TWI432369B - 晶圓傳輸系統 - Google Patents

Description

晶圓傳輸系統

本發明是有關一種雙門式承載盒及傳輸系統，且特別是有關於一種用以運輸晶圓的雙門式晶圓承載盒及晶圓傳輸系統。

習用的晶圓傳輸系統，如圖1和圖2所示，包括：前開式晶圓承載盒1a(Front Opening Unified Pod，FOUP)、懸吊式單軌道2a、可移動地設置於懸吊式單軌道2a的搬運車3a、位於懸吊式單軌道2a外側的兩機台4a、及分別連接於兩機台4a並位於懸吊式單軌道2a下方的兩載入埠5a。藉此，可使搬運車3a經懸吊式單軌道2a輸送前開式晶圓承載盒1a至指定的載入埠5a。

然而，習用晶圓傳輸系統的懸吊式單軌道2a為了配合前開式晶圓承載盒1a，因而僅能設計為一條路徑且此路徑依序地通過於兩載入埠5a的上方。亦即，懸吊式單軌道2a須先通過其中一載入埠5a，再將懸吊式單軌道2a形成具有固定迴轉半徑的轉向段21a，其後，方能通過另一載入埠5a。

因此，前開式晶圓承載盒1a經搬運車3a運送至上述另一載入埠5a時，須耗費較多的時間。再者，由於懸吊式單軌道2a須具有固定迴轉半徑的轉向段21a，此將使轉向段21a兩端所延伸的懸吊式單軌道2a之間距離D₀ 較大，進而佔用較廣的使用空間。

本發明實施例在於提供一種雙門式晶圓承載盒及晶圓 傳輸系統，其能減少晶圓運送至機台的時間，並可佔用較少的使用空間。

本發明實施例提供一種晶圓傳輸系統，包括：一雙門式晶圓承載盒，具有一承載殼體以及可分離地裝設於該承載殼體相對兩側的兩門板；一懸吊式軌道，其具有一單軌道部以及呈間隔設置的雙軌道部，該雙軌道部具有兩子軌道，該雙軌道部的兩端分別疊合且連接於該單軌道部；一可搬運該雙門式晶圓承載盒的懸吊式搬運車，其可移動地裝設於該懸吊式軌道；以及兩機台，其分別設置於該雙軌道部的一側，該兩機台各裝設有至少一載入埠，該兩機台的載入埠分別位於該雙軌道部的下方；其中，該雙門式晶圓承載盒經該懸吊式搬運車選擇性地移動至該雙軌道部的其中一子軌道，並設置於上述其中一子軌道所對應的機台載入埠。

本發明實施例另提供一種雙門式晶圓承載盒，包括：一底盤；一承載殼體，其裝設於該底盤上，該承載殼體的相對兩側形成有兩開口端；以及兩門板，其分別可分離地裝設於該承載殼體的相對兩側的開口端。

綜上所述，本發明實施例所提供的雙門式晶圓承載盒及晶圓傳輸系統，其可減少雙門式晶圓承載盒運送至指定載入埠的時間，並且有效節省所需佔用的空間。

為使能更進一步瞭解本發明之特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，但是此等說明與所附圖式僅係用來說明本發明，而非對本發明的權利範圍作任何的限制。

〔第一實施例〕

請參閱圖3和圖4所示，其為本發明的第一實施例，其中，圖3為本實施例的立體示意圖，圖4為本實施例的平面示意圖。

本實施例為一種雙門式晶圓承載盒1，包括：承載殼體11、兩門板12、12’、及底盤13。其中，兩門板12、12’分別裝設於承載殼體11的相對兩側，而底盤13裝設於承載殼體11的下方。

如圖3和圖4所示，上述承載殼體11大致呈對稱狀，且承載殼體11的相對兩側分別形成有開口端111、111’，藉以提供晶圓可選擇性地經由其中一開口端111、111’進出承載殼體11內。再者，承載殼體11外緣裝設有一上升座板112，藉以供懸吊式搬運車提舉，進而運輸或傳送雙門式晶圓承載盒1。

上述兩門板12、12’分別可分離地裝設於所述承載殼體11相對兩側的開口端111、111’，藉以使雙門式晶圓承載盒1呈封閉狀，並且雙門式晶圓承載盒可依需求選擇性地開啟其中一門板12、12’。

上述底盤13的底部呈對稱狀，如圖4所示，且底盤13的底部形成有兩組對稱的對位結構131、131’，上述兩對位結構各具有定位部1311、1311’、擋止部1312、1312’、及固定部1313、1313’。亦即，兩組對位結構131、131’的定位部1311、1311’、擋止部1312、1312’、及固定部1313、1313’呈對稱設置。

而上述每一對位結構131、131’各對應於一個門板12、12’。亦即，無論使用那一個門板12、12’，其皆有相 對應的一個定位部1311、1311’、一個擋止部1312、1312’、及一個固定部1313、1313’(如：對位結構131對應於門板12，對位結構131’對應於門板12’)。

再者，習知的晶圓承載盒亦具有對位結構，但習知的晶圓承載盒僅具有一個門板及其對應的一個定位部、一個擋止部、及一個固定部。其中，有關本發明個別的定位部1311、1311’、擋止部1312、1312’、及固定部1313、1313’之功用與習知相近，大致述敘其功用如下。

所述定位部1311、1311’為三個等間隔設置的長形開孔，藉以供載入埠之對位銷(圖略)插設定位，進而避免雙門式晶圓承載盒1被強行移出。

所述擋止部1312、1312’為數個圓孔，藉以使雙門式晶圓承載盒1僅可由其所需加工之製程機台(圖略)開啟所對應的門板12、12’，進而防止不同製程機台誤用雙門式晶圓承載盒1內的晶圓。

所述固定部1313、1313’為一開孔，藉以供載入埠之倒鉤(圖略)穿設及固定，進而使雙門式晶圓承載盒1更為穩固地設置於機台的載入埠上。

〔第二實施例〕

請參閱圖5和圖6所示，其為本發明的第二實施例，其中，圖5和圖6為本實施例的平面示意圖。

本實施例為一種晶圓傳輸系統，包括：第一實施例所述之雙門式晶圓承載盒1、懸吊式軌道2、可搬運該雙門式晶圓承載盒1的懸吊式搬運車3、兩機台4、4’、及至少兩載入埠5、5’。

上述懸吊式軌道2具有單軌道部21以及呈間隔設置的 雙軌道部22，所述雙軌道部22具有間隔設置的兩子軌道221、221’，並且雙軌道部22的兩端分別疊合且連接於單軌道部21。更詳細的說，雙軌道部22兩端與單軌道部21相連接的部位形成y形的分叉軌道口23。

懸吊式搬運車3可移動地裝設於所述懸吊式軌道2，當懸吊式搬運車3由單軌道部21移動至分叉軌道口23時，懸吊式搬運車3可選擇性地朝雙軌道部22的其中之一子軌道221、221’移動。

上述兩機台4、4’分別設置於所述雙軌道部22的一側，亦即，所述兩機台設置於雙軌道部22的相對兩側。更詳細的說，兩機台4、4’可分別設置於雙軌道部22的外側或內側。於本實施例中，以兩機台4、4’分別設置於雙軌道部22的外側為例，但並不以此為限。

上述至少兩載入埠5、5’分別裝設於所述兩機台4、4’且設置於兩機台4、4’之間，並且載入埠5、5’分別位於雙軌道部22的兩子軌道221、221’下方。藉此，懸吊式搬運車3可經由懸吊式軌道2的分叉軌道口23而選擇性地將雙門式晶圓承載盒1運輸至其中一機台4、4’的載入埠5、5’上。

更詳細的說，雙門式晶圓承載盒1的兩門板12、12’分別對應於上述兩機台4、4’(如：門板12對應於機台4，門板12’對應於機台4’)，當雙門式晶圓承載盒1運輸至預定的機台4、4’載入埠5、5’時，雙門式晶圓承載盒1鄰近機台4、4’的相對應門板12、12’可被開啟，以利於機台4、4’取用雙門式晶圓承載盒1內的晶圓。

藉此，本發明的晶圓傳輸系統因雙門式晶圓承載盒1 及懸吊式軌道2之搭配(如：雙軌道部22及分叉軌道口23)，使雙門式晶圓承載盒1得以較短的時間輸送至機台4、4’的載入埠5、5’(如：雙門式晶圓承載盒1被運送至機台4’的載入埠5’時，由於雙門式晶圓承載盒1不需轉向，故所耗費的時間較習知短)，進而提升整體的工作效能，達到降低生產成本的效果。

再者，由於本發明的晶圓傳輸系統採用雙門式晶圓承載盒1，因此，所使用的懸吊式軌道2不需特別設計如習知的轉向段，藉以使所述兩機台4、4’之載入埠5、5’上方的雙軌道部22間距D₁ 小於習知懸吊式單軌道2a之轉向段21a兩端所延伸的距離D₀ (如圖1所示)，亦即，可本發明可有效縮小機台間的擺設距離，進而降低晶圓傳輸系統所需佔用的空間，以利於設置更多的機台與載入埠。

〔實施例的功效〕

根據本發明實施例，上述的雙門式晶圓承載盒1及晶圓傳輸系統，其可減少雙門式晶圓承載盒1運送至指定機台4、4’之載入埠5、5’的時間，並且晶圓傳輸系統更是可以有效節省所需佔用的空間，藉以達到空間的有效使用。

以上所述僅為本發明之實施例，其並非用以侷限本發明之專利範圍。

〔習知〕

1a‧‧‧前開式晶圓承載盒(FOUP)

2a‧‧‧懸吊式單軌道

21a‧‧‧轉向段

3a‧‧‧搬運車

4a‧‧‧機台

5a‧‧‧載入埠

〔本發明〕

1‧‧‧雙門式晶圓承載盒

11‧‧‧承載殼體

111、111’‧‧‧開口端

112‧‧‧上升座板

12、12’‧‧‧門板

13‧‧‧底盤

131、131’‧‧‧對位結構

1311、1311’‧‧‧定位部

1312、1312’‧‧‧擋止部

1313、1313’‧‧‧固定部

2‧‧‧懸吊式軌道

21‧‧‧單軌道部

22‧‧‧雙軌道部

221、221’‧‧‧子軌道

23‧‧‧分叉軌道口

3‧‧‧懸吊式搬運車

4、4’‧‧‧機台

5、5’‧‧‧載入埠

圖1為習知晶圓傳輸系統的示意圖；圖2為習知晶圓傳輸系統的運作示意圖；圖3為本發明第一實施例的立體示意圖； 圖4為本發明第一實施例的平面示意圖；圖5為本發明第二實施例的平面示意圖；及圖6為本發明第二實施例的平面使用示意圖。

1‧‧‧雙門式晶圓承載盒

12、12’‧‧‧門板

2‧‧‧懸吊式軌道

21‧‧‧單軌道部

22‧‧‧雙軌道部

221、221’‧‧‧子軌道

23‧‧‧分叉軌道口

3‧‧‧懸吊式搬運車

4、4’‧‧‧機台

5、5’‧‧‧載入埠

Claims (5)

1. 一種晶圓傳輸系統，包括：一雙門式晶圓承載盒，具有一承載殼體以及可分離地裝設於該承載殼體相對兩側的兩門板；一懸吊式軌道，其具有一單軌道部以及呈間隔設置的雙軌道部，該雙軌道部具有兩子軌道，該雙軌道部的兩端分別疊合且連接於該單軌道部；一可搬運該雙門式晶圓承載盒的懸吊式搬運車，其可移動地裝設於該懸吊式軌道；以及兩機台，其分別設置於該雙軌道部的一側，該兩機台各裝設有至少一載入埠，該兩機台的載入埠分別位於該雙軌道部的下方；其中，該雙門式晶圓承載盒經該懸吊式搬運車選擇性地移動至該雙軌道部的其中一子軌道，並設置於上述其中一子軌道所對應的機台載入埠。
2. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸系統，其中該兩機台設置於該雙軌道部的相對兩側，該兩機台的載入埠設置於該兩機台之間。
3. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸系統，其中該雙軌道部兩端與該單軌道部相連接的部位形成一分叉軌道口。
4. 如申請專利範圍第3項所述之晶圓傳輸系統，其中該分叉軌道口呈y形。
5. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸系統，其中該雙門式晶圓承載盒的兩門板分別對應於該兩機台及該兩機台的載入埠。