TWI570042B - With the purification function of the storage device and storage unit - Google Patents

Description

具備淨化功能之儲料器及儲料器單元

本發明係關於一種具備淨化功能之儲料器、儲料器單元、及對儲料器內之容器之潔淨氣體之供給方法。

半導體晶圓、光罩等於無塵室內處理之工件，係收納於SMIF(Standard Mechanical Interface，標準化機械式介面)盒、FOUP(Front Opened Unified Pod，前端開啟式晶圓傳送盒)等容器，以進行搬送與保管。而且，提出有藉由自容器之氣體注入口，導入氮氣(N₂氣體)、清淨乾燥空氣等潔淨氣體，而將容器內局部地保持為潔淨之技術。尤其，於使用氮氣體之情況，亦具有防止於半導體晶圓表面形成氧化膜之作用。專利文獻1(JP2010-241515A)提出有對容器供給潔淨氣體之附帶噴嘴之儲料器，專利文獻2(WO2008/106622)提出有用以保管光罩之附帶氣體注入口之SMIF盒。

然而，專利文獻1之儲料器係所有進出料口均須對應淨化功能，無法使對應淨化功能之進出料口與不對應淨化功能之進出料口共存。假設若對一部分之進出料口不設置淨化用之配管(淨化線)，則該進出料口就無法使用於淨化用。又，於對不具備淨化線之既存之儲料器追加淨化功能之情況下，必須以新的儲料器更換既存之儲料器。若取代更換儲料器，而將儲料器於無塵室內進行改造，則作業時間或作業空間受到限制，且會被要求防止產生灰塵，故而非常麻煩。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]JP2010-241515A

[專利文獻2]WO2008/106622(JP2010-520625A)

本發明之課題在於提供一種儲料器，其可使具備淨化功能之進出料口與不具備淨化功能之進出料口共存，且可將不具備淨化功能之進出料口輕易地變更為具備淨化功能之進出料口。

本發明之具備淨化功能之儲料器係構成為包括：沿著上下方向或水平方向，於自如地安裝複數個不具備潔淨氣體之供給用噴嘴之擱板支承之框架；及儲料器單元；上述儲料器單元係構成為包括：由柱或樑所構成，安裝於上述框架之基座；沿著上述基座所設置之潔淨氣體供給用之管；及複數個附帶淨化功能之擱板支承；上述附帶淨化功能之擱板支承係安裝於上述基座，沿著上下方向或水平方向排列，自如地支撐容器，且具備有自上述管將潔淨氣體供給至容器之噴嘴。

又，本發明之儲料器單元具備有：由柱或樑所構成，自如地安裝於儲料器之框架之基座； 沿著上述基座所設置之潔淨氣體供給用之管；及安裝於上述基座，且沿著上下方向或水平方向排列之複數個附帶淨化功能之擱板支承；上述擱板支承係自如地支撐容器，且具備有自上述管將潔淨氣體供給至容器之噴嘴。

於本發明之對容器之潔淨氣體之供給方法中，對具有沿著上下方向或水平方向，於自如地安裝複數個不具備潔淨氣體之供給用噴嘴之擱板支承之框架之儲料器，執行如下步驟：藉由將上述基座安裝於上述框架，將儲料器單元安裝於上述儲料器之步驟，該儲料器單元係構成為包括：由柱或樑所構成之基座；沿著上述基座所設置之潔淨氣體供給用之管；及沿著上下方向或水平方向安裝於上述基座，並且具備自上述管供給潔淨氣體之噴嘴之、複數個附帶淨化功能之擱板支承；及自上述噴嘴將潔淨氣體供給至由上述擱板支承所支撐之容器。

於本發明中，藉由將儲料器單元安裝於儲料器之框架，可追加將潔淨氣體自噴嘴朝向容器供給之淨化功能。而且，於儲料器之框架，可安裝具備淨化功能之儲料器單元，亦可安裝不具備淨化功能之擱板支承。又，亦可將具備淨化功能之儲料器單元組入既存之儲料器。再者，於本說明書中，關於儲料器之記載亦直接適用於儲料器單元，關於儲料器單元之記載亦直接適用於儲料器。

較佳為，上述框架係於容器之收納空間後端，具備有至少一對第1柱，上述基座係由容器之收納空間後端之至少一對第2柱所構成，且上述第2柱之間隔較上述第1柱之間隔更窄， 且自容器之收納空間前方觀察，上述第2柱係位於上述第1柱之斜前方，並安裝於上述第1柱。

若以使儲料器單元之第2柱位於儲料器之框架之第1柱之斜前方之方式，將儲料器單元組入至儲料器內，並將第2柱安裝於第1柱，則可簡單地將儲料器單元安裝於儲料器。

特佳為，上述附帶淨化功能之擱板支承係進一步具備有：自上述管朝向上述噴嘴供給潔淨氣體之分支線；及控制分支線中之之流量之閥；上述管與上述閥係設置於自容器之收納空間前方觀察時，較上述第2柱之前端更後側，且較上述第1柱之後端更前側。

較第2柱之前端更後側且較第1柱之後端更前側之空間，容易成為不與容器干涉之空白空間。藉由於該空間設置管與閥，而成為節省空間之儲料器單元。

較佳為，於上述框架安裝有複數個不具備潔淨氣體之供給用噴嘴之擱板支承，並且於上述框架安裝有上述儲料器單元。亦即，於同一儲料器內，使不具備潔淨氣體之供給用噴嘴之擱板支承與具備潔淨氣體之供給用噴嘴之附帶淨化功能之擱板支承共存。

2‧‧‧儲料器

4‧‧‧擱板

6‧‧‧搬送裝置用空間

8、14‧‧‧柱

10、16‧‧‧擱板支承

12‧‧‧儲料器單元

18‧‧‧淨化線

19、20‧‧‧噴嘴

22‧‧‧容器感測器

24‧‧‧鉛直板

26‧‧‧控制部

28‧‧‧L字構件

29‧‧‧鏈線

30‧‧‧緊固構件

31‧‧‧十字狀之安裝片

32、39‧‧‧接頭

34‧‧‧分支線

36‧‧‧流量計

38‧‧‧閥

40、42‧‧‧安裝構件

44‧‧‧FOUP

45‧‧‧FOUP44之蓋

46‧‧‧把手

47‧‧‧排氣管

48‧‧‧排氣線

圖1係實施例之儲料器之主要部分俯視圖。

圖2係圖1之主要部分放大俯視圖。

圖3係實施例之儲料器之擱板之主要部分放大前視圖。

以下，表示用以實施本發明之最佳實施例。本發明之範 圍應基於申請專利範圍之記載，參考說明書之記載與該領域中之周知技術，按照本領域技術人員之理解而定。

[實施例]

圖1~圖3表示實施例之儲料器2與儲料器單元12。圖1係表示儲料器2之整體構造，例如將一對擱板4、4之間設為搬送裝置用空間，而使未圖示之堆高起重機等搬送裝置移行。又，於擱板4、4之一部分設置有未圖示之入出庫用之裝載埠，於與未圖示之高架移行車等之間，交接FOUP、SMIF盒等容器。搬送裝置係於裝載埠與擱板4之間、或擱板4、4之間等，交接容器。關於擱板4、4，將空間6側設為前方，將其相反側設為後方。

於擱板4、4之後端設置有複數個柱8，於一對柱8、8上下安裝有複數個擱板支承10。又，於一對柱8、8，安裝有具備淨化功能之儲料器單元12。儲料器單元12係於其後端具備一對鉛直之柱14、14，又，具備由與柱14大致平行之配管所構成之淨化線18，可自設置於工廠內之管線等將乾燥氮氣、清淨乾燥空氣等潔淨氣體供給至容器內。以藉由一對柱14、14支撐之方式，上下設置有複數個擱板支承16，淨化線18係上下貫通擱板支承16，並於擱板支承16設置有用以將潔淨氣體吹入容器內之噴嘴19、19與用以自容器排出潔淨氣體之噴嘴20。再者，既可在每個擱板支承16設置1個噴嘴19，亦可在左右設置2個排氣用之噴嘴20。再者，於容器之自本體與蓋之間隙將潔淨氣體自然排出之情況時，無需排氣用之噴嘴20。元件符號22係容器感測器，檢測有無由擱板支承16所支撐之容器。容器感測器22雖在每個擱板支承16設置2個，但亦可為3個以上或1個，又，亦可不設置容器感測器22，而根據搬送裝置對擱板支承16搬出入容器之資料來 判斷容器之有無。

於圖2、圖3表示儲料器單元12之詳細情況。擱板支承16之後端部係鉛直向上折彎而構成鉛直板24，且於該處安裝有控制部26、流量計36及閥38。於淨化線18藉由接頭32連接有每個擱板支承16之分支線34，控制部26係根據容器感測器22之信號打開閥38，以流量計36監視分支線34之流量，向閥38反饋，用以於分支線34中流動恆定流量之潔淨氣體。分支線34係藉由接頭39分為兩個分支，自噴嘴19、19經由FOUP44之氣體導入孔，將潔淨氣體朝向FOUP44內導入。再者，元件符號45係FOUP44之蓋，元件符號46係高架移行車把持用之把手。自噴嘴20排出之氮氣氣體係經由排氣管47與由與柱14大致平行之配管所構成之排氣線48回收。又，元件符號42係用以將擱板支承10安裝於柱8之安裝構件。

柱8係對應於申請專利範圍之第1柱，柱14係對應於第2柱，柱8係儲料器2之框架之主要部分。柱14之前端與柱8之後端間之空間，尤其FOUP44之後端與柱8之後端間之空間容易成為空白空間。因此於該空間，收納淨化線18、控制部26、流量計36、及閥38等。柱14、14係配置於柱8、8之斜前方，柱14、14之間隔較柱8、8之間隔更窄。而且，藉由L字構件28與緊固構件30，將柱14緊固於柱8。又，FOUP44之後側係於俯視時呈越向後端越細之形狀，即形成水平方向之寬度變窄之形狀。例如，以俯視時既可為圓弧狀，亦可為將左右兩側倒角狀地切缺之形狀。由於為如此之形狀，故可將柱14設置於不與FOUP44干涉之位置。再者，如圖2中鏈線29所示，既可將L字構件配置於柱14之後端側，又，如圖2之下部放大所示，亦可使用例如十字狀之安裝片31。可根據儲料器之構成等而進行適當之設 計變更。

儲料器單元12之水平方向之寬度與擱板支承10之寬度大致相同，可於擱板4之柱8、8間設置儲料器單元12。因此，例如可將儲料器單元12組入不具備淨化功能之既存之儲料器，藉此追加淨化功能。又，可於儲料器2，設置具備淨化功能之擱板支承16與不具備淨化功能之擱板支承10，可將擱板支承10卸下並以儲料器單元12取代，或相反地將儲料器單元12卸下並以擱板支承10取代。

在儲料器單元12中雖將複數個擱板支承16上下排列，但亦可水平排列。於該情況下，取代柱14、14，例如以使一對樑於鉛直方向重疊之方式設置，將樑安裝於儲料器之框架之樑等。而且，將鉛直板24之上下安裝於一對水平之樑。於該情況下，擱板支承10係於樑之長度方向排列複數個。

對淨化線18之潔淨氣體之供給係藉由設置於工廠內之管線而進行。再者，亦可使用可搬式之鋼瓶等。於該情況下，對淨化線18供給潔淨氣體之鋼瓶等係配置於儲料器單元12之最下部等之適當位置。又，儲料器單元12係與儲料器2製造為不同個體，並利用柱8、8安裝於儲料器2。

實施例可獲得以下之效果。

1)將不具備淨化功能之既存之儲料器簡單地改造，可成為具備淨化功能之儲料器2。

2)於儲料器2中，可將具備淨化功能之擱板支承16與不具備淨化功能之擱板支承10以任意之比例配置。

3)可藉由使柱14、14之間隔較柱8、8之間隔更窄，而使用L字構件28，簡單地將儲料器單元12組入儲料器2。

4)可於FOUP44後端側之空白空間，配置管18、控制部26、流量計36、及閥38等。

4‧‧‧擱板

8、14‧‧‧柱

10、16‧‧‧擱板支承

18‧‧‧淨化線

19‧‧‧噴嘴

22‧‧‧容器感測器

24‧‧‧鉛直板

26‧‧‧控制部

28‧‧‧L字構件

30‧‧‧緊固構件

32、39‧‧‧接頭

34‧‧‧分支線

36‧‧‧流量計

38‧‧‧閥

40、42‧‧‧安裝構件

48‧‧‧排氣線

Claims (3)

1. 一種具備淨化功能之儲料器，其包括：沿著上下方向或水平方向，可自如地安裝複數個不具備潔淨氣體之供給用噴嘴之擱板支承之框架；及儲料器單元；上述儲料器單元包括：由柱或樑所構成，被安裝於上述框架之基座；沿著上述基座所設置之潔淨氣體供給用之管；及複數個附帶淨化功能之擱板支承；上述附帶淨化功能之擱板支承係安裝於上述基座，沿著上下方向或水平方向排列，自如地支撐容器，且具備有：自上述管將潔淨氣體供給至容器之噴嘴；自上述管朝向上述噴嘴供給潔淨氣體之分支線；及經由控制部來控制分支線中之潔淨氣體之流量之閥；上述框架係於容器之收納空間後端，具備有至少一對第1柱，上述基座係由容器之收納空間後端之至少一對第2柱所構成，且上述第2柱之間隔較上述第1柱之間隔更窄，且自容器之收納空間前方觀察時，上述第2柱位於上述第1柱之斜前方，並被安裝於上述第1柱，上述管與上述閥係設置於自容器之收納空間前方觀察時，較上述第2柱之前端更後側，且較上述第1柱之後端更前側，在藉由上述第1柱與上述第2柱所包圍之空間，配置有上述控制部。
2. 如申請專利範圍第1項之具備淨化功能之儲料器，其中，於上述框架安裝有複數個不具備潔淨氣體之供給用噴嘴之擱板支承，並且於上述框架安裝有上述儲料器單元。
3. 一種儲料器單元，其包括：由柱或樑所構成，可自如地安裝於儲料器之框架之基座；沿著上述基座所設置之潔淨氣體供給用之管；及被安裝於上述基座，且沿著上下方向或水平方向排列之複數個附帶淨化功能之擱板支承；上述附帶淨化功能之擱板支承係自如地支撐容器，且具備有：自上述管將潔淨氣體供給至容器之噴嘴；自上述管朝向上述噴嘴供給潔淨氣體之分支線；及經由控制部來控制分支線中之潔淨氣體之流量之閥；上述框架係於容器之收納空間後端，具備有至少一對第1柱，上述基座係由容器之收納空間後端之至少一對第2柱所構成，且上述第2柱之間隔較上述第1柱之間隔更窄，且自容器之收納空間前方觀察時，上述第2柱位於上述第1柱之斜前方，並被安裝於上述第1柱，上述管與上述閥係設置於自容器之收納空間前方觀察時，較上述第2柱之前端更後側，且較上述第1柱之後端更前側，在藉由上述第1柱與上述第2柱所包圍之空間，配置有上述控制部。