TWI580313B - 靜電消除裝置 - Google Patents
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Description
本發明是有關於一種靜電消除裝置,特別是指一種具有靜電感測器之靜電消除裝置。
半導體的相關電子產品需求量的日益趨增,消費者對電子產品演進為追求輕、薄、短、小之訴求,且電子元件不斷的縮小尺寸,相對於半導體晶片的電子封裝技術也隨之推陳出新,研發出突破現有之技術,以符合市場上電子產品的需求。
再者,半導體產品的製造成本與附加價值均屬高價,且產品的性能將為影響最終電子商品功能的關鍵,所以半導體晶片製造過程中的每個階段、每一個半導體晶片產品,都有著層層的測試及檢驗以為最終的電子產品之品質作把關。
一般而言半導體產品測試製程是指晶片封裝之後檢測封裝後晶片的電信功能與外觀的測試製程,半導體產品測試之流程包括了上線備料、測試機台測試、電性抽測、標籤掃描、人工或機器檢腳、檢腳抽檢與彎腳修整、包裝等等作業流程,其中,測試機台測試中的分類機(Handler)主要在於判斷待測的半導體產品是否已於製程中毀壞或靜電破壞,所謂靜電是指由物體接觸與分離時負電離子之移動所造成物體偏正電或是負電的效應,使該體積小的半導體產品,因靜電放電(ElectroStatic Discharge,ESD)被打穿、燒毀、劣化、破壞等等情況所毀壞而失效,因此靜電防護成為半導體產業需要克服的課題之一。
半導體產業中的製程環境多半於無塵室進行,而因無塵室環境較低的相對濕度促使靜電容易存留堆
積,所以靜電於無塵室裡是必然會產生的現象,目前所使用的靜電防護有戴靜電接地手環、抗靜電工作鞋、離子風扇、靜電棒等等,半導體產品測試製程中,操作人員於測試製程中,需要使用人工或機器將半導體晶片由半導體承載治具(例如半導體Tray盤)中移動至目前的測試製程機台,等該待測的半導體產品一一測試完畢,再由目前的測試製程的機台移動至半導體Tray盤中,由於不同的測試製程會使用不同功能的機器來處理,所以半導體產品將因此而被移動至不同的機台,再繼續進行下一測試製程,而在移動的過程當中若操作人員的靜電防護因為個人疏失或是裝置本身所引起的損壞而使半導體產品產生靜電污染,對於已完成數十道甚至上百道製程的半導體晶片將因此而毀於一旦。
參閱圖1,為中華明國專利號I435659一種用於消除工件之靜電消除器,靜電消除器1係於外形輪廓細長之箱1a之底面上,在長度方向上隔開而設置有複數個即8個主放電電極單元2、與4個附加放電電極單元3。再者,4個附加放電電極單元3係根據使用者之選擇而裝卸者,且該等附加放電電極單元3之構造與主放電電極單元2之基本構造大致相同。
該靜電消除器1是採用脈衝AC(Alternating Current,交流)方式來作為對放電電極21施加高電壓之方式,或是採用可變DC(Direct current,直流)方式來驅動主放電電極單元2及附加放電電極單元3進行放電,以消除工件上的靜電電荷。
但是習知之靜電消除器在實際使用上仍具有下列缺點:
一、浪費能源
早期在消除靜電的方式是都是持續不斷放出正負離子,不管其待測端是否存在工
件,靜電消除器都還是持續利用高壓使該放電電極產生離子,即使已達靜電平衡,該靜電消除器還是放出等量的正負離子,造成能源的浪費。
二、靜電消除不均勻
習知的靜電消除器是以間隔的方式在放電針處設置吹氣孔,雖然可以避免該放電針尖端堆積雜質而造成損毀,但是間隔設置的吹氣孔會造成離子散佈不均勻的狀況,即使在主放電電極之中設置了附加放電電極也無法確實改變離子散佈狀況。
三、減少使用壽命
靜電消除器是以電子電路的方式產生高壓,並在放電針處產生離子,其電路與放電針都有壽命的限制,當感測靜電平衡時卻還是持續不斷產生離子時,將會消耗使用次數而減少使用壽命。
由於靜電不會平白無故消失在環境之中,只要有靜電產生一定會造成破壞,且往往一次的靜電破壞所帶來了損失可能是數百萬或數千萬不等,為了提高產品的可靠度及避免靜電破壞造成的危害,現有測試製程中排除靜電的作法與設備環境,實屬有必要再加以改進。
有鑑於此,本發明之目的是在提供一種靜電消除裝置,適用於消除一物品之靜電電荷,並包含一靜電偵測單元,及一靜電消除單元。
該靜電偵測單元包括一可感測該物品之靜電電荷的靜電感測器。該靜電消除單元,包括一與該靜電感測器電連接的靜電控制器、一與該靜電控制器電連接的離子產生器,及一與該靜電控制器電連接的離子傳送器,
該靜電控制器接收該物品之靜電電荷的資訊並控制該離子產生器產生正離子、負離子其中之一,該靜電控制器控制該離子傳送器運作,以將該離子產生器產生的離子吹送到該物品上。當該靜電感測器所感測的靜電電荷為正時,該靜電控制器控制該離子產生器只產生負離子並藉由該離子傳送器吹送至該物品上,當該靜電感測器所感測的靜電電荷為負時,該靜電控制器控制該離子產生器只產生正離子並藉由該離子傳送器吹送至該物品上,當該靜電感測器沒有感測到靜電電荷時,該靜電控制器停止該離子產生器及該離子傳送器運作。
本發明的又一技術手段,是在於上述之離子產生器具有一正離子產生電路、一負離子產生電路、至少一與該正離子產生電路電連接之正離子放電針,及至少一與該負離子產生電路電連接之負離子放電針,當該物品之靜電電荷為正時,該靜電控制器控制該負離子產生電路於該負離子放電針產生負離子,當該物品之靜電電荷為負時,該靜電控制器控制該正離子產生電路於該正離子放電針產生正離子。
本發明的另一技術手段,是在於上述之離子產生器具有一正離子產生電路、一負離子產生電路,及至少一與該正、負離子產生電路電連接之離子放電針,當該物品之靜電電荷為正時,該靜電控制器控制該負離子產生電路於該離子放電針產生負離子,當該物品之靜電電荷為負時,該靜電控制器控制該正離子產生電路於該離子放電針產生正離子。
本發明之再一技術手段,是在於上述之離子傳送器具有一與該離子產生器間隔設置的風扇,該靜電控制器可控制該風扇運作與否,以將該離子產生器所產生的離子吹送至該物品。
本發明的又一技術手段,是在於上述之離子
傳送器具有一圍繞界定一容置空間並框圍成圈的殼體、一於該殼體圈圍外側的進氣孔、一於該殼體圈圍內側的出風孔,及一設置於該殼體中的風扇,該靜電控制器控制該風扇運作並由該進氣孔吸氣後由該出風孔吹出,當該出風孔將空氣吹出時可帶動該殼體圈圍內的空氣流動,該離子產生器於該殼體之圈圍內產生離子。
本發明的另一技術手段,是在於上述之離子傳送器具有一圍繞界定一容置空間並框圍成圈的殼體、一於該殼體圈圍內側的進氣孔、一於該殼體圈圍內側的出風孔、一設置於該容制空間的空氣隔板,及一設置於該空氣隔板中的風扇,該空氣隔板可將與該進氣孔及該出風孔所連接的容置空間隔開,該靜電控制器控制該風扇運作並由該進氣孔吸氣後由該出風孔吹出,當該出風孔將空氣吹出時可帶動該殼體圈圍內的空氣流動,該離子產生器於該殼體之圈圍內產生離子。
本發明的再一技術手段,是在於上述之離子傳送器具有一圍繞界定出一容置空間的風刀體、一設置於該風刀體上呈狹長狀的出風口,及一與該風刀體連接的高壓儲氣筒,該靜電控制器控制該高壓儲氣筒提供高壓空氣至該容置空間,以使該出風口向該物品吹出氣簾氣流,該離子產生器於該容置空間中產生離子。
本發明的又一技術手段,是在於上述之離子傳送器具有一圍繞界定出一容置空間的風刀體、一設置於該風刀體上呈狹長狀的出風口,及一與該風刀體連接的高壓儲氣筒,該靜電控制器控制該高壓儲氣筒提供高壓空氣至該容置空間,以使該出風口向該物品吹出氣簾氣流,該離子產生器於該出風口吹風處產生離子。
本發明的另一技術手段,是在於上述之靜電感測器具有一與該物品間隔設置的感測探頭,及一與該感測探頭電連接的靜電感測晶片,該靜電感測晶片可以將該
感測探頭上之感測電荷的資訊回饋給該靜電控制器。
本發明的再一技術手段,是在於上述之靜電消除單元更包括一與該靜電控制器電連接之資訊顯示器,用以提供外界操作及資訊顯示。
本發明之有益功效在於當該靜電感測器感測到負電荷時,該靜電控制器開啟該正離子產生電路及該離子傳送器將所產生的正離子吹送至該物品上,當該靜電感測器感測到正電荷時,該靜電控制器開啟該負離子產生電路及該離子傳送器將所產生的負離子吹送至該物品上,當該靜電感測器沒有感測到靜電電荷時,該靜電控制器關閉該離子產生器及該離子傳送器,以避免不必要的能源浪費及延長使用的壽命。
A‧‧‧物品
3‧‧‧靜電偵測單元
31‧‧‧靜電感測器
311‧‧‧感測探頭
312‧‧‧靜電感測晶片
4‧‧‧靜電消除單元
41‧‧‧靜電控制器
42‧‧‧離子產生器
421‧‧‧正離子產生電路
422‧‧‧負離子產生電路
423‧‧‧正離子放電針
424‧‧‧負離子放電針
425‧‧‧離子放電針
43‧‧‧離子傳送器
431‧‧‧風扇
432‧‧‧容置空間
433‧‧‧殼體
434‧‧‧進氣孔
435‧‧‧出風孔
436‧‧‧空氣隔板
437‧‧‧風刀體
438‧‧‧出風口
439‧‧‧高壓儲氣筒
44‧‧‧資訊顯示器
圖1是一裝置示意圖,說明習知中華民國專利號I435659一種靜電消除器;圖2是一方塊示意圖,說明本發明靜電消除裝置之一第一較佳實施例;圖3是一示意圖,說明該第一較佳實施例產生負離子的態樣;圖4是一示意圖,說明該第一較佳實施例產生正離子的態樣;圖5是一剖面示意圖,說明本發明靜電消除裝置之一第二較佳實施例;圖6是一剖面示意圖,說明本發明靜電消除裝置之一第三較佳實施例;圖7是一裝置示意圖,說明本發明靜電消除裝置之一第四較佳實施例;及圖8是一裝置示意圖,說明本發明靜電消除裝置之一第五較佳實施例。
有關於本發明之相關申請專利特色與技術內容,在以下配合參考圖式之五個較佳實施例的詳細說明中,將可清楚的呈現。
在進行詳細說明前應注意的是,類似的元件是以相同的編號來作表示。
參閱圖2、3、4,為本發明靜電消除裝置之一第一較佳實施例,適用於消除一物品A之靜電電荷,並包含一靜電偵測單元3,及一靜電消除單元4。
該靜電偵測單元3包括一可感測該物品A之靜電電荷的靜電感測器31。該靜電感測器31具有一與該物品A間隔設置的感測探頭311,及一與該感測探頭311電連接的靜電感測晶片312。當該物品A上存在有靜電電荷時,該感測探頭311將會被感應,並產生相反極性的靜電電荷,與該測探頭電連接的靜電感測晶片312將會得到該感測探頭311上電荷量的資訊,並得知該物品上的靜電電荷。
該靜電消除單元4包括一與該靜電感測器31電連接的靜電控制器41、一與該靜電控制器41電連接的離子產生器42,及一與該靜電控制器41電連接的離子傳送器43,該靜電感測晶片312可以將該感測探頭311上之感測電荷的資訊回饋給該靜電控制器41,該靜電控制器41接收該物品A之靜電電荷的資訊並控制該離子產生器42產生正離子、負離子其中之一,該靜電控制器41控制該離子傳送器43運作,以將該離子產生器42產生的離子吹送到該物品A上。
該離子產生器42具有一正離子產生電路421、一負離子產生電路422、至少一與該正離子產生電路421電連接之正離子放電針423,及至少一與該負離子產生電路422電連接之負離子放電針424,當該物品A之靜電
電荷為正時,該靜電控制器41控制該負離子產生電路422於該負離子放電針424產生負離子,當該物品A之靜電電荷為負時,該靜電控制器41控制該正離子產生電路421於該正離子放電針423產生正離子。
該離子傳送器43具有一與該離子產生器42間隔設置的風扇431,該靜電控制器41可控制該風扇431運作與否,以將該離子產生器42所產生的離子吹送至該物品A。該正離子放電針423及該負離子放電針424設置於該風扇431的出風口438處,當該靜電控制器41控制該離子傳送器43之風扇431運轉時,可以將該離子產生器42所產生的離子吹送出去,到達該物品A進行靜電中和,以消除靜電電荷。
回顧圖3,當該物品A上存在有正靜電電荷時,該靜電感測器31之感測探頭311會感應並產生負電荷,該靜電感測晶片312就可以藉由該感測探頭311得知該物品A上的靜電電荷為正電荷,並將靜電電荷的資訊回饋給該靜電控制器41,該靜電控制器41控制該離子產生器42只產生負離子並藉由該離子傳送器43吹送至該物品A上。
回顧圖4,當該物品A上存在有負靜電電荷時,該靜電感測器31之感測探頭311會感應並產生正電荷,該靜電感測晶片312就可以藉由該感測探頭311得知該物品A上的靜電電荷為負電荷,並將靜電電荷的資訊回饋給該靜電控制器41,該靜電控制器41控制該離子產生器42只產生正離子並藉由該離子傳送器43吹送至該物品A上。
本發明人要強調的是,早期使用脈衝調變的方式產生正負離子來消除靜電電荷的方式,與本發明偵測到負電荷只產生正離子,或是偵測到正電荷只產生負離子的靜電消除方式,將可利用較少的離子量達到靜電中和的
功效,不僅可以快速達到靜電中和的效果,還能減少離子產生的次數,來延長靜電消除裝置的使用壽命。
值得注意的是,當該靜電感測器31沒有感測到靜電電荷時,該靜電控制器41停止該離子產生器42及該離子傳送器43運作,不僅可以節省產生離子及吹送離子的電力消耗,還能避免該物品A沾上離子而再次產生靜電電荷。較佳地,該離子產生器42可以控制離子產生的數量,且該離子傳送器43可以控制送風的力道,使該靜電控制器41可以控制吹到該物品A上的離子量,可以更精準的達到靜電中和的功效。當該離子產生器42及該離子傳送器43停止運作時,該靜電感測器31還是持續進行靜電的偵測,以感測其它物品A的靜電電荷。
此外,該靜電消除單元4更包括一與該靜電控制器41電連接之資訊顯示器44,用以提供外界操作及資訊顯示,該資訊顯示器44可以提供使用者依據該物品A的種類,來設定產生離子的最大數目,避免該離子產生器42產生過量的離子而造成物品A的傷害,該資訊顯示器44中也可以設置記憶晶片,記錄每一筆消除靜電的相關資料,以供使用者參考。
參閱圖5,為本發明靜電消除裝置之第二較佳實施例,該第二較佳實施例與該第一較佳實施大致相同,相同處在此不再贅述,不同之處在於該離子產生器42具有一正離子產生電路421、一負離子產生電路422,及至少一與該正、負離子產生電路421、422電連接之離子放電針425,當感測該物品A之靜電電荷為正時,該靜電控制器41控制該負離子產生電路422於該離子放電針425只產生負離子,當該物品A之靜電電荷為負時,該靜電控制器41控制該正離子產生電路421於該離子放電針425只產生正離子。
該離子傳送器43具有一圍繞界定一容置空
間432並框圍成圈的殼體433、一於該殼體433圈圍外側的進氣孔434、一於該殼體433圈圍內側的出風孔435,及一設置於該殼體433中的風扇431,該靜電控制器41控制該風扇431運作並由該進氣孔434吸氣後由該出風孔435吹出,當該出風孔435將空氣吹出時可帶動該殼體433圈圍內的空氣流動,該離子產生器42於該殼體433之圈圍內產生離子。
由於該離子傳送器43設置於該殼體433中,可以避免風扇431葉片沾附太多灰塵而造成物品A的汙染。此外,由該出風孔435吹出的氣流可以帶動位於該殼體433圈圍內的空氣流動,達到以少量氣流帶動大量氣流的功效,可以節省電力的消耗。
該第二較佳實施例之離子傳送器43所產生的氣流是以外圈的氣流帶動內圈的氣流,使的吹出的氣流中會產生些許的亂流(turbulence),使設置在該殼體433之圈圍中心的離子放電針425所產生的離子容易均勻地分散至該氣流中,可以使該物品A上的靜電消除狀況更為均勻。
參閱圖6,為本發明靜電消除裝置之第三較佳實施例,該第三較佳實施例與該第二較佳實施大致相同,相同處在此不再贅述,不同之處在於該離子傳送器43具有一圍繞界定一容置空間432並框圍成圈的殼體433、一於該殼體433圈圍內側的進氣孔434、一於該殼體433圈圍內側的出風孔435、一設置於該容制空間的空氣隔板436,及一設置於該空氣隔板436中的風扇431,該空氣隔板436可將與該進氣孔434及該出風孔435所連接的容置空間432隔開,該靜電控制器41控制該風扇431運作並由該進氣孔434吸氣後由該出風孔435吹出,當該出風孔435將空氣吹出時可帶動該殼體433圈圍內的空氣流動,該離子產生器42於該殼體433之圈圍內產生離子。
由於該第三較佳實施例之殼體433框圍成
圈,且該進氣孔434及該出風孔435都設置於該圓圈之內側,能使框圍於該殼體433中的空氣受到該進氣孔434吸氣及該出風孔435吹氣的雙重氣流帶動之下,使該離子傳送器43吹出氣流的流速將會提升,且氣流中產生的亂流(turbulence)也會較多,該資訊顯示器44也將會將工作參數提供使用者設定,避免產生太多的亂流而使離子逃出氣流之外,降低了靜電消除的效果。
值得一提的是,該第二、三較佳實施例之殼體433圈圍的形狀為圓圈狀,能使圓圈中心所產生的離子均勻地分散於該離子傳送器43所產生的氣流之中,實際實施時,該殼體433也可以框圍形成其它的型狀,不應以此為限。
參閱圖7,為本發明靜電消除裝置之第四較佳實施例,該第四較佳實施例與該第三較佳實施大致相同,相同處在此不再贅述,不同之處在於該離子傳送器43具有一圍繞界定出一容置空間432的風刀體437、一設置於該風刀體437上呈狹長狀的出風口438,及一與該風刀體437連接的高壓儲氣筒439,該靜電控制器41控制該高壓儲氣筒439提供高壓空氣至該容置空間432,以使該出風口438向該物品A吹出氣簾氣流,該離子產生器42於該容置空間432中產生離子。
該高壓儲氣筒439以一氣體輸送管路與該刀風體437連接並與該容置空間432相通,該高壓儲氣筒439具有一可以產生高壓空氣的空氣幫浦、一流速控制閥,及一電磁閥,該靜電控制器41可控制該流速控制閥以調整由該出風口438吹出的氣流流速,該靜電控制器41可控制該電磁閥的啟閉以控制該出風口438吹風與否。當然,該高壓儲氣筒439也可以是直接裝設於該容置空間432中,由於高壓空氣的產生與控制已為廣泛之技術,在此便不再詳加贅述。
該第四較佳實施例中使用複數正離子放電針423及複數負離子放電針424,彼此間隔且交錯地設置於該容置空間432中,當該靜電控制器41依據該物品A靜電電荷的資訊控制該離子產生器42於該容置空間432中只產生正離子,或者只產生負離子,並控制該高壓儲氣筒439提供高壓空氣,使該風刀體437上的出風口438吹出帶有離子的氣簾氣流,以消除該物品A上的靜電電荷。當該靜電感測器31沒有感測到靜電電荷時,該靜電控制器41控制該高壓儲氣筒439停止供應高壓空氣,並控制該離子產生器42停止運轉,避免該物品A再度產生電電荷,並節省電力的使用。
參閱圖8,為本發明靜電消除裝置之第五較佳實施例,該第五較佳實施例與該第四較佳實施大致相同,相同處在此不再贅述,不同之處在於,該離子產生器42於呈狹長狀之出風口438吹風處產生離子。
其中,該離子產生器42是使用複數與該正、負離子產生電路421、422電連接的離子放電針425,該複數離子放電針425是以彼此間隔的方式設置於該出風口438的吹風出口處,當該靜電感測器31感測到正靜電電荷時,該靜電控制器41控制該負離子產生電路422於該離子放電針425上只產生負離子,當該靜電感測器31感測到負靜電電荷時,該靜電控制器41控制該正離子產生電路421於該離子放電針425上只產生正離子,並控制該高壓儲氣筒439提供高壓空氣將該離子放電針425上的離子吹送到該物品A上,以消除靜電電荷來達到靜電平衡。
較佳地,該第四、五實施例之出風孔435呈縫隙狀,使吹出帶有離子的氣流形成氣簾氣流的態樣,實際實施時,該出風口438也可以是以複數平行的縫隙態樣,只要是可以吹出帶有離子的氣簾氣流即可,不應以此為限。
由上述說明可知,本發明靜電消除裝置確實具有以下優點:
一、平衡速度快
相較早期使用脈衝調變的方式產生正負離子來消除靜電電荷的方式,與本發明偵測到負電荷只產生正離子,而偵測到正電荷只產生負離子的方式,本發明可以利用較少的離子量即可達到靜電中和的功效,可以更快達到靜電中和的效果。
二、節省能源使用
當該靜電感測器31沒有感測到靜電電荷時,該靜電控制器41停止該離子產生器42及該離子傳送器43運作,不僅可以避免該物品A再次沾上離子而產生靜電電荷,還能節省離子產生及離子吹送的電力使用。
三、使用壽命長
不管是離子產生器42,或是離子傳送器43都具有使用次數的限制(使用壽命),當本發明之靜電感測器31沒有感測到靜電電荷時,該靜電控制器41控制該離子產生器42及離子傳送器43停止運轉,不僅可以避免不必要的電力消耗,也可以延長靜電消除裝置的使用壽命。
綜上所述,本發明靜電消除裝置之靜電感測器31可以間隔的感應到該物品A的靜電電荷,並將該物品A靜電電荷的資訊回饋至該靜電控制器41,該靜電控制器41依據該物品A靜電電荷的資訊控制該離子產生器42只產生相反於該物品A靜電電荷的離子,並控制該離子傳送器43將所產生的離子吹送至該物品A上以進行靜電中和,不僅可以加快靜電平衡速度,還可以節省電力的消耗
及延長使用的壽命,故確實能夠達到本發明之目的。
惟以上所述者,僅為本發明之五個較佳實施例而已,當不能以此限定本發明實施之範圍,即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
3‧‧‧靜電偵測單元
31‧‧‧靜電感測器
4‧‧‧靜電消除單元
41‧‧‧靜電控制器
42‧‧‧離子產生器
43‧‧‧離子傳送器
44‧‧‧資訊顯示器
Claims (10)
- 一種靜電消除裝置,適用於消除一物品之靜電電荷,並包含:一靜電偵測單元,包括一可感測該物品之靜電電荷的靜電感測器;及一靜電消除單元,包括一與該靜電感測器電連接的靜電控制器、一與該靜電控制器電連接的離子產生器,及一與該靜電控制器電連接的離子傳送器,該靜電控制器接收該物品之靜電電荷的資訊並控制該離子產生器產生正離子、負離子其中之一,該靜電控制器控制該離子傳送器運作,以將該離子產生器產生的離子吹送到該物品上;當該靜電感測器所感測的靜電電荷為正時,該靜電控制器控制該離子產生器只產生負離子並藉由該離子傳送器吹送至該物品上,當該靜電感測器所感測的靜電電荷為負時,該靜電控制器控制該離子產生器只產生正離子並藉由該離子傳送器吹送至該物品上,當該靜電感測器沒有感測到靜電電荷時,該靜電控制器停止該離子產生器及該離子傳送器運作。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該離子產生器具有一正離子產生電路、一負離子產生電路、至少一與該正離子產生電路電連接之正離子放電針,及至少一與該負離子產生電路電連接之負離子放電針,當該物品之靜電電荷為正時,該靜電控制器控制該 負離子產生電路於該負離子放電針產生負離子,當該物品之靜電電荷為負時,該靜電控制器控制該正離子產生電路於該正離子放電針產生正離子。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該離子產生器具有一正離子產生電路、一負離子產生電路,及至少一與該正、負離子產生電路電連接之離子放電針,當該物品之靜電電荷為正時,該靜電控制器控制該負離子產生電路於該離子放電針產生負離子,當該物品之靜電電荷為負時,該靜電控制器控制該正離子產生電路於該離子放電針產生正離子。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該離子傳送器具有一與該離子產生器間隔設置的風扇,該靜電控制器可控制該風扇運作與否,以將該離子產生器所產生的離子吹送至該物品。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該離子傳送器具有一圍繞界定一容置空間並框圍成圈的殼體、一於該殼體圈圍外側的進氣孔、一於該殼體圈圍內側的出風孔,及一設置於該殼體中的風扇,該靜電控制器控制該風扇運作並由該進氣孔吸氣後由該出風孔吹出,當該出風孔將空氣吹出時可帶動該殼體圈圍內的空氣流動,該離子產生器於該殼體之圈圍內產生離子。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該離子傳送器具有一圍繞界定一容置空間並框圍成圈 的殼體、一於該殼體圈圍內側的進氣孔、一於該殼體圈圍內側的出風孔、一設置於該容制空間的空氣隔板,及一設置於該空氣隔板中的風扇,該空氣隔板可將與該進氣孔及該出風孔所連接的容置空間隔開,該靜電控制器控制該風扇運作並由該進氣孔吸氣後由該出風孔吹出,當該出風孔將空氣吹出時可帶動該殼體圈圍內的空氣流動,該離子產生器於該殼體之圈圍內產生離子。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該離子傳送器具有一圍繞界定出一容置空間的風刀體、一設置於該風刀體上呈狹長狀的出風口,及一與該風刀體連接的高壓儲氣筒,該靜電控制器控制該高壓儲氣筒提供高壓空氣至該容置空間,以使該出風口向該物品吹出氣簾氣流,該離子產生器於該容置空間中產生離子。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該離子傳送器具有一圍繞界定出一容置空間的風刀體、一設置於該風刀體上呈狹長狀的出風口,及一與該風刀體連接的高壓儲氣筒,該靜電控制器控制該高壓儲氣筒提供高壓空氣至該容置空間,以使該出風口向該物品吹出氣簾氣流,該離子產生器於該出風口吹風處產生離子。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該靜電感測器具有一與該物品間隔設置的感測探頭,及一與該感測探頭電連接的靜電感測晶片,該靜電感測晶 片將該感測探頭上之感測電荷的資訊回饋給該靜電控制器。
- 依據申請專利範圍第1項所述之靜電消除裝置,其中,該靜電消除單元更包括一與該靜電控制器電連接之資訊顯示器,用以提供外界操作及資訊顯示。
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