TWI770791B

TWI770791B - 具有快拆式支撐機構之光罩盒

Info

Publication number: TWI770791B
Application number: TW110103159A
Authority: TW
Inventors: 莊家和; 林書弘; 李國華; 邱銘乾
Original assignee: 家登精密工業股份有限公司
Priority date: 2021-01-28
Filing date: 2021-01-28
Publication date: 2022-07-11
Also published as: TW202230022A; US20220238362A1; JP2022115767A; US20240242991A1; KR102537773B1; CN114815491A; US12347709B2; JP7234277B2; KR20220109263A

Abstract

本發明提供一種光罩盒，包含一下蓋及一支撐機構。下蓋具有一承載面及分布於該承載面上的多個固定座。支撐機構具有朝上方延伸並用於支撐光罩或光罩載具的支撐部及相對於該支撐部的固定部，其中固定部與對應的固定座可拆卸地連接，使支撐機構可選擇性地安裝於下蓋。

Description

具有快拆式支撐機構之光罩盒

本發明是有關於一種光罩盒，尤其是具有快拆式機構的光罩盒。

在半導體產業中，光罩於製程中移動的時候，置於光罩傳送盒內進行傳送。當光罩置於光罩盒內時，用於支撐光罩的支撐機構之抵持光罩的斜面、球體或支柱由於碰撞而造成抵持面磨損，造成支撐機構的磨損產生微粒，且當磨損嚴重時僅能更換光罩盒，造成資源浪費的情況產生。

因此，需要一種光罩盒，來解決上述支撐機構的磨損產生微粒以及資源浪費和成本的問題。

本發明提供一種具有快拆式機構的光罩盒，以解決抵持光罩的抵持面磨損而產生微粒和造成資源浪費的問題。

本發明提供一種光罩盒包含下蓋及支撐機構。其中，下蓋具有一承載面及自該承載面上凸出的多個固定座；支撐機構具有朝上方延伸並用於支撐光罩的支撐部及相對於該支撐部的固定部，其中固定部與對應的固定座可拆卸地連接，使支撐機構可選擇性地安裝於下蓋。

在一實施例中，固定部具有至少一彈性接腳，且該彈性接腳的末端具有卡持部，固定座具有至少一槽，該槽配置成接收並穩固容置彈性接腳的卡持部。

在一實施例中，固定部配置成與固定座可鎖固地連接，其中固定座為自該承載面朝上延伸的一固定柱。

在一實施例中，固定部配置成與固定座公母連接，其中固定部為一母連接部，固定座為一公連接部。

在一實施例中，固定部有一螺旋紋路，固定柱上有另一螺旋紋路。

在一實施例中，支撐部包含至少一第一支撐柱用於接觸光罩的底面，以及至少一支撐柱用於限制光罩的側部位移。

本發明提供另一種光罩盒包含上蓋、下蓋、下蓋支撐機構及上蓋支撐機構。其中，上蓋具有一抵接面及分布於該抵接面上的多個上蓋固定座；下蓋具有一承載面及分布於該承載面上的多個下蓋固定座；下蓋支撐機構具有朝上方延伸並用於支撐一光罩底部的一支撐部及相對於該支撐部的一固定部，其中該固定部與對應的下蓋固定座可拆卸地連接，使該下蓋支撐機構可選擇性地安裝於該下蓋；上蓋支撐機構具有用於抵接一光罩頂部的一抵接部及銜接於該抵接部的一連接部，其中該連接部與對應的上蓋固定座可拆卸地連接，使該上蓋支撐機構可選擇性地安裝於該上蓋。

在一實施例中，每一上蓋固定座具有多個翼狀突出，且與該對應的連接部耦合。

在一實施例中，上蓋支撐機構的連接部具有一開口，該開口具有允許上蓋固定座進入或離開的一第一通道，及允許該上蓋固定座相對該開口旋轉的一第二通道。

在一實施例中，開口具有至少一第一凸肋，該上蓋固定座具有至少一第二凸肋，該開口形狀配置成允許沿著一第一旋轉方向的該第二凸肋滑過該第一凸肋，但禁止該第二凸肋沿著一第二旋轉方向轉動。

本發明提供另一種光罩盒包含上蓋、下蓋及支撐機構。其中，上蓋有一抵接面及分布於該抵接面上的多個上蓋固定座；下蓋具有一承載面及分布於該承載面上的多個下蓋固定座；支撐機構，用於支撐一光罩頂部或底部，該支撐機構可以相對於對應的該上蓋固定座或該下蓋固定座可旋轉地拆卸連接(rotatably detachably connected)。

在一實施例中，每一個上蓋固定座具有多個翼狀突出。

在一實施例中，支撐機構的具有用於抵接一光罩頂部的一抵接部及銜接於該抵接部的一連接部，該連接部具有一開口，該開口具有允許該上蓋固定座進入或離開的一第一通道，及允許該上蓋固定座相對該開口旋轉的一第二通道。

在一實施例中，支撐機構具有朝上方延伸並用於支撐一光罩底部的一支撐部及相對於該支撐部的一固定部。

在一實施例中，每一個下蓋固定座具有一開口，該開口具有允許該支撐機構的固定部進入或離開的一第一通道，及允許該支撐機構的固定部相對該開口旋轉的一第二通道。

在一實施例中，用於支撐該光罩的支撐機構具有一第一傾斜面、一第二傾斜面及一第三傾斜面，該第一傾斜面和該第二傾斜面用於接觸該光罩，該第三傾斜面連接於該第一傾斜面和該第二傾斜面之間用於排除自該第一傾斜面和該第二傾斜面落下的粒子。

在一實施例中，第三傾斜面具有至少兩個傾斜面。

本發明提供另一種光罩盒包含上蓋、下蓋、下蓋支撐機構及上蓋支撐機構。其中，上蓋具有一抵接面及分布於該抵接面上的多個上蓋固定座；下蓋具有一承載面及分布於該承載面上的多個下蓋固定座；下蓋支撐機構具有朝上方延伸並用於支撐一光罩或一光罩載具的一支撐部及相對於該支撐部的一固定部，其中該固定部與對應的下蓋固定座可拆卸地連接，使該下蓋支撐機構可選擇性地安裝於該下蓋，其中該固定部配置成與該固定座公母連接；上蓋支撐機構具有用於抵接一光罩頂部的一抵接部及銜接於該抵接部的一連接部，其中該連接部與對應的上蓋固定座可拆卸地連接，使該上蓋支撐機構可選擇性地安裝於該上蓋，其中該固定部配置成與該固定座公母連接。

在一實施例中，每一個上蓋固定座具有多個翼狀突出，該上蓋支撐機構的連接部具有一開口，該開口具有允許該多個翼狀突出進入或離開的一第一通道，及允許該多個翼狀突出相對該開口旋轉的一第二通道。

在一實施例中，下蓋支撐機構的固定部與下蓋固定座的公母連接防止下蓋支撐機構相對於下蓋固定座旋轉。

在一實施例中，下蓋支撐機構具有一橫向延伸部、第一傾斜臂和第二傾斜臂，其中第一傾斜臂和第二傾斜臂分別支撐光罩或光罩載具。

本發明提供另一種光罩盒包含上蓋，其中，上蓋具有一抵接面及分布於該抵接面上的多個上蓋固定座；支撐機構具有用於抵接光罩頂部的抵接部及銜接於該抵接部的連接部，其中連接部與對應的上蓋固定座可拆卸地連接，使支撐機構可選擇性地安裝於上蓋。

在一實施例中，每一個上蓋固定座具有多個翼狀突出，且與該對應的連接部耦合。

在一實施例中，支撐機構的連接部具有一開口，該開口具有允許上蓋固定座進入或離開的第一通道，及允許上蓋固定座相對該開口旋轉的第二通道。

在一實施例中，該開口具有至少一第一凸肋，該上蓋固定座具有至少一第二凸肋，該開口形狀配置成允許沿著第一旋轉方向的該第二凸肋滑過該第一凸肋，但禁止該第二凸肋沿著第二旋轉方向轉動。

10:光罩

100:光罩盒

120:下蓋

122:承載面

124:固定座

125:帽部

140:支撐機構

142:支撐部

143a:第一支撐柱

143b:第二支撐柱

144:固定部

145:彈性接腳

146:卡持部

147:槽

500:光罩盒

520:下蓋

522:承載面

524:下蓋固定座

540:下蓋支撐機構

544:固定部

560:上蓋

562:抵接面

564:上蓋固定座

565a:翼狀突出

565b:翼狀突出

580:上蓋支撐機構

582:抵接部

583:連接部

584:開口

586:第一凸肋

588:第二凸肋

589:止擋塊

600:光罩盒

620:下蓋

624:下蓋固定座

640:下蓋支撐機構

642:支撐部

644:固定部

645:彈性接腳

646:卡持部

700:光罩盒

720:下蓋

724:下蓋固定座

725:開口

740:下蓋支撐機構

800:光罩盒

820:下蓋

840:下蓋支撐機構

841:第一壁

841a:第一傾斜面

842:第二壁

842a:第二傾斜面

843:第三傾斜面

900:光罩盒

901:光罩載具

920:下蓋

940:下蓋支撐機構

941:橫向延伸部

942a:第一傾斜臂

942b:第二傾斜臂

AA:線段

BB:線段

CC:線段

DD:線段

EE:線段

FF:線段

R1:第一旋轉方向

R2:第二旋轉方向

R3:旋轉方向

圖式所示之結構大小比例並不限制本發明的實際實施。

第一圖為根據本揭露之光罩盒(上蓋移除)與光罩之關係示意圖。

第二圖為根據本揭露一實施例之光罩盒之支撐機構的局部放大示意圖。

第三圖為根據本揭露另一實施例之光罩盒之支撐機構的局部放大示意圖。

第四圖為根據本揭露又一實施例之光罩盒之支撐機構的局部放大示意圖。

第五圖為根據本揭露一實施例之光罩盒的外觀之立體圖。

第六A圖為根據本揭露一實施例之光罩盒的外觀之俯視圖。

第六B圖為第六A圖之AA線段橫截面示意圖。

第七圖為第六B圖之光罩盒之支撐機構的局部截面放大圖。

第八圖顯示光罩盒的上蓋支撐機構與上蓋固定座分離。

第九A圖為光罩盒的上蓋在第一狀態之仰式圖。

第九B圖為第九A圖其中一上蓋支撐機構之局部放大圖。

第九C圖為第九A圖的上蓋支撐機構之BB線段橫截面局部截面圖。

第十A圖為光罩盒的上蓋在第二狀態之仰式圖。

第十B圖為第十A圖其中一上蓋支撐機構之局部放大之仰式圖。

第十C圖為第十A圖的上蓋支撐機構之CC線段橫截面局部截面圖。

第十一圖為根據本揭露另一實施例之光罩盒(上蓋移除)與光罩之立體圖。

第十二A圖為第十一圖之DD線段中的支撐機構之一實施例的橫截面圖。

第十二B圖為第十一圖之DD線段中的支撐機構之另一實施例的橫截面圖。

第十二C圖為第十一圖之DD線段中的支撐機構之又一實施例的橫截面圖。

第十三A圖為根據本揭露又一實施例之光罩盒(上蓋移除)與光罩之立體圖。

第十三B圖為第十三A圖的支撐機構之立體圖(組裝前)。

第十三C圖為第十三A圖之EE線段中的支撐機構之橫截面圖。

第十四A圖至第十四C圖為下蓋支撐機構安裝於下蓋的固定部的過程。

第十四D圖至第十四F圖為下蓋支撐機構安裝於下蓋的固定部的過程之橫截面圖。

第十五A圖為根據本揭露又一實施例之光罩盒(上蓋移除)與光罩之正視圖。

第十五B圖為第十五A圖的局部放大，顯示下蓋支撐機構與光罩的接觸。

第十五C圖為下蓋支撐機構與光罩的另一截面視角。

第十五D圖為下蓋支撐機構之局部立體圖。

第十六A圖為根據本揭露又一實施例之光罩盒(上蓋移除)與光罩載具之立體圖。

第十六B圖為第十六A圖之正視圖。

第十六C圖為光罩盒的下蓋支撐機構之立體圖。

第十六D圖為光罩盒的下蓋與下蓋支撐機構之立體圖。

第十六E圖為根據第十六A圖FF線段之下蓋支撐機構截面圖。

本發明提供一種光罩盒，特別是一種具有快拆式機構的光罩盒。現在將參考本發明之伴隨圖式詳細描述實施例。在該伴隨圖式中，相同及/或對應元件係以相同參考符號表示。

在此將揭露各種實施例；然而，要瞭解到所揭露之實施例只用於作為可體現為各種形式之例證。此外，連接各種實施例所給予之每一範例都預期作為例示，而非用於限制。進一步的，該圖式並不一定符合尺寸比例，一些特徵係被放大以顯示特定元件之細節(且該圖式中所示之任何尺寸、材料與類似細節都預期僅為例示而非限制)。因此，在此揭露之特定結構與功能細節並不被解釋做為限制，而只是用於教導相關領域技術人員實作所揭露之實施例的基礎。

第一圖為根據本揭露之光罩盒100與光罩10之示意圖，尤其示意光罩10被容置在光罩盒100(未顯示上蓋)中的情況。光罩盒100包含下蓋120及支撐機構140，其係以一可拆卸手段與下蓋120連接，詳細實施例說明如後。其中，下蓋120具有一承載面122及分布於承載面122上的多個固定座124，用於連接支撐機構140。這些固定座124和支撐機構140將光罩10抬升於承載面122的上方。

第二圖為根據本揭露一實施例之光罩盒100之支撐機構140的局部放大示意圖。支撐機構140具有朝上方延伸並用於支撐光罩10的一支撐部142及相對於支撐部142且面向下蓋120的一固定部144，其中固定部144與對應的固定座124可拆卸地連接，使支撐機構140可選擇性地安裝於下蓋120。在該實施例中，固定部144具有兩個彈性接腳145，且彈性接腳145的末端各自具有卡持部 146。固定座124具有兩個槽147，該些槽147配置成接收並穩固容置彈性接腳145的卡持部146。例如，固定座124可提供有滑槽，其供支撐機構140的彈性接腳145的卡持部146能沿著固定座124的表面滑入對應的槽147。支撐機構140可提供有一按壓機制，其係可操作而使彈接腳145的卡持部146可脫離對應的槽147，且該卡持部146可為鉤狀或其他構型。

第三圖為一種根據本揭露另一實施例之光罩盒100之支撐機構140的局部放大示意圖。支撐機構140具有朝上方延伸並用於支撐光罩10的一支撐部142及相對於支撐部142且面向下蓋120的一固定部144，其中固定部144與對應的固定座124可拆卸地連接，使支撐機構140可選擇性地安裝於下蓋120。固定部144配置成與固定座124可鎖固地連接，其中固定座124為自該承載面122朝上延伸的一固定柱，且在該固定柱的頂端提供有一帽部125。支撐機構140的固定部144與帽部125配合連接。例如，固定部144與帽部125具有相匹配的構形，使固定部144可套於帽部125上並因所述構形而限制固定部144無法被轉動。可替代地，固定部144與帽部125的連接可為藉由摩擦力之連接。

在其他實施例中，固定部144還可以具有螺旋紋路，相對應的固定柱124或帽部125上有另一螺旋紋路，可以與固定部144上的螺旋紋路耦合。

第四圖為根據本揭露又一實施例之光罩盒100之支撐機構140的局部放大示意圖。同樣地，支撐機構140具有朝上方延伸並用於支撐光罩10的支撐部142及相對於支撐部142的固定部144，其中固定部144與對應的固定座124可拆卸地連接，使支撐機構140可選擇性地安裝於下蓋120。固定部144配置成與固定座124公母連接，其中固定部144為一母連接部，固定座124為一公連接部。然而，此配置也可以是相反的情況。與第三圖實施例相似，所述母連接部和公連接部可具有相匹配的構形，使固定部144無法相對於固定座124轉動。

參閱第二圖至第四圖，在一實施例中，支撐部142還包含至少第一支撐柱143a用於接觸光罩10的底面以及以至少一第二支撐柱143b用於限制該光罩10的側部位移，但本發明並不限於支撐柱的數量。

第五圖為一實施例之光罩盒500的外觀立體圖。光罩盒500可為一光罩外盒，用於容置一光罩內盒或一光罩載具。第六A圖為光罩盒500的外觀俯視圖，第六B圖為第六A圖之AA線段橫截面圖。同時參閱第五圖、第六A圖及第六B圖，顯示了光罩盒500與光罩10之關係，一光罩10被容置在光罩盒500中，光罩盒500包含下蓋520、下蓋支撐機構540、上蓋560及上蓋支撐機構580，其中上蓋560和下蓋520定義光罩盒500的一容置空間。可替代地，光罩盒500除了容置光罩10也可配置成容置光罩內盒或其他類型的載具(如光罩護膜包裝容器)。下蓋520具有一承載面522及分布於該承載面522上的多個下蓋固定座524。下蓋支撐機構540係以一可拆卸手段與下蓋520的下蓋固定座524連接，下蓋支撐機構540用於支撐光罩10底部。上蓋560具有一抵接面562及分布於該抵接面562上的多個上蓋固定座564。上蓋支撐機構580係以一可拆卸手段與上蓋560的上蓋固定座564連接，上蓋支撐機構580用於抵接光罩10頂部。

第七圖為第六B圖之光罩盒500截面圖的另一視角，可見收容的光罩10被限制於下蓋支撐機構540和上蓋支撐機構580之間。下蓋支撐機構540具有朝上方延伸並用於支撐光罩10的一支撐部542及相對於支撐部542且面向下蓋520的一固定部544，其中固定部544與對應的固定座524可拆卸地連接，使下蓋支撐機構540可選擇性地安裝於下蓋520。在該實施例中，固定部544配置成與固定座524可鎖固地連接，其中，固定部544還可以具有螺旋紋路，相對應的固定座524上有另一螺旋紋路，可以與固定部544上的螺旋紋路耦合。

第八圖顯示上蓋支撐機構580與上蓋固定座564呈分離。上蓋560具有一抵接面562及分布於該抵接面562上的多個上蓋固定座564。抵接面562為上蓋560內側的一朝下表面，且朝下表面不與下蓋520接觸。上蓋固定座564為自抵接面562向下延伸之結構。該實施例的上蓋固定座564具有一柱體及自該柱體橫向延伸的兩個翼狀突出565a和565b。在某些可能的實施例中，上蓋固定座564可配置在上蓋560內側的側表面上。上蓋支撐機構580係以一可拆卸手段與上蓋560的固定座564連接，其連接方式將於後續說明。

第九A圖為光罩盒500的上蓋560在第一狀態之仰式圖。第九B圖為第九A圖的其中一上蓋支撐機構580與上蓋固定座564連接的第一狀態，該狀態下上蓋支撐機構580可自固定座564拔起而分離。第九C圖為第九A圖的上蓋支撐機構580之BB線段橫截面圖。第十A圖為光罩盒500的上蓋560在第二狀態之仰式圖。第十B圖為第十A圖的其中一上蓋支撐機構580與該上蓋固定座564連接的第二狀態，該狀態下上蓋支撐機構580無法自固定座564拔起而分離。第十C圖為第十A圖的上蓋支撐機構580之CC線段橫截面圖。

具體而言，第九A圖至第九C圖顯示一上蓋支撐機構580連接至上蓋固定座564，且該上蓋支撐機構580相對於上蓋固定座564呈一第一方位；第十A圖至第十C圖顯示上蓋支撐機構580經樞轉而與上蓋固定座564呈一第二方位，且該第二方位導致上蓋支撐機構580呈鎖固狀態無法自上蓋560分離。

如第九B圖和第十B圖所示，上蓋支撐機構580具有用於抵接光罩頂部的抵接部582及銜接於該抵接部的連接部583。抵接部582的寬度自連接部 583向遠端逐漸變窄，而形成如同三角形。此外，抵接部582再靠近遠端的部分具有一彎折結構，其配置成當上蓋560和下蓋520結合時能夠適當地接觸光罩的上緣或周圍上表面，如同第七圖所示，但抵接部582不以圖示實施例為限。上蓋支撐機構580的連接部具有一開口584，用於容納上蓋固定座564並允許上蓋固定座564於其中樞轉。開口584類似一蝶形開口，其提供翼狀部565a和565b的可樞轉空間，連接部583的內側具有面對開口584的多個第一凸肋586，上蓋固定座564的柱體表面具有第二凸肋588。如圖所示，四個第一凸肋586基本上接觸著上蓋固定座564的柱體表面。開口形狀配置成允許固定座564的第二凸肋588沿著第一旋轉方向R1(視圖順時方向)滑過第一凸肋586，即從第九B圖變成第十B圖的狀態，但禁止第九B圖的第二凸肋588沿著第二旋轉方向R2(視圖逆時方向)轉動。如第九B圖所示，靠近的兩個第一凸肋586之間形成有防止上蓋固定座564往R2方向轉動的結構。若欲從第十B圖變成第九B圖的狀態，可施予較大的力，使第二凸肋588往R2方向彈過第一凸肋586而回復至上蓋支撐機構580為可拔除的狀態。應瞭解，第一旋轉方向R1和第二旋轉方向R2是表達上蓋支撐機構580和上蓋固定座564的相對方向，實際上是轉動上蓋支撐機構580。從第九B圖的狀態到第十B圖的狀態，上蓋支撐機構580被施予適當的力，使第一凸肋586彈過第二凸肋588，完成上蓋支撐機構580的安裝。相反地，從第十B圖至第九B圖的狀態，上蓋支撐機構580被施予較大的反向力，使第一凸肋586彈過第二凸肋588，上蓋支撐機構580回到可拆除的方位。

具體而言，開口584具有允許上蓋固定座564進入或離開的第一通道，及允許上蓋固定座相對開口584旋轉的第二通道。如第九C圖所示，開口584配置成在上蓋支撐機構580呈一第一方位時，經由第一通道使上蓋固定座564可進出開口584。如第十C圖所示，開口584配置成在上蓋支撐機構580呈一第二方位時，經由第二通道使上蓋固定座564被止擋塊589限制於開口584中。意即，止擋塊589和上蓋固定座564的翼狀突出565a和565b抵觸，使上蓋支撐機構580無法被拔起。

第十一圖為本揭露另一實施例之光罩盒600(上蓋移除)與光罩10。第十二A圖至第十二C圖為第十一圖之DD線段中的支撐機構橫截面圖，分別顯示不同實施例。第十一圖顯示了光罩盒600與光罩10之關係，光罩10被支撐且被容置在光罩盒600中(如同第七圖所示)，光罩盒600包含下蓋620及多個下蓋支撐機構640。

如第十二A圖實施例所示，下蓋支撐機構640具有朝上方延伸並用於支撐光罩10的一支撐部642及相對於支撐部642且面向下蓋620的一固定部644，其中固定部644與下蓋620的固定部(此處為孔洞)可拆卸地連接，使下蓋支撐機構640可選擇性地安裝於下蓋620。此實施例之固定部644具有兩個彈性接腳645，且彈性接腳645的末端各自具有卡持部646。下蓋620的固定部(孔洞)配置成接收並穩固容置彈性接腳645的卡持部646。例如，下蓋620可提供有滑槽(未顯示)，其供下蓋支撐機構640的彈性接腳645的卡持部646能沿著滑槽進入孔洞，接著卡持部646抵接孔洞中的一肩部，使下蓋支撐機構640固定至下蓋620。下蓋支撐機構640的支撐部642和固定部644之間可提供一密封手段(如氣密環)，藉此防止光罩盒容置空間經由孔洞與蓋外空間連通。此外，下蓋支撐機構640可提供有一按壓機制，其係可操作而使彈性接腳645的卡持部646可脫離對應的槽。可替代地，可使用工具經由下蓋620的孔洞將彈性接腳645鬆脫，且該卡持部646可為鉤狀或其他構型。

如第十二B圖實施例所示，下蓋支撐機構640的固定部644(此處為孔洞)與設置於下蓋620的一螺絲可拆卸地連接，使下蓋支撐機構640可選擇性地安裝於下蓋620。固定部644可具有螺紋孔，用於配合所述螺絲，使得下蓋支撐機構640被鎖固於下蓋620。固定部644的末端可提供有定位結構647，其在螺絲設置於下蓋620前可將下蓋支撐結構640對準在安裝位置上。

如第十二C圖實施例所示，下蓋支撐機構640的固定部644為一孔洞，固定部644套接於對應的固定座624，使下蓋支撐機構640可選擇性地安裝於下蓋620。這種方式屬公母連接，其中固定部644為一母連接部，固定座624為一公連接部。然而，此配置也可以是相反的情況。固定部644和下蓋固定座624可具有相匹配的構形，尤其所述構形是具有角度的，使套接於下蓋固定座624的固定部644無法相對於固定座624轉動。

第十三A圖為又一實施例之光罩盒700(上蓋移除)與光罩10。第十三B圖為下蓋支撐機構740與下蓋720的下蓋固定座(孔洞)。第十三C圖為第十三A圖之EE線段的下蓋支撐機構740橫截面圖。下蓋支撐機構740具有朝上方延伸並用於支撐光罩10的一支撐部742及相對於支撐部742且面向下蓋720的一固定部744，其中固定部744與對應的下蓋固定座724可拆卸地連接，使下蓋支撐機構740可選擇性地安裝於下蓋720。固定部744基本上具有一柱體和柱體表面的一對翼狀部。如第十三B圖所示，下蓋固定座724具有一開口725，該開口725的形狀與固定部744的形狀匹配，以允許下蓋支撐機構740的固定部進入或離開開口725。類似於第九圖所描述的結構，此處的開口725同樣配置成具有允許固定部744進出的第一通道及允許固定部744相對該開口725旋轉的第二通道。下蓋支撐機構740安裝於下蓋720的下蓋固定座724的過程說明如下。

第十四A圖至第十四C圖為下蓋支撐機構740安裝於下蓋720的過程。首先，第十四A圖顯示下蓋支撐機構740依第十三B圖的方位插入開口725中。接著，第十四B圖顯示沿著一旋轉方向R3轉動下蓋支撐機構740。下蓋支撐機構740最終止於第十四C圖顯示之方位且無法被拔起。

第十四D圖至第十四F圖以截面圖顯示下蓋支撐機構740安裝於下蓋720的過程。第十四D圖顯示下蓋支撐部740以可通過開口725的第一方位對準開口725，插入後的下蓋支撐部740如第十四E圖所示。第十四F圖顯示經轉動後的下蓋支撐機構740呈一第二方位，且翼狀部抵觸開口725中的止擋塊(未顯示)而使下蓋支撐部740無法被拔起。

第十五A圖為光罩盒800(上蓋移除)與光罩10之正視圖。第十五B圖為光罩10與下蓋支撐機構840的橫截面圖。第十五C圖為下蓋支撐機構840與光罩10之下蓋支撐機構局部放大截面圖。第十五D圖為下蓋支撐機構840的支撐部842具體實施例。下蓋支撐機構840的固定部可以是前述實施例任何形式。

參閱第十五D圖，下蓋支撐機構840自其底部向上延伸有一第一壁841和一第二壁842，而第一壁841和第二壁842的頂端(即支撐部)具有一第一傾斜面841a和一第二傾斜面842a，其自頂端往第一壁841和第二壁842的交會處傾斜而下。當光罩10放置於下蓋支撐機構840上時，光罩10的下緣會接觸傾斜面841a和第二傾斜面842a。此設計使光罩10沿著第一傾斜面841a和第二傾斜面842a滑落而擺放正確。此外，第一壁841和第二壁842的交會處來提供有一集塵機構，其是由一或多個第三傾斜面843所界定，而該實施例有兩個第三傾斜面843。如第十五B圖至第十五D圖所示，第三傾斜面843共同朝一方向(如遠離光罩的方向)傾斜，藉此光罩10下緣與第一傾斜面841a和第二傾斜面842a摩擦的碎屑可落在第三傾斜面843並朝遠離光罩10的方向滑落至下蓋，避免光罩10底面受到汙染。

本發明提供之下蓋支撐機構不限於只能支撐光罩。第十六A圖為又一實施例之光罩盒900(上蓋移除)與光罩載具901。第十六B圖為該實施例的正視圖。第十六C圖為該實施例之下蓋支撐機構940立體圖。第十六D圖為下蓋10與已安裝的下蓋支撐機構940。第十六E圖為第十六A圖FF線段的下蓋支撐機構940截面圖。

如第十六C圖所示，下蓋支撐機構940具有一橫向延伸部941、一第一傾斜臂942a和一第二傾斜臂942b。橫向延伸部941可以類似於前述實施例的固定部而連接至下蓋920，如第十六E圖的實施例類似於第十二C圖。第一傾斜臂942a和第二傾斜臂942b自橫向延伸部941延伸。具體而言，該實施例的第一傾斜臂942a和第二傾斜臂942b是由一平坦延伸和一傾斜延伸所構成。如第十六D圖所示之安裝後的下蓋支撐結構940，橫向延伸部941是朝光罩載具901的方向略為延伸，第一傾斜臂942a和第二傾斜臂942b是朝下蓋920的周圍延伸，且分別是往下蓋920的不同邊緣延伸。第十六E圖所示，第一傾斜臂942a和第二傾斜臂942b可使光罩載具901滑落而呈恰當的擺放，避免嚴重的傾斜。

由於過去支撐光罩的支撐機構之抵持光罩的斜面、球體或支柱由於碰撞而造成抵持面磨損，造成支撐機構的磨損產生微粒，且當磨損嚴重時僅能更換光罩盒或需要破壞性的拆換，造成資源浪費的情況產生。藉由上述多個實施例，提供快速插拔的支撐機構，並且在光罩放置時提供緩衝。當支撐機構磨損，可以快速替換支撐機構以減少微粒產生的機會，同時也降低成本，不需要淘汰光罩盒，以減少成本的浪費。

雖然已經以一或多個實施例描述本發明電光罩盒，但要瞭解到本發明揭露內容並不限制於所揭露的實施例，例如本發明支撐機構的型態並不限制於所揭露的實施例，以及上蓋與下蓋皆可以相同配置設計；抑或是本發明的上蓋支撐機構與下蓋支撐機構可以以不同配置搭配設計。本發明涵蓋在申請專利範圍之精神與觀點中所包含的各種修改與類似配置，應給予最廣泛的詮釋，以包含所有之修改與類似結構。本發明揭露內容也包含下述申請專利範圍中的所有任何實施例。