TWI862273B - 氣流式傳輸設備 - Google Patents
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Abstract
本發明公開一種氣流式傳輸設備,其包含一移載裝置、及設置於所述移載裝置的四個氣旋吸盤與兩個彈簧構件。所述移載裝置包含分別位於其四個角落的四個支撐墊,其頂緣共同定義有一載物平面。四個所述氣旋吸盤的頂緣與兩個所述彈簧構件的頂緣低於所述載物平面。四個所述氣旋吸盤分別鄰近於四個所述支撐墊,任一列的兩個所述氣旋吸盤之間配置有一個所述彈簧構件。當所述氣流式傳輸設備於傳輸一板材時,所述板材的邊緣抵靠於四個所述支撐墊,四個所述氣旋吸盤吸附定位所述板材的四個角落,兩個所述彈簧構件支撐所述板材。
Description
本發明涉及一種傳輸設備,尤其涉及一種氣流式傳輸設備。
現有傳輸設備所採用的架構大都僅適用於輸送具有特定厚度的板材(也就是,現有傳輸設備所能輸送的所述板材的厚度區間較小),因而當所述板材經過製程而使其厚度增加或是產生形變時,現有傳輸設備在傳輸所述板材時較為容易對所述板材產生損傷。
於是,本發明人認為上述缺陷可改善,乃特潛心研究並配合科學原理的運用,提出一種設計合理且可有效改善上述缺陷的本發明。
本發明實施例在於提供一種氣流式傳輸設備,其能有效地改善現有傳輸設備所可能產生的缺陷。
本發明實施例公開一種氣流式傳輸設備,其包括:一移載裝置,包含有:多個安裝槽,彼此間隔配置地排成兩列;其中,每列所述安裝槽沿著一配置方向,並且任一列的多個所述安裝槽沿垂直所述配置方向的一寬度方向分別對應於另一列的多個所述安裝槽;至少一個氣流通道,連通於多個所述安裝槽;兩個前支撐墊,分別設置於兩列所述安裝槽的前方;及兩個後支撐墊,分別設置於兩列所述安裝槽的後方;其中,兩個所述前支撐墊的頂
緣與兩個所述後支撐墊的頂緣共同定義有一載物平面;四個氣旋吸盤,安裝於分別位在兩列的四個所述安裝槽之內、並連通至少一個所述氣流通道,四個所述氣旋吸盤分別鄰近於兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊;其中,每個所述氣旋吸盤的頂緣低於所述載物平面;以及兩個彈簧構件,分別安裝於位在不同列的兩個所述安裝槽之內,任一列的兩個所述氣旋吸盤之間配置有一個所述彈簧構件;其中,每個所述彈簧構件的頂緣低於所述載物平面;其中,當所述氣流式傳輸設備於傳輸一板材時,所述板材的邊緣抵靠於兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊,並且四個所述氣旋吸盤通過至少一個所述氣流通道以吸附定位所述板材的四個角落,兩個所述彈簧構件支撐所述板材。
本發明實施例也公開一種氣流式傳輸設備,其包括:一移載裝置,包含有:至少一個氣流通道;兩個前支撐墊,沿一寬度方向彼此相向且間隔設置;及兩個後支撐墊,沿所述寬度方向彼此相向且間隔設置,並且兩個所述前支撐墊沿垂直所述寬度方向的一配置方向分別對應於兩個後支撐墊;其中,兩個所述前支撐墊的頂緣與兩個所述後支撐墊的頂緣共同定義有一載物平面;四個氣旋吸盤,分別鄰近於兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊、並連通至少一個所述氣流通道;其中,每個所述氣旋吸盤的頂緣低於所述載物平面;以及兩個彈簧構件,其頂緣低於所述載物平面,任一列的兩個所述氣旋吸盤之間配置有一個所述彈簧構件;其中,當所述氣流式傳輸設備於傳輸一板材時,所述板材的邊緣抵靠於兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊,並且四個所述氣旋吸盤通過至少一個所述氣流通道、以吸附定位所述板材的四個角落,兩個所述彈簧構件支撐所述板材。
綜上所述,本發明實施例所公開的氣流式傳輸設備,其通過四個所述氣旋吸盤搭配兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊,以使設置於所
述移載裝置的所述板材的四個角落更為穩定與平整。再者,所述氣流式傳輸設備還能夠進一步通過兩個所述彈簧構件而提供較大的支撐力,以支撐厚度較大的所述板材、或是支撐於製程後段增加厚度的所述板材。
為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容,請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖,但是此等說明與附圖僅用來說明本發明,而非對本發明的保護範圍作任何的限制。
100:氣流式傳輸設備
1:移載裝置
11:固定座
12:導正模組
121:限制塊
1211:前端面
122:感測器
123:導正機構
13:移載臂體
131:安裝槽
14:前支撐墊
15:後支撐墊
16:氣流通道
2:定位模組
21:氣旋吸盤
21a:左氣旋吸盤
21b:右氣旋吸盤
22:彈簧構件
23:柏努力吸盤
24:前彈簧構件
200:板材
W:寬度方向
L:配置方向
P:載物平面
圖1為本發明實施例的氣流式傳輸設備的立體示意圖。
圖2為圖1的俯視示意圖。
圖3為圖1沿剖線III-III的剖視示意圖。
圖4為圖1中的氣旋吸盤的立體示意圖。
圖5為圖1沿剖線V-V的剖視示意圖。
圖6為圖2中的多個氣旋吸盤採用另一配置的示意圖。
圖7為本發明實施例的氣流式傳輸設備採用另一態樣的定位模組的俯視示意圖。
圖8為圖7中的多個氣旋吸盤採用另一配置的示意圖。
圖9為本發明實施例的氣流式傳輸設備採用又一態樣的定位模組的俯視示意圖。
圖10為圖9中的多個氣旋吸盤採用另一配置的示意圖。
以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關「氣流式傳輸設備」的實施方式,本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解
本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用,本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用,在不悖離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外,本發明的附圖僅為簡單示意說明,並非依實際尺寸的描繪,事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容,但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。
應當可以理解的是,雖然本文中可能會使用到「第一」、「第二」、「第三」等術語來描述各種元件,但這些元件不應受這些術語的限制。這些術語主要是用以區分一元件與另一元件。另外,本文中所使用的術語「或」,應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。
請參閱圖1至圖10所示,其為本發明的一實施例。如圖1至圖5所示,本實施例公開一種氣流式傳輸設備100,其能用來輸送不同厚度的一板材200。也就是說,所述氣流式傳輸設備100所能輸送的所述板材200的厚度區間較廣(如:0.4毫米~3.2毫米),而所述板材200的類型則可依據需求而加以變化。舉例來說,所述板材200可以是ABF(Ajinomoto Build-up film)載板、銅箔基板、或其他板材,但本發明在此不加以限制。
所述氣流式傳輸設備100包含有一移載裝置1、及配置於所述移載裝置1的一定位模組2。於本實施例中,所述移載裝置1大致呈U形且包含有一固定座11、安裝於所述固定座11的一導正模組12、安裝於所述固定座11且分別位於所述導正模組12相反兩側的兩個移載臂體13、分別位於兩個所述移載臂體13前端的兩個前支撐墊14、及分別位於兩個所述移載臂體13後端的兩個後支撐墊15,但本發明不以此為限。
其中,所述固定座11與每個所述移載臂體13共同設置有一個氣流通道16,其用以連接於一氣壓輸入裝置(圖中未示出)。需額外說明的是,
本實施例的圖式雖以呈現兩個所述氣流通道16來說明,但兩個所述氣流通道16也可依據設計需求而相接成一個氣流通道16。
所述導正模組12於本實施例中包含有可移動地安裝於所述固定座11的一限制塊121、連接於所述限制塊121一端的多個感測器122、及連接於所述限制塊121的一導正機構123。其中,所述限制塊121沿一寬度方向W大致位於兩個所述後支撐墊15之間,用以(通過所述限制塊121的前端面1211)抵接所述板材200。多個所述感測器122於所述寬度方向W上連接於所述限制塊121的不同位置,用以感測所述板材200的偏移,但多個所述感測器122的數量也可依據設計需求而調整為至少一個。所述導正機構123用以依據至少一個所述感測器122的感測結果來驅動所述限制塊121,據以精準地導正所述板材200至一預定位置。
依上所述,當所述氣流式傳輸設備100於傳輸所述板材200時(如:所述板材200的邊緣抵靠於兩個所述前支撐墊14與兩個所述後支撐墊15時),所述導正模組12能通過抵接於所述板材200、而導正所述板材200至所述預定位置(如:所述板材200的邊緣偏移地抵接於所述限制塊121的所述前端面1211,所述導正機構123能對應驅使所述限制塊121來消除上述偏移,進而導正所述板材200的位置)。
每個所述移載臂體13呈長形且平行於一配置方向L,並且每個所述移載臂體13大致垂直於所述固定座11。其中,兩個所述移載臂體13的長度大致相等並且沿所述寬度方向W彼此間隔地設置,而所述移載裝置1的兩個所述移載臂體13分別配置有多個安裝槽131,其分別連通於兩個所述氣流通道16。
也就是說,多個所述安裝槽131彼此間隔配置地排成兩列,每列所述安裝槽131配置於一個所述移載臂體13且沿著(如:大致平行於)所述配
置方向L,並且任一列的多個所述安裝槽131沿所述寬度方向W分別對應於另一列的多個所述安裝槽131。
於本實施例中,多個所述安裝槽131具有大致相同的構造,並且任一列的多個所述安裝槽131沿所述配置方向L大致呈等間距地設置,而所述配置方向L則是大致垂直於所述寬度方向W,但本發明不以此為限。舉例來說,於本發明未繪示的其他實施例中,任一列的多個所述安裝槽131沿所述配置方向L也可以相隔有不同的距離。
再者,兩個所述前支撐墊14是分別設置於兩列所述安裝槽131的前方,並且兩個所述後支撐墊15則是分別設置於兩列所述安裝槽131的後方。換個角度來說,兩個所述前支撐墊14沿所述寬度方向W彼此相向且間隔設置,而兩個所述後支撐墊15沿所述寬度方向W彼此相向且間隔設置,並且兩個所述前支撐墊14沿所述配置方向L分別對應於兩個後支撐墊15。其中,兩個所述前支撐墊14的頂緣與兩個所述後支撐墊15的頂緣共同定義有一載物平面P。
所述定位模組2於本實施例中包含有四個氣旋吸盤21(cyclone pad)、兩個彈簧構件22、四個柏努力吸盤23(Bernoulli chuck)、及兩個前彈簧構件24,但本發明不受限於此。舉例來說,於本發明未繪示的其他實施例中,四個所述柏努力吸盤23及兩個所述前彈簧構件24也可以依據設計需求而省略或是以其他構件取代。
需先說明的是,所述彈簧構件22及所述前彈簧構件24於本實施例中各是以非接觸式的氣壓彈簧(air spring)來說明,但本發明不受限於此。舉例來說,在本發明未繪示的其他實施例中,所述彈簧構件22或所述前彈簧構件24也可視設計需求而採用接觸式的壓縮彈簧。
再者,四個所述氣旋吸盤21、兩個所述彈簧構件22、四個所述
柏努力吸盤23、及兩個所述前彈簧構件24於本實施例中是分別安裝於多個所述安裝槽131進而連通於兩個所述氣流通道16、且其頂緣較佳是皆低於所述載物平面P。
進一步地說,每個所述安裝槽131於幾何結構上能用以供所述氣旋吸盤21、所述彈簧構件22、所述柏努力吸盤23、及所述前彈簧構件24的任一個進行拆裝,據以利於依據不同需求而調整每個所述安裝槽131所需配置的構件,但本發明不以此為限。
舉例來說,於本發明未繪示的其他實施例中,所述定位模組2可以是通過不可拆卸的方式固定於所述移載裝置1,因而使所述移載裝置1無須形成有多個所述安裝槽131;或者,四個所述氣旋吸盤21與兩個所述彈簧構件22是通過不可拆卸的方式固定於所述移載裝置1,而四個所述柏努力吸盤23及兩個所述前彈簧構件24則是以可拆卸地的方式安裝於所述移載裝置1的相對應所述安裝槽131。
四個所述氣旋吸盤21安裝於分別位在兩列的四個所述安裝槽131之內,四個所述氣旋吸盤21則是分別鄰近於兩個所述前支撐墊14與兩個所述後支撐墊15。據此,四個所述氣旋吸盤21能夠搭配兩個所述前支撐墊14與兩個所述後支撐墊15,以使設置於所述移載裝置1的所述板材200的四個角落更為穩定與平整。
進一步地說,四個所述氣旋吸盤21於本實施例中較佳是包含有兩個左氣旋吸盤21a及兩個右氣旋吸盤21b。其中,兩個所述左氣旋吸盤21a分別安裝於位在不同列且彼此遠離的兩個所述安裝槽131之內,而兩個所述右氣旋吸盤21b也分別安裝於位在不同列且彼此遠離的兩個所述安裝槽131之內,以使兩個所述左氣旋吸盤21a沿所述寬度方向W分別對應於兩個所述右氣旋吸盤21b。
也就是說,兩個所述左氣旋吸盤21a呈斜對向設置,並且兩個所述右氣旋吸盤21b也呈斜對向設置,據以使得四個所述氣旋吸盤21所產生的旋轉氣流能夠相互抵消、以避免所述板材200於所述所述移載裝置1上產生單側位移,進而使得所述板材200能夠更為穩定地受所述氣流式傳輸設備100所傳輸,但本發明不以此為限。
舉例來說,如圖6所示,當所述板材200於所述移載裝置1上的單側位移要求度不高或是單側位移量較低時,兩個所述左氣旋吸盤21a可以分別安裝於任一列且彼此遠離的兩個所述安裝槽131之內,而兩個所述右氣旋吸盤21b則是分別安裝於另一列且彼此遠離的兩個所述安裝槽131之內。
如圖1至圖5所示,兩個所述彈簧構件22分別安裝於位在不同列的兩個所述安裝槽131之內,任一列的兩個所述氣旋吸盤21之間配置有一個所述彈簧構件22且連通於同一個所述氣流通道16。於本實施例中,任一個所述彈簧構件22與相鄰所述後支撐墊15的距離是小於其與相鄰所述前支撐墊14之間的距離,但本發明不受限於此。舉例來說,任一個所述彈簧構件22可以位於相鄰所述後支撐墊15與相鄰所述前支撐墊14的中央位置。
依上所述,當所述氣流式傳輸設備100於傳輸所述板材200時,所述板材200的邊緣抵靠於兩個所述前支撐墊14與兩個所述後支撐墊15,並且四個所述氣旋吸盤21通過兩個所述氣流通道16以吸附定位所述板材200的四個所述角落,兩個所述彈簧構件22(通過兩個所述氣流通道16非接觸地)支撐所述板材200。
據此,所述氣流式傳輸設備100能夠通過兩個所述彈簧構件22而提供較大的支撐力,以支撐厚度較大的所述板材200、或是支撐於製程後段增加厚度的所述板材200。再者,所述彈簧構件22於本實施例中可以是與所述板材200相隔有0.2毫米(mm)~0.3毫米的氣浮間隙,據以降低接觸所述板材
200所造成的影響。
此外,任一個所述氣旋吸盤21及其相鄰的所述彈簧構件22之間相隔有一個或兩個所述安裝槽131,用以供四個所述柏努力吸盤23與兩個所述前彈簧構件24進行安裝。其中,四個所述柏努力吸盤23安裝於分別位在兩列的四個所述安裝槽131之內,並且任一個所述彈簧構件22及其相鄰的任一個所述氣旋吸盤21之間配置有一個所述柏努力吸盤23。
依上所述,當所述氣流式傳輸設備100於傳輸所述板材200時,四個所述柏努力吸盤23通過兩個所述氣流通道16非接觸地支撐所述板材200。其中,所述柏努力吸盤23於本實施例中可以是與所述板材200相隔有0.06毫米~0.12毫米的氣浮間隙,據以降低接觸所述板材200所造成的影響。再者,所述氣流式傳輸設備100能夠通過在適當位置配置有所述柏努力吸盤23,據以通過所述柏努力吸盤23所提供的吸力與支撐力,而能夠高速且穩定地傳輸所述板材200。
再者,兩個所述前彈簧構件24分別安裝於位在不同列的兩個所述安裝槽131之內,並且任一列的所述前彈簧構件24與所述前支撐墊14之間配置有一個所述氣旋吸盤21,而任一列的所述前彈簧構件24與所述彈簧構件22之間配置有一個所述柏努力吸盤23。
依上所述,當所述氣流式傳輸設備100於傳輸所述板材200時,兩個所述前彈簧構件24通過兩個所述氣流通道16非接觸地支撐所述板材200。其中,所述柏努力吸盤23於本實施例中可以是與所述板材200相隔有0.06毫米~0.12毫米的氣浮間隙,據以降低接觸所述板材200所造成的影響。
再者,所述氣流式傳輸設備100能夠通過在適當位置配置有所述前彈簧構件24,據以通過所述前彈簧構件24所提供的支撐力,而能夠進一步支撐厚度較大的所述板材200、或是支撐於製程後段增加厚度的所述板材
200。此外,任一個所述前彈簧構件24及其所相鄰的所述氣旋吸盤21於本實施例之中是略呈錯位配置,據以利於有效地提升厚度較薄的所述板材200的平整度,但本發明不受限於此。
需額外說明的是,所述氣流式傳輸設備100的所述定位模組2其具體配置方式是可以依據設計需求(如:較低的耗氣量要求、載板重量、載板厚度、載板尺寸等)而加以調整變化。舉例來說,如圖7和圖8所示,所述定位模組2可以僅配置有四個所述氣旋吸盤21、兩個所述彈簧構件22、及四個所述柏努力吸盤23;或者,如圖9和圖10所示,所述定位模組2可以僅配置有四個所述氣旋吸盤21及兩個所述彈簧構件22。
[本發明實施例的技術效果]
綜上所述,本發明實施例所公開的氣流式傳輸設備,其通過四個所述氣旋吸盤搭配兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊,以使設置於所述移載裝置的所述板材的四個角落更為穩定與平整。進一步地說,所述氣流式傳輸設備還能夠通過兩個所述彈簧構件而提供較大的支撐力,以支撐厚度較大的所述板材、或是支撐於製程後段增加厚度的所述板材。
再者,本發明實施例所公開的氣流式傳輸設備,其還能通過每個所述安裝槽於幾何結構上能用以供所述氣旋吸盤、所述彈簧構件、所述柏努力吸盤、及所述前彈簧構件的任一個進行拆裝,據以利於依據不同需求而調整每個所述安裝槽所需配置的構件。
此外,本發明實施例所公開的氣流式傳輸設備,其通過兩個所述左氣旋吸盤呈斜對向設置,並且兩個所述右氣旋吸盤也呈斜對向設置,據以使得四個所述氣旋吸盤所產生的旋轉氣流能夠相互抵消,以避免所述板材於所述移載裝置上產生單側位移,進而使得所述板材能夠更為穩定地受所述氣流式傳輸設備所傳輸。
以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例,並非因此侷限本發明的專利範圍,所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化,均包含於本發明的專利範圍內。
100:氣流式傳輸設備
1:移載裝置
11:固定座
12:導正模組
121:限制塊
1211:前端面
122:感測器
123:導正機構
13:移載臂體
131:安裝槽
14:前支撐墊
15:後支撐墊
16:氣流通道
2:定位模組
21:氣旋吸盤
21a:左氣旋吸盤
21b:右氣旋吸盤
22:彈簧構件
23:柏努力吸盤
24:前彈簧構件
200:板材
W:寬度方向
L:配置方向
Claims (10)
- 一種氣流式傳輸設備,其包括:一移載裝置,包含有:多個安裝槽,彼此間隔配置地排成兩列;其中,每列所述安裝槽沿著一配置方向,並且任一列的多個所述安裝槽沿垂直所述配置方向的一寬度方向分別對應於另一列的多個所述安裝槽;兩個氣流通道,分別連通於多個所述安裝槽;兩個前支撐墊,分別設置於兩列所述安裝槽的前方;及兩個後支撐墊,分別設置於兩列所述安裝槽的後方;其中,兩個所述前支撐墊的頂緣與兩個所述後支撐墊的頂緣共同定義有一載物平面;四個氣旋吸盤(cyclone pad),安裝於分別位在兩列的四個所述安裝槽之內、並分別連通於兩個所述氣流通道,四個所述氣旋吸盤分別鄰近於兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊;其中,每個所述氣旋吸盤的頂緣低於所述載物平面;以及兩個彈簧構件,分別安裝於位在不同列的兩個所述安裝槽之內,任一列的兩個所述氣旋吸盤之間配置有一個所述彈簧構件且連通於同一個所述氣流通道;其中,每個所述彈簧構件的頂緣低於所述載物平面;其中,當所述氣流式傳輸設備於傳輸一板材時,所述板材的邊緣抵靠於兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊,並且四個所述氣旋吸盤通過兩個所述氣流通道以吸附定位所述板材的四個角落,兩個所述彈簧構件支撐所述板材。
- 如請求項1所述的氣流式傳輸設備,其中,四個所述氣旋吸 盤包含有兩個左氣旋吸盤及兩個右氣旋吸盤,並且兩個所述左氣旋吸盤分別安裝於位在不同列且彼此遠離的兩個所述安裝槽之內,而兩個所述右氣旋吸盤也分別安裝於位在不同列且彼此遠離的兩個所述安裝槽之內,以使兩個所述左氣旋吸盤沿所述寬度方向分別對應於兩個所述右氣旋吸盤。
- 如請求項1所述的氣流式傳輸設備,其中,所述氣流式傳輸設備進一步包含有:四個柏努力吸盤(Bernoulli chuck),其連通兩個所述氣流通道、並安裝於分別位在兩列的四個所述安裝槽之內;任一個所述彈簧構件及其相鄰的任一個所述氣旋吸盤之間配置有一個所述柏努力吸盤;其中,當所述氣流式傳輸設備於傳輸所述板材時,四個所述柏努力吸盤通過兩個所述氣流通道非接觸地支撐所述板材。
- 如請求項3所述的氣流式傳輸設備,其中,四個所述氣旋吸盤包含有兩個左氣旋吸盤及兩個右氣旋吸盤,並且兩個所述左氣旋吸盤分別安裝於位在不同列且彼此遠離的兩個所述安裝槽之內,而兩個所述右氣旋吸盤也分別安裝於位在不同列且彼此遠離的兩個所述安裝槽之內,以使兩個所述左氣旋吸盤沿所述寬度方向分別對應於兩個所述右氣旋吸盤。
- 如請求項3所述的氣流式傳輸設備,其中,所述氣流式傳輸設備進一步包含有:兩個前彈簧構件,分別安裝於位在不同列的兩個所述安裝槽之內;任一列的所述前彈簧構件與所述彈簧構件之間配置 有一個所述柏努力吸盤,並且任一列的所述前彈簧構件與所述前支撐墊之間配置有一個所述氣旋吸盤;其中,當所述氣流式傳輸設備於傳輸所述板材時,兩個所述前彈簧構件支撐所述板材。
- 如請求項1所述的氣流式傳輸設備,其中,多個所述安裝槽沿所述配置方向具有相同的間距,並且任一個所述氣旋吸盤及其相鄰的所述彈簧構件之間相隔有一個或兩個所述安裝槽。
- 如請求項1所述的氣流式傳輸設備,其中,所述移載裝置包含有:一固定座;一導正模組,安裝於所述固定座;及兩個移載臂體,安裝於所述固定座且位於所述導正模組的相反兩側,並且兩個所述移載臂體沿所述寬度方向間隔地設置;其中,多個所述安裝槽、兩個所述前支撐墊、及兩個所述後支撐墊分別設置於兩個所述移載臂體;其中,當所述氣流式傳輸設備於傳輸所述板材時,所述導正模組能通過抵接於所述板材,而導正所述板材至一預定位置。
- 如請求項7所述的氣流式傳輸設備,其中,所述導正模組包含有:一限制塊,沿所述寬度方向位於兩個所述後支撐墊之間,用以抵接所述板材;一感測器,連接於所述限制塊的一端,用以感測所述板材的 偏移;及一導正機構,連接於所述限制塊,用以依據所述感測器的感測結果驅動所述限制塊,以導正所述板材至所述預定位置。
- 如請求項1至8任一項所述的氣流式傳輸設備,其中,多個所述安裝槽具有相同的構造,並且每個所述安裝槽於幾何結構上能用以供所述氣旋吸盤及所述彈簧構件的任一個進行拆裝。
- 一種氣流式傳輸設備,其包括:一移載裝置,包含有:兩個氣流通道;兩個前支撐墊,沿一寬度方向彼此相向且間隔設置;及兩個後支撐墊,沿所述寬度方向彼此相向且間隔設置,並且兩個所述前支撐墊沿垂直所述寬度方向的一配置方向分別對應於兩個後支撐墊;其中,兩個所述前支撐墊的頂緣與兩個所述後支撐墊的頂緣共同定義有一載物平面;四個氣旋吸盤,分別鄰近於兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊、並分別連通兩個所述氣流通道;其中,每個所述氣旋吸盤的頂緣低於所述載物平面;以及兩個彈簧構件,其頂緣低於所述載物平面,任一列的兩個所述氣旋吸盤之間配置有一個所述彈簧構件且連通於同一個所述氣流通道;其中,當所述氣流式傳輸設備於傳輸一板材時,所述板材的邊緣抵靠於兩個所述前支撐墊與兩個所述後支撐墊,並且 四個所述氣旋吸盤通過兩個所述氣流通道、以吸附定位所述板材的四個角落,兩個所述彈簧構件支撐所述板材。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
| US202263428150P | 2022-11-28 | 2022-11-28 | |
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ID=91141213
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|---|
| US20110023757A1 (en) * | 2008-03-11 | 2011-02-03 | Hilel Richman | Method and system for locally controlling support of a flat object |
| TWM479915U (zh) * | 2013-12-20 | 2014-06-11 | Jufan Ind Co Ltd | 非接觸式多孔真空浮吸器 |
| TW202203361A (zh) * | 2019-09-20 | 2022-01-16 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置 |
| US20220208588A1 (en) * | 2019-08-14 | 2022-06-30 | Disco Corporation | Wafer transfer apparatus |
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2023
- 2023-11-13 TW TW112143603A patent/TWI862273B/zh active
- 2023-11-21 CN CN202311557696.3A patent/CN118083637A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| TW202203361A (zh) * | 2019-09-20 | 2022-01-16 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置 |
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| Publication number | Publication date |
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