TWI595441B - 使用等高線圖之趨勢動態感測器成像以在單一視圖內顯現多個趨勢資料集 - Google Patents

Description

使用等高線圖之趨勢動態感測器成像以在單一視圖內顯現多個趨勢資料集

本發明係與資料視覺化相關，更確切地說，本發明係與用於分析實體程序之資料視覺化相關。

資料視覺化係用來轉換大量資料為便於管理及有用形式之技術。對於分析實體製程(如半導體製造)來說，資料視覺化係為特別有用；其中相較於個別使用者藉由簡單檢閱原始數值資料以有效率地使用心智處理之資料量，感測器藉由幫助使用者快速檢閱感測器資料以提供更多資料，以便可有效地作出關於實體製程之決定。

在一些應用中，使用者將能受益於使用資料視覺化以檢閱在一段時間內來自許多不同資料來源之資料，使得使用者將能夠辨別隨時間推移之資料趨勢。

100‧‧‧網路架構

102‧‧‧趨勢DSI系統

104‧‧‧實體製程系統

106‧‧‧資料來源

108‧‧‧資料收集器

110‧‧‧資料集

112‧‧‧持續存儲單元

114‧‧‧預先處理工具

116‧‧‧GUI產生器

118‧‧‧客戶端機器

200‧‧‧方法

202‧‧‧步驟

204‧‧‧步驟

206‧‧‧步驟

208‧‧‧步驟

210‧‧‧步驟

300‧‧‧方法

302‧‧‧步驟

304‧‧‧步驟

306‧‧‧步驟

308‧‧‧步驟

310‧‧‧步驟

1600‧‧‧電腦裝置

1602‧‧‧處理器

1604‧‧‧主記憶體

1606‧‧‧靜態記憶體

1608‧‧‧匯流排

1610‧‧‧影像顯示器

1612‧‧‧文數字輸入裝置

1614‧‧‧游標控制裝置

1616‧‧‧資料存儲裝置

1620‧‧‧信號產生裝置

1622‧‧‧網路介面裝置

1624‧‧‧電腦可讀取媒體

1626‧‧‧指令

1628‧‧‧網路

本案係藉由範例方式說明，但並不被附圖之圖式所 限制。

第1圖圖示趨勢動態感測器成像(dynamic sensor imaging,DSI)系統之實施例。

第2圖圖示用於趨勢DSI之方法之一個實施例。

第3圖圖示用於趨勢DSI之方法之另一個實施例。

第4圖圖示根據本發明之一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第5圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第6圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第7圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第8圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第9圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第10圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第11圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第12圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第13圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI 之示例性螢幕截圖。

第14圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第15圖圖示根據本發明之另一個實施例之趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

第16圖圖示示例性電腦系統。

對於彩色圖式之請求

本專利之文件包含至少一個以彩色製作之圖/照片。將依據要求及必要費用之付清，藉由局提供帶有彩色圖/照片之本專利副本。

本發明之實施例係針對用於視覺化自實體製程得到之資料之方法及系統，該實體製程係使用趨勢動態感測器成像(dynamic sensor imaging,DSI)。在感興趣的時間框架中，趨勢DSI系統自複數個資料來源之每一個資料來源接收資料集，如來自半導體製造系統之感測器資料，其中資料來源可提供不同維度之資料。接著趨勢DSI系統可預先處理資料集中之資料，使得資料具有常見維度。資料一經預先處理後，系統便根據色彩漸層或尺度繪製已轉換資料，以顯示資料集於格子中。在這裡，使用者能有效率地及有效地細想用於異常(如離群值)偵測之大量資料，該異常如半導體製造製程之缺陷，及改變一個參數會如何影響其他參數。舉例而言，使用者可在單一視圖內查看多個SPC趨勢圖，及揭示及/或調查感興趣之特徵。

第1圖圖示範例網路架構100，可於該網路架構100 內操作本發明之實施例。在一個實施例中，網路架構100包含趨勢DSI系統102，連結該趨勢DSI系統102至實體製程系統104及複數個資料來源106(例如，經由如區域網路或網際網路之網路)。可藉由任何類型之計算裝置代管系統102，該任何類型之計算裝置包含桌上型電腦、膝上型電腦、手持電腦或相似計算裝置。

實體製程系統104可包含來自哪些資料可產生之不 同類型實體製程。舉例而言，實體製程系統104可包含製造工具。製造工具之例子包含半導體製造工具，如用於電子裝置製造之蝕刻器、化學氣相沉積特徵等。製造此類裝置包含大量製造步驟，該大量製造步驟包含不同類型之製造製程，該等不同類型之製造製程可被稱作製作方法。在另一例子中，實體製程系統104可包含生物醫學應用，其中實體製程導致如溫度及阻抗之參數隨時間推移而變化。實體製程系統104可包含任何類型之計算裝置，該任何類型之計算裝置包含桌上型電腦、膝上型電腦、手持電腦或相似計算裝置，以控制系統。

在其他實施例中，未連結實體製程系統104至系統 102。

架構100亦可包含資料來源106，該資料來源106 隨著時間推移產生關於實體製程系統104之資料。舉例而言，資料來源106可為感測器，該感測器偵測關於實體製程系統104之資訊。在半導體製造系統之例子中，大量感測器可偵測 關於製造工具之資料；舉例而言，其中該資料隨著時間推移可包含溫度、壓力、氣流及RF功率等。資料來源112可為實體製程系統104的一部分，或可連結該資料來源112至實體製程系統104(如藉由網路)。

每一個資料來源106產生資料集110，該資料集110 包含來自資料來源106之資料。系統102之資料收集器108可收集來自資料來源106之資料集110，及儲存該等資料集110於持續存儲單元112。

系統102亦可包含預先處理工具114，該預先處理 工具114係用來轉換資料集110之資料以具常見維度。因收回之資料集110皆有不同維度，故轉換資料集110之資料為常見維度，使得可在一個顯示器中，有意義地視覺化資料集110。舉例而言，相較於資料集110中的其他資料集，資料集110中的一個可具有較大範圍之數值(或尺度)。於此，若使用者欲視覺化僅繪於格子中之該等資料集110中的原始資料，使用者將無法理解於所有資料集110中之資料之相對變化。 換句話說，當以較大範圍之數值(或尺度)，按比例繪製於格子中以容納資料集110時，使用者將無法以較小範圍之數值(或尺度)感知資料集110中之變化。因此，必須轉換資料集110之資料以具常見維度，以在一個顯示器內一起有效地感知。

在一個實施例中，系統102包含圖形化使用者介面(GUI)產生器116，該產生器116產生GUI以顯示資料集110。特別的是，GUI產生器116係根據色彩漸層繪製已轉換資料 以顯示資料集110。GUI產生器116可產生GUI以說明隨著時間推移之用於大量資料集之資料趨勢。將於下文中更仔細地描述第4圖至第12圖，以說明能用於趨勢DSI系統102之示例性GUI。

可經由在一或多個客戶端機器118上之瀏覽器存取 藉由GUI產生器116產生之GUI。或者，在一個實施例中，GUI產生器可存在於客戶端機器118中，及可自預先處理工具114處經由網路接收已轉換資料。客戶端機器118可為任何類型之計算裝置，該計算裝置包含桌上型電腦、膝上型電腦、移動通訊裝置、行動電話、智慧型行動電話、手持電腦或相似計算裝置。

在一個實施例中，實體製程系統104、資料來源 106、持續存儲單元112及客戶端機器118連結至趨勢DSI系統102，該趨勢DSI系統102經由硬體介面(未圖示)或經由網路(未圖示)進行直接連結或間接連結。網路可為區域網路(LAN)，如公司內部之內部網路、無線網路、移動通訊網路；網路或可為廣域網路(WAN)，如網際網路或相似之通訊系統。網路可包含任何數量之網路連結及計算裝置，該計算裝置如有線及無線裝置。

如上文呈現的功能分工僅為舉例。在其他實施例 中，可將已描述之功能結合至整體元件，或可將已描述之功能細分至任何元件之結合。可在單一電腦系統、分散式電腦系統或單一電腦系統及分散式電腦系統之結合中，代管資料 收集器108、GUI產生器116、客戶端機器118及預先處理工具114。

第2圖圖示用於趨勢DSI之方法200之一個實施 例。可藉由處理邏輯執行方法200，該處理邏輯可包含硬體(例如電路、專用邏輯、可程式化邏輯、微碼等)、軟體(例如在處理裝置上執行之指令)或硬體及軟體之結合。在一個實施例中，藉由第1圖之趨勢DSI系統執行方法200。

在方塊202中，系統102的處理邏輯接收用於每一 個資料來源106之資料集110。趨勢DSI系統102可自資料來源106、持續存儲單元112或經由一些其他來源接收資料集110。

在方塊204中，系統102之預先處理工具114之處 理邏輯預先處理資料集110，以轉換資料以具常見維度。

在方塊206中，處理邏輯根據色彩漸層繪製已轉換 資料於格子中，以顯示預先處理之資料集。在實施例中，顯示已轉換資料於XYZ格子中，其中X軸係為樣本數目、Y軸係為資料集及Z軸為被繪製成色彩漸層中的顏色之資料之已轉換值。舉例而言，用於半導體製造之實施例中，X為樣本數目、Y為感測器及Z為感測器之已轉換值。色彩漸層用於顯示Z值於格子中。在一個實施例中，已轉換資料經由查找表而與色彩漸層有關。

在一個實施例中，X為基於時間之值。然而，X並 不被此所限制，及X可為基於工具/腔室之值；例如，其中來自A腔室之第一資料集合、來自B腔室之第二資料集合等。

舉例而言，色彩漸層可為-9至+9之線性色彩漸層， 該線性色彩漸層係用於顯示Z值於格子中。根據本發明之另一實施例，第4圖圖示趨勢DSI之示例性螢幕截圖，其中-9至+9之線性色彩漸層係用來顯示Z值於格子中。

在方塊208中，在一個實施例中，處理邏輯接收使 用者隨意地選擇其感興趣之資料點。於此，使用者可從已顯示之GUI選擇感興趣之資料點。舉例而言，使用者可使用游標控制裝置(例如，滑鼠)，以選擇感興趣之資料點(例如，藉由右擊該資料點)，該感興趣之資料點如已顯示資料中之異常。

在方塊210中，在使用者可選擇資料點之實施例 中，處理邏輯顯示與已選擇資料點相關之額外資料。舉例而言，可用資料集名稱、Z值及/或連結至用於該資料集之SPC圖之連結，顯示彈出式。第5圖根據使用者可選擇資料點之實施例及可顯示之關於該資料點之額外資料，圖示趨勢DSI之示例性螢幕截圖。在一個實施例中，使用者可自格子處排除已選擇之資料來源。

第3圖根據本發明之實施例，圖示用於趨勢DSI之 預先處理資料之方法。可藉由處理邏輯執行方法300，該處理邏輯可包含硬體(例如電路系統、專用邏輯、可程式化邏輯、微碼等)、軟體(例如在處理裝置上執行之指令)或硬體及軟體 之結合。在一個實施例中，藉由第1圖之網路架構100執行方法300。更確切地說，係藉由第1圖之預先處理工具114執行方法300。

在方塊302中，根據一個實施例，預先處理工具114 之處理邏輯標準化資料集110。在資料轉換之一個實施例中，使用下列公式以標準化資料： ，其中為感測值之平均值，及σ為感測值之標準差。 在標準化後，大多數資料應落在+/-3個標準差範圍內。

藉由使用者可選擇之方法，判定用來標準化資料之平均值及標準差。預設方法可為：使用者可選擇使用所有收回之資料以判定平均值及標準差。作為替代地，使用者可選擇使用第一n個樣本以判定平均值及標準差，可允許使用者得以觀看資料如何隨時間漂移。作為替代地，使用者可從已選擇期間中(如一天)選擇使用摘要統計量，可允許使用者得以觀看相較於該已選擇期間中，資料如何漂移。

可使用資料轉換之其他類型以處理不同資料類型，及揭示不同特徵。舉例而言，可將資料轉換為0-1範圍；相較於-9至+9範圍之統計量(或SPC資料)，對於分析即時(或原始資料)有用之該0-1範圍可較為有用。

在方塊304中，因對具有標準差為0之資料集110可能不感興趣，故預先處理工具114之處理邏輯不包含該具 有標準差為0之資料集110。

在方塊306中，在一個實施例中，處理工具可應用 使用者之隨意地選擇之資料視窗至資料集110之資料。舉例而言，可應用各種視窗(例如，漢明視窗或漢尼視窗)至已轉換資料中，以揭示資料集100中之不同特徵。

在方塊308中，在一個實施例中，處理工具可應用 使用者之隨意地選擇之資料範圍至資料集110，以便不顯示不感興趣之資料。在一個實施例中，只顯示大於已選擇之門檻之Z值，以幫助視覺地隔離感興趣之特徵。舉例而言，門檻值可為0、3及6。在一個實施例中，繪製任何大於正門檻之Z值或任何小於負門檻之Z值為0。第6圖係根據門檻為3之實施例，繪製趨勢DSI之示例性螢幕截圖。

在方塊310中，在一個實施例中，處理系統可應用 使用者之隨意地選擇之色彩配置，該色彩配置係用於展示標準化後之資料集。在一個實施例中，可選擇不同色板以強調或揭示不同之感興趣特徵；舉例而言，在展示趨勢資料時，藍色至白色至紅色可為特別有效。在另一實施例中，使用者可選擇意欲用於色板之尺度；舉例而言，線性尺度可為預設尺度。然而，可使用對數尺度、多項式尺度或另一個使用者定義之尺度，以揭示不同特徵。

在一個實施例中，對於資料之轉換或趨勢的方向不 感興趣，且使用者僅對於偵測轉換或趨勢之幅度有興趣。於 此，繪製絕對Z(Z之絕對值)以改善視覺化。在此實施例中，顯示範圍為0-9。第7圖根據繪製絕對Z之實施例，圖示趨勢DSI之示例性螢幕截圖。在一個實施例中，絕對Z係為預設選擇。

在一些實例中，資料集(如感測器)間的插值使得更 為困難地解釋資料集。因此，在一個實施例中，插入(interleave)帶有0之虛擬資料集於每一真實資料集間。第8圖根據插入0值於真實資料集間之實施例，圖示趨勢DSI之示例性螢幕截圖。在一個實施例中，感測器插入(sensor interleaving)非預設選擇。

在一個實施例中，使用者可在顯示器上縮放感興趣 之區域。在另一實施例中，使用者可向左或右滾動(沿著X值)，及向上或下滾動(沿著資料集)，以搜尋感興趣之區域；該感興趣之區域包含使用者何時已縮放顯示器之區域。在另一實施例中，使用者可於之後選擇資料點(例如，藉由右擊資料點)，及顯示關於該資料點之額外資料。

第9圖圖示趨勢DSI之示例型螢幕截圖，該趨勢DSI 之示例型螢幕截圖係為使用者選擇使用所有收回資料以供參考，及使用者已縮放感興趣之區域，及使用者已選擇繪製絕對Z，及使用者已選擇不插入0值於資料集間，及已設定0之門檻值。

第10圖圖示趨勢DSI之示例型螢幕截圖，該趨勢 DSI之示例型螢幕截圖係為使用者選擇使用第一50次運行以供參考，及使用者已縮放感興趣之區域，及使用者已選擇繪製絕對Z，及使用者已選擇不插入0值於資料集間，及已設定0之門檻值。

第11圖圖示趨勢DSI之示例型螢幕截圖，該趨勢 DSI之示例型螢幕截圖係為使用者選擇使用第一50次運行以供參考，及使用者已縮放感興趣之區域，及使用者已選擇繪製絕對Z，及使用者已選擇插入0值於資料集間，及已設定3之門檻值。

在本發明另一實施例中，使用者可於資料轉換中選 擇使用資料的中位數，而不是資料的平均值。舉例而言，若資料集包含多模轉換，平均值將以模態的平均為結果；然而中位數將會發現最常見的模式，及參照以最常見的模式為背景的資料。在此實施例中，使用下列公式以標準化資料：，其中為感測值之中位數，及σ為感測值之標準差。

在一個實施例中，預設選擇應為使用資料之平均數。

在一個實施例中，用於值之預設色板為藍色(用於低 資料值)至白色至紅色(用於高資料值之高)。此色彩配置幫助使用者視覺化資料中之實際變化。第12圖根據此色板，圖示說明示例性螢幕截圖。在此實施例中，預設可為不繪製絕對Z。

在一個實施例中，Y軸展示至少一些資料來源名稱 (例如，感測器名稱)。

在另一實施例中，自當前感興趣之圖減去先前相似之圖，以使圖之間的差別變得更加明顯。

在實施例中，取決於要被視覺化或被提取出之資料集及/或特徵，可選擇不同色板。於此，使用者首先將選擇要使用的色板(例如，紅色至白色至藍色、藍色至紅色等)，及之後選擇色板上之轉換。

以下是色板上之轉換的一些例子。在這些例子中，使用相同色板，但不同轉換會展示不同特徵。在一個實施例中，取決於要被顯示的特徵，使用者可選擇多個轉換。

第13圖圖示趨勢DSI之示例性螢幕截圖，該趨勢DSI之示例型螢幕截圖係為使用者選擇色板轉換，該色板轉換為線性的且範圍為-9至9之間，此可為實施例中之預設選擇。

第14圖圖示趨勢DSI之示例性螢幕截圖，該趨勢DSI之示例性螢幕截圖顯示使用者所選擇之轉換查找，以查看只有小於-6及大於+6之Z值。於此，可使用下列轉換：若abs(z)<6，則z=0；否則z=z。

第15圖圖示趨勢DSI之示例性螢幕截圖，該趨勢DSI之示例性螢幕截圖顯示使用者所選擇之轉換查找，以放大資料極端值之變化。於此，可使用下列基於轉換之正切函數：z ← tan(z＊.16)

第16圖為圖示示例性計算裝置(或系統)1600之方塊圖。計算裝置1600包含一組指令，該組指令用於使計算裝置1600執行本發明所討論之任何一個或多個方法。在主從式網路環境中，機器可以伺服器機器之身分操作。機器可為個人電腦(PC)、機上盒(STB)、伺服器、網路路由器、交換器或橋接器或可(循序或以其他方式)執行一組指令之任何機器，該組指令指定藉由機器執行之行動。進一步地，雖然只圖示單一計算裝置，應亦將用語「計算裝置」看作包含任何機器之集合，該任何機器之集合單獨地或聯合地執行一組(或多組)指令，以執行任何本發明所討論之任何一個或多個方法。

示例性電腦裝置1600包含處理系統(處理裝置)1602、主記憶體1604(例如，唯讀記憶體(ROM)、快閃記憶體、動態隨機存取記憶體(DRAM)，如同步DRAM(SDRAM)等)、靜態記憶體1606(例如，快閃記憶體、靜態隨機存取記憶體(SRAM)等)、資料存儲裝置1616，該等經由匯流排1608互相通訊。

處理裝置1602代表一或多個通用處理裝置，如微處理器、中央處理單元或諸如此類。更確切地說，處理裝置1602可為複雜指令集計算(CISC)微處理器、精簡指令集計算(RISC)微處理器、超長指令字集(VLIW)微處理器，或實做其他指令集之處理器，或實作綜合指令集之處理器。處理裝置1602亦可為一或多個特殊用途處理裝置，如特殊應用積體電路(ASIC)、現場可程式化閘極陣列(EPGA)、數位信號處理器 (DSP)、網路處理器或諸如此類。可配置處理裝置1602以執行第1圖之趨勢DSI系統102，該第1圖之趨勢DSI系統102係用於執行本發明所討論之操作及步驟。

電腦裝置1600可更包含網路介面裝置1622。電腦 裝置1600亦可包含影像顯示單元1610(例如，液晶顯示器(LCD)或陰極射線管(CRT))、文數字輸入裝置1612(例如，鍵盤)、游標控制裝置1614(例如，滑鼠)及信號產生裝置1620(例如，揚聲器)。

資料存儲裝置1616可包含電腦可讀取存儲媒體 1624，一或多個指令集1626儲存於該電腦可讀取存儲媒體1624上，該一或多個指令1626包含任何一或多個本發明所描述之方法或功能。藉由計算裝置1600執行指令1626期間，該指令1626亦可完全地或至少部分地常駐於主記憶體1604中及/或於處理裝置1602中，主記憶體1604及處理裝置1602亦組成電腦可讀取媒體。可在網路1628上，進一步地經由網路介面裝置1622傳送或接收指令1626。

雖然在示例性實施例中，展示電腦可讀取存儲媒體 1624為單一媒體，但應將用語「電腦可讀取存儲媒體」看作包含儲存一或多個指令集之單一媒體或多個媒體(例如，中央或分散式的資料庫及/或相關快取及伺服器)。亦應將用語「電腦可讀取存儲媒體」看作包含可儲存、編碼或攜帶機器執行指令集之任何媒體，及該任何媒體使機器執行本發明之任何一或多個方法。因此，應將用語「電腦可讀取存儲媒體」看 作包含(但不限制)固態記憶體、光學媒體及磁性媒體。

就電腦記憶體中之演算法及在資料位元上之操作之 符號表示方面來說，下文中呈現細節描述之一些部分。這些演算式之描述及表示係為資料處理技術領域中具有通常知識者使用之工具，以有效地傳達其工作實質內容至所屬技術領域中具有通常知識之其他人。於此，大體上來說，演算法係被設想為導致結果之自相一致之步驟序列。步驟係為需要實體量之實體操作之步驟。通常地，但非必然地，這些量表現為電信號或磁信號之形式，可儲存、轉換、結合、比較及以其他方式操縱該電信號或磁信號。已證明，有時主要出於常用的原因，將這些信號稱為位元、值、元件、符號、字符、詞、數字或諸如此類是方便的。

然而應牢記的是，所有此等及類似詞語係與適當實 體量相關，且僅為被應用至這些量之便利性標籤。除非另外明確聲明，否則如從以下論述所顯見的，應理解於描述、討論之各處，使用如「判定」、「識別」、「比較」、「發送」或諸如此類之詞語，該等詞語係與電腦系統或相似之電子計算裝置之行動及處理相關，該電腦系統或相似之電子計算裝置操作及轉換在電腦系統中之暫存器及記憶體中之表示為實體(例如，電子)量之資料，為在電腦系統記憶體或暫存器或其他此類資訊存儲、傳輸或顯示裝置中同樣地表示為物理量之其他資料。

本發明之實施例亦與用於執行本發明之操作之系統 相關。出於需要之目的，可特別地建立此系統；或此系統可包含通用之電腦，藉由儲存於電腦中之電腦程式選擇性地啟動或重新配置電腦。可儲存此類電腦程式於電腦(或機器)可讀取存儲媒體中，如(但不限於)任一類型磁盤，該任一類型磁盤包含軟碟、光碟、CD-ROM、磁光碟、唯讀記憶體(ROM)、隨機存取記憶體(RAM)、EPROM、EEPROM、磁卡或光卡、快閃記憶體或任何適於儲存電子指令之媒體類型。

本發明呈現之演算法及展示非固有地與任何特定電腦或其他裝置相關。根據本發明之教示，可用程式使用各式通用系統，或可證實建立更加專用之裝置以執行方法步驟係方便的。用於多種此類系統之結構將自本發明之描述出現。此外，未參照任何特定程式語言描述本發明之實施例。應理解的是，可使用多種程式語言以實作如本發明所描述之發明教示。

需瞭解的是，以上描述係意欲說明，並非限制。在閱讀及瞭解以上描述後，對所屬技術領域中具有通常知識之人來說，其他多個實施例將立即變得明顯。因此，應參照附加之申請專利範圍與此類給予權利之申請專利範圍之等同物之完整範圍，判定本發明之範圍。

200‧‧‧方法

202‧‧‧步驟

204‧‧‧步驟

206‧‧‧步驟

208‧‧‧步驟

210‧‧‧步驟

Claims (20)

1. 一種方法，該方法包括以下步驟：接收一製作方法，該製作方法包含不同類型的實體製程；藉由一處理裝置接收來自相關聯於該製作方法的複數個感測器的複數個資料集，該複數個資料集之每一者對應於一實體製程的一測量結果，其中該複數個資料集之至少一者對應於一不同於該複數個資料集之至少一個其他資料集的實體製程；接收對於一使用者指定之時間期間的一輸入；藉由該處理裝置預先處理該複數個資料集，其中該預先處理包括轉換該複數個資料集之基於單位式資料以具有一常見無單位維度而無視於所對應的該等實體製程，其中該常見無單位維度係基於來自該複數個資料集的一資料子集而判定，該資料子集對應於在該使用者指定之時間期間內測量得的資料；及根據代表該常見無單位維度的一色彩漸層，由該處理裝置使得該複數個資料集之該已轉換資料被繪製於一格子中，而使該預先處理之複數個資料集被顯示，其中繪製該已轉換資料包含以下步驟：比較該資料子集與一第二資料集，以偵測從該複數個感測器接收的該複數個資料集中對時間的一或更多個趨勢。
2. 如請求項1所述之方法，其中該複數個資料集中之該資料包括感測器值、該格子的一第一軸為一樣本數目及該格子 的一第二軸為一感測器。
3. 如請求項2所述之方法，該方法更包括以下步驟：接收一使用者選擇之一已繪製資料點；及顯示與該已選擇資料點相關之額外資料。
4. 如請求項3所述之方法，其中該顯示與該已選擇資料點相關之額外資料之步驟更包括以下步驟：顯示與該已選擇資料點相關之一感測器名稱、顯示與該已選擇資料點相關之一感測器值及顯示連結至與該已選擇資料點相關之一SPC圖之一連結。
5. 如請求項1所述之方法，其中該預先處理進一步包括以下步驟：標準化該複數個資料集，使得該複數個資料集之大部份資料在一正負三個標準差範圍內。
6. 如請求項1所述之方法，其中該預先處理進一步包括以下步驟：排除具有一標準差為零之資料集。
7. 如請求項1所述之方法，其中該預先處理進一步包括以下步驟：應用一視窗至該複數個資料集內之該資料。
8. 一種系統，該系統包括：一記憶體；及 一處理裝置，該處理裝置耦合至該記憶體以：接收一製作方法，該製作方法包含不同類型的實體製程；藉由一處理器接收來自相關聯於該製作方法的複數個感測器的複數個資料集，該複數個資料集之每一者對應於一實體製程的一測量結果，其中該複數個資料集之至少一者對應於一不同於該複數個資料集之至少一個其他資料集的實體製程；接收對於一使用者指定之時間期間的一輸入；藉由該處理器預先處理該複數個資料集，其中該預先處理包括轉換該複數個資料集之基於單位式資料以具有一常見無單位維度而無視於所對應的該等實體製程，其中該常見無單位維度係基於來自該複數個資料集的一資料子集而判定，該資料子集對應於在該使用者指定之時間期間內測量得的資料；及根據代表該常見無單位維度的一色彩漸層，使得該複數個資料集之該已轉換資料被繪製於一格子中，而使該預先處理之複數個資料集被顯示，其中繪製該已轉換資料包含比較該資料子集與一第二資料集，以偵測從該複數個感測器接收的該複數個資料集中對時間的一或更多個趨勢。
9. 如請求項8所述之系統，其中該複數個資料集中之該資料包括感測器值、該格子的一第一軸為一樣本數目及該格子 的一第二軸為一感測器。
10. 如請求項9所述之系統，其中該處理裝置進一步地：接收一使用者選擇之一已繪製資料點；及顯示與該已選擇資料點相關之額外資料。
11. 如請求項10所述之系統，其中顯示與該已選擇資料點相關之額外資料，該處理裝置進一步地顯示與該已選擇資料點相關之一感測器名稱、顯示與該已選擇資料點相關之一感測器值及顯示連結至與該已選擇資料點相關之一SPC圖之一連結。
12. 如請求項8所述之系統，其中為預先處理該複數個資料集，該處理裝置進一步地標準化該複數個資料集，使得該複數個資料集之大部份資料在一正負三個標準差範圍內。
13. 如請求項8所述之系統，其中為預先處理該複數個資料集，該處理裝置進一步地排除具有一標準差為零之資料集。
14. 如請求項8所述之系統，其中為預先處理該複數個資料集，該處理裝置進一步地應用一視窗至該複數個資料集內之該資料。
15. 一種非暫態電腦可讀取存儲媒體，該非暫態電腦可讀取 存儲媒體包括指令；當藉由一處理裝置執行該等指令時，使該處理裝置執行操作，該等操作包括以下操作：接收一製作方法，該製作方法包含不同類型的實體製程；接收來自相關聯於該製作方法的複數個感測器的複數個資料集，該複數個資料集之每一者對應於一實體製程的一測量結果，其中該複數個資料集之至少一者對應於一不同於該複數個資料集之至少一個其他資料集的實體製程；接收對於一使用者指定之時間期間的一輸入；預先處理該複數個資料集，其中該預先處理包括轉換該複數個資料集之基於單位式資料以具有一常見無單位維度而無視於所對應的該等實體製程，其中該常見無單位維度係基於來自該複數個資料集的一資料子集而判定，該資料子集對應於在該使用者指定之時間期間內測量得的資料；及根據代表該常見無單位維度的一色彩漸層，由該處理裝置使得該複數個資料集之該已轉換資料被繪製於一格子中，而使該預先處理之複數個資料集被顯示，其中繪製該已轉換資料包含以下步驟：比較該資料子集與一第二資料集，以偵測從該複數個感測器接收的該複數個資料集中對時間的一或更多個趨勢。
16. 如請求項15所述之非暫態電腦可讀取存儲媒體，其中該複數個資料集中之該資料包括感測器值、該格子的一第一軸為一樣本數目及該格子的一第二軸為一感測器。
17. 如請求項16所述之非暫態電腦可讀取存儲媒體，其中該等操作進一步地包括以下操作：接收一使用者選擇之一已繪製資料點；及顯示與該已選擇資料點相關之額外資料。
18. 如請求項17所述之非暫態電腦可讀取存儲媒體，其中該顯示與該已選擇資料點相關之額外資料之操作進一步地包括：顯示與該已選擇資料點相關之一感測器名稱、顯示與該已選擇資料點相關之一感測器值及顯示連結至與該已選擇資料點相關之一SPC圖之一連結。
19. 如請求項15所述之非暫態電腦可讀取存儲媒體，其中預先處理之操作進一步地包括：標準化該複數個資料集，使得該複數個資料集之一大部份資料在一正負三個標準差範圍內。
20. 如請求項15所述之非暫態電腦可讀取存儲媒體，其中預先處理之操作進一步地包括：排除具有一標準差為零之資料集。