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TWI722697B - 基板搬送裝置及其運轉方法 - Google Patents

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TWI722697B
TWI722697B TW108144493A TW108144493A TWI722697B TW I722697 B TWI722697 B TW I722697B TW 108144493 A TW108144493 A TW 108144493A TW 108144493 A TW108144493 A TW 108144493A TW I722697 B TWI722697 B TW I722697B
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light
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hand
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TW108144493A
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TW202038362A (zh
Inventor
斎藤雅行
福島崇行
Original Assignee
日商川崎重工業股份有限公司
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Publication date
Application filed by 日商川崎重工業股份有限公司 filed Critical 日商川崎重工業股份有限公司
Publication of TW202038362A publication Critical patent/TW202038362A/zh
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

基板搬送裝置101係保持基板1加以搬送。此基板搬送裝置101，具備保持基板1的手部20、安裝有手部20的機械手30、以及配置於手部20用以檢測至基板1之主面之距離的基板檢測器60。基板檢測器60，以配置在手部20之前端部較佳。基板檢測器60以靜電容感測器較佳。

Description

基板搬送裝置及其運轉方法
本發明係關於基板搬送裝置及其運轉方法。
半導體晶圓，係在無塵室內經複數處理後製造出。於半導體晶圓之製造中，半導體晶圓係被收納在載具（pod,匣）内加以搬送。
且有一種以檢測匣内晶圓位置偏移為目的之基板處理裝置。例如，專利文獻1（特開2012－15530號公報）中，揭露了此種基板處理裝置。
專利文獻1中揭露之基板處理裝置，具備對位（mapping）裝置及晶圓位置偏移檢測裝置。對位裝置及晶圓位置偏移檢測裝置，係設在用以開關匣門之開匣器之晶圓出入口。
對位裝置，具備複數組彼此對向之一對投光部與受光部。複數組之投光部與受光部，係成梳齒狀垂直排列之狀態配置。而在從投光部投射之光被受光部檢測當時，即判斷未配置晶圓。
晶圓位置偏移檢測裝置，具備複數個限定反射型感測器。限定反射型感測器具備投光部與受光部。限定反射型感測器，係以投光部及受光部到檢測對象物晶圓之外周面之既定距離及寬度為檢測範圍。限定反射型感測器，在此檢測範圍內，以收光部接收從投光部投射而在晶圓外周面反射之反射光。
專利文獻1中所揭露之基板處理裝置，對位裝置及晶圓位置偏移裝置皆設置在晶圓出入口附近。因此，在距離匣之晶圓出入口遠側之保持槽（匣深處之保持槽），有難以檢測晶圓位置偏移的情形。
在晶圓大型化且複數個晶圓之間隔小的情形時，即使晶圓不位於匣深處之保持槽，晶圓亦會有些微之傾斜角度。例如，當晶圓之直徑為30cm以上、且複數個晶圓之間隔為5～20mm的情形時，此晶圓之傾斜角度是非常小的。設置在此晶圓出入口附近之對位裝置及晶圓位置偏移裝置，會有難以檢測傾斜角度些微之晶圓位置偏移的情形。此對位裝置及晶圓位置偏移裝置，仍有改善的餘地。
本發明之目的，在提供一種可更正確檢測基板之位置偏移的基板搬送裝置及其運轉方法。
本發明之基板搬送裝置，係從載置基板之載置台保持前述基板加以搬送。此基板搬送裝置，具備：保持該基板的手部、安裝有該手部的機械手、以及配置在該手部用以檢測至載置在該載置台之該基板之主面之距離的第1基板檢測器。
較佳的是，該第1基板檢測器為靜電容感測器。
較佳的是，該第1基板檢測器配置在該手部之前端部。
較佳的是，此基板搬送裝置，進一步具備在該手部於前後方向配置在與該第1基板檢測器相異位置、用以檢測至該基板之該主面之距離的第2基板檢測器。
為解決上述先前之課題，本發明之另一基板搬送裝置，係從收納有複數片基板之容器保持該基板加以搬送，其具備：保持該基板的手部、機械手以及控制裝置，於該手部之前端部設有具備朝向該基板之主面投射光之第1投光部、與接收在該基板之主面反射之光之第1受光部的基板檢測器，該控制裝置，在使機械手動作以使該手部進入該容器内時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，並藉由該基板檢測器之該第1受光部是否接收到在該基板之主面反射之光，據以判定是否有產生該基板之位置偏移。
如此，即使是在收納基板之容器深處產生基板之位置偏移，亦能檢測該位置偏移。
於本發明之基板搬送裝置之運轉方法，此基板搬送裝置，具備：保持基板的手部、安裝有該手部的機械手、以及配置在該手部用以檢測至該基板之主面之距離的第1基板檢測器； 此運轉方法，包含 （A）準備配置在載置台之該基板的工序、 （B）檢測至載置在載置台之該基板之該主面之距離的工序 及 （C）以該手部保持該基板的工序。
較佳的是，於此運轉方法之該工序（B）中，在3處以上檢測至該基板之該主面之距離。此運轉方法，進一步包含 （D）根據在3處以上檢測之至該基板之該主面之距離，判定是否以該手部保持該基板的工序。
較佳的是，於此運轉方法之該工序（B）中，在3處以上檢測至該基板之該主面之距離。此運轉方法，進一步包含 （E）根據在3處以上檢測之至該基板之該主面之距離，判定保持該基板之位置的工序。
較佳的是，於此運轉方法之該工序（B）中，在從該第1基板檢測器求得之距離小於既定下限值時，即變更該手部之移動路徑，以使至該基板之該主面之距離相距既定下限值以上。
較佳的是，此運轉方法中，該第1基板檢測器為靜電容感測器。於此運轉方法之該工序（B）中，判定該基板之靜電容是否在既定範圍内。
又，本發明之另一基板搬送裝置之運轉方法，係從收納有複數片基板之容器保持並搬送該基板，其特徵在於：該基板搬送裝置，具備保持該基板之手部、機械手、以及控制裝置；於該手部之前端部設有基板檢測器，此基板檢測器具有朝向該基板之主面投射光的第1投光部、與接收在該基板之主面反射之光的第1受光部；該控制裝置，係在使機械手動作以使該手部進入該容器内時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，並藉由該基板檢測器之該第1受光部是否接收到在該基板之主面反射之光，據以判定是否有產生該基板之位置偏移。
如此，即使是在收納基板之容器深處產生基板之位置偏移，亦能檢測該位置偏移。
本發明之上述目的、其他目的、特徴以及優點，應可在參照所附圖式下，由以下之較佳實施形態之詳細說明而清楚得知。
根據本發明之基板搬送裝置及其運轉方法，與先前之基板處理裝置相較，能更正確的檢測基板之位置偏移。 【圖示簡單說明】
[圖1]係以示意方式顯示本實施形態1之基板搬送裝置、及具備其之機器人系統之概略構成的側視圖。 [圖2]係以示意方式顯示圖1所示之機器人系統之概略構成的俯視圖。 [圖3]係放大圖1所示之機器人系統之主要部位的示意圖。 [圖4]係放大圖1所示之機器人系統之主要部位的示意圖。 [圖5]係顯示本實施形態1之基板搬送裝置之一動作例的流程圖。 [圖6]係顯示本實施形態1之基板搬送裝置另一動作例的流程圖。 [圖7]係顯示本實施形態1之變形例1之基板搬送裝置之主要部位之概略構成的示意圖。 [圖8]係顯示本實施形態1之變形例1之基板搬送裝置之主要部位之概略構成的示意圖。 [圖9]係以示意方式顯示本實施形態2之基板搬送裝置、及具備其之機器人系統之概略構成的俯視圖。 [圖10]係以示意方式顯示本實施形態3之基板搬送裝置、及具備其之機器人系統之概略構成的側視圖。 [圖11]係以示意方式顯示圖10所示之機器人系統之概略構成的俯視圖。 [圖12]（A）係沿圖12（B）之線XIIA－XIIA之機器人系統之容器的剖面圖、圖12（B）係沿圖12（A）之線段XIIB－XIIB之此容器的剖面圖。 [圖13]係顯示圖10之機器人系統之使用狀態的說明圖。 [圖14]（A）係顯示圖10之機器人系統之另一使用狀態的說明圖、圖14（B）係顯示圖10之機器人系統之再一使用狀態的說明圖、圖14（C）係顯示圖10之機器人系統之再一使用狀態的說明圖。 [圖15]（A）係顯示圖10之機器人系統之再一使用狀態的說明圖、圖15（B）係顯示圖10之機器人系統之再一使用狀態的說明圖、圖15（C）係顯示圖10之機器人系統之再一使用狀態的說明圖。 [圖16]（A）係顯示圖10之機器人系統之再一使用狀態的說明圖、圖16（B）係顯示圖10之機器人系統之再一使用狀態的說明圖、圖16（C）係顯示圖10之機器人系統之再一使用狀態的說明圖。 [圖17]（A）係本發明之另一實施形態之基板搬送裝置之手部的俯視圖、圖17（B）係沿圖17（A）之線XVIIB－XVIIB的剖面圖。 [圖18]係本實施形態4之基板搬送裝置之手部與基板一起顯示的說明圖。
以下，一邊參照圖式、一邊說明本發明之較佳實施形態。又，以下，所有圖式中對相同構成係賦予相同符號，省略重複之說明。此外，於所有圖中，為說明本發明所必須之構成係以摘錄方式圖示，其他構成則有省略圖示之情形。此外，此等僅是本發明之一實施形態例，並不限定於此。
本實施形態1之基板搬送裝置，係從收納有複數片基板之容器保持該基板加以搬送，其具備：保持基板的手部、機械手以及控制裝置，於手部之前端部設有具備朝向該基板之主面投射光之第1投光部、與接收在基板之主面反射之光之第1受光部的基板檢測器，控制裝置，在使機械手動作以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板之主面投射光，並藉由基板檢測器之第1受光部是否接收到在基板之主面反射之光，據以判定是否有產生該基板之位置偏移。
又，本實施形態1之基板搬送裝置，可構成為當基板檢測器在基板被正常收納之狀態下，第1投光部朝向基板主面投射光時，第1受光部接收在基板主面反射之光，控制裝置可構成為在使機械手動作，以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板之主面投射光，而基板檢測器之第1受光部未接收到在基板主面反射之光的情形時，即判定產生了基板之位置偏移。
又，本實施形態1之基板搬送裝置，可構成為當基板檢測器在基板被正常收納之狀態下，第1投光部朝向基板主面投射光時，第1受光部接收在基板主面反射之光，控制裝置可構成為在使機械手動作，以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板主面投射光，而基板檢測器之第1受光部接收到在基板主面反射之光的情形時，即判定未產生基板之位置偏移。
又，本實施形態1之基板搬送裝置，可構成為當基板檢測器在基板被正常收納之狀態下，第1投光部朝向基板主面投射光時，第1受光部不接收在基板主面反射之光，控制裝置可構成為在使機械手動作，以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板主面投射光，而基板檢測器之第1受光部接收到在基板主面反射之光的情形時，即判定產生了基板之位置偏移。
又，本實施形態1之基板搬送裝置，可構成為當基板檢測器在基板被正常收納之狀態下，第1投光部朝向基板主面投射光時，第1受光部接收在基板主面反射之光，控制裝置可構成為在使機械手動作，以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板主面投射光，而基板檢測器之第1受光部未接收到在基板主面反射之光的情形時，即判定產生了基板之位置偏移。
又，本實施形態1之基板搬送裝置，基板檢測器可構成為在基板主面位於較第1距離小之距離的第2距離時，第1受光部接收在基板主面反射之光，控制裝置可構成為在使機械手動作，以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板主面投射光，而基板檢測器之第1受光部接收到在基板主面反射之光的情形時，即判定產生了基板之位置偏移。
又，本實施形態1之基板搬送裝置，基板檢測器可構成為在基板之主面位於較第1距離小之距離的第2距離時，第1受光部接收在基板主面反射之光，控制裝置可構成為在使機械手動作，以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板主面投射光，而基板檢測器之第1受光部未接收到在基板主面反射之光的情形時，即判定未產生基板之位置偏移。
又，於本實施形態1之基板搬送裝置，可構成為基板檢測器之第1投光部朝向上方投射光。
又，於本實施形態1之基板搬送裝置，可構成為控制裝置在判定產生了基板之位置偏移的情形時，停止機械手之動作。
再者，於本實施形態1之基板搬送裝置，可構成為控制裝置在判定產生了基板之位置偏移的情形時，使機械手動作以使手部從容器退出。
以下，針對本實施形態1之基板搬送裝置之一例，一邊參照圖1～圖2、一邊加以說明。
［基板搬送裝置之構成］ 圖1係以示意方式顯示本實施形態1之基板搬送裝置及具備其之機器人系統之概略構成的側視圖。圖2係以示意方式顯示圖1所示之機器人系統之概略構成的俯視圖。
又，圖1中，係將基板搬送裝置中之前後方向及上下方向作為圖中之前後方向及上下方向。此外，圖2中，係將基板搬送裝置中之前後方向作為圖中之前後方向。
如圖1及圖2所示，本實施形態1之機器人系統100，具備基板搬送裝置101、與收納基板1之容器102。容器102，例如可以是FOUP（Front Opening Unified Pod），亦可以是石英舟。
又，基板1，可以是例如半導體基板及玻璃基板等作為半導體元件之基板材料的圓形薄板。半導體基板，可以是例如矽基板、藍寶石（單結晶氧化鋁）基板、及其他各種基板等。玻璃基板，可以是例如FPD（Flat Panel Display）用玻璃基板、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）用玻璃基板等。
基板搬送裝置101，具備手部20、機械手30及控制裝置70，以手部20保持並搬送被收納在容器102内之基板1。
以下之說明中，作為機械手30，係說明水平多關節機器人之構成，但機械手30不限於水平多關節機器人，亦可以是以垂直多關節機器人為基礎者。
機械手30，具備箱體50、複數個臂（此處，係第1臂32及第2臂34）、升降構件40、第1連接部31、第2連接部33及第3連接部35。
於箱體50之上部，設有升降構件40。又，於箱體50之内部，配置有直動致動器41及控制裝置70。控制裝置70亦可設在箱體50之外部。關於控制裝置70，留待後敘。
直動致動器41，可使升降構件40升降（能於上下方向移動）。作為直動致動器41，例如可使用電動馬達（伺服馬達）與滾珠螺稈、線性導件、或使用齒條與小齒輪等、亦可使用氣壓缸等。
又，亦可於箱體50内部，配置檢測電動馬達之旋轉位置並輸出至控制裝置70的旋轉感測器、以及檢測控制驅動馬達之旋轉之電流的電流感測器等。
於升降構件40，透過第1連接部31、以能繞通過升降構件40之軸心之旋轉軸L1旋動之方式，連接第1臂32之基端部。具體而言，於升降構件40，配置有例如用以使第1臂32旋轉的驅動馬達、以及檢測驅動馬達之旋轉位置的旋轉感測器等。又，驅動馬達等亦可配置於第1臂32。
於第1臂32之前端部，透過第2連接部33、以能繞旋轉軸L2旋轉之方式連接第2臂34之基端部。具體而言，於第1臂32，配置有例如用以使第2臂34旋轉的驅動馬達、以及檢測驅動馬達之旋轉位置的旋轉感測器等。又，驅動馬達等亦可配置於第2臂34。
又，於第2臂34之前端部，透過第3連接部35、以能繞旋轉軸L3旋轉之方式連接手部20。於第2臂34，配置有例如使手部20旋轉的驅動馬達、以及檢測驅動馬達之旋轉位置的旋轉感測器等。
手部20，具有本體部21及爪部22。本體部21，從上方觀察時，形成為大致Y字形，具有一對指部21A、21B。於指部21A、21B之前端部與基端部，分別設有爪部22。爪部22，從水平方向觀察時，形成為L字形（鉛直方向之剖面形成為L字形），於其底部載置基板1。又，手部20，可以是如邊緣夾持（edge grip）手部或吸附手部般，手部20與基板1不會相對變位之構造。
又，在本體部21之指部21A、21B之前端部，分別配設有基板檢測器60。基板檢測器60具有第1投光部61與第1受光部62，從第1投光部61投射之光在基板1之主面反射，反射之光被第1受光部62接收，將有無接收光之資訊輸出至控制裝置70。
又，本實施形態1中，第1投光部61係構成為朝向上方（朝向基板1之下面）投射光。
接著，一邊參照圖3及圖4、一邊詳細說明基板檢測器60之有無接收光。
圖3及圖4係放大圖1所示之機器人系統之主要部位的示意圖。圖3中，顯示了在基板1被正常收納於容器102之情形時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光的基板檢測器60。圖4中，顯示了在基板1被正常收納於容器102之情形時，第1受光部62接收不到在基板1之主面反射之光的基板檢測器60。
又，控制裝置70，係根據作業員之教示、及／或控制裝置70之自動教示，以本體部21之上面位在距基板1下面預先設定之既定第1距離h1下方之方式，教示基板搬送裝置101之動作。第1距離h1，只要是小於相鄰基板1、1間之距離的話，即可任意設定。
如圖3所示，基板檢測器60係構成為，在基板1是被正常收納在容器102内之情形時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光。換言之，基板檢測器60係構成為，在基板1之主面位於第1距離h1時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光。
而如圖3之一點鏈線所示，當基板1在容器102之深處（基板搬送裝置101之前方側）產生位置偏移時，第1受光部62無法接收到在基板1之主面反射之光。
另一方面，如圖4所示，基板檢測器60係構成為，在基板1是未被正常收納於容器102内之情形時，亦即，在產生位置偏移之情形時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光。換言之，基板檢測器60係構成為，在基板1之主面是位於較第1距離h1小之第2距離h2時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光。
而如圖4之一點鏈線所示，基板檢測器60，在基板1是被正常收納於容器102内之情形時，第1受光部62無法接收到在基板1之主面反射之光。
因此，控制裝置70，可藉由基板檢測器60之第1受光部62是否接收到反射之光，據以判定是否有產生基板1之位置偏移。
又，本實施形態1中，雖係採用基板檢測器60係配設在指部21A、21B之雙方的形態，但不限定於此，亦可採用配設在指部21A、21B之任一方的形態。
又，亦可採用在指部21A、21B之任一指部配設具有在基板1被正常收納之情形時，可接收反射光之第1受光部62的基板檢測器60，而在另一指部配設具有在基板1被正常收納之情形時，無法接收反射光之第1受光部62的基板檢測器60之形態。
控制裝置70，具備微處理器、CPU等之運算器、與ROM、RAM等之記憶體（皆未圖示）。於記憶體中，儲存有基本程式、各種固定資料等之資訊。運算器，藉讀出並執行記憶體中儲存之基本程式等之軟體，據以控制機器人系統100之各種動作。
又，控制裝置70，可以是以進行集中控制之單一控制裝置70構成，亦可以是以彼此協力動作進行分散控制之複數個控制裝置70構成。此外，控制裝置70，可以是以微電腦構成、亦可以是以MPU、PLC(Programmable Logic Controller)、邏輯電路等構成。
［基板搬送裝置之動作及其作用效果］ 接著，一邊參照圖1～圖6、一邊說明本實施形態1之基板搬送裝置101之動作及其作用效果。
圖5係顯示本實施形態1之基板搬送裝置之一動作例的流程圖。圖5，係顯示配設具有在基板1被正常收納之情形時，可接收反射光之第1受光部62的基板檢測器60之情形時的流程圖。
首先，對控制裝置70，由作業員透過未圖示之輸入裝置，輸入實施把持配置在容器102内之基板1，進行搬送作業之指示資訊。
如此一來，如圖5所示，控制裝置70使機械手30動作，將手部20移動至位於容器102前方之位置（步驟S101）。接著，控制裝置70使機械手30動作，以使手部20進入容器102内（步驟S102）。此時，控制裝置70，判定是否已從基板檢測器60取得顯示由第1受光部62接收到在基板1反射之光之資訊的受光資訊（步驟S103）。
控制裝置70，在判定已從基板檢測器60取得受光資訊之情形時（步驟S103為「是」），即判定基板1是被正常收納（步驟S104）。接著，控制裝置70使機械手30動作，以使手部20保持基板1（步驟S105）。
其次，控制裝置70使機械手30動作，將基板1搬送至預先設定之既定場所，將該基板1載置於既定場所（步驟S106），結束本程式。
另一方面，於步驟S103，在控制裝置70判定未從基板檢測器60取得受光資訊之情形時（步驟S103為「否」），即判定基板1未被正常收納（步驟S107）。接著，控制裝置70，停止手部20往容器102内之進入（步驟S108）。具體而言，控制裝置70使機械手30之動作停止。
其次，控制裝置70使機械手30動作，以使手部20移動至容器102外（步驟S109），結束本程式。又，控制裝置70，亦可透過未圖示之通報裝置將基板1未被正常收納之情形，通報作業員等。作為通報裝置，可使用例如顯示器等之顯示裝置、揚聲器、汽笛等。
圖6係顯示本實施形態1之基板搬送裝置之另一動作例的流程圖。圖6，係顯示配設具有在基板1被正常收納之情形時，無法接收反射光之第1受光部62的基板檢測器60之情形時的流程圖。
首先，對控制裝置70，由作業員透過未圖示之輸入裝置輸入顯示執行把持配置在容器102内之基板1，進行搬送作業之指示資訊。
如此一來，如圖6所示，控制裝置70即使機械手30動作，以使手部20移動至容器102前方之位置（步驟S201）。接著，控制裝置70使機械手30動作，以使手部20進入容器102内（步驟S202）。此時，控制裝置70，判定是否已從基板檢測器60取得顯示由第1受光部62接收到在基板1反射之光之資訊的受光資訊（步驟S203）。
控制裝置70，在判定已從基板檢測器60取得受光資訊之情形時（步驟S203為「是」），即判定基板1未被正常收納（步驟S204）。接著，控制裝置70，停止手部20往容器102内之進入（步驟S205）。具體而言，控制裝置70使機械手30之動作停止。
其次，控制裝置70使機械手30動作，以使手部20移動至容器102外（步驟S206），結束本程式。又，控制裝置70，亦可透過未圖示之通報裝置將基板1未被正常收納之情形，通報作業員等。作為通報裝置，可使用例如顯示器等之顯示裝置、揚聲器、汽笛等。
另一方面，於步驟S203，在控制裝置70判定未從基板檢測器60取得受光資訊之情形合（步驟S203為「否」）時，即判定基板1是被正常收納（步驟S207）。接著，控制裝置70使機械手30動作，以將基板1保持於手部20（步驟S208）。
其次，控制裝置70使機械手30動作，將基板1搬送至預先設定之既定場所，並將該基板1載置於既定場所（步驟S209），結束本程式。
以此方式構成之本實施形態1之基板搬送裝置101，在控制裝置70使機械手30動作，以使手部20進入容器102内時，使基板檢測器60之第1投光部61朝向基板1之主面投射光，並藉由基板檢測器60之第1受光部62是否接收到在基板1之主面反射之光，據以判定是否產生了基板1之位置偏移。
如此，即使是在容器102之深處產生基板1之位置偏移之情形時，亦能檢測該位置偏移。
尤其是，在基板1大型化（例如，直徑為30cm），且相鄰之基板1、1間之距離小的情形時（例如，基板1、1間之距離為6～20mm）時，因基板1之位置偏移造成之傾斜角度非常微小。因此，在容器102之前側（接近基板搬送裝置101之側），基板1之外周面（側面），與被正常收納狀態時之位置幾乎沒有變化（參照圖3及圖4）。
因此，如上述專利文獻1所揭露之基板處理裝置般，即使是在容器102之前側部分實施基板1之位置檢測，欲檢測出其位置偏移是非常困難的。
另一方面，如前所述，本實施形態1之基板搬送裝置101，在控制裝置70使手部20進入容器102内時，藉由基板檢測器60之第1受光部62是否接收到在基板1之主面反射之光，據以判定是否產生了基板1之位置偏移。
因此，與上述專利文獻1所揭露之基板處理裝置相較，即使是在容器102之深處產生基板1之位置偏移之情形時，亦能檢測出該位置偏移。
［變形例1］ 其次，一邊參照圖7及圖8、一邊說明本實施形態1之基板搬送裝置101之變形例。
於本實施形態1之變形例1之基板搬送裝置，基板檢測器之第1投光部係朝向下方投射光。
圖7及圖8，係顯示本實施形態1之變形例1之基板搬送裝置之主要部位概略構成的示意圖。圖7，係顯示在基板1是被正常收納在容器102之情形時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光的基板檢測器60。圖8，係顯示在基板1是被正常收納在容器102之情形時，第1受光部62不會接收到在基板1之主面反射之光的基板檢測器60。
又，控制裝置70，與實施形態1同樣的，係藉由作業員之教示、及／或控制裝置70之自動教示，以本體部21之上面位於距基板1之下面預先設定之既定第1距離h1下方之方式，教示基板搬送裝置101之動作。又，將本體部21之上面位於距基板1之下面之第1距離h1下方時，本體部21之下面與位於該本體部21下方之基板1之上面間之距離，定義為第3距離h3。
如圖7及圖8所示，本變形例1之基板搬送裝置101，雖與實施形態1之基板搬送裝置101的基本構成相同，但基板檢測器60之第1投光部61係朝向下方（朝向基板1之上面）投射光之點，是不同的。
圖7中，基板檢測器60，是構成為在基板1是被正常收納於容器102内之情形時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光。基板檢測器60，係構成為基板1之主面位於第3距離h3時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光。
而如圖7之一點鏈線所示，當基板1在容器102之深處（基板搬送裝置101之前側）產生位置偏移時，第1受光部62即無法接收到在基板1之主面反射之光。
另一方面，如圖8所示，基板檢測器60，係構成為在基板1未被正常收納在容器102内之情形時，亦即，在產生位置偏移之情形時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光。換言之，基板檢測器60，係構成為在基板1之主面位於較第3距離h3小之第4距離h4時，第1受光部62會接收到在基板1之主面反射之光。
而如圖8之一點鏈線所示，基板檢測器60，在基板1是被正常收納於容器102内之情形時，第1受光部62無法接收到在基板1之主面反射之光。
以此方式構成之本變形例1之基板搬送裝置101，亦能發揮與實施形態1之基板搬送裝置101相同的作用效果。
（實施形態2） 本實施形態2之基板搬送裝置，係於實施形態1之基板搬送裝置中，具有於水平方向投射光之第2投光部、與接收從第2投光部投射之光之第2受光部的對位裝置，設置在手部之前端部，控制裝置，係從對位裝置取得將第2受光部未檢測到從第2投光部投射之光的位置資訊作為基板之位置資訊，以從對位裝置取得之基板之位置資訊為基礎，使機械手動作，以使手部位於距基板下面預先設定之第1距離下方。
又，於本實施形態2之基板搬送裝置，基板檢測器，在基板之主面位於距離較第1距離小之第2距離時，第1受光部會接收到在基板之主面反射之光，控制裝置，可以是在使機械手動作，以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板之主面投射光，在基板檢測器之第1受光部接收到在基板之主面反射之光之情形時，判定產生了基板之位置偏移。
進一步的，於本實施形態2之基板搬送裝置，基板檢測器在基板之主面位於距離是較第1距離小之第2距離時，第1受光部會接收到在基板之主面反射之光，控制裝置，可以是在使機械手動作，以使手部進入容器内時，使基板檢測器之第1投光部朝向基板之主面投射光，基板檢測器之第1受光部接收不到在基板之主面反射之光之情形時，判定產生了基板之位置偏移。
以下，針對本實施形態2之基板搬送裝置之一例，參照圖9加以說明之。
［基板搬送裝置之構成］ 圖9係以示意方式顯示本實施形態2之基板搬送裝置、及具備其之機器人系統之概略構成的俯視圖。圖9中，係以基板搬送裝置之前後方向作為圖中之前後方向。
如圖9所示，本實施形態2之基板搬送裝置101，其基本構成雖與實施形態1之基板搬送裝置101相同，但在本體部21之前端部設有對位裝置80之點，是不同的。
對位裝置80，具有於水平方向投射光之第2投光部81、與接收從第2投光部81投射之光之第2受光部82。第2投光部81配置在本體部21之指部21A，第2受光部82配置在本體部21之指部21B。換言之，第2投光部81與第2受光部82係對向配置。
又，對位裝置80，係將第2受光部82未檢測到從第2投光部81投射之光之位置資訊作為基板1之位置資訊，輸出至控制裝置70。如此，控制裝置70能更正確的取得基板1之位置資訊。
控制裝置70，以從對位裝置80取得之基板1之位置資訊為基礎，使機械手30動作，以使手部20位於距基板1下面之第1距離h1下方。如此，控制裝置70，與實施形態1之基板搬送裝置101相較，能更正確的，使手部20位於距基板1下面之第1距離h1下方。
又，本實施形態2之基板搬送裝置101之動作，因與實施形態1之基板搬送裝置101之動作相同，故省略其詳細說明。
以此方式構成之本實施形態2之基板搬送裝置101，亦能發揮與實施形態1之基板搬送裝置101相同的作用效果。
（實施形態3） 如圖10及圖11所示，機器人系統200，具備基板搬送裝置201與作為載置台之容器112。於此機器人系統200，藉由在此容器112收納基板1，據以在載置台載置基板1。作為容器112，可以是例如FOUP（Front Opening Unified Pod）、亦可以是石英舟。
圖10之左右方向及上下方向係代表基板搬送裝置201之前後方向及上下方向。此外，圖11之左右方向代表基板搬送裝置201之前後方向。圖11之上下方向中之朝下，代表基板搬送裝置201之左右方向中的朝左。
基板1，例如是半導體基板及玻璃基板等半導體元件之基板。此基板1，例如為圓形薄板。此基板1，具備一對圓形之主面1A、1B、以及主面1A與主面1B之間之外周面1C。此基板1，可以是薄板狀、亦可以是例如多角形薄板。作為半導體基板，可以是例如矽基板、藍寶石（單結晶氧化鋁）基板、及其他各種基板等。作為玻璃基板，例如可以是FPD（Flat Panel Display）用玻璃基板、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）用玻璃基板等。
基板搬送裝置201，具備手部120、機械手30及控制裝置70。基板搬送裝置201，以手部120保持被收納在容器112内之基板1。手部120安裝在機械手30。以此機械手30移動手部120，據以搬送基板1。圖10中，於手部120保持有基板1。
又，以下，作為機械手30，係說明水平多關節機器人之構成。然而，本發明之機械手30不限定於水平多關節機器人。此機械手30，亦可以是以垂直多關節機器人為基礎者。
機械手30，具備複數個臂（此處，為第1臂32及第2臂34）、第1連接部31、第2連接部33、第3連接部35、升降構件40及箱體50。
於箱體50上部，設有升降構件40。升降構件40可相對箱體50移動於上下方向。又，於箱體50之内部配置有直動致動器41及控制裝置70。此外，控制裝置70亦可設置在箱體50之外部。
直動致動器41可使升降構件40升降（能於上下方向移動）。作為直動致動器41，可使用例如驅動馬達（伺服馬達）與滾珠螺稈、線性導件、或齒條與小齒輪等，亦可使用氣壓缸等。
又，亦可於箱體50内部，配置檢測此驅動馬達之旋轉位置並輸出至控制裝置70的旋轉感測器、及檢測控制驅動馬達之旋轉之電流的電流感測器等。
於升降構件40，透過第1連接部31連接有第1臂32之基端部。第1臂32可繞旋轉軸L1旋動。旋轉軸L1，通過升降構件40之軸心延伸於上下方向。於升降構件40，配置有例如用以使第1臂32旋轉的驅動馬達、以及檢測驅動馬達之旋轉位置的旋轉感測器等。又，驅動馬達等亦可配置於第1臂32。
於第1臂32之前端部，透過第2連接部33連接有第2臂34之基端部。第2臂34可繞旋轉軸L2旋轉。旋轉軸L2延伸於上下方向。於第1臂32，配置有例如用以使第2臂34旋轉的驅動馬達、以及檢測驅動馬達之旋轉位置的旋轉感測器等。又，驅動馬達等亦可配置於第2臂34。
於第2臂34之前端部，透過第3連接部35連接有手部120。手部120能繞旋轉軸L3旋轉。旋轉軸L3延伸於上下方向。於第2臂34，配置有例如用以使手部120旋轉的驅動馬達、以及檢測驅動馬達之旋轉位置的旋轉感測器等。又，驅動馬達等亦可配置於手部120。
如圖11所示，手部120具有本體部121及複數個爪部22。本體部121，如圖11所示從上方觀察時形成為大致Y字形，具有一對指部121A、121B。於本體部121之前端部（指部121A、121B之前端部）與基端部，分別設有爪部22。爪部22，從水平方向觀察，形成為L字形（鉛直方向之剖面形成為L字形）。爪部22，其構成為於其底部載置基板1。於此底部載置基板1之主面1A。又，手部120，亦可以是如邊緣抓取式手部或吸附手部般，手部120與基板1不會相對變位的構造。
於指部121A、121B之前端部，分別配置有作為第1基板檢測器之基板檢測器160A。各個基板檢測器160A，於前後方向，彼此配置在相同位置。此基板檢測器160A，係檢測至對向之基板1之主面1A的距離。此基板搬送裝置201，例如，作為基板檢測器160A係使用靜電容感測器。此基板檢測器160A，係檢測在與手部120對向之基板1之主面1A之間產生的靜電容。此基板檢測器160A，可藉由產生之靜電容之變化檢測至主面1A之距離的變化。又，此處，基板檢測器160A雖配置在本體部121之前端部，但亦可配置在本體部121之中間部或基端部。基板檢測器160A，只要是配置在能與基板1之主面1A對向之位置即可。
控制裝置70，雖未圖示，但具備微處理器、CPU等之運算器、以及ROM、RAM等之記憶體。記憶體中，儲存有基本程式、各種固定資料等之資訊。運算器藉由讀出並執行記憶體中儲存之基本程式等之軟體，據以控制機器人系統200之各種動作。
控制裝置70，可由進行集中控制之單一控制裝置70構成。又，控制裝置70，亦可藉由彼此協調動作進行分散控制之複數個控制部構成。此外，控制裝置70可由微電腦構成，亦可由MPU、PLC(Programmable　Logic　Controller)、邏輯電路等構成。
圖12（A）及圖12（B）中，一起顯示了容器112與基板1。容器112具備箱狀之外殼113。於外殼113，形成有開口114、排列於上下方向之複數個槽115。各個槽115，延伸於水平方向。槽115，沿外殼113之内壁延伸。槽115可支承基板1之主面1A之邊緣。
圖12（A）及圖12（B）中，槽115支承基板1之主面1A。藉由此槽115，複數片基板1被保持成主面1A與水平方向平行。如圖12（B）所示，複數片基板1排列於上下方向。圖12（B）中所示之兩箭頭Dp，代表槽115之間隔。於此容器112，複數片基板1於上下方以一定間隔Dp排列。此間隔Dp雖無特別限定，但例如為5mm以上20mm以下。
圖13中顯示了基板1與手部120。雖未圖示，此基板1被保持於容器112之槽115。此基板1，被保持成主面1A與水平方向平行。基板檢測器160A係於上下方向朝上檢測。基板檢測器160A與主面1A對向。基板檢測器160A係電性連接於未圖示之靜電容測定部。此靜電容測定部電性連接於控制裝置70。此基板檢測器160A，係以導電體161連接於靜電容測定部。此導電體161，沿著手部120之本體部121之下面121C延伸。
圖13之雙箭頭ha，代表在上下方向之基板檢測器160A與主面1A間之距離。基板檢測器160A檢測之靜電容，會因此距離ha變化而變化。基板檢測器160A，將所檢測之靜電容輸出至靜電容測定部。靜電容測定部，將根據輸入之靜電容之大小而變化之電壓訊號輸出至控制裝置70。
圖14（A）至圖14（C）中，顯示了收容在容器112之基板1。此基板1之主面1A，與水平方向平行地延伸。此基板1，位於手部21之上方，係最接近手部21之物。圖14（A）顯示手部21之前端部從開口114插入容器112之狀態。圖14（A）中，基板檢測器160A對向於基板1之主面1A。圖14（B）顯示手部21插入容器112深處之狀態。圖14（C）顯示手部21進一步插入容器112更深處之狀態。
圖14（A）至圖14（C）中，基板檢測器160A對向於基板1之主面1A。圖14（A）之雙箭頭ha1，代表於上下方向，基板檢測器160A與基板1之主面1A間之距離。圖14（A）至圖14（C）中，手部120於水平方向移動。圖14（B）及圖14（C）中，基板檢測器160A與基板1之主面1A間之距離亦與圖14（A）之距離ha1相同。
圖15（A）至圖15（C）中，顯示了被收容在容器112中之另一基板1。此基板1之主面1A，從開口114朝向深處向下傾斜延伸。圖15（A）至圖15（C）中，其他部分之構成與圖14（A）至圖14（B）中之該部分相同。圖15（A）中之雙箭頭ha2，代表於上下方向，基板檢測器160A與基板1之主面1A間之距離。圖15（B）之雙箭頭ha3，代表於上下方向，基板檢測器160A與基板1之主面1A間之距離。圖15（C）中之雙箭頭ha4，代表於上下方向，基板檢測器160A與基板1之主面1A間之距離。此距離ha2較距離ha3大，距離ha3較距離ha4大。
圖16（A）至圖16（C），顯示被收容在容器112中之再一另外之基板1。此基板1，呈現彎曲狀態。此基板1之主面1A向下彎曲成凸圓弧狀。圖16（A）至圖16（C）中，其他部分之構成與圖14（A）至圖14（C）中之該部分相同。圖16（A）中之雙箭頭ha5，代表於上下方向，基板檢測器160A與基板1之主面1A間之距離。圖16（B）中之雙箭頭ha6，代表於上下方向，基板檢測器160A與基板1之主面1A間之距離。圖16（C）中之雙箭頭ha7，代表於上下方向，基板檢測器160A與基板1之主面1A間之距離。此距離ha5較距離ha6大，距離ha7較距離ha5小、較距離ha6大。
接著，說明本發明之基板搬送裝置201之運轉方法。
如圖12（A）及圖12（B）所示，準備收容有基板1之容器112（STEP1）。
以基板檢測器160A檢測至基板1之主面1A的距離ha（STEP2）。於此STEP2，手部120從容器112之開口114插入外殼113之内部。如圖14（A）所示，基板檢測器160A對向於基板1之主面1A。基板檢測器160A，將到主面1A之距離ha1作為靜電容加以檢測。
STEP2中，手部120從圖14（A）之狀態經過圖14（B）之狀態移動至圖14（C）之狀態。在此手部120從圖14（A）移動到圖14（C）之狀態之期間，基板檢測器160A將距離ha1作為靜電容加以檢測。檢測出之靜電容被轉換為電壓訊號輸出至控制裝置70。控制裝置70從此電壓訊號求出距離ha1。
控制裝置70，判定是否將此基板1以手部120加以保持（STEP3）。於此STEP3，距離ha1係在預先設定之既定距離範圍内。控制裝置70，決定將此基板1以手部120加以保持。
控制裝置70，使手部120保持基板1（STEP4）。以手部120之爪部22保持基板1。此時，主面1A之邊緣部抵接於爪部22。
以手部120保持之基板1，藉由機械手30搬送至次一工序（STEP5）。
其次，使用從圖15（A）至圖15（C）之狀態之基板1，說明此運轉方法。於此運轉方法之STEP2，在手部120從圖15（A）之狀態移動至圖15（C）之狀態的期間，基板檢測器160A將距離ha作為靜電容加以檢測。從距離ha2朝向距離ha4產生之靜電容會增大。檢測出之靜電容被轉換為電壓訊號輸出至控制裝置70。控制裝置70，從此電壓訊號求出距離ha2、距離ha3及距離ha4。
於STEP3，此距離ha4小，未滿既定距離範圍。控制裝置70，決定不將此基板1以手部120加以保持。手部120回到既定待機位置。控制裝置70，以未圖示之通報裝置，通報作業員等。作為通報裝置，可使用例如顯示器等之顯示裝置、揚聲器、汽笛等。
進一步的，使用圖16（A）至圖16（C）之狀態之基板1，說明此運轉方法。於此運轉方法之STEP2，在手部120從圖16（A）之狀態移動至圖16（C）之狀態的期間，基板檢測器160A將距離ha作為靜電容加以檢測。從距離ha5朝向距離ha6產生之靜電容會增大。從距離ha6朝向距離ha7之途中靜電容達到最大值。之後，朝向距離ha7靜電容會減少。檢測出之靜電容被轉換為電壓訊號輸出至控制裝置70。控制裝置70，從此電壓訊號求出距離ha5、距離ha6及距離ha7。
於STEP3，此距離ha6小，未滿既定距離範圍。控制裝置70，決定不將此基板1以手部120加以保持。手部120，回到既定待機位置。控制裝置70，藉由未圖示之通報裝置，通報作業員等。作為通報裝置，可以使用例如顯示器等之顯示裝置、揚聲器、汽笛等。
此基板搬送裝置201，具備檢測至基板1之主面1A之距離ha的基板檢測器160A。與檢測至主面1A之距離ha是否在既定範圍之檢測器相較，基板檢測器160A能正確地檢測至主面1A之距離ha。
於基板搬送裝置201之運轉方法之STEP2，基板搬送裝置201可一邊移動手部120、一邊求出距離ha之變化。基板搬送裝置201，可在距離ha未滿既定下限值時，停止手部12之移動。此基板搬送裝置201，可將手部120與基板1間之干涉防患於未然。又，在此距離ha達到既定下限值以下時，可以未圖示之通報裝置通報作業員等。此基板搬送裝置201，可容易地確認干涉手部120之基板1。
此基板檢測器160A配置於手部120。手部120，插入基板1間之小間隔Dp。因此，此基板檢測器160A，以小型且輕量者較佳。此基板檢測器160，以薄者較佳。又，此基板檢測器160，以能成形為與手部120之表面形狀相配合之所欲形狀較佳。就此等觀點而言，靜電容感測器是較適合作為基板檢測器160A。
於此運轉方法之STEP2，可在從基板檢測器160A求出之距離ha小於既定下限值時，變更此手部120之移動路徑，以使距離ha大到既定下限值以上。如此，即能將手部120與基板1間之干涉防患於未然。
於此運轉方法之STEP2，基板檢測器160A配置在手部120之前端部。在將手部120整體插入容器112之前，基板檢測器160A可檢測距離ha。如此，可抑制手部120與基板1間之干涉。就此觀點而言，較佳的是，是將基板檢測器160A配置在手部120之前端部。此處所謂的前端部，係指在前後方向將從手部120之本體部121前端到本體部121後端之範圍分成三等份時，最前方之範圍部分。
於此運轉方法之STEP2，最好是判定基板檢測器160A所檢測之靜電容是否在預先設定之既定範圍内。如此，即能檢測基板1之帶電異常。此基板搬送裝置201，可抑制因基板1之帶電異常造成之基板檢測器160A之誤檢測。
此基板搬送裝置201，如圖15（A）至圖15（C）所示，於前後方向，測定距離ha。如此，即能測定基板1之主面1A之前後方向的傾斜。就測定此傾斜之觀點而言，基板檢測器160A，以在前後方向，在2個點以上之複數處測定距離ha較佳，在3個點以上之複數處進行測定更佳。特別是，基板檢測器160A，以在前後方向成連續之線狀的方式測定距離ha較佳。
於此基板搬送裝置201之運轉方法之STEP2，亦可以是判定主面1A之前後方向之傾斜，是否在既定範圍内。如此，即能檢測基板1之姿勢異常。
於此基板搬送裝置201，如圖16（A）至圖16（C）所示，係於前後方向，測定距離ha。如此，即能測定基板1之前後方向之彎曲。就此測定彎曲之觀點而言，基板檢測器160A，以在前後方向，在3點以上之複數處測定距離ha較佳，更佳的是在4點以上之複數處進行測定。特別是，基板檢測器160A，以在前後方向成連續線狀之方式測定距離ha較佳。
於此基板搬送裝置201之運轉方法之STEP2，亦可以是判定主面1A之前後方向之彎曲，是否在既定範圍内。如此，即能檢測基板1之姿勢異常及基板1之形狀異常。
於此運轉方法之STEP2中，藉由測定基板1之傾斜及彎曲，能抑制基板1與手部120間之干涉。能以手部120將基板1以安定之姿勢加以保持。就此等觀點而言，於此運轉方法之STEP2中，控制裝置70，以判定基板1之傾斜及彎曲較佳。
此基板檢測器160A，只要能檢測距離ha之變化即可。此基板檢測器160A，不限定於靜電容感測器。此基板檢測器160A，可以向下檢測之方式配置在手部120。於此基板檢測器160A，可取代基板1之主面1A而檢測至朝向上方之主面1B的距離。可使用此基板檢測器160A，檢測基板1之有無。又，此基板檢測器160A，亦可檢測至手部120所保持之基板1之主面1A的距離ha。如此，有助於基板1之搬送安定性之提升。
由於具備此基板檢測器160A，基板搬送裝置201，可在以手部120保持基板1之前，較先前更正確的檢測基板1之姿勢異常及基板1之形狀異常。由於具備此基板檢測器160A，基板搬送裝置201，能將朝向基板1移動之手部120與基板1間之干涉防患於未然。如此，基板搬送裝置201，可省略基板1之對位動作，或可更為簡略。
此基板檢測器160A雖係配置在本體部121，但亦可是由本體部121之全體或其一部分構成基板檢測器160。例如，可以是由鋁合金構成之本體部121之一部分或全部來作為基板檢測器160。
圖17（A）及圖17（B）中，顯示了本發明之另一基板搬送裝置211之手部212。此基板搬送裝置211，除了取代手部120而具備手部212外，具有與基板搬送裝置201相同之構成。此處，以和基板搬送裝置201相異之構成為主進行說明。針對與基板搬送裝置201相同之構成，則省略其說明。又，與基板搬送裝置201相同之構成，係賦予相同符號進行說明。
手部212，具有本體部213及複數個爪部22。如圖17所示，本體部213，從上方觀察，形成為大致Y字形，具有一對指部213A、213B。在本體部213之前端部（指部213A、213B之前端部）與基端部，分別形成有爪部22。
基板搬送裝置211，除基板檢測器160A外，亦具備作為第2基板檢測器之基板檢測器160F。此基板搬送裝置211，進一步具備複數個基板檢測器160B～160E。此等複數個片基板檢測器160A～160F，配置在本體部213。基板檢測器160A～基板檢測器160F，分別在前後方向配置於相異位置。於指部213A、213B，分別於前後方向排列有基板檢測器160A～基板檢測器160E。於指部213A、213B，於前後方向在相同位置，配置有基板檢測器160A～基板檢測器160E。進一步的，於左右方向，在一對基板檢測器160A之間亦配置有基板檢測器160F。此處，係將基板檢測器160F作為第2基板檢測器。不過，亦可取代此基板檢測器160F，以基板檢測器160B～基板檢測器160E中之任一者作為第2基板檢測器。
於基板搬送裝置211，能以基板檢測器160A～基板檢測器160F同時檢測距離ha。如此，能更正確的掌握基板1之主面1A之形狀。於基板搬送裝置211，能容易的掌握面之傾斜及彎曲。就此觀點而言，基板檢測器160，以在3處以上進行檢測較佳。基板檢測器160，以配置在前後方向相異之2處以上之複數處較佳。同樣的，基板檢測器160，以配置在左右方向之相異3處以上之複數處較佳。
（實施形態4） 圖18中，顯示了本發明之再一另外之基板搬送裝置221之手部222。此基板搬送裝置221，除取代手部120而具備手部222之外，具備與基板搬送裝置201相同之構成。此處，主要說明與基板搬送裝置201相異之構成。針對與基板搬送裝置201相同之構成，則省略其說明。又，與基板搬送裝置201相同之構成係賦予相同符號進行說明。
手部222，具有本體部223及吸附墊224。手部222係吸附手部之一種。雖未圖示，但本體部223與本體部121同樣的，從上方觀察，形成為大致Y字形，具有一對指部223A、223B。於此手部222，以和手部120之爪部22對應之方式，設有4個吸附墊224。作為此吸附墊224，可以是例如真空式吸附墊或柏努利式吸附墊。
此吸附墊224，係藉由使其吸附面整體與基板1之主面1A間之距離均勻，據以發揮高吸附力。高吸附力，有助於基板1之定位精度及搬送安定性之提升。
於此基板搬送裝置221，基板檢測器160A檢測至基板1之主面1A之距離ha。藉由檢測複數處之距離ha，可求出主面1A之傾斜及彎曲。藉由使手部222從此傾斜及彎曲處移至位於吸附墊224能發揮高吸附力之位置，即能以吸附墊224吸附基板1。又，在以吸附墊224吸附基板1之狀態下檢測至基板1之主面1A之距離ha，即能確認是以既定之位置及姿勢吸附基板1。如此，能安定的搬送基板1。
基板搬送裝置211，亦能藉由以複數個基板檢測器160檢測基板1，據以更正確的掌握主面1A之傾斜及彎曲。又，能正確的掌握以手部222保持之基板1之位置。就此等觀點而言，此手部222，以和手部212同樣的，配置有複數個基板檢測器160較佳。
根據上述說明，對此技術領域中具有通常知識者而言，本發明之各種改良或其他實施形態是顯而易見的。因此，上述說明僅應解釋為係一例示，提供之目的係對此技術領域中具有通常知識者教示實施本發明之最佳形態。在不脫離本發明之情形下，可實質變更其構造及／或功能之詳細，此外，可藉由適當組合上述實施形態中所揭露之複數個構成要素，據以形成各種發明。
本發明之基板搬送裝置及其運轉方法，與先前之基板處理裝置相較，能更正確的檢測基板之位置偏移，因此是非常有用的。
1:基板 1A、1B:主面 1C:外周面 20:手部 21:本體部 21A、21B、121A、121B:指部 22:爪部 30:機械手 31:第1連接部 32:第1臂 33:第2連接部 34:第2臂 35:第3連接部 40:升降構件 41:直動致動器 50:箱體 60、160A～160F:基板檢測器 61:第1投光部 62:第1受光部 70:控制裝置 80:對位裝置 81:第2投光部 82:第2受光部 100、200:機器人系統 101、201、221:基板搬送裝置 102、112:容器 113:外殼 114:開口 115:槽 120:手部 121:本體部 161:導電體 212、222:手部 213、213A、213B:指部 223:本體部 223A、223B:指部 224:吸附墊 ha:距離 L1:旋轉軸 L2:旋轉軸 L3:旋轉軸
1:基板
20:手部
21:本體部
22:爪部
30:機械手
31:第1連接部
32:第1臂
33:第2連接部
34:第2臂
35:第3連接部
40:升降構件
41:直動致動器
50:箱體
60:基板檢測器
70:控制裝置
100:機器人系統
101:基板搬送裝置
102:容器
L1:旋轉軸
L2:旋轉軸
L3:旋轉軸

Claims (32)

  1. 一種基板搬送裝置，係從載置基板之載置台保持該基板加以搬送，其具備：保持該基板的手部、安裝有該手部的機械手、配置在該手部用以檢測至載置在該載置台之該基板之主面之距離的第1基板檢測器、以及控制裝置；該控制裝置，在從該第1基板檢測器求得之距離小於既定下限值時，即變更該手部之移動路徑並使該機械手動作，以使至該基板之該主面之距離相距既定下限值以上。
  2. 如請求項1之基板搬送裝置，其中，該第1基板檢測器係靜電容感測器。
  3. 如請求項1或2之基板搬送裝置，其中，該第1基板檢測器配置在該手部之前端部。
  4. 如請求項1或2之基板搬送裝置，其進一步具備第2基板檢測器，此第2基板檢測器配置在該手部於前後方向與該第1基板檢測器不同之位置，用以檢測至該基板之該主面之距離。
  5. 一種基板搬送裝置，係從收納有複數片基板之容器保持並搬送該基板，其特徵在於：該基板搬送裝置，具備保持該基板之手部、機械手、以及控制裝置；於該手部之前端部設有基板檢測器，此基板檢測器具有朝向該基板之主面投射光的第1投光部、與接收在該基板之主面反射之光的第1受光部；該控制裝置，係在使機械手動作以使該手部進入該容器內時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，並藉由該基板檢測器之該第1受光部是否接收到在該基板之主面反射之光，據以判定是否有產生該基板之位置偏移。
  6. 如請求項5之基板搬送裝置，其中，於該手部之前端部設有對位裝置，此對位裝置具有於水平方向投射光的第2投光部、與接收從該第2投光部投射之光的第2受光部；該控制裝置，使該機械手動作，將該第2受光部未檢測從該第2投光部投射之光之位置資訊作為該基板之位置資訊，從該對位裝置取得，以從該對位裝置取得之該基板之位置資訊為基礎，使該手部位於距該基板之下面預先設定之第1距離下方。
  7. 如請求項5或6之基板搬送裝置，其中，該基板檢測器，在該基板被正常收納之狀態下，該第1投光部朝向該基板之主面投射光時，該第1受光部接收在該基板之主面反射之光；該控制裝置，使該機械手動作，以使該手部進入該容器內時，在使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部未接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定產生了該基板之位置偏移。
  8. 如求項7之基板搬送裝置，其中，該控制裝置，在使該機械手動作，以使該手部進入該容器內時，在使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定未產生該基板之位置偏移。
  9. 如請求項5或6之基板搬送裝置，其中，該基板檢測器，在該基板被正常收納之狀態下，該第1投光部朝向該基板之主面投射光時，該第1受光部不接收在該基板之主面反射之光；該控制裝置，使該機械手動作，以使該手部進入該容器內時，在使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該該基板檢測器之該第1受光部接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定產生了該基板之位置偏 移。
  10. 如請求項9之基板搬送裝置，其中，該控制裝置，使該機械手動作，以使該手部進入該容器內時，在使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部未接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定未產生該基板之位置偏移。
  11. 如請求項6之基板搬送裝置，其中，該基板檢測器，在該基板之主面位於較該第1距離小之第2距離時，該第1受光部接收在該基板之主面反射之光；該控制裝置，使該機械手動作，以使該手部進入該容器內時，在使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定產生了該基板之位置偏移。
  12. 如請求項11之基板搬送裝置，該控制裝置，使該機械手動作，以使該手部進入該容器內時，在使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部未接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定未產生該基板之位置偏移。
  13. 如請求項5或6之基板搬送裝置，其中，該基板檢測器之該第1投光部，係朝向上方投射光。
  14. 如請求項5或6之基板搬送裝置，其中，該基板檢測器之該第1投光部，係朝向下方投射光。
  15. 如請求項5或6之基板搬送裝置，其中，該控制裝置，在判定產生了該基板之位置偏移之情形時，即停止該機械手之動作。
  16. 如請求項5或6之基板搬送裝置，其中，該控制裝置，在判定產生了該基板之位置偏移之情形時，即使該機械手動作，以使該手部從該容器退避。
  17. 一種基板搬送裝置之運轉方法，該基板搬送裝置具備保持基板的手部、安裝有該手部的機械手、以及配置在該手部用以檢測至該基板之主面之距離的第1基板檢測器，其包含：(A)準備載置於載置台之該基板的工序、(B)檢測至載置於載置台之該基板之該主面之距離的工序以及(C)以該手部保持該基板的工序；於該工序(B)，在從該第1基板檢測器求得之距離小於既定下限值時，即變更該手部之移動路徑，以使至該基板之該主面之距離相距既定下限值以上。
  18. 如請求項17之基板搬送裝置之運轉方法，其於該工序(B)，在3處以上檢測至該基板之該主面之距離；並進一步包含(D)根據在3處以上檢測之至該基板之該主面之距離，判定是否以該手部保持該基板的工序。
  19. 如請求項17或18之基板搬送裝置之運轉方法，其於該工序(B)，在3處以上檢測至該基板之該主面之距離；並進一步包含(E)根據在3處以上檢測之至該基板之該主面之距離，判定保持該基板之位置的工序。
  20. 如請求項17或18之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該第1基板檢測器係靜電容感測器：於該工序(B)，判定該基板之靜電容是否在既定範圍內。
  21. 一種基板搬送裝置之運轉方法，該基板搬送裝置係從收納有複數片基板之容器保持並搬送該基板，其特徵在於：該基板搬送裝置，具備保持該基板之手部、機械手、以及控制裝置；於該手部之前端部設有基板檢測器，該基板檢測器具有朝向該基板之主面 投射光的第1投光部、以及接收在該基板之主面反射之光的第1受光部；該控制裝置，使機械手動作，以使該手部進入該容器內時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，並根據該基板檢測器之該第1受光部是否接收到在該基板之主面反射之光，據以判定是否產生了該基板之位置偏移。
  22. 如請求項21之基板搬送裝置之運轉方法，其中，具有於水平方向投射光之第2投光部、以及接收從該第2投光部投射之光之第2受光部的對位裝置，係設在該手部之前端部；該控制裝置，使該機械手動作，將該第2受光部未檢測從該第2投光部投射之光之位置資訊作為該基板之位置資訊，從該對位裝置取得，以從該對位裝置取得之該基板之位置資訊為基礎，使該手部位於距該基板之下面預先設定之第1距離下方。
  23. 如請求項21或22之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該基板檢測器，當在該基板被正常收納之狀態下，該第1投光部朝向該基板之主面投射光時，該第1受光部接收在該基板之主面反射之光；該控制裝置，在使該機械手動作以使該手部進入該容器內時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部未接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定產生了該基板之位置偏移。
  24. 如請求項23之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該控制裝置，在使該機械手動作以使該手部進入該容器內時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定未產生該基板之位置偏移。
  25. 如請求項21或22之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該基板檢測器，在該基板被正常收納之狀態下，當該第1投光部朝向該基板之主面投射 光時，該第1受光部不接收在該基板之主面反射之光；該控制裝置，在使該機械手動作以使該手部進入該容器內時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定產生了該基板之位置偏移。
  26. 如請求項25之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該控制裝置，在使該機械手動作以使該手部進入該容器內時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部未接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定未產生該基板之位置偏移。
  27. 如請求項22之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該基板檢測器，在該基板之主面位在較該第1距離小之第2距離時，該第1受光部接收在該基板之主面反射之光；該控制裝置，在使該機械手動作以使該手部進入該容器內時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定產生了該基板之位置偏移。
  28. 如請求項27之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該控制裝置，在使該機械手動作以使該手部進入該容器內時，使該基板檢測器之該第1投光部朝向該基板之主面投射光，而該基板檢測器之該第1受光部未接收到在該基板之主面反射之光之情形時，即判定未產生該基板之位置偏移。
  29. 如請求項21或22之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該基板檢測器，係該第1投光部朝向上方投射光。
  30. 如請求項21或22之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該基板檢測器，係該第1投光部朝向下方投射光。
  31. 如請求項21或22之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該控制裝置，在判定產生了該基板之位置偏移之情形時，使該機械手之動作停止。
  32. 如請求項21或22之基板搬送裝置之運轉方法，其中，該控制裝置，在判定產生了該基板之位置偏移之情形時，以該手部從該容器退避之方式使該機械手動作。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020000580A (ja) * 2018-06-29 2020-01-09 株式会社三洋物産 遊技機
JP2020000578A (ja) * 2018-06-29 2020-01-09 株式会社三洋物産 遊技機
JP2020000579A (ja) * 2018-06-29 2020-01-09 株式会社三洋物産 遊技機
JP2020000577A (ja) * 2018-06-29 2020-01-09 株式会社三洋物産 遊技機
WO2022051751A1 (en) * 2020-09-01 2022-03-10 Persimmon Technologies Corporation Material-handling robot with magnetically guided end-effectors
JP7610939B2 (ja) * 2020-09-04 2025-01-09 川崎重工業株式会社 ロボット及びハンド部姿勢調整方法
JP7519243B2 (ja) * 2020-09-10 2024-07-19 東京エレクトロン株式会社 搬送装置及び搬送方法
JP7664063B2 (ja) * 2021-03-19 2025-04-17 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板搬送装置および基板搬送方法
JP7779661B2 (ja) * 2021-03-19 2025-12-03 川崎重工業株式会社 ウエハ搬送ロボット及びウエハ取出方法
KR102760975B1 (ko) * 2023-02-20 2025-02-04 주식회사 알씨테크 케미컬 공급 장치 및 이를 포함하는 케미컬 공급 시스템
CN120898285A (zh) 2023-04-14 2025-11-04 东京毅力科创株式会社 处理系统
JP2025047268A (ja) * 2023-09-21 2025-04-03 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板搬送装置および基板処理装置
JP2025087429A (ja) * 2023-11-29 2025-06-10 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05343499A (ja) * 1992-06-11 1993-12-24 Tokyo Electron Tohoku Ltd 被処理物の移載装置およびその駆動方法
TW200418701A (en) * 2002-10-08 2004-10-01 Brooks Automation Inc Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation
JP2005136280A (ja) * 2003-10-31 2005-05-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 搬送装置
TW201100314A (en) * 2009-04-13 2011-01-01 Hirata Spinning Substrate carrier measuring jig, collision preventing jig, and collision preventing method using the collision preventing jig
TW201614761A (en) * 2014-07-18 2016-04-16 Screen Holdings Co Ltd Substrate processing apparatus and substrate processing method

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5343499A (en) * 1976-10-01 1978-04-19 Mitsubishi Electric Corp Smoke detector
KR940006241A (ko) * 1992-06-05 1994-03-23 이노우에 아키라 기판이재장치 및 이재방법
JPH07335718A (ja) * 1994-06-07 1995-12-22 Hitachi Ltd ウエハキャリア装置
JPH08335622A (ja) * 1995-06-07 1996-12-17 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置
JPH11139559A (ja) * 1997-11-05 1999-05-25 Jeol Ltd ウェハ搬送装置
JP2002270674A (ja) * 2001-03-14 2002-09-20 Disco Abrasive Syst Ltd 搬出装置
JP2003060011A (ja) * 2001-08-08 2003-02-28 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置及び基板処理システム
JP4471704B2 (ja) * 2003-06-13 2010-06-02 大日本スクリーン製造株式会社 基板検出装置、基板検出方法、基板搬送装置および基板搬送方法、基板処理装置および基板処理方法
US9691651B2 (en) * 2005-01-28 2017-06-27 Brooks Automation, Inc. Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation
JP2005142245A (ja) * 2003-11-05 2005-06-02 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
US7387484B2 (en) * 2005-12-21 2008-06-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Wafer positioning systems and methods thereof
JP2009028863A (ja) * 2007-07-27 2009-02-12 Ihi Corp 非接触搬送装置
JP2009076875A (ja) * 2007-08-30 2009-04-09 Fujitsu Microelectronics Ltd 半導体ウェーハ搬送装置及びその駆動ユニット
KR101218112B1 (ko) * 2007-12-05 2013-01-21 히라따기꼬오 가부시키가이샤 기판 반송 장치 및 기판 반송 장치의 제어 방법
JP2010278044A (ja) * 2009-05-26 2010-12-09 Nikon Corp 基板搬送装置
KR101220424B1 (ko) 2010-08-12 2013-01-10 백재호 인양식 수문
JP2012059951A (ja) * 2010-09-09 2012-03-22 Daihen Corp 基板搬送ロボット
JP5447431B2 (ja) * 2011-05-09 2014-03-19 株式会社安川電機 ロボットシステム
JP6040883B2 (ja) * 2012-12-25 2016-12-07 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体
JP6073691B2 (ja) * 2013-01-15 2017-02-01 日本特殊陶業株式会社 搬送装置及び搬送用部材
JP5997390B2 (ja) * 2013-09-11 2016-09-28 平田機工株式会社 検査方法及び検査装置
JP6305272B2 (ja) * 2014-08-14 2018-04-04 株式会社ディスコ 搬送装置
JP6415220B2 (ja) * 2014-09-29 2018-10-31 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
KR20160055010A (ko) * 2014-11-07 2016-05-17 삼성전자주식회사 웨이퍼 이송 로봇 및 그 제어 방법
KR101548920B1 (ko) * 2014-11-19 2015-09-01 주식회사 톱텍 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법
JP6486779B2 (ja) * 2015-06-24 2019-03-20 株式会社ディスコ 搬送装置
WO2017179296A1 (ja) * 2016-04-14 2017-10-19 三菱電機株式会社 基板保持装置
US10867824B2 (en) * 2018-05-29 2020-12-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Substrate detecting system in a substrate storage container
JP7336877B2 (ja) * 2019-05-21 2023-09-01 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板処理方法
JP2021048322A (ja) * 2019-09-19 2021-03-25 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板搬送装置および基板搬送方法
JP7664063B2 (ja) * 2021-03-19 2025-04-17 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板搬送装置および基板搬送方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05343499A (ja) * 1992-06-11 1993-12-24 Tokyo Electron Tohoku Ltd 被処理物の移載装置およびその駆動方法
TW200418701A (en) * 2002-10-08 2004-10-01 Brooks Automation Inc Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation
JP2005136280A (ja) * 2003-10-31 2005-05-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 搬送装置
TW201100314A (en) * 2009-04-13 2011-01-01 Hirata Spinning Substrate carrier measuring jig, collision preventing jig, and collision preventing method using the collision preventing jig
TW201614761A (en) * 2014-07-18 2016-04-16 Screen Holdings Co Ltd Substrate processing apparatus and substrate processing method

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