TWI674225B - 具有奈米膜的防水透氣組件及具有此防水透氣組件的基板卡匣與桿體結構 - Google Patents
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Abstract
一種防水透氣組件,包括座體、蓋體以及奈米膜。蓋體結合固定於座體;奈米膜夾設於座體與蓋體之間,並具有多個僅能允許氣體分子通過之奈米尺度的孔隙連通奈米膜兩側外部,且奈米膜之兩側皆有至少部分表面未被座體及蓋體遮蔽。此外,具有此防水透氣組件的基板卡匣及具有此防水透氣組件的桿體結構亦被提及。
Description
本發明是有關於一種防水組件及具有其之裝置,且特別是有關於一種防水透氣組件及具有其之基板卡匣及桿體結構。
隨著液晶面板不斷的發展,由HD、FULL HD、4K到8K,代表其解析度不斷提高。例如8K UHDTV(4320p)的寬高為7680×4320,總像素數已經是FULL HD的16倍。在產品畫面越做越精細的同時,相關製程上各種細節也必須有更高的要求,如果生產過程中不慎有些微粉塵掉落在液晶面板上就會造成缺陷與不良。
目前,一般面板廠都是以基板卡匣來儲存、傳送、保護液晶面板製程中所使用的玻璃基板,因此基板卡匣的品質高低直接影響最後液晶面板產品的良率。由於製程要求不斷提高,對於
汙染的防治、粉塵的要求也越趨嚴苛,相對的基板卡匣的潔淨度也需要提高。故面板廠為使基板卡匣保持潔淨,整體環境雖然在無塵室內,但無塵室中還是會有微量粉塵,經年累月堆積在基板卡匣內的粉塵量也很可觀,所以基板卡匣需要定期進行清洗,然後再予以烘乾。
但習知基板卡匣的桿體結構設計為了兼顧結構強度與輕量化的要求,大都是採用圓形或方形中空桿體。又為了避免清洗後有清潔劑或水份殘留在中空桿體內,以致於在製程中使用時造成污染,故通常都會將桿體末端封閉而形成密閉式結構。但這樣的結構在清洗與烘乾後,因所述密閉式結構內的空氣長期反覆熱漲冷縮且無法流通至桿體外,會導致桿體結構變形甚或破裂,使水氣經由封蓋與桿體間的縫隙滲入到桿體結構內,久而積水在桿體結構內部無法在烘乾過程中完全蒸發,最終溢出滴落在基板上方造成不良。或是清洗與烘乾後,封蓋因桿體結構的長期反覆熱漲冷縮而異常脫落掉在基板上造成損壞等。
本發明提供一種防水透氣組件、基板卡匣及桿體結構,可提升桿體結構的可靠度。
本發明的防水透氣組件包括一座體、一蓋體以及一奈米膜。蓋體結合固定於座體;奈米膜夾設於座體與蓋體之間,並具有多個僅能允許氣體分子通過之奈米尺度的孔隙連通奈米膜兩側
外部,且奈米膜之兩側皆有至少部分表面未被座體及蓋體遮蔽。
在本發明的一實施例中,其中上述的座體至少部分容納於蓋體內。
在本發明的一實施例中,上述的座體埋設於蓋體內。
在本發明的一實施例中,上述的座體具有一貫孔,奈米膜覆蓋貫孔。
在本發明的一實施例中,上述的蓋體具有一開槽,開槽的開口方向不同於貫孔的軸向。
在本發明的一實施例中,上述的開槽的開口方向垂直於貫孔的軸向。
在本發明的一實施例中,上述的奈米膜係以氟素塑料製成。
在本發明的一實施例中,上述的奈米膜之厚度係小於500奈米。
在本發明的一實施例中,上述的奈米膜之孔隙率(Porosity)係高於50%。
在本發明的一實施例中,上述的奈米膜之孔隙密度係為每平方公分1百萬個以上。
在本發明的一實施例中,上述的奈米膜之透氣度係大於2cc/sec(立方公分/秒)。
在本發明的一實施例中,上述的奈米膜之孔隙直徑係小於500奈米(nm)。
在本發明的一實施例中,上述的奈米膜之耐水壓係高於50毫米水柱(mmH2O)。
在本發明的一實施例中,上述的奈米膜之異物防護等級(Ingress Protection Rating)係為IP42或以上。
本發明的基板卡匣適於容納至少一基板。基板卡匣包括一框架。框架包括複數相互平行設於框架內之桿體,各桿體具有一桿狀部。至少一桿體包括所述防水透氣組件,含有防水透氣組件之桿體的桿狀部具有一與防水透氣組件對應之開孔。防水透氣組件藉由座體或蓋體而組裝於開孔。
本發明的桿體結構適於在一基板卡匣中組成一框架或支撐至少一基板。桿體結構包括一桿狀部及所述防水透氣組件,桿狀部具有一開孔。防水透氣組件藉由座體或蓋體而組裝於開孔。
在本發明的一實施例中,上述的桿狀部係以碳纖維強化高分子複合材料製成。
在本發明的一實施例中,上述的複數桿體包含至少一支撐桿,支撐桿適於支撐至少一基板。
在本發明的一實施例中,上述具有防水透氣組件之桿體的桿狀部係呈管狀,且開孔位於具有防水透氣組件之桿體的桿狀部的側面、桿狀部的頂面或桿狀部的末端且連通桿狀部的內部空間。
在本發明的一實施例中,上述的座體具有一貫孔,貫孔對位於開孔,奈米膜覆蓋貫孔。
在本發明的一實施例中,上述的座體連接於開孔並覆蓋開孔,蓋體覆蓋座體。
在本發明的一實施例中,上述的蓋體連接於開孔並覆蓋開孔,座體埋設於蓋體內。
在本發明的一實施例中,上述的蓋體具有一開槽,開槽的開口方向不同於開孔的軸向。
在本發明的一實施例中,上述的開槽的開口方向垂直於開孔的軸向。
在本發明的一實施例中,上述的開槽之開口的至少一側緣位置係低於開槽之軸線。
基於上述,本發明的基板卡匣利用防水透氣組件來覆蓋桿體結構之桿狀部的開孔,使清洗和烘乾的過程中,液態的水或清洗液被奈米膜阻擋於桿狀部外,並讓氣體能夠透過奈米膜流通於桿狀部內與桿狀部外。藉此,當基板卡匣在清洗後進行烘乾而使桿狀部內的空氣熱漲冷縮時,桿狀部不會因其內空氣的脹縮而產生變形,從而提升其可靠度,並延長其使用壽命。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂,下文特舉實施例,並配合所附圖式作詳細說明如下。
100、300‧‧‧基板卡匣
110、310‧‧‧框架
112‧‧‧上框
114‧‧‧下框
116、316‧‧‧側立柱
116a‧‧‧側支桿
118‧‧‧後立柱
120、220、320‧‧‧桿體/桿體結構
122、222‧‧‧桿狀部
122a、222a‧‧‧開孔
124、224‧‧‧防水透氣組件
124a、224a‧‧‧座體
124b、224b‧‧‧奈米膜
124c、224c‧‧‧蓋體
224c1‧‧‧塗膠凹部
224c2‧‧‧延伸部
311‧‧‧連桿
330‧‧‧線狀體
D1、D1’‧‧‧開口方向
D2、D2’‧‧‧軸向
E1‧‧‧卡榫結構
E2‧‧‧卡勾
F3‧‧‧卡合槽
G‧‧‧防水接著劑
H、H’‧‧‧貫孔
S、S’‧‧‧開槽
圖1是本發明一實施例的基板卡匣的立體圖。
圖2是圖1的具有防水透氣組件之桿體結構的立體圖。
圖3是圖2的桿體結構於區域A的局部放大圖。
圖4是圖2的桿狀部與防水透氣組件的分解圖。
圖5是圖3的桿體結構的局部剖視圖。
圖6是圖5的防水透氣組件的分解圖。
圖7是圖5的防水透氣組件的立體圖。
圖8是圖7的防水透氣組件的分解圖。
圖9是本發明另一實施例的具有防水透氣組件之桿體結構的立體圖。
圖10是圖9的桿體結構於區域A’的局部放大圖。
圖11是圖9的桿體與防水透氣組件的分解圖。
圖12是圖10的桿體結構的局部剖視圖。
圖13是圖12的防水透氣組件的分解圖。
圖14是本發明再一實施例的基板卡匣的立體圖。
圖1是本發明一實施例的基板卡匣的立體圖。請參考圖1,本實施例的基板卡匣100用以容納液晶面板製程中所使用的玻璃基板或其他種類的基板,以對所述基板進行儲存、傳送及保護。
基板卡匣100包括一框架110,框架110包括多個桿體120。框架110可至少由上框112、下框114、連接於上框112與下框114之間的多個側立柱116、及連接於上框112與下框114之
間的多個後立柱118而構成,這些桿體120分別連接於這些後立柱118而成為相互平行配置於框架110內的支撐桿,並用以支撐所述基板。此外,各側立柱116具有複數側支桿116a,用以輔助支撐所述基板的左右側邊。
圖2是圖1的具有防水透氣組件之桿體結構的立體圖。圖3是圖2的桿體結構於區域A的局部放大圖。圖4是圖2的桿狀部與防水透氣組件的分解圖。
請同時參考圖2至圖4。本實施例的基板卡匣100之各桿體120包括一桿狀部122,且其中至少有一桿體120還包括有一防水透氣組件124。桿狀部122可使用各種高強度的材料製成,例如兼具有高強度以及輕量化功效的碳纖維強化高分子複合材料(Carbon Fiber Reinforced Plastic,CFRP)。
桿狀部122呈管狀,且設有防水透氣組件124之桿體120的桿狀部122還具有一與防水透氣組件124對應之開孔122a。開孔122a位於桿狀部122的側面且連通桿狀部122的內部空間。防水透氣組件124組裝於開孔122a,以阻止水或其他液體進入桿狀部122的內部空間,並允許桿狀部122內、外之空氣相互流通。
圖5是圖3的桿體結構的局部剖視圖。圖6是圖5的防水透氣組件的分解圖。請參考圖5及圖6,詳細而言,防水透氣組件124包括一座體124a、一奈米膜124b及一蓋體124c。
座體124a連接於桿狀部122的開孔122a並覆蓋開孔122a,蓋體124c結合固定於座體124a上並覆蓋座體124a,而部
分座體124a則容納於蓋體124c內。亦即,防水透氣組件124藉由座體124a而組裝於開孔122a,且座體124a隱藏於蓋體124c內。
在本實施例中,防水透氣組件124的座體124a具有卡榫結構E1,並藉由卡榫結構E1而組裝於桿狀部122的開孔122a。然本發明不以此為限,在其他實施例中,座體124a可藉由其他適當組裝結構而組裝於桿狀部122的開孔122a。
圖7是圖5的防水透氣組件的立體圖。圖8是圖7的防水透氣組件的分解圖。請參考圖7及圖8,本實施例的蓋體124c具有卡勾E2,座體124a具有卡合槽E3,卡勾E2適於卡合於卡合槽E3以使蓋體124c與座體124a相結合。此外,蓋體124c內可塗佈防水接著劑G,使蓋體124c如圖5所示藉由防水接著劑G而膠合於桿狀部122。在其他實施例中,蓋體124c可藉由其他適當方式結合於座體124a及桿狀部122,本發明不對此加以限制。
請再參閱圖5及圖6,奈米膜124b夾設於座體124a與蓋體124c之間,奈米膜124b具有多個僅能允許氣體分子通過之奈米尺度的孔隙連通奈米膜124b兩側外部,且奈米膜124b之兩側皆有至少部分表面未被座體124a及蓋體124c遮蔽。
由於奈米膜124b具有多個僅能允許氣體分子通過之奈米尺度的孔隙連通奈米膜124b兩側外部,而比氣體分子大上許多的液體分子則無法通過該些奈米孔隙,故能達到防水透氣的效果。因此,所述奈米膜亦可稱為防水透氣膜。
奈米膜124b可以採用氟素塑料製成,例如四氟乙烯樹脂
(PTFE)、四氟乙烯-全氟烷基乙烯醚共聚物(PFA)、乙烯四氟乙烯聚合物(ETFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)等。採用氟素塑料可以讓奈米膜124b具有耐磨性、光滑性、疏水性,以避免灰塵、雜質、水等異物附著於奈米膜124b表面而堵塞其孔隙。
奈米膜124b較佳之厚度為小於500奈米,以避免其過厚而導致透氣性不佳。而奈米膜124b較佳之孔隙密度則為每平方公分1百萬個以上;或是其孔隙率(Porosity)要高於50%;又或是奈米膜124b之透氣度最好能大於2cc/sec,也就是每秒可通過2立方公分以上的氣體。
這些特性均可提高奈米膜124b在單位時間內通過的氣體流量,以避免桿體120在被烘烤的過程中來不及將內部多餘的氣體排出致使結構破裂的情況發生。
此外,奈米膜124b之孔隙直徑最好是小於500奈米,使所述孔隙直徑比液態水分子與多數的異物粒子小。具體而言,奈米膜124b之異物防護等級(Ingress Protection Rating)最好能達到IP42或以上,以有效阻絕液態水分子與灰塵。
蓋體124c具有一開槽S,座體124a具有一貫孔H,貫孔H對位於桿狀部122的開孔122a,奈米膜124b覆蓋座體124a的貫孔H,也就是奈米膜124b之兩側與貫孔H對應的部分之表面未被座體124a及蓋體124c遮蔽,因此使空氣能夠經由開孔122a、貫孔H、奈米膜124b及開槽S而從桿狀部122內流至桿狀部122外,或從桿狀部122外反向流入桿狀部122內。
開槽S的開口方向D1(標示於圖5)不同於桿狀部122的開孔122a的軸向D2(標示於圖5)。並且,開槽S之開口的至少一側緣位置係低於開槽S之軸線(即重合於圖5所示軸向D2的軸線)。
在本實施例中,是以開孔122a是位於桿狀部122的側面的情況下,開槽S的開口方向D1垂直於開孔122a的軸向D2,且開槽S的開口方向D1是朝向下方來作為範例的。如此可減少清洗液/水或異物直接侵入防水透氣組件124內部情況發生。而即使有清洗液或水沖入也能很容易地再經由開槽S流出,避免開槽S內部於清洗後積水。
另外,奈米膜124b之耐水壓最好可高於50毫米水柱(mmH2O),以使其在清洗過程中即使遭到清洗液或液態水的衝擊時也不致因為抗壓能力不足而破裂。
除了將開孔122a及防水透氣組件124設置於桿狀部122的側面外,開孔122a及防水透氣組件124亦可位於桿狀部122的頂面,在此情況下,防水透氣組件124還可同時作為支撐所述基板的支撐墊,且開槽S不位於所述支撐墊的頂部而不致被所述基板封閉。
在上述配置方式之下,基板卡匣100利用防水透氣組件124來覆蓋桿狀部122的開孔122a,使清洗過程中的水被奈米膜124b阻擋於桿狀部122外,並讓空氣能夠透過奈米膜124b流通於桿狀部122內與桿狀部122外。藉此,當基板卡匣100在清洗後進行烘乾而使桿狀部122內的空氣熱漲冷縮時,桿狀部122不會
因其內空氣的脹縮而產生變形甚至破裂,從而提升其可靠度,同時也延長了使用壽命。
而除了桿狀部122的側面或頂面之外,防水透氣組件還可設置於桿體的末端。以下藉由另一實施例對此加以說明。
圖9是本發明另一實施例的具有防水透氣組件之桿體結構的立體圖。圖10是圖9的桿體結構於區域A’的局部放大圖。圖11是圖9的桿體與防水透氣組件的分解圖。
請參考圖9至圖11,本實施例的桿體結構220包括一桿狀部222及一防水透氣組件224,桿狀部222是管狀中空桿體且具有一開孔222a,開孔222a位於桿狀部222的末端且連通桿狀部222的內部空間。防水透氣組件224組裝於開孔222a,以阻止水或其他液體進入桿狀部222的內部空間,並允許空氣流通於桿狀部222內及桿狀部222外。
圖12是圖10的桿體結構的局部剖視圖。圖13是圖12的防水透氣組件的分解圖。請參考圖12及圖13,防水透氣組件224包括一座體224a、一奈米膜224b及一蓋體224c。
奈米膜224b夾設於座體224a與蓋體224c之間,座體224a可採取以埋入射出的方式埋設於蓋體224c,而被蓋體224c容納及覆蓋,蓋體224c連接於桿狀部222的開孔222a並覆蓋開孔222a。亦即,防水透氣組件224藉由蓋體224c而組裝於開孔222a,且座體224a隱藏於蓋體224c內。
詳細而言,本實施例中之蓋體224c具有一延伸部224c2,
延伸部224c2延伸至座體224a的後端,而將奈米膜224b夾設於蓋體224c的延伸部224c2與座體224a的後端之間。在其他實施例中,座體224a與蓋體224c可藉由其他方式將奈米膜224b夾設於其之間,本發明不對此加以限制。
在上述配置方式之下,防水透氣組件224覆蓋桿狀部222的開孔222a,使清洗過程中的水被奈米膜224b阻擋於桿狀部222外,並讓空氣能夠透過奈米膜224b流通於桿狀部222內與桿狀部222外。藉此,當基板卡匣200在清洗後進行烘乾而使桿狀部222內的空氣熱漲冷縮時,桿狀部222不會因其內空氣的脹縮而產生變形,從而提升其可靠度。
請參考圖12及圖13,蓋體224c具有一開槽S’,座體224a具有一貫孔H’,貫孔H’對位於桿狀部222的開孔222a,奈米膜224b覆蓋座體224a的貫孔H’,使空氣能夠透過開槽S’、奈米膜224b、貫孔H’及開孔222a而從桿狀部222外流至桿狀部222內,或從桿狀部222內流至桿狀部222外。
在本實施例中,蓋體224c的開槽S’的開口方向D1’(標示於圖5)垂直於桿狀部222的開孔222a的軸向D2’(標示於圖12)。藉此,開槽S’是朝向下方,如此可避免開槽S’內部於桿狀部222進行清洗後積水。
在本實施例中,防水透氣組件224的蓋體224c具有多個塗膠凹部224c1,可在塗膠凹部224c1塗佈防水接著劑後將蓋體224c黏合至桿狀部222的開孔222a。然本發明不以此為限,在其
他實施例中,蓋體224c可藉由其他適當組裝結構而組裝於桿狀部222的開孔222a。
至於本實施例中所使用的奈米膜224b的材質與特性,由於其要求與功效與前一實施例中所採用的奈米膜124b完全相同,因此便不再重複贅述。
圖14是本發明再一實施例的基板卡匣的立體圖。在本實施例中,基板卡匣300是藉由連接於框架310中之側立柱316間的線狀體330來支撐基板而不具有支撐桿,故桿體結構320並非應用作支撐桿,而是用於構成框架310之任意桿體,如連桿或立柱。本實施例是以應用於連桿311來作為範例,其可設有相同或相似於前述第一實施例中之防水透氣組件124。
由於本實施例中之桿體結構320雖然與第一實施例中之桿體120位置與功用不同,但其藉由防水透氣組件124來阻擋外界液體或異物進入,並在被烘烤的過程中將因受熱膨脹而多餘的氣體排出的作用機制皆與第一實施例中所示範者相同,因此就不再重複贅述。
綜上所述,本發明的基板卡匣利用防水透氣組件來覆蓋桿體結構之桿狀部的開孔,使清洗過程中的水被奈米膜阻擋於桿狀部外,並讓空氣能夠透過奈米膜流通於桿狀部內與桿狀部外。藉此,當基板卡匣在清洗後進行烘乾而使桿狀部內的空氣熱漲冷縮時,桿狀部不會因其內空氣的脹縮而產生變形,從而提升其可靠度,並可延長其使用壽命。
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明的精神和範圍內,當可作些許的更動與潤飾,故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
Claims (35)
- 一種防水透氣組件,包括:一座體;一蓋體,其係結合固定於該座體;以及一奈米膜,夾設於該座體與該蓋體之間,該奈米膜具有多個僅能允許氣體分子通過之奈米尺度的孔隙連通該奈米膜兩側外部,且該奈米膜之兩側皆有至少部分表面未被該座體及該蓋體遮蔽。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該座體至少部分容納於該蓋體內。
- 如申請專利範圍第2項所述的防水透氣組件,其中該座體埋設於該蓋體內。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該座體具有一貫孔,該奈米膜覆蓋該貫孔。
- 如申請專利範圍第4項所述的防水透氣組件,其中該蓋體具有一開槽,該開槽的開口方向不同於該貫孔的軸向。
- 如申請專利範圍第5項所述的防水透氣組件,其中該開槽的開口方向垂直於該貫孔的軸向。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該奈米膜係以氟素塑料製成。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該奈米膜之厚度係小於500奈米。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該奈米膜之孔隙率係高於50%。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該奈米膜之孔隙密度係為每平方公分1百萬個以上。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該奈米膜之透氣度係大於2cc/sec(立方公分/秒)。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該奈米膜之孔隙直徑係小於500奈米。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該奈米膜之耐水壓係高於50毫米水柱。
- 如申請專利範圍第1項所述的防水透氣組件,其中該奈米膜之異物防護等級係為IP42或以上。
- 一種基板卡匣,適於容納至少一基板,該基板卡匣包括:一框架,包括複數相互平行設於該框架內之桿體,各該桿體具有一桿狀部,且其中至少一該桿體包括一如申請專利範圍第1~14中任一項所述的防水透氣組件,且含有該防水透氣組件之該桿體的該桿狀部具有一與該防水透氣組件對應之開孔,該防水透氣組件藉由該座體或該蓋體而組裝於該開孔。
- 如申請專利範圍第15項所述的基板卡匣,其中該桿狀部係以碳纖維強化高分子複合材料(Carbon Fiber Reinforced Plastic,CFRP)製成。
- 如申請專利範圍第15項所述的基板卡匣,其中該複數桿體包含至少一支撐桿,該支撐桿適於支撐該至少一基板。
- 如申請專利範圍第15項所述的基板卡匣,其中具有該防水透氣組件之該桿體的該桿狀部係呈管狀,且該開孔位於具有該防水透氣組件之該桿體的該桿狀部的側面、該桿狀部的頂面或該桿狀部的末端且連通該桿狀部的內部空間。
- 如申請專利範圍第15項所述的基板卡匣,其中該座體具有一貫孔,該貫孔對位於該開孔,該奈米膜覆蓋該貫孔。
- 如申請專利範圍第15項所述的基板卡匣,其中該座體連接於該開孔並覆蓋該開孔,該蓋體覆蓋該座體。
- 如申請專利範圍第15項所述的基板卡匣,其中該蓋體連接於該開孔並覆蓋該開孔,該座體埋設於該蓋體內。
- 如申請專利範圍第15項所述的基板卡匣,其中該蓋體具有一開槽,該開槽的開口方向不同於該開孔的軸向。
- 如申請專利範圍第22項所述的基板卡匣,其中該開槽之該開口的至少一側緣位置係低於該開槽之軸線。
- 如申請專利範圍第22項所述的基板卡匣,其中該開槽的開口方向垂直於該開孔的軸向。
- 如申請專利範圍第24項所述的基板卡匣,其中該開槽之該開口的至少一側緣位置係低於該開槽之軸線。
- 一種桿體結構,適於在一基板卡匣中組成一框架或支撐至少一基板,該桿體結構包括: 一桿狀部,具有一開孔;以及一如申請專利範圍第1~14中任一項所述的防水透氣組件,其中該防水透氣組件藉由該座體或該蓋體而組裝於該開孔。
- 如申請專利範圍第26項所述的桿體結構,其中該桿狀部係以碳纖維強化高分子複合材料製成。
- 如申請專利範圍第26項所述的桿體結構,其中該桿狀部係呈管狀,該開孔位於該桿狀部的側面或該桿狀部的末端且連通該桿狀部的內部空間。
- 如申請專利範圍第26項所述的桿體結構,其中該座體具有一貫孔,該貫孔對位於該開孔,該奈米膜覆蓋該貫孔。
- 如申請專利範圍第26項所述的桿體結構,其中該座體連接於該開孔並覆蓋該開孔,該蓋體覆蓋該座體。
- 如申請專利範圍第26項所述的桿體結構,其中該蓋體連接於該開孔並覆蓋該開孔,該座體埋設於該蓋體內。
- 如申請專利範圍第26項所述的桿體結構,其中該蓋體具有一開槽,該開槽的開口方向不同於該開孔的軸向。
- 如申請專利範圍第32項所述的桿體結構,其中該開槽之該開口的至少一側緣位置係低於該開槽之軸線。
- 如申請專利範圍第32項所述的桿體結構,其中該開槽的開口方向垂直於該開孔的軸向。
- 如申請專利範圍第34項所述的桿體結構,其中該開槽之該開口的至少一側緣位置係低於該開槽之軸線。
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| US20030107187A1 (en) * | 2000-12-07 | 2003-06-12 | Toshitsugu Yajima | Seal member, and substrate storage container using the same |
| TWM388593U (en) * | 2010-05-20 | 2010-09-11 | Walrus Pump Co Ltd | Connection tube device for pump pressure transmission apparatus |
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-
2018
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030107187A1 (en) * | 2000-12-07 | 2003-06-12 | Toshitsugu Yajima | Seal member, and substrate storage container using the same |
| TWM388593U (en) * | 2010-05-20 | 2010-09-11 | Walrus Pump Co Ltd | Connection tube device for pump pressure transmission apparatus |
| WO2017186388A1 (en) * | 2016-04-26 | 2017-11-02 | Logstor A/S | System, plug and method for sealing a hole in a sleeve positioned between insulated pipes |
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