TWI582415B - 影像處理裝置，影像取得裝置，影像處理方法及影像取得方法 - Google Patents

Description

影像處理裝置，影像取得裝置，影像處理方法及影像取得方法

本發明係關於處理影像之技術及取得影像之技術。

近年來，於各種之電子機器中設置有FPD(Flat Panel Display)。當於此種顯示裝置之製造中對形成於透明基材上之透明電極膜等之透明圖案的外觀進行檢查時，例如對基材照射光，且藉由接收反射光而取得圖案之影像。於日本專利特開2013-68460號公報(文獻1)中揭示有一種裝置，其一面將自光照射部至基材上之攝影區域之光軸與基材之法線所夾之照射角、及自攝影區域至線感測器之光軸與該法線所夾之檢測角維持為相等角度，一面取得影像。於該裝置中，係利用影像之對比變高之照射角及檢測角之設定角度。

再者，於日本專利特開2008-205737號公報(文獻2)中，揭示有一種獲取保存了邊界(edge)之平滑化模型之方法。於該方法中，計算目標區域中之目標像素(target pixel)與周邊像素之像素值乖離率及位置乖離率，使用像素值乖離率及位置乖離率求取相關指標值。然後自該相關指標值求取周邊像素之過濾係數，自像素值乖離率求取目標像素之過濾係數，且使用該過濾係數進行過濾演算。此外，作為可一面保存邊界一面除去雜訊之平滑處理方法，還 知有邊向過濾器(bilateral filter)、及ε過濾器。

然而，於透明之基材含有微小顆粒狀物質(所謂填料)之情況、或基材之表面存在有微小凹凸之情況等，於攝影之影像上存在有多數之顆粒狀要素，而無法精度良好地進行圖案之檢查。也可考慮藉由一面保存邊界一面除去雜訊之上述影像處理而將顆粒狀要素除去，但於顆粒狀要素之對比較圖案區域之邊界的對比更高之情況下，顆粒狀要素也會與圖案區域之邊界一併被保存。

本發明係適用於影像處理裝置，其目的在於，於含有較圖案區域之邊界的對比更高之顆粒狀要素之影像中，可一面保存圖案區域之邊界一面除去對比高之顆粒狀要素。

本發明之影像處理裝置，其包含：代表值取得部，其於顯示圖案區域並含有較上述圖案區域之邊界的對比更高之顆粒狀要素之影像中，將各像素作為目標像素，取得以上述目標像素為中心之規定尺寸之區域內包含之複數個對象像素的亮度值之代表值；基準值設定部，其於上述目標像素之亮度值在以上述代表值為中心而設定之亮度值範圍內之情況下，將上述目標像素之亮度值作為基準值進行設定，而於上述目標像素之亮度值在上述亮度值範圍外之情況下，將上述代表值作為基準值進行設定，或者，與上述目標像素之亮度值無關地，將上述代表值作為基準值進行設定；及過濾處理部，其使用上述複數個對象像素之亮度值，並藉由進行各對象像素之亮度值與上述基準值之差越小則對上述各對象像素之亮度值之加權越大之過濾處理，求取上述目標像素之新的亮度值。

根據本發明，於顯示圖案區域並含有較圖案區域之邊界的對比高之顆粒狀要素之影像中，可一面保存圖案區域之邊界一面除去對比高之顆粒狀要素。

本發明之一較佳形態中，上述代表值取得部係求取顯示上述複數個對象像素中之亮度值之不均之值，上述基準值設定部係基於顯示上述不均之值而決定上述亮度值範圍之寬度，且使用上述亮度值範圍來設定上述基準值。

本發明之另一較佳形態中，上述過濾處理部係於上述過濾處理中，將上述複數個對象像素中的亮度值落在以上述代表值為中心而設定之亮度值範圍外之對象像素之上述亮度值排除。

本發明之另一較佳形態中，於上述過濾處理中，上述各對象像素與上述目標像素之距離越小，則對上述各對象像素之亮度值之加權越大。

本發明之一局面中，上述影像係顯示形成於透明基材上之透明電極膜之影像。

本發明還適用於取得形成在基材上之薄膜圖案之影像之影像取得裝置。本發明之影像取得裝置包含：攝影單元，其藉由對上述基材進行拍攝而取得攝影影像；及上述影像處理裝置，其對上述攝影影像進行處理。

本發明還適用於影像處理方法及取得形成於基材上之薄膜圖案之影像之影像取得方法。

上述之目的及其他之目的、特徵、態樣以及長處，藉由參照所附圖式及以下進行之本發明之詳細說明，而可明確瞭解。

1‧‧‧影像取得裝置

3‧‧‧電腦

8‧‧‧攝影影像

8a‧‧‧處理完畢影像

9‧‧‧基材

11‧‧‧移動機構

13‧‧‧攝影單元

21‧‧‧工作台

22‧‧‧X方向移動部

23‧‧‧Y方向移動部

30‧‧‧記錄媒體

31‧‧‧CPU

32‧‧‧ROM

33‧‧‧RAM

34‧‧‧固定碟

35‧‧‧顯示器

36a‧‧‧鍵盤

36b‧‧‧滑鼠

37‧‧‧讀取裝置

38‧‧‧通信部

41‧‧‧影像處理部

42‧‧‧檢查部

49‧‧‧記憶部

71、72‧‧‧目標像素

81‧‧‧圖案區域

82‧‧‧背景區域

90‧‧‧攝影區域

91‧‧‧圖案

92‧‧‧顆粒狀物質

99‧‧‧處理完畢影像

131‧‧‧光照射部

132‧‧‧線感測器

133‧‧‧角度變更機構

134‧‧‧基台壁

135‧‧‧馬達

136‧‧‧馬達

201‧‧‧第1開口

202‧‧‧第2開口

300‧‧‧程式

411‧‧‧代表值取得部

412‧‧‧基準值設定部

413‧‧‧過濾處理部

491‧‧‧攝影影像資料

492‧‧‧處理完畢影像資料

711、721‧‧‧對象區域

811‧‧‧邊界

831~833‧‧‧顆粒狀要素

d‧‧‧顯示亮度值之不均之值

J1、J2‧‧‧光軸

k、l‧‧‧對象像素

m‧‧‧亮度值之代表值

N‧‧‧法線

P1、P2‧‧‧(目標像素之)亮度值

PA‧‧‧代表值

R1、R2‧‧‧基準值判斷範圍

S11~S18‧‧‧步驟

S、σ_d、σ_v‧‧‧係數

θ1、θ2‧‧‧角度

圖1為顯示影像取得裝置之構成之圖。

圖2為顯示電腦之構成之圖。

圖3為顯示由電腦實現之功能構成之方塊圖。

圖4為顯示對基材上之圖案進行檢查之處理流程之圖。

圖5為顯示基材之剖視圖。

圖6為顯示攝影影像之圖。

圖7為顯示對象區域之亮度值分布之圖。

圖8為顯示對象區域之亮度值分布之圖。

圖9為顯示處理完畢影像之圖。

圖10為顯示藉由比較例之處理之處理完畢影像之圖。

圖1為顯示本發明之一實施形態之影像取得裝置1之構成之圖。影像取得裝置1係取得形成於基材9上之薄膜圖案之影像，並基於該影像進行薄膜圖案之外觀檢查。亦即，影像取得裝置1包含作為圖案檢查裝置之功能。本實施形態中，基材9係玻璃基板或透明薄膜。薄膜圖案例如為透明電極膜。也可於基材9上設置抗反射膜等其他之膜。以下之說明中，將薄膜圖案簡稱為「圖案」。基材9例如用於靜電電容型之觸控面板之製造。

影像取得裝置1具備：移動基材9之移動機構11；攝影單元13；及電腦3。移動機構11具備：工作台21，其將基材9保持於工作台21上面；X方向移動部22，其使工作台21朝與基材9之主表面平行之圖1中的X方向移動；及Y方向移動部23，其使X方向移動部22朝平行於基材9之主表面且垂直於X方向之 Y方向移動。移動機構11係使基材9相對於後述之攝影區域90相對地移動之機構。再者，也可於移動機構11追加使工作台21朝垂直於X方向及Y方向之圖1中的Z方向移動之機構、或者使工作台21以平行於Z方向之軸為中心進行轉動之機構。於影像取得裝置1中，電腦3係發揮作為擔當影像取得裝置1之整體控制之整體控制部之作用。

攝影單元13具備：光照射部131，其朝基材9上之攝影區域90射出光；線感測器132，其接收來自攝影區域90之反射光；及角度變更機構133，其對光照射部131之光的照射角及線感測器132之檢測角進行變更。其中，照射角係自光照射部131至攝影區域90之光軸J1與基材9之法線N所夾之角度θ1。檢測角係自攝影區域90至線感測器132之光軸J2與法線N所夾之角度θ2。

光照射部131係射出對圖案具有穿透性之波長之光。光至少照射於線狀之攝影區域90。光照射部131具備排列於X方向之複數個LED、及將來自LED之光均勻化後朝延伸於X方向之攝影區域90導引之光學系統。線感測器132具備一維之攝影元件、及使攝影區域90與攝影元件之受光面成為光學地共軛之光學系統。再者，也可於攝影單元13設置使光照射部131、線感測器132及角度變更機構133一體朝基材9之法線N的方向移動之自動對焦機構。

於後述之攝影影像之取得時，基材9藉由移動機構11朝與攝影區域90交叉之方向移動。亦即，移動機構11係使基材9相對於攝影區域90相對地移動之機構。與基材9之移動同步，藉由線感測器132高速且重複地取得線狀之攝影區域90之線影像， 以取得二維之攝影影像。本實施形態中，基材9係朝相對於攝影區域90垂直之Y方向移動，但攝影區域90也可相對於移動方向呈傾斜。也可使拍攝基材9之攝影單元13內包含有移動機構11之一部分。

角度變更機構133係一面將照射角θ1與檢測角θ2維持為相等一面對照射角θ1與檢測角θ2進行變更。因此，以下說明中之檢測角之大小也是照射角之大小，照射角之大小也是檢測角之大小。光照射部131及線感測器132經由角度變更機構133被支撐於基台壁134。基台壁134係平行於Y方向及Z方向之板構件。

於基台壁134設置有以攝影區域90為中心之圓弧狀之第1開口201及第2開口202。角度變更機構133具有用以使光照射部131沿第1開口201移動之馬達135、暨導引部、齒條及小齒輪(省略圖示)，並具有用以使線感測器132沿第2開口202移動之馬達136、暨導引部、齒條及小齒輪(省略圖示)。

圖2為顯示電腦3之構成之圖。電腦3為普通之電腦系統之構成，其包括進行各種演算處理之CPU31、記憶基本程式之ROM32、及記憶各種資訊之RAM33。電腦3還包括：進行資訊記憶之固定碟34；進行影像等之各種資訊之顯示之顯示器35；受理來自操作者之輸入之鍵盤36a及滑鼠36b；自光碟、磁碟、光磁碟等之電腦可讀取之記錄媒體30進行資訊之讀取之讀取裝置37；及在與影像取得裝置1之其他構成之間傳送/接收信號之通信部38。

於電腦3中，事先經由讀取裝置37自記錄媒體30讀取程式300且記憶於固定碟34。CPU31藉由程式300一面利用RAM33、固定碟34一面執行演算處理，實現後述之功能。

圖3為顯示由電腦3實現之功能構成之方塊圖，顯示藉由電腦3之CPU31、ROM32、RAM33、固定碟34等實現之功能構成。電腦3具有影像處理部41、檢查部42及記憶部49。影像處理部41具有代表值取得部411、基準值設定部412及過濾處理部413，對藉由攝影單元13取得之攝影影像進行後述之影像處理。記憶部49係記憶攝影影像資料491。對實現該等構成之功能之詳細內容，有待後述。再者，該等功能既可藉由專用之電路進行構建，也可局部利用專用之電路。

圖4為顯示對基材9上之圖案進行檢查之處理流程之圖。於圖案檢查中，首先，準備形成有檢查對象之圖案之基材9，且將其載置於工作台21上(步驟S11)。圖5為顯示基材9之剖視圖。如已述，於基材9之主面上形成有透明電極膜之圖案91。此外，於基材9之內部含有微小之顆粒狀物質92(所謂填料)。顆粒狀物質92係分散於基材9之整體。

本實施形態中，按照基材9上之各膜構造(膜之種類與厚度之組合)，預先求取能提高在攝影影像上顯示圖案之區域(以下稱為「圖案區域」)之邊界的對比之照射角及檢測角之角度。圖案區域之邊界的對比，係攝影影像上之圖案區域的邊界附近之圖案區域與背景區域之間的亮度差(之絕對值)。於電腦3中，按照工作台21上之基材9之膜構造，確定照射角及檢測角之應設角度(以下稱為「設定角度」)，藉由控制角度變更機構133，使照射角及檢測角成為該設定角度(步驟S12)。

接著，開始自光照射部131射出光，且藉由移動機構11使基材9連續地朝Y方向移動，以使基材9上之應檢查位置通 過攝影區域90。然後與基材9之移動同步，於線感測器132中高速且重複地取得線狀之攝影區域90之線影像。藉此，取得顯示圖案之二維之攝影影像，且作為攝影影像資料491記憶於記憶部49(步驟S13)。

圖6為顯示攝影影像之一部分之圖。圖6中顯示添加於各區域之平行斜線之寬度越窄，則該區域之亮度(亮度值之平均值)越低。攝影影像8包括圖案區域81及背景區域82。背景區域82係非圖案區域。此外，攝影影像8中包含多數之微小顆粒狀要素831、832、833。其中，顆粒狀要素831~833係因存在於基材9之內部之已述之顆粒狀物質92及基材9之主表面上之微小凹凸或雜訊等引起。顆粒狀要素831~833中，於圖6中標示符號831之複數個顆粒狀要素的亮度最低，標示符號832之顆粒狀要素的亮度最高。此外，將各顆粒狀要素831~833與該顆粒狀要素831~833周圍之間的亮度差作為該顆粒狀要素831~833之對比，顆粒狀要素831之對比係較圖案區域81之邊界811之對比高。顆粒狀要素832、833之對比係較圖案區域81之邊界811之對比低。

於代表值取得部411中，於攝影影像8中將各像素作為目標像素，設定以該目標像素為中心之規定尺寸之對象區域，以確定對象區域內包含之複數個像素(以下，稱為「對象像素」)。例如，於圖6中標示符號71之像素為目標像素之情況下，標示符號711之對象區域(以虛線之矩形顯示)內包含之所有像素為對象像素。於圖6中標示符號72之像素為目標像素之情況下，標示符號721之對象區域(以虛線之矩形顯示)內包含之所有像素為對象像素。且較佳為，對象區域遠大於顆粒狀要素。於以下之處理中，目 標像素71、72也作為對象像素之一個像素使用。再者，各目標像素之對象區域係相當於對該目標像素進行之後述之過濾處理中之過濾範圍。

圖7及圖8為顯示對象區域之亮度值分布之圖。圖7中顯示於圖6中之對象區域711中以目標像素71為中心橫向排列之對象像素之亮度值，圖8中顯示於圖6中之對象區域721中以目標像素72為中心橫向排列之對象像素之亮度值。此外，圖7及圖8中，於目標像素之位置標示符號71、72，且以標示相同符號之箭頭顯示圖案區域81、背景區域82及顆粒狀要素831、832之範圍。如圖8所示，背景區域82中未包含於顆粒狀要素831內之非顆粒狀區域與顆粒狀要素831之亮度差，係較背景區域82之非顆粒狀區域與圖案區域81之亮度差大。

若確定了相對於目標像素之複數個對象像素，則取得該複數個對象像素中之亮度值之代表值、及顯示亮度值之不均之值(步驟S14)。亮度值之代表值例如為平均值，顯示亮度值之不均之值例如為標準偏差。實際上，將攝影影像8之一個像素作為目標像素，依序進行步驟S14之處理、及後述之步驟S15~S17之處理，該等一連串之處理係一面將目標像素變更為其他像素一面重複地進行。圖4中省略了顯示處理之重複過程之方塊之圖示。以下之記載中，為了將像素71為目標像素之情況、及像素72為目標像素之情況進行比對，因此同時對分別將複數之像素設為目標像素時之處理進行說明。

於基準值設定部412中，設亮度值之代表值為m，顯示亮度值之不均之值為d，且規定之係數為s，將以(m-s．d)為下限 值且以(m+s．d)為上限值之亮度值範圍決定為基準值判斷範圍。並且，如圖7之例子，於目標像素71之亮度值P1在基準值判斷範圍R1內(包含亮度值為上限值或下限值之情況)之情況下，將該目標像素71之亮度值P1設定為後述之過濾處理中利用之基準值。此外，如圖8之例子，於目標像素72之亮度值P2在基準值判斷範圍R2外之情況下，亮度值之代表值PA係作為基準值而被設定(步驟S15)。於圖6之對象區域721中，背景區域82之面積遠較圖案區域81之面積大，且該背景區域82中未包含於顆粒狀要素831內之非顆粒狀區域，遠較包含於顆粒狀要素831內之區域大。因此，圖8中之亮度值之代表值PA近似於背景區域82之非顆粒狀區域中之亮度值。再者，上述係數s係考慮了顆粒狀要素之尺寸及分布或顆粒狀要素之對比等而適宜決定(於對象區域之尺寸等中也同樣)。

於基準值設定部412中，還將相對於目標像素71、72之複數個對象像素中的亮度值落在該基準值判斷範圍R1、R2內之對象像素確定為擷取像素(步驟S16)。換言之，將複數個對象像素中之亮度值落在該基準值判斷範圍R1、R2外之對象像素排除，剩餘之對象像素成為擷取像素。圖7之例中，將背景區域82內包含之對象像素排除，圖8之例中，將顆粒狀要素831內包含之對象像素排除。

接著，於過濾處理部413中，對目標像素進行規定之過濾處理。於過濾處理中，進行對過濾範圍內之複數個像素之亮度值乘以係數(加權)而加入之演算。在此，對普通之過濾處理之一的雙邊過濾器進行說明。於雙邊過濾器中，於設過濾範圍之列方向之尺寸為(2fx+1)，行方向之尺寸為(2fy+1)，且將像素中之目標像素之 亮度值表示為i(x,y)之情況下，該目標像素之新的亮度值i0(x,y)，係使用規定之係數σ_d,σ_v以式1求得。

於雙邊過濾器中，由於(於亮度值相等之情況)過濾範圍內包含之各像素與目標像素之間的距離越小，則對該像素之亮度值之加權越大，因此包含有以離目標像素近之像素為中心之平滑處理之作用。式1中之係數σ_d，係調整藉由雙邊過濾處理對影像進行平滑處理之程度。此外，於雙邊過濾器中，(於與目標像素之距離相等之情況)過濾範圍內包含之各像素之亮度值與目標像素之亮度值之差越小，則對該像素之亮度值之加權越大。因此，於過濾範圍內存在有明暗(亮度)不同之2個區域之情況下，對與目標像素所處之區域不同之區域的新亮度值之影響降低。其結果，該2個區域間之邊界不易模糊，亦即，變得容易保存邊界。式1中之係數σ_v，係調整藉由雙邊過濾處理而保存有邊界之程度。

於影像取得裝置1之過濾處理部413中，進行將雙邊過濾器變形後之過濾處理。具體而言，對以式1中之「i(x+k,y+1)」所確定之對象像素不是擷取像素之k及l之組合，不進行計算(亦即，該k及l之組合之值為0)。此外，式1中之「i(x,y)」被基準值 置換。因此，於將亮度值之代表值PA作為基準值而設定之圖8之例中，於求取顆粒狀要素831內包含之目標像素72之新的亮度值時，各擷取像素之亮度值與基準值PA之差越小，對該擷取像素之亮度值之加權越大。其結果，目標像素72之新的亮度值成為較圖案區域81之亮度值及顆粒狀要素831之亮度值更近似於亮度值之代表值PA之值，而比較近似於背景區域82之非顆粒狀區域中之亮度值。

另一方面，如圖7之例子，於將目標像素71之亮度值P1作為基準值進行設定之情況下，各擷取像素之亮度值與目標像素71之亮度值P1之差越小，則對該擷取像素之亮度值之加權越大。藉此，目標像素71之新的亮度值比較近似於目標像素71之原亮度值。如此，對目標像素進行使用複數個擷取像素之亮度值之過濾處理，求取該目標像素之新的亮度值(步驟S17)。

如已述之，實際上，將攝影影像8之一個像素作為目標像素之步驟S14~S17之處理係一面將目標像素變更為其他像素一面重複地進行。並且，藉由對攝影影像8之全部像素求取新的亮度值，如圖9所示，生成對攝影影像8實施了上述過濾處理之影像8a(以下稱為「處理完畢影像8a」)，且作為處理完畢影像資料492記憶於記憶部49中。

於圖6之攝影影像8中，於對對比高之顆粒狀要素831內包含之目標像素之過濾處理中，將亮度值之代表值作為基準值進行設定，因此，可取得較近似於顆粒狀要素831之周圍之亮度值之值作為新的亮度值。藉此，顆粒狀要素831於圖9所示之處理完畢影像8a中被大致除去。圖6之攝影影像8中對比低之微小顆 粒狀要素832、833，藉由通常之平滑處理成分，於圖9所示之處理完畢影像8a中被大致除去。處理完畢影像8a可根據需要顯示於顯示器35。

檢查部42中記憶有顯示未包含缺陷之圖案之參照影像(之資料)，藉由對處理完畢影像與參照影像進行比較，判斷圖案中有無缺陷(步驟S18)。基於處理完畢影像之圖案之檢查，也可藉由與參照影像之比較以外之方法來進行。此外，也可進行圖案區域之邊界間之距離(圖案之寬度)等之測量，且根據測量結果判斷圖案是否良好。

在此，對使用普通之雙邊過濾器之比較例之處理進行說明。於比較例之處理中，使用式1進行過濾處理。如已述，於式1之過濾處理中，相對於各目標像素之對象區域內包含之各對象像素之亮度值與該目標像素之亮度值之差越小則對該對象像素之亮度值之加權越大。因此，如圖8之例子，相對於顆粒狀要素831內包含之目標像素72之新的亮度值，係近似於顆粒狀要素831中之亮度值，如圖10所示，於比較例之處理之處理完畢影像99中，殘留有攝影影像8中之顆粒狀要素831。

相對於此，於影像取得裝置1中，取得以各目標像素為中心之對象區域中的亮度值之代表值，且於該目標像素之亮度值是在以該代表值為中心而設定之基準值判斷範圍內之情況下，將該目標像素之亮度值作為基準值進行設定，而於落在該基準值判斷範圍外之情況下，將該代表值作為基準值進行設定。並且，藉由進行對象區域內包含之各對象像素之亮度值與基準值之差越小則對該對象像素之亮度值之加權越大之過濾處理，求取目標像素之新的亮 度值。藉此，於顯示圖案區域並含有較圖案區域之邊界之對比高之顆粒狀要素之攝影影像中，可一面保存圖案區域之邊界一面除去對比高之顆粒狀要素。其結果，可高精度且穩定地進行圖案之檢查(包含缺陷之檢測或形狀之測量)。

藉由基於顯示對象區域內之複數個對象像素之亮度值之不均之值來決定用於基準值之設定的基準值判斷範圍之寬度，可容易設定適宜之基準值判斷範圍。此外，藉由於過濾處理中將該複數個對象像素中的亮度值落在基準值判斷範圍外之對象像素之該亮度值排除，防止於過濾處理中使用到異常之亮度值，可適宜求得目標像素之新的亮度值。

於上述影像取得裝置1中可進行各種之變形。

以代表值取得部411取得之亮度值之代表值，只要是顯示對象區域內之複數個對象像素中之亮度值之分布之中央附近的值即可，也可為中央值等之其他統計量。此外，亮度值之代表值也可為基準值判斷範圍內包含有亮度值之對象像素(擷取像素)中之亮度值的平均值或中央值等。同樣地，顯示複數個對象像素中之亮度值之不均之值，除標準偏差外，也可為顯示統計上之不均之其他統計量。

也可於相對於各目標像素之對象區域中，僅於顯示亮度值之不均之值為規定值以上之情況，進行將式1中之「i(x,y)」置換為基準值之上述過濾處理，而於顯示亮度值之不均之值未滿規定值之情況，進行普通之雙邊過濾處理(比較例之處理)。該情況下，可僅對攝影影像中的包含對比高之顆粒狀要素831之區域，進行利用基準值之上述過濾處理。換言之，對僅顯示此種區域之影像(攝 影影像之一部分)進行上述過濾處理。

上述實施形態中，用於基準值之設定之亮度值範圍(基準值判斷範圍)之寬度，係基於顯示複數個對象像素之亮度值之不均之值而決定，但也可根據基材9之種類等，預先確定用於基準值之設定之亮度值範圍之寬度。如此，用於基準值之設定之亮度值範圍，可以藉由演算而求得之可變寬度、或預先確定之一定寬度來設定。此外，使用於過濾處理中被排除之對象像素之選擇(擷取像素之確定)之亮度值範圍，只要是以代表值為中心進行設定，也可與基準值判斷範圍不同。

於基準值設定部412中，也可與目標像素之亮度值無關，將對象區域中之亮度值之代表值作為基準值進行設定。該情況也可藉由進行各對象像素之亮度值與基準值之差越小則對該對象像素之亮度值的加權越大之過濾處理，而於處理完畢影像中，一面保存圖案區域之邊界，一面除去對比高之顆粒狀要素。另一方面，為了抑制處理完畢影像中邊界變得模糊之情形，較佳為，於目標像素之亮度值在以該代表值為中心而設定之亮度值範圍內之情況下，將該目標像素之亮度值作為基準值進行設定，而在該亮度值範圍外之情況下，將該代表值作為基準值進行設定。

上述實施形態中，進行將邊界保存型平滑化過濾器之一即雙邊過濾器變形後之處理，但於過濾處理部413中，也可進行各對象像素之亮度值與基準值之差越小則對該對象像素之亮度值的加權越大之其他過濾處理。作為此種過濾處理，可例示將ε過濾器中之目標像素之亮度值置換為基準值之處理、或者將日本專利特開2008-205737號公報(上述文獻2)記載之方法中的目標像素之亮 度值置換為基準值之處理。

也可根據處理完畢影像之用途等，省略自各目標像素之對象區域內包含之複數個對象像素來確定擷取像素之步驟S16之處理，於過濾處理部413之過濾處理中，使用包含於對象區域之全部對象像素之亮度值，求取目標像素之新的亮度值。

如已述，因含於內部之填料或表面之微小凹凸等之影響，於拍攝透明基材之影像中，容易含有較圖案區域之邊界的對比高之顆粒狀要素。因此，可於影像中一面保存圖案區域之邊界一面除去對比高之顆粒狀要素之上述影像處理，可說是尤其適合作為對顯示形成於透明基材上之透明電極膜之影像進行之處理。當然，於對有色之基材或基材以外之對象物進行拍攝，取得包含較圖案區域之邊界的對比高之顆粒狀要素之影像之情況，也可進行上述影像處理。影像處理裝置即影像處理部41之處理，除基材9上之圖案之檢查以外，也可利用於各種用途。

上述實施形態及各變形例中之構成，只要不相互矛盾，即可適宜地加以組合。

雖對本發明進行了詳細說明，但已述之說明僅為例示而已，並非用於限制本發明。因此，只要未超出本發明之範圍，即可採用多種之變形或態樣。

41‧‧‧影像處理部

42‧‧‧檢查部

49‧‧‧記憶部

411‧‧‧代表值取得部

412‧‧‧基準值設定部

413‧‧‧過濾處理部

491‧‧‧攝影影像資料

492‧‧‧處理完畢影像資料

Claims (12)

1. 一種影像處理裝置，其包含：代表值取得部，其於顯示圖案區域並含有較上述圖案區域之邊界的對比更高之顆粒狀要素之影像中，將各像素作為目標像素，取得以上述目標像素為中心之規定尺寸之區域內包含之複數個對象像素的亮度值之代表值；基準值設定部，其於上述目標像素之亮度值在以上述代表值為中心而設定之亮度值範圍內之情況下，將上述目標像素之亮度值作為基準值進行設定，而於上述目標像素之亮度值在上述亮度值範圍外之情況下，將上述代表值作為基準值進行設定，或者，與上述目標像素之亮度值無關地，將上述代表值作為基準值進行設定；及過濾處理部，其使用上述複數個對象像素之亮度值，並藉由進行各對象像素之亮度值與上述基準值之差越小則對上述各對象像素之亮度值之加權越大之過濾處理，求取上述目標像素之新的亮度值。
2. 如申請專利範圍第1項之影像處理裝置，其中，上述代表值取得部係求取顯示上述複數個對象像素中之亮度值之不均之值，上述基準值設定部係基於顯示上述不均之值而決定上述亮度值範圍之寬度，使用上述亮度值範圍來設定上述基準值。
3. 如申請專利範圍第1或2項之影像處理裝置，其中，上述過濾處理部係於上述過濾處理中，將上述複數個對象像素中，亮度值落在以上述代表值為中心而設定之亮度值範圍外的對象像素之上述亮度值排除。
4. 如申請專利範圍第1或2項之影像處理裝置，其中，於上述過 濾處理中，上述各對象像素與上述目標像素之距離越小，則對上述各對象像素之亮度值之加權越大。
5. 如申請專利範圍第1或2項之影像處理裝置，其中，上述影像係顯示形成於透明基材上之透明電極膜之影像。
6. 一種影像取得裝置，係取得形成在基材上之薄膜圖案之影像者；其包含：攝影單元，其藉由對上述基材進行拍攝而取得攝影影像；及申請專利範圍第1或2項之影像處理裝置，其對上述攝影影像進行處理。
7. 一種影像處理方法，其包含以下之步驟：a)於顯示圖案區域並含有較上述圖案區域之邊界的對比更高之顆粒狀要素之影像中，將各像素作為目標像素，取得以上述目標像素為中心之規定尺寸之區域內包含之複數個對象像素的亮度值之代表值之步驟；b)於上述目標像素之亮度值在以上述代表值為中心而設定之亮度值範圍內之情況下，將上述目標像素之亮度值作為基準值進行設定，而於上述目標像素之亮度值在上述亮度值範圍外之情況下，將上述代表值作為基準值進行設定，或者，與上述目標像素之亮度值無關地，將上述代表值作為基準值進行設定之步驟；及c)使用上述複數個對象像素之亮度值，並藉由進行各對象像素之亮度值與上述基準值之差越小則對上述各對象像素之亮度值之加權越大之過濾處理，求取上述目標像素之新的亮度值之步驟。
8. 如申請專利範圍第7項之影像處理方法，其中，於上述a)步驟中，求取顯示上述複數個對象像素中之亮度值之不均之值， 於上述b)步驟中，基於顯示上述不均之值而決定上述亮度值範圍之寬度，使用上述亮度值範圍來設定上述基準值。
9. 如申請專利範圍第7或8項之影像處理方法，其中，於上述c)步驟中，於上述過濾處理中，將上述複數個對象像素中，亮度值落在以上述代表值為中心而設定之亮度值範圍外之對象像素之上述亮度值排除。
10. 如申請專利範圍第7或8項之影像處理方法，其中，於上述過濾處理中，上述各對象像素與上述目標像素之距離越小，則對上述各對象像素之亮度值之加權越大。
11. 如申請專利範圍第7或8項之影像處理方法，其中，上述影像係顯示形成於透明基材上之透明電極膜之影像。
12. 一種影像取得方法，係取得形成於基材上之薄膜圖案之影像者；其包含：藉由拍攝上述基材而取得攝影影像之步驟；及申請專利範圍第7或8項之影像處理方法，其對上述攝影影像進行處理。