TWI658013B - 裂斷裝置、裂斷刀往裂斷裝置之安裝方法、及裂斷刀用匣 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠容易且確實地進行裂斷刀之安裝的裂斷裝置。該裂斷裝置，藉由使裂斷刀抵接於脆性材料基板而對該脆性材料基板進行裂斷，其具備在固定保持有裂斷刀的狀態下可相對於裂斷裝置裝卸自如之裂斷刀用匣，並藉由將固定保持有裂斷刀之裂斷刀用匣安裝在裝置之被安裝部而使裂斷刀成為安裝狀態。能夠容易且確實地進行裂斷刀之安裝。

Description

裂斷裝置、裂斷刀往裂斷裝置之安裝方法、及裂斷刀用匣

本發明係關於一種裂斷脆性材料基板之裂斷裝置，尤其是關於其裂斷刀之安裝。

已知有如下之裂斷裝置(例如，參照專利文獻1)：預先藉由刻劃輪或鑽石尖點等之工具、或藉由雷射加工等，對在分斷預定位置形成有刻劃線之脆性材料基板(例如玻璃基板或陶瓷基板等)或在基板上積層有薄膜層或厚膜層等之積層體等之分斷對象物，沿該刻劃線進行分斷(進行裂斷)。

專利文獻1：日本特開2014-195040號公報

專利文獻1揭示之裝置，是在支承分斷對象物之一主面的狀態下，對該分斷對象物之另一主面以裂斷刀施加既定負載並同時按壓而藉此對該分斷對象物進行裂斷。在如此般之裝置中，由於隨著反覆使用而使裂斷刀之前端磨耗、疲勞，因此裂斷刀被視為消耗品，而必須適時地更換新的裂斷刀。

然而在以往習知中，對於裂斷刀之更換作業(安裝作業)需要相當多的時間。其原因之一，例如裂斷刀與支承脆性材料基板之支承體的平行設置作業相當困難。

習知的平行設置作業，大致上是在一邊使用六角把手一邊將 裂斷刀以固定螺栓安裝在既定的安裝基座後，使裂斷刀與支承體接近，對多個部位利用測隙規(feeler gauge)等測定此時兩者之間隙，如果測定值存在差異則一邊確認平行狀態一邊調整固定螺栓之緊固程度，但此時有時會有裂斷刀移動的情況產生。

此外，在進行裂斷時恐有因從分斷對象物承受之反力而使裂 斷刀偏移的情況，因此也有必要進行以不產生偏移的方式在安裝基座與裂斷刀之間裝入填隙片(shim)並進行調整等困難之作業。

此外，必須以不穩定的半蹲姿勢進行作業、必須以手從下方 支持前端銳利的裂斷刀等而被要求考量安全性等方面，亦成為阻礙安裝作業之迅速性的主要原因。

在進行更換裂斷刀時，裂斷裝置當然不能運作，因此更換作 業成了大大地影響裂斷裝置之處理量(throughput)的因素。

本發明之發明者，考量以上問題點，而考慮將在裂斷裝置安 裝裂斷刀時之直接的安裝對象，設為能夠重覆使用並確保相對於裂斷裝置之安裝位置再現性的匣(cartridge)，且裂斷刀本身安裝於該匣，藉此能夠與裂斷裝置之運作並行地進行裂斷刀之更換作業，且裂斷刀之更換本身亦能容易進行，在進行了認真檢討後的結果，想到了本發明。

本發明係有鑑於上述課題而完成者，其目的在於提供一種能 夠容易且確實地進行裂斷刀之安裝的裂斷裝置。

為了解決上述課題，請求項1之發明，係藉由使裂斷刀抵接 於脆性材料基板而對該脆性材料基板進行裂斷的裝置，其特徵在於：具備 在固定保持有該裂斷刀的狀態下相對於該裝置裝卸自如之裂斷刀用匣，藉由將固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣安裝在該裝置之被安裝部而使該裂斷刀成為安裝狀態。

請求項2之發明，係請求項1記載之裂斷裝置，其中，該被 安裝部，具有藉由手柄(handle)之旋動動作而可夾緊固定及解除該夾緊固定之夾緊部，該被安裝部中的該裂斷刀用匣之安裝，係藉由該夾緊部之夾緊固定而完成。

請求項3之發明，係請求項2記載之裂斷裝置，其中，該被 安裝部，具有以該裂斷刀之刀前端成為水平之態樣從下方支承固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣的支承部，該裂斷刀用匣在由該支承部支承的狀態下藉由該夾緊部固定。

請求項4之發明，係請求項2或3記載之裂斷裝置，其中， 該被安裝部，具有於垂直方向延伸之基準面，固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣，藉由透過該夾緊部的夾緊動作而在該基準面與該夾緊部所具備之抵接部之間夾持該裂斷刀用匣而被固定。

請求項5之發明，係請求項1至4項中任一項記載之裂斷裝 置，其中，該被安裝部，具有一對定位構件，該一對定位構件係相互分離，且各個的前端部成為與彈性體連結之球面狀突起；該裂斷刀用匣，具有一對卡止部，該等卡止部分別具有可與該一對定位構件之一方卡合的槽部；在該被安裝部中的固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣之安裝時，該一對定位構件之各個該突起以對該一對卡止部一方之槽部施予彈壓力的狀態而卡止。

請求項6之發明，係裂斷刀往裂斷裝置之安裝方法，該裂斷 裝置係藉由使裂斷刀抵接於脆性材料基板而對該脆性材料基板進行裂斷，其特徵在於：預先將該裂斷刀固定保持在裂斷刀用匣；在預先設置於該裂斷裝置之對該裂斷刀用匣裝卸自如之被安裝部，安裝固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣。

請求項7之發明，係請求項6記載之裂斷刀往裂斷裝置之安 裝方法，其中，藉由夾緊部之夾緊固定進行該被安裝部中的該裂斷刀用匣之安裝，該夾緊部係設於該被安裝部，且藉由手柄之旋動動作而可夾緊固定及解除該夾緊固定。

請求項8之發明，係請求項7記載之裂斷刀往裂斷裝置之安 裝方法，其中，對固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣，以使其在該裂斷刀之刀前端成為水平之態樣藉由從下方進行支承之支承部而支承的狀態，藉由設於該被安裝部之該夾緊部而進行固定。

請求項9之發明，係請求項7或8項記載之裂斷刀往裂斷裝 置之安裝方法，其中，在使固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣抵接於在垂直方向延伸之基準面的狀態下，藉由設於該被安裝部之該夾緊部中的夾緊動作而在該基準面與該夾緊部所具備之抵接部之間夾持該裂斷刀用匣，藉此固定該裂斷刀用匣。

請求項10之發明，係請求項6至9項中任一項記載之裂斷 刀往裂斷裝置之安裝方法，其中，在該被安裝部，安裝固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣時，使在該被安裝部中呈相互分離而具備、且各個前端部成為與彈性體連結之球面狀突起的一對定位構件之各個該突起，在對該 裂斷刀用匣所具備之具有分別可與該一對定位構件之一方卡合之槽部的一對卡止部一方之該槽部施予彈壓力的狀態下卡止。

請求項11之發明，係以固定保持有裂斷刀的狀態安裝於請 求項1至5項中任一項之裂斷裝置之該被安裝部的裂斷刀用匣，其特徵在於：在以遍及刀長度方向整體僅使該裂斷刀之刀前端附近露出之態樣在基座構件與按壓板之間夾持有該裂斷刀的狀態下，藉由螺止固定該基座構件與該按壓板，而固定保持該裂斷刀。

請求項12之發明，係請求項11記載之裂斷刀用匣，其中， 該基座構件，藉由具有相互垂直的第1部分與第2部分而剖面觀察呈L字狀，在固定保持該裂斷刀時，在使與該裂斷刀之該刀前端對向之端部與該按壓板抵接於該第2部分的狀態下，在該第1部分與該按壓板之間夾持該裂斷刀。

請求項13之發明，係請求項12記載之裂斷刀用匣，其中， 該基座構件之該第1部分，在長邊方向之一端部具備有該裂斷刀用之定位構件與該按壓板用之定位構件，在固定保持該裂斷刀時，該裂斷刀之長邊方向之一端部抵接於該裂斷刀用之定位構件，該按壓板之長邊方向之一端部抵接於該按壓板用之定位構件。

根據請求項1至請求項13之發明，能夠迅速且容易地進行裂斷刀之更換，且能夠使裂斷裝置中的處理量較以往提高。

尤其是，根據請求項3至請求項5、及請求項8至請求項10之發明，裂斷刀用匣之對象方向中的安裝位置始終相同，因此無需針對該方向於安裝後進行位置調整。

1‧‧‧裂斷刀

1a‧‧‧刀前端

2‧‧‧支承體

10‧‧‧裂斷刀用匣

11‧‧‧匣基座

11A‧‧‧夾持部

11B‧‧‧安裝部

11E‧‧‧被支承部

12‧‧‧(裂斷刀)按壓板

13‧‧‧固定螺釘

14a‧‧‧裂斷刀用定位銷

14b‧‧‧按壓板用定位銷

15‧‧‧卡止部

20‧‧‧被安裝部

21‧‧‧支承部

22‧‧‧夾緊部

23‧‧‧水平調整部

24a、24b‧‧‧基準面

25‧‧‧水平定位部

100‧‧‧裂斷裝置

200‧‧‧固定用治具

201‧‧‧(固定用治具之)傾斜面

202‧‧‧(固定用治具之)支承面

202a‧‧‧匣基座用定位銷

203‧‧‧匣夾具

SL‧‧‧刻劃線

W‧‧‧分斷對象物

圖1，係表示本發明之實施形態之裂斷裝置100之概要的圖。

圖2，係固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10之外觀立體圖。

圖3，係表示從斜下方觀察固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10已安裝於裂斷裝置100之被安裝部20的狀態之樣子之立體圖。

圖4，係固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10已安裝於被安裝部20的狀態中之被安裝部20附近之前視圖。

圖5，係表示從圖4所示之狀態假想排除了固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10之樣子之前視圖。

圖6，係固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10已安裝於被安裝部20的狀態中之被安裝部20附近之仰視圖。

圖7，係表示從圖6所示之狀態假想排除了固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10之樣子之仰視圖。

圖8，係固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10已安裝於被安裝部20的狀態中之被安裝部20附近之側視圖。

圖9，係表示從圖8所示之狀態假想排除了固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10之樣子之側視圖。

圖10，係裂斷刀1相對於裂斷刀用匣10之固定中使用之固定用治具200之外觀立體圖。

圖11，係載置有裂斷刀用匣10之匣基座11的狀態之固定用治具200之前視圖。

圖12，係載置有固定保持裂斷刀1之裂斷刀用匣10的狀態之固定用治具200之前視圖。

圖13，係表示使用固定用治具200所進行之裂斷刀1相對於裂斷刀用匣10固定之順序的圖。

<裂斷裝置之概要>

圖1，係表示本發明之實施形態之裂斷裝置100之概要的圖。簡而言之，裂斷裝置100，係使裂斷刀1之刀前端1a抵接於藉由支承體2從下方支承之分斷對象物W之分斷對象位置，並進一步往下按壓而藉此分斷(裂斷)該分斷對象物W之裝置。另外，裂斷刀1，除了刀前端1a附近之外，呈具有一樣厚度之板狀。

分斷對象物W，例如，係玻璃基板或陶瓷基板、或者於該 等積層有各種厚膜層或薄膜層的積層體，一般而言，在其一主面Wa側之分斷預定位置預先形成刻劃線SL。此外，亦可從刻劃線SL朝向另一主面Wb側伸展有垂直裂紋。

裂斷裝置100中的分斷，可在以使形成有該刻劃線SL之一 主面Wa接觸於支承體2的態樣載置於該支承體2上的狀態下，一邊使裂斷刀1之刀前端1a抵接於另一主面Wb之與刻劃線SL對應之分斷預定位置、一邊將該裂斷刀1往下按壓而進行。在該情形，裂斷刀1，係在已安裝於圖1中未圖示之被安裝部20(參照圖3等)的狀態下，藉由未圖示之升降機構而升降而藉此使用，但由於隨著反覆進行裂斷而產生刀前端1a之磨耗，因此 其為在適當的時機需更換為新品的消耗品。在本實施形態中，將裂斷刀1安裝於裂斷裝置100時之安裝態樣，為特徵性的構成。以下，針對此點詳細說明。

<裂斷刀用匣>

圖2，係固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10之外觀立體圖。

在習知的裂斷裝置中，裂斷刀為可相對於該裝置直接裝卸，但在本實施形態之裂斷裝置100中，為取代此之態樣，裂斷刀1為預先藉由裂斷刀用匣10而固定保持，固定保持有該裂斷刀之裂斷刀用匣10，為可相對於裂斷裝置100裝卸自如。

如圖2所示，裂斷刀用匣10，具備匣基座(基座構件)11、裂斷刀按壓板(以下，亦簡稱為按壓板)12。此外，匣基座11，具有主要負責裂斷刀1之夾持的夾持部11A、及主要負責往裂斷裝置100之被安裝部20之安裝的安裝部11B。

匣基座11(更詳細而言係其夾持部11A)與按壓板12，在以遍及刀長度方向整體僅使刀前端1a附近露出之態樣在兩者間夾持有裂斷刀1的狀態下，藉由固定螺釘13而螺止固定。為了實現該態樣中之夾持固定，本實施形態之裂斷刀1，雖省略圖示，但具有該固定螺釘13貫通之貫通孔。另外，在本實施形態中，雖例示在裂斷刀1之刀長度方向相互分離之三個固定部位中進行固定螺釘13之螺止的情形(也就是，使用三個固定螺釘13的情形)，但固定螺釘13之固定部位的數量並不限於此。

更詳細而言，匣基座11，其夾持部(第1部分)11A與安裝部 (第2部分)11B為相互垂直的關係，藉此與長邊方向垂直的剖面呈L字狀。 另外，在匣基座11中(亦在夾持部11A及安裝部11B之各個中)，或者進一步在按壓板12中，夾持固定有裂斷刀1時之裂斷刀1之刀長度方向成為長邊方向。

如上所述，藉由夾持部11A與安裝部11B相互垂直，而在 匣基座11中，夾持部11A之面11a與安裝部11B之面11b在相互之端部相互正交。面11a，在將裂斷刀1夾持固定於裂斷刀用匣10時，成為在與按壓板12之間夾持裂斷刀1之夾持面。另一方面，在面11b，與裂斷刀1之刀前端1a對向之端部、與按壓板12中與夾持裂斷刀1之夾持面垂直之端面分別抵接。

此外，在夾持部11A之面11a之長邊方向一方端部，裂斷刀 用定位銷14a、與按壓板用定位銷14b，相對於該面11a呈垂直地立設。另外，該等裂斷刀用定位銷14a與按壓板用定位銷14b之間的配置位置，以在以下述之態樣而將匣基座11載置於裂斷刀1之固定用治具200時位於下方側之方式而被決定。

在裂斷刀用匣10中的裂斷刀1之固定保持(夾持固定)時， 裂斷刀1，其一面與面11a抵接，與刀前端1a對向之端部與面11b抵接，而且，刀長度方向之一端部與裂斷刀用定位銷14a抵接。此外，按壓板12，其相互垂直之二個面，分別與裂斷刀1及匣基座11之面11b抵接，並且刀長度方向之一端面12a，與按壓板用定位銷14b抵接。另外，在該一端面12a，以在將按壓板12提供作為裂斷刀1之固定保持時在按壓板12與裂斷刀用定位銷14a之間不產生干擾之方式，設置有榫接(mortise)部12b。

藉由滿足該等之抵接狀態且進行固定螺釘13之固定，裂斷 刀1，即使已更換，亦始終以相同姿勢藉由裂斷刀用匣10固定保持。關於裂斷刀用匣10中的裂斷刀1之安裝細節，於以下進行說明。

另外，裂斷刀用匣10，以在已固定保持有裂斷刀1之狀態下，成為其上面之匣基座11之上面11c與刀前端1a相互並行之方式製作。此有助於將裂斷刀用匣10安裝於裂斷裝置100時之安裝作業之省事化。

此外，在匣基座11中，在其長邊方向之兩端部中，安裝部11B較夾持部11A延伸。該延伸部分，係在裂斷刀用匣10安裝於被安裝部20時藉由被安裝部20支承之被支承部11E。

此外，在與夾持部11A之面11a平行的安裝部11B之面11d，以在安裝部11B之長邊方向相互分離之態樣，設置一對卡止部15。卡止部15，係在將裂斷刀用匣10安裝於被安裝部20時，被使用於限制長邊方向中的安裝位置之定位用部位。卡止部15，以相對於面11d垂直突出之態樣，且以具有與面11d平行且剖面觀察呈U字狀之槽部之方式設置。

<匣之安裝>

接下來，針對將上述之裂斷刀用匣10安裝於裂斷裝置100之被安裝部20之態樣進行說明。另外，在關於該態樣之以下說明中，除非另有說明，否則裂斷刀用匣10為預先以上述態樣固定保持裂斷刀1。

圖3，係表示從斜下方觀察固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10已安裝於裂斷裝置100之被安裝部20的狀態之樣子之立體圖。此外，圖4、圖6、圖8分別為該安裝狀態中的被安裝部20附近之前視圖、仰視圖、 側視圖，圖5、圖7、圖9分別為從圖4、圖6、圖8所示的安裝狀態假想排除了固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10之樣子之前視圖、仰視圖、側視圖。另外，在圖3至圖9中，標記以下之右手XYZ座標系統：將在水平面內裂斷刀用匣10已安裝於被安裝部20之狀態中的裂斷刀1之長邊方向設為X軸方向，將垂直方向設為Y軸方向，將在水平面內與X軸方向正交之方向設為Z軸方向。

另外，在本實施形態中，所謂的「水平」，在依照文字上的 意思，也就是作為意指相對於重力作用方向垂直之方向或面之文字而使用，但實質上，只要是與支承體2之上面平行之狀態，則亦可視為「水平」。

安裝裂斷刀用匣10之被安裝部20，主要具備支承裂斷刀用 匣10之一對支承部21、夾緊固定裂斷刀用匣10之一對夾緊部22、調整被安裝部20之水平姿勢之水平調整部23、相互垂直之二個基準面24a及基準面24b、一對水平定位部25。基準面24b，以成為與XY平面平行之方式(故與Z軸方向垂直)設置，成為Z軸方向中的裂斷刀用匣10之基準面且被抵接面。

一對支承部21，以在X軸方向相互分離之方式設置，在裂 斷刀用匣10安裝於被安裝部20時，藉由分別載置安裝部11B之兩端部分所具備之一對被支承部11E，而從下方支承裂斷刀用匣10。另外，在圖8及圖9中，為了幫助理解構成，而省略原本應在圖式近前側於Z軸方向延伸、支承有被支承部11E之支承部21之圖示。

一對夾緊部22，在X軸方向相互分離配置，且分別為在Y 軸方向、與基準面24b之間夾緊固定裂斷刀用匣10之部位。

更詳細而言，一對夾緊部22，分別具備：抵接部22a，在夾 緊固定時與裂斷刀用匣10之按壓板12之前面12c抵接；以及夾緊機構22d，對應於使夾緊手柄22b以旋動軸22c為旋動中心而在ZX平面內旋動(參照圖6)之動作，使抵接部22a進退於Z軸方向。另外，在圖6及圖7中，為了幫助理解構成，而省略原本應與按壓板12抵接之一方之抵接部22a之圖示。

具體而言，在已使裂斷刀用匣10之被支承部11E藉由一對 支承部21而支承之狀態下，藉由使夾緊手柄22b往在圖6中以AR1所示之方向旋動，而抵接部22a與裂斷刀用匣10之按壓板12之前面12c抵接。藉此，實現裂斷刀用匣10被固定保持在被安裝部20之狀態。另外，伴隨該固定保持，裂斷刀用匣10之背面11e抵接於基準面24b，因此完成了於Z軸方向之定位。

另外，在使夾緊手柄22b往在圖6中以AR2所示之方向旋 動的情形，則解除抵接部22a對前面12c之抵接狀態。

此外，水平調整部23，先於裂斷刀用匣10之安裝，用於調 整被安裝部20之水平姿勢。在被安裝部20中，先於裂斷刀用匣10之安裝，藉由水平調整部23之調整，預先將基準面24a、進一步為支承部21設為水平狀態。

進一步地，一對水平定位部25，隨附於各個夾緊部22而設 置，且係用於限制在將裂斷刀用匣10安裝於被安裝部20時之裂斷刀用匣10在水平方向(X軸方向)之位置的部位。

更詳細而言，一對水平定位部25，分別為從夾緊部22之夾 緊機構22d之側部往-Z軸方向突出設置之球柱塞(ball plunger)，且一對水 平定位部25在X軸方向之分開距離，與一對卡止部15在裂斷刀用匣10之安裝部11B之分開距離相同。

在球柱塞即各個之水平定位部25之前端，具備有在內部與 未圖示之彈簧(彈性體)連結之球面狀突起。另一方面，如上所述，各個之卡止部15成為槽部。卡止部15與水平定位部25，成為在卡止部15之槽部與水平定位部25前端之突起已卡合之狀態(水平定位部25前端之突起已卡止於槽部之狀態)下，水平定位部25前端之突起對卡止部15施予彈壓力。而且，卡止部15成為剖面U字狀，藉此，該彈壓力當在卡止部15即將產生位置偏移而脫離時藉由水平定位部25內部之彈簧收縮而增強，因此，若一旦產生卡合狀態(卡止狀態)，則只要裂斷刀用匣10不往+Z軸方向移動，便可被維持。藉此，其結果為限制了裂斷刀用匣10在X軸方向之配置位置。

對具有如以上構成之裂斷裝置100之被安裝部20，安裝裂 斷刀用匣10時，首先，在預先確保基準面24a及支承部21之水平，並且已將夾緊手柄22b往箭頭AR2所示之方向旋動之狀態下，使裂斷刀用匣10之一對被支承部11E嵌入對應之支承部21與基準面24a之間，使一對被支承部11E藉由對應之支承部21支承。藉此，完成針對Y軸方向(垂直方向)之定位。另外，在該支承時，較佳為先使卡止部15之X軸方向中的大致位置，對準水平定位部25之X軸方向中的位置。

接著，使夾緊手柄22b往箭頭AR1所示之方向旋動。藉此， 一對夾緊機構22d分別將處於待避(等待及迴避)狀態之抵接部22a往-Z軸方向推進，其結果為，裂斷刀用匣10之背面11e與基準面24b抵接，進一步地，裂斷刀用匣10被夾緊固定在抵接部22a與基準面24b之間。此外， 伴隨該夾緊動作，預先配置在對應之一對水平定位部25附近之裂斷刀用匣10之一對卡止部15，分別與對應之一對水平定位部25卡合。藉由該等動作，完成針對Z軸方向(嵌入方向)及X軸方向(刀長度方向)之定位。

藉由完成該夾緊動作，而完成了裂斷刀用匣10相對於被安 裝部20之安裝固定，也就是本實施形態之態樣中的裂斷刀1相對於裂斷裝置100之固定。

另外，在取出裂斷刀用匣10時，只要再次使夾緊手柄22b 往箭頭AR2所示之方向旋動而解除夾緊狀態，便能很容易地進行取出。

如此般，根據本實施形態，能夠將預先固定保持有裂斷刀1 之裂斷刀用匣10作為相對於裂斷裝置100裝卸之對象，且藉由夾緊動作與其解除動作而進行該裝卸，因此與將裂斷刀本身作為直接裝卸對象的習知態樣相比，能夠迅速且容易地進行裂斷刀1在裂斷裝置100之安裝及取出。

此外，如上所述，在裂斷刀用匣10中，預先以成為其上面 之匣基座11之上面11c與裂斷刀1之刀前端1a成為相互並行之態樣，固定裂斷刀1，且在將裂斷刀用匣10安裝於裂斷裝置100之被安裝部20時，成為被支承部11E載置於已預先成為水平狀態之被安裝部20之支承部21。亦即，成為裂斷刀用匣10藉由支承部21而被水平支承。因此，在已將裂斷刀用匣10安裝於被安裝部20之狀態中，裂斷刀1(更詳細而言係其刀前端1a)必定成為水平狀態。亦即，在本實施形態之裂斷裝置100中，只要支承部21處於水平狀態，則即使不進行特別的調整，亦只要安裝裂斷刀用匣10，裂斷刀1便可被水平地安裝。

而且，在進行夾緊動作時，由於被支承部11E藉由支承部 21支承，且背面11e抵接於基準面24b，因此裂斷刀用匣10之垂直方向及嵌入方向中的安裝位置始終相同。

此外，伴隨夾緊動作而使卡止部15與水平定位部25卡合，因此裂斷刀用匣10即使是在刀長度方向之安裝位置，亦始終相同。

亦即，在本實施形態之裂斷裝置100中，只要利用夾緊部22夾緊固定裂斷刀用匣10，則即使不進行特別的定位調整，裂斷刀用匣10亦始終被固定在相同位置。亦即，即使更換裂斷刀1，安裝位置亦容易再現。此情況意味著在本實施形態之裂斷裝置100中，無需進行更換裂斷刀1後之裂斷刀1之位置調整，可在更換後直接進行利用新的裂斷刀1之裂斷。

進一步而言，若事先準備多個裂斷刀用匣10，則能夠在使用一個裂斷刀用匣10之期間，先對其他的裂斷刀用匣10安裝裂斷刀1，因此能夠更加縮短裂斷刀1之更換所需的時間。

以上，如所說明般，根據本實施形態，能夠藉由預先固定保持有裂斷刀之裂斷刀用匣之夾緊固定，進行裂斷刀相對於裂斷裝置之安裝，並且能夠藉由其安裝位置再現，而迅速且容易地進行裂斷刀之更換，且能夠使裂斷裝置之處理量較以往提高。

<裂斷刀之固定>

最後，針對裂斷刀1相對於裂斷刀用匣10之固定方法進行說明。圖10，係裂斷刀1相對於裂斷刀用匣10之固定中使用之固定用治具200之外觀立體圖。圖11，係載置有裂斷刀用匣10之匣基座11的狀態之固定用治具200之前視圖。圖12，係載置有固定保持裂斷刀1之裂斷刀用匣10的狀態之固 定用治具200之前視圖。另外，在圖10至圖12中，標記有將zx平面設為水平面、將y軸方向設為垂直方向之右手xyz座標。在圖10至圖12中，為便於行事，設定固定用治具200之正面(前視面)係與xy平面平行。此外，圖13，係表示使用固定用治具200所進行之裂斷刀1相對於裂斷刀用匣10固定之順序的圖。

固定用治具200，具有：基部200a，載置於既定之水平面； 本體部200b，相對於基部200a垂直立設，且係於z軸方向具有厚度之直角三角形狀之厚板部，而且，於xy平面內從y軸方向以既定角度θ傾斜之傾斜面201成為上面；以及延伸部200c，在xy平面內相對於傾斜面201垂直延伸。延伸部200c，具有與傾斜面201垂直且與本體部200b之直角三角形狀之一主面200d平行之基準面202。

基準面202，與傾斜面201同樣地，於從y軸方向以角度θ 傾斜之方向具有長邊方向。藉此，傾斜面201與基準面202，與長邊方向垂直之剖面呈L字狀。基準面202，在將裂斷刀1夾持固定在匣基座11與按壓板12之間時，成為該等三個構件之重疊方向中的基準。另外，於以下，為便於行事，而將從y軸方向以角度θ傾斜之方向稱為治具長邊方向。此外，基準面202，在其治具長邊方向下方側之端部附近，具有於z軸方向立設之匣基座用定位銷202a。

細節於下述，而在固定用治具200中，藉由傾斜面201與基 準面202構成之剖面觀察呈L字狀的部分，成為裂斷刀用匣10之載置部，裂斷刀用匣10沿治具長邊方向載置。

此外，在本體部200b之一主面(側面)200d，設置有一對匣夾 具203。一對匣夾具203，以在治具長邊方向相互分離之方式設置。一對匣夾具203，分別具備：抵接部203a，可在z軸方向進退自如；以及夾緊機構203d，對應於使夾緊手柄203b以旋動軸203c為旋動中心而在與xy平面垂直之平面內旋動之動作，使抵接部203a進退於z軸方向。

具體而言，在載置有裂斷刀用匣10之狀態下，抵接部203a 藉由使夾緊手柄203b往在圖10中以AR3所示之方向旋動，而與裂斷刀用匣10之按壓板12之前面12c抵接。藉此，實現裂斷刀用匣10被固定保持在固定用治具200之狀態。另外，如以下所述，實際之使用局面中的夾緊動作，係在載置有藉由固定螺釘13螺止固定前之重疊體之狀態下完成。

另一方面，若使夾緊手柄203b往在圖10中以AR4所示之 方向旋動，則解除抵接部203a相對於前面12c之抵接狀態。

對於使用具有如以上之構成之固定用治具200而將裂斷刀1 固定在裂斷刀用匣10，首先，僅將匣基座11載置在固定用治具200之載置部(步驟S1)。圖11揭示該載置之樣子。具體而言，匣基座11，係以使其上面11c抵接於傾斜面201，使背面11e抵接於基準面202，進一步地使長邊方向端部與匣基座用定位銷202a抵接之態樣載置。此時，匣基座11相對於傾斜面201與匣基座用定位銷202a之抵接，係藉由匣基座11本身重量而自行實現。

接著，在如此般載置之匣基座11之面11a配置裂斷刀1(步 驟S2)。裂斷刀1，以其刀前端1a朝向上方之態樣配置。在該裂斷刀1之配置時，成為匣基座11之面11b傾斜，且匣基座11所具備之裂斷刀用定位銷14a位於治具長邊方向之下方端附近的狀態。亦即，裂斷刀1、與面11b及 裂斷刀用定位銷14a之配置關係，類似於匣基座11、與傾斜面201及匣基座用定位銷202a之配置關係。因此，裂斷刀1之相對於面11b及裂斷刀用定位銷14a之抵接，為自行實現者。

接著，將按壓板12重疊於裂斷刀1之上(步驟S3)，但在配 置該按壓板12時之按壓板12與面11b及按壓板用定位銷14b之配置關係，亦類似於匣基座11、與傾斜面201及匣基座用定位銷202a之配置關係。因此，按壓板12之相對於面11b及按壓板用定位銷14b之抵接，亦為自行實現者。

當以如以上之態樣完成裂斷刀1及按壓板12之配置時，接 下來，藉由使夾緊手柄203b往以箭頭AR3所示之方向旋動，進行匣夾具203之夾緊(步驟S4)。藉由該夾緊，在基準面202與匣夾具203之抵接部203a之間，將在匣基座11與按壓板12之間夾持有裂斷刀1之重疊體夾持固定。 在該夾持固定之狀態中，將匣基座11抵接於基準面202，重疊於其上方之裂斷刀1及按壓板12亦依序抵接，因此其結果為，實現該等匣基座11、裂斷刀1、及按壓板12以基準面202為基準而定位之狀態。

然後，在已完成該夾緊之狀態下，從按壓板12之前面12c側，進行固定螺釘13之螺止，在匣基座11與按壓板12之間夾持固定裂斷刀1(步驟S5)。然後，若完成夾持固定，則解除匣夾具203之夾緊(步驟S6)。藉此，可獲得固定保持有裂斷刀1之裂斷刀用匣10。

根據以上之順序，由於在裂斷刀1、匣基座11與按壓板12始終配置在相同位置之狀態下，完成固定螺釘13之固定，因此，藉由匣基座11與按壓板12夾持固定時之裂斷刀1之固定位置當然始終是相同的。亦 即，即使更換裂斷刀1，裂斷刀用匣10中的裂斷刀1之固定位置亦再現。而且，固定螺釘13之螺止係以預先藉由夾緊動作而被夾持固定者為對象，因此在對螺釘施加力時，可避免在按壓板12或裂斷刀1產生位置偏移。

亦即，若使用本實施形態之固定用治具，則在藉由預先固定保持有裂斷刀之裂斷刀用匣之夾緊固定而進行裂斷刀相對於裂斷裝置之安裝時，能夠再現性佳地進行裂斷刀相對於裂斷刀用匣之固定。

Claims (9)

1. 一種裂斷裝置，係藉由使裂斷刀抵接於脆性材料基板而對該脆性材料基板進行裂斷，其特徵在於：具備在固定保持有該裂斷刀的狀態下相對於該裂斷裝置裝卸自如之裂斷刀用匣；藉由將固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣安裝在該裂斷裝置之被安裝部而使該裂斷刀成為安裝狀態；該被安裝部，具有一對定位構件，該一對定位構件係相互分離，且各個的前端部成為與彈性體連結之球面狀突起；該裂斷刀用匣，具有一對卡止部，該等卡止部分別具有可與該一對定位構件之一方卡合的槽部；在該被安裝部中的固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣之安裝時，該一對定位構件之各個該突起以對該一對卡止部一方之槽部施予彈壓力的狀態而卡止。
2. 如申請專利範圍第1項之裂斷裝置，其中，該被安裝部，具有藉由手柄之旋動動作而可夾緊固定及解除該夾緊固定之夾緊部；該被安裝部中的該裂斷刀用匣之安裝，係藉由該夾緊部之夾緊固定而完成。
3. 如申請專利範圍第2項之裂斷裝置，其中，該被安裝部，具有以該裂斷刀之刀前端成為水平之態樣從下方支承固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣的支承部；該裂斷刀用匣在由該支承部支承的狀態下藉由該夾緊部固定。
4. 如申請專利範圍第2或3項之裂斷裝置，其中，該被安裝部，具有於垂直方向延伸之基準面；固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣，藉由透過該夾緊部的夾緊動作而在該基準面與該夾緊部所具備之抵接部之間夾持該裂斷刀用匣而被固定。
5. 一種裂斷刀往裂斷裝置之安裝方法，該裂斷裝置係藉由使裂斷刀抵接於脆性材料基板而對該脆性材料基板進行裂斷，其特徵在於；預先將該裂斷刀固定保持在裂斷刀用匣，在預先設置於該裂斷裝置之對該裂斷刀用匣裝卸自如之被安裝部，安裝固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣；在該被安裝部，安裝固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣時，使在該被安裝部中呈相互分離而具備、且各個前端部成為與彈性體連結之球面狀突起的一對定位構件之各個該突起，在對該裂斷刀用匣所具備之具有分別可與該一對定位構件之一方卡合之槽部的一對卡止部一方之該槽部施予彈壓力的狀態下卡止。
6. 如申請專利範圍第5項之裂斷刀往裂斷裝置之安裝方法，其中，藉由夾緊部之夾緊固定進行該被安裝部中的該裂斷刀用匣之安裝，該夾緊部係設於該被安裝部，且藉由手柄之旋動動作而可夾緊固定及解除該夾緊固定。
7. 如申請專利範圍第6項之裂斷刀往裂斷裝置之安裝方法，其中，對固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣，以使其在該裂斷刀之刀前端成為水平之態樣藉由從下方進行支承之支承部而支承的狀態，藉由設於該被安裝部之該夾緊部而進行固定。
8. 如申請專利範圍第6或7項之裂斷刀往裂斷裝置之安裝方法，其中，在使固定保持有該裂斷刀之該裂斷刀用匣抵接於在垂直方向延伸之基準面的狀態下，藉由設於該被安裝部之該夾緊部中的夾緊動作而在該基準面與該夾緊部所具備之抵接部之間夾持該裂斷刀用匣，藉此固定該裂斷刀用匣。
9. 一種裂斷刀用匣，係以固定保持有裂斷刀的狀態，安裝於申請專利範圍第1至4項中任一項之裂斷裝置之該被安裝部，其特徵在於：在以遍及刀長度方向整體僅使該裂斷刀之刀前端附近露出之態樣在基座構件與按壓板之間夾持有該裂斷刀的狀態下，藉由螺止固定該基座構件與該按壓板，而固定保持該裂斷刀；該基座構件，藉由具有相互垂直的第1部分與第2部分而剖面觀察呈L字狀；在固定保持該裂斷刀時，在使與該裂斷刀之該刀前端對向之端部與該按壓板抵接於該第2部分的狀態下，在該第1部分與該按壓板之間夾持該裂斷刀；該基座構件之該第1部分，在長邊方向之一端部具備有該裂斷刀用之定位構件與該按壓板用之定位構件；在固定保持該裂斷刀時，該裂斷刀之長邊方向之一端部抵接於該裂斷刀用之定位構件，該按壓板之長邊方向之一端部抵接於該按壓板用之定位構件。