TWI544572B

TWI544572B - 顯示裝置

Info

Publication number: TWI544572B
Application number: TW100146422A
Authority: TW
Inventors: 梶谷優
Original assignee: 住友化學股份有限公司
Priority date: 2010-12-16
Filing date: 2011-12-15
Publication date: 2016-08-01
Also published as: JP5418487B2; CN103262655B; KR101885937B1; KR20130143602A; WO2012081550A1; JP2012129086A; TW201236106A; CN103262655A

Description

顯示裝置

本發明係關於一種顯示裝置及其製造方法。

於顯示裝置中係有其構成或原理相異之各種裝置。其中之一，為於像素之光源利用有機電激發光元件(Organic electroluminescent element)之顯示裝置已被實用化。

上述顯示裝置係具備：支撐基板、及設於此支撐基板上之多數個有機電激發光元件。於支撐基板上係設有區隔像素區域之隔壁，上述多數個有機電激發光元件係在被隔壁所區隔之區域分別整齊排列而配置。

各有機電激發光元件係藉由使第1電極、有機層、第2電極從支撐基板側依上述順序層疊來形成。

上述有機層係可藉由例如塗佈法來形成。參照第16A圖、第16B圖、第16C圖及第16D圖而說明有關有機層18之形成方法。第16A圖、第16B圖、第16C圖及第16D圖係用以說明顯示裝置之製造步驟圖。

如第16A圖所示，首先於支撐基板12上形成第1電極16及隔壁13。繼之，對被隔壁13包圍之區域(凹部)15，將含有成為有機層18之材料的油墨17從位於上方之噴嘴供給。

如第16B圖所示，所供給之油墨17係收容於被隔壁13包圍之區域15。

如第16C圖所示，之後，藉由使油墨17之溶劑成分氣化，而形成有機層18。

如第16D圖所示，繼之，形成第2電極19。此第2電極19係例如遍及複數個有機電激發光元件而一體延伸，且設置成為複數個有機電激發光元件所共有的電極。例如藉由介設於相鄰之有機電激發光元件之間的隔壁13上亦以一體性地跨越的方式形成延伸之導電性薄膜，而遍及複數個有機電激發光元件而形成相連之第2電極19。如此之第2電極19亦即導電性薄膜係藉由例如真空蒸鍍法而形成。

又，在第16B圖所示之態樣中，於隔壁13對油墨17顯示親液性時，會有供給至特定之凹部15之油墨17越過隔壁13，而沿著其表面流出至相鄰的凹部15之情形。為防止如此之油墨17的流出，一般於支撐基板12上設有某種程度顯示撥液性之隔壁13。

但，於隔壁13顯示撥液性時，供給至凹部15之油墨17係被隔壁13排開同時並氣化，成為薄膜(有機層18)。因此，會有形成厚度不均一之有機層18之情形。例如會有因凹部15之形狀而使有機層18之相接於隔壁13的預定部位(亦即有機層18之周緣部)之厚度，相較於位在凹部15之中央部的附近之有機層18之中央部的厚度形成較薄之情形。如此一來，有機層18之周緣部的電阻較中央部變低，驅動有機電激發光元件時於有機層18之周緣部電流集中而流動，有機層18之中央部較周緣部會有變暗之情形。又，反之，因於有機層18之周緣部未形成所希望的厚度之層，故有機層18之周緣部亦會有未如目的地發光之情形。

為解決如此之問題，有設有所謂倒錐形形狀之隔壁的顯示裝置。將其示意圖表示於第17A圖、第17B圖及第17C圖。第17A圖、第17B圖及第17C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

如第17A圖、第17B圖及第17C圖所示，倒錐形形狀之隔壁13係以在正交於延伸方向之方向切斷時之截面形狀隨遠離支撐基板12(第1電極16)而變寬廣之方式形成。因此，在隔壁13之側面與第1電極16相接之部位的附近，形成前端尖細狀之區域。若將油墨供給至被如此之倒錐形形狀的隔壁13包圍之區域15，則接觸於隔壁13之側面的油墨係被填充成因毛細管現象而被吸入於上述前端尖細狀之區域。若在維持此狀態下油墨的溶劑成分氣化，則於第1電極16與隔壁13相接之部位的附近亦會形成有機層18。

如第17B圖所示，藉由設置所謂倒錐形形狀之隔壁13，即使設置有顯示撥液性之隔壁13，亦可防止有機層18之周緣部的厚度變薄之問題(例如參照專利文獻1)。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本特開2007-227289號公報

於設有如第17A圖、第17B圖及第17C圖所示之倒錐形形狀的隔壁13之基板上，藉真空蒸鍍法形成遍及複數個有機電激發光元件而一體延伸，且為複數個有機電激發光元件所共有的第2電極19時，如第17C圖所示於第2電極19的厚度較薄時，會有於隔壁之端部切斷第2電極19之情形。結果，於驅動顯示裝置時，會有無法如同預期供給電力而形成未發光之有機電激發光元件之情形。

因此，本發明之目的在於提供一種在具備倒錐狀形狀之隔壁的顯示裝置中，遍及複數個有機電激發光元件可形成相連之第2電極的顯示裝置。

本發明係提供下述之【1】至【5】。

[1]一種顯示裝置，係具備：支撐基板、設於前述支撐基板上之複數個有機電激發光元件、及以分別包圍前述有機電激發光元件之從前述支撐基板的厚度方向之一方觀看時之外周的方式所設之隔壁；前述隔壁係具有：面向前述外周中的一部分所設之第1隔壁、與面向去除前述外周中的前述一部分之其餘部分所設之第2隔壁；前述第1隔壁係包圍前述外周之側面與底面構成之角為銳角的順錐形形狀之隔壁，前述第2隔壁係包圍前述外周之側面與底面構成之角為鈍角的倒錐形形狀之隔壁。

[2]如[1]項所述之顯示裝置，其中，前述第1隔壁係由分別朝正交於前述支撐基板的厚度方向之第1方向延伸，且朝正交於前述厚度方向及前述第1方向之第2方向隔開預定之間隔而配置的複數條之隔壁構件所構成，於前述第1隔壁與前述第2隔壁重疊之部位，前述第2隔壁係設於前述支撐基板與前述第1隔壁之間。

[3]如[1]項或[2]所述之顯示裝置，其中，前述有機電激發光元件係具有朝正交於前述支撐基板的厚度方向之預定方向延伸之形狀，前述第1隔壁係配置成包圍前述有機電激發光元件之短邊方向的一方及另一方之前述外周，前述第2隔壁係配置成包圍前述有機電激發光元件之長邊方向的一方及另一方之前述外周。

[4]如[1]至[3]項中任一項所述之顯示裝置，其中，前述第1隔壁及第2隔壁分別藉由對感光性樹脂組成物之層施予圖案化來形成。

[5]一種顯示裝置之製造方法，係如[1]至[4]項中任一項所述之顯示裝置，包含：於支撐基板上形成隔壁之步驟；以及於前述支撐基板上形成複數個有機電激發光元件的步驟；於前述形成隔壁之步驟中，係藉光微影蝕刻法對感光性樹脂組成物之層施予圖案化，而分別形成第1隔壁與第2隔壁。

若依本發明，可實現一種在具備倒錐狀形狀之隔壁的顯示裝置中，具有遍及複數個有機電激發光元件而相連之第2電極的顯示裝置。

以下，參照圖式說明有關本發明之實施形態。又，各圖式係不過是於可理解發明之程度，概略地表示構成要素之形狀、大小及配置。本發明係不受下述之記述所限定，各構成要素係在不超出本發明之旨意的範圍中可適當變更。在以下說明所使用之圖式中，有關同樣之構成要素係賦予同一符號而表示，對於重複之說明有省略之情形。又，有關本發明之實施形態的構成係圖示例之配置，而未必被製造或被使用。

本發明之顯示裝置，係具備：支撐基板、設於支撐基板上之複數個有機電激發光元件、及以分別包圍有機電激發光元件之從支撐基板的厚度方向Z之一方觀看時(有稱為「俯視」之情形)之外周的方式所設之隔壁；隔壁係具有：面向外周中的一部分所設之第1隔壁、與面向除去外周中的一部分之其餘部分所設之第2隔壁；第1隔壁係包圍外周之側面與底面構成之角度為銳角的順錐形形狀之隔壁，第2隔壁係包圍外周之側面與底面構成之角度為鈍角的倒錐形形狀之隔壁。

本發明係適用於複數個有機電激發光元件的各第2電極相連而形成之顯示裝置。如此之顯示裝置在本實施形態中係說明有關主動矩陣驅動型的顯示裝置作為一例。

〈顯示裝置之構成〉

參照第1圖至第6圖而首先說明有關顯示裝置之構成。第1圖係示意性地顯示放大本實施形態之顯示裝置1的一部分之截面圖。第2圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線A-A的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。第3圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線B-B的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。第4圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線C-C的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。第5圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線D-D的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。第6圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線E-E的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。

如第1圖所示，顯示裝置1主要係包含：支撐基板2、在此支撐基板2上畫分預先設定之區塊的隔壁3、設於藉隔壁3所畫分之區塊的複數個有機電激發光元件4。

隔壁3係設成以俯視包圍複數個有機電激發光元件4的各外周。只要隔壁3係設成以俯視分別包圍有機電激發光元件4的外周即可，例如，以俯視設在除去設有各有機電激發光元件4之區域的區域。

在本實施形態中複數個有機電激發光元件4係分別呈矩陣狀配置(詳細係後述)。隔壁3係設於除去呈矩陣狀配置之有機電激發光元件4的區域。因此，隔壁3係在支撐基板2上形成為格子狀。

於支撐基板2上係設定有藉隔壁3與支撐基板2所規定之複數個凹部5。此凹部5相當於被隔壁3所畫分之區塊。

於支撐基板2上係設有格子狀之隔壁3，故在本實施形態中複數個凹部5係俯視配置成矩陣狀。亦即複數個凹部5係於列方向X隔開預定之間隔，並且於行方向Y隔開預定之間隔而排列設置。各凹部5之俯視圖中的形狀係無特別限定。例如凹部5係就俯視可形成為大致矩形、大致橢圓形等。在本實施形態中係具有朝長邊方向延伸之長軸、與朝正交於長軸的短邊方向延伸的短軸，即就俯視設有大致橢圓形之凹部5。又，在本說明書中上述之列方向X及行方向Y係正交於支撐基板2之厚度方向Z，且互相正交。此處「大致橢圓形」係不僅橢圓形，亦包含互相平行配置之2條線段的一端間及另一端間以曲線結合的形狀。

隔壁3係包含第1隔壁3a與第2隔壁3b。第1隔壁3a係就俯視面向有機電激發光元件4之外周中的一部分，亦即面向位於有機電激發光元件4之短邊方向的外周而設置。第2隔壁3b係面向除去前述有機電激發光元件4之外周中的前述一部分之其餘部分，亦即面向位於有機電激發光元件4之長邊方向的外周而設。

尤其如第1圖、第2圖、第3圖及第5圖所示，有機電激發光元件4之外周係一部分相接於第1隔壁3a，除去前述一部分的其餘部分相接於第2隔壁3b。如此地有機電激發光元件4之外周係被第1隔壁3a與第2隔壁3b包圍。

在本實施形態中隔壁3形成為格子狀，故隔壁3係包含：朝列方向X直線延伸之複數條隔壁構件、與朝行方向Y直線延伸之複數條隔壁構件。本實施形態中之隔壁3係由朝行方向Y延伸之複數條第1隔壁構件3a、與朝列方向X延伸之複數條的第2隔壁3b所構成。複數條第1隔壁3a係分別設於列方向X相鄰之有機電激發光元件4之間。

又如第2圖所示，複數條第2隔壁3b係分別設於行方向Y相鄰之有機電激發光元件4彼此之間。如此地，藉由配置隔壁3，而於有機電激發光元件4之列方向X的一方及另一方之端面相接地設置有第1隔壁3a。第1隔壁3a係就俯視包圍有機電激發光元件4之外側的側面、與底面構成之角θ1為銳角之順錐形形狀的隔壁。

如第3圖所示。於有機電激發光元件4之行方向Y的一方及另一方之端面係相接地設置有第2隔壁3b。第2隔壁3b係就俯視包圍有機電激發光元件4之外側的側面、與底面構成之角θ2為鈍角之倒錐形形狀的隔壁。

又，第1隔壁3a之底面係意指第1隔壁3a之外周面中最靠近支撐基板2之平面。又，第1隔壁3a之側面係意指除去第1隔壁3a之外周面中最遠離支撐基板2之平面(上表面)與底面之面，亦即，就俯視而言位置成包圍有機電激發光元件4之外周(輪廓)的面。繼而，第1隔壁3a之側面與第1隔壁3a之底面構成的角θ1係意指在正交於第1隔壁3a延伸之方向(在本實施形態中係行方向Y)之平面切斷第1隔壁3a時之截面的角度。

第2隔壁3b之底面係意指第2隔壁3b之外周面中最靠近支撐基板2之平面。又，第2隔壁3b之側面係意指除去第2隔壁3b之外周面中最遠離支撐基板2之平面(上表面)與底面之面，亦即，就俯視而言位置成包圍有機電激發光元件4之外周(輪廓)的面。繼而，第2隔壁3b之側面與第1隔壁3a之底面構成的角θ2係意指在正交於第1隔壁3a延伸之方向(在本實施形態中係列方向X)之平面切斷第1隔壁3b時之截面的角度。

在本實施形態中朝行方向Y延伸之複數條第1隔壁3a與朝列方向X延伸之複數條第2隔壁3b係就俯視而言重疊。在第1隔壁3a與第2隔壁3b重疊之部位係第1隔壁3a與第2隔壁3b之中的任一者亦可配置成靠近支撐基板2。在第1隔壁3a與第2隔壁3b重疊之部位係以第2隔壁3b宜配置成較第1隔壁3a更靠近支撐基板2。亦即，在第1隔壁3a與第2隔壁3b重疊之部位係以前述第2隔壁3b宜設於前述支撐基板2與前述第1隔壁之間。如此地若配置第1隔壁3a及第2隔壁3b，則如後述，因於第1隔壁3a上設有導電性薄膜10a，故無所形成之導電性薄膜10a在隔壁3上被切斷之虞，相鄰於第1隔壁3a之延伸方向(在本實施形態係行方向Y)之有機電激發光元件4的第2電極10介由第1隔壁3a上的導電性薄膜10a而確實地相接。

角θ1之角度一般為10°至85°，宜為30°至60°。又，θ2之角度一般為95°至170°，宜為110°至135°。

有機電激發光元件4係設於藉由隔壁3而被隔成之區塊(亦即凹部5)。如本實施形態設有格子狀之隔壁3時，複數個有機電激發光元件4分別設於每一凹部5。亦即，複數個有機電激發光元件4係與凹部5同樣地配置成矩陣狀。複數個有機電激發光元件4係在支撐基板2上，朝列方向X隔開預定之間隔，並且朝行方向Y亦隔開預定之間隔而排列設置。

在本實施形態中係設有3種有機電激發光元件4。亦即，(1)射出紅色光之紅色發光有機電激發光元件4R、(2)射出綠色光之綠色發光有機電激發光元件4G、及(3)射出藍色光之藍色發光有機電激發光元件4B。此等3種有機電激發光元件4(4R、4G、4B)係如第1圖所示，例如將以下之(I)、(II)、(III)的列朝行方向Y依序反複配置來構成。

(I)複數個紅色發光有機電激發光元件4R朝列方向X分別隔開預定之間隔而配置之列。

(II)複數個綠色發光有機電激發光元件4G朝列方向X分別隔開預定之間隔而配置之列。

(III)複數個藍色發光有機電激發光元件4B朝列方向X分別隔開預定之間隔而配置之列。

又，另一實施形態，除了上述3種有機電激發光元件外，亦可例如進一步設有射出白色光之有機電激發光元件。又，藉由設有僅1種有機電激發光元件，亦可實現單色顯示裝置。

有機電激發光元件4係第1電極6、有機層、第2電極10從支撐基板側依此順序層合而構成。有機電激發光元件4係就有機層而言至少具備1層發光層。又，有機電激發光元件4係除了1層發光層之外，有時尚依需要進一步具備與發光層相異之層。例如在第1電極6與第2電極10之間係設有電洞注入層、電洞輸送層、電子阻隔層、電子輸送層、及電子注入層等。又，於第1電極6與第2電極10之間係亦有時設有2層以上之發光層。進一步於第1電極6與第2電極10之間亦有時設有無機層、或含有有機物與無機物之混合層。

有機電激發光元件4係就由陽極及陰極所構成之一對電極而言，具備第1電極6與第2電極10。第1電極6與第2電極10中的一方之電極係設為陽極，另一方的電極係設為陰極。

在本實施形態中就一例而言，說明有關一種有機電激發光元件4，係將發揮陽極功能之第1電極6、發揮電洞注入層功能之第1有機層7、發揮發光層功能之第2有機層9、發揮陰極功能之第2電極10依此順序層合於支撐基板上而構成。

在本實施形態中係設有3種有機電激發光元件4。此等3種有機電激發光元件4係第2有機層(在本實施形態中為發光層)9之構成分別相異。紅色發光有機電激發光元件4R係具備射出紅色光之紅色發光層9R，綠色發光有機電激發光元件4G係具備射出綠色光之綠色發光層9G，藍色發光有機電激發光元件4B係具備射出藍色光之藍色發光層9B。

在本實施形態中第1電極6係設於每一有機電激發光元件4。亦即，與有機電激發光元件4同數目之第1電極6設於支撐基板2上。第1電極6係對應於有機電激發光元件4之配置而設，與有機電激發光元件4同樣地配置成矩陣狀。又，如第2圖、第3圖及第5圖所示，本實施形態之隔壁3係主要於第1電極6外之區域形成為呈格子狀、且被覆第1電極6之一部分的周緣部。

發揮電洞注入層功能之第1有機層7係分別設於凹部5之第1電極6上。此第1有機層7係依需要而按照有機電激發光元件4之每一種類使其材料或厚度相異而設。又，從第1有機層7之形成步驟的簡易性觀點，宜以相同相料、相同厚度形成全部之第1有機層7。

發揮發光層功能之第2有機層9係在凹部5中設於第1有機層7上。如上所述，發光層係依有機電激發光元件4之種類而設。因此，紅色發光層9R係設於要設置紅色發光有機電激發光元件4R之凹部5，綠色發光層9G係設於要設置綠色發光有機電激發光元件4G之凹部5，藍色發光層9B係設於要設置藍色發光有機電激發光元件4B之凹部5。

在本實施形態中係遍及要設有複數個有機電激發光元件4的顯示區域而形成導電性薄膜10a。亦即，導電性薄膜10a係不僅形成於第2有機層9上，於亦形成為遍及隔壁3上。此導電性薄膜10a之中，設於第2有機層9上者於本說明書中稱為第2電極10。

又，第2電極10會有於倒錐形形狀之第2隔壁3b的端部被切斷之情形。如第3圖及第5圖所示，顯示例如有就俯視有機電激發光元件4與第2隔壁3b相接之第2隔壁3b的端部第2電極10被切斷之狀態。另外，如第2圖及第5圖所示，於順錐形形狀之第1隔壁3a的端部，第2電極10未被切斷。如此地形成於第1隔壁3a上之導電性薄膜10a、與有機電激發光元件4之第2電極10係相連而形成一體。因此，於列方向X相鄰之有機電激發光元件4的第2電極10係介由第1隔壁3a上的導電性薄膜10a而相連形成一體。進一步，在本實施形態中第1隔壁3a朝行方向Y延伸而形成，故於行方向Y相鄰之有機電激發光元件4的第2電極10係介由第1隔壁3a上的導電性薄膜10a而相連形成一體。藉此，介由第1隔壁3a上之導電性薄膜10a而形成全部之有機電激發光元件的第2電極10相連。因此，第2電極10發揮於全部之有機電激發光元件4為共通之電極。

以上之實施形態中隔壁3係被覆第1電極6的周緣部而連接於支撐基板2而設。另一實施形態而言，於隔壁3與支撐基板2之間亦可進一步設有絕緣膜。絕緣膜係例如與隔壁3同樣地形成格子狀，被覆第1電極6的周緣部而形成。如此之絕緣膜較佳係藉由較隔壁3更顯示親液性之材料而形成。

以下，一邊參照第7A圖至第15C圖，一邊說明有關顯示裝置之製造方法。又，A圖係示意地表示放大形成中途之一個有機電激發光元件之平面圖，B圖係於第1圖之切斷面線A-A的位置經切斷形成中途之一個有機電激發光元件之截面圖，C圖係於第1圖之切斷面線D-D的位置經切斷形成中途之一個有機電激發光元件之截面圖。又，在各圖之A圖至C圖中，對應之構件的縮尺係未必互相對應。

(準備支撐基板之步驟)

如第7A圖、第7B圖及第7C圖所示，在本步驟中係準備形成有第1電極6之支撐基板2。又，本步驟中亦可藉由從市場取得形成有第1電極6之支撐基板2而準備支撐基板2之步驟。又，本步驟係亦可包含於支撐基板2上形成第1電極6之步驟。

將顯示裝置設為主動矩陣型時，可使用預先形成用以個別驅動複數個有機電激發光元件的電路之基板作為支撐基板2。例如，可使用預先形成有TFT(Thin Film Transistor)及電容器等之基板作為支撐基板。

首先，於已準備之支撐基板2上呈矩陣狀形成複數個第1電極6。第1電極6係例如於支撐基板2上之一表面形成導電性薄膜，其係藉由以光微影蝕刻法之遮罩圖型的形成步驟及使用所形成之遮罩圖型作為遮罩的圖案化步驟圖案成矩陣狀而形成。例如，亦可將於預定部位形成有開口之遮罩配置於支撐基板2上，介由此遮罩而於支撐基板2上之預定部位選擇性堆積導電性材料，而圖案形成第1電極6。後述有關第1電極6之材料。

(形成隔壁之步驟)

在本步驟中係形成隔壁3。在本實施形態中隔壁3係例如(1)藉光微影蝕刻法而使感光性樹脂組成物之層圖案化，俾形成倒錐形形狀之第2隔壁3b及順錐形形狀之第1隔壁3a。具體上係例如可使第1隔壁3a及第2隔壁3b分別使感光性樹脂組成物之層圖案化來形成，又，(2)藉光微影蝕刻法而使感光性樹脂組成物之層圖案化，而首先形成倒錐形形狀之第2隔壁3b，然後，於所形成之倒錐形形狀的第2隔壁3b中，以感光性樹脂組成物被覆殘留作為隔壁之部分，藉乾式蝕刻法而使倒錐形形狀加工成順錐形形狀，而可形成倒錐形形狀之第2隔壁3b及順錐形形狀之第1隔壁3a。

如第8A圖、第8B圖及第8C圖所示，在本實施形態中首先形成第2隔壁3b。藉由光微影蝕刻法而形成第2隔壁3b時，首先使感光性樹脂組成物塗佈成膜於支撐基板2上。感光性樹脂組成物之塗佈方法係可舉例如旋塗法、狹縫塗佈法等。

使感光性樹脂組成物塗佈成膜於前述支撐基板2之後，一般進行預烘烤步驟。預烘烤步驟係例如以80℃至110℃之溫度加熱支撐基板60秒至180秒來進行。藉由此預烘烤步驟而去除感光性樹脂組成物中之溶劑成分，形成第2隔壁形成用膜8b。

繼而，於形成有第2隔壁形成用膜8b之支撐基板2的上方，配置遮光之預定圖案的光罩21b，介由此光罩21b，進行使第2隔壁形成用膜8b曝光之曝光步驟。第2隔壁形成用膜8b可含有之感光性樹脂係有正型的感光性樹脂及負型之感光性樹脂，但在本步驟中係亦可使用任一者的型之樹脂。

使用正型之感光性樹脂作為第2隔壁形成用膜8b可含有之感光性樹脂時，係在所形成之第2隔壁形成用膜8b中，主要對應形成第2隔壁3b的部位以外之其餘部位照射光L。又，使用負型之感光性樹脂作為感光性樹脂時，係在第2隔壁形成用膜8b中，對應形成第2隔壁3b的部位照射光L。

在本步驟中係說明有關使用負型之感光性樹脂作為第2隔壁形成用膜8b可含有之感光性樹脂之情形。

於支撐基板2之上方配置光罩21b，介由此光罩21b而照射光L。藉此，於第2隔壁形成用膜8b中，於應形成第2隔壁3b的部位照射光L。在第8B圖及第8C圖中，被照射於第2隔壁形成用膜8b之光L係示意性地以空白箭頭表示。

如第9圖所示，繼而進行顯像步驟。藉此而圖型形成第2隔壁3b。顯像步驟後，進行後烘烤步驟。後烘烤步驟係例如以200℃至230℃之溫度，加熱基板15分至60分鐘而使第2隔壁形成用膜8b硬化以形成第2隔壁3b。如此地進行後烘烤步驟，以在形成後述之第1隔壁3a時的顯像步驟中，可防止第2隔壁3b被蝕刻。

在本實施形態中係形成所謂倒錐形形狀之第2隔壁3b。第2隔壁3b之側面與第2隔壁3b的底面構成之角θ 2之角度係藉由適當調整後述之要素，而可調整成任意之角度。

如第10圖所示，繼而在本實施形態中係形成第1隔壁3a。藉由光微影蝕刻法而形成第1隔壁3a時，首先將感光性樹脂組成物塗佈成膜於支撐基板2上。感光性樹脂組成物之塗佈方法係可舉例如旋塗法、狹縫塗佈法等。

將感光性樹脂組成物塗佈成膜於支撐基板2之後，一般進行預烘烤步驟。預烘烤步驟係例如以80℃至110℃之溫度，加熱支撐基板2 60秒至180秒而實施。藉此預烘烤步驟而去除溶劑成分，形成第1隔壁形成用膜8a。

繼而，於支撐基板2的上方配置遮光預定圖案的光罩21a，介由此光罩21a，使第1隔壁形成用膜8a曝光。於感光性樹脂係有正型的感光性樹脂及負型之感光性樹脂。在本步驟中係亦可使用任一者的型之感光性樹脂。使用正型之感光性樹脂時，係在第1隔壁形成用膜8a中，主要於應形成第1隔壁3a的部位以外之其餘部位照射光L。又，使用負型之感光性樹脂時，係於第1隔壁形成用膜8a中，主要於應形成第1隔壁3a的部位照射光L。在本步驟中係參照第10圖而說明有關使用正型之感光性樹脂之情形。

如第10A圖、第10B圖及第10C圖所示，於支撐基板2之上方配置光罩21a，介由此光罩21a而照射光L。光L係於第1隔壁形成用膜8a中，主要照射於應形成第1隔壁3a的部位以外之殘餘部位。在第10A圖及第10B圖中，係示意性地以空白箭頭表示被照射於第1隔壁形成用膜8a之光L。

如第11A圖、第11B圖及第11C圖所示，繼而進行顯像步驟。藉此而圖型形成第1隔壁3a。使第1隔壁形成用膜8a顯像時顯像液會接觸於第2隔壁3b。但，如前所述，第2隔壁3b係實施有後烘烤步驟，故第2隔壁3b係即使接觸顯像液亦未被蝕刻。

顯像步驟後，進行後烘烤步驟。後烘烤步驟係例如以200℃至230℃之溫度，加熱支撐基板2 15分鐘至60分鐘而使第1隔壁形成用膜8a硬化，形成第1隔壁3a。

在本實施形態中係形成順錐形形狀之第1隔壁3a。第1隔壁3a之側面與第1隔壁3a的底面構成之角θ1的角度係藉由適當調整以下之要素，而可調整成任意之角度。

第1隔壁3a之側面與第1隔壁3a的底面構成之角θ1的角度、第2隔壁3b之側面與第2隔壁3b的底面構成之角θ2的角度係主要依使用之感光性樹脂的種類而定。因此，例如從市場可取得之複數種的感光性樹脂中，藉由以預定之條件進行曝光步驟及顯像步驟，可適當選擇能形成順錐形形狀之隔壁3(第1隔壁3a)之材料、或藉由以預定之條件進行曝光步驟及顯像步驟，而可適當選擇能形成倒錐形形狀之隔壁3(第2隔壁3b)之材料，只要使用此材料而形成隔壁即可。

又，藉由調整顯像時間亦可調整隔壁之側面與隔壁之底面構成的角度。使用負型之感光性樹脂而形成倒錐形形狀之第2隔壁3b時，一般，愈增長顯像時間，第2隔壁3b的側面與第2隔壁3b之底面構成的角θ2之角度有愈變大的傾向。

又，藉由調整曝光量亦可調整隔壁之側面與隔壁之底面構成的角度。使用負型之感光性樹脂而形成倒錐形形狀之第2隔壁3b時，一般，愈減小曝光量，第2隔壁3b的側面與第2隔壁3b之底面構成的角θ2之角度有愈變小的傾向。

藉由調整光罩21b與支撐基板2之距離，亦可調整隔壁之側面與隔壁之底面構成的角度。使用負型之感光性樹脂時，光罩21b與支撐基板2之距離愈減少，形成順錐形形狀之第1隔壁3a時，一般，第1隔壁3a的側面與第1隔壁3a之底面構成的角θ1有愈變大的傾向，而於形成倒錐形形狀之第2隔壁3b時，一般，第2隔壁3b的側面與第2隔壁3b之底面構成的角θ2有愈變小的傾向。

感光性樹脂組成物係一般調配黏結劑樹脂、交聯劑、光反應起始劑、溶劑、及其他之添加劑而使用。

黏結劑樹脂係預先被聚合之樹脂。黏結劑樹脂之例係可舉例如自己不具有聚合性之非聚合性黏結劑樹脂、導入具有聚合性之取代基的聚合性黏結劑樹脂。黏結劑樹脂係以聚苯乙烯為標準而以凝膠滲透色層分析(GPC)所求取之重量平均分子量在於5000至400000之範圍。

黏結劑樹脂係可舉例如酚樹脂、酚醛清漆樹脂、三聚氰胺樹脂、丙烯酸樹脂、環氧樹脂、聚酯樹脂等。黏結劑樹脂係可單體分別單獨使用或組合2種以上之共聚物來使用。黏結劑樹脂之比率係相對於上述感光性樹脂組成物之全固形物，就質量分率一般為5%至90%。

交聯材係藉由照射光而從光聚合起始劑所產生之活性自由基、酸等而可聚合之化合物。交聯劑係可舉例如具有聚合性碳-碳不飽和鍵之化合物。交聯材係可於分子內具有1個聚合性碳-碳不飽和鍵之單官能的化合物，亦可具有2個以上聚合性碳-碳不飽和鍵之2官能以上的多官能化合物。在上述感光性樹脂組成物中，交聯材係若將黏結劑樹脂與交聯材之合計量設為100質量份，則一般為0.1質量份以上70質量份以下。又，在上述感光性樹脂組成物中光反應起始劑係若將黏結劑樹脂與交聯材之合計量設為100質量份，則一般為1質量份以上30質量份以下。

正型感光性樹脂係光之照射部分相對於顯像液而溶解之樹脂。正型感光性樹脂一般係將樹脂與於光反應下親水化之化合物複合化來構成。

正型感光性樹脂係可使用酚醛清漆樹脂、聚羥基苯乙烯、丙烯酸樹脂、甲基丙烯酸樹脂、聚醯亞胺等之具耐藥品性及密著性的樹脂與光分解性化合物組合之樹脂。

可使用於顯像之顯像液係可舉例如氯化鉀水溶液、氫氧化四甲基銨(TMAH)水溶液等。

如上所述，第1隔壁3a的側面與第1隔壁3a之底面構成的角θ1、第2隔壁3b的側面與第2隔壁3b之底面構成的角θ2主要係由使用之感光性樹脂的種類而定，但可從市場取得之複數種之感光性樹脂中的許多，係可使用來作為形成順錐形形狀的隔壁(第1隔壁3a)之材料。又，用以形成倒錐形形狀之隔壁(第2隔壁3b)的材料之例係可舉例如日本Zeon股份公司製之材料(ZPN 2464、ZPN 1168)等。

隔壁3之形狀及其配置係依照像素數及解析度等之顯示裝置的規格、製造容易性等而適當設定。例如隔壁3之列方向X或行方向Y之寬為5μm至50μm左右，隔壁3之高度係0.5μm至5μm左右，相鄰於列方向X或行方向Y之隔壁3間的間隔，亦即凹部5之列方向X或行方向Y之寬為10μm至200μm左右。又，第1電極6之列方向X或行方向Y之寬分別為10μm至200μm左右。

(形成有機層之步驟)

在本步驟中係形成有機層。在本實施形態中係在1層以上的有機層中，藉塗佈法而形成至少1層的有機層。在本實施形態中係藉由塗佈法而形成第1有機層7及第2有機層9。

首先，形成發揮電洞注入層功能之第1有機層7。如第12A圖、第12B圖及第12C圖所示，首先將含有成為第1有機層7之材料的油墨22供給至被隔壁3包圍之區域(凹部5)。油墨22係考量隔壁3之形狀、成膜步驟之簡易性、及成膜性等而適宜地藉適當的方法來供給。油墨22係可藉由例如噴墨印刷法、噴嘴塗佈法、凸版印刷法、凹版印刷法等而供給至凹部5。

如第13A圖、第13B圖及第13C圖所示，繼而，固化所供給之油墨22，形成第1有機層7。

油墨22之固化係可藉由例如自然乾燥、加熱乾燥、真空乾燥而進行。又，油墨22為含有藉加入能量而聚合之材料時，於將油墨22供給至凹部5之後，加熱油墨22，或對油墨22照射光，可使構成油墨22所含有之有機層的材料聚合。如此地構成有機層之材料聚合，而形成第1有機層7，對於此第1有機層7上進一步形成第2有機層時使用的油墨，可使第1有機層7難溶化。

如第14A圖、第14B圖、及第14C圖所示，繼而，形成發揮發光層功能之第2有機層9。第2有機層9係可與第1有機層7同樣地形成。亦即，使分別含有成為紅色發光層9R、綠色發光層9G、藍色發光層9B的材料之3種油墨，分別供給至被隔壁3包圍的預定區域(凹部5)，進一步藉由將其固化而形成紅色發光層9R、綠色發光層9G、藍色發光層9B。

(形成第2電極之步驟)

如第15A圖、第15B圖、及第15C圖所示，繼而，形成第2電極10。在本實施形態中係在至少設有複數個有機電激發光元件的顯示區域中，於一面(全面)形成導電性薄膜10a。例如藉由蒸鍍法於一面形成導電性薄膜10a。如上所述，此導電性薄膜10a之中，設於第2有機層9上之部分相當於第2電極10。

如第15C圖所示，第2電極10之厚度薄時，即使於一面形成導電性薄膜10a，也會在倒錐形形狀的第2隔壁3b上於其端部有導電性薄膜10a被切斷之情形，因此，會有有機電激發光元件4之第2電極10與第2隔壁3b上的導電性薄膜10a被切斷之情形。

如第15B圖所示，在順錐形形狀之第1隔壁3a上係於其側面(相對於第1隔壁3a之底面構成角θ1之面)上亦形成導電性薄膜10a，故並非於第1隔壁3a之端部切斷第2電極10，形成為有機電激發光元件4之第2電極10與第1隔壁3a上之導電性薄膜10a相連。因此，形成為相鄰於列方向X之有機電激發光元件4的第2電極10彼此間，介由第1隔壁3a上之導電性薄膜10相連。

如此地，若面向有機電激發光元件4之外周中的一部分而設有順錐形形狀之第1隔壁3a，則形成為有機電激發光元件4之第2電極10與第1隔壁3a上之導電性薄膜10a相連。因此，即使設有倒錐形形狀之第2隔壁3b，亦可防止有機電激發光元件4之第2電極10在隔壁3的端部被切斷，可形成遍及複數個有機電激發光元件4上而相連的第2電極10。

如上所述，設有倒錐形形狀之隔壁3(第2隔壁3b)時，若第2電極10之厚度較薄，則會有在倒錐形形狀之隔壁3的端部第2電極10被切斷之情形，但藉由設有順錐形形狀之第1隔壁3a，而非增厚第2電極10之厚度至必要以上，可形成將複數個有機電激發光元件4的第2電極10彼此予以相連。

又，在本實施形態中係第1隔壁3a分別朝正交於支撐基板2之厚度方向Z的第1方向(在本實施形態中係列方向X)延伸，朝分別正交於厚度方向Z及第1方向(X)之第2方向(在本實施形態中係行方向Y)隔開預定之間隔配置之複數條順錐形形狀的隔壁所構成，就俯視第1隔壁3a與第2隔壁3b重疊之部分係第2隔壁3b設於支撐基板2與第1隔壁3a之間。因此，就俯視第1隔壁3a與第2隔壁3b重疊之部分係第2隔壁3b被第1隔壁3a所覆，亦即第1隔壁3a露出。若於設有如此之第1隔壁3a的支撐基板2上之全面形成導電性薄膜10a，就俯視第1隔壁3a與第2隔壁3b重疊之部分係第2隔壁3b被第1隔壁3a所覆，故沿著第1隔壁3a的延伸方向，於該第1隔壁3a上形成導電性薄膜10a相連一體。在本實施形態中係形成為第1隔壁3a朝行方向Y延伸，故形成為相鄰於行方向Y之有機電激發光元件4的第2電極10彼此間介由第1隔壁3a上的導電性薄膜10a相連。藉此，介由第1隔壁3a上之導電性薄膜10a而形成為全部之有機電激發光元件的第2電極10彼此間相連。因此，第2電極10發揮作為於全部的有機電激發光元件4為共通之電極的功能。

在本實施形態中係倒錐形形狀之第2隔壁3b面向有機電激發光元件4而配置成包圍有機電激發光元件4，故被供給至被隔壁3包圍之區域(凹部5)之油墨22係藉由毛細管現象，而成為被填充成被吸入於第1電極16與第2隔壁3b連接的部分附近之前端細狀的部位之狀態。在維持於此狀態下，藉由使油墨之溶劑蒸發，而於第1電極6與隔壁3連接的部分附近之前端細狀的部位亦形成有機層。藉由此而可得到均一厚度的有機層。

在連接順錐形形狀之第1電極6與第1隔壁3a的部位中被供給至被隔壁3包圍之區域(凹部5)之油墨22會有被第1隔壁3a撥開並乾燥之情形。但，面向有機電激發光元件4而以包圍有機電激發光元件4之一部分的方式設有倒錐形形狀的第2隔壁3b，藉此至少有機層全體係可得到較於只被順錐形形狀之隔壁包圍的凹部形成有機層時更平坦且均一的厚度之有機層。

又，在凹部5中，有機層之厚度更薄的部位係非常依存於俯視之凹部5的形狀。例如，於只被順錐形形狀之隔壁包圍的凹部形成具有朝垂直於支撐基板之厚度方向的預定方向延伸之形狀的有機電激發光元件時，亦即，如本實施形態，形成朝行方向Y延伸之有機電激發光元件時，被供給至凹部之油墨係有集中於長邊方向(行方向Y)之一端及另一端之任一者，或短邊方向(列方向X)的中央部之傾向。此情形時，有機層係於長邊方向(行方向Y)之一端側及另一端側中的任一者之厚度變更薄，或於短邊方向(列方向X)之一端側及另一端側之厚度變更薄之傾向。

如此地，於朝預定方向延伸之有機電激發光元件時，如本實施形態，第1隔壁3a係宜配置成：就俯視面向有機電激發光元件4之短邊方向(列方向X)的一方及另一方的端面，亦即，配置成包圍有機電激發光元件之短邊方向的直線外圍(面向外周)之側面就俯視朝長邊方向直線延伸，第2隔壁3b係宜配置成：面向有機電激發光元件4之長邊方向(行方向Y)的一方及另一方的端面，亦即，宜配置成包圍有機電激發光元件之長邊方向的圓弧狀外圍(面向外周)之側面就俯視朝短邊方向圓弧狀地延伸。若如此地配置第2隔壁3b，供給至凹部5之油墨22係於面向倒錐形形狀之第2隔壁3b的側面之長邊方向(行方向Y)的一端側及另一端側之前端細狀部位藉毛細管現象拉近，在第2隔壁3b之側面被固定而成為薄膜，故可得到較於只被順錐形形狀之隔壁包圍的凹部所形成之有機層時更平坦且均一的厚度之有機層。

又若第1隔壁3a係面向有機電激發光元件4之短邊方向(列方向X)的一方及另一方的端面而配置，第2隔壁3b係面向有機電激發光元件4之長邊方向(行方向Y)的一方及另一方的端面而配置，則就俯視有第2電極10被切斷之虞係長邊方向(行方向Y)之一端側與另一端側(短邊)，而第2電極10係在短邊方向(列方向X)之一端側與另一端側(長邊)與隔壁3上之導電性薄膜10a連接。若比較如此之本實施形態、與第2電極10在短邊方向(列方向X)之一端側與另一端側被切斷之形態，則在與隔壁3上之導電性薄膜10a間被切斷的區域係本實施形態之有機電激發光元件4者少，在隔壁3上導電性薄膜10a一體構成的區域係本實施形態之有機電激發光元件4者變多，故可減少配線電阻。

〈有機電激發光元件之構成〉

在以下，更詳細說明有關有機電激發光元件之構成。有機電激發光元件係至少具有一層之發光層作為有機層。有機電激發光元件係如上述，進一步具備例如電洞注入層、電洞輸送層、電子阻隔層、電洞阻隔層、電子輸送層、及電子注入層等預定之層。

本實施形態之有機電激發光元件的可採取之層構成之一例表示於以下。

a)陽極/發光層/陰極

b)陽極/電洞注入層/發光層/陰極

c)陽極/電洞注入層/發光層/電子注入層/陰極

d)陽極/電洞注入層/發光層/電子輸送層/陰極

e)陽極/電洞注入層/發光層/電子輸送層/電子注入層/陰極

f)陽極/電洞輸送層/發光層/陰極

g)陽極/電洞輸送層/發光層/電子注入層/陰極

h)陽極/電洞輸送層/發光層/電子輸送層/陰極

i)陽極/電洞輸送層/發光層/電子輸送層/電子注入層/陰極

j)陽極/電洞注入層/電洞輸送層/發光層/陰極

k)陽極/電洞注入層/電洞輸送層/發光層/電子注入層/陰極

l)陽極/電洞注入層/電洞輸送層/發光層/電子輸送層/陰極

m)陽極/電洞注入層/電洞輸送層/發光層/電子輸送層/電子注入層/陰極

h)陽極/發光層/電子注入層/陰極

o)陽極/發光層/電子輸送層/陰極

p)陽極/發光層/電子輸送層/電子注入層/陰極

(此處，記號「/」係表示挾住記號「/」之各層鄰接而層合)。以下相同)

在上述實施形態中係說明有關第1電極6發揮陽極功能，第2電極10發揮陰極功能之有機電激發光元件4。在此形態中係例如上述a)至p)之各構成要素係從最左側所示之陽極依序層合於支撐基板2上。又，第1電極6發揮陰極功能，第2電極10發揮陽極功能之有機電激發光元件4中例如上述a)至p)之層構成的各構成要素係從最右側所示之陰極依序層合於支撐基板2上。

〈支撐基板〉

於支撐基板2上係在製造有機電激發光元件4之步驟中，可適宜使用無化學性變化者，例如可使用玻璃、塑膠、高分子薄膜、及矽基板、以及層合此等之基板。

〈陽極〉

從發光層所放射之光經過陽極而射出至外界之構成的有機電激發光元件時，於陽極係可使用顯示光穿透性之電極。顯示光穿透性之電極係可使用金屬氧化物、金屬硫化物及金屬等之薄膜，可適宜使用導電度及光穿透率高者。具體上，係可使用由氧化銦、氧化鋅、氧化錫、銦錫氧化物(Indium Tin Oxide：ITO)、銦鋅氧化物(Indium Zinc Oxide：IZO)、金、鉑、銀及銅等所構成之薄膜，此等之中亦可適宜使用由ITO、IZO、或氧化錫所構成之薄膜。

於陽極之製作方法之例係可舉例如真空蒸鍍法、濺鍍法、離子鍍覆法、電鍍法等。又，就陽極而言，可使用聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等之有機透明導電膜。

〈陰極〉

陰極之材料係宜為工作函數小，且電子容易注入發光層，導電度高之材料。又，在從陽極側取出光之構成的有機電激發光元件為了使從發光層所放射之光在陰極反射至陽極側，就陰極之材料而言宜為對於可見光之反射率高的材料。陰極係可使用例如鹼金屬、鹼土族金屬、過渡金屬及周期表第13族金屬等。陰極之材料可使用例如鋰、鈉、鉀、銣、銫、鈹、鎂、鈣、鍶、鋇、鋁、鈧、釩、鋅、釔、銦、鈰、釤、銪、鋱、鐿等之金屬、前述金屬之中的2種以上之合金、前述金屬之中的1種以上、與金、銀、鉑、銅、錳、鈦、鈷、鎳、鎢、錫之中的1種以上之合金、或石墨或石墨層間化合物。合金之例係可舉例如鎂-銀合金、鎂-銦合金、鎂-鋁合金、銦-銀合金、鋰-鋁合金、鋰-鎂合金、鋰-銦合金、鈣-鋁合金等。又，陰極係可使用由導電性金屬氧化物及導電性有機物等所構成之透明導電性電極。具體上，導電性金屬氧化物之例可舉例如氧化銦、氧化鋅、氧化錫、ITO、及IZO。導電性有機物之例可舉例如聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等。又，陰極係可以層合2層以上之層合體構成。又，電子注入層亦有作為陰極使用之情形。

陰極之製作方法的例可舉例如真空蒸鍍法、離子鍍覆法等。

陽極或陰極之厚度係可考量所要求的特性、成膜步驟之簡易性等而適當設定。陽極或陰極之厚度係例如為10nm至10μm，宜為20nm至1μm，更宜為50nm至500nm。

〈電洞注入層〉

構成電洞注入層之電洞注入材料的例可舉例如氧化釩、氧化鉬、氧化釕、及氧化鋁等氧化物、苯基胺化合物、星爆(starburst)型胺化合物、酞菁化合物、非晶碳、聚苯胺及聚噻吩衍生物等。

電洞注入層之成膜方法係可舉例如源自含有電洞注入材料之溶液的成膜。電洞注入層係例如藉由預定之塗佈法而塗佈成膜含有電洞注入材料之溶液，進一步藉由固化此而形成。

電洞注入層之厚度係可考量所要求的特性、步驟之簡易性等而適當設定。電洞注入層之厚度係例如為1nm至1μm，宜為2nm至500nm，更宜為5nm至200nm。

<電洞輸送層>

構成電洞輸送層之電洞輸送材料之例係可舉例如聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚矽烷或其衍生物、於側鏈或主鏈具有芳香族胺之聚矽氧烷衍生物、吡唑啉衍生物、芳基胺衍生物、二苯乙烯衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚(對位苯基乙烯)或其衍生物、或聚(2,5-伸噻吩基伸乙烯基)或其衍生物等。

電洞輸送層之厚度係可考量所要求的特性、成膜步驟之簡易性等而設定。電洞輸送層之厚度係例如為1nm至1μm，宜為2nm至500nm，更宜為5nm至200nm。

〈發光層〉

發光層係一般主要由發出螢光及/或磷光之有機物、或該有機物與補助此之摻雜物所形成。摻雜物係例如用以提昇發光效率、改變發光波長所加入。又，構成發光層之有機層係可為低分子化合物亦可為高分子化合物，藉由塗佈法而形成發光層時，係發光層宜為含有高分子化合物。構成發光層之高分子化合物的聚苯乙烯換算的數目平均分子量例如為10³至10⁸左右。構成發光層之發光材料係可舉例如以下之色素材料、金屬錯合物材料、高分子材料、摻雜物材料。

(色素材料)

色素材料係可舉例如環噴達明衍生物、四苯基丁二烯衍生物化合物、三苯基胺衍生物、噁二唑衍生物、吡唑並喹啉衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基伸芳基衍生物、吡咯衍生物、噻吩環化合物、吡啶環化合物、紫環酮衍生物、苝衍生物、寡噻吩衍生物、噁二唑二聚物、吡唑啉二聚物、喹吖啶酮衍生物、香豆素衍生物。

(金屬錯合物材料)

金屬錯合物材料係可舉例如於中心金屬具有Tb、Eu、Dy等稀土族金屬、或Al、Zn、Be、Ir、Pt等，於配位基具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯並咪唑、喹啉構造等之金屬錯合物。金屬錯合物材料可舉例如具有源自銥錯合物、鉑錯合物等之三重態激發狀態之發光的金屬錯合物、鋁喹啉醇錯合物、苯並羥基喹啉鈹錯合物、苯並噁唑基鋅錯合物、苯並噻唑鋅錯合物、偶氮甲基鋅錯合物、卟啉鋅錯合物、菲銪錯合物等。

(高分子材料)

高分子材料之例係可舉例如聚對伸苯基伸乙烯基衍生物、聚噻吩衍生物、聚對伸苯基衍生物、聚矽烷衍生物、聚乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑衍生物、上述色素材料、將金屬錯合物發光材料高分子化之材料等。

發光層之厚度一般為約2nm至200nm。

〈電子輸送層〉

構成電子輸送層之電子輸送材料係可使用公知之材料。電子輸送材料之例係可舉例如噁二唑衍生物、蔥醌二甲烷或其衍生物、苯醌或其衍生物、萘醌或其衍生物、蔥醌或其衍生物、四氰蔥醌二甲烷或其衍生物、芴酮衍生物、二苯基二氰乙烯或其衍生物、二酚醌衍生物、或8-喹啉醇或其衍生物之金屬錯合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物等。

電子輸送層之厚度係可考量所要求的特性、成膜步驟之簡易性等而適當設定。電子輸送層之厚度係例如為1nm至1μm，宜為2nm至500nm，更宜為5nm至200nm。

〈電子注入層〉

構成電子注入層之材料係可依發光層之種類而適當選擇最適的材料。構成電子注入層之材料之例係可舉例如鹼金屬、鹼土族金屬、含有鹼金屬及鹼土族金屬之中的1種類以上之合金、鹼金屬或鹼土族金屬之氧化物、鹵化物、碳酸鹽、及此等之物質的混合物等。

鹼金屬、鹼金屬之氧化物、鹵化物及碳酸鹽之例係可舉例如鋰、鈉、鉀、銣、銫、氧化鋰、氟化鋰、氧化鈉、氟化鈉、氧化鉀、氟化鉀、氧化銣、氟化銣、氧化銫、氟化銫、碳酸鋰等。又，鹼土族金屬、鹼土族金屬之氧化物、鹵化物及碳酸鹽之例係可舉例如鎂、鈣、鋇、鍶、氧化鎂、氟化鎂、氧化鈣、氟化鈣、氧化鋇、氟化鋇、氧化鍶、氟化鍶、碳酸鎂等。電子注入層係可以層合2層以上之層合體所構成，可舉例如LiF層及Ca層之層合體等。

電子注入層之厚度宜為1nm至1μm左右。

上述之各有機層係藉由例如噴嘴印刷法、噴墨印刷法、凸版印刷法、凹版印刷法等之塗佈法、真空蒸鍍法、濺鍍法、或CVD法等而形成。

又，塗佈法係使含有成為各有機層之有機電激發光材料的油墨塗佈成膜，進一步，藉由固化被塗佈成膜之油墨而形成有機層。所使用之油墨的溶劑係可使用例如氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等之氯溶劑；四氫呋喃等之醚系溶劑、甲苯、二甲苯等之芳香族烴系溶劑、丙酮、甲乙酮等之酮系溶劑、醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙基溶纖劑乙酸酯等之酯系溶劑及水等。

實施例

為更詳細說明本發明，表示實施例於以下。本發明係不限定於下述實施例。

(實施例1)

準備形成有作為第1電極功能的ITO薄膜之支撐基板(TFT基板)(參照第7A圖、第7B圖及第7C圖)。於此支撐基板上，使用旋塗器塗佈成膜負型感光性樹脂溶液1(日本Zeon股份公司製ZPN 2464)，在加熱板上以110℃加熱90秒，藉實施預烘烤而使溶劑成分氣化(參照第8A圖、第8B圖及第8C圖)。繼而，使用進接式(Proximity)曝光機而以曝光量100mJ/cm²曝光。進一步使用顯像液(股份公司德山製SD-1(TMAH 2.38重量%)而顯像80秒鐘，形成倒錐形形狀之第2隔壁3b。繼而以230℃加熱30秒，藉實施後烘烤而使樹脂硬化，形成厚為0.8μm之第2隔壁3b。如此做法所形成之第2隔壁3b的側面與第2隔壁3b之底面構成的角θ2之角度為約115°。

繼而，使用旋塗器塗佈成膜正型感光性樹脂溶液(日本Zeon股份公司製ZPN 6212)，在加熱板上以110℃加熱90秒，藉實施預烘烤而使溶劑成分氣化(參照第10A圖、第10B圖及第10C圖)。繼而，使用進接式(Proximity)曝光機而以曝光量100mJ/cm²曝光。進一步使用顯像液(股份公司德山製SD-1(TMAH 2.38重量%)而顯像70秒鐘，形成順錐形形狀之第1隔壁3a。繼而以230℃加熱30秒，藉實施後烘烤而使樹脂硬化，形成厚為1.0μm之第1隔壁3a(參照第11A圖、第11B圖及第11C圖)。如此做法所形成之第1隔壁3a的側面與第2隔壁3a之底面構成的角θ1之角度為約30°。

於形成有隔壁之支撐基板上以氧電漿進行表面處理，繼而，以CF₄電漿進行表面處理，使ITO表面親液化，於隔壁之表面賦予撥液性。

繼而，使用噴墨裝置(ULVAC公司製Litex 142P)而塗佈油墨(固形分濃度1.5%之聚(乙烯二氧噻吩)(PEDOT)及聚苯乙烯磺酸(PSS)之水分散液(Bayer公司製A14083))(參照第12A圖、第12B圖及第12C圖)。隔壁3之上表面係撥開油墨用，故於被隔壁3包圍之預定的凹部內填充油墨。此外，沿著面向凹部之列方向X的一端側及另一端側的倒錐形形狀的第2隔壁藉毛細管現象而吸近其端部、亦即吸近至側面之下端部附近的前端細之間隙，而於像素(凹部)內均一地展開。以200℃燒成此基板，形成均一厚度(50nm)之電洞注入層7(參照第13A圖、第13B圖及第13C圖)。

繼而，將放射紅色之光的高分子發光材料以其濃度成為0.8重量%之方式混合於有機溶劑而調製紅色發光油墨。同樣地，將放射綠色之光的高分子發光材料以其濃度成為0.8重量%之方式混合在有機溶劑而調製綠色發光油墨。進一步，將放射藍色之光的高分子發光材料以其濃度成為0.8重量%之方式混合在有機溶劑而調製藍色發光油墨。使此等紅色發光油墨、綠色發光油墨、藍色發光油墨分別使用噴墨裝置(ULVAC公司製Litrex 142P)而塗佈於特定的凹部內。

隔壁3之上表面係撥開油墨，故於被隔壁3包圍之預定的凹部內填充油墨。尚且，油墨係沿著面向凹部之列方向X的一端側及另一端側的倒錐形形狀的第2隔壁而藉毛細管現象而被吸引至其端部，於像素內均一地展開。以130℃燒成此基板，形成均一厚度(60nm)之發光層9(參照第14A圖、第14B圖及第14C圖)。

接著，藉真空蒸鍍法形成由厚度為20nm之Ca層、厚度為150nm之Al層所構成的第2電極(陰極)10。在倒錐形形狀之第2隔壁3b的端部中雖因其段差而亦有第2電極(陰極)10被分斷(參照第15C圖)之情形，在順錐形形狀之第1隔壁3a的端部中係無第2電極(陰極)10分斷，故形成為全部之有機電激發光元件4的第2電極10相連。可藉由此而使配線電阻降低，如所意圖地可於支撐基板上製作發光之複數個有機電激發光元件，進一步，所製作之有機電激發光元件係在面板內各有機電激發光元件相互地以同樣之亮度發光，並且各有機電激發光元件個別地在像素內均一地發光。

1．．．顯示裝置

2．．．支撐基板

3．．．隔壁

3a．．．第1隔壁

3b．．．第2隔壁

4．．．有機電激發光元件

5．．．凹部

6、16．．．第1電極

7．．．第1有機層(電洞注入層)

8．．．隔壁形成用膜

9．．．第2有機層(發光層)

10、19．．．第2電極

10a．．．導電性薄膜

12．．．支撐基板

13．．．隔壁

15．．．被隔壁包圍的區域

17、22．．．油墨

18．．．有機層

21．．．光罩

θ1、θ2．．．角

第1圖係示意性地顯示放大顯示裝置之一部分的截面圖。

第2圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線A-A的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。

第3圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線B-B的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。

第4圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線C-C的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。

第5圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線D-D的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。

第6圖係示意性地顯示放大在第1圖所示之切斷面線E-E的位置經切斷之顯示裝置的截面圖。

第7A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第7B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第7C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第8A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第8B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第8C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第9A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第9B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第9C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第10A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第10B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第10C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第11A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第11B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第11C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第12A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第12B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第12C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第13A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第13B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第13C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第14A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第14B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第14C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第15A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第15B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第15C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第16A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第16B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第16C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第16D圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第17A圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第17B圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。

第17C圖係用以說明顯示裝置之製造步驟的圖。