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TWI773033B - 有機發光顯示裝置以及其製造方法 - Google Patents

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TWI773033B
TWI773033B TW109145094A TW109145094A TWI773033B TW I773033 B TWI773033 B TW I773033B TW 109145094 A TW109145094 A TW 109145094A TW 109145094 A TW109145094 A TW 109145094A TW I773033 B TWI773033 B TW I773033B
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金泓植
李敏職
韓Ｙ
曺姃鈺
崔光賢
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南韓商樂金顯示科技股份有限公司
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Abstract

一種有機發光顯示裝置，包含透明底座件、觸控感測器、黑矩陣、色彩過濾器、第一緩衝層、薄膜電晶體以及有機發光件。觸控感測器包含觸控電極及觸控保護層。觸控電極設置於透明底座件的上方。觸控保護層遮蓋觸控電極。黑矩陣設置於觸控感測器的上方或下方。黑矩陣定義出開口區域。色彩過濾器與黑矩陣設置在同一個平面上。色彩過濾器對應開口區域。第一緩衝層設置於觸控感測器與色彩過濾器當中較為上方者的上方。薄膜電晶體設置於第一緩衝層的上方。有機發光件設置於薄膜電晶體的上方。有機發光件對應開口區域。

Description

有機發光顯示裝置以及其製造方法
本發明涉及一種有機發光顯示裝置，特別是一種包含色彩過濾器與觸控感測器的底部發光型有機發光顯示裝置及其製造方法。
有機發光顯示裝置(organic light emitting display device, OLED)與包含背光的液晶顯示裝置(liquid crystal display device, LCD)不相同之處在於不需要獨立的光源。因此，有機發光顯示裝置可被製造成輕薄、具有製程優勢且因低電壓驅動而具有低功耗。首先，有機發光顯示裝置包含自發光元件並且包含由有機薄膜所形成的層體，使得可撓性與彈性優於其他顯示裝置，因而有利於被實現成可撓性顯示裝置。
一般來說，有機發光顯示裝置係為使用有機發光件的顯示裝置，於有機發光件中，來自用於注入電子的陰極和來自用於注入電洞的陽極的電子和電洞被注入到發光層中，且藉由耦合經注入的電子和電洞所形成的激子從激發態下降到基態以發光。
同時，近來有機發光顯示裝置形成為一個包含有觸控螢幕面板的觸控螢幕集成顯示裝置，其中觸控螢幕面板用來辨識使用者的觸控行為。具體來說，隨著例如為智慧型電話或平板電腦等具有觸控輸入功能的電子裝置被廣泛地使用，能夠感測各種觸控輸入的顯示裝置的需求增加。然而在許多情況下，觸控螢幕面板係藉由黏著劑貼附在顯示裝置的前表面。在此情況下，觸控螢幕面板係被獨立地製造，以被貼附到顯示面板的前表面，而需要增加貼附製程，這增加了製程的複雜度和成本。
同時，一般來說有機發光顯示裝置包含陽極、陰極以及設置在它們之間的有機發光層。然而，陰極係藉由使用具有高反射率的金屬材料所形成，使得外部光會被金屬材料所反射，而劣化反射可見度和對比度。因此，為了減少外部光的反射，在遮蓋件的下方會設置有偏振片以吸收外部光。偏振片係為具有預設透光率的薄膜，並吸收外部光與外部光的反射光以抑制對比度的劣化。然而，偏振片為昂貴的物件且具有相對較大的厚度，使得其不適合用來減少厚度。再者，偏振片還存在著會部分吸收來自有機發光層所發射的光而使發光效率劣化的問題。
首先，本發明提供一種有機發光顯示裝置，其應用一種集成有一色彩過濾器以及一黑矩陣的抗反射層來取代偏振片，以解決顯示裝置因偏振片而導致的成本增加與厚度增加的問題。具有上述結構的抗反射層比偏振片薄，而適用於各種類型的有機發光顯示裝置，例如彎曲有機發光顯示裝置或可折疊有機發光顯示裝置。
接著，為了在將獨立的觸控螢幕面板貼附到顯示裝置時，改善顯示裝置的成本增加與厚度增加，本發明的發明人曾考慮過一種方法，此方法藉由在用於保護有機發光件的封裝層上直接形成觸控電極而在有機發光顯示裝置中形成觸控感測器。
然而，本發明的發明人認知到，當上述集成有色彩過濾器與黑矩陣的抗反射層和觸控感測器形成在有機發光件的上方時，色彩過濾器與觸控感測器的性能和耐用度會有不足的情形。具體來說，由有機材料和無機材料所形成的色彩過濾器與觸控感測器在形成的製程係期望在高溫下進行。然而，位於色彩過濾器與觸控感測器下方的有機發光件易受高溫影響，使得當色彩過濾器與觸控感測器經由高溫製程所形成時，有機發光件可能會受損。因此，為了保護有機發光件，當色彩過濾器與觸控感測器經由低溫製程所形成時，配置有色彩過濾器與觸控感測器的有機層會破裂或受損，而使得耐用度大幅地劣化。
因此，本發明的發明人提供一種具有新結構的有機發光顯示裝置，其在顯示裝置中形成偏振片與觸控感測器，藉以在減少整個顯示裝置厚度的同時改善耐用度與發光效率。
因此，本發明的實施例係針對一種有機發光顯示裝置與其製造方法，實質上弭除一或多個因現有技術的限制和缺點所導致的問題。
本發明所要達成的一個目標係為提供一種有機發光顯示裝置，在顯示裝置中形成包含有黑矩陣與色彩過濾器的抗反射層，以及觸控感測器，藉以改善反射可見度並在減少整個厚度的同時實現觸控功能。
本發明所要達成的另一個目標係為提供一種有機發光顯示裝置，在這種有機發光顯示裝置中，不僅是有機發光件的耐用度和可靠度，連同抗反射層和觸控感測器的耐用度和可靠度也會一併改善。
本發明所要達成的再另一個目標係為提供一種有機發光顯示裝置的製造方法，其簡化有機發光顯示裝置的整個製程，並且減少製程成本。
附加的特徵與態樣將在下文中闡述，並其部分將會從描述中顯而易見，或可透過實踐本文提供的發明概念來獲知。本發明概念的其他特徵與態樣可透過在書面描述中特別指出的結構或其衍生物，連同請求項與附加圖式，來理解與獲知。
為了達到本發明概念的這些及其他態樣，如具體實現與廣泛描述，一種有機發光顯示裝置包含：一透明底座件、一觸感測器、一黑矩陣、多個色彩過濾器、一第一緩衝層、一薄膜電晶體以及一有機發光件。觸控感測器包含一觸控電極以及一觸控保護層。觸控電極設置於透明底座件的上方。觸控保護層遮蓋觸控電極。黑矩陣設置於觸控感測器的上方或下方，且黑矩陣定義出多個開口區域。色彩過濾器與黑矩陣設置在同一個平面上，且色彩過濾器對應開口區域。第一緩衝層設置於觸控感測器與色彩過濾器當中較為上方一者的上方。薄膜電晶體設置於第一緩衝層的上方。有機發光件設置於薄膜電晶體的上方，且有機發光件對應開口區域。
在另一態樣中，一種有機發光顯示裝置的製造方法包含：在一載體玻璃基板的上方形成一黑矩陣、多個色彩過濾器以及一觸控感測器；在色彩過濾器與觸控感測器的上方形成一第一緩衝層；在第一緩衝層的上方形成一薄膜電晶體；形成一平坦化層以遮蓋薄膜電晶體；在平坦化層的上方形成一有機發光件，其中有機發光件包含一陽極、一有機發光層以及一陰極；以及在有機發光件的上方形成一封裝層。
實施方式與圖式中包含有示例性實施例的其他詳細事項。
根據本發明，作為抗反射層的黑矩陣與色彩過濾器以及觸控感測器形成於顯示裝置內，以改善反射可見度、實現觸控功能並且減少有機發光顯示裝置的整體厚度。
根據本發明，不僅是有機發光件的耐用度與可靠度得到改善，連帶抗反射層與觸控感測器的耐用度與可靠度也一併得到改善。
根據本發明，可提供一種具有減少製程步驟與製程成本的有機發光顯示裝置的製造方法。
以上關於本發明內容的說明及以下實施方式的說明係用以示範與解釋本發明的原理，並且提供本發明的專利申請範圍更進一步的解釋。
本發明的優點與特徵，以及達成此優點與特徵的方法，將藉由參照以下對示例性實施例的實施方式，連同附加圖式，而變得清楚。然而，本發明不限於這些於此所揭露的示例性實施例，而是將以各種形式實現。這些示例性實施例僅是以舉例的方式來被提供，使得本領域技術人員可全然理解本發明的揭露內容與範圍。因此，本發明將僅由所附的專利範圍來定義。
在附加圖式中，用來描述本發明示例性實施例的形狀、尺寸、比例、角度、數量等等僅為舉例，本發明不以此為限。在通篇說明書中，相似的參考標號通常表示相似的元件。再者，在本發明以下的描述中，可能會省略相關技述中已知的實施方式，以避免本發明的主題被不必要地模糊。於此所使用的用語，諸如「包含」、「具有」以及「由…組成」通常旨於允許增加其他元件，除非這些用語連同著「僅」這個用語一起使用。任何對單數的提及，除非另有說明，否則皆應包含複數的狀況。
即使未說明，元件亦被解釋成包含通常的誤差範圍。
當兩個部件之間的位置關係用「上」、「上方」、「下」以及「下方」等用語來描述時，除非連同使用「立即」或「直接」等用語，否則應可有一或多個部件位於此兩個部件之間。
當一個元件或層體被設置在另一個元件或層體「上」時，還可有額外的層體或元件直接置於它們之上或之間。
雖然「第一」、「第二」等用語係使用來描述各種元件，但這些元件不侷限於這些用語。這些用語僅用來將一個元件區隔於其他的元件。因此，以下將提及的第一元件可在本發明的技術概念中為第二元件。
相似的參考標號在通篇說明書中通常表示相似的元件。
在圖式中所描繪之每一個元件的尺寸與厚度係為了便於表示而繪製成，並且本發明不限於所描繪元件之尺寸與厚度。
本發明各種實施例的特徵可部分或全部地彼此附加或結合，並且可在各種方式上技術性地互相連結與操作，而且各種實施例可獨立地或彼此關聯地執行。
以下，將參照附加圖式詳細地描述根據本發明示例性實施例的顯示裝置。
圖1係用於解釋根據本發明之一示例性實施例的有機發光顯示裝置的分解示意圖。圖2係沿圖1之I-I’切線的剖面示意圖。
參照圖1與圖2，有機發光顯示裝置100包含一透明底座件、一黑矩陣BM、多個色彩過濾器120、一觸控感測器130、一有機發光件150以及一封裝層160。
根據本發明之一示例性實施例的有機發光顯示裝置100可配置成底部發光型。亦即，有機發光顯示裝置100可對透明底座件的背面發光。根據底部發光型，從有機發光件150發出的光會射向透明底座件的下部，並且有機發光件150係形成在透明底座件的下部上。在底座發光型的情況下，為了使得從有機發光件150發出的光行進到透明底座件的下部，陽極152可由透明導體材料形成，而陰極156可由具高反射率的金屬材料形成，這將於下文描述。
參照圖1，透明底座件係為支撐並保護有機發光顯示裝置100之數個元件的基板。根據本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置100係為底部發光型，因此為了讓光線向下行進，可使透明底座件由具有透明度的絕緣材料形成。舉例來說，透明底座件可由玻璃基板或透明可撓膜形成。以下，圖1中所描繪的透明底座件將被描述成玻璃基板110。
玻璃基板110包含一顯示區域DA以及一非顯示區域NDA。顯示區域DA係為設置有多個像素以實際上顯示影像的區域。在顯示區域DA中，可設置有顯示影像的顯示元件，以及用來驅動顯示元件的各種驅動件。
玻璃基板110的厚度可介於30微米(μm)至200微米之間，或介於50微米至100微米之間。當玻璃基板110的厚度滿足上述的範圍時，玻璃基板110可支撐有機發光顯示裝置100的元件，並且亦將顯示裝置實現成能被折疊或能被彎曲。
即使未於圖2中繪示，在玻璃基板110中，可形成對應到折疊區域或彎曲區域的一個開口圖案或凹狀圖案。具體來說，玻璃基板110包含朝向有機發光件150的內側面以及相對於內側面的外側面，其中玻璃基板110的外側面作為有機發光顯示裝置100的發光表面。在此情況下，開口圖案或凹狀圖案可為從外側面向內地形成的溝槽，以使得有機發光顯示裝置100能被折疊或彎曲。開口圖案或凹狀圖案可具有一結構，在此結構中一開口單元（或一凹狀單元）以及一阻擋單元（或一凸狀單元）係連續交替地設置。因此，開口圖案或凹狀圖案可賦予玻璃基板110可撓特性。
顯示區域DA中可包含有多個像素。這些像素設置成矩陣，並且每個像素包含多個子像素SP。每個子像素SP係為表示一種顏色的元素，並且由在第一方向設置的多個閘極線和在第二方向設置的多個資料線相交的區域所定義，其中第一方向不同於第二方向。於此，第一方向可為圖1的水平方向（X軸方向），並且第二方向可為圖1的垂直方向（Y軸方向），但不以此為限。每個子像素包含射出光線的發射區，以及不射出光線的非發射區，但在本說明書中，僅將射出光線的發射區定義為子像素SP。每個像素包含一第一子像素SP1、一第二子像素SP2以及一第三子像素SP3。第一子像素SP1可為紅色像素，第二子像素SP2可為綠色像素，而第三子像素SP3可為藍色像素，但不以此為限。
每個子像素SP可包含一有機發光件150以及一驅動件。在此情況下，驅動件可包含開關電晶體以及驅動電晶體。驅動件可電性連接到諸如為閘極線與資料線等訊號線，其中訊號線係連接到設置在非顯示區域NDA中的閘極驅動器與資料驅動器。
非顯示區域NDA設置在玻璃基板110的周邊區域中，並且非顯示區域NDA中不顯示影像。非顯示區域NDA被設置成包圍顯示區域DA。用來驅動顯示區域DA中所設置的多個子像素SP之各種元件可設置於非顯示區域NDA中。舉例來說，可設置一驅動集成電路（驅動IC）、驅動電路、一訊號線以及一可撓膜，其提供一訊號以驅動多個子像素SP。在此情況下，驅動IC可包含閘極驅動器以及資料驅動器。驅動IC以及驅動電路可由面板內閘極(gate in panel, GIP)、覆晶薄膜(chip on film, COF)、捲帶自動接合(tape automated bonding, TAB)、捲帶載體封裝(tape carrier package, TCP)或晶粒玻璃接合(chip on glass, COG)的方式設置。
參照圖2，黑矩陣BM與色彩過濾器120設置於玻璃基板110上。黑矩陣BM與色彩過濾器120係形成在相同平面上，並且係設置在玻璃基板110上，以直接接觸玻璃基板110。在本發明中，黑矩陣BM與色彩過濾器120係整合地形成，以作為一抗反射層。
黑矩陣BM設置在玻璃基板110上。再者，黑矩陣BM可被設置成對應到供一堤部148形成的位置。在此情況下，黑矩陣BM設置於多個色彩過濾器120之間，以分別分割色彩過濾器121、122、123。黑矩陣BM可抑制分別通過色彩過濾器121、122、123的光線的顏色混合，並且可定義出多個開口區域，這些開口區域使得從有機發光件150發出的光線可射向外界。每個開口區域OA1、OA2、OA3係供從設置於黑矩陣BM與色彩過濾器120上的有機發光件150發出的光線穿過的區域。開口區域OA1、OA2、OA3分別由一對應的有機發光件150來獨立地表示特定的顏色。再者，黑矩陣BM會吸收外部光。因此，有機發光顯示裝置100因外部光而導致可見度與對比度的劣化可得以最小化。
黑矩陣BM可由有機材料所形成。黑矩陣BM包含一基部樹脂與黑色材料。基部樹脂可為選自以下的一或多者：Cardo基樹脂(cardo-based resin)、環氧基樹脂(epoxy-based resin)、丙烯酸酯基樹脂(acrylate-based resin)、矽氧烷基樹脂(siloxane-based resin)以及聚醯亞胺(polyimide)，但不以此為限。黑色材料可為選自碳基顏料、金屬氧化物基顏料以及有機顏料中的一種黑色顏料。舉例來說，碳基顏料可為炭黑。舉例來說，金屬氧化基顏料可為鈦黑TiNxOy或Cu-Mn-Fe基黑色顏料，但不以此為限。舉例來說，有機顏料可選自內醯胺黑(lactam black)、苝黑(perylene black)以及苯胺黑(aniline black)，但不以此為限。再者，作為黑色材料，可使用包含有紅色顏料、藍色顏料以及綠色顏料的RGB黑色顏料。
色彩過濾器120設置在玻璃基板110上，並且與黑矩陣BM設置在相同的平面上。設置色彩過濾器120以對應子像素SP。在此情況下，每個色彩過濾器120設置在由黑矩陣BM所定義出的開口區域OA1、OA2、OA3中。具體來說，色彩過濾器120包含對應到第一子像素SP1的第一色彩過濾器121、對應到第二子像素SP2的第二色彩過濾器122以及對應到第三子像素SP3的第三色彩過濾器123。第一色彩過濾器121設置在對應到第一子像素SP1的第一開口區域OA1中，第二色彩過濾器122設置在對應到第二子像素SP2的第二開口區域OA2中，並且第三色彩過濾器123設置在對應到第三子像素SP3的第三開口區域OA3中。在此情況下，當第一子像素SP1係為紅色子像素，第一色彩過濾器121係為紅色色彩過濾器。再者，當第二子像素SP2係為綠色子像素，第二色彩過濾器122係為綠色色彩過濾器，並且當第三子像素SP3係為藍色子像素，第三色彩過濾器123係為藍色色彩過濾器。在此情況下，有機發光顯示裝置100具有優異的色彩還原特性。
第一色彩過濾器121、第二色彩過濾器122與第三色彩過濾器123獨立地包含一透明基部樹脂以及一顯色材料。舉例來說，透明基部樹脂可為選自聚丙烯酸脂(polyacrylate)、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate)、聚醯亞胺(polyimide)、聚乙烯醇(polyvinyl alcohol)、聚乙烯(polyethylene)、聚丙烯(polypropylene)、聚苯乙烯(polystyrene)和聚對苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate)中的一者，但不以此為限。顯色材料吸收特定波長帶中的光，並且透射其他波長帶中的光。舉例來說，紅色色彩過濾器包含一紅色顯色材料，紅色顯色材料可透射紅色波長帶中的光並吸收綠色與藍色波長帶中的光。更具體地說，紅色顯色材料可為聚對二甲苯基化合物(parylene-based compound)或二酮吡咯並吡咯基化合物(diketo-pyrrolopyrrole-based compound)。再者，綠色顯色材料可為酞青基化合物(phthalocyanine-based compound)。再者，藍色顯色材料可為銅酞青基化合物(copper phthalocyanine-based compound)或蒽醌基化合物(anthraquinone-based compound)。然而，顯色材料不以此為限，並且可無限制地使用在紅色、藍色和綠色波長帶中透射光線的任何材料。
一第二緩衝層112形成在黑矩陣BM與色彩過濾器120上。第二緩衝層112可保護或平坦化黑矩陣BM與色彩過濾器120。具體來說，第二緩衝層112抑制濕氣或氧氣從外界滲入，以保護黑矩陣BM與色彩過濾器120。再者，第二緩衝層112可將形成位於黑矩陣BM與色彩過濾器120的上方的觸控感測器130的一觸控電極132時對黑矩陣BM與色彩過濾器120造成的受損最小化。
第二緩衝層112可由具有優異障壁特性的無機材料所形成。因此，可將濕氣或氧氣的滲入最小化。舉例來說，第二緩衝層112可由諸如為矽氮化物(SiNx)、矽氧化物(SiOx)或鋁氧化物(AlOx)等無機材料所形成，但不以此為限。
再者，第二緩衝層112可由多個層體所形成，藉以將黑矩陣BM與色彩過濾器120平坦化，並且強化色彩過濾器120與位於其上方的觸控感測器130之間的黏合。舉例來說，第二緩衝層112可包含由有機材料所形成的第一層體，藉以將色彩過濾器120的上部平坦化，且可再包含由上述無機材料所形成且設置在第一層體上的第二層體，藉以賦予障壁特性。舉例來說，第一層體可由諸如為丙烯酸(acrylic)樹脂、聚酯基(polyester-based)樹脂、環氧(epoxy)樹脂或矽基(silicon-based)樹脂等透明絕緣樹脂所形成，並且第二層體可由上述無機材料所形成。
觸控感測器130設置在第二緩衝層112上，以賦予有機發光顯示裝置100觸控感測功能。觸控感測器130可直接形成在第二緩衝層112上而毋需使用黏合件。因為觸控感測器130直接形成在第二緩衝層112上，所以貼附在觸控感測器130與色彩過濾器120之間的黏合件將被省略，使有機發光顯示裝置100的厚度可得以減少。
觸控感測器130包含一觸控電極132以及一觸控保護層134。觸控電極132可直接形成在第二緩衝層112上而毋需使用黏合件。觸控電極132係為感測觸控輸入的電極，且可由一個感測電極與一個驅動電極所配置而成，並藉由感測感測電極與驅動電極之間的電容變化來偵測觸控座標。舉例來說，驅動電極設置在第二緩衝層112上，並且感測電極與驅動電極設置在相同的平面上。作為另一示例，觸控絕緣層設置在驅動電極上，且感測電極設置在觸控絕緣層上。觸控電極132的佈置方式不以此為限，而可視需求改變。
觸控電極132可由能透射光的透明金屬材料所形成，如銦錫氧化物ITO或銦鋅氧化物IZO。觸控電極132可具有各種形狀，如矩形、八邊形、圓形或菱形。
觸控保護層134設置在觸控電極132上。觸控保護層134抑制觸控電極132的短路或受損，並且將觸控電極132的上表面平坦化。觸控保護層134可由諸如為丙烯酸樹脂、聚酯基樹脂、環氧樹脂或矽基樹脂等透明絕緣樹脂所形成。
一第一緩衝層114設置在觸控感測器130上。第一緩衝層114保護黑矩陣BM、色彩過濾器120與觸控感測器130。再者，第一緩衝層114保護薄膜電晶體TFT不受雜質與諸如為鹼金屬離子等氣體的影響，其中這些雜質與氣體係從黑矩陣BM、色彩過濾器120與觸控感測器130所洩漏而出。第一緩衝層114可由諸如為矽氮化物SiNx、矽氧化物SiOx或鋁氧化物AlOx等無機材料所形成。第一緩衝層114可形成為單一層體，並可視需求形成為多層結構。舉例來說，第一緩衝層114可包含多個緩衝器且/或一個主動緩衝器。
在第一緩衝層114上設置有包含一個閘電極G、一個主動層ACT、一個源電極S以及一個汲電極D之薄膜電晶體TFT。為了方便描述，在圖2中，在各種可以包含在有機發光顯示裝置100內的薄膜電晶體TFT中，僅會描繪驅動薄膜電晶體，但亦可設置其他電晶體，如開關薄膜電晶體。
同時，圖2中所描繪的薄膜電晶體例如被描述成具有一個共平面結構，但本發明不以此為限，並且亦可使用一個具有倒置交錯結構的薄膜電晶體TFT。再者，薄膜電晶體TFT可被實施成閘電極G設置於主動層ACT上之頂閘型(top gate type)薄膜電晶體，但也可被實施成閘電極G設置於主動層ACT下之底閘型(bottom gate type)薄膜電晶體。
主動層ACT設置在第一緩衝層114上。當薄膜電晶體TFT被驅動時，在主動層ACT內形成一通道。主動層ACT可由氧化半導體或非晶矽(amorphous silicon,a-Si)、多晶矽(polycrystalline silicon, poly-Si)或有機半導體所形成，但不以此為限。
一閘極絕緣層144設置在主動層ACT上。閘極絕緣層144將主動層ACT與閘電極G絕緣。閘極絕緣層144可形成為矽氮化物SiNx或矽氧化物SiOx的單一層體或多個層體。如圖2所繪示，閘極絕緣層144可被圖案化以與閘電極G具有相同的寬度，或者可被形成在整個玻璃基板110上，但不以此為限。
閘電極G係設置在閘極絕緣層144上。閘電極G係設置在閘極絕緣層144上，藉以與主動層ACT的通道區域重疊。閘電極G可由各種金屬材料所形成，如鉬(Mo)、鋁(Al)、鉻(Cr)、金(Au)、鈦(Ti)、鎳(Ni)、釹(Nd)和銅(Cu)其中的任一者，或其中二者以上的合金，或其多個層體，但不以此為限。
一層間絕緣層142設置於第一緩衝層114與閘電極G上。層間絕緣層142將閘電極G絕緣於源電極S與汲電極D。層間絕緣層142可形成為矽氮化物SiNx或矽氧化物SiOx的單一層體或多個層體。在層間絕緣層142中會形成有接觸孔，且源電極S與汲電極D透過接觸孔分別接觸主動層ACT的源電極與汲電極。
源電極S與汲電極D設置在層間絕緣層142上。源電極S與汲電極D透過在層間絕緣層142中所形成的接觸孔電性連接主動層ACT。源電極S與汲電極D可由各種金屬材料所形成，如鉬(Mo)、鋁(Al)、鉻(Cr)、金(Au)、鈦(Ti)、鎳(Ni)、釹(Nd)和銅(Cu)其中的任一者，或其中二者以上的合金，或其多個層體，但不以此為限。
即使未繪示於圖2，一鈍化層可額外地設置於薄膜電晶體TFT上，以保護薄膜電晶體TFT。在鈍化層中，可形成有暴露薄膜電晶體TFT的源電極S或汲電極D的接觸孔。鈍化層可配置成矽氮化物SiNx或矽氧化物SiOx的單一層體或多個層體。
一平坦化層146設置於鈍化層上，以將薄膜電晶體TFT的上部平坦化。在平坦化層146中，形成有暴露薄膜電晶體TFT的源電極S或汲電極D的接觸孔。平坦化層146可由以下的任一者所形成：丙烯酸樹脂、環氧樹脂、酚(phenol)樹脂、聚醯胺(polyamide)樹脂、聚醯亞胺樹脂、不飽和聚酯(unsaturated polyester)樹脂、聚苯(polyphenylene)樹脂、聚苯硫(polyphenylene sulfide)樹脂、苯並環丁烯(benzocyclobutene)以及光阻劑(photoresist)，但不以此為限。
有機發光件150設置在平坦化層146上。有機發光件150包含設置在第一子像素SP1區域中的第一有機發光件、設置在第二子像素SP2區域中的第二有機發光件以及設置在第三子像素SP3區域中的第三有機發光件。每個有機發光件150包含一個陽極152、一個有機發光層154以及一個陰極156。
陽極152設置於平坦化層146上。陽極152係設置於平坦化層146上，以透過在平坦化層146中所形成的接觸孔來電性連接源電極S或汲電極D。陽極152由具有高功函數的導體材料所形成，以將電洞提供給有機發光層154。陽極152可為由透明導體氧化物(transparent conductive oxide, TCO)所形成的透明導體層。舉例來說，陽極152可由選自以下數種透明導體氧化物中的一或多者所形成：銦錫氧化物ITO、銦鋅氧化物IZO、銦錫鋅氧化物ITZO、氧化錫SnO2 、氧化鋅ZnO、氧化銦銅ICO以及摻鋁氧化鋅Al : ZnO, AZO，但不以此為限。因為本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置100係為底部發光型，所以陽極152可僅由透明導體層所形成。陽極152可獨立地針對各個第一子像素SP1、第二子像素SP2與第三子像素SP3來形成。
堤部148設置於陽極152與平坦化層146上。堤部148可遮蓋有機發光件150的陽極152的邊緣，以定義出一發射區。堤部148可由絕緣材料所形成，以將相鄰的子像素SP1、SP2和SP3中的陽極152彼此絕緣。再者，堤部148可藉由具有高光吸收率的黑色堤部所配置而成，藉以抑制相鄰的子像素SP1、SP2和SP3之間的顏色混合。舉例來說，堤部148可由聚醯亞胺樹脂、丙烯酸樹脂或苯並環丁烯樹脂所形成，但不以此為限。
陰極156設置於陽極152上。陰極156可由具有低功函數的金屬材料所形成，以平順地將電子提供給有機發光層154。因為本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置100係為底部發光型，所以為了使得從有機發光件150發出的光線行進到玻璃基板110的下部，陰極156可由具有高反射率的金屬材料所形成。舉例來說，陰極156可由選自以下的金屬材料所形成：鈣(Ca)，鋇(Ba)，鋁，銀(Ag)以及包含其中一或多者的合金，但不以此為限。
參照圖2，儘管所繪示的陰極156未被圖案化，而是在陽極152上形成為單層，但是陰極156可像陽極152一樣，針對每個子像素SP獨立地設置。亦即，陰極156係作為單層地形成在第一子像素SP1、第二子像素SP2中與第三子像素SP3中。
有機發光層154設置於陽極152與陰極156之間。有機發光層154係供電子與電洞耦合以發光的層體。第一有機發光件的有機發光層154可為紅色有機發光層，第二有機發光件的有機發光層154可為綠色有機發光層，且第三有機發光件的有機發光層154可為藍色有機發光層。
為了改善有機發光件150的發光效率，可進一步地包含電洞注入層、電洞傳輸層、電子傳輸層以及電子注入層。舉例來說，電洞注入層與電洞傳輸層可設置於陽極152與有機發光層154之間，且電子傳輸層與電子注入層可設置於有機發光層154與陰極156之間。再者，可設置電洞阻擋層或電子阻擋層，以進一步地改善有機發光層154中電洞與電子的重組效率。
封裝層160設置於有機發光件150上。封裝層160可遮蓋有機發光件150。封裝層160可保護有機發光件150不受外界濕氣、氧氣與衝擊的影響。封裝層160可形成為多層結構，在多層結構中層壓有一個由無機絕緣材料所形成的無機層以及一個由有機材料所形成的有機層。舉例來說，封裝層160可由至少一個有機層和至少兩個無機層所配置而成，並且可具有供無機層與有機層交替層壓的多層結構，但不以此為限。舉例來說，封裝層160可具有三層結構，三層結構包含第一無機層162、有機層164以及第二無機層166。在此情況下，第一無機層162與第二無機層166可獨立地由選自以下多種材料的一或多者所形成：矽氮化物SiNx、矽氧化物SiOx、鋁氧化物AlOx和矽氮氧化物SiON，但不以此為限。再者，有機層164可由選自以下多種材料的一或多者所形成：環氧樹脂、聚醯亞胺、聚乙烯和矽碳氧化物SiOC，但不以此為限。
一蓋板底座件170可設置在封裝層160上。蓋板底座件170保護有機發光件150，連同封裝層160，不受來自外界濕氣、氧氣、衝擊等的影響。蓋板底座件170可為諸如不鏽鋼(SUS)等金屬材料，或諸如聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate)、聚碳酸脂(polycarbonate)、聚乙烯醇、丙烯睛-丁二烯-苯乙烯(acrylonitrile-butadiene-styrene)或聚對苯二甲酸乙二酯等塑膠材料。
根據本發明示例性實施例，在有機發光顯示裝置中，包含有黑矩陣與色彩過濾器的抗反射層設置在玻璃基板上，且包含有觸控電極的觸控感測器形成在抗反射層上。根據本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置係為底部發光型有機發光顯示裝置，其中有一個有機發光件設置在抗反射層與觸控感測器上，以朝向設置於其下的玻璃基板發射光線。根據本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置，抗反射層與觸控感測器設置於玻璃基板與有機發光件之間。因此，反射光度得以改善，觸控功能得以實施，並且有機發光顯示裝置的整個厚度可得以減少。具體來說，需要高溫製程的色彩過濾器與觸控感測器設置在下方，藉以在易受高溫影響的有機發光件之前形成，使得有機發光顯示裝置的耐用度與可靠度得以顯著地改善。
以下，將參照圖3A至圖3F描述根據本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置的製造方法。
圖3A至圖3F係用於解釋根據本發明之一示例性實施例的有機發光顯示裝置的製造方法的剖面圖。
參照圖3A，備有一載體玻璃基板110’。載體玻璃基板110’作為輔助基板，並在有機發光顯示裝置的製程中支撐設置在上部的元件。載體玻璃基板110’對於諸如為半導體材料與金屬材料的蝕刻或熱處理等製程具有低反應性。可在具有剛性的範圍內選擇載體玻璃基板110’的厚度以免因荷重造成外形變形，並可用易於在製造過程中攜帶為原則選擇載體玻璃基板110’的重量。舉例來說，載體玻璃基板110’的厚度可為400微米至800微米，或可為500微米至650微米。
黑矩陣BM形成在載體玻璃基板110’上。黑矩陣BM可形成在一個將會有配線與驅動件形成的位置上，其中驅動件例如為薄膜電晶體TFT。黑矩陣BM劃分出第一開口區域OA1、第二開口區域OA2以及第三開口區域OA3。
色彩過濾器120形成在載體玻璃基板110’上，且黑矩陣BM形成在載體玻璃基板110’上。色彩過濾器120可設置成具有針對每個子像素決定的顏色。舉例來說，在對應到第一子像素SP1的第一開口區域OA1中，藉由施加包含有紅色顏料的有機材料並且執行感光製程，以形成第一色彩過濾器121。再者，在對應到第二子像素SP2的第二開口區域OA2中，藉由施加包含有綠色顏料的有機材料並且執行感光製程，以形成第二色彩過濾器122。再者，在對應到第三子像素SP3的第三開口區域OA3中，藉由施加包含有藍色顏料的有機材料並且執行感光製程，以形成第三色彩過濾器123。儘管在圖3A中，第一色彩過濾器121、第二色彩過濾器122與第三色彩過濾器123被描繪成彼此分離地形成，但是兩個相鄰的色彩過濾器可形成在黑矩陣BM上以彼此重疊。
第二緩衝層112形成在載體玻璃基板110’的整個表面上，且在載體玻璃基板110’的整個表面上已完成有黑矩陣BM與色彩過濾器120。第二緩衝層112可由諸如為矽氮化物SiNx、矽氧化物SiOx或鋁氧化物AlOx等無機材料所形成，並且可藉由化學氣相沉積(chemical vapor deposition, CVD)製程或電漿輔助化學氣相沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)製程所沉積而成，但不以此為限。
同時，在形成第二緩衝層112之前，可形成一有機層，以將黑矩陣BM與色彩過濾器120的頂表面平坦化。
參照圖3B，觸控感測器130形成在第二緩衝層112上。
在第二緩衝層112上沉積一導體層之後，觸控電極132可藉由使用光罩的蝕刻製程與光刻製程而被圖案化。具體來說，觸控電極132可由感測電極與驅動電極所配置而成。舉例來說，在第二緩衝層112上沉積一第一導體層之後，藉由光刻製程與蝕刻製程來形成多個驅動電極、多個感測電極以及連接這些驅動電極的一個連接電極。一個具有接觸孔的觸控絕緣層形成在驅動電極、感測電極與連接電極上。一橋接電極形成在觸控絕緣層上，使得感測電極得以透過接觸孔被電性連接。如上所述，在觸控電極132中，驅動電極與感測電極係形成在第二緩衝層112上的同一表面上。然而，如另一示例所示，觸控絕緣層設置在驅動電極上，且感測電極設置在觸控絕緣層上。觸控電極132可依據觸控感測器130的結構而以各種方式來形成。再者，觸控電極132可藉由濺射法(sputtering method)等物理氣相沉積法(physics vapor deposition method)所形成。
觸控電極132可由透射光線的透明金屬材料所形成，如銦錫氧化物ITO或銦鋅氧化物IZO。為了賦予高透明度與低電阻的特性，觸控電極132可在高溫中形成。
觸控保護層134設置在觸控電極132上。舉例來說，如為丙烯酸樹脂、聚酯基樹脂或矽基樹脂之透明絕緣樹脂層壓於觸控電極132的整個上表面上。
參照圖3C，第一緩衝層114形成在觸控感測器130的整個表面上。第一緩衝層114可由諸如為矽氮化物SiNx、矽氧化物SiOx或鋁氧化物AlOx等無機材料所形成，並且可藉由CVD製程或PECVD製程所沉積而成，但不以此為限。
薄膜電晶體TFT形成在第一緩衝層114上。
首先，主動層ACT係設置在第一緩衝層114上。在此情況下，主動層ACT可藉由光罩製程所形成。舉例來說，主動層ACT可藉由使用光罩的沉積製程而位在指定區域中，其中待圖案化的區域係為開放的。或者，在將半導體材料沉積在第一緩衝層114的整個表面上之後，可透過光阻摻雜劑(photoresist doper)與圖案化光罩，藉由曝光、顯影、蝕刻和光敏樹脂移除製程來形成主動層ACT。
閘極絕緣層144與閘電極G係藉由將絕緣材料與閘金屬材料連續地沉積在主動層ACT上所形成。接著，層間絕緣層142形成在形成有主動層ACT與閘電極G之第一緩衝層114的整個上表面上。一接觸孔形成在層間絕緣層142中，藉以暴露主動層ACT的上表面。一金屬材料被施加並圖案化在層間絕緣層142上，藉以形成源電極S與汲電極D，進而透過接觸孔接觸主動層ACT。
參照圖3D，平坦化層146形成在形成有薄膜電晶體TFT之載體玻璃基板110’的整個上表面上。在此情況下，接觸孔形成於平坦化層146中以暴露源電極S。
有機發光件150形成於平坦化層146上。首先，形成陽極152，透過在平坦化層146中所形成的接觸孔，來電性連接設置在其下方的源電極S。可藉由光罩製程來圖案化陽極152，藉以針對每個子像素來形成陽極152。
堤部148形成於平坦化層146上。在此情況下，可形成堤部148以遮蓋陽極152的邊緣，藉以劃分出發射區（子像素）。在此情況下，堤部148可藉由光罩製程而被圖案化。在形成堤部148之後，會依序形成有機發光層154、陰極156與封裝層160。
參照圖3E，載體玻璃基板110’被蝕刻。載體玻璃基板110’的厚度藉由蝕刻製程而減少，使得載體玻璃基板110’被作為保護有機發光顯示裝置的發射面之玻璃基板110使用，其中從有機發光件所發出的光線會穿過有機發光顯示裝置的發射面並射向外界。再次參照圖3A，在有機發光顯示裝置的製造過程中，載體玻璃基板110’用於支撐元件。載體玻璃基板110’具有的厚度足以承受製造過程中的條件和環境。然而，為了執行作為保護底座件保護有機發光顯示裝置的發射面的功能，載體玻璃基板110’需要滿足足夠的透射率。再者，因為載體玻璃基板110’的下表面在製造過程中會受損，所以需要改善表面特性。因此，蝕刻載體玻璃基板110’的表面，以減少厚度並將外表面均勻化。藉由蝕刻載體玻璃基板110’所形成的玻璃基板110的厚度可為30微米至200微米。
即使未繪示於圖3E，在執行蝕刻載體玻璃基板110’以將厚度與表面均勻化的製程之後，可進一步地增加在有機發光顯示裝置的折疊區域或彎曲區域所對應到的區域中形成開口圖案或凹狀圖案的製程。舉例來說，在厚度經減少的玻璃基板110的外表面上形成光罩之後，可藉由蝕刻製程來形成多個溝槽，其中溝槽係從玻璃基板110的外表面向內凹入所形成。
參照圖3F，蓋板底座件170形成在封裝層160上。
根據本發明示例性實施例之有機發光顯示裝置的製造方法，製造有一底部發光型的有機發光顯示裝置，其具有一結構，於此結構中，玻璃基板上依序層壓有包含黑矩陣與色彩過濾器的抗反射層、包含觸控電極的觸控感測器、以及有機發光件。藉此，可製造出具有抗反射功能與觸控感測功能的薄型有機發光顯示裝置。
同時，根據本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置的製造方法在有機發光件之前包含有在玻璃基板上形成黑矩陣、色彩過濾器以及觸控感測器的步驟。為了在一頂部發光型的有機發光顯示裝置中形成上述的黑矩陣、色彩過濾器以及觸控感測器，在形成有機發光件之後，需要在有機發光件150的上方先形成封裝層、黑矩陣、色彩過濾器以及觸控感測器。然而，構成有機發光件的材料易受高溫影響。因此，當需要高溫製程的黑矩陣、色彩過濾器以及觸控感測器，藉由後續的製程形成至有機發光件時，不可避免地會造成有機發光件受損。具體來說，為了將觸控感測器位於有機發光件的上方，構成觸控感測器的觸控電極有利地由透明金屬材料所形成，其中此透明金屬材料係為透明且在高溫下具有優異的透射率並例如為銦錫氧化物ITO或銦鋅氧化物IZO。因此，根據本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置的製造方法，需要高溫製程的黑矩陣、色彩過濾器以及觸控感測器在有機發光件之前形成，並且製造出底部發光型的有機發光顯示裝置。如此一來，可提供一個具有經顯著改善之耐久度和可靠度的有機發光顯示裝置。
同時，近來為了實施可撓性的有機發光顯示裝置，例如為聚醯亞胺的可撓材料被作為一底座件使用。然而，例如為聚醯亞胺的可撓材料易受外部物理衝擊的影響。再者，為了實施此具有可撓性之可撓材料的底座件，需先執行在玻璃所形成的載體基板上施加與處理可撓材料的步驟。此後，在形成有機發光件之後，最後需額外地執行一雷射剝離(laser lift off, LLO)製程以將由可撓材料所形成的底座件自載體基板上剝離下來。再者，在雷射剝離製程中，會存在有以下問題：底座件破裂或剝離失敗，使得底座件連同載體基板一起被撕下來。
因此，本發明的發明人發明一種利用載體玻璃基板的方法，其中載體玻璃基板作為一保護底座件，以用來保護有機發光顯示裝置的發射面。基於根據本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置的製造方法，在載體玻璃基板上依序形成黑矩陣、色彩過濾器以及有機發光件之後，會在載體玻璃基板的外表面執行蝕刻製程。如此一來，可提供一底部發光型的有機發光顯示裝置，在其中載體玻璃基板作為支撐有機發光顯示裝置的底座件，並亦作為保護有機發光顯示裝置的發射面之保護底座件。再者，在載體玻璃基板的蝕刻製程中會調整載體玻璃基板的厚度與圖案，以提供一個可彎曲或可折的顯示裝置。藉此，在載體基板上形成獨立的底座件以及從載體基板上移除底座件的步驟則為非必要，而簡化整體製程並減少成本。
圖4係根據本發明之另一示例性實施例的有機發光顯示裝置的剖面示意圖。與圖2中所繪示的有機發光顯示裝置100相較之下，除了圖4中所繪示的有機發光顯示裝置200的黑矩陣BM、色彩過濾器220以及觸控感測器230，其他配置實質上相同。因此，多餘的描述將被省略。
參照圖4，一觸控感測器230設置在一玻璃基板110上。觸控感測器230可不使用獨立的黏合件而直接形成在玻璃基板110上。具體來說，觸控感測器230的觸控電極232可直接形成在玻璃基板110上。此後，觸控保護層234可形成在觸控電極232上。除了觸控電極232係先形成於玻璃基板110上而非第二緩衝層212上之外，在玻璃基板110上形成觸控感測器230的方法實質上相同於參照圖3B所描述的方法。因此，多餘的描述將被省略。
接著，黑矩陣BM與色彩過濾器220設置在觸控感測器230上。黑矩陣BM與色彩過濾器220形成在同一平面上，且設置在觸控感測器230的觸控保護層234上，以直接接觸觸控保護層234。除了黑矩陣BM與色彩過濾器120係先形成於觸控感測器230上而非玻璃基板110上之外，在觸控感測器230上形成黑矩陣BM與色彩過濾器220的方法實質上相同於參照圖3A所描述的方法。因此，多餘的描述將被省略。
第二緩衝層212形成在黑矩陣BM與色彩過濾器220上。第二緩衝層212可保護或平坦化黑矩陣BM與色彩過濾器220。在圖4所繪示的有機發光顯示裝置200中，除了第二緩衝層212係設置於黑矩陣BM連同色彩過濾器220與第一緩衝層214之間之外，第二緩衝層212實質上相同於圖2所繪示的有機發光顯示裝置100的第二緩衝層112。
第一緩衝層214設置在第二緩衝層212上。第二緩衝層212設置於第一緩衝層214與薄膜電晶體TFT之間，以保護位於其下方的黑矩陣BM、色彩過濾器220以及觸控感測器230。再者，第二緩衝層212保護薄膜電晶體TFT不受從黑矩陣BM、色彩過濾器220與觸控感測器230所洩漏之雜質與氣體的影響。在圖4所繪示的有機發光顯示裝置200中，除了第一緩衝層214係設置成接觸第二緩衝層212之外，第一緩衝層214實質上相同於圖2所繪示之有機發光顯示裝置100的第一緩衝層114。
同時，根據本發明另一示例性實施例的有機發光顯示裝置中，第二緩衝層212可被省略。當第二緩衝層212被省略時，第一緩衝層214係設置於黑矩陣BM連同色彩過濾器220與薄膜電晶體TFT之間，以進一步地執行保護或平坦化黑矩陣BM與色彩過濾器220的功能。
根據本發明另一示例性實施例的有機發光顯示裝置200的結構特徵在於觸控感測器230設置於玻璃基板110上以直接接觸玻璃基板110，並且黑矩陣BM與色彩過濾器220設置於觸控感測器230上以更靠近有機發光件150。觸控感測器230係直接形成在玻璃基板110上，使得可更準確地感測使用者的觸控輸入。再者，黑矩陣BM與色彩過濾器220設置於觸控感測器230與有機發光件150之間，使得觸控感測器230與有機發光件150之間的距離得以減少。藉此，在觸控感測器230的觸控電極232與有機發光件150之間所造成的寄生電容，以及其周圍所形成的電極與配線之間所造成的寄生電容可得以最小化，從而改善觸控靈感度。
與圖2中所繪示的有機發光顯示裝置100相較之下，在圖4所繪示的有機發光顯示裝置200中，黑矩陣BM設置在觸控感測器230上，以更靠近有機發光件150。藉此，從有機發光件150所向下發射的光的角度可得以擴大。亦即，根據本發明另一示例性實施例的有機發光顯示裝置，可提供一個具有大視角的底部發光型顯示裝置。
圖5係根據本發明之又另一示例性實施例的有機發光顯示裝置的剖面示意圖。與圖2中所繪示之有機發光顯示裝置100相較之下，除了在圖5所繪示的有機發光顯示裝置300中，透明可撓膜390和透明保護膜380被用來取代玻璃基板之外，其他元件實質上相同。因此，多餘的描述將被省略。
參照圖5，一有機發光顯示裝置300包含一透明保護膜380、一透明可撓膜390、一黑矩陣BM、多個色彩過濾器120、一觸控感測器130、一有機發光件150以及一封裝層160。
透明可撓膜390為支撐並保護有機發光顯示裝置300的數個元件之基版。根據本發明示例性實施例的有機發光顯示裝置300為底部發光型，使得為了讓光線能被向下引導，透明可撓膜390可由具有透明度的一絕緣聚合物材料所形成。舉例來說，透明可撓膜390可選自聚醯亞胺、聚醚碸(polyethersulfone)、聚對苯二甲酸乙二酯以及聚碳酸脂。
透明保護膜380設置在透明可撓膜390的下方。透明保護膜380支撐透明可撓膜390並保護有機發光顯示裝置300的一發射面。透明保護膜380可由具有透明度的一絕緣聚合物材料所形成，藉以使光線向下地行進。舉例來說，透明保護膜380可由塑膠薄膜所形成，此塑膠薄膜由聚醯亞胺、聚醚碸、聚對苯二甲酸乙二酯、聚碳酸脂和其他合適的聚合物當中的組合所構成。
根據本發明另一示例性之有機發光顯示裝置300，包含透明且可撓的一透明保護膜380以及一透明可撓膜390，而非玻璃基板110。因此，可用較小的曲率半徑實施各種設計。
圖6A至圖6G係用於解釋根據本發明之又另一示例性實施例的有機發光顯示裝置的製造方法的剖面圖。與圖3A至圖3F中所繪示的有機發光顯示裝置的製造方法相較之下，除了圖6A至圖6G所繪示之有機發光顯示裝置的製造方法中，使用一透明可撓膜390與一透明保護膜380，並且從而的一製程不相同之外，其他配置實質上相同。因此，多餘的描述將被省略。
參照圖6A，一透明可撓膜390形成在一載體玻璃基板310’上。在此情況下，載體玻璃基板310’實質上與圖3A中的描述相同，因此多餘的描述將被省略。
具體來說，在載體玻璃基板310’上塗覆一透明聚合物材料後，會形成有一薄膜。舉例來說，透明聚合物材料可選自聚醯亞胺、聚醚碸、聚對苯二甲酸乙二酯和聚碳酸脂。透明聚合物材料可藉由使用旋轉塗覆法(spin coating method)、滾動塗覆法(roll coating method)或狹縫塗覆法(slit coating method)塗覆於載體玻璃基板310’上，接著形成一薄膜以形成透明可撓膜390。
同時，為了方便分開載體玻璃基板310’與透明可撓膜390，將參照圖6F來描述以下，在將透明聚合物材料塗覆於載體玻璃基板310’之前，可先在載體玻璃基板310’上形成一犧牲層。
參照圖6B，一黑矩陣BM與多個色彩過濾器120形成於透明可撓膜390上。除了黑矩陣BM與色彩過濾器120係形成於透明可撓膜390上，而非載體玻璃基板310’上之外，形成黑矩陣BM與色彩過濾器120的方法實質上相同於圖3A中所描述的方法。因此，多餘的描述將被省略。接著，第二緩衝層112形成在載體玻璃基板310’的整個表面上，且在載體玻璃基板310’的整個表面上已完成有黑矩陣BM與色彩過濾器120。
參照圖6C，觸控感測器130形成在第二緩衝層112上。在第二緩衝層112上形成觸控感測器130的方法實質上相同於圖3B中所描述的方法，因此多餘的描述將被省略。
參照圖6D，第一緩衝層114形成於觸控感測器130的整個表面上，且薄膜電晶體TFT形成於第一緩衝層114上。形成第一緩衝層114與薄膜電晶體TFT的方法實質上相同於圖3C中所描述的方法，因此多餘的描述將被省略。
參照圖6E，一平坦化層146形成於形成有薄膜電晶體TFT之載體玻璃基板310’的整個表面上，並且一有機發光件150以及一封裝層160形成在平坦化層146上。形成平坦化層146、有機發光件150與封裝層160的方法實質上相同於圖3D中所描述的方法，因此多餘的描述將被省略。
參照圖6F，載體玻璃基板310’被剝離。舉例來說，載體玻璃基板310’與透明可撓膜390可藉由雷射剝離製程而被分開來。具體來說，由非晶矽所形成的一犧牲層設置於載體玻璃基板310’與透明可撓膜390之間，且雷射照射到載體玻璃基板310’上。照射到載體玻璃基板310’上的雷射引起非晶矽：氫(a-Si : H)的反應，並且載體玻璃基板310’與透明可撓膜390可藉由反應中所產生的氫(H)而彼此分離。
參照圖6G，透明保護膜380形成在透明可撓膜390的下方，並且蓋板底座件170形成在封裝層160的上方。
本發明的示例性實施例亦可如下所述：
根據本發明之一態樣，提供有一個有機發光顯示裝置。有機發光顯示裝置包含一透明底座件、一觸控感測器、一黑矩陣、多個色彩過濾器、一第一緩衝層、一薄膜電晶體以及一有機發光件。觸控感測器包含一觸控電極以及一觸控保護層。觸控電極設置於透明底座件的上方，且觸控保護層遮蓋觸控電極。黑矩陣設置於觸控感測器的上方或下方，且黑矩陣定義出多個開口區域。色彩過濾器與黑矩陣設置在同一個平面上，且色彩過濾器對應開口區域。第一緩衝層設置於觸控感測器與色彩過濾器當中較為上方一者的上方。薄膜電晶體設置於第一緩衝層的上方。有機發光件設置於薄膜電晶體的上方，且有機發光件對應開口區域。
第一緩衝層可為選自矽氮化物SiNx、矽氧化物SiOx與鋁氧化物AlOx所組成之群組的單層或多層。
黑矩陣與色彩過濾器可設置於觸控感測器的下方。第一緩衝層可設置於觸控感測器上。可進一步地提供設置於色彩過濾器與觸控感測器之間的第二緩衝層，以平坦化色彩過濾器的上部。
第二緩衝層可由具有障壁特性的無機材料所形成。
觸控電極可設置於第二緩衝層上，以直接接觸第二緩衝層。
黑矩陣與色彩過濾器可設置於觸控感測器上。
可進一步地提供設置於色彩過濾器上的第二緩衝層，以平坦化色彩過濾器的上部。第一緩衝層設置於第二緩衝層與薄膜電晶體之間。
黑矩陣可設置於觸控保護層上，以直接接觸觸控保護層。
有機發光顯示裝置更包含一封裝層以及一蓋板底座件。封裝層設置於有機發光件上。蓋板底座件設置於封裝層上。
透明底座件可為一玻璃基板。
玻璃基板的厚度可介於30微米至200微米之間。
玻璃基板可包含一內側面以及一外側面。內側面朝向有機發光件。外側面相對於內側面。玻璃基板包含從外側面向內地形成的一開口圖案或一凹狀圖案，以使得有機發光顯示裝置為可折疊或可彎曲。
黑矩陣與觸控電極中的任一者可設置於玻璃基板上，以直接接觸玻璃基板。
透明底座件可為由聚醯亞胺所形成的一透明可撓膜。可進一步提供貼附於透明可撓膜下部的一透明保護膜。
有機發光顯示裝置可為底部發光型。光線從有機發光顯示裝置內的有機發光件朝向透明底座件發射。
根據本發明之另一態樣，提供有一個有機發光顯示裝置的製造方法。有機發光顯示裝置的製造方法包含：在一載體玻璃基板的上方形成一黑矩陣、多個色彩過濾器以及一觸控感測器；在色彩過濾器與觸控感測器的上方形成一第一緩衝層；在第一緩衝層的上方形成一薄膜電晶體；形成一平坦化層以遮蓋薄膜電晶體；在平坦化層的上方形成一有機發光件，其中有機發光件包含一陽極、一有機發光層以及一陰極；在有機發光件的上方形成一封裝層。
形成黑矩陣、色彩過濾器以及觸控感測器可包含：在載體玻璃基板上形成黑矩陣，以定義出多個開口區域；形成色彩過濾器以填充開口區域；在色彩過濾器的整個上表面上形成一第二緩衝層；以及在第二緩衝層上形成一觸控電極並且形成一觸控保護層以遮蓋觸控電極的整個上表面。
形成黑矩陣、色彩過濾器以及觸控感測器可包含：在載體玻璃基板上形成一觸控電極並且形成一觸控保護層以遮蓋觸控電極的整個上表面；在觸控保護層上形成黑矩陣，以定義出多個開口區域；以及形成色彩過濾器以填充開口區域。
形成黑矩陣、色彩過濾器以及觸控感測器更可包含：在色彩過濾器的整個上表面上形成一第二緩衝層。
有機發光顯示裝置的製造方法更可包含：在形成封裝層後蝕刻載體玻璃基板的下表面，以減少載體玻璃基板的厚度。
在蝕刻載體玻璃基板的下表面後，載體玻璃基板的厚度可從400微米至800微米的範圍減少成30微米至200微米的範圍。
有機發光顯示裝置的製造方法更可包含：形成一開口圖案或一凹狀圖案，其中開口圖案或凹狀圖案係從載體玻璃基板的下表面向內凹所形成。
有機發光顯示裝置的製造方法更可包含：藉由在載體玻璃基板塗覆聚醯亞胺來形成一透明可撓膜；在形成封裝層後剝離載體玻璃基板；以及在透明可撓膜的底表面上放置一透明保護膜。
雖然本發明以前述之諸項實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。
100:有機發光顯示裝置 110:玻璃基板 110’:載體玻璃基板 112:第二緩衝層 114:第一緩衝層 120:色彩過濾器 121:第一色彩過濾器 122:第二色彩過濾器 123:第三色彩過濾器 130:觸控感測器 132:觸控電極 134:觸控保護層 142:層間絕緣層 144:閘極絕緣層 146:平坦化層 148:堤部 150:有機發光件 152:陽極 154:有機發光層 156:陰極 160:封裝層 162:第一無機層 164:有機層 166:第二無機層 170:蓋板底座件 200:有機發光顯示裝置 212:第二緩衝層 214:第一緩衝層 220:色彩過濾器 230:觸控感測器 232:觸控電極 234:觸控保護層 300:有機發光顯示裝置 310’:載體玻璃基板 380:透明保護膜 390:透明可撓膜 ACT:主動層 BM:黑矩陣 D:汲電極 DA:顯示區域 G:閘電極 NDA:非顯示區域 OA1:第一開口區域 OA2:第二開口區域 OA3:第三開口區域 S:源電極 SP:子像素 SP1:第一子像素 SP2:第二子像素 SP3:第三子像素 TFT:薄膜電晶體
所包含的附加圖式係提供對本發明進一步的理解，並且併入與構成本申請的一部分，其繪示本發明的實施例並連同說明書一併用於解釋各原理。在圖式中： 圖1係用於解釋根據本發明之一示例性實施例的有機發光顯示裝置的分解示意圖； 圖2係沿圖1之I-I’切線的剖面示意圖； 圖3A至圖3F係用於解釋根據本發明之一示例性實施例的有機發光顯示裝置的製造方法的剖面圖； 圖4係根據本發明之另一示例性實施例的有機發光顯示裝置的剖面示意圖； 圖5係根據本發明之又另一示例性實施例的有機發光顯示裝置的剖面示意圖；以及 圖6A至圖6G係用於解釋根據本發明之又另一示例性實施例的有機發光顯示裝置的製造方法的剖面圖。
100:有機發光顯示裝置
110:玻璃基板
112:第二緩衝層
114:第一緩衝層
120:色彩過濾器
121:第一色彩過濾器
122:第二色彩過濾器
123:第三色彩過濾器
130:觸控感測器
132:觸控電極
134:觸控保護層
142:層間絕緣層
144:閘極絕緣層
146:平坦化層
148:堤部
150:有機發光件
152:陽極
154:有機發光層
156:陰極
160:封裝層
162:第一無機層
164:有機層
166:第二無機層
170:蓋板底座件
ACT:主動層
BM:黑矩陣
D:汲電極
G:閘電極
OA1:第一開口區域
OA2:第二開口區域
OA3:第三開口區域
S:源電極
SP1:第一子像素
SP2:第二子像素
SP3:第三子像素
TFT:薄膜電晶體

Claims (23)

  1. 一種有機發光顯示裝置，包含：一透明底座件；一觸控感測器，包含一觸控電極以及一觸控保護層，該觸控電極設置於該透明底座件的上方，且該觸控保護層遮蓋該觸控電極；一黑矩陣，設置於該觸控感測器的上方或下方，且該黑矩陣定義出多個開口區域；多個色彩過濾器，與該黑矩陣設置在同一個平面上，且該些色彩過濾器對應該些開口區域；一第一緩衝層，設置於該觸控感測器與該些色彩過濾器當中較為上方一者的上方；一薄膜電晶體，設置於該第一緩衝層的上方；以及一有機發光件，設置於該薄膜電晶體的上方，且該有機發光件對應該些開口區域；其中，該觸控感測器位於該黑矩陣和該些色彩過濾器所在的層與該薄膜電晶體所在的層之間；或者，該觸控感測器直接接觸該透明底座件、該黑矩陣與該些色彩過濾器。
  2. 如請求項1所述之有機發光顯示裝置，其中該第一緩衝層係為選自矽氮化物(SiNx)、矽氧化物(SiOx)與鋁氧化物(AlOx)所組成之群組的單層或多層。
  3. 如請求項1所述之有機發光顯示裝置，更包含一第二緩衝層，其中該黑矩陣與該些色彩過濾器設置於該觸控感測器的下方，該第一緩衝層設置於該觸控感測器上，且該第二緩衝層設置於該些色彩過濾器與該觸控感測器之間以平坦化該些色彩過濾器的上部。
  4. 如請求項3所述之有機發光顯示裝置，其中該第二緩衝層是由具有障壁特性的無機材料所形成。
  5. 如請求項3所述之有機發光顯示裝置，其中該觸控電極設置於該第二緩衝層上以直接接觸該第二緩衝層。
  6. 如請求項1所述之有機發光顯示裝置，其中該黑矩陣與該些色彩過濾器設置於該觸控感測器上。
  7. 如請求項6所述之有機發光顯示裝置，更包含一第二緩衝層，其中該第二緩衝層設置於該些色彩過濾器上以平坦化該些色彩過濾器的上部，且該第一緩衝層設置於該第二緩衝層與該薄膜電晶體之間。
  8. 如請求項6所述之有機發光顯示裝置，其中該黑矩陣設置於該觸控保護層上以直接接觸該觸控保護層。
  9. 如請求項1所述之有機發光顯示裝置，更包含：一封裝層，設置於該有機發光件上；以及一蓋板底座件，設置於該封裝層上。
  10. 如請求項1所述之有機發光顯示裝置，其中該透明底座件為一玻璃基板。
  11. 如請求項10所述之有機發光顯示裝置，其中該玻璃基板的厚度介於30微米至200微米之間。
  12. 如請求項11所述之有機發光顯示裝置，其中該玻璃基板包含一內側面以及一外側面，該內側面朝向該有機發光件，該外側面相對於該內側面，且該玻璃基板包含從該外側面向內地形成的一開口圖案或一凹狀圖案，以使得該有機發光顯示裝置為可折疊或可彎曲。
  13. 如請求項10所述之有機發光顯示裝置，其中該黑矩陣與該觸控電極中的任一者設置於該玻璃基板上以直接接觸該玻璃基板。
  14. 如請求項1所述之有機發光顯示裝置，更包含一透明保護膜，其中該透明底座件係為由聚醯亞胺所形成的一透明可撓膜，且該透明保護膜貼附於該透明可撓膜的下部。
  15. 如請求項1所述之有機發光顯示裝置，其中該有機發光顯示裝置為底部發光型，且光線從該有機發光顯示裝置內的該有機發光件朝向該透明底座件發射。
  16. 一種有機發光顯示裝置的製造方法，包含：在一載體玻璃基板的上方形成一黑矩陣、多個色彩過濾器以及一觸控感測器；在該些色彩過濾器與該觸控感測器的上方形成一第一緩衝層；在該第一緩衝層的上方形成一薄膜電晶體；形成一平坦化層以遮蓋該薄膜電晶體； 在該平坦化層的上方形成一有機發光件，其中該有機發光件包含一陽極、一有機發光層以及一陰極；以及在該有機發光件的上方形成一封裝層；其中，該觸控感測器位於該黑矩陣和該些色彩過濾器所在的層與該薄膜電晶體所在的層之間；或者，該觸控感測器直接接觸該透明底座件、該黑矩陣與該些色彩過濾器。
  17. 如請求項16所述之有機發光顯示裝置的製造方法，其中形成該黑矩陣、該些色彩過濾器以及該觸控感測器包含：在該載體玻璃基板上形成該黑矩陣，以定義出多個開口區域；形成該些色彩過濾器以填充該些開口區域；在該些色彩過濾器的整個上表面上形成一第二緩衝層；以及在該第二緩衝層上形成一觸控電極並且形成一觸控保護層以遮蓋該觸控電極的整個上表面。
  18. 如請求項16所述之有機發光顯示裝置的製造方法，其中形成該黑矩陣、該些色彩過濾器以及該觸控感測器包含：在該載體玻璃基板上形成一觸控電極並且形成一觸控保護層以遮蓋該觸控電極的整個上表面；在該觸控保護層上形成該黑矩陣，以定義出多個開口區域；以及形成該些色彩過濾器以填充該些開口區域。
  19. 如請求項16所述之有機發光顯示裝置的製造方法，其中形成該黑矩陣、該些色彩過濾器以及該觸控感測器更包含：在該些色彩過濾器的整個上表面上形成一第二緩衝層。
  20. 如請求項16所述之有機發光顯示裝置的製造方法，更包含：在形成該封裝層後蝕刻該載體玻璃基板的一下表面，以減少該載體玻璃基板的一厚度。
  21. 如請求項20所述之有機發光顯示裝置的製造方法，其中在蝕刻該載體玻璃基板的該下表面後，該載體玻璃基板的該厚度從400微米至800微米減少成30微米至200微米。
  22. 如請求項20所述之有機發光顯示裝置的製造方法，更包含：形成一開口圖案或一凹狀圖案，其中該開口圖案或該凹狀圖案係從該載體玻璃基板的該下表面向內凹所形成。
  23. 如請求項16所述之有機發光顯示裝置的製造方法，更包含：藉由在該載體玻璃基板塗覆聚醯亞胺來形成一透明可撓膜；在形成該封裝層後剝離該載體玻璃基板；以及在該透明可撓膜的一底表面上放置一透明保護膜。
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