖狀態與一解鎖狀態之間切換，在該栓鎖狀態下該一或多個磁體吸引該第一容器段之該鐵磁材料，在該解鎖狀態下該鐵磁材料與該一或多個磁體之間的吸引力減小使得該第一容器段可與該第二容器段分離，及其中該第一容器段及該第二容器段界定經組態以容納一光罩之一內部空間。
態樣2.根據態樣1之光罩容器，其中該第一容器段之該鐵磁材料包含一或多個磁體。
態樣3.根據態樣2之光罩容器，其中當處於該解鎖狀態時，該第二容器段之該一或多個磁體排斥該第一容器段之該鐵磁材料。
態樣4.根據態樣1至3之任何者之光罩容器，其中該第二容器段之該一或多個磁體包含至少一個可旋轉磁體。
態樣5.根據態樣1至4之任何者之光罩容器，其中該第二容器段包含一可滑動主體，該可滑動主體包含該一或多個磁體。
態樣6.根據態樣5之光罩容器，其中該可滑動主體包含複數個磁體。
態樣7.根據態樣5或態樣6之光罩容器，其中該可滑動主體包含一種聚合物材料。
態樣8.根據態樣1至7之任何者之光罩容器，其中該第一容 器段之該鐵磁材料係設置於包含於該第一容器段中之一可滑動主體上。
態樣9.根據態樣8之光罩，其中該可滑動主體包含一種聚合物材料。
態樣10. 根據態樣1至9之任何者之光罩容器，其中該第一容器段之該鐵磁材料係組態為經通電以提供一電磁體。
態樣11. 根據態樣1至10之任何者之光罩容器，其中該一或多個磁體係組態為經通電以將該容器切換至該解鎖狀態。
態樣12. 一種緊固及打開一光罩容器之方法，其包括：藉由包含於一第一容器段中之一鐵磁材料與包含於一第二容器段中之一或多個磁體之間的吸引力將該第一容器段磁性地栓鎖至該第二容器段；及藉由減小該鐵磁材料與該一或多個磁體之間的該吸引力使得該第一容器段可與該第二容器段分離來將該第一容器段與該第二容器段解鎖。
態樣13. 根據態樣12之方法，其中切換該磁性栓鎖包含：使一或多個磁體及該鐵磁材料彼此移開。
態樣14. 根據態樣13之方法，其中使該一或多個磁體及該鐵磁材料彼此移開包含：使包含該一或多個磁體或該鐵磁材料之一者之一主體滑動。
態樣15. 根據態樣12至14之任何者之方法，其中包含於該第一容器段中之該鐵磁材料包含一或多個磁體。
態樣16. 根據態樣15之方法，其中將該第一容器段與該第二容器段解鎖包含：定位包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體以與具有相同極性之該第二容器段之該一或多個磁體相對。
態樣17. 根據態樣16之方法，其中定位包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體以與具有相同極性之該第二容器段之一或多個磁體相對包含：使含有包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體或該第二容器段之該一或多個磁體之一主體滑動。
態樣18. 根據態樣16至17之任何者之方法，其中定位包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體以與具有相同極性之該第二容器段之該一或多個磁體相對包含：使包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體或該第二容器段之該一或多個磁體之至少一者旋轉。
態樣19. 根據態樣12至18之任何者之方法，其中將該第一容器段與該第二容器段解鎖包含：對一電磁體通電使得該一或多個磁體及該鐵磁材料彼此排斥。
本申請案中所揭示之實例在所有態樣中應被視為闡釋性的而非限制性的。本發明之範疇係由隨附發明申請專利範圍而非由前文描述指示；且在發明申請專利範圍之等效物之含義及範圍內之所有變化意欲涵蓋於其中。
100:光罩容器
102:蓋
104:底板
106:光罩
108:蓋磁性栓鎖特徵部
200:蓋/光罩容器
202:蓋主體
204:蓋磁性材料保持器
206:蓋磁性材料
208:移動通道
210:電接觸件
300:底板/光罩容器
302:底板主體
304:底板磁性材料保持器
306:底板磁性材料
308:移動通道
310:電接觸件
400:光罩容器
402:蓋
404:底板
406:蓋磁性栓鎖特徵部
408:底板磁性栓鎖特徵部
410:裝載埠
412:致動器
414:工具
500:可旋轉磁體
502:北極側
504:南極側
506:界面特徵部
600:可旋轉磁體總成
602:可旋轉磁體段
604:固定磁體段/固定磁體
606:北極段
608:南極段
610:界面特徵部
612:固定北極
614:固定南極
616:外套筒
圖1展示根據一實施例之一光罩容器及光罩之一分解圖。
圖2展示根據一實施例之一光罩容器之一蓋。
圖3展示根據一實施例之一光罩容器之一底板。
圖4展示根據一實施例之一裝載埠中之一光罩容器。
圖5展示根據一實施例之一可旋轉磁體。
圖6A展示根據一實施例之處於一高磁場組態之一可旋轉磁體總成。
圖6B展示根據一實施例之處於一低磁場組態之一可旋轉磁體總成。
100: 光罩容器 102: 蓋 104: 底板 106: 光罩 108: 蓋磁性栓鎖特徵部

Claims (14)

  1. 一種光罩容器，其包括一第一容器段，其包含一鐵磁材料；及一第二容器段，其包含一或多個磁體，其中該光罩容器經組態以在一栓鎖狀態與一解鎖狀態之間切換，在該栓鎖狀態下該一或多個磁體吸引該第一容器段之該鐵磁材料，在該解鎖狀態下該鐵磁材料與該一或多個磁體之間的吸引力減小使得該第一容器段可與該第二容器段分離，及其中該第一容器段及該第二容器段界定經組態以容納一光罩之一內部空間；其中該第一容器段或該第二容器段之一者包含一可滑動主體，該可滑動主體包含該鐵磁材料或該一或多個磁體，且可沿水平地形成於該第一容器段或該第二容器段中的一移動通道滑動。
  2. 如請求項1之光罩容器，其中該第一容器段之該鐵磁材料包含一或多個磁體。
  3. 如請求項2之光罩容器，其中當處於該解鎖狀態時，該第二容器段之該一或多個磁體排斥該第一容器段之該鐵磁材料。
  4. 如請求項1之光罩容器，其中該第二容器段包含該可滑動主體，該可滑動主體包含該一或多個磁體。
  5. 如請求項4之光罩容器，其中該可滑動主體包含複數個磁體。
  6. 如請求項4之光罩容器，其中該可滑動主體包含一種聚合物材料。
  7. 如請求項1之光罩容器，其中該第一容器段之該鐵磁材料係設置於包含於該第一容器段中之一可滑動主體上。
  8. 如請求項7之光罩容器，其中該可滑動主體包含一種聚合物材料。
  9. 一種緊固及打開一光罩容器之方法，其包括：藉由包含於一第一容器段中之一鐵磁材料與包含於一第二容器段中之一或多個磁體之間的吸引力將該第一容器段磁性地栓鎖至該第二容器段；及藉由減小該鐵磁材料與該一或多個磁體之間的該吸引力使得該第一容器段可與該第二容器段分離來將該第一容器段與該第二容器段解鎖；其中該第一容器段或該第二容器段之一者包含一可滑動主體，該可滑動主體包含該鐵磁材料或該一或多個磁體，且可沿水平地形成於該第一容器段或該第二容器段中的一移動通道滑動。
  10. 如請求項9之方法，其中切換該磁性栓鎖包含：使該一或多個磁體及該鐵磁材料彼此移開。
  11. 如請求項10之方法，其中使該一或多個磁體及該鐵磁材料彼此移開包含：使包含該一或多個磁體或該鐵磁材料之一者之該可滑動主體滑動。
  12. 如請求項9之方法，其中包含於該第一容器段中之該鐵磁材料包含一或多個磁體。
  13. 如請求項12之方法，其中將該第一容器段與該第二容器段解鎖包含：定位包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體以與具有相同極性之該第二容器段之該一或多個磁體相對。
  14. 如請求項13之方法，其中定位包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體以與具有相同極性之該第二容器段之一或多個磁體相對包含：使含有包含於該第一容器段中之該鐵磁材料之該一或多個磁體或該第二容器段之該一或多個磁體之該可滑動主體滑動。
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