TWI615201B - 噴嘴裝置及處理裝置 - Google Patents

Description

噴嘴裝置及處理裝置

本發明之實施形態係關於噴嘴裝置及處理裝置。

已知自複數個開口部噴出或吸引流體之噴嘴。此種噴嘴係例如使供給至單一供給口之流體經過連接供給口與複數個開口部之管路而自各開口部噴出。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2014-12239號公報

期望通過複數個開口部之流體流量更為均等。

本發明所解決之課題之一例係提供通過開口部之流體流量變得更均等之噴嘴裝置及處理裝置。

一實施形態之噴嘴裝置具備第1開口部、複數個第2開口部、及第1管路部。上述第1管路部具有至少一個第1分支部，其具有朝第1方向延伸之第1部分、及連接於上述第1部分之一端部且分別朝與上述第1方向交叉之方向延伸之複數個第2部分；且上述第1管路部係連接上述第1開口部與上述複數個第2開口部，藉由上述第1分支部，於自上述第1開口部朝向上述第2開口部之路徑中至少分支一次；上述第1開 口部與各個上述第2開口部之間之路徑長度及上述第1分支部之數量相同。上述第1部分之上述一端部之截面積較上述第1部分之另一端部之截面積更窄。

10‧‧‧處理裝置

11‧‧‧控制部

12‧‧‧槽

13‧‧‧泵

14‧‧‧處理室

15‧‧‧噴嘴裝置

21‧‧‧基體

21a‧‧‧第1面

21b‧‧‧第2面

21c‧‧‧面

22‧‧‧供給口

23‧‧‧噴出口

24‧‧‧管路部

31‧‧‧分支部

31A‧‧‧分支部

31B‧‧‧分支部

31C‧‧‧分支部

32‧‧‧噴嘴部

41‧‧‧分支部之第1部分

41a‧‧‧第1部分之一端部

41b‧‧‧第1部分之另一端部

42‧‧‧分支部之第2部分

42a‧‧‧正交部

42b‧‧‧傾斜部

43‧‧‧接合部

44‧‧‧連結部

45‧‧‧分配部

61‧‧‧第1供給口

62‧‧‧第1噴出口

63‧‧‧第1管路部

64‧‧‧第2供給口

65‧‧‧第2噴出口

66‧‧‧第2管路部

71‧‧‧第1噴嘴部

71a‧‧‧第1傾斜部

72a‧‧‧第2傾斜部

75‧‧‧第1縮徑部

76‧‧‧第2縮徑部

L1‧‧‧長度(寬度)

L2‧‧‧長度(寬度)

L3‧‧‧長度

G‧‧‧惰性氣體

X‧‧‧X軸

Y‧‧‧Y軸

Z‧‧‧Z軸

θ‧‧‧交叉角度

θd‧‧‧分支角度

圖1係示意性地表示第1實施形態之處理裝置之圖。

圖2係表示第1實施形態之噴嘴裝置之立體圖。

圖3係表示第1實施形態之分支部之形狀之立體圖。

圖4係表示第1實施形態之分支部之形狀之俯視圖。

圖5係模式性地表示第1實施形態之流動惰性氣體之分支部之俯視圖。

圖6係表示相對於第1實施形態之分支部寬度比之分支誤差之圖表。

圖7係表示第2實施形態之分支部之形狀之俯視圖。

圖8係表示相對於第2實施形態之縱橫比之分支誤差之圖表。

圖9係表示第3實施形態之分支部之形狀之俯視圖。

圖10係表示第3實施形態之分支部之變化例之俯視圖。

圖11係表示第4實施形態之分支部之形狀之俯視圖。

圖12係示意性地表示第5實施形態之噴嘴裝置之俯視圖。

圖13係放大表示第5實施形態之第1傾斜部與第2傾斜部之剖視圖。

圖14係表示第6實施形態之噴嘴裝置之立體圖。

以下，參照圖1至圖6對第1實施形態進行說明。另，關於實施形態之構成要件或該要件之說明，有一併記載複數種表現之情形。該構成要件及說明並不妨礙未記載之其他表現。再者，關於未記載複數種表現之構成要件及說明，不妨礙其他表現。

圖1係示意性地表示第1實施形態之處理裝置10之圖。處理裝置10係例如用於進行雷射加工之裝置。另，處理裝置10並非限定於此。如圖1所示，處理裝置10具備控制部11、槽12、泵13、處理室14、及複數個噴嘴裝置15。槽12係收容部之一例。泵13係供給部之一例。

控制部11控制泵13或處理裝置10之其他部分。槽12收容例如氬等之惰性氣體。惰性氣體係流體之一例。另，流體並非限定於此，而亦可為其他氣體或液體。泵13係受控制部11控制而將槽12之惰性氣體供給至複數個噴嘴裝置15。處理室14係形成為例如可由複數個壁予以密閉。圖1係示意性地以兩點鏈線表示處理室14。處理裝置10對配置於處理室14內之加工物進行雷射加工。

複數個噴嘴裝置15設置於處理室14，且係以例如包圍配置有加工物之載台之方式配置。複數個噴嘴裝置15係自加工物之周圍向加工物噴出藉由泵13供給之惰性氣體。

圖2係表示噴嘴裝置15之立體圖。如圖2所示，噴嘴裝置15具有基體21、供給部22、複數個噴出口23、及管路部24。供給口22係第1開口部之一例。噴出口23係第2開口部之一例。管路部24係第1管路部之一例。

基體21係例如形成為長方體之塊體狀。藉此，可獲得更高之基體21之剛性。另，基體21之形狀並非限定於此。基體21具有第1面21a與第2面21b。第1及第2面21a、21b分別大致平坦地形成，且相互正交。

如圖式所示，於本說明書中，定義X軸、Y軸及Z軸。X軸、Y軸及Z軸相互正交。X軸沿著基體21之長度。Y軸沿著基體21之縱深(寬度)。Z軸沿著基體21之厚度(高度)。基體21之第1面21a朝向沿著Y軸之方向。基體21之第2面21b朝向沿著Z軸之方向。

供給口22係於基體21之第1面21a開口。供給口22連接於泵13。複 數個噴出口23分別於基體21之第2面21b開口。噴出口23朝沿著X軸之方向排列配置成一排，且於處理室14之內部開口。另，供給口22及噴出口23之配置並非限定於此。

管路部24設置於基體21之內部，其係連接供給口22與複數個噴出口23之流路。換言之，於管路部24之一端部設置供給口22，於管路部24之另一端部設置噴出口23。管路部24具有複數個分支部31與複數個噴嘴部32。分支部31係第1分支部之一例。

分支部31係使自供給口22朝向噴出口23之路徑於中途分支為複數個(例如兩個)之部分。於本實施形態中，複數個分支部31將自供給口22朝向噴出口23之路徑分支為三階段。換言之，管路部24係於自供給口22朝向噴出口23之路徑分支三次。於以下說明中，有時將第一階段之分支部31個別稱為分支部31A、將第二階段之分支部31稱為分支部31B、將第三階段之分支部31稱為分支部31C。

圖3係表示分支部31之形狀之立體圖。如圖3所示，第1實施形態之分支部31形成為T字狀。分支部31分別具有第1部分41、兩個第2部分42、及接合部43。另，為進行說明，圖3不僅顯示一個分支部31，亦顯示連接於該分支部31之其他分支部31之第1及第2部分41、42。

第1部分41係朝沿著Y軸之方向以直線狀延伸。沿著Y軸之方向係第1方向之一例。複數個分支部31之第1部分41分別朝沿著Y軸之方向平行地延伸。

第2部分42藉由接合部43而分別連接於第1部分41之一端部41a。第2部分42分別自接合部43朝沿著X軸之方向以直線狀延伸。換言之，第2部分42分別朝與Y軸90度交叉之方向延伸。與Y軸90度交叉之方向係與第1方向交叉之方向之一例。兩個第2部分42分別以相對於第1部分41延伸之方向鏡面對稱及旋轉對稱地延伸。另，第2部分42並非限定於此。

於第一階段之分支部31A中，第1部分41之另一端部41b連接於供給口22。第1部分41之另一端部41b位於一端部41a之相反側。第一階段之分支部31A之第2部分42係藉由連結部44而分別連接於對應之第二階段之分支部31B之第1部分41之另一端部41b。亦即，分支部31A之第2部分42與分支部31B之第1部分41之另一端部41b連接於連結部44。

第二階段之分支部31B之第2部分42係藉由連結部44而分別連接於對應之第三階段之分支部31C之第1部分41之另一端部41b。如圖2所示，分支部31C之第1部分41朝分支部31A、31B之第1部分41延伸之方向之相反方向延伸。藉此，可縮短基體21之沿著Y軸之方向上之長度。

第三階段之分支部31C之第2部分42係藉由連結部44而分別連接於對應之噴嘴部32。亦即，分支部31C之第2部分42與噴嘴部32連接於連結部44。噴嘴部32朝沿著Z軸之方向延伸，其連接分支部31C之第2部分42與對應之噴出口23。

第二階段之分支部31B之第1及第2部分41、42之截面積係較第一階段之分支部31A之第1及第2部分41、42之截面積更窄。第三階段之分支部31C之第1及第2部分41、42之截面積較第二階段之分支部31B之第1及第2部分41、42之截面積更窄。如此，管路部24之截面積隨著自供給口22朝向噴出口23而逐漸變窄。

於管路部24，供給口22與各個噴出口23之間之路徑長度相同。另，於本說明書中，所謂供給口22與各個噴出口23之間之路徑長度相同之情形，例如包含因尺寸公差而產生之各路徑之長度誤差之情形。

進而，於管路部24中，供給部22與各個噴出口23之間之分支部31之數量相同。亦即，於自供給口22朝向各個噴出口23之各路徑中，設置相同數量(於本實施形態中係三個)之分支部31。

此外，各階段之分支部31之形狀及大小相互相同。亦即，兩個第二階段之分支部31B具有相互相同之形狀及大小。再者，四個第三階段之分支部31C具有相互相同之形狀及大小。

如以上般，供給口22與各個噴出口23之間之各路徑之路徑長度與構造相互相同。因此，對流動於供給口22與各個噴出口23之間之路徑之流體作用之阻力各自相等(等效傳導)。

如圖3所示，包含分支部31之管路部24具有大致長圓形之剖面形狀。雖圖3所示之管路部24之剖面形狀為具有朝沿著Z軸之方向延伸之兩個平行之邊之長圓形，但管路部24之剖面形狀亦可為橢圓形。另，管路部24之剖面形狀並非限定於此，其例如亦可為如圓形、矩形及四角形等其他形狀。

例如，第1部分41之剖面形狀係於沿著Z軸之方向上較長之長圓形。亦即，第1部分41之剖面形狀係沿著X軸之方向上之長度較沿著Z軸之方向上之長度更短之形狀。沿著X軸之方向上之長度係寬度之一例，係於自第1部分41延伸之方向俯視下(Y軸方向之視點)與第1部分41正交之其他分支部31之第2部分42延伸之方向之長度。沿著Z軸之方向上之長度係第2方向上之長度之一例，其係與第1方向(沿著Y軸之方向)正交且亦與第2部分42延伸之方向(XY平面上之方向)正交之方向上之長度。

圖4係表示分支部31之形狀之俯視圖。如圖4所示，第1部分41係其截面積隨著自另一端部41b朝向一端部41a逐漸變窄。亦即，第1部分41之一端部41a之截面積較第1部分41之另一端部41b之截面積更窄。

第1部分41之一端部41a之沿著X軸之方向上之長度(寬度)L1，短於第1部分41之另一端部41b之沿著X軸之方向上之長度(寬度)L2。長度L1例如為長度L2之八成以下。另，長度L1並非限定於此。

圖5係模式性地表示供惰性氣體G流動之分支部31之俯視圖。泵13對供給口22供給惰性氣體G。惰性氣體G自供給口22流入至管路部24，並通過複數個分支部31。惰性氣體G由三階段分支部31A、31B、31C分三次予以分成二股，並經過噴嘴部32自各噴出口23噴出至處理室14之內部。

如圖5所示，流動於上游側之分支部31之第2部分42之惰性氣體G經過連結部44而流入至下游側之分支部31之第1部分41。圖5係模式性地以箭頭符號表示流動於分支部31之惰性氣體G。

第2部分42係朝沿著X軸之方向延伸。因此，流入至第1部分41之惰性氣體G係藉由慣性力而靠著第1部分41之外側(圖5之左側)流動於第1部分41中。第1部分41之外側係距上游側之分支部31之接合部43較遠之側。亦即，第1部分41之惰性氣體G於沿著X軸之方向上產生不均。另，第1部分41之惰性氣體G於沿著Z軸之方向大致均一地分佈。

如上所述，第1部分41之截面積隨著自另一端部41b朝向一端部41a而逐漸變窄。因此，第1部分41之惰性氣體G係隨著朝向一端部41a而逐漸於沿著X軸之方向上之中央部分收束。亦即，第1部分41之一端部41a之惰性氣體G係較第1部分41之另一端部41b之惰性氣體G於沿著X軸之方向上更均一地分佈。

惰性氣體G係自第1部分41之一端部41a經過接合部43而分別被輸送至兩個第2部分42。藉由於第1部分41之一端部41a收束，惰性氣體G被更均等地分配，並流入至兩個第2部分42。亦即，流入至一第2部分42之惰性氣體G之流量與流入至另一第2端部42之惰性氣體G之流量變得大致相等。

圖6係表示流往兩個第2部分42之惰性氣體G相對於第1部分41之寬度比之分支誤差之圖表。圖6之橫軸表示長度L1相對於長度L2之百分率(分支部寬度比)。圖6之縱軸表示分別流入至兩個第2部分42之惰 性氣體G之偏差(分支誤差)。所謂分支誤差之1%，係指流入至兩個第2部分42之惰性氣體G之流量比係51：49之意。

如圖6所示，藉由分支部寬度比成為80%以下，分支誤差較明顯地變小。亦即，藉由將長度L1設定為長度L2之八成以下，可更有效地降低分支誤差。

如以上般之噴嘴裝置15係例如由三維印表機積層造形而成。噴嘴裝置15係以合成樹脂或金屬等之各種材料製作。作為噴嘴裝置15之材料，可選擇對噴嘴裝置15所供給之流體(氣體G)具有耐受性之材料。

三維印表機係例如藉由於沿著Z軸之方向上反復進行材料層之形成與材料層之固化而形成噴嘴裝置15。管路部24亦可於形成噴嘴裝置15之層之積層中途予以切削加工。可於形成噴嘴裝置15之層之積層中途，對例如管路部24之朝向下方之面以外之面進行切削加工。

噴嘴裝置15亦可由積層造形以外之方法形成。例如，亦可藉由使藉由切削而分別形成有管路部24之一部分之複數個構件相互接合而形成噴嘴裝置15。

於第1實施形態之處理裝置10中，供給口22與各個噴出口23之間之各路徑之路徑長度與構造相互相同。因此，無論供給至供給口22之惰性氣體G之流量多寡，自複數個噴出口23噴出之惰性氣體G之流出量皆變得更均等。換言之，可抑制自複數個噴出口23噴出之惰性氣體G之流出量分佈受供給至供給口22之惰性氣體G之流量影響而有所變化。

管路部24之截面積係隨著自供給口22朝向噴出口23而逐漸變窄。藉此，可減低流動於管路部24之惰性氣體G之壓力損失，而且自複數個噴出口23噴出之惰性氣體G之流出量亦變得更均等。

噴嘴裝置15係由三維印表機積層造形而成。藉此，與藉由切削 形成管路部24之情形相比，可更自由地設定管路部24之形狀。進而，可更自由地配置供給口22與噴出口23。

第1部分41之一端部41a之截面積較第1部分41之另一端部41b之截面積更窄。藉此，即使例如自其他分支部31之第2部分42流入至第1部分41之惰性氣體G藉由慣性力而於第1部分41之內部產生不均，亦會聚集於截面積較窄之第1部分41之一端部41a，並經過接合部43而被輸送至複數個第2部分42。藉此，可對複數個第2部分42更均等地輸送惰性氣體G。因此，自複數個噴出口23最終噴出之惰性氣體G之流出量變得更均等。

自其他分支部31之第2部分42流入至第1部分41之惰性氣體G會因慣性力而於第2部分42延伸之方向(沿著X軸之方向)產生不均。相對於此，第1部分41之一端部41a之長度L1較第1部分41之另一端部41b之長度L2更短。長度L1、L2係於自第1部分41延伸之方向俯視下，與第1部分41正交之其他分支部31之第2部分42延伸之方向之長度。藉此，可進一步消除自第1部分41輸送至第2部分42之惰性氣體G之不均，從而可對複數個第2部分42更均等地輸送惰性氣體G。

第1部分41之一端部41a之長度L1係第1部分41之另一端部41b之長度L2之八成以下。藉由如此般設定長度L2，如圖6所示，可對複數個第2部分42更均等地輸送惰性氣體G。

第1部分41之剖面形狀係沿著X軸之方向上之長度(自第1部分41延伸之方向俯視下之與第1部分41正交之其他分支部31之第2部分延伸之方向的長度)，較沿著Z軸之方向上之長度(與沿著Y軸之方向正交，且亦與第2部分42延伸之方向正交之方向的長度)更短。藉此，例如可抑制自其他分支部31之第2部分42經過連結部44而流入至第1部分41之惰性氣體G藉由慣性力而於第1部分41之內部產生不均，並機過接合部43而被輸送至複數個第2部分42。再者，於例如由三維印表機進行 積層造形之情形時，可確保藉由切削可使管路部24之表面變平滑之部分更寬。再者，相較於沿著X軸之方向上之長度相對於沿著Z軸之方向上之長度為相同或更長之情形，可抑制第1部分41之惰性氣體G之沿著X軸方向上之不均。

以下，對第2實施形態，參照圖7及圖8進行說明。另，於以下之複數個實施形態之說明中，有時對具有與已說明之構成要件相同之功能之構成要件附加與該既述之構成要件相同之符號並省略說明。再者，附加有相同符號之複數個構成要件不限定於所有功能及性質共通，而亦可根據各實施形態具有不同之功能及性質。

圖7係表示第2實施形態之分支部31之形狀之俯視圖。如圖7所示，於第2實施形態，第1部分41之一端部41a之沿著X軸之方向上之長度L1，與第1部分41之另一端部41b之沿著X軸之方向上之長度L2相等。圖7僅顯示長度L2。

第1部分41之一端部41a至另一端部41b之長度L3，較第1部分41之沿著X軸之方向上之長度L1、L2更長。長度L3例如為長度L1、L2之5倍以上。另，長度L3並非限定於此。

圖8係表示流往兩個第2部分42之惰性氣體G相對於第1部分41之縱橫比之分支誤差之圖表。圖8之橫軸表示長度L3相對於長度L1、L2之比率(縱橫比)。圖8之縱軸表示分別流入至兩個第2部分42之惰性氣體G之偏差(分支誤差)。

如圖8所示，藉由縱橫比成為5以上，分支誤差變得更小。亦即，藉由將長度L3設定為長度L1、L2之5倍以上，可更有效地降低分支誤差。再者，藉由縱橫比成為8以上，分支誤差更為變小。

於第2實施形態之處理裝置10中，第1部分41之一端部41a至另一端部41b之長度L3為第1部分41之長度L1、L2之5倍以上。藉此，即使例如自其他分支部31之第2部分42流入至第1部分41之惰性氣體G藉由 慣性力而於第1部分41之內部產生不均，亦可於通過第1部分41期間大致消除惰性氣體G之不均，而經過接合部43輸送至複數個第2部分42。藉此，如圖8所示，可對複數個第2部分42更均等地輸送惰性氣體G。因此，自複數個噴出口23最終噴出之惰性氣體G之流出量變得更均等。

以下，對第3實施形態，參照圖9進行說明。圖9係表示第3實施形態之分支部31之形狀之俯視圖。如圖9所示，第3實施形態之第2部分42分別自接合部43朝相對於Y軸僅以交叉角度θ交叉之方向延伸。亦即，兩個第2部分42分別以相對於第1部分41延伸之方向鏡面對稱及旋轉對稱地延伸。另，第2部分42並非限定於此。

交叉角度θ例如小於90度而大於0度。因此，第2部分42係以於沿著Y軸之方向上自第1部分41之一端部41a接近另一端部41b之方式延伸。

於第3實施形態之處理裝置10中，第2部分42分別自接合部43朝與Y軸以交叉角度θ交叉之方向延伸。交叉角度θ小於90度。藉此，可一面更加增長沿著Y軸之方向上之第1部分41之長度L3，一面更加縮短沿著Y軸之方向上之管路部24全體之長度，從而能夠將噴嘴裝置15小型化。

進而，於沿著Y軸之方向上，流動於第1部分41之惰性氣體G之行進方向與流動於第2部分42之惰性氣體G之行進方向相反。藉此減少接合部43中惰性氣體G之慣性力，從而對複數個第2部分42更均等地輸送惰性氣體G。

圖10係表示第3實施形態之分支部31之變化例之俯視圖。如圖10所示，該變化例之第2部分42分別具有正交部42a與傾斜部42b。

正交部42a分別自接合部43朝沿著X軸之方向以直線狀延伸。換言之，正交部42a分別朝與Y軸90度交叉之方向延伸。因此，與第1部 分41之一端部41a對向之接合部43之內表面亦朝與Y軸90度交叉之方向延伸。

傾斜部42b分別自正交部42a朝相對於Y軸僅以交叉角度θ交叉之方向延伸。交叉角度θ小於90度。各自具有正交部42a及傾斜部42b之兩個第2部分42係各自以相對於第1部分41延伸之方向鏡面對稱及旋轉對稱地延伸。

如圖10之分支部31所示，接合部43之與第1部分41之一端部41a對向之內表面亦可相對於第1部分41延伸之方向正交。且，第2部分42亦可具有如圖10之第2部分42般彎曲之形狀。

以下，對第4實施形態，參照圖11進行說明。圖11係表示第4實施形態之分支部31之形狀之俯視圖。如圖11所示，分支部31具有分配部45。

分配部45係於面向第1部分41之一端部41a之位置，設置於接合部43。另，分配部45之一部分亦可設置於第2部分42。

分配部45係相對於第1部分41之一端部41a下凹。換言之，分配部45係以遠離第1部分41之一端部41a之方式形成之凹部。

自第1部分41流入至接合部43之惰性氣體G藉由慣性力而進入至凹部即分配部45。惰性氣體G係以於分配部45經減少慣性力之狀態被輸送至兩個第2部分42。

於第4實施形態之處理裝置10中，分配部45係於面向第1部分41之一端部41a之位置設置於接合部43，且相對於一端部41a下凹。下凹之分配部45係承接自第1部分41之一端部41a流入至接合部43之惰性氣體G，於減緩其流勢後，將該惰性氣體G輸送至第2部分42。因此，可更均等地對複數個第2部分42輸送惰性氣體G。

分配部45亦可相對於第1部分41之一端部41a突出。於該情形時，突出之分配部45分割自第1部分41之一端部41a流入至接合部43之惰性 氣體G之氣流，並將其引導至兩個第2部分42。藉此，分配部45可對複數個第2部分42更均等地輸送惰性氣體G。

以下，對第5實施形態，參照圖12及圖13進行說明。圖12係示意性地表示第5實施形態之噴嘴裝置15之俯視圖。如圖12所示，第5實施形態之噴嘴裝置15具有：第1供給口61、複數個第1噴出口62、第1管路部63、第2供給口64、複數個第2噴出口65、及第2管路部66。第1供給口61係第1開口部之一例。第1噴出口62係第2開口部之一例。第2供給口64係第3開口部之一例。第2噴出口65係第4開口部之一例。

第1供給口61、複數個第1噴出口62、第1管路部63、第2供給口64、複數個第2噴出口65、及第2管路部66係設置於基體21。複數個第1噴出口62與複數個第2噴出口65設置於基體21之同一面21c。第1管路部63與第2管路部66設置於基體21之內部。

第1供給口61與第2供給口64分別連接於泵13。控制部11係藉由控制泵13而選擇性地將惰性氣體G自泵13供給至第1供給口61與第2供給口64之任一者。

第1管路部63係連接第1供給口61與複數個第1噴出口62之流路。換言之，於第1管路部63之一端部設置第1供給口61，於第1管路部63之另一端部設置第1噴出口62。第1管路部63具有複數個分支部31與複數個第1噴嘴部71。第1管路部63之分支部31係第1分支部之一例。

與第1實施形態之分支部31同樣，第1管路部63之分支部31係使自第1供給口61朝向第1噴出口62之路徑於中途分支為兩個之部分。於本實施形態中，複數個分支部31係將自第1供給口61朝向第1噴出口62之路徑分支為兩階段。換言之，第1管路部63係於自第1供給口61朝向第1噴出口62之路徑中分支兩次。

第2管路部66係連接第2供給口64與複數個第2噴出口65之流路。換言之，於第2管路部66之一端部設置第2供給口64，於第2管路部66 之另一端部設置第2噴出口65。第2管路部66具有複數個分支部31與複數個第2噴嘴部72。第2管路部66之分支部31係第2分支部之一例。

與第1實施形態之分支部31同樣，第2管路部66之分支部31係將自第2供給口64朝向第2噴出口65之路徑於中途分支為兩個之部分。於本實施形態中，複數個分支部31係將自第2供給口64朝向第2噴出口65之路徑分支為兩階段。換言之，第2管路部66係於自第2供給口64朝向第2噴出口65之路徑中分支兩次。

與第1實施形態同樣，第1管路部63之分支部31與第2管路部66之分支部31分別具有第1部分41、兩個第2部分42、及接合部43。第2管路部66之第1部分41係第3部分之一例。第2管路部66之第2部分42係第4部分之一例。與第1實施形態同樣，第1部分41朝沿著Y軸之方向以直線狀延伸。

與第1實施形態同樣，第2部分42係藉由接合部43而連接於第1部分41之一端部41a。第2部分42分別自接合部43朝沿著X軸之方向以直線狀延伸。換言之，第2部分42分別朝與Y軸90度交叉之方向延伸。

於第1管路部63中，第1供給口61與各個第1噴出口62之間之路徑長度相同。再者，於第1管路部63中，第1供給口61與各個第1噴出口62之間之分支部31之數量相同。此外，各階段之分支部31之形狀及大小相互相同。如此，第1供給口61與各個第1噴出口62之間之各路徑之路徑長度與構造相互相同。因此，對流動於第1供給口61與各個第1噴出口62之間之路徑之流體作用之阻力各自相等(等效傳導)。

同樣地，於第2管路部66中，第2供給口64與各個第2噴出口65之間之路徑長度相同。再者，於第2管路部66中，第2供給口64與各個第2噴出口65之間之分支部31之數量相同。此外，各階段之分支部31之形狀及大小相互相同。如此，第2供給口64與各個第2噴出口65之間之各路徑之路徑長度與構造相互相同。因此，對流動於第2供給口64與 各個第2噴出口65之間之路徑之流體作用之阻力分別相等(等效傳導)。

第1管路部63之第1供給口61與第1噴出口62之間之路徑長度係與第2管路部66之第2供給口64與第2噴出口65之間之路徑長度相等。惟，第1管路部63之分支部31之第1及第2部分41、42之尺寸，與第2管路部66之分支部31之第1及第2部分41、42之尺寸亦可不同。

第1噴嘴部71係連接自第1供給口61朝向第1噴出口62之路徑中最靠近第1噴出口62之分支部31之第2部分42、與對應之第1噴出口62。第1噴嘴部71具有連接於第1噴出口62、且相對於Y軸傾斜地延伸之第1傾斜部71a。第1傾斜部71a例如朝圖12之右側斜上方延伸。

第2噴嘴部72連接自第2供給口64朝向第2噴出口65之路徑中最靠近第2噴出口65之分支部31之第2部分42、與對應之第2噴出口65。第2噴嘴部72具有連接於第2噴出口65、且相對於Y軸傾斜地延伸之第2傾斜部72a。第2傾斜部72a例如朝圖12之右側斜上方延伸。

圖13係放大顯示第1傾斜部71a與第2傾斜部72a之剖視圖。如圖13所示，第1噴嘴部71之第1傾斜部71a與第2噴嘴部72之第2傾斜部72a係相互交叉而連接。第1傾斜部71a與第2傾斜部72a可如圖13所示般呈90度交叉，亦可以其他角度交叉。

第1噴嘴部71之第1傾斜部71a具有第1縮徑部75。第1縮徑部75於自第1供給口61朝向第1噴出口62之路徑中，位於較連接於第2傾斜部72a之部分更靠近第1供給口61之位置(上游側)。例如，第1縮徑部75係鄰接於第1傾斜部71a之連接於第2傾斜部72a之部分而設置。

第1縮徑部75係縮小第1噴嘴部71之截面積之部分。亦即，第1縮徑部75之截面積小於第1噴嘴部71之其他部分之截面積。第1縮徑部75係例如由自第1噴嘴部71之內表面突出之壁形成。

第2噴嘴部72之第2傾斜部72a具有第2縮徑部76。第2縮徑部76係 於自第2供給口64朝向第2噴出口65之路徑中，位於較連接於第1傾斜部71a之部分更靠近第2供給口64之位置(上游側)。例如，第2縮徑部76係鄰接於第2傾斜部72a之連接於第1傾斜部71a之部分而設置。

第2縮徑部76係縮小第2噴嘴部72之截面積之部分。亦即，第2縮徑部76之截面積小於第2噴嘴部72之其他部分之截面積。第2縮徑部76係例如由自第2噴嘴部72之內表面突出之壁形成。

於此種噴嘴裝置15中，當自泵13例如對第1供給口61供給惰性氣體G時，惰性氣體G通過複數個分支部31。惰性氣體G由分支部31分兩次分成兩股而流入至第1噴嘴部71。

於第1縮徑部75中，第1噴嘴部71之截面積縮小。因此，藉由通過第1縮徑部75，惰性氣體G之流速加快。經加速之惰性氣體G通過與第2傾斜部72a之連接部分而自位於第1噴嘴部71之端部之第1噴出口62噴出。

自泵13對第2供給口64供給惰性氣體G之情形亦同樣如此。亦即，藉由經過第2縮徑部76，惰性氣體G之流速加快。經加速之惰性氣體G通過與第1傾斜部71a之連接部分而自位於第2噴嘴部72之端部之第2噴出口65被噴出。自第2噴出口65噴出惰性氣體G之方向與自第1噴出口62噴出惰性氣體G之方向不同。

於第5實施形態之處理裝置10中，第1噴嘴部71具有第1縮徑部75，其於自第1供給口61朝向第1噴出口62之路徑中，設置於較連接於第2噴嘴部72之部分更靠近第1供給口61之位置，且縮小第1噴嘴部71之截面積。藉此，經過第1噴嘴部71朝向第1噴出口62之惰性氣體G藉由第1縮徑部75使流速加快，而更易於朝第1噴出口62直線前進。藉此，可抑制第1噴嘴部71之惰性氣體G進入至第2噴嘴部72。同樣地，可抑制第2噴嘴部72之惰性氣體G進入至第1噴嘴部71。

另，於第5實施形態中，泵13之惰性氣體G選擇性地被供給至第1 供給口61及第2供給口64之任一者。但，處理裝置10亦可具有可對第1供給口61及第2供給口64之任一者供給惰性氣體G之切換閥。

雖以上之複數個實施形態之管路部24、63、66係於XY平面上延伸，但管路部24、63、66並非限定於此。例如，於兩個以上之XY平面上延伸之管路部可於沿著Z軸之方向上疊置且相互連接，而形成複數層階層。藉此，噴嘴裝置15可進一步獲得XY平面上之小型化。

以下，對第6實施形態，參照圖14進行說明。圖14係表示第6實施形態之噴嘴裝置15之立體圖。如圖14所示，第6實施形態之噴嘴裝置15具有一個供給口22、四個噴出口23、及管路部24。

於第6實施形態之管路部24中，分支部31具有一個第1部分41、四個第2部分42、及一個接合部43。亦即，於本實施形態中，分支部31係使自供給口22朝向噴出口23之路徑於中途分為四個。第1部分41朝沿著Y軸之方向以直線狀延伸。

一個接合部43係將四個第2部分42連接於第1部分41之一端部41a。四個之中之兩個第2部分42分別自接合部43朝沿著X軸之方向以直線狀延伸。另一方面，其他兩個第2部分42分別自接合部43朝沿著Z軸之方向以直線狀延伸。

如上所述，四個第2部分42分別朝與Y軸90度交叉之方向延伸。且，四個第2部分42分別朝相互90度交叉之方向延伸。亦即，兩個第2部分42分別以相對於第1部分41延伸之方向旋轉對稱地延伸。四個第2部分42藉由四個連結部44及四個噴嘴部32而分別連接於對應之噴出口23。

於第6實施形態之處理裝置10中，管路部24朝三維方向延伸，四個第2部分42分別朝與Y軸90度交叉之方向延伸。如此，三個以上之第2部分42亦可自第1部分41之一端部41a延伸。

另，只要複數個第2部分42與第1部分41延伸之方向交叉之角度 (交叉角度θ)相同，則相互交叉之角度(分支角度θd)亦可不同。亦即，於圖14之XZ平面上之第2部分42彼此交叉之角度(分支角度θd)亦可存在差異。

根據以上所說明之至少一實施形態，第1部分之一端部之截面積較第1部分之另一端部之截面積更窄。藉此，通過複數個第2開口部之流體流量變得更均等。

雖已說明本發明之若干實施形態，但該等實施形態係作為範例而提示者，而並非意圖限定發明之範圍。該等新穎之實施形態可以其他各種形態實施，且可於不脫離發明要旨之範圍內，進行各種省略、置換、變更。該等實施形態或其變形涵蓋於發明範圍或要旨內，且涵蓋於申請專利範圍所記載之發明及其均等之範圍內。

例如，於上述複數個實施形態中，自第1開口部之一例即供給口22供給流體之一例即惰性氣體G，並使其自複數個第2開口部23之一例即複數個噴出口23噴出。但，亦可自複數個第2開口部吸引流體，且使其自第1開口部排出。

15‧‧‧噴嘴裝置

21‧‧‧基體

21a‧‧‧第1面

21b‧‧‧第2面

22‧‧‧供給口

23‧‧‧噴出口

24‧‧‧管路部

31‧‧‧分支部

31A‧‧‧分支部

31B‧‧‧分支部

31C‧‧‧分支部

32‧‧‧噴嘴部

41‧‧‧分支部之第1部分

42‧‧‧分支部之第2部分

43‧‧‧接合部

44‧‧‧連結部

X‧‧‧X軸

Y‧‧‧Y軸

Z‧‧‧Z軸

Claims (6)

1. 一種噴嘴裝置，其包含：第1開口部；複數個第2開口部；及第1管路部，其具有至少一個第1分支部，該第1分支部具有朝第1方向延伸之第1部分、及連接於上述第1部分之一端部且分別朝與上述第1方向交叉之方向延伸之複數個第2部分；且該第1管路部係連接上述第1開口部與上述複數個第2開口部，藉由上述第1分支部，於自上述第1開口部朝向上述第2開口部之路徑中至少分支一次；上述第1開口部與各個上述第2開口部之間之路徑長度及上述第1分支部之數量相同；且上述第1部分之上述一端部之截面積較上述第1部分之另一端部之截面積更窄；上述第1部分之剖面形狀係為，其自上述第1部分延伸之方向俯視下之與上述第1部分正交之其他上述第1分支部之上述第2部分延伸方向之長度，較與上述第1方向正交且亦與上述第2部分延伸之方向正交之第2方向上之長度短。
2. 一種噴嘴裝置，其包含：第1開口部；複數個第2開口部；及第1管路部，其具有至少一個第1分支部，該第1分支部具有朝第1方向延伸之第1部分、分別朝與上述第1方向交叉之方向延伸之複數個第2部分、連接上述第1部分之一端部與上述複數個第2部分之接合部、及於面向上述第1部分之上述一端部之位置設置於上述接合部且相對於上述一端部凹陷之分配部；且該第1管路 部係連接上述第1開口部與上述複數個第2開口部，藉由上述第1分支部，於自上述第1開口部朝向上述第2開口部之路徑中至少分支一次；上述第1開口部與各個上述第2開口部之間之路徑長度及上述第1分支部之數量相同。
3. 一種噴嘴裝置，其包含：第1開口部；複數個第2開口部；第1管路部，其具有至少一個第1分支部，該第1分支部具有朝第1方向延伸之第1部分、及連接於上述第1部分之一端部且分別朝與上述第1方向交叉之方向延伸之複數個第2部分；且該第1管路部係連接上述第1開口部與上述複數個第2開口部，藉由上述第1分支部，於自上述第1開口部朝向上述第2開口部之路徑中至少分支一次；上述第1開口部與各個上述第2開口部之間之路徑長度及上述第1分支部之數量相同；第3開口部；複數個第4開口部；及第2管路部，其具有至少一個第2分支部，該第2分支部具有朝上述第1方向延伸之第3部分、及連接於上述第3部分之一端部且分別朝與上述第1方向交叉之方向延伸之複數個第4部分；且該第2管路部係連接上述第3開口部與上述複數個第4開口部，藉由上述第2分支部，於自上述第3開口部朝向上述第4開口部之路徑中至少分支一次；上述第3開口部與各個上述第4開口部之間之路徑長度及上述第2分支部之數量相同；且上述第1部分之上述一端部之截面積較上述第1部分之另一端部之截面積更窄；上述第1管路部更具有第1噴嘴部，其係連接自上述第1開口部 朝向上述第2開口部之路徑中最靠近上述第2開口部之上述第1分支部之上述第2部分、與對應之上述第2開口部；上述第2管路部更具有第2噴嘴部，其係連接自上述第3開口部朝向上述第4開口部之路徑中最靠近上述第4開口部之上述第2分支部之上述第4部分、與對應之上述第4開口部，且與上述第1噴嘴部交叉而連接；上述第1噴嘴部具有第1縮徑部，其係於自上述第1開口部朝向上述第2開口部之路徑中，設置於較連接於上述第2噴嘴部之部分更靠近上述第1開口部之位置，且縮小上述第1噴嘴部之截面積；上述第2噴嘴部具有第2縮徑部，其係於自上述第3開口部朝向上述第4開口部之路徑中，設置於較連接於上述第1噴嘴部之部分更靠近上述第3開口部之位置，且縮小上述第2噴嘴部之截面積。
4. 一種噴嘴裝置，其包含：第1開口部；複數個第2開口部；第1管路部，其具有至少一個第1分支部，該第1分支部具有朝第1方向延伸之第1部分、及連接於上述第1部分之一端部且分別朝與上述第1方向交叉之方向延伸之複數個第2部分；且該第1管路部係連接上述第1開口部與上述複數個第2開口部，藉由上述第1分支部，於自上述第1開口部朝向上述第2開口部之路徑中至少分支一次；上述第1開口部與各個上述第2開口部之間之路徑長度及上述第1分支部之數量相同；且上述第1部分之上述一端部之截面積較上述第1部分之另一端部之截面積更窄； 上述第2部分係朝與上述第1方向以小於90度之角度交叉之方向延伸。
5. 如請求項1至4中任一項之噴嘴裝置，其中上述至少一個分支部包含第1分支部和第2分支部；上述第2分支部之上述第1部分係連接於上述第1分支部之上述第2部分，且朝上述第1分支部之上述第1部分延伸方向的相反方向延伸。
6. 一種處理裝置，其具備：如請求項1至5中任一項之噴嘴裝置；收容部，其以收容流體之方式構成；以及供給部，其係以對上述第1開口部供給上述收容部之上述流體之方式構成。