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TWI615480B - 鋁合金製之真空室單元 - Google Patents

鋁合金製之真空室單元 Download PDF

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TWI615480B
TWI615480B TW102137365A TW102137365A TWI615480B TW I615480 B TWI615480 B TW I615480B TW 102137365 A TW102137365 A TW 102137365A TW 102137365 A TW102137365 A TW 102137365A TW I615480 B TWI615480 B TW I615480B
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凱波 朱斯特 彌凱爾 凡
塞德瑞克 蓋斯奎勒斯
許密德 克利斯汀 皮彼格
古提瑞茲 瑪麗亞 貝倫 達佛
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伊蘇瓦爾肯聯鋁業
肯聯鋁業瓦萊公司
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Abstract

本發明係關於一種藉由對具有至少等於10mm厚度之一鋁合金板進行機械加工及表面處理所獲得之真空室單元，該鋁合金係由如下構成(以重量百分比)：Si：0.4-0.7；Mg：0.4-0.7；Ti：0.01-<0.15,Fe<0.25；Cu<0.04；Mn<0.4；Cr：0.01-<0.1；Zn<0.04；其他元素各<0.05且總計<0.15，剩餘為鋁。本發明亦係關於一種用於一真空室單元之製造方法，其中依次為：提供具有至少10mm之一厚度之系列5XXX或系列6XXX之一鋁合金板，將該板機械加工成一真空室單元，將該單元脫脂及/或浸洗，使用包括100g/l至300g/l之硫酸及10g/l至30g/l之草酸及5g/l至30g/l之至少一種多元醇的溶液，在介於10℃至30℃之間之一溫度下，對該板進行陽極處理，視情況在至少98℃之一溫度下，於去離子水中將該經陽極處理之產品與水化合，較佳地達至少約1小時的時間。根據本發明之產品具有一經改良之性質均質性及一有利之耐腐蝕性。

Description

鋁合金製之真空室單元
本發明係關於經設計以用作為真空室之單元之鋁合金產品，特別係用於含有半導體之積體電路、平板顯示螢幕、光電板之製造及其等製造之方法。
用於製造使用半導體之積體電路、平板顯示螢幕及太陽能板之真空室單元通常可自鋁板獲得。
真空室單元係用於真空室結構及真空室之內部組件(諸如真空室主體、閥體、凸緣、連接單元、密封單元、穿透件、擴散器及電極)之製造之單元。其等尤其藉由鋁合金板之機械加工及表面處理而獲得。
為獲得令人滿意之真空室單元，鋁合金板必須具有某些性質。
該等板首先必須具有令人滿意之機械特性以允許所需尺寸及剛度之部件之機械生產以便能夠在不彎曲之情況下獲得通常至少為(10-3-10-5托)之平均真空位準之一真空。因此所需極限抗拉強度(Rm)通常至少為260MPa且(若可能)甚至更多。此外，為使該等板進行機械加工，待批量加工之該等板必須在其等整個厚度上具有均質性質且自殘留應力具有一較低密度的經儲存彈性能。
此外，該等板之多孔性之位準必須足夠低以獲得一較高真空(10-6 -10-8托)(若需要)。此外，用於真空室之氣體通常非常具有腐蝕性，且為了避免來自該真空室單元及/或因此等單元之頻繁更換所致之粒子或物質對矽晶圓或液晶裝置之污染之風險，保護該等真空室單元之表面係很重要的。因為可能執行會產生一抗反應氣體之硬陽極氧化塗佈之表面處理，所以從此角度來看鋁經證明為一有利材料。此表面處理包括一陽極處理步驟且所獲得之氧化物層通常被稱作一陽極層。在本發明之內容中，「耐腐蝕性」更具體意指陽極處理鋁對於用於真空室之腐蝕性氣體以及對於相應測試之抗性。然而，由陽極層提供之保護受諸多因數(特別是關於板之微結構(晶粒大小及形狀、相析出、多孔性))影響且始終期望改良此參數。可由被稱為一「氣泡測試」之測試評估耐腐蝕性，該測試涉及在與鹽酸之一稀溶液接觸之後旋即量測陽極處理產品之表面上之氫氣泡之發生之時間。在先前技術中已知之時間係自數十分鐘至數個小時。
為改良該真空室單元，可改良鋁板及/或所執行之表面處理。
美國專利第6,713,188號(Applied Materials Inc.)描述一種適用於用於半導體之製造之室之製造之合金，該合金由如下(以重量百分比表示)所構成：0.4-0.8；Cu：0.15-0.30；Fe：0.001-0.20；Mn 0.001-0.14；Zn 0.001-0.15；Cr：0.04-0.28；Ti 0.001-
Figure TWI615480BD00001
0.06；Mg：0.8-1.2。部件係藉由擠壓或機械加工以達到所要形狀而獲得。該組成使得能夠檢查雜質粒子之尺寸，從而改良陽極層之效能。
美國專利第7,033,447號(Applied Materials Inc.)主張一種適用於用於半導體之製造之室之製造之合金，該合金由如下(以重量之百分比)所構成：Mg：3.5-4.0；Cu：0.02-0.07；Mn：0.005-0.015；Zn 0.08-0.16；Cr 0.02-0.07；Ti：0-0.02；Si<0.03；Fe<0.03。部件在7℃至21℃之一溫度下在包括10重量%至20重量%之硫酸、及0.5重量%至3重量%之草酸之溶液中經陽極處理。用氣泡測試所得之 最佳結果係20小時。
美國專利第6,686,053號(Kobe)主張一種具有一經改良之抗腐蝕性之合金，其中陽極氧化物包括一障壁層及一多孔層且其中該層之至少一部分經改變為水鋁石及/或假軟水鋁石。用氣泡測試所得之最佳結果約為10小時。
美國專利申請案第2009/0050485號(Kobe Steel,Ltd.)描述一種由如下(以重量之百分比)所構成之合金：0.1-2.0，Si：0.1-2.0，Mn：0.1-2.0；Fe，Cr，及Cu
Figure TWI615480BD00002
0.03，該合金經陽極處理使得陽極氧化物塗佈之硬度在整個厚度上變動。非常低之鐵、鉻及銅含量導致所使用之金屬之一較高超出成本。
美國專利申請案第2010/0018617號(Kobe Steel,Ltd.)描述一種由如下(以重量百分比表示)所構成之合金：Mg：0.1-2.0，Si：0.1-2.0，Mn：0.1-2.0；Fe，Cr，及Cu
Figure TWI615480BD00003
0.03，該合金在超過550℃高達600℃或更少之一溫度下被均質化。
美國專利申請案第2001/019777號及日本專利申請案第JP2001 220637號(Kobe Steel)描述一種用於室之合金，該合金包括(以重量百分比表示)Si：0.1-2.0，Mg：0.1-3.5，Cu：0.02-4.0及雜質(Cr含量小於0.04%)。此等文件揭示藉由在溶液熱處理之前執行一熱軋步驟所獲得之產品。
國際申請案第WO2011/89337號(Constellium)描述一種用於製造適用於真空室單元之製造之鑄造未經層壓之產品之程序，其由如下(以重量之百分比)所構成：Si：0.5-1.5；Mg：0.5-1.5；Fe<0.3；Cu<0.2；Mn<0.8；Cr<0.10；Ti<0.15。
美國專利第6,066,392號(Kobe Steel)揭示一種具有擁有經改良之耐腐蝕性之一陽極氧化薄膜之鋁材料，其中即使在高溫熱循環中及在腐蝕性環境中亦不會產生裂縫。
美國專利第6,027,629號(Kobe Steel)描述一種用於真空室單元之表面處理之經改良之方法，其中陽極氧化物薄膜之孔徑在其厚度內係可變的。
美國專利第7,005,194號(Kobe Steel)描述一種用於真空室單元之表面處理之經改良之方法，其中陽極處理薄膜由一多孔層及一無孔層(其之結構至少部分為水鋁石或假軟水鋁石)構成。
美國專利第3,524,799號(Reynolds)描述一種藉由使用一含水電解質來陽極處理而形成於一鋁表面上之硬緻密陽極塗佈，其中該含水電解質含有礦酸(諸如硫酸)、具有3至6個碳原子之多元醇、有機羧酸及具有適用於需要一白色及明亮塗佈之太空航行器之鋁表面之羥基脂肪族羧酸之一鈦複合物之鹼金屬鹽。
此等文件沒有提及改良真空室單元之厚度內之性質之均質性之問題。此外，生產某些真空室單元需要使用厚板(通常至少60mm厚)，對於該厚板而言達成令人滿意之耐腐蝕性更困難。
需要進一步經改良(尤其係在耐腐蝕性、在整個厚度上之性質之均質性及機械可加工性方面)之真空室單元。必須改良鋁合金板之整個厚度上之耐腐蝕性及機械性質，尤其以促進機械加工且允許該板之任何部分與該室之大氣接觸。此亦需要用於真空室組件之生產之經改良之厚鋁合金板。
本發明之第一主題係藉由對具有至少等於10mm厚度之一鋁合金板之機械加工及表面處理而獲得之一真空室，該鋁合金板由如下(按重量%)而構成：Si：0.4-0.7；Mg：0.4-0.7；Ti：0.01-<0.15，Fe<0.25；Cu<0.04；Mn<0.4；Cr：0.01-<0.1；Zn<0.04；其他元素各<0.05且總計<0.15，剩餘為鋁。
本發明之另一主題係用於一真空室單元之一製造程序，其中， 依次為，a.鑄造根據本發明之由鋁合金組成之一輥軋板柸，b.視情況而定，均質化該輥軋板柸，c.在高於450℃之一溫度下輥軋該輥軋板柸以獲得具有至少等於10mm之一厚度之一板，d.執行該板之溶液熱處理，且將其淬火，e.在溶液熱處理及淬火之後，該板藉由具有1%至5%之永久伸長率之受控延展而經應力消除，f.接著該經延展之板經歷老化，g.將該老化板機械加工成一真空室單元，h.如此獲得之該真空室單元經歷表面處理，該表面處理較佳地包含使用溶液(其包括100g/l至300g/l硫酸及10g/l至30g/l草酸以及5g/l至30g/l的至少一種多元醇)在10℃至30℃之一溫度下之陽極處理。
本發明之另一主題係用於真空室單元之一製造程序，其中依次為-提供具有至少10mm之一厚度之系列5XXX或系列6XXX之一鋁合金板-將該板機械加工成一真空室單元-脫脂及/或浸洗該單元-使用包括100g/l至300g/l硫酸及10g/l至30g/l草酸及5g/l至30g/l的至少一種多元醇之溶液在介於10℃至30℃之間之一溫度下陽極處理該板，-視情況將該經陽極處理之產品在至少98℃之一溫度下在去離子水中與水化合較佳達至少約1小時的時間。
圖1展示在表面上、一四分之一厚度處及中間厚度處之巴克蝕刻之後，在區段L/ST上之實例1中所獲得之產品A至C之粒狀結構。
圖2展示實例1中所獲得之產品之方向L之厚度中之應力變化圖。
圖3展示在表面上、一四分之一厚度處及中間厚度處之巴克蝕刻之後，在區段L/ST上之實例1中所獲得之產品D之粒狀結構。
熟悉此項技術者已知合金之命名係遵循美國鋁業協會(AA)之規則。在歐洲標準EN515中指示冶金回火之定義。除非另作說明，適用標準EN 12258-1之定義。
除非另作說明，靜態機械特性，換言之極限抗拉強度Rm、依0.2%伸長率(Rp 0.2)及A%斷裂伸長率之習知降伏應力由根據由標準EN 485-1界定之標準ISO 6892-1、取樣及測試方向之一拉伸測試而判定。根據標準EN ISO 6506量測硬度。根據標準ASTM E112量測晶粒大小。根據EN ISO 2376：2010量測電擊穿電壓。
本發明已發現針對特定6xxx系列之鋁合金而獲得之具有非常有利性質(尤其在耐腐蝕性、性質之均質性及機械可加工性方面)的真空室單元。亦已發明包括用於此等產品之一有利表面處理方法，及顯著地改良在整個厚度上之性質之均質性及真空室單元之耐腐蝕性之一真空室單元之一製造程序。
藉由組合根據本發明之合金與有利表面處理方法而獲得特別有利之性質。
用於獲得根據本發明之真空室單元之鋁合金板之組成如下(以重量百分比表示)：Si：0.4-0.7；Mg：0.4-0.7；Ti：0.01-<0.15，Fe<0.25；Cu<0.04；Mn<0.4；Cr：0.01-<0.1；Zn<0.04；其他元素各<0.05且總計<0.15，剩餘為鋁。
由於若依高於此等建議之元素位準提供此等元素，將使得陽極 氧化物層之性質劣化及/或污染在真空室中製造之產品，所以某些元素之最高含量的控制係很重要的。因此錳含量少於0.4重量%，較佳地少於0.04重量%且最佳地少於0.02重量%。銅含量少於0.04重量%，較佳地少於0.02重量%且最佳地少於0.01重量%。鋅含量少於0.04重量%，較佳地少於0.02重量%且最佳地少於0.001重量%。
過量鉻亦可對陽極氧化物層之性質產生一不利之影響。因此鉻含量少於0.1重量%。然而，添加小量之鉻對粒狀結構具有一正面影響，使得最低鉻含量為0.01重量%。在本發明之一有利實施例中，鉻含量為自0.01重量%至0.04重量%，且較佳地為自0.01重量%至0.03重量%。
過量鐵亦可對陽極氧化物層之性質產生一不利之影響。因此鐵含量少於0.25重量%。然而，添加小量之鐵對粒狀結構具有一正面影響。在本發明之一有利實施例中，鐵含量為自0.05重量%至0.2重量%，且較佳地為自0.1重量%至0.2重量%。
過量鈦亦可對陽極氧化物層之性質產生一不利之影響。因此鈦含量少於0.15重量%。然而，添加小量之鈦對粒狀結構具有一正面影響，使得最低鉻含量為0.01重量%。在本發明之一有利實施例中，鈦含量為自0.01重量%至0.1重量%，且較佳地為自0.01重量%至0.05重量%。鈦含量有利地至少為0.02重量%，且優先為0.03重量%。同時添加鉻及鈦係有利的，因為其尤其實現粒狀結構之改良，且尤其實現晶粒異向性指數之減少。
根據本發明，鎂及矽係合金產品中之主要添加元素。其等之含量已經精確選擇以便獲得適當機械性質，尤其是至少260MPa之沿方向LT之抗拉強度及/或至少200MPa之沿方向LT之一降伏強度亦及在整個厚度上之一均質粒狀結構。該矽含量介於0.4重量%至0.7重量%之間且較佳地介於0.5重量%至0.6重量%之間。該鎂含量介於0.4重量 %至0.7重量%之間且較佳地介於0.5重量%至0.6重量%之間。
根據本發明之鋁合金板具有至少10mm之一厚度。通常，根據本發明之鋁合金板具有介於10mm至60mm之一厚度。然而，本發明者已發現當期望至少60mm之一厚度時，根據本發明之鋁合金板係有利的。
可用以獲得根據本發明之真空室單元之該等板由以下程序所獲得，其中a.鑄造根據本發明之合金之一輥軋板柸，b.視情況而定，將該輥軋板柸均質化，c.在高於450℃之一溫度下輥軋該輥軋板柸以獲得具有至少等於10mm之一厚度之一板，d.執行該板之溶液熱處理，且將其淬火，e.在溶液熱處理之後，由具有1%至5%之永久伸長率之受控延展將該板應力消除，f.該經延展之板經歷老化，均質化係有利的，且較佳地在介於540℃至600℃之間之一溫度下執行。較佳地，均質化時間至少為4小時。
當執行均質化時，可在均質化之後冷卻該板且接著在熱軋之前再熱該板或在沒有中間冷卻之情況下直接輥軋該板。熱軋條件對於獲得所要微結構(尤其對於改良產品之耐腐蝕性)係很重要的。特定言之，在整個熱軋程序中輥軋板柸始終維持於高於450℃之一溫度。較佳地，在熱軋期間金屬溫度至少為480℃。根據本發明之該等板經輥軋為至少10mm之一厚度。尤其有利的是微結構在整個厚度上之均質性、有利於改良根據本發明之產品之耐腐蝕性之晶粒及該微結構之等軸本質；選擇一高熱軋溫度並結合具有最佳數量之抗再結晶元素之一組成係有利的。
接著在該板上執行溶液熱處理且將其淬火。尤其可藉由噴射或浸沒來執行淬火。該溶液熱處理較佳地在介於540℃至600℃之間之一溫度下執行。較佳地，該溶液熱處理時間至少為15分鐘，根據產品之厚度調整長度。
接著已經歷溶液熱處理之該板藉由具有1%至5%之一永久伸長率之受控延展來應力消除。
接著經延展之板經歷老化。老化溫度在150℃至190℃之間係有利的。老化時間通常介於5小時至30小時之間。較佳地在峰值執行老化以達成最大降伏強度及/或一T651回火。
因此所獲得之該板在其整個厚度上具有一非常均質之晶粒大小。較佳地該板之平面L/ST中之平均線性截距長度之厚度中之變動(根據ASTM E112稱為
Figure TWI615480BD00004
)小於30%且較佳地少於20%且甚至有利地少於15%。晶粒大小中之變動以½厚度、¼厚度及表面處之最大值與最小值之間之差異來計算，且除以½厚度、¼厚度及表面處之平均值。因為機械加工之後之所獲得之真空室單元之性質在各方面非常均質，所以該晶粒結構之均質性(其來自於所選組成及轉換時程之組合)尤其有利。根據本發明之該等板之粒狀結構比先前技術之板更等向，而不管有利於用於製造真空室單元之耐腐蝕性性質、整個厚度上之性質之均質性及機械可加工性之厚度中之位置。特定言之，在半厚度處，根據ASTM E112量測之異方性指數
Figure TWI615480BD00005
小於3。
因此所獲得之板尤其適合於機械加工。因此根據本發明之一板(其之厚度介於10mm至60mm之間)中之所儲存之彈性能之密度Wtot(其之量測在實例1中描述)較佳地小於0.04kJ/m3。
藉由根據本發明之具有至少等於10mm之厚度之一鋁合金板之機械加工及表面處理而獲得一真空室單元。
該表面處理包括一陽極處理以獲得具有通常介於20μm至80μm 之間之一厚度之一陽極層。
該表面處理較佳地包含(在陽極處理之前)使用已知產品(通常為鹼性產品)之脫脂及/或浸洗。脫脂及/或浸洗可包含尤其在使用酸(諸如硝酸)進行鹼性浸洗時之一中和操作、及/或至少一清洗步驟。
使用一酸溶液來執行陽極處理。其對表面處理在所獲得之陽極層之陽極處理(亦稱為「密封」)之後包含水合作用係有利的。
歸因於根據本發明之產品之整個厚度上之均質結構，在½厚度及表面之間之一5%鹽酸溶液中之氫氣泡之出現之時間之間之變動(「氣泡測試」)有利地小於20%(特別是當板厚度介於10mm至60mm之間時)。
本發明者進一步發現用於真空室單元之製造方法，其中依次為- 提供具有至少10mm之一厚度之系列5XXX或系列6XXX之一鋁合金板
- 將該板機械加工成一真空室單元
- 脫脂及/或浸洗該單元
- 使用包括100g/l至300g/l硫酸及10g/l至30g/l草酸及5g/l至30g/l之至少一種多元醇的溶液，在介於10℃至30℃之間之一溫度下，陽極處理該單元，- 視情況將該經陽極處理之產品在至少98℃之一溫度下於去離子水中與水化合達至少約1小時的時間係有利的。
特定言之，此等有利之陽極處理條件使得可能在表面及在中間厚度兩者處達成(特別值得注意的是)5XXX系列及6xxx系列合金(尤其對於系列6xxx合金)之氣泡測試中的氫氣泡出現時間。根據本發明，此等有利之陽極處理條件給出合金產品之突出結果。
所以，在根據本發明之用於真空室單元的製造方法中，執行一有利表面處理方法，其包括使用包括100g/l至300g/l硫酸及10g/l至 30g/l草酸及5g/l至30g/l之至少一種多元醇之一水溶液在介於10℃至30℃之間之一溫度下的陽極處理。較佳地，用於此有利表面處理方法之陽極處理之水溶液不含有任何鈦鹽。本發明者尤其發現在較低溫度下(通常介於0℃至5℃之間)執行之陽極處理無法提供如在介於10℃至30℃之間之一溫度下所獲得之高耐腐蝕性。陽極處理溶液中之至少一種多元醇的出現亦有助於陽極層之經改良的耐腐蝕性。乙二醇、丙二醇或較佳地丙三醇為首選多元醇。較佳地使用在1A/dm2至5A/dm2之間之一電流密度來執行陽極處理。判定陽極處理時間以便達成所要陽極層厚度。
在陽極處理之後，於陽極層上執行一水合作用步驟(亦稱為密封)係有利的。較佳地，在至少98℃之一溫度下於去離子水中執行水合作用宜達至少約1小時的時間。本發明者發現在陽極處理之後分兩個步驟在去離子水中執行水合作用尤其有利，第一步驟係在20℃至70℃之間之一溫度下為期至少10分鐘，且第二步驟在至少98℃之一溫度下具有至少約1小時之一持續時間。有利地，將抗污染三嗪衍生劑(諸如-SH1 Anodal®)添加至用於第二水合作用步驟之去離子水中。
使用有利表面處理方法處理且自具有介於10mm至60mm之間之一厚度之板所獲得之真空室單元(至少對於對應於該板之表面之部分而言)容易達到至少約1500分鐘且甚至至少約2000分鐘之一5%鹽酸溶液中之氫氣泡出現時間(「氣泡測試」)。自根據本發明之擁有介於10mm至60mm之間之厚度且擁有有利表面處理方法之一合金板所獲得之真空室單元在該板之中間厚度處具有大於1800分鐘或30小時之在一5%鹽酸溶液中之一氫氣泡出現時間。自根據本發明之擁有大於60mm之厚度且擁有有利表面處理方法之一合金板所獲得之真空室單元在該板之表面上具有至少為180分鐘(且較佳地至少300分鐘)之在一5%鹽酸溶液中之一氫氣泡出現時間。
在真空室中使用根據本發明之真空室單元係尤其有利，因為其等之性質非常均質且此外(尤其對於使用有利表面處理程序而陽極處理之單元)耐腐蝕性很高，其防止在該等室中製造之產品(諸如，例如微處理器或平板螢幕之面板)之污染。
實例
實例1
在此實例中準備具有20mm或35mm厚度之6xxx合金板。
鑄造板柸：在表1中給出其等組成
Figure TWI615480BD00006
在高於540℃(A至C)或575℃(D)之一溫度下均質化該等板柸，將該等板柸熱軋成35mm(A至C)或20mm(D)之厚度且接著對其等進行溶液熱處理、淬火及延展。所獲得之該等板經歷適當老化以達到一T651回火。
在中間厚度處量測沿方向LT之機械性質且在表2中給出該等性質
Figure TWI615480BD00007
在表面上及在四分之一及中間厚度處之巴克蝕刻之後，由光學顯微鏡在區段L/ST上觀察到所獲得之各種產品之粒狀結構。在圖1及圖3中展示顯微圖。
在表3中呈現使用標準(ASTM E112-96 § 16.3)之截距法在平面L/ST上量測之平均晶粒大小。沿縱向
Figure TWI615480BD00008
及橫向
Figure TWI615480BD00009
給出線性截距之平均長度。平面L/ST中之一平均值以此計算：
Figure TWI615480BD00010
Figure TWI615480BD00011
。亦計算異向性指數
Figure TWI615480BD00012
。
Figure TWI615480BD00013
之厚度中之變動，
Figure TWI615480BD00014
亦使用以下公式來計算：
Figure TWI615480BD00015
其中S表示表面，½ Th表示中間厚度且¼ Th表示四分之一厚度。
Figure TWI615480BD00016
可見根據本發明之產品在整個厚度上具有比其他合金更等向性及更均質之一晶粒大小。此等特性非常有利於機械加工之均質性及在機械加工之後性質之均質性。對於沒有添加鉻之樣本D尤其展現高於樣本A之一異向性指數。
使用沿方向L及LT取自完整厚度之矩形條之逐步機械加工之方法來評估厚度中之殘留應力，該方法(例如)在1997年3月10日至12日在Adams’s Mark Hotel,St Louis,Missouri之第一屆國際非鐵加工與技術會議中，F.Heymes,B.Commet,B.Dubost,P.Lassince,P.Lequeu,GM.Raynaud之發表「Development of New Alloy for Distortion Free Machined Aluminum Aircraft Components」中描述。
此方法主要應用於其等之長度及寬度顯著高於其等之厚度之板柸，且對該等板柸而言，殘留應力狀態可適度被視為沿方向L及T與其兩個主要組件成雙軸(即沿方向S沒有殘留應力)且使得殘留應力之位準僅沿方向S變動。此方法係基於量測完整厚度之兩個矩形條(其等沿方向L及LT自板柸切除)之變形。逐步沿S方向向下機械加工此等條，且在各步驟量測曲率，以及經機械加工之條之厚度。
條之寬度為30mm。該條必須足夠長以避免對量測產生任何邊緣效應。使用400mm之一長度。
在完成各機械加工之後執行該等量測。
在完成各機械加工之後，該條自副條移除，且在量測變形之前觀察一穩定時間，以便在機械加工之後獲得該條中之一均勻溫度。
在各步驟i中，收集各條之厚度h(i)及各條之曲率f(i)。此等資料用於計算對應於應力σ(i)L及應力σ(i)LT之該條中之殘留應力變化圖作為在步驟i期間所移除之層中的平均，該殘留應力變化圖由以下公式給出，其中E係楊氏模數，lf係用於量測曲率之支持物之長度，且v係帕松比：自i=1至N-1
Figure TWI615480BD00017
Figure TWI615480BD00018
最終，可使用以下公式自殘留應力值計算儲存於條中之彈性能之密度Wtot：W tot =W L +W LT
其中
Figure TWI615480BD00019
在圖2中給出方向L之整個厚度上之應力變化圖。
經量測之總能量Wtot針對樣本A為0.03kJ/m3，針對樣本B為0.04kJ/m3且針對樣本C為0.05kJ/m3。因此根據本發明之樣本A具有有利於機械加工部件之一較低位準的內應力。
使用兩個陽極處理來評估所獲得之產品之性質。該等產品之特徵在於該表面上之平面L-LT(或在輕微機械加工之後)或在機械加工成中間厚度之後。
在處理I中，使用一鹼性溶液來脫脂及浸洗產品，接著在經歷在一含硫草酸浴液(硫酸180g/l+草酸14g/l)中在介於0℃至5℃之間之一溫度下之陽極處理之前使用硝酸溶液中和該產品。在陽極處理之後，分兩個步驟執行陽極層之一水合作用處理：在50℃下在去離子水中20分鐘且接著，在含抗污染三嗪衍生物添加劑Anodal-SH1 ®之沸騰的去離子水中80分鐘。該所獲得之陽極層具有約40μm之一厚度。
在處理II中，使用鹼性溶液來脫脂及浸洗產品，接著在經歷在一含硫草酸浴液(硫酸160g/l+草酸20g/l+15g/l的丙三醇)中在約20℃之一溫度下之陽極處理之前使用硝酸溶液中和之。在陽極處理之後，分兩個步驟執行陽極層之一水合作用處理：在50℃下在去離子水中20分 鐘且接著，在含抗污染三嗪衍生物添加劑Anodal-SH1 ®之沸騰的去離子水中80分鐘。該所獲得之陽極層具有約35μm或50μm之一厚度。
藉由以下測試說明該等陽極層之特徵。
電擊穿電壓具有使第一電流流經陽極層之電壓之特徵。在EN ISO2376：2010中描述量測之方法。在直流(DC)量測之後依絕對值給出值。
「氣泡測試」係用於藉由量測第一個氣泡出現於鹽酸溶液中所花費之時間而描繪陽極層之質量之特性之一腐蝕測試。使樣本之直徑為20mm之一平坦表面在室溫下與含有5重量%HC1之溶液接觸。該特性時間係可自經陽極處理之鋁表面之至少一離散點見到一連續氣泡流的時間。
在表4中呈現表面上及中間厚度處之經量測之結果。
Figure TWI615480BD00020
不論表面處理如何，根據本發明之產品在表面與中間厚度之間具有非常均質之性質。使用根據本發明之陽極處理之氣泡測試中之時間尤其高。
實例2
在此實例中，研究在陽極處理溶液中之丙三醇之存在之影響。
在上文所描述類型I處理中，對於某些測試，添加15g/l丙三醇，且在類型II處理中，丙三醇沒有添加至某些測試中。
在表5中給出結果。
Figure TWI615480BD00021
在陽極處理期間之丙三醇之存在非常顯著改良(尤其對於類型II陽極處理)氣泡測試期間所獲得之持續時間。
實例3
在此實例中，比較一參考6061合金板來評估根據本發明之厚合金板之耐腐蝕性。
由實例1中所描述方法準備102mm厚之一A合金板。亦準備具有100mm之一厚度之一參考6061合金板。接著使用實例1中所描述類型II表面處理來處理所獲得之該等板。藉由實例1中所描述之氣泡測試 來說明因此所獲得之產品特徵。該6061合金板之氫氣泡出現之時間為60分鐘，而A合金板之時間為320分鐘。

Claims (21)

  1. 一種藉由對具有至少等於10mm厚度之一鋁合金板進行機械加工及表面處理所獲得之真空室單元，其中該鋁合金由以下按重量%所構成：Si：0.5-0.6；Mg：0.5-0.6；Ti：0.01-<0.15，Fe0.05-<0.25；Cu<0.04；Mn<0.4；Cr：0.01-<0.1；Zn<0.04；其他元素各<0.05且總計<0.15，剩餘為鋁。
  2. 如請求項1之單元，其中錳含量低於0.04重量%。
  3. 如請求項1或請求項2之單元，其中鉻含量為自0.01重量%至0.04重量%。
  4. 如請求項1或請求項2之單元，其中鉻含量為自0.01重量%至0.03重量%。
  5. 如請求項1或請求項2之單元，其中鐵含量為自0.1重量%至0.2重量%。
  6. 如請求項1或請求項2之單元，其中銅含量低於0.02重量%。
  7. 如請求項1或請求項2之單元，其中銅含量低於0.01重量%。
  8. 如請求項1或請求項2之單元，其中鋅含量低於0.02重量%。
  9. 如請求項1或請求項2之單元，其中鋅含量低於0.001重量%。
  10. 如請求項1或請求項2之單元，其中鈦含量為自0.01重量%至0.1重量%。
  11. 如請求項1或請求項2之單元，其中該板使得根據標準ASTM E112稱為l l(90°)的平面L/ST中之平均線性截距長度之厚度中的變動小於30%，及/或，在中間厚度處之根據標準ASTM E112量測的異向性指數AI l =l l(0°)/l l(90°)小於3。
  12. 如請求項11之單元，該板之平面L/ST中之平均線性截距長度之厚度中之變動小於20%。
  13. 如請求項1或請求項2之單元，其中該板使得其厚度介於10mm至60mm之間，且擁有小於0.04kJ/m3之經儲存之彈性能之一密度Wtot。
  14. 如請求項1或請求項2之單元，其中該表面處理包含：使用主要由100g/l至300g/l硫酸及10g/l至30g/l草酸及5g/l至30g/l之至少一種多元醇組成的溶液在介於10℃至30℃之間之一溫度下的陽極處理。
  15. 如請求項14之單元，其中該板使得其厚度介於10mm至60mm之間，且該板在中間厚度處於5%鹽酸溶液中氫氣泡出現之一時間為大於1800分鐘，或其中該板使得其厚度大於60mm，且其在表面上於5%鹽酸溶液中氫氣泡出現之一時間為至少180分鐘。
  16. 一種製造一真空室單元之方法，其中依次為a.鑄造由根據請求項1至請求項10中任一項之鋁合金所製成之一輥軋板柸，b.視情況而定，均質化該輥軋板柸，c.在高於450℃之一溫度下輥軋該輥軋板柸以獲得具有至少等於10mm之一厚度之一板，d.執行該板之溶液熱處理，且將其淬火，e.在溶液熱處理及淬火之後，該板經由具有1%至5%之永久伸長率的受控延展而應力消除，f.接著該經延展之板經歷老化，g.將該老化板機械加工成一真空室單元，h.如此獲得之該真空室單元經歷表面處理，該表面處理包含使用主要由100g/l至300g/l硫酸及10g/l至30g/l草酸以及5g/l至30g/l之至少一種多元醇組成的溶液在介於10℃至30℃之間之一溫度下的陽極處理。
  17. 一種用於一真空室單元之製造程序，其中依次為提供具有至少10mm之一厚度之系列5XXX或系列6XXX之一鋁合金板，將該板機械加工成一真空室單元，脫脂及/或浸洗該單元，使用主要由100g/l至300g/l硫酸及10g/l至30g/l草酸及5g/l至30g/l之至少一種多元醇組成的溶液，在介於10℃至30℃之間之一溫度下，對該板進行陽極處理，將該經陽極處理之產品在至少98℃之一溫度下於去離子水中與水化合達至少約1小時的時間。
  18. 如請求項17之方法，其中自乙二醇、丙二醇或丙三醇選擇至少一種多元醇。
  19. 如請求項17或請求項18之方法，其中使用介於1A/dm2至5A/dm2之間之一電流密度來執行陽極處理。
  20. 如請求項17或請求項18之方法，其中分兩個步驟來執行該水合作用，一第一步驟具有在20℃至70℃之一溫度下至少10分鐘之一持續時間，及一第二步驟具有在至少98℃之一溫度下至少約1小時之一持續時間。
  21. 如請求項17或請求項18之方法，其中所獲得之該陽極層的厚度介於20μm至80μm之間。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11840747B1 (en) 2022-10-21 2023-12-12 Industrial Technology Research Institute Aluminum alloy material, aluminum alloy object and method for manufacturing the same

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105734640A (zh) * 2014-12-12 2016-07-06 富泰华工业（深圳）有限公司 铝合金件阳极氧化和表面处理方法，及其阳极氧化处理液
US10835942B2 (en) 2016-08-26 2020-11-17 Shape Corp. Warm forming process and apparatus for transverse bending of an extruded aluminum beam to warm form a vehicle structural component
MX2019004494A (es) 2016-10-24 2019-12-18 Shape Corp Metodo de formacion y procesamiento termico de aleacion de aluminio de multiples etapas para la produccion de componentes de vehiculo.
FR3063740B1 (fr) * 2017-03-10 2019-03-15 Constellium Issoire Elements de chambres a vide en alliage d’aluminium stables a haute temperature
CN108220706B (zh) * 2018-01-02 2020-03-13 山东友升铝业有限公司 一种改善挤压型材圧溃性能用变形铝合金
CN110246738A (zh) * 2018-03-08 2019-09-17 北京北方华创微电子装备有限公司 反应腔室部件结构及其制备方法、反应腔室
JP7066868B2 (ja) * 2018-03-08 2022-05-13 ベイジン・ナウラ・マイクロエレクトロニクス・イクイップメント・カンパニー・リミテッド 反応室コンポーネント、作製方法、及び反応室
JP7248399B2 (ja) * 2018-09-14 2023-03-29 株式会社Lixil アルミニウム形材、建具及びアルミニウム形材の製造方法
FR3101641B1 (fr) 2019-10-04 2022-01-21 Constellium Issoire Tôles de précision en alliage d’aluminium
EP3922743B1 (en) * 2020-06-10 2024-07-24 Novelis Koblenz GmbH Method of manufacturing an aluminium alloy plate for vacuum chamber elements
KR102467268B1 (ko) * 2020-10-29 2022-11-17 주식회사 영광와이케이엠씨 옥살산 전해액에서 전류밀도 변화에 따른 아노다이징 처리 방법
US11905583B2 (en) * 2021-06-09 2024-02-20 Applied Materials, Inc. Gas quench for diffusion bonding
FR3136242B1 (fr) 2022-06-01 2024-05-03 Constellium Valais Tôles pour éléments de chambres à vide en alliage d’aluminium

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW488010B (en) * 2000-02-04 2002-05-21 Kobe Steel Ltd Chamber member made of aluminum alloy and heater block
CN101008098A (zh) * 2006-12-21 2007-08-01 上海交通大学 两步电化学制备铝基复合材料表面防护涂层的方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3524799A (en) * 1969-06-13 1970-08-18 Reynolds Metals Co Anodizing aluminum
SU466298A1 (ru) * 1969-12-08 1975-04-05 Предприятие П/Я Р-6209 Способ анодировани алюмини и его сплавов
US3647649A (en) * 1970-02-24 1972-03-07 Alcor Chem Method and composition for sealing anodized aluminum surfaces
IT1163151B (it) * 1983-03-18 1987-04-08 Italia Alluminio Lega di alluminio per elementi di serramenti blindati antiproiettile
US4526660A (en) * 1984-02-06 1985-07-02 Garriga Eliseo B Anodizing method
US5225068A (en) * 1989-05-26 1993-07-06 Gebr. Happich Gmbh Method of compacting an anodically produced layer of oxide on parts of aluminum or aluminum alloy
US5674371A (en) * 1989-11-08 1997-10-07 Clariant Finance (Bvi) Limited Process for electrolytically treating aluminum and compositions therefor
KR100482862B1 (ko) 1994-11-16 2005-04-15 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 알루미늄 또는 알루미늄 합금제 진공챔버 부재의 표면처리방법
JPH11140690A (ja) 1997-11-14 1999-05-25 Kobe Steel Ltd 耐熱割れ性および耐食性に優れたＡｌ材料
JP2001288527A (ja) * 2000-02-04 2001-10-19 Kobe Steel Ltd プラズマ処理装置用アルミニウム合金およびヒータブロック
JP3919996B2 (ja) * 2000-02-04 2007-05-30 株式会社神戸製鋼所 プラズマ処理装置用アルミニウム合金、プラズマ処理装置用アルミニウム合金部材およびプラズマ処理装置
CN1109768C (zh) * 2000-04-13 2003-05-28 上海稀土材料中心 一种耐腐蚀铝合金型材及其制造方法
US6613167B2 (en) * 2001-06-01 2003-09-02 Alcoa Inc. Process to improve 6XXX alloys by reducing altered density sites
JP2003034894A (ja) 2001-07-25 2003-02-07 Kobe Steel Ltd 耐腐食性に優れたＡｌ合金部材
US7033447B2 (en) * 2002-02-08 2006-04-25 Applied Materials, Inc. Halogen-resistant, anodized aluminum for use in semiconductor processing apparatus
US6565984B1 (en) 2002-05-28 2003-05-20 Applied Materials Inc. Clean aluminum alloy for semiconductor processing equipment
JP2004225113A (ja) 2003-01-23 2004-08-12 Kobe Steel Ltd 耐腐食性及び耐プラズマ性に優れたＡｌ合金部材
KR101060917B1 (ko) * 2006-03-31 2011-08-30 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 알루미늄합금 단조 부재 및 그 제조 방법
JP4174526B2 (ja) * 2006-05-18 2008-11-05 株式会社神戸製鋼所 アルミニウム合金厚板の製造方法およびアルミニウム合金厚板
CN100585023C (zh) * 2006-07-25 2010-01-27 台山市金桥铝型材厂有限公司 一种铝型材的硬质阳极氧化膜的制备工艺
JP4168066B2 (ja) 2006-08-11 2008-10-22 株式会社神戸製鋼所 プラズマ処理装置に用いられる陽極酸化処理用アルミニウム合金およびその製造方法、陽極酸化皮膜を有するアルミニウム合金部材、ならびにプラズマ処理装置
JP4231529B2 (ja) * 2007-03-30 2009-03-04 株式会社神戸製鋼所 アルミニウム合金厚板の製造方法およびアルミニウム合金厚板
FR2919307B1 (fr) * 2007-07-27 2009-10-02 Alcan Rhenalu Sa Produit file en alliage d'aluminium ai-mg-si a resistance a la corrosion amelioree
JP5064935B2 (ja) 2007-08-22 2012-10-31 株式会社神戸製鋼所 耐久性と低汚染性を兼備した陽極酸化処理アルミニウム合金
JP5626956B2 (ja) * 2009-10-22 2014-11-19 日本碍子株式会社 析出硬化型合金薄帯の製造装置、冷却ロール及び析出硬化型合金薄帯の製造方法
FR2955336B1 (fr) * 2010-01-20 2013-02-15 Alcan Rhenalu Procede de fabrication de produits en alliage 6xxx pour chambre a vide
US9249484B2 (en) * 2010-09-08 2016-02-02 Alcoa Inc. 7XXX aluminum alloys, and methods for producing the same
FR2969177B1 (fr) * 2010-12-20 2012-12-21 Alcan Rhenalu Alliage aluminium cuivre lithium a resistance en compression et tenacite ameliorees
KR101193571B1 (ko) * 2011-12-23 2012-10-25 (주)아인스 알루미늄 피막 형성을 위한 전해액 및 이를 이용한 알루미늄 피막 형성방법
CN102492877B (zh) * 2011-12-31 2013-06-19 辽宁忠旺集团有限公司 一种大径铝合金管材挤压加工工艺

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW488010B (en) * 2000-02-04 2002-05-21 Kobe Steel Ltd Chamber member made of aluminum alloy and heater block
CN101008098A (zh) * 2006-12-21 2007-08-01 上海交通大学 两步电化学制备铝基复合材料表面防护涂层的方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11840747B1 (en) 2022-10-21 2023-12-12 Industrial Technology Research Institute Aluminum alloy material, aluminum alloy object and method for manufacturing the same

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