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TWI535671B - 玻璃膜的製造裝置以及製造方法 - Google Patents

玻璃膜的製造裝置以及製造方法 Download PDF

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TWI535671B
TWI535671B TW100125793A TW100125793A TWI535671B TW I535671 B TWI535671 B TW I535671B TW 100125793 A TW100125793 A TW 100125793A TW 100125793 A TW100125793 A TW 100125793A TW I535671 B TWI535671 B TW I535671B
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寺西妥夫
西島浩治
森浩一
江田道治
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日本電氣硝子股份有限公司
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Description

玻璃膜的製造裝置以及製造方法
本發明是有關於一種玻璃膜的製造技術的改良。
近年來，圖像顯示裝置正從陰極射線管(Cathode-Ray Tube，CRT)顯示器而替換為比CRT顯示器更為輕量且薄型的液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)、電漿顯示器(Plasma display panel，PDP)、場發射顯示器(field emission display，FED)、有機電致發光二極體顯示器(Organic Light-Emitting Diode，OLED)等的平板顯示器(Flat Panel Display，FPD)。因要對該些FPD進一步推進輕量化，從而必需將作為FPD的主要構成構件之一的玻璃基板進一步薄板化。
而且，例如有機EL不僅用於藉由TFT使光的三原色閃爍的顯示器用途，而且亦僅以單色(例如白色)發光來作為LCD的背光源或室內照明的光源等的平面光源而加以利用。將有機EL用作光源的照明裝置中，只要構成有機EL的玻璃基板具有可撓性，便可使發光面自由地變形。因此，自確保充分的可撓性的觀點來看，對於此種照明裝置中所使用的玻璃基板進一步推進薄板化(玻璃膜化)。
此處，作為玻璃膜(薄板玻璃)的製造方法，有例如以下所示的專利文獻1中所揭示的製造方法。詳細而言，藉由所謂的下拉法以將玻璃母材向鉛垂下方抽出的方式成形出玻璃膜帶，一面使玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向 下游側移送該玻璃膜帶，藉此將玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，然後，對玻璃膜帶實施寬度方向的切斷加工，從而獲得規定尺寸的薄板玻璃。另外，根據玻璃膜帶的板厚的不同，亦會有如下情況：在前進方向轉換為水平方向後，不實施寬度方向的切斷加工，而捲取於捲芯從而獲得所謂的玻璃捲。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開平9-52725號公報
作為用以轉換玻璃膜帶的前進方向的機構，如上述專利文獻1中所記載般，通例為使用形成彎曲成圓弧狀的移送路徑的輸送帶或者多個輥體，而且，作為該輸送帶或者輥體，通例為對玻璃膜帶的寬度方向全域進行接觸支持。然而，若在對玻璃膜帶的寬度方向全域進行接觸支持的狀態下轉換玻璃膜帶的前進方向，則伴隨與輸送帶等的接觸，而容易在玻璃膜帶的表面、尤其成為最終製品(玻璃膜)的寬度方向中央區域的表面形成劃痕或裂紋等的缺陷。此種缺陷大多情況下是無法利用目視而發現的微小缺陷，若將具有缺陷的玻璃膜直接供給至後步驟中，則在後步驟中實施規定的追加工時，玻璃膜容易產生未預料到的破損等。若玻璃膜破損等，則會對生產效率或製品良率造成非常大的不良影響。
本發明的目的在於在將玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方 向轉換為水平方向時，儘可能地防止在玻璃膜帶表面形成微小缺陷，藉此，儘可能地降低後步驟中流出次品的可能性。
為了達成上述目的而完成的玻璃膜的製造裝置的第1發明包括方向轉換裝置，該方向轉換裝置一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造裝置的特徵在於：方向轉換裝置包括以使玻璃膜帶在長度方向上彎曲的狀態來支持該玻璃膜帶的彎曲支持機構，彎曲支持機構包括兩列端部支持部，該兩列端部支持部不支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域而支持寬度方向端部區域。
另外，本發明中所提及的「鉛垂方向」中亦包含相對於鉛垂方向稍微傾斜的方向，同樣地，「水平方向」中亦包含相對於水平方向稍微傾斜的方向。而且，本發明中所提及的「玻璃膜」中，包含切斷為規定尺寸的薄板玻璃或捲取成捲狀的薄板玻璃(所謂的玻璃捲)等。以下所示的本發明的其他構成中亦同樣。
自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶的寬度方向端部區域由輥等來把持，且藉由牽引來控制其厚度，因此玻璃膜帶中的成為有效部的部分限於寬度方向中央區域。因此，如上述般，若彎曲支持機構包括不支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域而支持寬度方向端部區域的兩列端部支持部，則能夠避免玻璃膜帶彎曲移送時的玻璃膜帶的寬度方 向中央區域與彎曲支持機構的接觸。藉此，難以在玻璃膜帶的寬度方向中央區域，亦即有效部形成微小缺陷，從而後步驟中難以流出玻璃膜的次品。
而且，為了達成上述目的而完成的玻璃膜的製造裝置的第2發明包括方向轉換裝置，該方向轉換裝置一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造裝置的特徵在於：方向轉換裝置包括以使玻璃膜帶在長度方向上彎曲的狀態來支持該玻璃膜帶的彎曲支持機構，該彎曲支持機構包括：支持玻璃膜帶的寬度方向端部區域的兩列端部支持部，及位於該兩列端部支持部之間且可支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域的中央支持部，該中央支持部構成為可在支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域的支持位置與不支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域的退避位置之間來回移動。
在玻璃膜帶的成形初始階段，因玻璃膜帶的前端部處於自由的狀態故本來成形精度難以穩定，若從成形開始階段不對玻璃膜帶的寬度方向中央區域進行任何支持，則直至成形精度穩定為止的時間變長，而導致生產效率降低或良率降低。與此相對，若彎曲支持機構包括位於兩列端部支持部之間且可在上述態樣下來回移動的中央支持部，則能夠容易地切換玻璃膜帶的寬度方向中央區域的支持/非支持。因此，例如在直至玻璃膜帶的成形精度穩定為止的期間(從成形開始到經過規定時間為止的期間)，若中央支 持部採用支持位置，另一方面，在經過規定時間後，中央支持部採用退避位置，則難以在玻璃膜帶的寬度方向中央區域，亦即有效部形成微小缺陷，此外可縮短直至玻璃膜帶的成形精度穩定為止的時間，從而可達成生產效率或良率的提高。另外，因玻璃膜帶的成形初始部對於實際使用而言基本上毫無用處，故即便在該成形初始部形成劃痕或裂紋等亦不會有特別的問題。
而且，為了達成上述目的而完成的玻璃膜的製造裝置的第3發明包括方向轉換裝置，該方向轉換裝置一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造裝置的特徵在於：方向轉換裝置包括以使玻璃膜帶在長度方向上彎曲的狀態來支持該玻璃膜帶的彎曲支持機構，該彎曲支持機構包括：支持玻璃膜帶的寬度方向端部區域的兩列端部支持部，及位於該兩列端部支持部之間且可非接觸支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域的中央支持部。
根據以此方式而構成的製造裝置，在玻璃膜帶的彎曲移送時，可避免玻璃膜帶的寬度方向中央區域與彎曲支持機構的接觸。因此，能夠儘可能地防止在玻璃膜帶的寬度方向中央區域，亦即有效部形成微小缺陷。
此時，中央支持部可構成為，能夠在非接觸支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域的支持位置與不支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域的退避位置之間來回移動。
作為用以非接觸支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域的具體的機構的一例，考慮將彎曲支持機構的中央支持部設為包括可朝向玻璃膜帶噴射空氣的空氣供給路徑。
如此，能夠利用空氣的噴射壓(形成在彎曲支持機構的中央支持部與玻璃膜帶之間的空氣層)來對玻璃膜帶的寬度方向中央區域進行非接觸支持。此外，若在彎曲支持機構的中央支持部與玻璃膜帶之間形成空氣層，則可利用該空氣層吸收玻璃膜帶各部間的基於板厚差的應力的變化。因此，玻璃膜帶、進而玻璃膜的成形精度提高。
以上的構成中，彎曲支持機構的兩列端部支持部亦可包括朝向玻璃膜帶噴射空氣的空氣供給路徑。
如此，可非接觸支持玻璃膜帶的寬度方向端部區域。藉此，能夠儘可能地防止伴隨彎曲支持機構(端部支持部)與玻璃膜帶的接觸的玻璃膜帶的朝向寬度方向端部區域的微小缺陷的形成。因此，在寬度方向端部區域形成微小缺陷而造成的不良影響難以波及到作為有效部的寬度方向中央區域。
兩列端部支持部接觸支持玻璃膜帶的寬度方向端部區域，此時，兩列端部支持部可構成為以與玻璃膜帶的向下游側的移送速度大致相同的速度來進行驅動。
如此，玻璃膜帶的彎曲移送是在玻璃膜帶與端部支持部恰好一體化的狀態下進行，因此能夠儘可能地防止玻璃膜帶與端部支持部的相對的滑動移動。因此，能夠儘可能地防止在玻璃膜帶的寬度方向端部區域形成微小缺陷而造 成的不良影響波及到作為有效部的寬度方向中央區域的事態的發生。
以上的構成較佳地應用於成形的玻璃膜帶的寬度方向中央部(中央部附近)的板厚為10μm以上300μm以下的情況。
在玻璃膜帶的寬度方向中央部的板厚低於10μm的情況下，玻璃膜帶的剛性(強度)不足。因此，此時，玻璃膜帶的自重所引起的撓曲變大，因該撓曲的部分與製造裝置的未預料到的接觸而產生裂紋(微小缺陷)的概率增高。另一方面，上述態樣下成形的玻璃膜帶中，寬度方向端部區域的板厚容易比寬度方向中央區域的板厚更厚。因此，在寬度方向中央部的板厚大於300μm的情況下，因寬度方向端部區域的板厚變得過厚，故難以使玻璃膜帶彎曲。因此，本發明適合於成形的玻璃膜帶的寬度方向中央部(中央部附近)的板厚為10μm以上300μm以下的情況。
以上的構成中，較理想的是成形裝置藉由溢流下拉法而成形出玻璃膜帶。
由玻璃膜帶而獲得的玻璃膜被用作例如FPD用的玻璃基板，在此種用途中，因在玻璃膜表面設置微細的元件或配線的作業為後步驟，故玻璃膜帶必需具備高平滑性(平面度(flatness))。就該點而言，若採用溢流下拉法，則是在表面僅與外部氣體(環境氣體)接觸的狀態下進行玻璃膜帶的成形，因此比起溝槽式下拉法等的使用噴嘴的成形法，能夠確保玻璃膜帶更高的平面度。另外，同樣的效果 可藉由使用如下的成形裝置而獲得：對暫時固化的二次加工用的玻璃母材進行加熱而將其拉伸，藉由所謂的再拉法成形出玻璃膜帶。
為了達成上述目的而完成的玻璃膜的製造方法的第1發明包括方向轉換步驟，該方向轉換步驟一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造方法的特徵在於：在方向轉換步驟中，支持玻璃膜帶的寬度方向端部區域，並且，不支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域。
根據此種製造方法，可有效地實現與採用上述玻璃膜的製造裝置的第1發明的情況同樣的作用效果。
而且，為了達成上述目的而完成的玻璃膜的製造方法的第2發明包括方向轉換步驟，該方向轉換步驟一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造方法的特徵在於：在方向轉換步驟中，支持玻璃膜帶的寬度方向端部區域，並且，在支持與不支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域的狀態之間進行切換。
根據此種製造方法，可有效地實現與採用上述玻璃膜的製造裝置的第2發明的情況同樣的作用效果。
而且，為了達成上述目的而完成的玻璃膜的製造方法的第3發明包括方向轉換步驟，該方向轉換步驟一面使自 成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將波璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造方法的特徵在於：在方向轉換步驟中，支持玻璃膜帶的寬度方向端部區域，並且，非接觸支持玻璃膜帶的寬度方向中央區域。
根據此種製造方法，可有效地實現與採用上述玻璃膜的製造裝置的第3發明的情況同樣的作用效果。
以上所示，根據本發明，在將玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向時，能夠儘可能地防止在玻璃膜帶形成微小缺陷。藉此，能夠儘可能地降低後步驟中流出玻璃膜的次品的可能性，從而有助於提高後步驟的加工效率或良率。
以下，根據圖式對本發明的實施形態進行說明。
圖1是本發明的一實施形態的玻璃膜的製造裝置1的部分概略側視圖。該圖所示的製造裝置1至少包括：使玻璃膜帶G成形的成形裝置10，設置於成形裝置10的下游側的方向轉換裝置20，及設置於方向轉換裝置20的下游側且將玻璃膜帶G的寬度方向端部區域(寬度方向兩端部)切斷的端部切斷裝置30。在端部切斷裝置30的下游側，進而設置著將玻璃膜帶G捲取成捲狀而獲得玻璃膜的捲體(玻璃捲)的捲取裝置，或者藉由將玻璃膜帶G沿寬度方向切斷而獲得規定尺寸的薄板玻璃的寬度方向切斷裝置 (均省略圖示)。
成形裝置10藉由將熔融玻璃向鉛垂下方抽出而成形出玻璃膜帶G，且在該成形裝置10內部自鉛垂上方朝鉛垂下方而依次設置著成形區域10A、緩冷區域10B及冷卻區域10C。在成形區域10A配置著剖面楔狀的成形體11，在緩冷區域10B及冷卻區域10C，將輥體12以規定間隔而配置著多個。輥體12以夾持玻璃膜帶G的方式，在玻璃膜帶G的表面側及背面側成對地設置著。分別配置在緩冷區域10B及冷卻區域10C的輥體12(輥體12的組)中，至少位於緩冷區域10B的最上部的輥體12，作為用以冷卻玻璃膜帶G的冷卻輥而發揮功能，並且，作為用以將玻璃膜帶G向鉛垂下方抽出的驅動輥而發揮功能。配置在緩冷區域10B的其他輥體12的一部分或全部、及配置在冷卻區域10C的輥體12的一部分或全部，可為空轉的自由輥(導引輥)，亦可為驅動輥。
具備上述構成的成形裝置10以如下方式成形出玻璃膜帶G。首先，當自圖示外的熔融爐向成形體11供給熔融玻璃時，使熔融玻璃自成形體11的頂部溢出，溢出的熔融玻璃沿著成形體11的兩側面而於成形體11的下端合流，藉此玻璃膜帶G的成形開始。以後，藉由對成形體11連續地供給熔融玻璃，而連續地成形出玻璃膜帶G。以此方式成形的玻璃膜帶G直接向鉛垂下方流下，並藉由通過設置於成形區域10A的下方的緩冷區域10B而得以緩冷，從而將殘留應變除去。而且，若殘留應變已被除去的玻璃膜 帶G通過冷卻區域10C，則玻璃膜帶G被冷卻至室溫程度的溫度為止。
以上所示的玻璃膜帶G的成形方法為所謂的溢流下拉法。溢流下拉法中，因在表面僅與外部氣體(成形裝置10中的環境氣體)接觸的狀態下進行玻璃膜帶G的成形，故具有可確保玻璃膜帶G高平面度的優點。因此，在將由該玻璃膜帶G而獲得的玻璃膜用作例如FPD用的玻璃基板的情況下，能夠容易且高精度地在表面形成微細的元件或配線。
自成形裝置10的下端排出的(已通過冷卻區域10C的)玻璃膜帶G被移送(移載)至方向轉換裝置20，藉由沿著方向轉換裝置20來移送玻璃膜帶G，從而該玻璃膜帶G的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向。
該方向轉換裝置20包括以使玻璃膜帶G在長度方向上彎曲的狀態來支持該玻璃膜帶G的彎曲支持機構21。本實施形態的彎曲支持機構21如圖2a、圖2b所示，包括不支持玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb而支持寬度方向端部區域Ga、Ga的兩列端部支持部22、22。亦即，本實施形態的彎曲支持機構21不包括支持玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb的機構。各端部支持部22包括輥體24的列，該輥體24以形成按照規定的曲率彎曲的圓弧狀的移送路徑的方式沿著玻璃膜帶G的長度方向而以規定間隔配置著，且接觸支持玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga。
本實施形態中，端部支持部22包括的所有輥體24包 括旋轉驅動的驅動輥。各輥體24的旋轉速度被設定成與玻璃膜帶G的向下游側的移送速度(前進速度)大致相同的速度。為了抑制或防止在玻璃膜帶G形成劃痕等，較理想的是輥體24中至少與玻璃膜帶G接觸的部分由樹脂或橡膠等的彈性材料(軟質材料)形成。
因方向轉換裝置20具有以上的構成，故當玻璃膜帶G沿著該方向轉換裝置20(方向轉換步驟)而向下游側移送時，玻璃膜帶G在長度方向上彎曲成圓弧狀。這樣，玻璃膜帶G以在長度方向上彎曲的狀態而向下游側移送，藉此玻璃膜帶G的前進方向自鉛垂方向轉換成水平方向。而且，當玻璃膜帶G到達端部切斷裝置30時，玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga、Ga被切斷。雖省略詳細的圖示及說明，但作為端部切斷裝置30，可使用所謂的割斷裝置或雷射切斷裝置等。藉此，玻璃膜帶G被分割為寬度方向端部區域Ga與寬度方向中央區域Gb。寬度方向端部區域Ga被廢棄，另一方面，寬度方向中央區域Gb進而向下游側移送且在寬度方向上被切斷，從而被加工成規定長度的玻璃膜(玻璃捲或者規定尺寸的薄板玻璃)。另外，此處，在切斷寬度方向端部區域Ga、Ga後，進行寬度方向的切斷，亦可與此相反地，在進行寬度方向的切斷加工之後，切斷寬度方向端部區域Ga、Ga。
如上述般，玻璃膜帶G中成為有效部的部分限於玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb。因此，如上述般，只要彎曲支持機構21包括不支持玻璃膜帶G的寬度方向中央 區域Gb而支持寬度方向端部區域Ga、Ga的兩列端部支持部22、22，則可避免彎曲移送中的玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb與彎曲支持機構21的接觸。藉此，能夠儘可能地防止在作為有效部的寬度方向中央區域Gb形成微小缺陷，從而能夠儘可能地降低後步驟中流出玻璃膜的次品的可能性。
而且，在兩列端部支持部22、22包括輥體24的列的本實施形態中，其中該輥體24接觸支持玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga、Ga且包括驅動輥，是將輥體24的旋轉速度設定成與玻璃膜帶G的向下游側的移送速度大致相同的速度，因此玻璃膜帶G的方向轉換(彎曲狀態下的向下游側的移送)，是在輥體24(端部支持部22)與玻璃膜帶G恰好一體化的狀態下進行。藉此，能夠儘可能地防止玻璃膜帶G與端部支持部22的相對的滑動移動，從而難以在玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga形成微小缺陷。因此，在寬度方向端部區域Ga形成微小缺陷而造成的不良影響難以波及到寬度方向中央區域Gb。
另外，特別是在即便玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga與端部支持部22相對地滑動移動亦不會有特別問題的情況下，端部支持部22可僅包括空轉的輥體24(導引輥)，亦可一部分包括旋轉驅動的輥體而其他部分包括空轉的輥體。
在上述態樣下將玻璃膜帶G彎曲移送時，在玻璃膜帶G的寬度方向中央部的板厚低於10μm的情況下，因玻璃 膜帶G的剛性(強度)不足，故玻璃膜帶G的自重所引起的寬度方向的撓曲變大。此時，因撓曲的部分與製造裝置的未預料到的接觸而容易產生裂紋等的微小缺陷。而且，上述態樣下成形的玻璃膜帶G中，寬度方向端部區域Ga的板厚容易比寬度方向中央部的板厚更厚。因此，在寬度方向中央部的板厚大於300μm的情況下，因寬度方向端部區域Ga的板厚變得過厚，故難以使玻璃膜帶G以規定的曲率彎曲。因此，作為成形裝置10，較理想的是可使用成形出寬度方向中央部(中央部附近)的板厚為10μm以上300μm以下的玻璃膜帶G的成形裝置。
另外，若考慮到玻璃膜帶G的彎曲變形性，則作為成形裝置10，更佳為可成形出寬度方向中央部的板厚為200μm以下的玻璃膜帶G的成型裝置，進而較佳為可成形100μm以下，最佳為可成形50μm以下。
以上，對本發明的玻璃膜的製造裝置的一實施形態進行說明，但本發明並不限定於此，尤其對於方向轉換裝置20可實施各種變更。
圖3a及圖3b表示本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置的要部立體圖。兩圖表示圖2a、圖2b所示的方向轉換裝置20的變形例，詳細而言，彎曲支持機構21包括：支持玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga、Ga的兩列端部支持部22、22，及位於該端部支持部22、22間的可支持玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb的中央支持部23，且該中央支持部23構成為，能夠在支持(接觸支持) 玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb的支持位置(圖3a)與不支持玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb的退避位置(圖3b)之間來回移動。
此種構成較佳地應用於在玻璃膜帶G的成形開始後欲使玻璃膜帶G的成形精度提前穩定的情況。
亦即，在玻璃膜帶G的成形初始階段，因玻璃膜帶G的前端部處於自由的狀態而本來成形精度難以穩定，若從玻璃膜帶G的成形開始階段不對玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb進行任何支持，則直至成形精度穩定為止的時間變長，而導致生產效率降低或良率降低。與此相對，若彎曲支持機構21包括可在上述態樣下來回移動的中央支持部23，則能夠容易地切換玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb的支持/非支持。因此，在直至玻璃膜帶G的成形精度穩定為止的期間(從成形開始到經過規定時間為止的期間)，若中央支持部23在支持位置待機，另一方面，經過規定時間後，中央支持部23退避至退避位置，則難以在玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb，亦即有效部形成微小缺陷，此外可縮短直至玻璃膜帶G的成形精度穩定為止的時間，從而可達成生產效率或良率的提高。
而且，方向轉換裝置20在非接觸支持寬度方向端部區域Ga、Ga的狀態下將玻璃膜帶G向下游側彎曲移送，藉此可將玻璃膜帶G的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向。此種構成如例如圖4a及圖4b所示，可藉由如下而獲得，即，各端部支持部22包含包括可朝向玻璃膜帶G噴 射空氣的空氣供給孔(空氣噴射孔)的輥體25的列。作為此種輥體25，例如，可使用由燒結金屬、多孔質樹脂(發泡樹脂)、陶瓷等的多孔質材料而形成的輥體，亦可使用在非多孔質的構件穿設貫通孔而成的輥體。另外，此時，輥體25中，至少設置具有可對玻璃膜帶G賦予上浮力的方向性的空氣供給孔。此外，亦可設置具有可對玻璃膜帶G賦予朝向下游側的移送力的方向性的空氣供給孔。
根據此種構成，在玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga、Ga與彎曲支持機構21的端部支持部22為非接觸的狀態下，進行玻璃膜帶G的向下游側的彎曲移送，因此難以在玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga、Ga形成微小缺陷。藉此，能夠儘可能地防止在寬度方向端部區域Ga、Ga形成微小缺陷而造成的不良影響波及到寬度方向中央區域Gb的事態的發生，從而可獲得更高品質的玻璃膜。
而且，方向轉換裝置20的彎曲支持機構21如圖5a及圖5b所示，亦可包括：非接觸支持玻璃膜帶G的寬度方向端部區域Ga、Ga的兩列端部支持部22、22，及位於該端部支持部22、22間且非接觸支持玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb的中央支持部23。本實施形態中，由具有空氣供給孔且以將玻璃膜帶G在寬度方向上橫切的方式而延伸的輥體26的列，來構成兩列端部支持部22、22及中央支持部23。
即便在此種情況下，在玻璃膜帶G的彎曲移送時，亦能夠避免玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb與彎曲支持 機構21的接觸。因此，能夠儘可能地防止在玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb，亦即有效部形成微小缺陷。尤其，中央支持部23包括的各輥體26具有空氣供給孔，因此在玻璃膜帶G的彎曲移送中，能夠在彎曲支持機構21的中央支持部26與玻璃膜帶G之間形成空氣層。若形成此種空氣層，則可吸收玻璃膜帶G的各部間的基於板厚差的應力的變化。因此，亦可提高玻璃膜帶G、進而玻璃膜的成形精度。
另外，圖5a及圖5b所示的彎曲支持機構21中一體地設置著兩列端部支持部22、22與中央支持部23，但亦可將該些分離獨立，而與圖3a、圖3b所示的實施形態同樣地，中央支持部23亦可構成為，能夠在支持(非接觸支持)玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb的支持位置與不支持玻璃膜帶G的寬度方向中央區域Gb的退避位置之間來回移動。
以上所說明的實施形態中，兩列端部支持部22、22與中央支持部23均包括沿著玻璃膜帶G的長度方向以規定間隔配置的輥體的列，但兩列端部支持部22、22及中央支持部23的任一方或雙方亦可如圖6a、圖6b所示，包括以沿著玻璃膜帶G的長度方向彎曲的方式而延伸的輸送帶。另外，圖6a表示彎曲支持機構21僅包括兩列端部支持部22、22，而各端部支持部22包括輸送帶的情況下的一例，圖6b表示彎曲支持機構21包括兩列端部支持部22、22與中央支持部23，而兩支持部22、23包括輸送帶 的情況下的一例。
而且，以上，對將本發明應用於組裝著成形裝置10的玻璃膜的製造裝置1的情況進行了說明，該成形裝置10藉由所謂的溢流下拉法來進行玻璃膜帶G的成形，但本發明亦可較佳地應用於組裝著如下的成形裝置的玻璃膜的製造裝置1中，該成形裝置藉由對已固化的二次加工用的玻璃母材進行加熱而將其拉伸的所謂的再拉法，來進行玻璃膜帶G的成形。
1‧‧‧玻璃膜的製造裝置
10‧‧‧成形裝置
10A‧‧‧成形區域
10B‧‧‧緩冷區域
10C‧‧‧冷卻區域
11‧‧‧成形體
12、24、25‧‧‧輥體
20‧‧‧方向轉換裝置
21‧‧‧彎曲支持機構
22‧‧‧端部支持部
23‧‧‧中央支持部
26‧‧‧輥體/中央支持部
30‧‧‧端部切斷裝置
G‧‧‧玻璃膜帶
Ga‧‧‧寬度方向端部區域
Gb‧‧‧寬度方向中央區域
圖1是本發明的實施形態的玻璃膜的製造裝置的部分概略側視圖。
圖2a是圖1的要部正面圖。
圖2b是圖1的要部立體圖。
圖3a是本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置的要部立體圖。
圖3b是本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置的要部立體圖。
圖4a是本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置的要部正面圖。
圖4b是本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置的要部立體圖。
圖5a是本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置的要部正面圖。
圖5b是本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置 的要部立體圖。
圖6a是本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置的要部立體圖。
圖6b是本發明的其他實施形態的玻璃膜的製造裝置的要部立體圖。
20‧‧‧方向轉換裝置
21‧‧‧彎曲支持機構
22‧‧‧端部支持部
24‧‧‧輥體
G‧‧‧玻璃膜帶
Ga‧‧‧寬度方向端部區域
Gb‧‧‧寬度方向中央區域

Claims (11)

  1. 一種玻璃膜的製造裝置，其包括方向轉換裝置，該方向轉換裝置一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將上述玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造裝置的特徵在於：上述方向轉換裝置包括以使上述玻璃膜帶在長度方向上彎曲的狀態來支持該玻璃膜帶的彎曲支持機構，該彎曲支持機構包括：支持上述玻璃膜帶的寬度方向端部區域的兩列端部支持部，及位於該兩列端部支持部之間且可支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的中央支持部，該中央支持部構成為可在支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的支持位置與不支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的退避位置之間來回移動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃膜的製造裝置，其中上述中央支持部位於上述支持位置時，接觸支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域。
  3. 一種玻璃膜的製造裝置，其包括方向轉換裝置，該方向轉換裝置一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將上述玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造裝置的特徵在於：上述方向轉換裝置包括以使上述玻璃膜帶在長度方向上彎曲的狀態來支持該玻璃膜帶的彎曲支持機構，該彎曲 支持機構包括：支持上述玻璃膜帶的寬度方向端部區域的兩列端部支持部，及位於該兩列端部支持部之間且可非接觸支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的中央支持部，其中上述中央支持部構成為，能夠在非接觸支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的支持位置與不支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的退避位置之間來回移動。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之玻璃膜的製造裝置，其中上述中央支持部包括朝向上述玻璃膜帶噴射空氣的空氣供給路徑。
  5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之玻璃膜的製造裝置，其中上述兩列端部支持部包括朝向上述玻璃膜帶噴射空氣的空氣供給路徑。
  6. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之玻璃膜的製造裝置，其中上述兩列端部支持部接觸支持上述玻璃膜帶的寬度方向端部區域，且構成為以與上述玻璃膜帶的向下游側的移送速度大致相同的速度來進行驅動。
  7. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之玻璃膜的製造裝置，其中上述玻璃膜帶的寬度方向中央部的板厚為10μm以上300μm以下。
  8. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之玻璃膜的製造裝置，其中上述成形裝置藉由溢流下拉法而成形出上述玻璃膜帶。
  9. 一種玻璃膜的製造方法，其包括方向轉換步驟，該方向轉換步驟一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜 帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將上述玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造方法的特徵在於：在上述方向轉換步驟中，支持上述玻璃膜帶的寬度方向端部區域，並且，在支持與不支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的狀態之間進行切換。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之玻璃膜的製造方法，其中支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的狀態為接觸支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域。
  11. 一種玻璃膜的製造方法，其包括方向轉換步驟，該方向轉換步驟一面使自成形裝置向鉛垂下方抽出的玻璃膜帶在長度方向上彎曲一面向下游側移送該玻璃膜帶，藉此將上述玻璃膜帶的前進方向自鉛垂方向轉換為水平方向，該玻璃膜的製造方法的特徵在於：在上述方向轉換步驟中，支持上述玻璃膜帶的寬度方向端部區域，並且，在非接觸支持與不支持上述玻璃膜帶的寬度方向中央區域的狀態之間進行切換。
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