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TWI662141B - 陰影遮罩伸張方法及裝置 - Google Patents

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TWI662141B
TWI662141B TW104113740A TW104113740A TWI662141B TW I662141 B TWI662141 B TW I662141B TW 104113740 A TW104113740 A TW 104113740A TW 104113740 A TW104113740 A TW 104113740A TW I662141 B TWI662141 B TW I662141B
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布萊恩Ａ 布希
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英屬維爾京群島商阿德文泰克全球有限公司
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Abstract

在一影罩拉伸系統和方法中，一具有第二組對準細構的物體係置放在具有一第一組定位細構之影罩的一面上，而使該物體和該影罩能互相獨立地移動，且該第一和第二組的對準細構係不呈最後的對準排列。張力嗣會被施加於該影罩來使該第一組對準細構與該第二組對準細構形成最後的對準排列。該影罩的對準細構可包含該影罩的至少一個沈積孔隙。

Description

陰影遮罩伸張方法及裝置 相關申請案
本案為2014年4月30日申請的No.14/265,773美國專利申請案之一部份後續申請案，而該案請求2013年5月1日申請之No.61/817,974美國臨時專利申請案的權益。此兩案的內容皆併此附送。
發明領域
本發明概有關於以添加式製造法所製成之薄膜電子裝置的領域。特別是，本發明係有關一種用於圖案化材料，譬如金屬、氧化物、及有機發光二極體(OLED)化合物等之影罩。
相關技術之說明
現今對用於製造薄膜裝置的添加式製造法係甚感興趣。此等方法會對某些已建立的方法，譬如光微影法，提供另一種選擇。研究對光微影法的可擇代者是有利益的，因為光微影法需要大量的設備地板空間，每個圖案化細構需要許多複雜的步驟，且會造成大量有毒的化學廢棄物。
在添加式製造的領域中使用影罩法係已習知。影 罩法包括將一基材置於一含有許多被形成的孔隙之影罩附近或與其接觸。然後，材料會經由該等孔被沈積，而在該基材上產生所需的圖案。通常需要數個影罩來製成一所需的薄膜裝置。故，其必須精確地對準該系列的影罩與該基材上的基準點。
典型地，薄膜裝置需要細構被精確地置設在它們之特定位置的不多於數微米以內。目前的對準方法係能夠將該影罩的中心精確地置設在其所需位置的小於1μm內。但是，該影罩典型會在一甚大區域上含有特徵細構等，以下稱為“陣列”。因此，若有數個影罩的細構要被置設於其特定區域內時，該陣列的尺寸必須被非常精確地控制。
因為所需的圖案化細構尺寸(典型>100μm)，故該影罩典型係由一小於100μm厚的薄金屬箔所製成。此一薄金屬本身並不具有結構整體性能供容易且安全地處理。此外，該影罩在該沈積製程時將會承受高溫，且其需要該陣列的孔隙於該熱循環期間保留在固定位置。因此，拉伸該影罩並將該影罩安裝於一硬框會讓該影罩能被容易且安全地處理，而且耐抗於溫度變化。
以往，熱會被用來在該影罩附接於該框之前先拉伸它。於此方法中，該框係由一低熱脹係數的合金製成，譬如鎳鐵合金。該框和影罩會被加熱至一溫度，於此溫度該陣列會藉由熱膨脹增長至適當尺寸，且一黏劑會將該影罩黏接於該框。當該總成冷卻時，該影罩會比該框收縮更多，而造成一拉緊的影罩。此熱拉伸的方法有效可用，但 其有一些限制且需要該製造者的充分熟練。
熱拉伸之一限制係熱會使該影罩在全部方向皆按比例地擴張。此方法在若所有預先安裝的影罩係尺寸精確至該微米層級時將會是足夠的。但是，影罩通常一開始不會有正確的比例。此概念之一例係示於圖1中。在此例中，該特定的影罩於水平方向必須比在垂直方向更為伸展。使用熱拉伸法來安裝此影罩的最佳作法係選擇一安裝溫度，其會分割該二所需尺寸之間的差異。此會對此影罩之該陣列造成尺寸不精確，其可能使該影罩變成不能使用的。因此，不能獨立地調整影罩尺寸係為熱伸展之一限制。
當影罩係藉由熱拉伸法來安裝時，所選擇的安裝溫度應要比該影罩在沈積期間所達到的最大溫度更高。當如此而為時，該等圖案化細構一般會被看到歷經該沈積的熱循環過程能保留在其初始位置。依據觀察，此初始位置係為該影罩的“冷”或室溫尺寸。其不同於該影罩的安裝時之“熱”尺寸。當該影罩由該安裝溫度冷卻，並變成拉緊時，該陣列會改變尺寸。此概念係示於圖2中。此過程是有點可重複的，其中具有相同孔隙圖案的影罩當由熱逐變成冷狀態時，會傾向於以相同的方式變形。但是，要達到可接受的影罩安裝成果，需要對影罩之該行為收集廣泛的數據，及由該製造者作成重大的決定。且，由熱轉變成冷會造成該陣列的凹彎，此為該熱拉伸製法中之一不能被直接解決的問題。
於該安裝製程中包含一高溫亦會添增更多複雜 性。引入一升高且可調整溫度的環境會大大地複雜化進行準確的微米級測量之任務，其為一精密影罩所需者。此外，因其係持續地期望能在越來越高的溫度安裝影罩，故容易處理及甚至操作者的安全性亦變成一考慮重點。
本發明之概要
本發明之各種較佳及非限制例現將被描述並陳明於以下的編號款項中：
款項1：在一例中，一影罩拉伸方法係被揭露，包含：(a)以相隔關係定位一影罩框及一錨定框而在其間界定一間隙；(b)將一具有至少一個第一對準細構的影罩定位在該影罩和錨定框上，且該影罩有一部份延伸通過該間隙；(c)將該影罩固定於該錨定框上；(d)將一包含至少一個第二對準細構的物體定位在該影罩相反於該錨定框的一面上，且該第二對準細構與該第一對準細構非呈最後的對準排列；(c)在步驟(a)~(d)之後，藉著將該影罩之該部份迫入該間隙中來拉伸該影罩，而帶使該第一對準細構與該第二對準細構對準排列；及(f)在步驟(e)之後，將該影罩固定於該影罩框。
款項2：該款項1的方法，其中步驟(c)可包含將該影罩的多個邊緣固定於該錨定框。
款項3：該款項1或2的方法，其中該方法可更包含(g)，在步驟(f)之後，由該錨定框分開被固定於該影罩框的影罩。
款項4：該等款項1~3之任一項的方法，其中步驟(g)可包含切割該影罩延伸通過該間隙的部份。
款項5：該等款項1~4之任一項的方法，其中：該影罩可包含一邊緣凸片；該影罩之該部份可為該邊緣凸片；步驟(c)可包含將該影罩之該邊緣凸片固定於該錨定框；且步驟(g)可包含由固定於該影罩框的影罩分開該邊緣凸片。
款項6：該等款項1~5之任一項的方法，其中：該方法可更包含將一拉緊框固定於該錨定框，該拉緊框會支撐多數個拉緊螺絲與該間隙對準；且步驟(e)可包含以一方式調整(旋轉)該多數個螺絲來將該影罩之該部份迫入該間隙中。
款項7：該等款項1~6之任一項的方法，其中步驟(e)可更包含：回應於該影罩之一或多個沈積孔隙因調整該多數個拉緊螺絲所造成的物理扭曲，而調整一次組的該多數個拉緊螺絲來消解該物理扭曲。
款項8：該等款項1~7之任一項的方法，其中該間隙和該影罩之該部份可圍繞該影罩框。
款項9：該等款項1~8之任一項的方法，其中該物體可為一透明薄片。
款項10：該等款項1~9之任一項的方法，其中步驟(d)可包含支撐該物體，而使該影罩能獨立於該物體移動。
款項11：該等款項1~10之任一項的方法，其中該至少一個第一對準細構可為該影罩之一沈積孔隙。
款項12：在另一例中，一種影罩拉伸裝置係被揭露，包含：用以支撐一影罩的裝置，該影罩包含一或更多個第一對準細構，且該影罩之一包圍該一或更多個第一對準細構的部份會與一間隙對準；用以錨定該影罩的裝置；一物體含有一或更多個第二對準細構而構製成能被定位在該影罩的一面上；及用以將該影罩之包圍該一或更多個第一對準細構的部份迫入該間隙中，而致使該一或更多個第一對準細構與該一或更多個第二對準細構對準的裝置。
款項13：該款項12的裝置，其中該用以支撐的裝置可包含一影罩框被一錨定框以一相隔的關係包圍，而在該影罩框與該錨定框之間界定該間隙。
款項14：該款項12或13的裝置，其中該用以錨定的裝置可包含一錨定條與該錨定框會將該影罩之一邊緣中夾於其間。
款項15：該等款項12~14之任一項的裝置，其中至少一個該等第一對準細構可包含該影罩之一沈積孔隙。
款項16：該等款項12~15之任一項的裝置，其中該用以迫入的裝置可包含一拉緊框支撐著拉緊螺絲會與該影罩之包圍該一或更多個沈積孔隙的部份對準。該等拉緊螺絲能被操作而回應於該等拉緊螺絲的旋轉來將該影罩之該部份迫入該間隙中。
款項17：該等款項12~16之任一項的裝置，其中該物體可為一透明薄片。
款項18：該等款項12~17之任一項的裝置，其中 該裝置可更包含用以支撐該物體的裝置，而使該影罩能獨立於該物體移動。
款項19：在另一例中，一種影罩拉伸方法係被揭露，包含：(a)將一具有一第二組對準細構的物體排列在一具有一第一組對準細構的影罩之一面上，而使該物體與該影罩能互相獨立地移動，且該第一和第二組的對準細構不是呈最後的對準排列；及(b)施加張力於該影罩以使該第一組對準細構與該第二組對準細構形成最後的對準排列。
款項20：該款項19的方法，其中該第一組對準細構可包含該影罩的至少一個沈積孔隙。
2‧‧‧錨定框
4‧‧‧錨定條
6‧‧‧拉緊框
8‧‧‧拉緊螺絲
10‧‧‧影罩框
12‧‧‧影罩
14‧‧‧支撐板
16‧‧‧螺栓
18‧‧‧螺孔
20‧‧‧內周緣
22‧‧‧孔隙
24‧‧‧孔隙陣列
26‧‧‧邊緣凸片
28‧‧‧相機系統和顯示器
30、56‧‧‧間隙
32‧‧‧黏劑
34‧‧‧切割線
36、38、40、42‧‧‧第一對準細構
36A、38A、40A、42A‧‧‧虛線
44‧‧‧物體
46、48、50、52‧‧‧第二對準細構
54‧‧‧支架
圖1為一預拉伸影罩陣列尺寸與該影罩之一目標陣列尺寸之間的差異之一示圖；圖2為一依據一熱拉伸製法的影罩之一熱陣列尺寸與一拉伸的冷陣列尺寸之間的差異之一示圖；圖3為一依據本發明之一實施例的影罩設在一錨定框上之一立體圖；圖4為錨定條被附接於該錨定框以將該影罩固定或固接於該錨定框之一立體圖；圖5為一拉緊框包含細微節距的拉緊螺絲設在該拉緊框的螺孔中之一隔離立體圖；圖6為圖5的拉緊框在該等錨定條安裝於該錨定框之後被固定於該錨定框之一立體圖；圖7為該影罩包含一中央孔隙陣列及可供拉緊的 邊緣凸片等之一隔離立體圖；圖8為一細微節距拉緊螺絲被旋轉而下壓於一邊緣凸片上以在該影罩中造成張力之一放大立體圖；圖9為沿圖8中的截線IX-IX所採之一截面圖，乃示出一影罩在兩側被牢固地夾住，且該等細微節距拉緊螺絲壓入邊緣凸片中，而使該影罩伸展通過一影罩框的表面；圖10為沿圖9中的截線X-X所採之一截面圖，乃示出圖9中所示的影罩之孔隙陣列回應於該等細微節距拉緊螺絲壓入邊緣凸片中所造成的拉伸過程之一極為誇大的物理及/或幾何扭曲示圖；圖11為一如圖9的截面圖，包含一物體定置於該影罩上來促進克服圖10中所示的影罩由於該拉伸過程所致之該物理及/或幾何扭曲；圖12為圖11中所示之該物體呈一透明薄片的形式之一平面圖；圖13為圖12之物體定置在圖10中所示的影罩上之一平面圖；及圖14為該物體在該影罩頂上如圖13中所示，於該拉伸過程之後，其中該物體的對準細構妥確地對準該影罩的對準細構譬如一或更多個沈積孔隙等之一平面圖。
較佳實施例之詳細說明
本發明現將參照所附圖式來被說明，其中類似的標號對應於類似的元件。
請參閱圖3，於此所揭係為一種影罩拉伸系統，其包含一錨定框2，多數個錨定條4，一拉緊框6(圖5)包含若干個拉緊螺絲8，一影罩框10(虛示於圖3中)，及一影罩12，全部被一支撐板14支撐。錨定框2為一金屬框，被設計來在拉伸之前及拉伸時支撐該影罩12。圖3示出錨定框2，並亦示出該影罩12被固定於被錨定框2的位置。取決於該影罩框10的尺寸限制，其在使用時係置設於影罩12和支撐板14之間(見圖9)，錨定框2可被整合於影罩框10中成為一單元。
請參閱圖4，影罩12係藉以錨定條4將影罩12的邊緣夾緊於錨定框2而固定於錨定框2。螺栓16會穿過錨定條4中的螺孔及沿該影罩12之邊緣的孔隙，並被螺合於錨定框2中的螺孔中來將該影罩12的邊緣固定於固定位置。
請參閱圖5及6，拉緊框6嗣會被以螺栓16附接於錨定框2和錨定條4頂上。拉緊框6包含一系列的孔18在拉緊框6之一孔隙22的內周緣20處。該等孔18包含細微節距的螺紋或含有細微節距螺紋的嵌入物。在任一情況下，細微節距的拉緊螺絲8會被螺合穿過該等孔18作為一拉伸影罩12的裝置。
影罩框10為一金屬框，影罩12會被附接於它。影罩框10會促進影罩12能容易地處理及對準以用於沈積程序，且當影罩10被拉伸在一所需尺寸時亦能固定它。
請參閱圖7，影罩12係由一方形或矩形的薄金屬箔所構成，具有一孔隙陣列24，最好是形成於影罩12之一中央部份。在所示的實施例中，影罩12包含邊緣凸片26等， 其係用來以該所述的方式施加張力於影罩12。
影罩12的拉伸最好是能發生在一傳統的溫度控制潔淨室環境中。第一步驟係將影罩12放在錨定框2和影罩框10上，如圖3中所示。嗣，錨定條4會被附接於錨定框2而將邊緣凸片26中夾於其間，如圖4中所示。然後將拉緊框6附接於錨定框2，如圖6中所示。影罩12現可被拉伸，直到該孔隙陣列24達到一所需的形狀，例如，由一上方的相機系統和視覺顯示器28(圖3)所判定者。
請參閱圖8和9，藉著鎖緊位於拉緊框6之孔18中的細微節距拉緊螺絲8等，張力會被施加於影罩12。當每個拉緊螺絲8下壓至影罩12的邊緣凸片26上時，該影罩12的邊緣凸片26之一與拉緊螺絲8接觸的偏內部份會被迫入一界定於錨定框2與影罩框10之間的間隙30中(圖9)，因此張力會被造成於影罩12內。更具言之，當各細微節距拉緊螺絲8向下伸出時，影罩12會伸展張緊地橫過該影罩框10的表面。該影罩12的整體張力和所造成的形狀能藉調整各拉緊螺絲8施加於對應的邊緣凸片26上之壓力來被改變，即藉順時鐘及/或反時鐘地旋轉在該拉緊框6之一螺孔18內的各個拉緊螺絲8。
當該孔隙陣列24已達到一所需的形狀和尺寸時，一黏劑32(圖9)會被施加來將影罩12黏接於影罩框10。一旦影罩12已經黏接後，邊緣凸片26會被以任何適當及/或較佳的方式來由影罩12移除，例如，以一多用刀沿虛線34(圖7)切割，且影罩框10和影罩12會被由支撐板14、錨定 框2、錨定條4、拉緊框6等分開。
於此所述的實施例有數個超越習知技術的優點。第一，因為影罩12內的張力係藉在圍繞該影罩12之周緣的許多個位置處之調整所造成，故構成影罩12之該金屬箔的形狀會有很大的可調適性，且因此，該孔隙陣列24的形狀亦同。該孔隙陣列24的水平和垂直尺寸能被分開地調整。其亦可能調整該影罩12的張力，而使該孔隙陣列24不會凹彎。
因為影罩12的拉伸能在一傳統的溫度控制潔淨室環境中發生，故孔隙陣列24的精密測量會變成一較簡單的任務。且，因影罩12並不經過會熱膨脹的“熱”狀態，而是在一“冷”狀態被直接地拉伸，故該孔隙陣列24的精確尺寸會較容易達成。此係因為該操作者不必針對他們認為當該總成冷卻時該影罩尺寸將會改變多少而來作補償。最後，因在該拉伸過程中不包含到熱，故沒有燒傷的機會。
請參閱圖10並繼續參考先前各圖，當藉調整各鎖緊螺絲8施加於該影罩12之對應邊緣凸片26的壓力來拉伸影罩12期間，該孔隙陣列24或該孔隙陣列24的一或多個孔隙會由於該拉伸過程而變成物理地及/或幾何地扭曲變形並非不尋常，例如，圖10示出一類比於上述的孔隙陣列24之一高度誇張的扭曲實線盒24。在圖10中以盒24代表的孔隙陣列可包含一第一組的一或更多個對準細構36、38、40及/或42(以實線示出)，例如，亦會被扭曲變形。在圖10中，虛線24A示出所要的盒24之形狀，代表前述的孔隙陣列24。 同樣地，虛線36A、38A、40A和42A分別示出對準細構36、38、40、42之所要形狀的非限制例。如前所述，以盒24代表的孔隙陣列或以各盒36、38、40、42代表的個別對準細構之物理性或幾何性扭曲，會因影罩12透過拉緊螺絲8在該影罩12的對應邊緣凸片26上之不當拉伸而被造成。
請參閱圖11和12，並繼續參考先前各圖，為幫助克服因調整各拉緊螺絲8施加於影罩12之對應邊緣凸片26上的壓力所造成之此物理性或幾何性扭曲問題，如被高度誇張地示於圖10中者，一物體44可被置放在影罩12的一面上，例如，在影罩12相反於影罩框10的一面上。在一例中，物體44可為一透明薄片。然而，此並非要被視為限制本發明。
物體44，例如呈一透明薄片的形式，可包含一第二組的一或更多個對準細構46、48、50和52(圖12)。在一例中，對準細構46~52係被示為方形或矩形的形狀。然而，此並非要被視為限制本發明，因可想知該物體44的各個對準細構46~52可為任何適當及/或所需的形狀，包括圓形、三角形，或任何適當及/或所需的形狀。同樣地，影罩12的各個對準細構36~42亦可為任何適當或所需的形狀。
在一例中，一對準物體支架54(圖11)可被提供，其係耦接於物體44來支撐物體44，俾使影罩12能獨立於物體44移動。在一例中，對準物體支架54能以對影罩12呈相隔關係來支撐物體44，而有一可擇的小間隙56介於該物體44和影罩12之間。
請參閱圖13，並繼續參考先前各圖，圖13示出物體44(圖12)置放在影罩12(圖10)上，且物體44的第二組對準細構46~52被置設成會與影罩12的第一組對準細構36~42粗略對準。於此，影罩12的第一組對準細構包含對準細構36~42之一或更多個，且物體44的第二組對準細構包含對準細構46~52之一或更多個。然而，此並非要被視為一限制之意。
藉著觀察該第二組對準細構46~52的位置，同時藉調整一次組的拉緊螺絲8來調整施加於影罩12的張力，影罩12可藉該等拉緊螺絲8以一會使該第一組的對準細構36~42分別地與該第二組的對準細構46~52細微或精確對準的方式來施加於影罩12之一或更多個邊緣凸片26的張力而被拉伸。
雖上述之例係被描述有關於藉調整一或更多個該等螺絲8，而來修正或消解該孔隙陣列24因影罩12的最初拉伸所造成之一物理性或幾何性扭曲，但此並非要被視為限制本發明，因可想知該物體44能在調整一或多個拉緊螺絲8及/或該影罩12的任何物理性或幾何性扭曲之前被置放在影罩12上方。例如，在圖13中以虛線24示出的孔隙陣列，及在圖13中以虛線36A~42A示出的第一組對準細構可具有在圖13中所示之未扭曲的物理或幾何形式，因此當物體44被置於影罩12頂上時，該第二組的對準細構46~52會相對於圖13中之虛線36A~42A所示的第一組對準細構定位。然後，張力可藉調整一或多個拉緊螺絲8而被施加於影 罩12，俾依需要來伸展影罩，用以對準該第一組對準細構36~42與第二組對準細構46~52，例如圖14中所示。
在一例中，該第一和第二組的對準細構係被示出為方形或矩形。但是，此並非要被視為限制本發明。例如，該第一組對準細構可為方形，而該第二組對準細構可為圓形，或反之亦然。針對於此，乃可想知任何適當及/或所需的第一組對準細構之形狀，和該第二組對準細構的形狀皆能被利用。
在一例中，該影罩12之第一組對準細構36~42的一或更多個可為影罩12之一沈積孔隙。使用影罩12的一或更多個沈積孔隙來作為一對準細構之一利益係該影罩12不必具有專用的對準細構僅可供以上述的方法來拉伸影罩12之目的使用。
當該影罩12的第一組對準細構36~42與物體44例如一透明薄片的第二組對準細構46~52妥確地對準時，黏劑32(圖9)可被施加來將影罩12黏接於影罩框10。在施加黏劑32之前或之後的一適當時間，物體44可被由影罩12頂上移除。當影罩12已黏接於影罩框10時，邊緣凸片26等可被以任何適當及/或所需的方式由影罩12移除，例如以一多用刀沿虛線34(圖7)切斷，因此影罩框10和影罩12的組合能由支撐板14、錨定框2、錨定條4、拉緊框6等被分開。
如可看出，本發明係為一種影罩拉伸方法。在一例中，該方法包含以相隔關係定位一影罩框10和該錨定框2，而在其間界定一間隙30。一具有至少一個第一對準細構 36、38、40、或42的影罩12會被置於影罩框10和錨定框2上，且影罩12的一部份會延伸通過間隙30。嗣影罩12會藉例如以錨定條4等將該影罩12的邊緣夾緊於錨定框2而被固定於錨定框2。接著，包含至少一個第二對準細構46、48、50或52的物體44會被置於影罩12相反於錨定框2和影罩框10的一面上，而該第二對準細構與該第一對準細構並非呈最後的對準排列。然後，藉著將該影罩12的該部份迫入該間隙30中，而使該第一對準細構與該第二對準細構形成最後的對準排列，影罩12會被拉緊。然後，該影罩12會被固定於影罩框10。
在一例中，該方法可包含將該影罩12的多個邊緣固定於該錨定框2。在一例中，該方法可更包含由錨定框2分開固定於影罩框10的影罩12。由該錨定框分開固定於該影罩框的影罩可包含切割該影罩延伸通過該間隙30的部份。
在一例中，影罩12可包含一邊緣凸片26。該影罩之該部份可為該邊緣凸片。將影罩12固定於錨定框2的步驟可包含將影罩框12之邊緣凸片26固定於錨定框2。由錨定框2分開固定於影罩框10之影罩12的步驟可包含由固定於影罩框10的影罩12分開該邊緣凸片26。
在一例中，該方法可更包含將一支撐多數個對準間隙30之拉緊螺絲8的拉緊框6固定於錨定框2。拉伸該影罩的步驟可包含以一能將該影罩12之該部份迫入間隙30中的方式來調整(旋轉)該多數個拉緊螺絲8。
在一例中，包含該至少一個第二對準細構的物體 能被利用來在該影罩的任何拉伸及/或該影罩的物理及/或幾何扭曲變形發生之前，與該具有該至少一個第一對準細構的影罩組合。在另一例中，回應於調整一或更多個該等拉緊螺絲8所造成之該影罩12的孔隙陣列24之一或更多個孔隙的物理扭曲，一次組的該等拉緊螺絲8可被調整來消解該物理及/或幾何扭曲。如由圖9中可瞭解，該間隙30和該影罩延伸通過間隙30的部份可圍繞該影罩框10。
在一例中，物體44可為一透明薄片。但是，此並非要被視為限制本發明，因可想知任何適當及/或所需的物體44皆可被利用，其包含一第二組的對準細構能與該影罩12的第一組對準細構對準。例如，該第二組對準細構可包含多數的導線呈一格狀圖案被一框支撐，或任何其它適當及/或所需的物體44其能促成該物體44的第二對準細構與影罩12的第一對準細構之間的對準。
在一例中，物體44可被支撐而使影罩12能獨立於物體44移動。在一例中，一對準物體支架54能執行此功能。在一例中，該對準物體支架54能以對影罩12呈相隔關係使其間有一間隙56地來支撐物體44。然而，若影罩12能夠移動並被拉伸而沒有不當的限制，則物體44可與影罩12接觸，因此間隙56不會存在。
在一例中，當影罩12拉伸時，對準物體支架54會將物體44相對於影罩12保持在一固定位置。以此方式，該物體44的至少一個第二對準細構會作用如該影罩12的至少一個第一對準細構之一固定的基準點。
在一例中，影罩12之至少一個該第一對準細構可為影罩12之一沈積孔隙。就此而言，該沈積孔隙能執行一用於將蒸氣沈積材料沈積在一基材上的目的之沈積孔隙，及一用以將影罩12拉伸於影罩框10的目的之對準細構的雙重功能。
在另一例中，一影罩拉伸裝置係被揭露，其包含用以支撐一影罩12的裝置，該影罩包含一或更多個第一對準細構36~42，且該影罩12之一圍繞該一或更多個第一對準細構36~42的部份會對準一間隙30。在一例中，用以支撐該影罩的裝置可包含一影罩框10及一錨定框2。該拉伸裝置亦可包含用以錨定該影罩的裝置。在一例中，用以錨定該影罩的裝置可包含一錨定條4會與錨定框2結合。
一物體可被提供，其包含一或更多個第二對準細構46~52，構製成能被定置在影罩12的一面上。最後，該裝置包含某些裝置用以將該影罩12圍繞該一或多個第一對準細構36~42的部份迫入間隙30中，而使該一或多個第一對準細構36~42形成與該一或多個第二對準細構46~52對準排列。在一例中，該用以迫入的裝置可包含拉緊框6和拉緊螺絲8等。
在一例中，該用以支撐的裝置可包含影罩框10被該錨定框2以相隔關係包圍，而在其間界定該間隙30。
在一例中，該用以錨定的裝置可包含錨定條4會與該錨定框2結合，而在其間中夾影罩12之一邊緣26。
在一例中，該影罩12的至少一個該第一對準細構 可為影罩12之一沈積孔隙。
在一例中，該用以迫入的裝置可包含拉緊框6支撐著該等拉緊螺絲8會對準該影罩12圍繞該孔隙陣列24之一或多個沈積孔隙的部份。該等拉緊螺絲8能被操作而回應於該等拉緊螺絲8的旋轉來將該影罩12之該部份迫入該間隙30中。
在一例中，該物體44可為一透明薄片。在另一例中，該裝置可更包含用以支撐物體44的裝置，而使影罩12能獨立於物體44移動。
最後，在一影罩拉伸方法的一例中，一具有一第二組對準細構46、48、50及/或52的物體44係被置設在具有一第一組對準細構36、38、40及/或42之影罩12的一面上，而使物體44和影罩12能互相獨立地移動，且該第一和第二組的對準細構不是呈最後的對準排列。張力可被施加於影罩12來使該第一組對準細構與該第二組對準細構形成最後的對準排列。在一例中，該第一組對準細構可包含該影罩的至少一個沈積孔隙。
本發明已參照實施例等來被描述。他人在閱讀並瞭解先前的詳細說明後，顯而易知的組合和變化將會被產生。例如，在圖4~6和8中以手鎖緊螺栓16及/或拉緊螺絲8之示圖並非要被視為限制本發明。本發明係意要被認為包含所有的該等修正和變化，只要它們在所附申請專利範圍及其同等者的範圍內。

Claims (20)

  1. 一種影罩拉伸方法，包含：(a)以相隔關係定位一影罩框及一錨定框而在其間界定一間隙；(b)將一具有至少一個第一對準細構的影罩定位在該影罩框和該錨定框上，並使該影罩的一部份延伸通過該間隙；(c)將該影罩固定於該錨定框；(d)將一具有至少一個第二對準細構的物體定位在該影罩相反於該錨定框的一面上，且該第二對準細構與該第一對準細構不呈最後的對準排列；(e)在步驟(a)-(d)之後，藉將該影罩之該部份迫入該間隙中來拉伸該影罩，而使該第一對準細構與該第二對準細構形成對準排列；及(f)在步驟(e)之後，將該影罩固定於該影罩框。
  2. 如請求項1之方法，其中步驟(c)包含將該影罩的多個邊緣固定於該錨定框。
  3. 如請求項1之方法，更包含：(g)在步驟(f)之後，將固定於該影罩框的影罩由該錨定框分開。
  4. 如請求項3之方法，其中步驟(g）包含切割該影罩延伸通過該間隙的部份。
  5. 如請求項3之方法，其中：該影罩包含一邊緣凸片；該影罩之該部份是該邊緣凸片；步驟(c)包含將該影罩之該邊緣凸片固定於該錨定框；及步驟(g)包含由固定於該影罩框的影罩分開該邊緣凸片。
  6. 如請求項1之方法，其中：該方法更包含將一拉緊框固定於該錨定框，使拉緊框會支撐多數個拉緊螺絲對準該間隙；及步驟(e)包含以一方式調整(旋轉)該多數個拉緊螺絲來將該影罩的該部份迫入該間隙中。
  7. 如請求項6之方法，其中步驟(e)更包含，回應於因調整該多數個拉緊螺絲所造成之該影罩之一或更多個沈積孔隙的物理扭曲，而調整一次組的該多數個拉緊螺絲來消解該物理扭曲。
  8. 如請求項1之方法，其中該影罩之該部份圍繞該影罩框。
  9. 如請求項1之方法，其中該物體是一透明薄片。
  10. 如請求項1之方法，其中步驟(d)包含支撐該物體，而使該影罩能獨立於該物體移動。
  11. 如請求項1之方法，其中該至少一個第一對準細構為該影罩之一沈積孔隙。
  12. 一種影罩拉伸裝置，包含：用以支撐一影罩的裝置，該影罩包含一或更多個第一對準細構，且該影罩之一圍繞該一或更多個第一對準細構的部份會對準一間隙；用以錨定該影罩的裝置；一物體包含一或更多個第二對準細構而構製成能被置放在該影罩的一面上；及一裝置用以將該影罩之包圍該一或更多個第一對準細構的部份迫入該間隙中，而使該一或更多個第一對準細構與該一或更多個第二對準細構形成對準排列。
  13. 如請求項12之裝置，其中該用以支撐的裝置包含一影罩框被一錨定框以相隔關係包圍，而在該影罩框與該錨定框之間界定該間隙。
  14. 如請求項13之裝置，其中該用以錨定的裝置包含一錨定條及該錨定框會將該影罩之一邊緣中夾於其間。
  15. 如請求項12之裝置，其中至少一個該第一對準細構包含該影罩之一沈積孔隙。
  16. 如請求項12之裝置，其中該用以迫入的裝置包含一拉緊框支撐著拉緊螺絲等對準該影罩之包圍該一或更多個沈積孔隙的部份，該等拉緊螺絲可操作而回應於該等拉緊螺絲的旋轉來將該影罩之該部份迫入該間隙中。
  17. 如請求項12之裝置，其中該物體是一透明薄片。
  18. 如請求項12之裝置，更包含用以支撐該物體而使該影罩能獨立於該物體移動的裝置。
  19. 一種影罩拉伸方法，包含：(a)將一具有一第二組對準細構的物體排列在一具有一第一組對準細構的影罩之一面上，而使該物體與該影罩能互相獨立地移動，且該第一和第二組的對準細構係不呈最後的對準排列；及(b)施加張力於該影罩以使該第一組對準細構與該第二組對準細構形成最後的對準排列。
  20. 如請求項19之方法，其中該第一組對準細構包含該影罩的至少一個沈積孔隙。
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