TWI851335B - 非矩形光罩之容器 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種非矩形光罩之容器，適用於容納一橢圓形光罩，基本上包含一蓋及一基座，其經配置以在彼此結合時界定出一橢圓形空間。蓋及基座分別具有多個光罩保持器及多個光罩支撐件，其經配置以固持橢圓形光罩。

Description

非矩形光罩之容器

本發明係關於一種光罩容器，特別是一種專用於非矩形光罩之容器。

目前極紫外光（EUV）製程中所使用的光罩樣式皆為具有四邊緣的方形或矩形。考量圓形光罩的本體、塗層或是光罩護膜（pellicle）在製作上會比四邊形光罩容易製作，可有效提高光罩精度與良率，未來橢圓形（包含圓形）光罩是有潛力被採取的設計。現有EUV光罩盒是基於四方形光罩進行設計，並且只專用四方形光罩，無法用於容納橢圓形光罩。

因此，有必要發展一種可專用於橢圓形光罩的容器。

本發明提供一種非矩形光罩之容器，適用於容納一橢圓形光罩，包含一蓋及一基座。該蓋包括一內側表面和自該內側表面向下延伸的一分隔壁，該內側表面和該分隔壁界定一橢圓形空間；多個光罩保持器，部分延伸至該分隔壁和該橢圓形空間中，用於抵持該橢圓形光罩的一邊緣。該基座結合該蓋以界定用於收容該橢圓形光罩的一橢圓形容置空間，且具有多個光罩支撐件，用於支撐該橢圓形光罩的一底部。

在一具體實施例中，該基座具有一環形溝槽，且該等光罩支撐件橫跨該環形溝槽。

在一具體實施例中，該環形溝槽將該基座劃分為一內部區域和一外部區域，且該內部區域為一橢圓形區域。

在一具體實施例中，該光罩支撐件具有用於支撐該橢圓形光罩底部的一支撐塊和用於局限該橢圓形光罩的一邊緣限制，該支撐塊位於該基座的內部區域，該邊緣限制位於該基座的外部區域。

在一具體實施例中，該蓋的光罩保持器具有一對稱軸線，該基座的光罩支撐件具有一對稱軸線，該多個光罩保持器的對稱軸線指向該蓋的橢圓形空間的一中心，該多個光罩支撐件的對稱軸線指向該基座的內部區域的一中心。

本發明還提供一種非矩形光罩之容器，適用於容納一橢圓形光罩，包含一基座及一蓋。該基座，具有一承載面，及多個光罩支撐件，沿著該承載面的周緣設置，用以支撐該橢圓形光罩。該蓋結合該基座以界定出用於收容該橢圓形光罩的一橢圓形容置空間，該蓋包括多個光罩保持器，用以侷限該橢圓形光罩。該橢圓形容置空間是由該基座的一內側和該蓋的一內側的多個弧形邊緣界定。

在一具體實施例中，該承載面具有多個第一弧形邊緣，該光罩支撐件設置於該多個第一弧形邊緣中的相鄰的第一弧形邊緣之間。

在一具體實施例中，該蓋的一下表面具有多個第二弧形邊緣，該光罩保持器設置於該多個第二弧形邊緣中相鄰的第二弧形邊緣之間。

在一具體實施例中，該蓋的一內側具有一階梯結構，該階梯結構由該蓋的一內側表面和一分隔壁形成，且該階梯結構具有該多個第二弧形邊緣。

在一具體實施例中，該基座具有沿著該承載面周緣延伸的一環形溝槽。該基座的光罩支撐件橫跨該環形溝槽。該階梯結構與該環形溝槽為共圓心。

本發明更提供一種光罩儲存盒，包括一殼體及一門。該殼體與該門界定出一收納空間，用以收納所述容器。

本發明前述各方面及其它方面依據下述的非限制性具體實施例詳細說明以及參照附隨的圖式將更趨於明瞭。

底下將參考圖式更完整說明本發明，並且藉由例示顯示特定範例具體實施例。不過，本主張主題可具體實施於許多不同形式，因此所涵蓋或申請主張主題的建構並不受限於本說明書所揭示的任何範例具體實施例；範例具體實施例僅為例示。同樣，本發明在於提供合理寬闊的範疇給所申請或涵蓋之主張主題。除此之外，例如主張主題可具體實施為方法、裝置或系統。

本說明書內使用的詞彙「一實施例」並不必要參照相同具體實施例，且本說明書內使用的「其他（一些/某些）實施例」並不必要參照不同的具體實施例。其目的在於例如主張的主題包括全部或部分範例具體實施例的組合。本說明書內使用的「內側」是指容器的內側，如蓋和基座的內側屬於蓋和基座結合後而隱藏的部分。

第一圖顯示本發明非矩形光罩之容器（10）及外盒（20）的立體分解圖，第一A圖顯示本發明非矩形光罩之容器（10）的另一分解圖，其清楚呈現本發明非矩形光罩之容器（10）的內側。本發明非矩形光罩之容器（10）包含一蓋（11）和一基座（12），界定一容置空間且專用於容置一非矩形光罩或一橢圓形光罩（R）。外盒（20）包含一殼體（21）及一門（22），界定一容納空間用於容納本發明非矩形光罩之容器（10）。

所述非矩形為具有長軸和短軸的橢圓形。當長軸和短軸為相等時，所述橢圓形為圓形。所述非矩形可以是偶數或奇數之多邊形，如六邊形、八邊形和九邊形。所述非矩形可以是由多個曲線構成的封閉形狀。

本發明非矩形光罩之容器（10）可配置成具有其他元件。例如，在蓋（11）的邊緣提供有一對向外突出的翼部，在蓋（11）的頂部提供有氣體過濾元件。蓋（11）和基座（12）可利用已知的氣密手段，使蓋（11）和基座（12）結合後達到某種程度的有效氣密，阻擋汙染經由蓋（11）和基座（12）之間的接觸介面進入容置空間。

外盒（20）可為已知的元件組成。例如，殼體（21）的兩側具有一對向外延伸的翼部，殼體（21）內側有用於抵持蓋（11）的下壓機構，門（22）具有用於結合殼體（21）的可操作栓鎖機構，門（22）還可裝配有用於填氣或抽氣的氣閥，藉此控制容納空間的環境和壓力。殼體（21）和門（22）可利用已知的氣密手段，使殼體（21）和門（22）結合後達到某種程度的氣密效果，維持容納空間的潔淨度。

第二圖為蓋（11）的立體圖，第三圖為蓋（11）的底部視圖，第四圖為蓋內側的局部放大圖。蓋（11）具有一外側表面（110），其基本上是一平滑表面。外側表面（110）的反面為蓋（11）的內側，也就是面對基座（12）的內側，具有從外側表面（110）向下延伸的一分隔壁（111，compartment wall）。分隔壁（111）也界定蓋（11）的周圍側壁，且具有用於接觸基座（12）的一下表面（112）。分隔壁（111）的垂直厚度大於蓋（11）的其他部分（即內側表面）厚度，藉此形成一階梯結構，且該階梯結構界定出一空間，特別是一橢圓形空間（113）。該橢圓形空間的一短軸或一直徑應大於一橢圓形光罩的長軸或一圓形光罩的直徑。

多個光罩保持器（114）配置在分隔壁（111）和橢圓形空間（113）之間，且每一個光罩保持器（114）的一部分延伸至橢圓形空間（113）中。具體而言，橢圓形空間（113）的周圍有朝向分隔壁（111）延伸的多個延伸空間（115），提供光罩保持器（114）的安置。此外，這些延伸空間（115）在分隔壁（111）的內側也劃分出多個弧形邊緣（116），而這些光罩保持器（114）則分別配置於相鄰的兩個弧形邊緣（116）之間。光罩保持器（114）的一部分暴露於橢圓形空間（113）中，以抵持光罩的邊緣，如第三圖。

第五圖顯示一光罩保持器（114）的立體圖，包含一固定座（31）及一彈性腳（32）。光罩保持器（114）經由固定座（31）固定連接至蓋（11）的內側。固定座（31）可包含已知的手段，像是螺絲或快拆機構，確保光罩保持器（114）能夠穩固。彈性腳（32）自固定座（31）橫向延伸且具有一鏤空（33）和一壓制部（34），其中鏤空（33）的設計可用於使彈性腳（32）避開基座（12）的元件，壓制部（34）位於彈性腳（32）的末端用於抵持光罩的上表面，如第八B圖。彈性腳（32）還包含一傾斜延伸部（35），其具有一導引面，用於限制和抵持光罩的上邊緣。

當光罩保持器（114）組裝時，固定座（31）基本上位於延伸空間（115）的末端且受到分隔壁（111）包圍，而彈性腳（32）部分暴露在橢圓形空間（113）中。併參第四圖及第八B圖，在蓋（11）的內側對應彈性腳（32）和壓制部（34）的區域形成有一緩衝空間（117），其避免因受力而變形的彈性腳（32）和蓋（11）的內側表面產生結構干涉。

第六圖顯示基座（12）的頂部視圖，具有面對蓋（11）的一承載面（121）。基座（12）可由一溝槽（122）或一階梯結構劃分成一內部區域及一外部區域（123），其中內部區域就是承載面（121）的範圍，而外部區域（123）則是包圍承載面（121）並主要和蓋（11）的下表面（112）接觸的範圍。承載面（121）和外部區域（123）基本上為具有垂直落差的平坦面，尤其是承載面（121）會高於外部區域（123）的上表面。為橢圓形或圓形的承載面（121）的一短軸或一直徑略小於橢圓形光罩的一短軸或一直徑。

多個光罩支撐件（124）配置於承載面（121）和外部區域（123）之間。具體而言，如第八A圖所示，承載面（121）和外部區域（123）之間可形成多個凹槽（120），以放置這些光罩支撐件（124）。溝槽（122）基本上為圍繞承載面（121）的一環形溝槽，且溝槽（122）的環形路徑通過這些光罩支撐件（124）的位置，或者可以說光罩支撐件（124）橫跨承載面（121）和外部區域（123）之間的溝槽（122）。承載面（121）具有多個弧形邊緣（125），而這些光罩支撐件（124）分別配置在相鄰弧形邊緣（125）之間。光罩支撐件（124）的一部分相對靠近承載面（121），另一部分則相對靠近外部區域（123）。

第七圖顯示光罩支撐件（124）的立體圖，包含一墊（61）、支撐塊（62）及一邊緣限制（63）。墊（61）具有恰當的厚度和形狀，以便適配（fit in）及安置在基座（12）的所述凹槽中。支撐塊（62）和邊緣限制（63）自墊（61）向上延伸，且具有不同的高度，其中，支撐塊（62）配置在相對靠近承載面（121）且支撐塊（62）的頂部具有略高於承載面（121）的一凸起（621），邊緣限制（63）配置在相對靠近外部區域（123），阻擋橢圓形光罩（R）位移至外部區域（123），如第八A圖所示。進一步地，邊緣限制（63）的頂端具有一錐形結構，其主要能防止光罩角落因外力搖晃而脫離支撐塊（62）並撞上蓋（11）的內側。

返參第三圖及第六圖，每一個光罩保持器（114）及每一個光罩支撐件（124）為對稱結構，因而各自具有一對稱軸線（118、126）。具體而言，光罩保持器（114）是根據固定座（31）及彈性腳（32）的對稱性而決定其對稱軸線（118），光罩支撐件（124）是根據支撐塊（62）及邊緣限制（63）的對稱性而決定其對稱軸線（126）。在本實施例中，光罩保持器（114）的對稱軸線­（118）及光罩支撐件（124）的對稱軸線（126）分別指向蓋（11）的橢圓形空間（113）的一中心及基座（12）的承載面（121）的一中心。所述中心是指橢圓形長軸及短軸的交集點或圓形的圓心。

第八A圖為基座的剖面局部放大圖，顯示橢圓形光罩（R）放置於基座（12）上由支撐塊（62）所支撐。第八B圖為蓋（11）和基座（12）的剖面局部放大圖，顯示橢圓形示光罩（R）被光罩保持器（114）和光罩支撐件（124）侷限在容器中。

當橢圓形光罩（R）被放置在基座（12）上時，橢圓形光罩（R）的底部受到支撐塊（62）支撐，使橢圓形光罩（R）底部與承載面（121）之間形成一微小間距。邊緣限制（63）侷限橢圓形光罩（R）的周圍，避免橢圓形光罩（R）周圍偏移至外部區域（123）。如第三圖及第六圖所示，蓋（11）的光罩保持器（114）的位置對應基座（12）的光罩支撐件（124）的位置，所以蓋（11）與基座（12）結合時，光罩保持器（114）基本上位於光罩支撐件（124）的上方。如第五圖所示，光罩保持器（114）的彈性腳（32）具有鏤空（33），使光罩支撐件（124）的邊緣限制（63）的頂部可穿越該鏤空（33），避免光罩保持器（114）和光罩支撐件（124）之間的結構干涉，優化空間利用。在其他實施例中，光罩保持器（114）不具有鏤空（33），即彈性腳（32）之間被填滿，但光罩保持器（114）的彈性腳（32）可經由適當設計而避免和邊緣限制（63）產生結構干涉。

如第八B圖所示，壓制部（34）抵持在橢圓形光罩（R）的上表面，傾斜延伸部（35）的導引面抵持橢圓形光罩（R）的上邊緣，藉此侷限橢圓形光罩（R）的垂直和橫向位移。如前所述，蓋（11）的內側表面形成有緩衝空間（117），其是自蓋（11）的內側表面向內延伸且足夠允許光罩保持器（114）變形的一淺槽。由於橢圓形光罩（R）尺寸的些微差異可能會影響每一個光罩保持器（114）的彈性腳（32）的變形幅度，緩衝空間（117）提供光罩保持器（114）變形時壓制部（34）的位移寬裕度（tolerance），避免壓制部（34）和蓋（11）彼此碰撞而形成汙染微粒。

第九A圖至第九C圖示意前述光罩保持器（114）或光罩支撐件（124）的安排變化例。本發明非矩形光罩之容器，無論是蓋（11）的內側或基座（12）的內側，均具有弧形邊緣。如前所述，蓋（11）的分隔壁（111）內側具有多個弧形邊緣（116），基座（12）的承載面（121）的周圍具有多個弧形邊緣（125）。而所述變化例即在指這些弧形邊緣（116、125）與光罩保持器（114）和光罩支撐件（124）的多種組合。

第九A圖示意四個光罩保持器或光罩支撐件的位置（81）及四個弧形邊緣（82）的關係，其中每一個位置（81）是介於相鄰的兩個弧形邊緣（82）之間，四個弧形邊緣（82）將蓋或基座劃分成一內部區域和一外部區域，內部區域為圓形區域。

第九B圖示意三個光罩保持器或光罩支撐件的位置（81）及三個弧形邊緣（82）的關係，其中每一個位置（81）是介於相鄰的兩個弧形邊緣（82）之間，三個弧形邊緣（82）將蓋或基座劃分成一內部區域和一外部區域，內部區域為圓形區域。

第九C圖示意四個光罩保持器或光罩支撐件的位置（81）及四個弧形邊緣（82）的關係，其中每一個位置（81）是介於相鄰的兩個弧形邊緣（82）之間，四個弧形邊緣（82）將蓋或基座劃分成一內部區域和一外部區域，內部區域為橢圓形區域。

第九A圖和第九C圖的差異在於，第九A圖的弧形邊緣（82）為一圓形的部分邊緣，第九C圖的弧形邊緣（82）為一橢圓形的部分邊緣。此外，第九A圖的位置（81）與蓋（11）或基座（12）的四個角落對應，第九C圖的位置（81）與一橢圓形的長軸和短軸對應。同樣地，第九A圖至第九C圖的這些位置（81）的光罩保持器或光罩支撐件的對稱軸線均指向橢圓形容置空間或承載面的中心（C）。

基於上述說明可知，本發明的蓋（11）內側具有弧形邊緣（116），而基座（12）內側具有弧形邊緣（125），藉此蓋（11）的內側能界定出橢圓形空間，且當蓋（11）與基座（12）結合，蓋（11）內側的弧形邊緣（116）和基座（12）內側的弧形邊緣（125）能界定用於收容非矩形光罩的橢圓形或其他形狀容置空間。

然應了解，本發明的各個具體實施例僅是作為說明之用，在不脫離本發明申請專利範圍與精神下可進行各種改變，且均應包含於本發明之專利範圍中。因此，本說明書所描述的各具體實施例並非用以限制本發明，本發明之真實範圍與精神揭示於以下申請專利範圍。

10:非矩形光罩之容器 11:蓋 110:外側表面 111:分隔壁 112:下表面 113:橢圓形空間 114:光罩保持器 115:延伸空間 116:弧形邊緣 117:緩衝空間 118:對稱軸線 12:基座 120:凹槽 121:承載面 122:溝槽 123:外部區域 124:光罩支撐件 125:弧形邊緣 126:對稱軸線 20:外盒 21:殼體 22:門 31:固定座 32:彈性腳 33:鏤空 34:壓制部 35:傾斜延伸部 61:墊 62:支撐塊 621:凸起 63:邊緣限制 81:位置 82:弧形邊緣 R:橢圓形光罩 C:中心

參照下列圖式與說明，可更進一步理解本發明。非限制性與非窮舉性實例系參照下列圖式而描述。在圖式中的部件並非必須為實際尺寸；重點在於說明結構及原理。

第一圖為本發明非矩形光罩之容器及外盒的立體分解圖。

第一A圖為本發明非矩形光罩之容器的另一立體分解圖。

第二圖為本發明非矩形光罩之容器的蓋立體圖。

第三圖為本發明非矩形光罩之容器的蓋底部圖。

第四圖為蓋內側的局部放大圖。

第五圖為光罩保持器的立體圖。

第六圖為基座的一頂部視圖。

第七圖為光罩支撐件的立體圖。

第八A圖為基座的剖面局部放大圖，顯示光罩放置於基座上由光罩支撐件所支撐。

第八B圖為蓋和基座的剖面局部放大圖，顯示光罩被光罩保持器和光罩支撐件侷限在容器中。

第九A圖至第九C圖示意光罩保持器或光罩支撐件的安排變化例。

10:非矩形光罩之容器

11:蓋

12:基座

113:橢圓形空間

R:橢圓形光罩

Claims (14)

1. 一種非矩形光罩之容器，適用於容納一橢圓形光罩，包含：一蓋，包括：一內側表面和自該內側表面向下延伸的一分隔壁(compartment wall)，該內側表面和該分隔壁界定一橢圓形空間；多個光罩保持器，部分延伸至該橢圓形空間中，用於抵持該橢圓形光罩的一邊緣；以及一基座，結合該蓋以界定用於收容該橢圓形光罩的一橢圓形容置空間，且具有多個光罩支撐件，用於支撐該橢圓形光罩的一底部；其中，該基座具有一環形溝槽，且該等光罩支撐件橫跨該環形溝槽。
2. 如請求項1所述之容器，其中，該環形溝槽將該基座劃分為一內部區域和一外部區域，且該內部區域為一橢圓形區域。
3. 如請求項2所述之容器，其中，該光罩支撐件具有用於支撐該橢圓形光罩底部的一支撐塊和用於局限該橢圓形光罩的一邊緣限制，該支撐塊位於該基座的內部區域，該邊緣限制位於該基座的外部區域。
4. 如請求項3所述之容器，其中，該蓋的光罩保持器具有一對稱軸線，該基座的光罩支撐件具有一對稱軸線，該多個光罩保持器的對稱軸線指向該蓋的橢圓形空間的一中心，該多個光罩支撐件的對稱軸線指向該基座的內部區域的一中心。
5. 一種光罩儲存盒，包括：一殼體及一門，該殼體與該門界定出一收納空間，用以收納如請求項1至4中任一項所述之容器。
6. 一種非矩形光罩之容器，適用於容納一橢圓形光罩，包含：一基座，具有： 一承載面；及多個光罩支撐件，沿著該承載面的周緣設置，用以支撐該橢圓形光罩；以及一蓋，結合該基座以界定出用於收容該橢圓形光罩的一橢圓形容置空間，該蓋包括多個光罩保持器，用以侷限該橢圓形光罩；其中，該橢圓形容置空間是由該基座的一內側和該蓋的一內側的多個弧形邊緣界定；其中，該基座具有一環形溝槽，且該等光罩支撐件橫跨該環形溝槽。
7. 如請求項6所述之容器，其中，該承載面具有多個第一弧形邊緣，該光罩支撐件設置於該多個第一弧形邊緣中的相鄰的第一弧形邊緣之間。
8. 如請求項6所述之容器，其中，該蓋的一下表面具有多個第二弧形邊緣，該光罩保持器設置於該多個第二弧形邊緣中相鄰的第二弧形邊緣之間。
9. 如請求項8所述之容器，其中，該蓋的內側具有一階梯結構，該階梯結構由該蓋的一內側表面和一分隔壁形成，且該階梯結構具有該多個第二弧形邊緣。
10. 如請求項9所述之容器，其中，該蓋的階梯結構與該環形溝槽為共圓心。
11. 如請求項6所述之容器，其中，該光罩保持器和該光罩支撐件分別具有一對稱軸線，且該光罩保持器和該光罩支撐件的對稱軸線分別指向該蓋的中心和該承載面的中心。
12. 如請求項11所述之容器，其中，該光罩保持器具有一固定座和一彈性腳，該光罩保持器的對稱軸線是由該固定座和該彈性腳界定。
13. 如請求項11所述之容器，其中，該光罩支撐件具有一支撐塊和一邊緣限制，該光罩支撐件的對稱軸線是由該支撐塊和該邊緣限制界定。
14. 一種光罩儲存盒，包括：一殼體及一門，該殼體與該門界定出一收納空間，用以收納如請求項7至13中任一項所述之容器。