CN111133563A - 包括垂直偏移、水平重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人和包括其的系统和方法 - Google Patents

Abstract

公开了一种具有重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人。机器人包括蛙腿构造的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂彼此共面且每个可旋转地耦接到第一叶片；和蛙腿构造的第三臂和第四臂，第三臂和第四臂彼此共面且每个可旋转地连接到第二叶片，其中第三臂和第四臂从第一臂和第二臂垂直偏移。第三臂和第四臂被构造成在当第一叶片和第二叶片处于缩回位置时与第一臂和第二臂的至少一部分重叠。提供了操作机器人的方法和包括机器人的电子装置处理系统，和许多其他方面。

Description

包括垂直偏移、水平重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人和包括 其的系统和方法

相关申请

本申请案主张于2017年9月19日提交的第15/708,806号，名称为“DUAL-BLADEROBOT INCLUDING VERTICALLY OFFSET HORIZONTALLY OVERLAPPING FROG-LEG LINKAGESAND SYSTEMS AND METHODS INCLUDING SAME(包括垂直偏移、水平重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人和包括其的系统和方法)”(代理人案卷号25481/USA)的美国专利申请的优先权，其为了所有的目的而通过引用其全文的方式并入本文。

技术领域

本公开内容的实施方式关于电子装置制造，且更具体地关于适于在腔室之间传输基板的机器人。

背景技术

电子装置制造系统可包括具有多个腔室(诸如处理腔室和一个或多个装载锁定腔室)的处理工具。这样的处理腔室和一个或多个装载锁定腔室可包括在群集工具中，例如，其中基板可在相应的处理腔室和一个或多个装载锁定腔室之间传送。这些系统可采用一个或多个机器人在各个腔室之间移动基板，且在一些实施方式中，一个或多个机器人可驻留在传送腔室中。在这样的运动期间，基板可支撑在一个或多个机器人的终端受动器(有时称为“叶片”)上。

电子装置制造系统(诸如群集工具)的处理腔室可用以在基板(如，含硅晶片、图案化和未图案化的掩模晶片、玻璃板、含二氧化硅的制品或类似者)上实施任何数量的处理，诸如沉积、氧化、氮化、蚀刻、抛光、清洁、光刻、计量或类似者。

在这样的处理和/或群集工具内，例如，多个腔室可围绕传送腔室而分布。机器人可容纳在传送腔室内，且可被构造并适于在各个腔室之间传送基板。例如，传送可在处理腔室之间，或在处理腔室和一个或多个装载锁定腔室之间。狭缝阀可位于每个相应腔室的入口处，以允许每个腔室被环境隔离。

改善处理和/或群集工具操作的操作和/或效率的机器人设备、系统和方法设计是有益的。

发明内容

在第一示例实施方式中，一种双叶片机器人包括：耦接到第一叶片并被构造为在第一方向上延伸第一叶片的第一蛙腿连杆；耦接到第二叶片并被构造为在第二方向上延伸第二叶片的第二蛙腿连杆，其中第二蛙腿连杆从第一蛙腿连杆垂直偏移，使得当第一叶片和第二叶片各自处于缩回位置时，第二蛙腿连杆与第一蛙腿连杆重叠。

在第二示例实施方式中，一种群集工具包括：传送腔室；耦接到传送腔室的装载锁定装置；耦接到传送腔室的处理腔室和设置在传送腔室内的双叶片机器人，双叶片机器人具有第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆，其中第二蛙腿连杆从第一蛙腿连杆垂直偏移，且当第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆各自处于缩回位置时，第二蛙腿连杆与第一蛙腿连杆重叠。

在第三示例实施方式中，一种在第一腔室和第二腔室之间传送基板的方法包括以下步骤：延伸第一蛙腿连杆，使得耦接到第一蛙腿连杆的双叶片机器人的第一叶片定位在第一腔室中；从第一腔室取回基板；和缩回第一蛙腿连杆，使得第一叶片离开第一腔室，其中基板在第一叶片上，其中在从第一腔室缩回第一蛙腿连杆之后，第一蛙腿连杆与双叶片机器人的第二蛙腿连杆重叠。

在替代的示例实施方式中，机器人包括：具有第一轴的毂；第一构件和第二构件，第一构件和第二构件的每个可旋转地耦接到毂并可绕第一轴旋转；第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端可旋转地耦接到第一构件并可绕第二轴旋转，第一臂的第二端可旋转地耦接到第一叶片并可绕第三轴旋转；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端可旋转地耦接到第二构件并可绕第四轴旋转，第二臂的第二端可旋转地耦接到第一叶片并可绕第五轴旋转；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端可旋转地耦接到第二构件并可绕第六轴旋转，第三臂的第二端可旋转地耦接到第二叶片并可绕第三轴旋转；和第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端可旋转地耦接到第一构件并可绕第七轴旋转，第四臂的第二端可旋转地耦接到第二叶片并可绕第五轴旋转，其中第一臂与第二臂名义上共面，第三臂与第四臂名义上共面，且第三臂和第四臂分别从第一臂和第二臂垂直偏移。

在另一替代的示例实施方式中，一种系统包括：界定容积的第一腔室；设置在由第一腔室界定的容积内的双叶片机器人，双叶片机器人包括：具有第一轴的毂；第一构件和第二构件，第一构件和第二构件的每个可旋转地耦接到中心的毂并可绕第一轴旋转；第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端在第二轴处可旋转地耦接到第一构件，第一臂的第二端在第三轴处可旋转地耦接到第一叶片；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端在第四轴处可旋转地耦接到第二构件，第二臂的第二端在第五轴处可旋转地耦接到第一叶片；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端在第六轴处可旋转地耦接到第二构件，第三臂的第二端在第三轴处可旋转地耦接到第二叶片；第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端在第七轴处可旋转地耦接到第一构件，第四臂的第二端在第五轴处可旋转地耦接到第二叶片，其中第一臂与第二臂名义上共面，第三臂与第四臂名义上共面，且第三臂和第四臂分别从第一臂和第二臂垂直偏移。

在又一替代的示例实施方式中，一种群集工具包括：传送腔室；耦接到传送腔室的装载锁定装置；耦接到传送腔室的处理腔室；设置在传送腔室内的双叶片晶片处理机器人，双叶片晶片处理机器人具有蛙腿交叉连杆，其中蛙腿交叉连杆包括：第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端可旋转地耦接到第一构件并可绕第一轴旋转，第一臂的第二端可旋转地耦接到第一叶片并可绕第二轴旋转；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端可旋转地耦接到第二构件并可绕第三轴旋转，第二臂的第二端可旋转地耦接到第一叶片并可绕第四轴旋转；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端可旋转地耦接到第二构件并可绕第五轴旋转，第三臂的第二端可旋转地耦接到第二叶片并可绕第二轴旋转；第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端可旋转地耦接到第一构件并可绕第六轴旋转，第四臂的第二端可旋转地耦接到第二叶片并可绕第四轴旋转，其中第一臂与第二臂名义上共面，第三臂与第四臂名义上共面，且第三臂和第四臂分别从第一臂和第二臂垂直偏移。

根据本公开内容的这些和其他实施方式提供了许多其他特征。根据以下的实施方式、附随的附图和随附的权利要求书，本公开内容的实施方式的其他特征和方面将变得更加显而易见。

附图说明

图1A显示了根据一个或多个实施方式的双叶片机器人的侧视图。

图1B显示了根据一个或多个实施方式的双叶片机器人的等距视图。

图1C显示了根据一些实施方式的处于缩回位置的双叶片机器人的侧视图。

图1D显示了根据一些实施方式的双叶片机器人的分解图。

图2A显示了根据一个或多个实施方式的双叶片机器人的顶视平面图。

图2B显示了根据一个或多个实施方式的双叶片机器人的顶视平面图。

图3显示了根据一个或多个实施方式的包括双叶片机器人的电子装置处理系统。

图4显示了描绘根据一个或多个实施方式的在第一腔室和第二腔室之间传送基板的方法的流程图。

具体实施方式

根据本公开内容的各种实施方式提供了一种双叶片机器人，双叶片机器人包括第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆，第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆被构造为使得第二蛙腿连杆从第一蛙腿连杆垂直偏移，并进一步被构造为当双叶片机器人的叶片缩回时，第二蛙腿连杆与第一蛙腿连杆水平地重叠。这种构造减小了当叶片缩回时双叶片机器人的整体占地面积，并允许使用比容纳双叶片机器人的传送腔室内可用的更长的叶片。例如，在一些实施方式中，可采用相对长和/或高温的叶片(诸如石英叶片)，以将基板放置在执行高温处理的处理腔室(如，外延生长和/或沉积腔室)内或从处理腔室移除基板。为了避免将双叶片机器人的一部分(诸如腕部)暴露于处理腔室的高温环境，可采用长叶片，使得在基板放置或移除期间仅叶片延伸到处理腔室中。在叶片在相反方向上延伸的双叶片机器人构造中，使用长叶片可能增加双叶片机器人的整体占地面积，使得机器人不再适配于传送腔室内。本文描述的实施方式提供了双叶片机器人、系统和方法，其允许使用更长的叶片，同时保持适合在传送腔室内使用的整体(缩回)占地面积。

参考第1A-4图描述了根据示例实施方式的机器人、包括机器人的电子装置处理系统和操作机器人的方法的各个方面的进一步细节。

参考图1A，公开了双叶片机器人100的第一说明性示例实施方式。例如，机器人100可用于且可被构造为将基板传送到各个腔室和从各个腔室传送，诸如进出处理腔室，和/或进出装载锁定腔室。然而，双叶片机器人100可用于适合双叶片机器人的紧凑尺寸的其他环境中。图1A显示了示例双叶片机器人100，其具有第一蛙腿连杆102a和第二蛙腿连杆102b，第一蛙腿连杆102a耦接到第一叶片104a并被构造为在第一方向D1上延伸第一叶片104a，第二蛙腿连杆102b耦接到第二叶片104b并被构造为在第二方向D2上延伸第二叶片104b，其中第二蛙腿连杆102b从第一蛙腿连杆102a垂直偏移，使得当第一叶片104a和第二叶片104b均处于缩回位置(如图1A所示)时，第二蛙腿连杆102b与第一蛙腿连杆102a重叠。

在一些实施方式中，双叶片机器人100被构造为使得第一叶片104a和第二叶片104b名义上共面(如，在一些实施方式中，相对于彼此倾斜小于+/-1度和/或相对于彼此垂直偏移平面小于+/-1mm)。例如，第一叶片104a和第二叶片104b可定位成基本上在同一平面P1中延伸和缩回。在一些实施方式中，第二叶片104b可被成形为使得第二叶片104b的支撑表面与第一叶片104a的支撑表面基本上在同一平面中(如图1A所示)。通常，第一叶片104a、第二叶片104b或第一叶片104a和第二叶片104b两者可被成形为使得第一叶片104a和第二叶片104b名义上共面。附加地或替代地，第一叶片104a和第二叶片104b的一个或多个可通过使用一个或多个适配器、支架或类似者而被定位成名义上共面。

更具体地，双叶片机器人100的说明性示例实施方式在图1B中显示。参考图1B，双叶片机器人100包括具有第一轴A1的毂106。第一构件108a和第二构件108b在第一轴A1处可旋转地耦接到毂106。第一臂110具有第一端111a和第二端111b，且其第一端111a在第二轴A2处可旋转地耦接到第二构件108b。第一臂110的第二端111b可旋转地耦接在(底部腕连接器112a的)第三轴A3处。名义上与第一臂110共面的第二臂114具有第一端115a和第二端115b，且其第一端115a在第四轴A4处可旋转地耦接到第一构件108a。第二臂114的第二端115b在(底部腕连接器112a的)第五轴A5处可旋转地耦接。第三臂116具有第一端117a和第二端117b，且其第一端117a在第六轴A6处可旋转地耦接到第二构件108b。第三臂116的第二端117b可旋转地耦接在(顶部腕连接器112b的)第三轴A3处。名义上与第三臂116共面的第四臂118具有第一端119a和第二端119b，且其第一端119a在第七轴A7处可旋转地耦接到第一构件108a。第四臂118的第二端119b可旋转地耦接在(顶部腕连接器112b的)第五轴A5处。

如图1B所示，第三臂116从第一臂110垂直偏移，且第四臂118从第二臂114垂直偏移。在一些实施方式中，这个偏移可在从约1至约8mm的范围内，尽管可采用更大或更小的垂直偏移。例如，可通过分别位于第三臂116和/或第四臂118下方的间隔件120a、120b来提供垂直偏移。可采用用于使第三臂116和/或第四臂118偏移的任何其他方法。间隔件120a、120b可由铝或其他合适的材料形成。如下面将进一步描述的，在第一臂110和第三臂116之间以及第二臂114和第四臂118之间提供垂直偏移允许顶部腕连接器112b与底部腕连接器112a重叠(见第1A和1B图)，使得第一叶片104a和第二叶片104b可更完全地缩回。这允许双叶片机器人100在完全缩回时占据更小的占地面积，如第1A和1B图所示。

图1C显示了根据本文提供的一些实施方式的处于缩回位置的双叶片机器人100的侧视图。参考图1C，顶部腕连接器112a和底部腕连接器112b被显示为重叠且被构造为使得叶片104a、104b名义上共面(如，基本上在同一平面P1中延伸和缩回)。在一些实施方式中，第一叶片104a被构造为在第一方向D1上从毂106向外延伸，第二叶片104b被构造为在不同于第一方向D1的第二方向D2(如，在相反方向上，尽管可使用其他方向)上从毂106向外延伸，且第一和第二叶片可名义上共面。此外，第一叶片104a被构造为朝向毂106向内缩回，且第二叶片104b被构造为朝向毂106向内缩回。

图1D显示了根据本文提供的一些实施方式的双叶片机器人100的分解图。参考图1D，在一些实施方式中，第一臂110具有与其第一端111a相邻的弧形部分和与其第二端111b相邻的笔直部分。第二臂114具有与其第一端115a相邻的弧形部分和与其第二端115b相邻的笔直部分。第三臂116具有与其第一端117a相邻的弧形部分和与其第二端117b相邻的笔直部分。第四臂118具有与其第一端119a相邻的弧形部分和与其第二端119b相邻的笔直部分。可采用其他臂部形状。如图1D所示，腕连接器112a和112b可加工成使得当叶片104a、104b被安装在双叶片机器人100上时是名义上共面的。例如，腕连接器112a设置有袋122，叶片104a附接在袋122中。腕连接器112b可类似地构造，且每个袋可具有定位叶片104a和104b的深度，使得它们名义上是共面的。袋深度可取决于诸如腕连接器112a、112b的高度、第三臂116和第四臂118的垂直偏移等因素。

第一叶片104a和第二叶片104b可由符合叶片的预期用途的任何合适的材料形成。在第1A和1B图的说明性示例中，第一叶片104a和第二叶片104b各自至少部分地由石英构成。应注意有时用以描述叶片的另一术语是终端受动器。

图2A显示了根据本公开内容的一个或多个实施方式的在图1B中的等距视图所示的双叶片机器人100的顶视平面图。图2B显示了根据本公开内容的一个或多个实施方式的在图1B中的等距视图所示的双叶片机器人100的侧视图。

适合与第1A-2B图的双叶片机器人100的一起使用的电子装置处理工具300的示例实施方式显示在图3中。图3显示了电子装置处理工具300(诸如群集工具)的示例性实施方式的示意图，电子装置处理工具300包括传送腔室302、耦接到传送腔室302的装载锁定腔室304、耦接到传送腔室302的处理腔室306、设置在传送腔室302中的双叶片机器人100和耦接到双叶片机器人100(和/或传送腔室302、装载闸腔室304和/或处理腔室306)的机器人控制器308。

传送腔室302可被构造为与至少一个装载锁定腔室304对接、与至少一个处理腔室306对接并容纳双叶片机器人100。传送腔室302可被构造为被抽空到(例如)低于标准大气压的压力。

装载锁定腔室304可被构造为与工厂接口(未显示)或可从一个或多个基板载体(如，前开式标准舱(FOUP))接收基板的其他系统部件对接，基板载体停靠在工厂接口的一个或多个装载端口处。装载锁定腔室304可被构造为允许双叶片机器人100的叶片进入和离开，用于将基板供应到处理腔室306或从处理腔室306接收基板。

处理腔室306可被构造用于任何合适的处理操作，包括但不限于蚀刻、沉积、氧化、氮化、硅化、外延生长、选择性外延生长、阻剂剥离、清洁、光刻等。处理腔室306可构造为允许双叶片机器人100的叶片进入和离开。

如上所述，双叶片机器人100可包括第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆，第一蛙腿连杆耦接到第一叶片且被构造为在第一方向上延伸第一叶片，第二蛙腿连杆耦接到第二叶片并被构造为在第二方向上延伸第二叶片，其中第二蛙腿连杆垂直偏移第一蛙腿连杆，使得第一叶片和第二叶片都处于缩回位置时，第二蛙腿连杆与第一蛙腿连杆重叠(例如，参见第1A-2B图)。

机器人控制器308耦接到双叶片机器人100，并可被构造为向双叶片机器人100提供指导其操作的控制信号。由机器人控制器308产生的控制信号可为(但不限于)电、光、磁和/或电磁信号。在一些示例实施方式中，机器人控制器308在产生控制信号的处理中包括数字电路。这样的数字电路可包括(但不限于)一个或多个微处理器、一个或多个微控制器、一个或多个现场可编程门阵列(FPGA)、包括一个或多个嵌入式处理器的一个或多个片上系统(SoC)集成电路、或分离的数字部件。机器人控制器308可进一步包括储存的数据和储存的指令，用于供计算资源(诸如(但不限于)微处理器、微控制器和嵌入式处理器)使用。机器人控制器308可进一步包括用于动态修改FPGA功能的FPGA配置数据。

在一些实施方式中，机器人控制器308包括网络通信接口，以促进双叶片机器人100的维修和保养，并提供关于双叶片机器人100的操作和操作状态的信息。

在一些实施方式中，机器人控制器308被进一步构造为从双叶片机器人100接收信号。机器人控制器308从双叶片机器人100接收的信号可由机器人控制器308使用，以确定双叶片机器人100是否根据预定的操作参数操作。机器人控制器308可为专用于控制机器人100的控制器，或可为控制群集工具300、传送腔室302、装载锁定腔室304和/或处理腔室306的控制器和/或控制系统的一部分。

参考图4提供并描述了根据本公开内容的实施方式的在电子装置处理系统(例如群集工具)内传输基板的示例方法400。方法400包括在方块402处提供处理工具，处理工具具有传送腔室、耦接到传送腔室的第一腔室、耦接到传送腔室的第二腔室和具有第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆的双叶片机器人(参见(例如)图3的处理工具300)。

方法400在通过以下操作而在方块404中继续：延伸设置在传送腔室中的第一蛙腿连杆，使得耦接到双叶片机器人的第一蛙腿连杆的第一叶片的至少一部分定位在耦接到传送腔室的第一腔室中。在一些示例实施方式中，第一腔室可为装载闸腔室或处理腔室。例如，参考图3，为了将第二叶片104b延伸到装载闸腔室304中，第一构件108a逆时针旋转且第二构件108b顺时针旋转。这使得第一臂110、第二臂114、第三臂116和第四臂118朝向装载锁定腔室304延伸。如图3所示，第三臂116与第一臂110重叠且第四臂118与第二臂114重叠。

在图3的延伸位置中，腕连接器112b定位在装载闸腔室304附近，使得第二叶片104b延伸到装载锁定腔室304中(以将基板放置在装载锁定腔室304内或从装载锁定腔室304取出基板)。

方法400通过以下操作而在方块406继续：用第一叶片从第一腔室取回基板。在一些示例实施方式中，基板可为晶片或玻璃板。晶片可为半导体制造中使用的类型。玻璃板可为显示器制造或类似者中使用的类型。在图3的示例中，第二叶片104b从装载锁定腔室304取回基板310。在一个或多个实施方式中，机器人100可在没有垂直运动的情况下取回基板310(如，装载锁定腔室304可垂直地引导基板310，以将基板310放置在第二叶片104b上)。

方法400通过以下操作而在方块408继续：缩回第一蛙腿连杆，使得第一叶片在支撑基板的同时离开第一腔室，且双叶片机器人的第一蛙腿连杆与第二蛙腿连杆重叠，其中第二蛙腿连杆从第一蛙腿连杆垂直偏移。例如，参照图3，在从装载锁定腔室304取回基板310之后，第一构件108a可顺时针旋转而第二构件108b可逆时针旋转。这使得第一臂110、第二臂114、第三臂116和第四臂118朝向毂106缩回(如图1B所示)。如图1B所示，第三臂116与第一臂110重叠，且第四臂118与第二臂114重叠。在图1B的缩回位置中，腕连接器112b位于腕连接112a上方(也参见图2B)。

类似地，第一叶片104a可通过顺时针旋转第一构件108a且逆时针旋转第二构件108b而延伸到装载锁定腔室或处理腔室中。这使得第一臂110、第二臂114、第三臂116和第四臂118远离毂106向外延伸。

本公开内容进一步的实施方式包括操作第二叶片以取回基板。例如，延伸第二蛙腿连杆，使得耦接到第二蛙腿连杆的双叶片机器人的第二叶片定位在第一腔室中；使用第二叶片从第一腔室取回另外的基板；和缩回第二蛙腿连杆，使得第二叶片与在第二叶片上的另外的基板离开第一腔室。在缩回位置中，第二蛙腿连杆与第一蛙腿连杆重叠，第二蛙腿连杆从第一蛙腿连杆垂直偏移。

可利用群集工具的以下示例构造来实践示例方法400，但是将理解方法400可与其他电子装置处理系统一起时间。示例性群集工具构造可包括传送腔室，双叶片机器人布置在传送腔室中。一个或多个装载锁定腔室可耦接到传送腔室，且一个或多个处理腔室可耦接到传送腔室。一个或多个装载锁定腔室、一个或多个处理腔室和传送腔室可被构造为被抽空。这种抽空可促进低压处理操作。在各种示例实施方式中，第一叶片可至少部分地由石英形成。

根据本公开内容的示例性方法可进一步包括，在取回基板之后，在传送腔室内并在水平平面中旋转第一叶片，使得第一叶片与要将基板输送到的装载锁定腔室或处理腔室对准。以类似于取回基板的方法的方式，基板输送可包括延伸第一蛙腿连杆，使得第一叶片定位在基板将被输送到的腔室中。在将基板从输送并从第一叶片移除之后，通过缩回第一蛙腿连杆而使第一叶片缩回。

在上述示例性方法中，第二蛙腿连杆以与第一蛙腿连杆和第一叶片相同的方式操作，以使双叶片机器人的第二叶片延伸和缩回。在示例性实施方式中，第一叶片和第二叶片名义上共面，而第二蛙腿连杆从第一蛙腿连杆垂直偏移。

因此，已经公开了具有重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人。双叶片机器人包括蛙腿构造的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂彼此共面且每个可旋转地耦接到第一叶片；和蛙腿构造第三臂和第四臂，第三臂和第四臂彼此共面且每个可旋转地连接到第二叶片，其中第三臂和第四臂从第一臂和第二臂垂直偏移。第三臂和第四臂被构造为在当第一叶片和第二叶片处于缩回位置时与第一臂和第二臂的至少一部分重叠。提供了操作机器人的方法和包括机器人的电子装置处理系统，和许多其他方面。

应当显而易见的是，如本文所述的双叶片机器人100提供紧凑的布置，因此有利地允许两个叶片的每一个都为长的且仍然适配于传送腔室内(例如，并且允许机器人和/或叶片的旋转)。

以上的实施方式仅公开了示例实施方式。对于熟悉本领域者来说，落入本公开内容的范围内的上述设备、系统和方法的修改是显而易见的。因此，虽然已经结合本公开内容的示例实施方式而提供了本公开内容，但是应该理解其他实施方式可落入由随附的权利要求书所界定的范围内。

Claims (15)

1.一种双叶片机器人，包含：

第一蛙腿连杆，耦接到第一叶片并构造成在第一方向上延伸该第一叶片；

第二蛙腿连杆，耦接到第二叶片并构造成在第二方向上延伸该第二叶片；

其中该第二蛙腿连杆从该第一蛙腿连杆垂直偏移，使得当该第一叶片和该第二叶片各自处于缩回位置时，该第二蛙腿连杆与该第一蛙腿连杆重叠。

2.如权利要求1所述的双叶片机器人，其中该第一方向和该第二方向是相反的方向。

3.如权利要求1所述的双叶片机器人，进一步包含：

毂；和

第一构件，可旋转地耦接到该毂；

其中该第一蛙腿连杆在第一位置处可旋转地耦接到该第一构件，且该第二蛙腿连杆在第二位置处可旋转地耦接到该第一构件。

4.如权利要求1所述的双叶片机器人，进一步包含：

毂，具有第一轴；和

第一构件，可旋转地耦接到该毂并围绕该第一轴是可旋转的；

第二构件，可旋转地耦接到该毂并围绕该第一轴是可旋转的；

其中该第一蛙腿连杆包含：

第一臂，具有第一端和第二端，该第一臂的该第一端可旋转地耦接到该第一构件并围绕第二轴是可旋转的，该第一臂的该第二端可旋转地耦接到该第一叶片并为围绕第三轴是可旋转；和

第二臂，具有第一端和第二端，该第二臂的该第一端可旋转地耦接到该第二构件并围绕第四轴是可旋转的，该第二臂的该第二端可旋转地耦接到该第一叶片并可围绕第五轴是可旋转的；

其中该第二蛙腿连杆包含：

第三臂，具有第一端和第二端，该第三臂的该第一端可旋转地耦接到该第二构件并围绕第六轴是可旋转的，该第三臂的该第二端可旋转地耦接到该第二叶片并围绕该第三轴是可旋转的；和

第四臂，具有第一端和第二端，该第四臂的该第一端可旋转地耦接到该第一构件并围绕第七轴是可旋转的，该第四臂的该第二端可旋转地耦接到该第二叶片并围绕该第五轴是可旋转的；

其中该第一臂与该第二臂名义上共面，该第三臂与该第四臂名义上共面，且该第三臂和第四臂分别从该第一臂和该第二臂垂直偏移。

5.如权利要求4所述的双叶片机器人，其中该第一叶片被构造为在该第一方向上从该毂向外延伸，该第二叶片被构造为在不同于该第一方向的该第二方向上从该毂向外延伸，且该第一叶片和该第二叶片名义上共面。

6.如权利要求4所述的双叶片机器人，其中该第一叶片被构造为朝向该毂向内缩回，且该第二叶片被构造为朝向该毂向内缩回。

7.如权利要求6所述的双叶片机器人，其中该第三臂被构造为在当该第一叶片和该第二叶片均处于缩回位置时与该第一臂重叠，且该第四臂被构造为在当该第一叶片和该第二叶片均处于该缩回位置时与该第二臂重叠。

8.如权利要求4所述的双叶片机器人，其中该第一臂具有与该第二轴相邻的弧形部分和与该第三轴相邻的笔直部分，该第二臂具有与该第四轴相邻的弧形部分和与该第五轴相邻的笔直部分，该第三臂具有与该第六轴相邻的弧形部分和与该第三轴相邻的笔直部分，该第四臂具有与该第七轴相邻的弧形部分和与该第五轴相邻的笔直部分。

9.如权利要求1所述的双叶片机器人，其中该第一蛙腿连杆和该第二蛙腿连杆设置在第一腔室内。

10.一种群集工具，包含：

传送腔室；

装载锁定装置，耦接到该传送腔室；

处理腔室，耦接到该传送腔室；和

设置在该传送腔室内的双叶片机器人，具有第一叶片和第二叶片，该双叶片机器人具有第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆；

其中该第二蛙腿连杆从该第一蛙腿连杆垂直偏移，且当该第一蛙腿连杆和该第二蛙腿连杆各自处于缩回位置时，该第二蛙腿连杆与该第一蛙腿连杆重叠。

11.如权利要求10所述的群集工具，其中该第一蛙腿连杆包含：

第一臂，具有第一端和第二端，该第一臂的该第一端可旋转地耦接到第一构件并围绕第一轴是可旋转的，该第一臂的该第二端可旋转地耦接到第一叶片并围绕第二轴是可旋转的；和

第二臂，具有第一端和第二端，该第二臂的该第一端可旋转地耦接到第二构件并围绕第三轴是可旋转，该第二臂的该第二端可旋转地耦接到该第一叶片并围绕第四轴是可旋转的。

12.如权利要求11所述的群集工具，其中该第二蛙腿连杆包含：

第三臂，具有第一端和第二端，该第三臂的该第一端可旋转地耦接到该第二构件并围绕第五轴是可旋转的，该第三臂的该第二端可旋转地耦接到第二叶片并围绕该第二轴是可旋转的；和

第四臂，具有第一端和第二端，该第四臂的该第一端可旋转地耦接到该第一构件并围绕第六轴是可旋转的，该第四臂的该第二端可旋转地耦接到该第二叶片并围绕该第四轴是可旋转的；

其中该第一臂与该第二臂名义上共面，该第三臂与该第四臂名义上共面，且该第三臂和该第四臂分别从该第一臂和该第二臂垂直偏移，且双叶片机器人经调整尺寸以便当该第一叶片和该第二叶片处于缩回位置时，允许该第一叶片和该第二叶片围绕该第一轴在该传送腔室内旋转。

13.如权利要求10所述的群集工具，其中该处理腔室经构造以用于低压化学气相沉积操作。

14.如权利要求10所述的群集工具，其中该处理腔室经构造以用于外延生长操作，且该第一叶片和该第二叶片的每一个包含石英。

15.一种在第一腔室和第二腔室之间传送基板的方法，包含以下步骤：

提供处理工具，具有：

传送腔室；

第一腔室，耦接到该传送腔室；

第二腔室，耦接到该传送腔室；和

双叶片机器人，设置在该传送腔室内，该双叶片机器人具有第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆；

延伸该第一蛙腿连杆，使得耦接到该第一蛙腿连杆的该双叶片机器人的第一叶片定位在该第一腔室中；

使用该第一叶片从该第一腔室取回基板；和

缩回该第一蛙腿连杆，使得该第一叶片离开该第一腔室，其中该基板在该第一叶片上；

其中在从该第一腔室缩回该第一蛙腿连杆之后，该第一蛙腿连杆与该双叶片机器人的该第二蛙腿连杆重叠。

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