TWI438855B - A retainer and a substrate storage container including a retainer - Google Patents

Description

保持器及包括保持器之基板收納容器

本發明是有關於一種保持半導體晶圓、光罩玻璃、薄膜附著之光罩玻璃、薄膜等之基板之保持器，以及包括保持器之基板收納容器。

做為基板之輸送使用之基板收納容器，已知有特許文獻一、二所揭示之基板收納容器。如此之基板收納容器，係包括例如在前側之正面形成開口部而在內部收納基板之容器本體、可開閉該容器本體之開口部之蓋體、以及在該蓋體之內壁面安裝，保持基板之前部周緣，與容器本體之間夾持基板之保持器。該保持器係在保持基板之保持溝在前端部形成之複數彈性片，對應於基板而設置各一對，該對彈性片係沿基板配置。又，為對應必要，也有對應於單一彈性片而形成複數保持溝之結構，或是蓋體之中央部側形成其他彈性片以及保持溝之結構等。又，蓋體係手動或由蓋體開閉裝置嵌合於容器本體或拆除。又，保持器係設有例如卡止突起或卡止凹部等卡止部。由將保持器之卡止部嵌入對方側之卡止部，保持器固定於蓋體(或容器本體)。

先行技術文獻

特許文獻1：日本特開2002-353301號公報

特許文獻2：日本特開2005-320028號公報

上述習知技術中，例如以裝置自動搬送時，由作業員手動搬送時，由落下等對基板收納容器施加大衝擊時，彈性片大幅撓曲，反之隨著彈性片之變動，基板從保持溝向外而破損，即使未破損之基板也會與基板收納容器之磨擦而產生微粒而造成污染。

又，做為衝擊施加之際之對策，將保持溝之形狀做成例如V字形，溝之深度加深，以及溝之寬度變窄係為有效，然而，如此基板與保持溝接觸而磨擦變多，有基板容易污染之問題，基板夾在保持溝之問題也可能發生。

本發明之目的係為解決該課題而做成，提供一種保持器係鑑於上述實情，提供一種可將基板安定保持，並可降低基板污染之虞之保持器，以及包括該保持器之基板收納容器。

本發明之保持器，係設置在收納基板之基板收納容器，在板厚度方向沿上下方向以一定間隔整列而保持支持之基板，包括：筐體，具有在上下方向延伸之一對上下方向部以及與該對上下方向部正交而在左右方向延伸之一對左右方向部；彈性片，從該上下方向部向內側突出，可限制該基板之位置；連結片，在上下方向延伸，且兩端部連接於該左右方向部；以及突出部，在與該基板交叉之方向傾斜而可抵接於該基板之周緣之傾斜面形成，從該連結 片向該基板收納容器之內側突出。

根據如此之保持器，由從筐體之上下方向部向內側突出之彈性片，可限制基板之位置，在基板之位置偏移之場合，也可由彈性片將基板之位置復歸至原來位置。又，包括兩端部與筐體之左右方向部連結而在上下方向延伸之連結片，在該連結片形成向基板收納容器之內側突出之突出部。該突出部係具有為與基板交叉之方向傾斜而可抵接於該基板之周緣之傾斜面之結構，由該傾斜面，可容易引導基板，降低基板之磨擦，可限制基板之位置。

又，該突出部係在上下方向在鄰接之基板間配置，且該傾斜面係具有與在上端形成之一基板可抵接之第一傾斜面，以及與在下端形成之另一基板可抵接之第二傾斜面較佳。根據如此之結構，由在基板間配置一突出部，可引導在上下方向鄰接之兩基板。

又，該突出部係在上下方向在基板兩側設置，且在基板兩側設置之該突出部係在上下方向配置在形成較基板之板厚度大之間隙較佳。根據如此之結構，可使在基板整列配置之通常狀態中，基板與突出部不會抵接，只有在基板移動之場合，基板與突出部抵接，可使基板與突出部之磨擦降低，而抑制微粒之產生。

又，在基板兩側設置之該突出部係在左右方向不同之位置配置較佳。如此，在基板兩側設置之突出部不會夾住基板。

又，也可更包括從該連結片向外側突出，與該筐體安裝之蓋體可抵接，且限制該連結片之移動之接受部。又， 接受部係在該連結片之中央形成，且相較於該筐體向該壁體側之外方突出較佳。如此，可限制連結片之移動，且限制突出部之位置。

又，本發明之基板收納容器，係包括：容器本體，具有開口部以收納基板；蓋體，閉鎖該開口部；以及如上所述之保持器，安裝於該容器本體之內壁或該蓋體。

根據如此之基板收納容器，由從筐體之上下方向部向內側突出之彈性片，可限制基板之位置，在基板之位置偏移之場合，也可由彈性片將基板之位置復歸至原來位置。又，包括兩端部與筐體之左右方向部連結而在上下方向延伸之連結片，在該連結片形成向基板收納容器之內側突出之突出部。該突出部係具有為與基板交叉之方向傾斜而可抵接於該基板之周緣之傾斜面之結構，由該傾斜面，可容易引導基板，降低基板之磨擦，可限制基板之位置。

根據本發明，可提供一種可降低基板之磨擦，限制基板之位置，將基板安定保持，並可降低基板污染之虞之保持器，以及包括該保持器之基板收納容器。

為讓本發明之上述內容能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：

以下請參照圖式，說明本發明之保持器以及包括該保持器之基板收納容器之具體實施例。又，圖式之說明中，相同或相當之元件係以相同符號標示，並省略重複之說 明。第1圖係本發明第一實施形態之基板收納容器之分解立體圖，第2圖係第1圖所示之基板收納容器沿II-II線之橫剖面圖。

如第1圖以及第2圖所示之基板收納容器1，係收容一或複數枚(例如6、13、25枚)基板W，基板W之輸送、搬送、保管等使用之收納容器。基板收納容器1係包括在正面形成將基板W在前後方向Y可出入之開口部3、在上下方向Z以一定間隔將基板W整列收納之容器本體2、以及在該容器本體2之開口部3嵌入而自由著脫之蓋體4。

蓋體4係在前後方向Y具有既定之厚度，將在開口部3之對向一對之周緣卡止之卡止機構(加鎖機構)15可出沒地內藏。該卡止機構15係根據從蓋體4外部之操作出沒，可將在開口部3嵌入之蓋體4加鎖。又，在蓋體4之側壁之周緣，裝著有密封墊片16(參照第3圖)。將裝著密封墊片16之蓋體4安裝在開口部3，由卡止機構15加鎖，可將基板收納容器1之內成為密閉狀態。又，在蓋體4之背面側(基板收納容器之內面)，安裝有將複數基板W在上下方向水平並排支持之保持器8。又，保持器8之詳細說明如後所述。

基板收納容器1內收容之基板W，係例如直徑300公釐之圓盤狀之矽晶圓，基板W之表裡兩面係分別鏡面加工。基板W係由專用之機器手臂在左右之側部周緣夾持之狀態，在容器本體2內出入。在基板W之周緣，形成有結晶方向之判別或整列容易之溝槽N(參照第6圖)。該溝槽N，在平面視圖中，係例如形成半圓形。

基板收納容器1之中，容器本體2、蓋體4、機器凸緣7、以及握把10等，可使用例如聚丙烯、環烯聚合體、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚二醚酮、聚甲醛、聚醚醯亞胺等之合成樹脂形成。這些合成樹脂或熱可塑性彈性體也可適量添加帶電防止劑、帶電性附著劑(碳、金屬纖維)、紫外線吸收劑、補強劑(玻璃纖維、碳纖維)等添加劑。

容器本體2係使用透明性或高剛性優良之聚碳酸酯等既定之樹脂成形。容器本體2係在正面開口之正面開口盒型態。在容器本體2之兩側壁21之內壁面，各別形成將基板W水平支持之齒17。齒17係如圖示在上下方向Z以既定之間距複數配列。由齒17，基板W以水平狀態在上下方向Z並排整列收納。

各齒17係可支持基板W之結構，並未限定其形狀。做為齒17之形狀，例如在平面視圖中為長方形、「ㄑ」字形(V字形)、半圓弧形狀等。齒17係具有在沿基板W之周緣形成之棚部、以及在該棚部上形成，具有與基板W接觸之平坦面之基板接觸部。

又，在齒17之開口部3側，形成有限制基板W之位置之位置限制用段差18。由該位置限制用段差18、以及容器本體2之內側(與開口部3相反側)與基板W可抵接之側壁21之內壁面部分19，可限制容器本體2內之基板W之前後方向Y之動作。

如此結構之齒17，可與容器本體2一體形成，也可利用固定元件，或是使用磨擦卡合，將齒17安裝於容器 本體2。由齒17，基板W之側部周緣係可保持高位置精度且水平支持，防止基板W在上下方向Z傾斜，由機器手臂之叉容易進行基板W之出入。

在容器本體2之底板(底部)之外面，形成有對應於既定裝置(例如加工基板之加工裝置等)進行位置決定之位置決定部。位置決定部係設置於三個位置，成Y字形配置。又，在位置決定部，形成有V字溝(凹部)。又，位置決定部之斷面形狀並不限於於V字形，例如可形成M字形，逆V字形，逆Y字形或凹陷之橢圓形等。

在容器本體2之頂板22之外面，形成有在平面視圖中成矩形狀之機器凸緣7。該機器凸緣7可與容器本體2一體形成，也可做為其他元件而形成對容器本體2可著脫之結構。基板收納容器1係由機器凸緣7被稱為起重機(OHT)之未圖示之自動搬送裝置保持，在工場內搬送。

以下詳細說明保持器8。第3圖係第1圖中之保持器安裝之蓋體之背面圖。第4圖係第3圖中之保持器之立體圖。第5圖係第3圖所示之保持器擴大顯示之正視圖。第6圖係第3圖沿VI-VI線之剖面圖。第7圖係顯示在容器本體裝著之蓋體、安裝於該蓋體之保持器、以及基板收納容器內保持之基板之部分剖面圖。

如第3圖~第5圖所示，保持器8係包括形成矩形之外形之筐體32，該筐體32具有互相對向而在上下方向Z延伸之一對上下方向部34，以及互相對向而在左右方向X延伸之一對左右方向部36。

保持器8可由聚丙烯、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙 酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚二醚酮、聚甲醛、聚醚醯亞胺等之合成樹脂，或是聚酯系熱可塑性彈性體、聚烯烴系熱可塑性彈性體、聚苯乙烯系熱可塑性彈性體、聚氨酯系熱可塑性彈性體等各種熱可塑性彈性體形成。又，這些樹脂或熱可塑性彈性體可適量添加帶電防止劑、碳或金屬纖維等帶電性附著劑、紫外線吸收劑、玻璃纖維或碳纖維等補強劑等添加劑。

上下方向部34係如第4圖及第5圖所示，具有在上下方向Z延伸之平板狀之板狀片34a，與從板狀片34a在前後方向Y突出之複數側壁34b。板狀片34a係連結於一對左右方向部36之長方向之兩端部，將板厚度方向做為前後方向Y而配置。側壁34b係與沿板狀片34a之上下方向Z之外側之端部交叉，將板厚度方向做為左右方向X而形成，在上下方向Z以既定之間距複數形成。例如，板狀片34a係在側壁34b之前後方向Y略中央交叉。又，板狀片34a之未形成側壁34b之部分，形成有向左右方向X之內側凹陷之切欠部34c。該切欠部34c係在保持器8安裝於蓋體4時，嵌合於蓋體4形成之突起部，可將保持器8固定於既定之位置。又，該些側壁34b與切欠部34c係為左右對稱之配置較佳。又，該些切欠部34c以及在蓋體形成之突起部係做為在保持器安裝於蓋體時進行位置決定之位置決定部之功能。

又，在保持器8，如第4圖~第6圖所示，從板狀片34a在左右方向X之內側突出，可限制基板W之前後方向Y之位置之彈性片(板狀彈簧)38，係在上下方向Z以既定 之間距複數形成。彈性片38係例如形成短冊狀(橫長形狀)，長度方向係在左右方向X延伸。彈性片38係如第6圖所示，較與板狀片34a連結之基端部38b側，前端側38a向基板收納容器1之內側定位而對左右方向X傾斜配置。又，彈性片38係在上下方向Z對應於基板W位置之位置配置而且左右對稱配置。

在彈性片38之前端部383，設有略成直方體，在與基板W對面之面形成保持基板W之保持溝之保持部40。保持部40之保持溝，其與基板W交叉之斷面係例如以V字形構成，而以沿著基板W之周圍的方式形成。其中，該保持溝所構成的面，相對於上下方向Z係為傾斜，且於上下方向Z能夠引導基板W於既定位置。此外，形成保持溝之面亦可為曲面，例如取代V字斷面之保持溝，亦可為U字斷面之保持溝。

又，保持器8係包括在上下方向Z延伸且長度方向之兩端部連接於左右方向部36之連結片42。該連結片42係成平板狀，將板厚度方向做為前後方向Y，主面與基板W之周緣對面而配置。又，連結片42係在左右方向X配置於保持器8之中央。

又，在連結片42之基板W側之主面，形成有向基板W側突出之複數凸肋片(突出部)44A、44B。凸肋片44A、44B係在側面視圖中，例如成山型(略成台座型)。該凸肋片44A、44B係在上下方向Z鄰接之基板W間分別配置。凸肋片44A、44B係成平板狀，板厚方向成左右方向X而配置，上下方向Z之端面係成與對基板W交叉方向傾斜之 傾斜面44e、44f之結構。亦即，凸肋片44A、44B之上端面之傾斜面44e(第一傾斜面)係凸肋片44A、44B之前端側(基板收納容器1之後方側)較凸肋片44A、44B之基端側(連結片42側)在上下方向Z位於下方之方式傾斜。又，凸肋片44A、44B之下端面之傾斜面44f(第二傾斜面)係凸肋片44A、44B之前端側(基板收納容器1之後方側)較凸肋片44A、44B之基端側(連結片42側)在上下方向Z位於上方之方式傾斜。

又，在上下方向Z鄰接之凸肋片44A、44B係在左右方向X不同位置配置。具體而言，凸肋片44A係在基板收納容器1之中央如圖示之右側(參照第5圖)而配置，凸肋片44B係較基板收納容器1之中央而配置於圖示之左側。亦即，如第6圖所示，凸肋片44A、44B係在左右方向X分離，在上下方向Z與基板W之溝槽N不重疊之位置配置。又，右側配置之凸肋片44A以及左側配置之凸肋片44B係在上下方向Z交互配置，如第5圖所示，分別在同一直線上配列。

又，保持器8係如第7圖所示，基板W在既定之位置整列配置之通常狀態中，凸肋片44A、44B之傾斜面44e、44f係配置於與基板W不會抵接之位置。具體而言，在上下方向Z鄰接之凸肋片44A、44B之間隔P係較基板W之板厚t大。又，如第4圖所示，最上段配置之凸肋片45A，係在上下方向Z中半割之形狀，具有向下方之傾斜面44f，最下段配置之凸肋片45B，係在上下方向Z中半割之形狀，具有向上方之傾斜面44e。又，凸肋片44A、44B之前端部 係如第6圖所示，通常時，在上下方向Z與基板W之周緣一部分重疊而設置。

其次，藉由如此結構之保持器8說明關於基板W之位置限制。通常狀態中，基板W係如第2圖所示，由齒17支持左右方向X之周緣部，在基板收納容器1內水平保持。此時，基板W係由位置限制用段差18限制向前方之移動，由側壁21之內壁面部分19限制向後方之移動。又，該通常狀態中，基板W係如第6圖所示，由彈性片38支持之保持部40保持前方側之周緣部，限制向前方側之移動。又，基板W係如第8圖所示，在上下方向Z配置於凸肋片44A、44B之間，與凸肋片44A、44B成未接觸之狀態。

在此，例如在基板收納容器1向前方側(保持器8側)傾斜之場合等，將基板W向前方移動之力作用時，基板W係由彈性片38之復原力，向後方壓回，而復歸與通常狀態相同之位置。

又，如第7圖所示，在基板W向前方側移動之場合中，基板W係與保持器8之連結片42之基板W側之主面抵接，如上所述，由彈性片38之復原力，向後方壓回，而復歸與通常狀態相同之位置。

又，在基板W之前方側向上方傾斜之場合中，基板W係與保持器8之連結片42之凸肋片44A、44B之傾斜面44f抵接。又，基板W係由傾斜面44f限制移動，在上下方向Z引導至鄰接之凸肋片44A、44B之中間位置，而復歸與通常狀態相同之位置。

同樣地，在基板W之前方側向下方傾斜之場合中，基 板W係與保持器8之連結片42之凸肋片44A、44B之傾斜面44e抵接。又，基板W係由傾斜面44e限制移動，在上下方向Z引導至鄰接之凸肋片44A、44B之中間位置，而復歸與通常狀態相同之位置。

包括如此之保持器8之基板收納容器1，由從筐體32之上下方向部34向內側突出之彈性片38，可限制基板W之前後方向之位置，在基板W之位置偏移之場合，可由彈性片38將基板W之位置復歸至原來位置。又，保持器8係包括在筐體32之左右方向部36連結於長度方向(圖示上下方向Z)之兩端部而在上下方向Z延伸之連結片42，在該連結片42形成向基板收納容器1之內側突出之複數凸肋片44A、44B。該凸肋片44A、44B係具有可抵接於該基板W之周緣之傾斜面44e、44f之結構，由該傾斜面44e、44f，可容易引導基板W至與通常狀態相同之位置，降低基板W之磨擦，可限制基板W之位置。

又，凸肋片44A、44B在上下方向Z在鄰接之基板W間配置，由一個凸肋片44A、44B，可引導上下方向Z鄰接之兩基板W。如此，可減少元件個數，達到簡化之結構，可抑制製造成本。

又，凸肋片44A、44B在上下方向Z形成較基板W之板厚度t大之間隙而配置，可使在基板W整列配置之通常狀態中，基板W與凸肋片44A、44B不會抵接，只有在基板W移動之場合，基板W與凸肋片44A、44B抵接。如此之配置可使基板W與凸肋片44A、44B之磨擦降低，而抑制微粒之產生。

又，將基板W夾持而在上下方向Z之兩側設置之凸肋片44A、44B係在左右方向不同之位置配置，在上下方向A鄰接之凸肋片44A、44B不會夾住基板W。

在此，請參照第13圖，說明關於與第一實施形態之變形例相關的保持器70。在彈性片38之前端部38a設置之保持部72之保持溝，其除了可如第一實施形態之保持部40之保持溝之V字狀以外，亦可如第13圖所示之二段傾斜面之形狀。此時，保持溝之開口部側面對之傾斜面72a之角度θ 1，為限制基板W之位置，設定為100°~120°之範圍較佳。角度θ 1在100°以上時，可將從保持溝中心偏移之基板W在廣範圍導入至保持溝內。又，角度θ 1在120°以下時，基板W在傾斜面之途中不會掛住而可確實引導至保持溝內。

又，保持溝之內部之傾斜面72b之角度θ 2，係為可安定保持基板W而設定為35°~55°之範圍較佳。角度θ 2在35°以上時，可防止基板W在保持溝夾持而解除蓋體4時基板W由保持器70引出。又，角度θ 2在55°以下時，可在振動等時基板W從保持溝飛出較少。

又，保持溝之深度h係基板半徑之1.5%~3.0%之深度較佳。例如，半徑150公釐(直徑300公釐)之基板W之場合，深度h係設定為2.25公釐~4.5公釐。深度h在2.25公釐以上時，可在振動等時基板W從保持溝飛出較少。深度h在4.5公釐以下時，可防止保持部72成為如從蓋體4之表面飛出之大小且不損失彈性片38之彈性。

其次，請參照第8圖，說明本發明第二實施形態之保 持器。第8圖係顯示本發明第二實施形態之保持器、蓋體、基板之部分剖面圖。該第二實施形態之保持器50與第一實施形態之保持器8不同之點，在於具有從連結片42向前方突出之接受部52。

接受部52，具體而言，係在連結片42與蓋體4對向之主面形成，向蓋體4突出。該接受部52係在側面視圖中成例如台形，在上下方向Z以既定之間距複數設置。在上下方向Z，對應於凸肋片44A之位置設置。又，接受部52係在左右方向X配置於連結片42之中央。又，接受部52之形狀不限定，總之，可抵接於蓋體4即可。

如此之第二實施形態之保持器50可達到與第一實施形態相同之作用效果。特別是，在第二實施形態之保持器50，由形成從連結片42在前方突出之接受部52，接受部52與蓋體4抵接，可限制連結片42向前方移動。如此，可抑制連結片42向前方移動，將基板W之移動更適當限制，可降低基板W之磨擦。又，接受部52係相較保持器50之側壁34b而向前方側(壁體4側)突出之結構較佳。如此，可將連結片42之前後方向Y之移動量更加降低。又，由接受部52之高度(前後方向Y之長度)變更，可將連結片42之前後方向Y之位置適當調節。又，接受部52從前後方向Y視之，可為圓形、矩形、平板狀，也可為其他形狀。

其次，請參照第9圖，說明本發明第三實施形態之保持器。第9圖係顯示本發明第三實施形態之保持器、蓋體、基板之部分剖面圖。該第三實施形態之保持器54與第二 實施形態之保持器50不同之點，在於接受部56之形狀不同。

接受部56，具體而言，係在連結片42與蓋體4對向之主面形成，向蓋體4突出。該接受部56係在上下方向Z中央部56a之高度(前後方向Y之長度)最高，形成朝向上下方向Z之兩端部傾斜之斜邊56b。如此之結構中，可適當限制前後方向Y之移動量最大之中央部56a之位置。又，取代在側面視圖中直線狀之斜邊56b，也可做為彎曲形狀。

其次，請參照第10圖，說明本發明第四實施形態之保持器。第10圖係顯示本發明第四實施形態之保持器之部分正視圖。又，保持器之正面係為基板W側之面。第四實施形態之保持器58與第一實施形態之保持器8不同之點，在於具有與凸肋片44A、44B形狀以及位置不同之凸肋片(突出部)60A、60B。

具體而言，第四實施形態之保持器58之凸肋片60A、60B係形成塊狀，較第一實施形態之凸肋片44A、44B在左右方向X具有寬度。又，凸肋片60A、60B之側面形狀，係與凸肋片44A、44B相同之形狀，例如形成山型(略成台座型)。又，上下方向Z之端面構成有與基板W交叉之方向傾斜之傾斜面60e、60f。亦即，凸肋片60A、60B之上端面之傾斜面60e(第一傾斜面)係凸肋片60A、60B之前端側(基板收納容器1之後方側)較凸肋片60A、60B之基端側(連結片42側)而位於下方之方式傾斜。又，凸肋片60A、60B之下端面之傾斜面60f(第二傾斜面)係凸肋片60A、60B 之前端側(基板收納容器1之後方側)較凸肋片60A、60B之基端側(連結片42側)而位於上方之方式傾斜。

又，凸肋片60A、60B係沿上下方向Z兩列配置，凸肋片60A係配置於圖示右側，凸肋片60B配置於圖示左側。又，凸肋片60A、60B係從上下方向Z所視，在左右方向X一部分重疊配置。例如，在左右方向X約一半重疊而配置。又，凸肋片60A、60B之傾斜面60e、60f係較在基板W形成之溝槽N(參照第6圖)之左右方向X寬度廣之範圍而形成較佳。如此構成之第四實施形態之保持器58也可達到與第一實施形態之保持器8相同之作用效果。

其次，請參照第11圖，說明本發明第五實施形態之保持器。第11圖係顯示本發明第五實施形態之保持器之部分正視圖。該第五實施形態之保持器62與第一實施形態之保持器8不同之點，在於支持保持部40之結構不同，取代由懸臂樑結構支持之保持部40，而具有由雙持結構支持之保持部40。

第五實施形態之保持器，係包括從左右方向X之內側支持保持部40之連結彈性片64。連結彈性片64係在左右方向X延伸，一端部64a連結於連結片42，另一端部64b連結於保持部40。又，保持部40係由彈性片38以及連結彈性片64從左右方向X之兩側支持。如此構成之第五實施形態之保持器62也可達到與第一實施形態之保持器8相同之作用效果。

其次，請參照第12圖，說明本發明變形例之保持器。第12圖係顯示本發明變形例之保持器之正視圖。變形例 之保持器66與第一實施形態之保持器8不同之點，在於包括取代連結片42而與在左右方向X鄰接之保持部40連結之連結彈性片68，凸肋片44A、44B係在上下方向跨越鄰接之兩個連結彈性片68而固定。如此結構之場合中，為限制向凸肋片44A、44B前方之移動，形成有從連結彈性片68向蓋體4突出之接受部(52、56)較佳。

以上對本發明根據實施形態進行具體說明，然而，本發明並不限定於上述之實施形態。上述實施形態中，係將本發明之基板收納容器做為收納半導體晶圓之裝置而進行說明，然而收納物之基板並不限定為半導體晶圓，光罩玻璃等其他精密基板也可以。又，收容之基板大小不限定於300公釐，例如450公釐等其他大小也可以。又，收納枚數並不限於1~25枚，26枚以上也可以。

又，上述實施形態中，係將保持器8安裝於蓋體4之背面側之基板收納容器1，然而保持器8之安裝位置也可以在容器本體2之側壁21之內壁面，背面壁之內壁面。

又，將保持器8安裝於蓋體4時之位置決定部之位置決定突起及位置決定凹部，係在筐體32之上下方向部34左右對稱之位置設置，然而也可形成左右不對稱之位置決定部。如此形成左右不對稱之位置決定部之場合，安裝保持器8時，為在上下方向Z出現方向性，可將基板W與形成保持部40之保持溝之壁面精度良好抵接。又，包括左右對稱之位置決定部之場合，特別是形成非對稱之位置決定部，也可防止在上下方向安裝錯誤。

又，蓋體與保持器之位置決定部，或是保持器之卡止 爪，係在不只一側壁，而在另一側壁形成也可以。又，在筐體之一部具有向上方可彎曲之彎曲部之結構，可使保持器之安裝或拆除容易。

又，取代保持器50、54之背面側設置之接受部52、56，也可將接受部在蓋體4之背面(保持器側之主面)形成，限制向連結片42，凸肋片44A、44B前方之移動。

[實施例]

其次以實施例對本發明做更詳細之說明，然而，本發明並不限定於實施例。

<第一實施例>

首先，準備包括第一實施形態之保持器8(參照第4圖)之基板收納容器1，在該基板收納容器1收納25枚基板W。收納之各基板W係由齒17水平支持。

然後，將如此收納各基板W之基板收納容器1之底面從基準面向上舉起10公分，在底面向下之狀態將基板收納容器1垂直落下，確認從保持器8之基板W掉出或基板W之破損有無。又，至從保持器8之基板W掉出或基板W之破損發生為止，每次提高10公分之落下高度，同樣落下，以確認所能承受之最大落下高度。

<第二實施例>

第一實施形態之變形例之保持器70，其保持溝具有兩段傾斜面72a、72b之保持部72(參照第13圖)，準備包括保持器70之基板收納容器，與第一實施例相同，在基板收納容器收納25枚基板W。然後，對該基板收納容器進 行與第一實施例相同之落下試驗。

<第三實施例>

準備包括第二實施形態之保持器50之基板收納容器(參照第8圖)，與第一實施例相同，在基板收納容器收納25枚基板W。然後，對該基板收納容器進行與第一~第二實施例相同之落下試驗。

<第四實施例>

準備包括第三實施形態之保持器54之基板收納容器(參照第9圖)，與第一實施例相同，在基板收納容器收納25枚基板W。然後，對該基板收納容器進行與第一~第三實施例相同之落下試驗。

<第五實施例>

準備包括第四實施形態之保持器58之基板收納容器(參照第10圖)，與第一實施例相同，在基板收納容器收納25枚基板W。然後，對該基板收納容器進行與第一~第四實施例相同之落下試驗。

<第六實施例>

準備包括第五實施形態之保持器62之基板收納容器(參照第11圖)，與第一實施例相同，在基板收納容器收納25枚基板W。然後，對該基板收納容器進行與第一~第五實施例相同之落下試驗。

<比較例>

將從第一實施形態之保持器8取下連結片42之保持器做為比較用保持器，準備包括該比較用保持器之基板收納容器。然後，對該基板收納容器進行與第一~第六實施 例相同之落下試驗。

上述第一實施例~第六實施例之落下試驗以及比較例之落下試驗之結果，係如表一所示。

如表一所示，包括比較用保持器(沒有連結片42之保持器)之基板收納容器中，在落下高度30公分之落下試驗中基板W從保持溝掉出，隨著掉出破損也在基板W發生。對此，第一~第六實施例之基板收納容器中，在落下高度 70公分至80公分之落下試驗中基板W也不會從保持溝掉出(表中之「良好」係表示基板W沒有掉出之意思)。因此，根據本實施形態之保持器，相較於比較例之保持器，可承受三倍以上之落下高度，較能安定保持基板W。

綜上所述，雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

1‧‧‧基板收納容器

2‧‧‧容器本體

3‧‧‧開口部

4‧‧‧蓋體

7‧‧‧機器凸緣

8、50、54、58、62、70‧‧‧保持器

10‧‧‧握把

15‧‧‧卡止機構(加鎖機構)

16‧‧‧密封墊片

17‧‧‧齒

18‧‧‧位置限制用段差

21‧‧‧側壁

32‧‧‧筐體

34‧‧‧上下方向部

34a‧‧‧板狀片

34b‧‧‧側壁

34c‧‧‧切欠部

36‧‧‧左右方向部

38‧‧‧彈性片

40、72‧‧‧保持部

42‧‧‧連結片

44A、44B、60A、60B‧‧‧凸肋片(突出部)

44e、60e‧‧‧傾斜面(第一傾斜面)

44f、60f‧‧‧傾斜面(第二傾斜面)

52、56‧‧‧接受部

第1圖係本發明第一實施形態之基板收納容器之分解立體圖。

第2圖係第1圖所示之基板收納容器沿II-II線之橫剖面圖。

第3圖係第1圖中之保持器安裝之蓋體之背面圖。

第4圖係第3圖中之保持器之立體圖。

第5圖係第3圖所示之保持器擴大顯示之正視圖。

第6圖係第3圖沿VI-VI線之剖面圖。

第7圖係顯示在容器本體裝著之蓋體、安裝於該蓋體之保持器、以及基板收納容器內保持之基板之部分剖面圖。

第8圖係顯示本發明第二實施形態之保持器、蓋體、 基板之部分剖面圖。

第9圖係顯示本發明第三實施形態之保持器、蓋體、基板之部分剖面圖。

第10圖係顯示本發明第四實施形態之保持器之部分正視圖。

第11圖係顯示本發明第五實施形態之保持器之部分正視圖。

第12圖係顯示本發明變形例之保持器之部分正視圖。

第13圖係顯示本發明第一實施形態之變形例之保持器之部分側視圖。

1‧‧‧基板收納容器

2‧‧‧容器本體

3‧‧‧開口部

4‧‧‧蓋體

8‧‧‧保持器

32‧‧‧筐體

34‧‧‧上下方向部

36‧‧‧左右方向部

38‧‧‧彈性片

40‧‧‧保持部

42‧‧‧連結片

44A、44B‧‧‧凸肋片(突出部)

44e、60e‧‧‧傾斜面(第一傾斜面)

44f、60f‧‧‧傾斜面(第二傾斜面)

Claims (5)

1. 一種保持器，係設置在一收納基板之一基板收納容器，且為保持在板厚度方向沿上下方向以一定間隔排列而被支持之一基板及另一基板之保持器，包括：一筐體，具有在上下方向延伸之一對上下方向部以及與該對上下方向部交叉而在左右方向延伸之一對左右方向部；一彈性片，從該上下方向部向內側突出，具有一保持部，可限制該基板之位置；一連結片，在上下方向延伸，且兩端部連接於該左右方向部；以及一突出部，在與該基板交叉之方向傾斜而可抵接於該基板之周緣之一傾斜面形成，從該連結片向該基板收納容器之內側突出；其中該突出部係在上下方向在鄰接之基板間配置；該傾斜面係具有：形成於上端而可抵接於該基板之一第一傾斜面；形成於下端而可抵接於該另一基板之一第二傾斜面；其中該突出部係在上下方向在基板兩側設置；以及在該基板兩側設置之該突出部係在上下方向配置在形成較基板之板厚度大之間隙； 該突出部的該第一傾斜面與該第二傾斜面，在通常狀態中，不會與該基板接觸。
2. 如申請專利範圍第1項所述之保持器，其中在該 基板兩側設置之該突出部係在左右方向不同之位置配置。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之保持器，更包括從該連結片向外側突出，與該筐體安裝之壁體可抵接，且限制該連結片之移動之一接受部。
4. 如申請專利範圍第3項所述之保持器，其中該接受部係在該連結片之中央形成，且相較於該筐體向該壁體側之外方突出。
5. 一種基板收納容器，包括：一容器本體，具有開口部以收納基板；一蓋體，閉鎖該開口部；以及如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之保持器，安裝於該容器本體之內壁或該蓋體。