TWI786473B - 運動載體即時監控系統 - Google Patents
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Abstract
一種運動載體即時監控系統包括感測器、信號轉換器、無線發射模組、電源供應模組、分析處理器與資料庫。感測器用以感測運動載體之運動狀態訊號。信號轉換器接收感測器所傳送之運動狀態訊號並且將運動狀態訊號進行處理且轉換為一已處理的運動狀態訊號。無線發射模組接收來自信號轉換器所傳送之已處理的運動狀態訊號並且將已處理的運動狀態訊號透過網際網路傳送至遠端。電源供應模組用以提供電源能量。分析處理器透過網際網路接收已處理的運動狀態訊號並且予以進行分析，進而遠端即時監控運動載體是否出現異常。
Description
一種即時監控系統，尤指一種關於運動載體之即時監控系統。
近年來，半導體積體電路(semiconductor integrated circuits)經歷了指數級的成長。在積體電路材料以及設計上的技術進步下，產生了多個世代的積體電路，其中每一世代較前一世代具有更小更複雜的電路。在積體電路發展的過程中，當幾何尺寸(亦即，製程中所能產出的最小元件或者線)縮小時，功能密度(亦即，每一晶片區域所具有的互連裝置的數目)通常會增加。一般而言，此種尺寸縮小的製程可以提供增加生產效率以及降低製造成本的好處，然而，此種尺寸縮小的製程亦會增加製造與生產積體電路的複雜度。
積體電路，是藉由一系列的半導體製造機台(簡稱為製造機台)處理晶圓而產出。每個製造機台通常是依據一預先定義或預先決定的製程程式(process recipe)，在晶圓上執行一積體電路製造工作(又稱為一製造流程(manufacturing process)或製程)，其中上述製程程式界定上述製程的各種參數。例如，積體電路製造通常使用需要多個在生產上和支援上相關的製造機台來完成多道製程，而積體電路製造者需要關注於監測每一製造機台的硬體及相關聯的製程，以確認及維持積體電路製造的穩定性、可重複性及良率。此種機台監測可藉由一分析設備來完成，其在製程中監測製造機台，並識別出發生於上述製造機台且可能造成製程偏離原本預期狀況的錯誤。雖然目前現有的製造機台的狀況監控方法及系統已經足以達成其目標，但這些方法及系統不能在各方面令人滿意。
隨著機械化程度的不斷發展，很多機構件都逐步代替人工執行著各種動作，從而可實現自動化的生產。並且，相對於人工作業，採用機構件進行操作具有更高的精度，因此，對於一些要求高精度的場合而言，機構件更是不二的選擇。然而，隨著機構件的長時間使用，很容易出現機構件或部件損壞的問題，從而對機構件的精度造成影響，進而可能導致所述機構件在作業過程中撞傷其他工件的問題，因此，機構件的精度確認至關重要。
按，目前既有運動載體的異常偵測仍是以人工為主，以螺桿為例，因運動時造成的磨損，將造成滑台與螺桿間空隙增加，而降低其定位的精準度與穩定度，檢測時通常以人工(老師傅)的經驗，以聽音辨識的方式，判斷運作是否正常，但通常機構異音可被人工辨識時，其損耗已達相當程度，甚至幾近故障。是以，如何解決上述現有技術之問題與缺失，即為相關業者所亟欲研發之課題所在。
本發明提出一種運動載體即時監控系統，可即時得知運動載體之運動狀態以掌握運動載體健康狀態與衰減趨勢。
本發明提供一種運動載體即時監控系統，用以即時監控一運動載體之運動載體即時監控系統包括感測器、信號轉換器、無線發射模組、電源供應模組、分析處理器與資料庫。信號轉換器電性連接至感測器。無線發射模組電性連接至信號轉換器。電源供應模組電性連接感測器、信號轉換器與無線發射模組。感測器用以感測運動載體之運動狀態訊號。資料庫連接至分析處理器。信號轉換器接收感測器所傳送之運動狀態訊號並且將運動狀態訊號進行處理且轉換為一已處理的運動狀態訊號。無線發射模組接收來自信號轉換器所傳送之已處理的運動狀態訊號並且將已處理的運動狀態訊號透過網際網路傳送至遠端。電源供應模組用以提供電源能量。分析處理器透過網際網路接收已處理的運動狀態訊號並且予以進行分析，進而遠端即時監控運動載體是否出現異常。資料庫儲存著運動載體正常運作狀態之一標準訊號。分析處理器從資料庫中取得標準訊號，並且將已處理的運動狀態訊號與標準訊號進行比對，以即時判斷運動載體是否出現異常，其中運動載體為一螺桿類運動載體或一非螺桿類運動載體。
在本發明之一實施例中，如果運動載體為非螺桿類運動載體，則電源供應模組以電池方式提供電源能量。
在本發明之一實施例中，如果運動載體為該螺桿類運動載體，則電源供應模組以電磁感應發電方式提供電源能量。
在本發明之一實施例中，分析處理器具有一無線接收模組，以接收該已處理的運動狀態訊號。
在本發明之一實施例中，該運動狀態訊號包括但不限於振動訊號、電流訊號、扭力訊號與溫度訊號。
綜上所述，本發明提出一種運動載體即時監控系統，具有以下效果：
1. 可掌握運動載體之健康狀態與衰減趨勢
2. 減少故障排除與維修時間
3. 有效減少生產成本。
底下藉由具體實施例詳加說明，當更容易瞭解本發明之目的、技術內容、特點及其所達成之功效。
為能解決現有運動載體的故障異常問題，發明人經過多年的研究及開發，據以改善現有產品的詬病，後續將詳細介紹本發明如何以一種運動載體即時監控系統來達到最有效率的功能訴求。
以下揭露之實施方式或實施例是用於說明或完成本發明之多種不同技術特徵，所描述之元件及配置方式的特定實施例是用於簡化說明本發明，使揭露得以更透徹且完整，以將本揭露之範圍完整地傳達予同領域熟悉此技術者。當然，本揭露也可以許多不同形式實施，而不局限於以下所述之實施例。
隨著機械化程度的不斷發展，很多機構件都逐步代替人工執行著各種動作，從而可實現自動化的生產。並且，相對於人工作業，採用機構件進行操作具有更高的精度，因此，對於一些要求高精度的場合而言，機構件更是不二的選擇。然而，隨著機構件的長時間使用，很容易出現機構件或部件損壞的問題，從而對機構件的精度造成影響，進而可能導致所述機構件在作業過程中撞傷其他工件的問題，因此，機構件的精度確認至關重要。
請參閱第一圖，第一圖係為本發明的運動載體即時監控系統之示意圖。如圖1所示，本發明實施例之運動載體即時監控系統包括感測器110、信號轉換器120、無線發射模組130、電源供應模組160、分析處理器150與資料庫150。信號轉換器120電性連接至感測器110。無線發射模組130電性連接至信號轉換器120。電源供應模組160電性連接感測器110、信號轉換器120與無線發射模組130。資料庫150連接至分析處理器140。需要注意的是，本發明實施例之運動載體即時監控系統100是將感測器110、信號轉換器120、無線發射模組130與電源供應模組160整合成一整個模組，放置於運動載體MR上。
目前既有運動載體的異常偵測仍是以人工為主，以螺桿為例，因運動時造成的磨損，將造成滑台與螺桿間空隙增加，而降低其定位的精準度與穩定度，檢測時通常以人工(老師傅)的經驗，以聽音辨識的方式，判斷運作是否正常，但通常機構異音可被人工辨識時，其損耗已達相當程度，甚至幾近故障。因此，本發明實施例提出一個運動載體即時監控系統100以解決上述問題。進一步來說，在本發明之運動載體即時監控系統100中，會使用感測器110來即時感測運動載體MR之運動狀態訊號MS，其中運動狀態訊號包括但不限於振動訊號、電流訊號、扭力訊號與溫度訊號。接下來，信號轉換器120接收感測器110所傳送之運動狀態訊號並且將運動狀態訊號MS進行處理且轉換為一已處理的運動狀態訊號AMS，也就是說信號轉換器120會將運動狀態訊號MS進行降噪或其它必要訊號處理作業。之後，無線發射模組130會接收來自信號轉換器120所傳送之已處理的運動狀態訊號AMS，並且無線發射模組130會將已處理的運動狀態訊號AMS透過網際網路傳送至遠端，以讓遠端的設備或操作人員能夠即時分析且監控運動載體MR。
接下來，分析處理器140透過網際網路接收已處理的運動狀態訊號AMS並且予以進行分析，進而遠端即時監控運動載體MR是否出現異常。資料庫150會儲存著運動載體MR正常運作狀態之標準訊號，所以，分析處理器140從資料庫150中取得標準訊號，並且將已處理的運動狀態訊號AMS與標準訊號進行比對，以即時判斷運動載體MR是否出現異常，其中運動載體MR為一螺桿類運動載體或一非螺桿類運動載體，並且電源供應模組160用以提供電源能量。需要了解的是，在實際的狀況中，分析處理器140具有一無線接收模組(圖未示)以接收已處理的運動狀態訊號AMS。
在一實施例中，如果運動載體MR為非螺桿類運動載體，則電源供應模組160以電池方式提供電源能量；在另一實施例中，如果運動載體MR為螺桿類運動載體，則電源供應模組160以電磁感應發電方式提供電源能量。
綜上所述，本發明所提出之一種運動載體即時監控系統，具有以下功效：
1. 可掌握運動載體之健康狀態與衰減趨勢
2. 減少故障排除與維修時間
3. 有效減少生產成本。
唯以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，並非用來限定本發明實施之範圍。故即凡依本發明申請範圍所述之特徵及精神所為之均等變化或修飾，均應包括於本發明之申請專利範圍內。
100:運動載體即時監控系統
110:感測器
120:信號轉換器
130:無線發射模組
140:分析處理器
150:資料庫
160:電源供應模組
MR:運動載體
MS:運動狀態訊號
AMS:已處理之運動狀態訊號
第一圖係為本發明的運動載體即時監控系統之示意圖。
100:運動載體即時監控系統
110:感測器
120:信號轉換器
130:無線發射模組
140:分析處理器
150:資料庫
160:電源供應模組
MR:運動載體
MS:運動狀態訊號
AMS:已處理之運動狀態訊號
Claims (4)
- 一種運動載體即時監控系統，用以即時監控一運動載體，該運動載體即時監控系統包括：一感測器，用以感測該運動載體之一運動狀態訊號，該運動狀態訊號包括振動訊號、電流訊號、扭力訊號與溫度訊號；一信號轉換器，電性連接至該感測器，該信號轉換器接收該感測器所傳送之該運動狀態訊號並且將該運動狀態訊號進行處理且轉換為一已處理的運動狀態訊號；一無線發射模組，電性連接至該信號轉換器，該無線發射模組接收來自該信號轉換器所傳送之該已處理的運動狀態訊號並且將該已處理的運動狀態訊號透過一網際網路傳送至遠端；一電源供應模組，電性連接該感測器、該信號轉換器與該無線發射模組且用以提供電源能量；一分析處理器，透過該網際網路接收該已處理的運動狀態訊號並且予以進行分析，進而遠端即時監控該運動載體是否出現異常；以及一資料庫，連接至該分析處理器，該資料庫儲存著該運動載體正常運作狀態之一標準訊號，其中該分析處理器從該資料庫中取得該標準訊號，並且將該已處理的運動狀態訊號與該標準訊號進行比對，以即時判斷該運動載體是否出現異常，其中該運動載體為一螺桿類運動載體或一非螺桿類運動載體。
- 如請求項1所述之運動載體即時監控系統，其中如果該運動載體為該非螺桿類運動載體，則該電源供應模組以電池方式提供電源能量。
- 如請求項1所述之運動載體即時監控系統，其中如果該運動載體為該螺桿類運動載體，則該電源供應模組以電磁感應發電方式提供電源能量。
- 如請求項1所述之運動載體即時監控系統，其中該分析處理器具有一無線接收模組，以接收該已處理的運動狀態訊號。
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- 2020-11-24 TW TW109141150A patent/TWI786473B/zh active
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