[go: up one dir, main page]

TWI631061B - 搬運系統及搬運方法 - Google Patents

搬運系統及搬運方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI631061B
TWI631061B TW104115247A TW104115247A TWI631061B TW I631061 B TWI631061 B TW I631061B TW 104115247 A TW104115247 A TW 104115247A TW 104115247 A TW104115247 A TW 104115247A TW I631061 B TWI631061 B TW I631061B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
regional
trolley
route
loading
overhead traveling
Prior art date
Application number
TW104115247A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201542433A (zh
Inventor
池田昌弘
福島正純
伊藤靖久
Original Assignee
日商村田機械股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商村田機械股份有限公司 filed Critical 日商村田機械股份有限公司
Publication of TW201542433A publication Critical patent/TW201542433A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI631061B publication Critical patent/TWI631061B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0464—Storage devices mechanical with access from above
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C19/00—Cranes comprising trolleys or crabs running on fixed or movable bridges or gantries
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • H10P72/0612—
    • H10P72/3218—
    • H10P72/3221—
    • H10P72/3222—
    • H10P72/3404—
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

運用多數的暫存區與可自由選擇行走路徑之多數的區域台車，彈性地將物品對裝載埠搬出搬入。使具有起重機的複數高架行走車，沿著高架行走車的行走路線行走。於高架行走車的行走路線之下部及複數的裝載埠之上部，且較裝載埠更高的位置配置區域台車的行走路線，使具備起重機之複數的區域台車行走，並沿著區域台車的行走路線設置複數的暫存區。區域台車之行走路線係平行地複數設置，且在區域台車的行走路線間，區域台車可自如地分歧及會合。藉由區域台車，在裝載埠與暫存區之間，依據前述控制器之控制搬運物品，藉由高架行走車，依據前述控制器的控制對裝載埠或暫存區移載物品，且在與偏離區域台車之行走路線的區間之間搬運物品。

Description

搬運系統及搬運方法
此發明係與運用高架行走車與區域軌道之搬運系統及搬運方法有關。
高架行走車，係運用於半導體工廠中，用來於裝載埠之間搬運物品。而提案有提高搬運系統將物品暫時地保管之緩衝能力，且於裝載埠堵塞之情況下，去除高架行走車待機之必要性者。例如於專利文獻1(JP2012-111635)中，於高架行走車之行走路線的下部，以與高架行走車之行走路線重疊之方式，設置區域台車之軌道及暫存區。並且，在裝載埠堵塞之情況下，高架行走車能夠對暫存區而非裝載埠進行卸貨。
又於專利文獻2(JP4025374)中，關於平積的倉庫，於上下將托架層積而保管。且於托架之上部，使具備起重機之台車縱橫行走，搬運托架。若為如此，與高架起重機相較，可提高托架之搬運能力。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：JP2012-111635
專利文獻2：JP4025374
以專利文獻1之手法，區域台車基本上為1台，且暫存區之數量亦受限制。在此若單純增加區域台車之數量，則其他區域台車受到阻擋，區域台車無法到達目的地之狀況將增加。
本發明之課題，係在於可設置多數暫存區之同時，藉由令複數之區域台車互相迂迴地朝目的地行走，而能夠在裝載埠與暫存區之間，彈性地搬運物品。
本發明之搬運系統，係在設置於處理裝置的裝載埠之間，藉由高架行走車搬運物品之搬運系統，具備：高架行走車的行走路線；複數的高架行走車，具有起重機；區域台車的行走路線，至少在高架行走車的行走路線之下部及複數的裝載埠之上部，配置於較裝載埠更高的位置； 複數的區域台車，沿著區域台車的行走路線行走，且具備起重機；複數的暫存區，沿著區域台車的行走路線設置且將物品保管；及控制器，控制高架行走車與區域台車；區域台車之行走路線係平行地複數設置，且在區域台車的行走路線間，區域台車可自如地分歧及會合；區域台車，係可於裝載埠與暫存區之間藉由前述控制器的控制來搬運物品；高架行走車，係藉由前述控制器的控制來對裝載埠或暫存區移載物品，且在與偏離區域台車之行走路線的區間之間搬運物品。
本發明之搬運方法，係在設置於處理裝置的裝載埠之間，藉由高架行走車搬運物品之搬運方法，設有：高架行走車的行走路線；複數的高架行走車，具有起重機；區域台車的行走路線，至少在高架行走車的行走路線之下部及複數的裝載埠之上部，配置於較裝載埠更高的位置；複數的區域台車，沿著區域台車的行走路線行走，且具備起重機；複數的暫存區，沿著區域台車的行走路線設置且將物品保管；及 控制器，控制高架行走車與區域台車；區域台車之行走路線係平行地複數設置，且在區域台車的行走路線間，區域台車可自如地分歧及會合；藉由區域台車，於裝載埠與暫存區之間，依據前述控制器之控制搬運物品；藉由高架行走車，依據前述控制器的控制對裝載埠或暫存區移載物品，且在與偏離區域台車之行走路線的區間之間搬運物品。
高架行走車之行走路線在裝載埠之上部的情形，區域台車之行走路線，係設置以俯視與此等重疊之路線，及與此平行之路線。於此說明書中，關於搬運系統之記載可直接用於搬運方法，關於搬運方法之記載亦可直接用於搬運系統。
以此發明，因可複數設置區域台車之行走路線，而可設置多數之暫存區。又因可複數設置區域台車，而搬運能力高。而於複數之行走路線間，區域台車可自如地分歧及會合，而可繞過其他區域台車以到達目的地。因此，具備高暫存能力及高搬運能力，且能夠容易地到達目的之裝載埠。而為此可因應要求盡速搬運物品，例如可將有必要優先搬運之物品盡速搬運，或可搬運令指定時間之物品在指定時間內到達。
較佳的是，區域台車的行走路線，係由互相隔著間隔地配置之複數的區域性軌道所構成，區域台車，係受複數的軌道導引而行走，且軌道間之間隔的下部配置 有暫存區。若為如此，因藉由複數之軌道而導引，區域台車之行走穩定，因軌道間之間隔的下部配置有暫存區，可不令物品橫向移動而移載。
較佳的是，沿著第1方向，設有互相隔著間隔地配置之複數的軌道，沿著與第1方向呈直角的第2方向，設有互相隔著間隔地配置之複數的軌道，區域台車，係沿著第1方向與第2方向縱橫行走，並具備：第1行走部，用來沿著第1方向行走；第2行走部，用來沿著第2方向行走；及切換部，選擇第1行走部與第2行走部之其中一方使其動作。
區域台車，可一邊切換第1行走部與第2行走部，沿第1方向與第2方向縱橫行走。又於每個軌道交叉處，區域台車能夠切換行走方向。因此，可一邊繞過其他區域台車容易地到達目的地。而若設置多數第1方向之軌道與第2方向之軌道，則能夠設置更多數之暫存區，且增加區域台車之行走路線。切換係藉由，例如第1行走部與第2行走部相對地昇降自如而進行，例如運用：使此等一方昇降之同時，使另一方逆向昇降之機構。或者，運用：固定一方之行走部之高度，使另一方之行走部，在較一方之行走部低的選擇位置，與高的非選擇位置之間昇降之機構。
較佳的是，自裝載埠之上部橫跨處理裝置之上部，軌道係沿第1方向與第2方向格子狀地配置，在被第1方向的軌道與第2方向的軌道所包圍之格子的框之下部配置有暫存區，區域台車可朝任意格子的框行走自如。若為如此，則能夠設置多數之暫存區，且區域台車可沿格子狀的軌道，邊繞過其他區域台車到達目的地。
較佳的是，高架行走車之行走路線，係於區域台車之行走路線的上部之上游側以複線狀地分歧，且在下游側以單線狀地會合，進而，於複線狀地分歧之行走路線的下部，設有使高架行走車與區域台車可共同將物品移載自如之暫存區。因高架行走車之行走路線為複線，可減少高架行走車停止並移載物品所造成之阻塞。
較佳的是，前述以複線狀地分歧之行走路線，係配置於裝載埠之上部與處理裝置之上部、或裝載埠之上部與處理裝置的背面之上部，自裝載埠之上部橫跨處理裝置之上部或處理裝置的背面之上部，配置有區域台車之行走路線。若為如此，高架行走車，係可直接進出裝載埠，亦可行走避開裝載埠之路線而進出暫存區。又，能夠設置多數區域台車之行走路線與暫存區。
較佳的是，區域台車，係具備使物品以繞正交軸方式旋轉之轉盤。轉盤令起重機旋轉亦可，或藉由起重機昇降亦可。又轉盤雖最低限度令物品旋轉180°即可，以能夠進行90°、180°、270°三種旋轉，並能夠微幅修正旋轉角度者為佳。藉由設置轉盤，可配合裝載埠之方向而 旋轉物品。
2‧‧‧搬運系統
4‧‧‧高架行走車(Overhead Hoist Transfer，OHT)
6‧‧‧行走軌道(行走路線)
7‧‧‧支柱
8‧‧‧昇降台
10‧‧‧物品
12‧‧‧處理裝置
14‧‧‧裝載埠
16‧‧‧區域台車
18、19‧‧‧車輪
20‧‧‧區域軌道(區域台車之行走路線)
21‧‧‧溝
22‧‧‧暫存區
23、24‧‧‧支柱
25‧‧‧頂棚
30‧‧‧圈際路線
32‧‧‧圈內路線
34‧‧‧增設路線
36‧‧‧移載區域
37‧‧‧通路
40、41‧‧‧行走部
42、44‧‧‧皮帶(驅動媒體)
43‧‧‧齒輪
46‧‧‧馬達
48‧‧‧驅動軸
50‧‧‧起重機
52‧‧‧昇降台
54‧‧‧轉盤
56‧‧‧切換部
60‧‧‧區域軌道
61‧‧‧突條
62‧‧‧預備空間
70‧‧‧生產管理系統(Manufacturing Execution System，MES)
71‧‧‧材料管理系統(Material Control System，MCS)
72‧‧‧高架行走車控制器(OHT控制器)
74‧‧‧區域台車控制器
75‧‧‧處理裝置控制器
[第1圖]實施例之搬運系統之特取部分正視圖。
[第2圖]實施例之搬運系統之特取部分俯視圖。
[第3圖]實施例中區域台車與區域軌道、及暫存區之俯視圖。
[第4圖]實施例中區域台車與區域軌道、及暫存區之附部分切缺正視圖。
[第5圖]變形例之區域軌道之俯視圖。
[第6圖]變形例之搬運系統之特取部分俯視圖。
[第7圖]第2變形例之搬運系統之特取部分俯視圖。
[第8圖]表示實施例中控制系之方塊圖。
以下表示用以實施本發明之最適實施例。本發明之範圍，係應依據申請專利範圍之記載，參酌說明書之記載與此領域之周知技術，遵從所屬技術領域中具有通常知識者之理解而定。
實施例
第1圖~第8圖中，係表示實施例之搬運系統2(第1圖~第4圖、第8圖)與其變形(第5圖~第7圖)。搬 運系統2，係設置於半導體製造工廠之清淨室等。在設於清淨室之頂棚空間之圈際路線(inter-bay route)及圈內路線(intra-bay route)，高架行走車(OHT(Overhead Hoist Transfer))4沿著行走軌道6行走。又支柱7，係自頂棚25側支撐行走軌道6。圈內路線，係配置有半導體等之處理裝置12之迴圈(bay)內的路線，藉由圈際路線互相連接。又高架行走車4，係具備起重機與起重機之橫向移動機構(皆未圖示)，藉由令起重機將昇降台8進行昇降，在與裝載埠14之間移載晶圓傳送盒(FOUP(Front-Opening Unified Pod))等之物品10。
實施例中高架行走車4之任務，係在不同圈內路線之裝載埠14之間盡速搬運物品10。於此，高架行走車4，因為了在與裝載埠14之間移載物品10而停止，而成為圈內路線阻塞之原因。對此，增加高架行走車4對裝載埠14之外之暫存區將物品搬出搬入的機會，而減少阻塞。與此同時，裝載埠14與暫存區之間的搬運由區域台車來執行，較佳為提高由區域台車執行迴圈內搬運之比例。對此，在增加區域台車之台數以提高搬運能力同時，令區域台車能夠彈性地選擇行走路徑，而令區域台車不致阻塞。
16為區域台車，而區域軌道20，係自裝載埠14之上部，橫跨至處理裝置12之上部或處理裝置12的背面之上部等，設置於迴圈內。區域軌道20係例如以縱橫的格子狀配置，並雖例如藉由支柱24而藉頂棚25支 撐，亦可藉由清淨室之地面等支撐。又於區域軌道20之下部，暫存區22係例如以格子狀設置，並例如藉由支柱23而藉區域軌道20支撐。而區域台車16，係在暫存區22與裝載埠14之間搬運物品10。
第2圖中，係表示區域軌道20之配置例。自圈際路線30，圈內路線32與增設路線34被引入迴圈內。增設路線34，係通過處理裝置12之上部或背面之上部，而增設於通過裝載埠14之上部之一般的圈內路線32之路線。區域軌道20，係以格子狀配置於處理裝置12之上部等，於格子的1框中，設置有例如為1個或複數個之暫存區22。亦即，於格子狀的區域軌道20之受軌道包圍之空間中，設置有暫存區22。又，區域台車16與高架行走車4可共同進出之區域稱為移載區域36，移載區域36係設置有裝載埠14與暫存區22。第2圖中，左右之處理裝置12的列之間之通路37上，亦設置區域軌道20，令迴圈內之搬運僅由區域台車16來執行。但不連接迴圈左右之區域軌道20亦可。又，如第2圖之下部以虛線所示，於配置有處理裝置12’與裝載埠14’之情形，因應於此追加虛線之區域軌道20’為佳。於此情形，裝載埠14’之方向，自其他的裝載埠14變化了90°或270°。於此藉由區域台車16之轉盤，使物品之方向能夠以90°、180°、及270°旋轉為佳。進而為補正裝載埠14、14’等之微妙的方向偏差，令轉盤之旋轉角度能夠微幅修正為佳。
第3圖中，係表示區域軌道20與區域台車 16。區域軌道20之寬幅方向之中心設有溝21，區域台車16係具備車輪18例如前後2對、具備車輪19例如前後2對，車輪18、19之行走方向為直角。又，藉由行走部40使車輪18旋轉，藉由行走部41使車輪19旋轉，使車輪18、19之一方下降而另一方上升，下降之車輪藉由溝21之導引而行走。如此，區域台車16受一對的區域軌道20、20引導而行走，能夠自以格子狀配置之區域軌道20的任意位置朝任意位置移動。在此之間，區域台車16不僅縱橫行走，也可前後行進自如。
第4圖，係表示區域台車16之構造。於行走部40a，係藉由皮帶42使車輪18旋轉，自馬達46經由齒輪43與皮帶44，驅動皮帶42。又，藉由驅動軸48，將馬達46之輸出傳達至行走部40b。行走部41之構造亦為相同。50為起重機，使將物品10把持之昇降台52昇降，在裝載埠14與暫存區22之間移載物品10。轉盤54，係將起重機50以90°為單位旋轉，使物品10旋轉至適合裝載埠14之方向。切換部56係具有未圖示之馬達與凸輪等，令行走部40、41之一方下降，令車輪18、19之一方由溝21導引，使另一方上升，自區域軌道20浮起。而物品10被引入區域台車16之內部，若於物品10之上部設置驅動軸48、切換部56等，則可避開物品10而配置此等構件，而可使區域台車16於俯視下之面積變小。
藉由以上構造，區域台車16，係可自第2圖中區域軌道20的任意位置行走至任意位置，並能夠使物 品10朝期望之方向旋轉。又，區域台車16所必須之空間，係區域軌道20之格子1框，與其周圍之格子8框。亦即，區域台車16，在與其他的區域台車16之間，若有格子1框以上之空隙即可自由行走。因此，可不受其他的區域台車阻擋而自由地行走。
第5圖之變形例中，於區域軌道60之中心設置突條61之同時，於其兩側設置一對的溝21、21，令一對的區域台車16、16能夠行走於相同區域軌道60。又，藉由第5圖之虛線表示暫存區22。區域軌道之構造為任意者，例如可不設置溝21，以區域軌道導引設置於區域台車16之導引滾子亦可。又於實施例中，雖區域台車16行走區域軌道20、60之上部，區域台車16以自區域軌道懸垂之方式行走亦可。
第6圖之變形例中，係使區域軌道20之配置成為小規模者。第6圖之區域軌道20，係與圈內路線36之下部的軌道、及其側方的軌道呈平行而複線狀地配置，且能夠將之視為使之於任意之框自如地分歧與會合者。區域台車，係因能夠於區域軌道20縱橫且前後進行自如地行走，即使於移載區域36中高架行走車或其他的區域台車正在移載物品，亦可迂迴地抵達目的地。又對於1個目的地，可從其三個方向(第2圖中為從目的地之四個方向)到達。而藉由轉盤，能夠將物品之方向配合裝載埠14對齊。
第7圖之變形例中，於處理裝置12的列之上 部或背面之上部，設置增設路線34，於自圈內路線32橫跨至增設路線34之範圍，配置區域軌道20。高架行走車，係於移載區域36a、36b皆可移載物品，例如可直接與裝載埠14之間移載物品，或亦可與裝載埠14相反側之移載區域36a的暫存區移載物品。區域台車，係可繞過高架行走車或其他的區域台車正在進行移載之位置，而抵達目的地。又62係為區域軌道20及暫存區22皆未設置之預備空間，於此增設區域軌道20與暫存區22亦可。
第8圖，係表示搬運系統2之控制系。70係最上位之生產管理系統(MES(Manufacturing Execution System))，進行材料管理系統(MCS(Material Control System))71及處理裝置控制器75之資訊管理同時，依據半導體之生產排程，對處理裝置控制器75與材料管理系統71進行指示。處理裝置控制器75，係依據來自生產管理系統70之指示，管理處理裝置12，並向生產管理系統70報告處理之進度狀況。材料管理系統71，係依據來自生產管理系統70的半導體之生產排程，製作物品10之搬運排程，令高架行走車控制器(OHT控制器)72及區域台車控制器74，執行物品10之搬運。除此之外，設置未圖示之儲料間控制器亦可。又，使高架行走車控制器72與區域台車控制器74為一體亦可，為分開亦可。高架行走車4，係僅能以單方向行走於行走路線，又因行走路線可能阻塞，按照指示搬運物品為困難。相對於此，區域台車16能夠縱橫行走，且能自由前進與後退，並且區域軌道 以平行地複線狀地配置，而可容易地抵達目的地。
若產生阻塞，高架行走車4可將卸貨位置適當變更至移載區域內之暫存區，並將此事自高架行走車控制器72朝區域台車控制器74進行通知。而區域台車16，便自高架行走車卸貨之位置，將物品搬運至目的之裝載埠。又若於裝載埠上高架行走車4停止並進行載貨，將制約其他的高架行走車之行走。進而因阻塞之故，高架行走車進出目的之裝載埠可能為困難。相對於此，區域台車16可容易地進出期望之裝載埠並載貨，並可朝高架行走車不易產生阻塞之位置之暫存區卸貨。為此，可盡速執行自裝載埠之搬出。
實施例係具有以下特徵。
1)區域台車16可縱橫且前後進行自如地行走，並可自由地選擇至目的地為止之行走路徑。
2)區域台車16係具備轉盤，可配合裝載埠14變更物品之方向。
3)因具有區域台車16與暫存區22，高架行走車4能夠自由地變更卸貨位置與載貨位置。換言之，能夠在高架行走車4方便之位置與目的之裝載埠14之間，藉由區域台車16搬運物品，並保管於暫存區22。
4)因能夠設置多數暫存區22，又因區域台車16能夠彈性地行走，而可藉由多數之區域台車16搬運物品。
5)因此等之故，可將需要緊急搬運之物品(緊急批量)對裝載埠14盡速地搬出搬入。
6)因多數之區域台車16能夠進出期望之裝載埠14，且具有多數之暫存區22，而能夠於生產管理系統71所要求之時間內，對所要求之裝載埠14將物品搬出搬入。
於實施例中，區域軌道20為格子狀，區域台車16為縱橫地行走自如。但若以最低限度配置複線之區域軌道、將分歧部與會合部以複線地連接，則可藉由前後進行自如且自如地分歧及會合之區域台車，朝目的位置彈性地行走，將物品搬出搬入。

Claims (6)

  1. 一種搬運系統，係在設置於處理裝置的裝載埠之間，藉由高架行走車搬運物品之搬運系統，其特徵為：具備：高架行走車的行走路線；複數的高架行走車，具有起重機；區域台車的行走路線，至少在高架行走車的行走路線之下部及複數的裝載埠之上部，配置於較裝載埠更高的位置；複數的區域台車，沿著區域台車的行走路線行走，且具備起重機；複數的暫存區，沿著區域台車的行走路線設置且將物品保管；及控制器，控制高架行走車與區域台車；區域台車之行走路線係平行地複數設置，且在區域台車的行走路線間，區域台車可自如地分歧及會合；區域台車，係可於裝載埠與暫存區之間藉由前述控制器的控制來搬運物品；高架行走車，係藉由前述控制器的控制來對裝載埠或暫存區移載物品，且在與偏離區域台車之行走路線的區間之間搬運物品；自裝載埠之上部橫跨處理裝置之上部，軌道係沿第1方向與第2方向格子狀地配置，在被第1方向的軌道與第2方向的軌道所包圍之格子的框之下部配置有暫存區，區 域台車可朝任意格子的框行走自如。
  2. 如請求項1之搬運系統，其中，沿著第1方向，設有互相隔著間隔地配置之複數的軌道，沿著與第1方向呈直角的第2方向，設有互相隔著間隔地配置之複數的軌道，區域台車，係沿著第1方向與第2方向縱橫行走，並具備：第1行走部，用來沿著第1方向行走；第2行走部，用來沿著第2方向行走；及切換部，選擇第1行走部與第2行走部之其中一方使其動作。
  3. 如請求項1或2項之搬運系統，其中，高架行走車之行走路線，係於區域台車之行走路線的上部之上游側以複線狀地分歧，且在下游側以單線狀地會合，進而，於複線狀地分歧之行走路線的下部，設有使高架行走車與區域台車可共同將物品移載自如之暫存區。
  4. 如請求項3之搬運系統，其中，前述以複線狀地分歧之行走路線，係配置於裝載埠之上部與處理裝置之上部、或裝載埠之上部與處理裝置的背面之上部，自裝載埠之上部橫跨處理裝置之上部或處理裝置的背面之上部，配置有區域台車之行走路線。
  5. 如請求項1或2項之搬運系統，其中，區域台車，係具備使物品以繞正交軸方式旋轉之轉盤。
  6. 一種搬運方法，係在設置於處理裝置的裝載埠之間，藉由高架行走車搬運物品之搬運方法，其特徵為：設有：高架行走車的行走路線；複數的高架行走車，具有起重機；區域台車的行走路線，至少在高架行走車的行走路線之下部及複數的裝載埠之上部，配置於較裝載埠更高的位置；複數的區域台車，沿著區域台車的行走路線行走，且具備起重機；複數的暫存區，沿著區域台車的行走路線設置且將物品保管；及控制器，控制高架行走車與區域台車；區域台車之行走路線係平行地複數設置，且在區域台車的行走路線間，區域台車可自如地分歧及會合；藉由區域台車，於裝載埠與暫存區之間，依據前述控制器之控制搬運物品；藉由高架行走車，依據前述控制器的控制對裝載埠或暫存區移載物品，且在與偏離區域台車之行走路線的區間之間搬運物品；自裝載埠之上部橫跨處理裝置之上部，軌道係沿第1 方向與第2方向格子狀地配置，在被第1方向的軌道與第2方向的軌道所包圍之格子的框之下部配置有暫存區，區域台車可朝任意格子的框行走自如。
TW104115247A 2014-05-14 2015-05-13 搬運系統及搬運方法 TWI631061B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/277,111 US9415934B2 (en) 2014-05-14 2014-05-14 Transport system and transport method
US14/277,111 2014-05-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201542433A TW201542433A (zh) 2015-11-16
TWI631061B true TWI631061B (zh) 2018-08-01

Family

ID=54479725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104115247A TWI631061B (zh) 2014-05-14 2015-05-13 搬運系統及搬運方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9415934B2 (zh)
EP (1) EP3144252B1 (zh)
JP (1) JP6202199B6 (zh)
CN (1) CN106458444B (zh)
TW (1) TWI631061B (zh)
WO (1) WO2015174181A1 (zh)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NO337544B1 (no) * 2014-06-19 2016-05-02 Jakob Hatteland Logistics As Fjernstyrt kjøretøysammenstilling for å plukke opp lagringsbeholdere fra et lagringssystem
JP6206747B2 (ja) * 2014-06-19 2017-10-04 村田機械株式会社 キャリアの一時保管装置と保管方法
SG11201700646RA (en) * 2014-09-10 2017-03-30 Murata Machinery Ltd Temporary storage system, conveyance system using same, and temporary storage method
US10043699B2 (en) * 2015-11-13 2018-08-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. High capacity overhead transport (OHT) rail system with multiple levels
SG11201804593PA (en) * 2015-12-08 2018-06-28 Murata Machinery Ltd Conveyance system and conveyance method
SG11201806899XA (en) * 2016-03-03 2018-09-27 Murata Machinery Ltd Conveyance system
SG11201806900WA (en) * 2016-03-03 2018-09-27 Murata Machinery Ltd Temporary storage system
KR102165190B1 (ko) * 2016-08-26 2020-10-12 무라다기카이가부시끼가이샤 유궤도 대차 시스템 및 유궤도 대차
KR102227453B1 (ko) * 2016-11-14 2021-03-12 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송 시스템과 이에 이용하는 중계 반송 장치 및 반송 방법
JP6593316B2 (ja) * 2016-12-15 2019-10-23 株式会社ダイフク 物品搬送車
HUE051238T2 (hu) * 2016-12-19 2021-03-01 Zeiss Carl Vision Int Gmbh Továbbító berendezés egy szállítótartály számára
NO20170216A1 (en) * 2017-02-13 2018-08-14 Autostore Tech As Rail arrangement for wheeled vehicles in a storage system
DE102017104990A1 (de) 2017-03-09 2018-09-13 Dematic Gmbh Verfahren zur Auslagerung von Waren aus einem Lager zur Auftragserfüllung
DE102017206652A1 (de) * 2017-04-20 2018-10-25 Kuka Deutschland Gmbh Robotergreifer zum Handhaben von Objekten, insbesondere Behältern
WO2018211898A1 (ja) * 2017-05-19 2018-11-22 村田機械株式会社 保管システム
CN110753667B (zh) * 2017-06-30 2021-08-31 村田机械株式会社 搬运系统以及搬运方法
KR102253938B1 (ko) * 2017-06-30 2021-05-20 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
CN107640490B (zh) * 2017-09-20 2019-10-08 昆山世远物流有限公司 立体仓库系统及其控制方法
CN107461064A (zh) * 2017-09-22 2017-12-12 王燏斌 一种平面立体车库
NO345129B1 (en) 2017-11-23 2020-10-12 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system and a method of operating the same.
CN108584271A (zh) * 2018-07-24 2018-09-28 深圳市鲸仓科技有限公司 立体仓储系统
EP3875332B1 (en) * 2018-10-29 2023-10-25 Murata Machinery, Ltd. Ceiling carrier and ceiling carrier system
CN112930291B (zh) * 2018-10-29 2023-08-01 村田机械株式会社 行驶车系统
US12119252B2 (en) * 2018-10-29 2024-10-15 Murata Machinery, Ltd. Ceiling traveling vehicle system and method for detecting obstacle
US11615975B2 (en) * 2019-01-25 2023-03-28 Murata Machinery, Ltd. Storage system
US11673741B2 (en) * 2019-01-25 2023-06-13 Murata Machinery, Ltd. Storage system
EP3915902B1 (en) * 2019-01-25 2024-04-03 Murata Machinery, Ltd. Transport system
CN111517049B (zh) * 2019-02-03 2025-08-19 北京京东乾石科技有限公司 运输系统及方法
CN110239867A (zh) * 2019-04-29 2019-09-17 新兴河北工程技术有限公司 一种球墨铸铁管自动仓储系统
JP7259528B2 (ja) * 2019-05-07 2023-04-18 オムロン株式会社 搬送制御システム、搬送制御装置、および搬送制御方法
KR102701743B1 (ko) * 2019-09-18 2024-08-30 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 보관부
CN114341026B (zh) * 2019-11-07 2023-10-03 村田机械株式会社 搬运系统及网格系统
CN111137610A (zh) * 2019-12-26 2020-05-12 北京极智嘉科技有限公司 一种基于密集存储的货箱搬运方法及装置
CN111401650A (zh) * 2020-03-23 2020-07-10 深圳市海格物流股份有限公司 客户端订单接入管理方法和系统
CN115175842B (zh) * 2020-04-27 2024-05-03 村田机械株式会社 高架输送车以及高架输送系统
CN115427329A (zh) 2020-04-30 2022-12-02 村田机械株式会社 输送车系统
JP7310713B2 (ja) * 2020-05-25 2023-07-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
EP3922205A1 (en) * 2020-06-12 2021-12-15 Gibotech A/S System for arranging containers and container lids on a rack in a sterile processing department
IL303392A (en) * 2021-01-05 2023-08-01 Murata Machinery Ltd Superior storage system
JP7559999B2 (ja) * 2022-03-29 2024-10-02 村田機械株式会社 搬送システム
WO2025057586A1 (ja) * 2023-09-11 2025-03-20 村田機械株式会社 搬送システム
CN117470193A (zh) * 2023-11-01 2024-01-30 济南金曰公路工程有限公司 一种公路施工用坡度检测装置及检测方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100074717A1 (en) * 2008-09-24 2010-03-25 Inotera Memories, Inc. Automatic transport system and control method thereof
JP2011207621A (ja) * 2010-03-08 2011-10-20 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
TW201212149A (en) * 2010-07-27 2012-03-16 Muratec Automation Co Ltd Conveying system
TW201222700A (en) * 2010-11-19 2012-06-01 Rorze Technology Inc Transport method for wafer processes
TW201233611A (en) * 2010-11-04 2012-08-16 Muratec Automation Co Ltd System and method for transporting an article between processing devices
JP2012527775A (ja) * 2009-05-18 2012-11-08 クロッシング オートメーション インコーポレイテッド 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム
TW201321288A (zh) * 2011-11-30 2013-06-01 華亞科技股份有限公司 天車輸送系統及其運轉方法
TW201351552A (zh) * 2009-02-20 2013-12-16 東京威力科創股份有限公司 基板處理裝置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NO972004D0 (no) 1997-04-30 1997-04-30 Hatteland Electronic As Jacob Metode for organisering av vareflyt for en horisontalt lagdelt og dypstablet lagerbeholdning med uensartede komponenter, samt forflytningsutstyr for standariserte beholdere til formålet
JP2000095309A (ja) * 1998-09-25 2000-04-04 Okuma Corp ロール状物品保管装置
TWI233913B (en) * 2002-06-06 2005-06-11 Murata Machinery Ltd Automated guided vehicle system
JP2004010250A (ja) * 2002-06-06 2004-01-15 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
US8628289B1 (en) * 2003-05-06 2014-01-14 Charles E. Benedict Material handling and storage/warehouse system
CN100593838C (zh) * 2005-07-08 2010-03-10 村田自动化机械有限公司 堆料机
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP2008263004A (ja) * 2007-04-11 2008-10-30 Rorze Corp コンテナの受渡、留置、並びに供給装置。
JP5278752B2 (ja) * 2009-03-31 2013-09-04 株式会社ダイフク 物品保管設備
US20110245964A1 (en) * 2010-04-06 2011-10-06 Sullivan Robert P Self Aligning Automated Material Handling System
US9385019B2 (en) * 2012-06-21 2016-07-05 Globalfoundries Inc. Overhead substrate handling and storage system

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100074717A1 (en) * 2008-09-24 2010-03-25 Inotera Memories, Inc. Automatic transport system and control method thereof
TW201351552A (zh) * 2009-02-20 2013-12-16 東京威力科創股份有限公司 基板處理裝置
JP2012527775A (ja) * 2009-05-18 2012-11-08 クロッシング オートメーション インコーポレイテッド 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム
JP2011207621A (ja) * 2010-03-08 2011-10-20 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
TW201212149A (en) * 2010-07-27 2012-03-16 Muratec Automation Co Ltd Conveying system
TW201233611A (en) * 2010-11-04 2012-08-16 Muratec Automation Co Ltd System and method for transporting an article between processing devices
TW201222700A (en) * 2010-11-19 2012-06-01 Rorze Technology Inc Transport method for wafer processes
TW201321288A (zh) * 2011-11-30 2013-06-01 華亞科技股份有限公司 天車輸送系統及其運轉方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3144252A1 (en) 2017-03-22
EP3144252A4 (en) 2017-10-18
EP3144252B1 (en) 2021-06-09
WO2015174181A1 (ja) 2015-11-19
CN106458444B (zh) 2019-05-31
TW201542433A (zh) 2015-11-16
JP6202199B6 (ja) 2018-06-27
CN106458444A (zh) 2017-02-22
US9415934B2 (en) 2016-08-16
JPWO2015174181A1 (ja) 2017-04-20
JP6202199B2 (ja) 2017-09-27
US20150332948A1 (en) 2015-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI631061B (zh) 搬運系統及搬運方法
JPWO2015174181A6 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP6048686B2 (ja) 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
CN108001979B (zh) 物品搬运设备
JP5382470B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
TWI525026B (zh) Handling system and handling method
JP5316907B2 (ja) 物品搬送設備
TW201922547A (zh) 搬運系統
CN102161417B (zh) 输送车系统
JP4470576B2 (ja) 搬送システム
TW201711884A (zh) 搬運車系統
JP7323059B2 (ja) 搬送車システム
JP6566051B2 (ja) 保管装置及び搬送システム
CN103395589A (zh) 自动化物料输送系统及其物料传输方法
JP2013153193A (ja) 搬送システム
KR101504145B1 (ko) 반송시스템 및 그 대차장치
TWI743294B (zh) 物品搬送設備
JP2013141034A (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP2008019017A (ja) 物品収納装置
JP2007287877A (ja) 搬送システム
CN120149222A (zh) 物品运送设备
TWI476136B (zh) Transfer device and transfer method between conveyor belt handling system
TW202402640A (zh) 搬送系統