TWI684095B - 高性能電子冷卻系統 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種用於一電子電路封裝之冷卻系統。該冷卻系統包含一熱傳遞板，該熱傳遞板經定位與一電子電路封裝表面熱接觸且形成該冷卻系統之一蒸發區之底部表面。該冷卻系統亦包含複數個冷凝管，其等與該蒸發區流體連通且延伸遠離該蒸發區，使得該蒸發區及該等冷凝管一起形成一單一、連續、密封殼體。該冷卻系統亦包含該密封殼體內之一流體。該冷卻系統亦包含複數個間隔件，其等充填該熱傳遞板與該等冷凝管之間的間隙，其中各間隔件經構形為一獨立組件以容許流體通過各間隔件之內部空間。該冷卻系統亦包含複數個芯，其中各芯部分地定位於其所流體耦合至之一對應間隔件內。

Description

高性能電子冷卻系統

通常使用冷卻系統來消散由電子電路封裝(諸如一積體電路晶粒封裝)產生之熱。熱管及蒸氣腔室為此等冷卻系統之組件。另外，液體冷卻解決方案亦用於傳遞由此等電子電路封裝(ECP)產生之熱。隨著ECP製造商針對高性能處理及運算應用開發先進微處理器，需要ECP冷卻解決方案中之新的進展來充分地管理由此等更先進組件產生之增多之熱。

根據一個態樣，本發明係關於一種用於一電子電路封裝之冷卻系統。該冷卻系統包含經定位與一電子電路封裝表面熱接觸之一熱傳遞板。該熱傳遞板形成該冷卻系統之一蒸發區之一底部表面。該冷卻系統進一步包含與該蒸發區流體連通且延伸遠離該蒸發區之複數個冷凝管。該蒸發區及該等冷凝管一起形成一單一、連續、密封殼體。該冷卻系統進一步包含安置於該密封殼體內之一流體。該冷卻系統進一步包含複數個間隔件，其等實質上充填該熱傳遞板與各自冷凝管之間的間隙。該等間隔件之各者經構形為一獨立組件以容許流體通過各間隔件之一內部空間。該冷卻系統進一步包含複數個芯(wick)。各芯部分地定位於該間隔件所流體耦合至之一對應間隔件內。

在一些實施方案中，各芯之至少一部分接觸該熱傳遞板。在一些實施方案中，接觸該熱傳遞板之各芯之該部分經定向實質上平行於該熱傳遞板。在一些實施方案中，接觸該熱傳遞板之各芯之該部分覆蓋一對應間隔件之一端之一橫截面面積之小於四分之三。在一些實施方案中，接觸該熱傳遞板之各芯之該部分實質上覆蓋其對應間隔件之一端且在平行於該熱傳遞板之一方向上延伸超越該對應間隔件之一邊緣。在一些實施方案中，各芯包括一金屬網。在一些實施方案中，各間隔件至少部分延伸至一對應冷凝管中。在一些實施方案中，各冷凝管之一內表面界定複數個溝槽。在一些實施方案中，該熱傳遞板包括複數個鰭片，其等在該密封殼體內延伸遠離該熱傳遞板。在一些實施方案中，該複數個鰭片以一不規則方式配置。在一些實施方案中，該複數個鰭片基於跨與該熱傳遞板熱接觸之該電子電路封裝表面之熱產生之一變化配置。在一些實施方案中，使用一銅粉塗佈該密封殼體之至少一部分。在一些實施方案中，塗佈該密封殼體之該銅粉具有約0.1 mm之一粒子大小。在一些實施方案中，塗佈該密封殼體之該銅粉形成具有約0.3 mm之一厚度之一塗層。在一些實施方案中，該銅粉塗層塗佈在該密封殼體內延伸遠離該熱傳遞表面之複數個鰭片。在一些實施方案中，該銅粉塗層塗佈該熱傳遞板及在該密封殼體內與該熱傳遞板相對之該蒸發區之一表面之至少一者。在一些實施方案中，該等冷凝管之內部不含該銅粉塗層。在一些實施方案中，各間隔件之一直徑靠近該熱傳遞板向外展開。在一些實施方案中，各間隔件之一部分比該間隔件之一剩餘部分更靠近該冷卻板延伸。在一些實施方案中，該等冷凝管圍繞該密封殼體之一周邊定位。

根據另一態樣，本發明係關於一種用於一電子電路封裝之冷卻系統。該冷卻系統包含經定位與一電子電路封裝表面熱接觸之一熱傳遞板。該熱傳遞板形成該冷卻系統之一蒸發區之一底部表面。該冷卻系統進一步包含與該蒸發區流體連通且延伸遠離該蒸發區之複數個冷凝管。該蒸發區及該等冷凝管一起形成一單一、連續、密封殼體。該複數個冷凝管之各者包含複數個溝槽。該冷卻系統進一步包含安置於該密封殼體內之一流體。該冷卻系統包含複數個芯。各芯經定位使得一個端接觸該熱傳遞板且一相對端延伸至一對應冷凝管之一近端中達小於該對應冷凝管之長度之5%之一距離。在一些實施方案中，各芯包括一多層銅網。

散熱係電子電路封裝(諸如一積體電路晶粒封裝)之製造商之一主要顧慮。隨著製造商產生具有更大運算及處理能力之電子電路封裝(ECP)，對改進冷卻解決方案之需要亦增大，以便使使用者獲得此等高性能電子電路設計之完整益處而不受礙於歸因於由更強大ECP產生之熱之欠佳管理之性能降級。熱管及蒸氣腔室已通常在此領域中用於冷卻ECP。通常，在傳統解決方案中，隨著ECP功率增大，冷卻性能下降，因為解決方案無法以一足夠快之速率消散足夠熱來確保ECP之最佳性能。通常，一特定熱管或蒸氣腔室設計之冷卻能力並不與已應用冷卻解決方案之一給定ECP之熱產生輪廓(heat generation profile)匹配。因此，ECP中之溫度上升，此可使ECP性能降級及/或負面影響ECP之壽命及可靠性。包含液體冷卻方法之冷卻解決方案係可用的，但通常涉及增加的成本及設計複雜度。本文揭示之冷卻系統可避免通常與液體冷卻解決方案相關聯之昂貴設計、製造及維護需求。所揭示之冷卻系統亦良好適用於配合高功率組件(例如，執行運算密集型操作(諸如機器學習應用)之處理器)部署且可實現使用更高處理器速度來增大晶片性能。

所揭示之冷卻系統包含數個特徵來改良遠離冷卻系統所附接至之一ECP之熱傳遞。此等特徵(單獨及/或組合)可有助於實現針對一特定熱源改良(且在一些情況中最佳化)蒸發程序，從而導致遠離高功率密度ECP之更有效且一致之熱傳遞。所揭示之冷卻系統可包含一單一連續液汽腔室。腔室可包含一蒸發板，該蒸發板接觸ECP且將熱傳遞至包含於腔室中之一液體冷卻劑中。液體冷卻劑可接著在自ECP吸收熱時蒸發，且自蒸發液體產生之潮濕蒸氣可在冷凝管中累積。在冷凝管中，潮濕蒸氣中包含之熱可經傳遞至冷凝管壁且因此至一外部冷卻介質(其可包含水或空氣或其他流體)。在冷凝管壁之內表面累積之液體冷凝物可接著自冷凝管回流至蒸發區。冷卻系統可包含獨立結構，在本文中稱為將冷凝管流體耦合至蒸發區之間隔件。此等間隔件可包含一剛性組件及/或一芯，以針對更有效之熱傳遞提供一連續液體冷卻劑流。間隔件可充當最靠近蒸發板之冷凝管之端(稱為「近端」)與腔室之蒸發部分之熱傳遞板之間的一「橋」。芯可提供一芯吸效應，將來自冷凝管之冷凝液體吸回至腔室之蒸發區中，而非容許液體在冷凝管之近端中累積且滴落至蒸發板中。

作為一額外特徵，腔室之蒸發部分之內壁可包含表面塗層來改良蒸發效率。例如，一銅粉可塗佈熱傳遞板及與熱傳遞板相對之腔室之表面。在一些實施方案中，表面塗層亦可塗佈腔室之壁及/或冷凝管之內壁。在一些實施方案中，冷凝管之內壁不含表面塗層，且替代地包含延長冷凝管長度之一系列縱向溝槽。

在一些實施方案中，芯可包含在冷凝管與熱傳遞板之間延伸之一多層銅網。另外，亦可添加鰭片至熱傳遞板之內表面以增大熱傳遞板之表面積。亦可使用一銅塗層來塗佈鰭片以提升冷卻系統之蒸發效率。

熱傳遞板可經附接至腔室之一上部分以形成一經圍封、單容積、連續液汽冷卻系統。冷凝管可經連接至此圍封腔室之側或至頂部(或兩個連接構形之一組合)。如上文描述，冷凝管可包含一芯來提供一毛細管效應且改良腔室之蒸發區與冷凝區之間的流體循環。替代地或另外，冷凝管可包含溝槽來減小冷凝管內壁上之冷凝物之摩擦且可促進冷凝物移動回至蒸發區。

所揭示之冷卻系統架構增強冷凝管之空氣冷卻能力且解決管理通常由高功率ASIC或微處理器產生之高熱通量之問題。通常，包含於一ECP中之高功率處理器之構形可顯著影響用於冷卻ECP之冷卻系統之熱傳遞性能。對此問題之一解決方案可包含針對包含於一特定ECP構形中之高性能組件之構形或佈局最佳化之一冷卻系統。例如，一ECP構形可經配置使得數個微處理器圍繞ECP之周邊定位。包含在ECP中心之設計元件之一冷卻系統可不展現與使用相對於ECP之熱產生組件類似地映射或定位之熱傳遞特徵部(諸如在對應於ECP之熱產生處理器之位置中圍繞冷卻系統之周邊構形之冷卻系統特徵部)構形之一冷卻系統相同之熱傳遞能力。本文揭示之所揭示冷卻系統解決此問題之一個方式係藉由使一ECP製造商能夠客製化可經配置於耦合至ECP之熱傳遞板上之複數個鰭片之形狀、高度及密度。鰭片可以一均勻圖案或一不規則圖案配置，該圖案經設計以最佳化遠離其等上方定位鰭片之ECP之熱產生部分之熱傳遞。在所揭示之冷區系統中，具有一更大密度之熱產生ASIC或微處理器之ECP之區可經映射且一熱傳遞板可經製造為具有複數個鰭片，可最佳化該等鰭片之位置、密度及塗層性質以有效管理由微處理器產生之熱。例如，定位於一ECP之產生更大量之熱之組件上方之熱傳遞板之區可包含比定位於ECP中之上方定位熱傳遞板之低功率積體電路上方之熱傳遞板之區更大數目個鰭片、更大鰭片表面積或更大鰭片密度(及因此更大熱傳遞能力)。

現將更詳細描述包含於揭示之冷卻系統中之各種設計元件之額外細節。

圖1係一例示性電子電路封裝冷卻系統105之一圖。概括言之，冷卻系統105經耦合至一電子電路封裝(ECP) 110 (諸如一積體電路晶粒封裝)。ECP 110可進一步包含一或多個微處理器，諸如ASIC、場可程式化閘陣列(FPGA)或微處理器。冷卻系統105亦包含一熱傳遞板115。冷卻系統包含一蒸發區120及複數個冷凝區125。冷卻系統105包含複數個冷凝管130及複數個間隔件135。冷卻系統105亦包含複數個芯140。

如在圖1中展示，冷卻系統105經形成為一單一、連續、密封殼體或腔室。冷卻系統105包含形成腔室之底部或下部分之一熱傳遞板115及形成腔室之一上部分之複數個冷凝管130。冷卻系統105包含一蒸發區120及定位於冷凝管130內之複數個冷凝區125。腔室之上部分可經裝配為腔室之下部分之一蓋以產生單一、連續容積腔室。在一些實施方案中，腔室可包含一液體(例如，水或一冷卻液體)來吸收由ECP 110產生之熱。所產生之熱藉由蒸發區120內之液體吸收且在液體蒸發時傳遞至冷凝區125。經蒸發液體作為蒸氣傳遞至冷凝管130，其中在蒸氣在冷凝管130之壁上冷凝時，熱透過冷凝管130之壁消散至圍繞冷凝管130之一外部冷卻介質(諸如空氣或水或另一流體)中。接著，冷凝物可自冷凝管130之壁流回至蒸發區120。

冷卻系統105之單一、連續容積液汽腔室之設計可提供容許所有冷凝管130在相同溫度(假定內側之相等蒸汽壓力)下操作之益處。如此，冷凝管130在連接至相同腔室或容積空間(例如，蒸發區120)且曝露於蒸發區120中存在之低溫液體時可傳遞比在冷凝管130未連接至相同腔室或容積空間或另定位於液體冷卻劑之下游的情況下更高之一熱負載。因此，一單一、連續容積液汽腔室避免冷凝管130間的不均勻熱平衡且進一步避免包含多個內部腔室或散熱結構之冷卻系統設計中之中間熱阻(諸如可在熱傳遞板115與外部冷卻介質(例如，空氣或水)之間形成之焊料熱阻及/或銅散熱阻力)。

如在圖1中展示，一熱傳遞板115經耦合至ECP 110。熱傳遞板115直接定位於一ECP 110頂部且經配接至ECP 110，使得由ECP 110產生之熱可經傳輸至熱傳遞板115以用於進一步消散。熱傳遞板115可由擁有優越熱傳遞品質之一金屬或金屬合金(諸如銅或鋁)建構，使得由ECP 110產生之熱有效傳遞至熱傳遞板115且至冷卻系統105中以用於進一步消散。熱傳遞板115形成由冷卻系統105形成之腔室之下部分或底板。在一些實施方案中，熱傳遞板115可使用一熱傳遞材料耦合至ECP 110。

如在圖1中展示，冷卻系統105包含一蒸發區120。蒸發區120接收由ECP 110產生且傳遞至其耦合至之熱傳遞板115之熱。蒸發區120為由熱傳遞板115、冷卻系統105之腔室之壁及上部分形成之空間之容積。蒸發區120可包含一液體，諸如水或一冷卻劑流體(未展示)，諸如一介電製冷劑。自熱板115傳遞之熱藉由蒸發區120中之液體吸收，從而使液體蒸發為一氣相。攜載經傳遞熱之蒸氣在冷凝區125中累積且冷凝。在一些實施方案中，冷卻系統105可包含一充填管(未展示)，其在製造程序中用來使用一特定量之液體冷卻劑或水裝填冷卻系統105。在一些實施方案中，待使用之冷卻劑之容積可為佔據冷卻系統腔室之內部容積的10%與50%之間之一容積。可用來裝填冷卻系統105之液體重量或數量可基於與冷卻系統105所耦合至之ECP相關聯之功率(及熱)圖最佳化或組態。

如在圖1中展示，冷卻系統105亦包含複數個冷凝區125。冷凝區125係由冷凝管130之壁形成之空間之容積。冷凝區125累積轉換為蒸氣且將自熱傳遞板115傳遞之熱攜載至蒸發區120中之蒸發液體。蒸氣在冷凝區125中收集且在冷凝管130之壁上冷凝。冷凝區125及形成其等之冷凝管130之尺寸可基於針對一特定冷卻系統105及/或特定ECP 110預期之熱傳遞性能而變化。在一些實施方案中，冷凝管130具有約2至15 mm之一水力直徑且約為20至500 mm高。冷凝管130可為圓形、矩形、三角形、八角形或具有任何其他橫截面形狀。在一些實施方案中，冷凝管130可為筆直的。在一些實施方案中，冷凝管130可以一角度彎曲。在一些實施方案中，冷凝管130可相對於熱傳遞板115垂直配置。在一些實施方案中，冷凝管130可相對於熱傳遞板115水平配置。

冷凝管130可由擁有預期熱傳遞品質之一金屬或金屬合金(諸如銅或鋁)建構，使得在冷凝管130之壁上累積之蒸氣中存在之熱可經有效傳遞至圍繞冷凝管130之一外部介質(諸如空氣或水)，從而容許蒸氣冷凝回一液相。在一些實施方案中，冷凝管130之內表面可包含一塗層，諸如一銅粉塗層。在其他實施方案中，冷凝管130之內表面可不含銅粉塗層，且可替代地包含延長冷凝管130之長度或實質上整個長度之一系列縱向溝槽。

如在圖1中展示，冷卻系統105可包含複數個間隔件135。間隔件135為橫跨蒸發區120內之空間之獨立組件。間隔件135充填熱傳遞板115與各自冷凝區125之間的間隙。間隔件135大體為管狀的且經構形以容許流體通過各間隔件之內部空間。間隔件135可藉由促進經冷凝之蒸發液體流回蒸發區120而改良其所附接至之冷凝管130之總體乾燥能力。在一些實施方案中，間隔件135可包含一剛性外結構，諸如一銅管。在一些實施方案中，間隔件135之內表面可包含一塗層來協助蒸發液體移回蒸發區120。在一些實施方案中，間隔件135可包含除了剛性外結構以外之一網芯。在一些實施方案中，間隔件135可僅包含一金屬網間隔件且不包含一剛性外結構。

如在圖1中進一步展示，冷卻系統105包含複數個芯140。芯140提供一芯吸(或毛細管)效應以將已在冷凝管130之下部分處累積之冷凝蒸氣吸回至蒸發區120。例如，隨著熱透過冷凝管130之壁傳遞，攜載熱之蒸氣在冷凝管130之壁上冷凝且沿著冷凝管之內表面向下遷移。冷凝液體可在冷凝管130之下部分處累積。芯140可將來自冷凝管130之下部分之累積液體進一步向下吸取或芯吸至靠近熱傳遞板115之蒸發區中。芯140可實現通過冷卻系統105之一穩定、連續液體冷卻劑流，從而在所有冷凝管130中導致相較於利用無芯之冷凝管之冷卻系統設計更均勻之溫度及更大之熱傳遞性能。在一些實施方案中，芯140可經包含作為間隔件135之一組件。在其他實施方案中，芯140可不被包含作為間隔件135之一組件。

圖2A至圖2G描述適用於圖1中展示之展示為105之冷卻系統中之間隔件及芯之多個例示性構形。圖2A至圖2F展示包含熱傳遞板215a至215f、冷凝管230a至230f、間隔件235a至235f及芯240a至240f之冷卻系統105之各種實施方案之態樣。圖2G展示包含圖2A至圖2F之所有元件但排除一間隔件之一冷卻系統之一實施方案。

如在圖2A中展示，冷卻系統105包含一間隔件235a，該間隔件235a經定位於冷凝管230a之下部分處且至少部分延伸至對應冷凝管230a中。間隔件235a實質上橫跨整個蒸發區(例如，在最靠近蒸發板之冷凝管之端(稱為「近端」)與腔室之蒸發區之熱傳遞板之間的間隙之約80%至100%之間)，使得間隔件235a之一個端插入冷凝管230a中，且間隔件235a之另一端緊鄰或接觸熱傳遞板215a。在一些實施方案中，間隔件235a之內表面可包含一塗層來促進冷凝液體冷卻劑經由間隔件235a之內表面返回至蒸發區。例如，間隔件235a之內表面可包含一疏水表面塗層來降低液體冷卻劑之表面摩擦且可促進液體冷卻劑自冷凝管230a移回至冷卻系統105之蒸發區中。

如在圖2A中進一步展示，間隔件235a包含一芯240a。芯240a部分地定位於其所流體耦合至之冷凝管230a內。芯240a經定位於間隔件235a之內部容積內且向上延伸至冷凝管230a之下部分。間隔件235a朝向熱傳遞板215a向下延伸。芯240a接觸熱傳遞板215a。接觸熱傳遞板215a之芯240a之部分經定向實質上平行於其接觸之熱傳遞板215a。在一些實施方案中，接觸熱傳遞板215a之芯240a之部分可經構形以覆蓋其對應之間隔件235a之不同橫截面尺寸。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215a之芯240a之部分可覆蓋對應間隔件235a之一端之橫截面面積的15至30%之間，例如，對應間隔件235a之一端之橫截面面積的25%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215a之芯240a之部分可覆蓋對應間隔件235a之一端之橫截面面積的40至60%之間，例如，對應間隔件235a之一端之橫截面面積的50%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215a之芯240a之部分可覆蓋對應間隔件235a之一端之橫截面面積的70至90%之間，例如，對應間隔件235a之一端之橫截面面積的75%。

如在圖2B中展示，關於圖2A描述之所有元件保持相同，惟圖2B中展示之芯240b延伸超越間隔件235b且進一步至冷凝管230b之近端中除外。使芯240b進一步延伸至由冷凝管230b產生之冷凝區中可提供一更大之芯吸效應且將已在冷凝管230b之內表面上冷凝之更大量之液體冷卻劑吸回熱傳遞板215b。在一些實施方案中，芯240b可延伸至冷凝管230b之近端中達對應冷凝管之長度的0至10%之間之一距離(例如，小於對應冷凝管之長度之5%)。在一些實施方案中，芯240b可延伸至冷凝管230b之近端中達對應冷凝管之長度的10至50%之間的一距離(例如，對應冷凝管之長度之35%)。在一些實施方案中，芯240b可延伸至冷凝管230b之近端中達對應冷凝管之長度的50至100%之間的一距離(例如，對應冷凝管之長度之75%)。

如在圖2C中展示，關於圖2A描述之所有元件保持相同，惟圖2C中展示之間隔件235c經構形以靠近熱傳遞板215c向外展開除外。例如，靠近熱傳遞板215c之間隔件之直徑可為其進入冷凝管230c之間隔件之直徑之1.25至2.0倍。

如在圖2D中展示，關於圖2C中描述之所有元件保持相同，惟圖2D中展示之芯240d經構形以延伸超越間隔件235d且進一步至冷凝管230d之近端中(類似於圖2B中展示之芯240b)除外。在一些實施方案中，芯240d可延伸至冷凝管230d之近端中達對應冷凝管之長度或高度之0至10%之間的一距離(例如，小於對應冷凝管之長度之5%)。在一些實施方案中，芯240d可延伸至冷凝管230d之近端中達對應冷凝管之長度或高度之10至50%之間的一距離(例如，對應冷凝管之長度之35%)。在一些實施方案中，芯240d可延伸至冷凝管230d之近端中達對應冷凝管之長度或高度之50至95%之間的一距離(例如，對應冷凝管之長度之75%)。

如在圖2E中展示，關於圖2A中描述之所有元件保持相同，惟如在圖2E中展示，經定向實質上平行於熱傳遞板215e之芯240e之部分延伸以覆蓋小於圖2A中展示之芯240a之對應間隔件235e之一端之橫截面面積之一部分除外。例如，經定向實質上平行於熱傳遞板215e之芯240e之部分可延伸以覆蓋間隔件235e之一端之橫截面面積之5%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215e之芯之部分可延伸以覆蓋間隔件235e之一端之橫截面面積之小於5%、小於10%或小於20%。在一些實施方案中，圖2E中展示之芯可經構形於一展開間隔件(諸如圖2C之間隔件235c)內。在一些實施方案中，圖2E中展示之芯240e可經構形以實質上延伸至冷凝管230e中，如藉由圖2B中之芯240b展示。在一些實施方案中，圖2E之芯240e可經構形於一展開間隔件(諸如圖2D中之間隔件235d)中且可經進一步構形以延伸穿過展開間隔件實質上至對應冷凝管230e中，諸如圖2D中展示之芯240d。

如在圖2F中展示，關於圖2A描述之所有元件保持相同，惟如在圖2F中展示，芯240f之一部分延伸以覆蓋其對應間隔件235f之一端且進一步在超越對應間隔件235f之一邊緣之一方向上延伸除外。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215f之芯240f之部分可延伸超越對應間隔件235f之一邊緣達對應間隔件之寬度或直徑之約0至10%。例如，經定向實質上平行於熱傳遞板215f之芯240f之部分可延伸超越對應間隔件235f之一邊緣達對應間隔件235f之寬度或直徑之約小於5%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215f之芯240f之部分可延伸超越對應間隔件235f之一邊緣達對應間隔件之寬度或直徑之約15至50%。例如，經定向實質上平行於熱傳遞板215f之芯240f之部分可延伸超越對應間隔件235f之一邊緣達對應間隔件235f之寬度或直徑之約45%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215f之芯240f之部分可延伸超越對應間隔件235f之一邊緣達對應間隔件之寬度或直徑之約60至90%。例如，經定向實質上平行於熱傳遞板215f之芯240f之部分可延伸超越對應間隔件235f之一邊緣達對應間隔件235f之寬度或直徑之約85%。在一些實施方案中，圖2F中展示之芯可經構形於一展開間隔件(諸如圖2C之間隔件235c)內。在一些實施方案中，圖2F中展示之芯240f可經構形以實質上延伸至冷凝管230f中，如藉由圖2B中之芯240b展示。在一些實施方案中，圖2F之芯240f可經構形於一展開間隔件(諸如圖2D中之間隔件235d)中且可經進一步構形以延伸穿過展開間隔件實質上至對應冷凝管230f中，諸如圖2D中展示之芯240d。

如在圖2G中展示，芯240g類似於圖2A中描述之芯240a定位，然而，圖2G中展示之冷卻系統105排除一間隔件，諸如圖2A中展示之間隔件235a。圖2G中展示之芯240g經構形定位使得一個端接觸熱傳遞板215g且相對端延伸至一對應冷凝管230g之一近端中達對應冷凝管之長度或高度之0至10%之間的一距離(例如，小於對應冷凝管230g之長度或高度之5%)。在一些實施方案中，芯240g可延伸至冷凝管230g之近端中達對應冷凝管之長度或高度之10至50%之間的一距離(例如，對應冷凝管之長度之40%)。在一些實施方案中，芯240g可延伸至冷凝管230g之近端中達對應冷凝管之長度或高度之50至100%之間的一距離(例如，對應冷凝管之長度之80%)。在一些實施方案中，芯240g包含一金屬網芯。例如，芯140可包含一銅網芯。在一些實施方案中，芯240g包含一多層金屬網，諸如一多層銅網芯。

在一些實施方案中，接觸熱傳遞板215g之網芯240g之部分可延伸以覆蓋冷凝管230g之橫截面面積之一小部分。例如，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯240g之部分可延伸以覆蓋小於冷凝管230g之橫截面面積之5%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯之部分可延伸以覆蓋冷凝管230g之橫截面面積之10至40%，例如，冷凝管230g之橫截面面積之25%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯之部分可延伸以覆蓋冷凝管230g之橫截面面積之40至90%，例如，冷凝管230g之橫截面面積之75%。

在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯240g之部分延伸以覆蓋其對應冷凝管230g之一端且進一步在超越對應冷凝管230g之一邊緣之一方向上延伸。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯240g之部分可延伸超越對應冷凝管230g之一邊緣達對應冷凝管之寬度或直徑之約0至10%。例如，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯240g之部分可延伸超越對應冷凝管230g之一邊緣達小於對應冷凝管230g之寬度或直徑之約5%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯240g之部分可延伸超越對應冷凝管230g之一邊緣達對應冷凝管之寬度或直徑之約15至50%。例如，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯240g之部分可延伸超越對應冷凝管230g之一邊緣達對應冷凝管230g之寬度或直徑之約45%。在一些實施方案中，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯240g之部分可延伸超越對應冷凝管230g之一邊緣達對應冷凝管之寬度或直徑之約60至90%。例如，經定向實質上平行於熱傳遞板215g之芯240g之部分可延伸超越對應冷凝管230g之一邊緣達對應冷凝管230g之寬度或直徑之約85%。

圖3係繪示一電子電路封裝冷卻系統105中之冷凝管130之一例示性配置300之圖1中展示之例示性冷卻系統105之一俯視圖。配置300包含複數個冷凝管130，其等圍繞冷卻系統105之腔室或密封殼體之上表面305之周邊定位。在一些實施方案中，冷卻管130之定位可相對於冷卻系統105所附接至之ECP之一熱圖或熱產生輪廓而判定。例如，在一些實施方案中，若ECP朝向ECP中心產生更多熱，則複數個冷凝管105可朝向冷卻系統105之腔室中心定位。在其他實施方案中，冷凝管130可經定位於冷卻系統105之腔室之邊角中或相對側上。

圖4係繪示圖1中展示之一電子電路封裝冷卻系統105中之帶溝槽冷凝管之一例示性配置400之電子電路封裝冷卻系統之一圖。如在圖4中展示，冷卻系統105包含與圖1中展示之冷卻系統105相同之元件，惟各冷凝管130之內表面包含複數個溝槽405除外。當冷凝管130經定位於冷卻系統105之腔室頂部上時，複數個溝槽405垂直定向於冷凝管130內，如在圖4中展示。在其中冷凝管定位於冷卻系統105之腔室之側上之構形中(未展示)，複數個溝槽405可經定向使得溝槽平行於冷凝管130之長度。在冷凝管130之內壁中之溝槽405可提供經冷凝液體冷卻劑之一毛細管效應且可充當供經冷凝液體冷卻劑流返回至蒸發區120之通道，藉此減小冷凝管壁之內表面上之冷凝流體阻力。藉由協助液體冷卻劑返回至蒸發區120，冷卻系統105之熱傳遞性能可增強，此係由於該系統能夠使液體冷卻劑自蒸發區更快速循環至冷凝區且再次返回至蒸發區。

各種溝槽構形可應用至冷凝管130之內表面。在一些實施方案中，溝槽之溝槽形狀或橫截面輪廓可為一矩形形狀、一正方形形狀、一圓形形狀及/或「v」形狀。在一些實施方案中，溝槽形狀、深度及/或間距構形之一混合可用於冷卻系統105之一或多個冷凝管130內。在一些實施方案中，各溝槽之深度可在0.05 mm至1 mm之間。在一些實施方案中，各溝槽之間的間距可在0.05 mm至1 mm之間。

圖5A及圖5B係適用於併入圖1中展示之一電子電路封裝冷卻系統105中之鰭片之例示性構形500a及500b之圖。如在圖5A中展示，構形500a包含一熱傳遞板，諸如圖1中展示之熱傳遞板115。熱傳遞板115包含複數個鰭片505。熱傳遞板115亦包含一或多個經塗佈鰭片510。概括言之，複數個鰭片505為經構形以進一步增強冷卻系統105之熱傳遞性能之冷卻系統105之特徵部。如關於圖1描述，熱傳遞板115經耦合至一ECP，使得熱傳遞板115形成冷卻系統腔室之蒸發區之底板或下部分。如在圖5A中展示，熱傳遞板115經構形具有在冷卻系統105之密封殼體或腔室內延伸遠離熱傳遞板115之複數個鰭片505。鰭片505可經構形於熱傳遞板115上，使得複數個鰭片均勻配置，使得各鰭片505具有與其他鰭片相同之高度、厚度、間隙間距及定向。

如在圖5A中進一步展示，熱傳遞板115包含一經塗佈鰭片510。鰭片505之均勻配置可包含一或多個經塗佈鰭片510。塗層可包含一蒸發表面塗層，諸如燒結至鰭片510之表面上之一銅粉。在一些實施方案中，塗層厚度可為在約.01與約1 mm之間的一厚度。在一些實施方案中，銅粉塗層之粒子大小可為在約.01與約.2 mm之間的一粒子大小。在一些實施方案中，經塗佈鰭片510可包含其他表面增強來進一步協助熱傳遞性能，諸如一金屬網或表面粗糙度來增大鰭片之表面積。

如在圖5B中展示，構形500b包含一熱傳遞板，諸如圖1之熱傳遞板115。熱傳遞板115包含複數個鰭片515。熱傳遞板亦包含一或多個經塗佈鰭片520。如關於圖5A描述，定位於熱傳遞板115上之複數個鰭片之配置及功能可增強冷卻系統105之熱傳遞性能。複數個鰭片515包含具有一不規則形狀之鰭片。例如，如在圖5B中展示，構形500b包含複數個不規則形狀鰭片515，其等各具有三個脊部及兩個脊部之間的一谷。鰭片515可經構形於熱傳遞板115上，使得複數個不規則形狀鰭片515具有不同高度、厚度、間隙間距及/或定向。在一些實施方案中，鰭片515之不規則配置可基於熱傳遞板115所附接至之ECP之熱圖或熱產生輪廓構形。

如在圖5B中進一步展示，熱傳遞板115包含具有一不規則配置之一經塗佈鰭片520。例如，鰭片515之不規則配置可包含一或多個經塗佈鰭片520。塗層可包含一蒸發表面塗層，諸如燒結至鰭片520之表面上之一銅粉。在一些實施方案中，塗層厚度可為在約.01與約1 mm之間的一厚度。在一些實施方案中，銅粉塗層之粒子大小可為在約.01與約.2 mm之間的一粒子大小。經塗佈鰭片520之不規則配置可基於熱傳遞板115所附接至之ECP之熱圖或熱產生輪廓構形，使得熱傳遞板115包含在產生最多熱之ECP之區正上方之一更大密度鰭片或更大鰭片表面積。例如，熱傳遞板115所耦合至之ECP之熱產生輪廓可包含三個不同區，其等產生高熱且因此需要更大熱傳遞來維持ECP組件之恰當操作條件。因此，熱傳遞板115可經構形使得複數個不規則形狀鰭片515經配置在三個最高熱產生區正上方具有更大鰭片高度、厚度及/或密度。如在圖5B中展示，各不規則形狀鰭片515之三個脊部可對應於ECP之三個最高熱產生區，而各不規則形狀鰭片515之兩個谷可對應於ECP之較低熱產生區。在一些實施方案中，經塗佈鰭片520可包含其他表面增強來進一步協助熱傳遞性能，諸如一金屬網或表面粗糙度來增大鰭片之表面積。

圖6係一電子電路封裝冷卻系統(諸如圖1中展示之冷卻系統105)之蒸發區內之一例示性塗層構形600之一圖。如在圖6中展示，冷卻系統105包含一塗層605。塗層605包含於形成蒸發區120之腔室之內壁之各者之表面上。塗層605可為一蒸發表面塗層，諸如燒結至形成蒸發區120之腔室之內壁表面上之一銅粉。塗層605可藉由改良熱傳遞板115及形成塗覆塗層605之蒸發區120之腔室的內壁表面之蒸發效率而增強冷卻系統105之熱傳遞性能。塗層可包含一蒸發表面塗層，諸如燒結至形成蒸發區120之腔室之壁之內表面上之一銅粉。在一些實施方案中，塗層厚度可為在約.01與約1 mm之間的一厚度。在一些實施方案中，銅粉塗層之粒子大小可為在約.01與約.2 mm之間的一粒子大小。在一些實施方案中，形成蒸發區120之腔室之壁之內表面可包含其他表面增強，諸如一金屬網或表面粗糙度來增大壁表面之表面積且進一步增強蒸發區120之熱傳遞性能。

圖7亦係圖1中展示之一電子電路封裝冷卻系統105之蒸發區內之一例示性塗層構形700之一圖。如在圖7中展示，冷卻系統105包含塗覆至熱傳遞板115之表面之一塗層705且亦包含塗覆至形成蒸發區120之腔室之上部分之一塗層710。塗層705經包含於熱傳遞板115之表面上且自蒸發區120之一個側至蒸發區120之另一側覆蓋熱傳遞板115。塗層710包含於形成蒸發區120之腔室之上部分之內表面壁上。塗層705及/或710可為一蒸發表面塗層，諸如燒結至形成蒸發區120之腔室之內壁表面上之一銅粉。塗層705及/或710可藉由改良自熱傳遞板115吸收熱且改良形成蒸發區120之腔室之上部分之蒸發功能而增強冷卻系統105之熱傳遞性能。塗層705及/或710可包含一蒸發表面塗層，諸如燒結至形成蒸發區120之腔室之壁之內表面上之一銅粉。在一些實施方案中，塗層705及/或710之厚度可為在約.01與約1 mm之間的一厚度。在一些實施方案中，塗層粒子大小可為在約.01與約.2 mm之間的一粒子大小。在一些實施方案中，形成蒸發區120之腔室之壁之內表面可包含其他表面增強，諸如一金屬網或表面粗糙度來增大壁表面之表面積且進一步增強蒸發區120之熱傳遞性能。

圖8係一電子電路封裝冷卻系統(諸如圖1中展示之冷卻系統105)之冷凝區內之一例示性塗層構形800之一圖。如在圖8中展示，冷卻系統105包含一塗層805。塗層805包含於冷凝管130之內表面上。塗層805可為一疏水表面塗層，其用來降低冷凝管130之壁之內表面上冷凝之液體冷卻劑之表面摩擦。藉由降低表面摩擦，塗層805可促進經冷凝液體冷卻劑移回至冷卻系統105之蒸發區中。例如，塗層805可為一表面塗層，諸如一經燒結銅粉。經燒結銅粉可包含在0.01 mm與0.5 mm之間的粉末粒子大小。經燒結銅粉可燒結於冷凝管130之內表面上以形成具有在0.01 mm與2.0 mm之間的一厚度之一表面塗層。在一些實施方案中，冷凝管130可包含一塗層805及複數個溝槽(諸如圖4中展示之溝槽405)兩者。例如，在複數個溝槽已形成於冷凝管130之內壁表面上之後，塗層805可經塗覆至冷凝管壁之內表面。

雖然本說明書含有許多特定實施方案細節，但此等不應被解譯為對任何發明或者可主張內容之範疇之限制，而應當解譯為特定於特定發明之特定實施方案之特徵之描述。亦可在一單一實施方案中組合地實施本說明書中在單獨實施方案之背景下所描述之某些特徵。相反地，在單個實施方案之背景下描述之不同特徵亦可單獨或以任意適當子組合在多個實施方案中實施。再者，儘管上文可將特徵描述為以特定組合起作用且即使最初如此主張，但在一些情況中，來自所主張組合之一或多個特徵可自組合中去除，且所主張組合可關於一子組合或一子組合之變動。

類似地，雖然在圖式中以一特定順序描繪操作，但此不應理解為要求以所展示之特定順序或循序順序執行此等操作，或執行所有繪示之操作以達成所要結果。在特定境況中，多任務處理及並行處理可為有利的。再者，在上文中描述之實施方案中之各種系統組件之分離不應理解為在所有實施方案中皆需要此分離，且應理解為所描述之程式組件及系統通常可一起整合於一單一軟體產品中或封裝至多個軟體產品中。

對「或」之參考可被解譯為包含性的使得使用「或」之任何術語可指示所描述之術語之一單一、一個以上及所有之任一者。標記「第一」、「第二」、「第三」等等不必意在指示一順序且一般僅用於區分相同或類似物品或元件。

熟習此項技術者可容易地明白對於在本發明中描述之實施方案之各種修改，且在不背離本發明之精神或範疇之情況下，在本文中定義之通用原理亦可應用於其他實施方案。因此，發明申請專利範圍並不旨在限於在本文中展示之實施方案，而應符合與本文中揭示之本發明、原理則及新穎特徵一致之最廣泛範疇。

105‧‧‧冷卻系統110‧‧‧電子電路封裝(ECP)115‧‧‧熱傳遞板120‧‧‧蒸發區125‧‧‧冷凝區130‧‧‧冷凝管135‧‧‧間隔件140‧‧‧芯215a-215g‧‧‧熱傳遞板230a-230g‧‧‧冷凝管235a-235f‧‧‧間隔件240a-240g‧‧‧芯300‧‧‧配置305‧‧‧上表面400‧‧‧配置405‧‧‧溝槽500a‧‧‧構形500b‧‧‧構形505‧‧‧鰭片510‧‧‧經塗佈鰭片515‧‧‧不規則形狀鰭片520‧‧‧經塗佈鰭片600‧‧‧塗層構形605‧‧‧塗層700‧‧‧塗層構形705‧‧‧塗層710‧‧‧塗層800‧‧‧塗層構形805‧‧‧塗層

當結合下圖時，藉由參考以下實施方式將更充分理解本發明之上述及相關目的、特徵及優勢，其中：

圖1係一例示性電子電路封裝冷卻系統之一圖。

圖2A至圖2G描述根據一些實施方案之適用於一電子電路封裝冷卻系統中之間隔件及芯之多個例示性構形。

圖3係根據一些實施方案繪示一電子電路封裝冷卻系統中之冷凝管之一例示性配置之例示性電子電路封裝冷卻系統之一俯視圖。

圖4係根據一些實施方案繪示一電子電路封裝冷卻系統中之帶溝槽冷凝管之一例示性配置之電子電路封裝冷卻系統之一圖。

圖5A及圖5B係根據一些實施方案之適用於併入一電子電路封裝冷卻系統中之鰭片之例示性構形之圖。

圖6及圖7係根據一些實施方案之一電子電路封裝冷卻系統之蒸發區內之例示性塗層構形之圖。

圖8係根據一些實施方案之一電子電路封裝冷卻系統之冷凝區內之一例示性塗層構形之一圖。

105‧‧‧冷卻系統

110‧‧‧電子電路封裝(ECP)

115‧‧‧熱傳遞板

120‧‧‧蒸發區

125‧‧‧冷凝區

130‧‧‧冷凝管

135‧‧‧間隔件

140‧‧‧芯

Claims (22)

1. 一種用於一電子電路封裝之冷卻系統，其包括：一熱傳遞板，其經定位與一電子電路封裝表面熱接觸，其中該熱傳遞板形成該冷卻系統之一蒸發區之一底部表面；複數個冷凝管，其等與該蒸發區流體連通且延伸遠離該蒸發區，使得該蒸發區及該等冷凝管一起形成一單一、連續、密封殼體；一流體，其經安置於該密封殼體內；複數個間隔件，其等實質上充填該熱傳遞板與各自冷凝管之間的間隙，其中該等間隔件之各者經構形為一獨立組件以容許流體通過各間隔件之一內部空間；及複數個芯，各芯部分地定位於一對應冷凝管所流體耦合至之一對應間隔件內。
2. 如請求項1之冷卻系統，其中各芯之至少一部分接觸該熱傳遞板。
3. 如請求項2之冷卻系統，其中接觸該熱傳遞板之各芯之該部分經定向實質上平行於該熱傳遞板。
4. 如請求項2之冷卻系統，其中接觸該熱傳遞板之各芯之該部分覆蓋一對應間隔件之一端之一橫截面面積之小於四分之三。
5. 如請求項2之冷卻系統，其中接觸該熱傳遞板之各芯之該部分實質上 覆蓋其對應間隔件之一端且在平行於該熱傳遞板之一方向上延伸超越該對應間隔件之一邊緣。
6. 如請求項1之冷卻系統，其中各芯包括一金屬網。
7. 如請求項1之冷卻系統，其中各間隔件至少部分延伸至一對應冷凝管中。
8. 如請求項1之冷卻系統，其中各冷凝管之一內表面界定複數個溝槽。
9. 如請求項1之冷卻系統，其中該熱傳遞板包括複數個鰭片，其等在該密封殼體內延伸遠離該熱傳遞板。
10. 如請求項9之冷卻系統，其中該複數個鰭片以一不規則方式配置。
11. 如請求項10之冷卻系統，其中該複數個鰭片基於跨與該熱傳遞板熱接觸之該電子電路封裝表面之熱產生之一變化配置。
12. 如請求項1之冷卻系統，其中該密封殼體之至少一部分使用一銅粉塗佈。
13. 如請求項12之冷卻系統，其中該銅粉具有約0.1mm之一粒子大小。
14. 如請求項12之冷卻系統，其中該銅粉形成具有約0.3mm之一厚度之一塗層。
15. 如請求項14之冷卻系統，其中該銅粉塗層塗佈在該密封殼體內延伸遠離該熱傳遞板之複數個鰭片。
16. 如請求項14之冷卻系統，其中該銅粉塗層塗佈該熱傳遞板及在該密封殼體內與該熱傳遞板相對之該蒸發區之一表面之至少一者。
17. 如請求項12之冷卻系統，其中該等冷凝管之內部不含該銅粉塗層。
18. 如請求項1之冷卻系統，其中各間隔件之一直徑靠近該熱傳遞板向外展開。
19. 如請求項1之冷卻系統，其中各間隔件之一部分比該間隔件之一剩餘部分更靠近該熱傳遞板延伸。
20. 如請求項1之冷卻系統，其中該等冷凝管圍繞該密封殼體之一周邊定位。
21. 一種用於一電子電路封裝之冷卻系統，其包括：一熱傳遞板，其經定位與一電子電路封裝表面熱接觸，其中該熱傳遞板形成該冷卻系統之一蒸發區之一底部表面； 複數個冷凝管，其等與該蒸發區流體連通且延伸遠離該蒸發區，使得該蒸發區及該等冷凝管一起形成一單一、連續、密封殼體，其中該複數個冷凝管之各者包含複數個溝槽；一流體，其經安置於該密封殼體內；及複數個芯，各芯經定位使得一個端接觸該熱傳遞板且一相對端延伸至一對應冷凝管之一近端中達小於該對應冷凝管之長度之5%之一距離。
22. 如請求項21之冷卻系統，其中各芯包括一多層銅網。

Images