TWI431211B - 附防塵機構的直線致動器 - Google Patents

Description

附防塵機構的直線致動器

本發明係關於附防塵機構的直線致動器，例如，與適合使用於無塵室內之驅動機構之附防塵機構的直線致動器相關。

到目前為止，本專利申請人及其相關法人，提出了具備下述專利文獻1、2等所開示之防塵機構的各種致動器(含導引移動對象進行運動之運動導引裝置)。例如，下述專利文獻1所提出之附防塵機構的直線致動器，具備可確實防止粉塵從致動器殼體之開口部漏出的機能，其特徵為，為了避免致動器殼體之開口部之防塵帶與移動台之突出部的干涉，針對移動台配設防塵帶之迂迴手段。

參照第10圖，針對該下述專利文獻1所開示之附防塵機構的直線致動器進行說明。此外，第10圖係先前技術之附防塵機構的直線致動器之構成說明圖，圖中，(a)係附防塵機構的直線致動器之上面，(b)係附防塵機構的直線致動器之正面，(c)係附防塵機構的直線致動器之橫剖面。

如第10圖所示，先前技術之附防塵機構的直線致動器1，具有：細長箱形之殼體構件2；以旋轉自如之狀態獲得支持之滾珠螺桿3；對應該滾珠螺桿3之旋轉運動而往返直線運動之移動台4；以及以旋轉滾珠螺桿3為目的之驅動馬達5。

殼體構件2，具備：水平基板21；從該水平基板21之上面垂直豎立而平行於滾珠螺桿3進行延伸之左右一對之垂直側板22、23；以及裝設於該等垂直側板22、23之前端及後端之端部塊24、25。藉由一方之端部塊24，使滾珠螺桿3之一端以旋轉自如之狀態獲得支持。此外，滾珠螺桿3之另一端側之部分，藉由另一方之端部塊25，以旋轉自如之狀態獲得支持，且貫通該塊25而連結於驅動馬達5之側。

左右之垂直側板22、23之上端部分朝內側折曲成直角，而成為左右之水平上板部分22a、23a。於該等左右之水平上板部分22a、23a之中間，配置著中央區隔板26，該中央區隔板26之前後端分別裝設固定於端部塊24、25。結果，於水平上板部分22a與中央區隔板26之間，形成有沿著滾珠螺桿3之軸線方向，亦即，沿著移動台4之移動方向延伸之左側開口部27。同樣的，水平上板部分23a與中央區隔板26之間，形成有右側開口部28。

各開口部27、28，以寬度大於該等之開口部之防塵帶29、30進行封閉。該等防塵帶29、30，係分別沿著水平上板部分22a、23a及中央區隔板26之下面側架設於端部塊24、25之間。

如以上所示，殼體構件2，係利用水平基板21、垂直側板22、23(水平上板部分22a、23a)、中央區隔板26、端部塊24、25、以及封閉開口部27、28之防塵帶29、30而成為區隔成箱形之區隔室，藉由覆蓋滾珠螺桿3，而具有使致動器所發生之粉塵殘留於該區隔室內的機能。

其次，移動台4，具備：形成有螺合於滾珠螺桿3之滾珠螺桿螺帽的螺帽塊41；固定於該螺帽塊41之上面的下板42；固定於該下板42之上面的中板43；以及固定於該中板43之上面的上板44。螺帽塊41之兩側面，藉由裝設於殼體構件2內部之直線導軌31，以可於滾珠螺桿3之軸線方向滑動自如地獲得支持。

移動台4之構成，上板44係位於殼體構件2之外側，中板43、下板42、及螺帽塊41係位於殼體構件2之內部。亦即，上板44之構成，係從各開口部27、28朝外部突出，藉由連結於導引對象物，而對導引對象賦予移動力。

此外，於移動台4之位於殼體構件2之內側的左右側面，以旋轉自如之狀態設置著分別朝水平突出之滾輪61～66，做為使防塵帶29、30進行迂迴之迂迴手段。該等滾輪61～66之配置位置，相較於軸方向兩端側之滾輪61、62、65、66，中央部之滾輪63、64配置於相對較低之位置(此外，符號65之滾輪，係設置於與滾輪66相對之位置，第10圖中並未圖示。所以，以下之說明時，以括弧來表示)。

其次，以從各開口部27、28朝外部突出之上板44與防塵帶29、30不會干涉之方式，於各滾輪61～66，架設各防塵帶29、30。亦即，以，迂迴於上板44之突出部分之下方的方式，相對於各滾輪61～66進行防塵帶29、30之架設，具體而言，左側(第10圖中之(a)之圖式上側)之防塵帶29，通過前側之滾輪61之上側，而架設於中央之滾輪63之下側，此外，再通過後側之滾輪(65)之上側。此外，右側(第10圖中之(a)之圖式下側)之防塵帶30，同樣的，通過前側之滾輪62之上側，而架設於中央之滾輪63之下側，此外，通過後側之滾輪66之上側。

先前技術之附防塵機構的直線致動器1，因為具備以上之構成，沿著移動台4之移動軌跡形成之開口部27、28，可保持利用防塵帶29、30進行封閉之狀態。所以，與具有滾珠螺桿3及螺帽塊41之滾珠螺桿螺帽的滑動部分、及螺帽塊41與直線導軌31之滑動部分等所發生之粉塵，不會介由具有殼體構件2之開口部27、28漏出至外部。

此外，先前技術之附防塵機構的直線致動器1時，因為防塵帶29、30係配置於殼體構件2之內側，各防塵帶29、30相對於沿著開口部27、28移動之移動台4而迂迴於移動台4之下方，移動台4移動時，亦可藉由防塵帶29、30而隨時維持開口部27、28之封閉狀態。

此外，先前技術之附防塵機構的直線致動器1時，除了上述構成以外，尚具備從殼體構件2內吸引空氣之吸氣口。亦即，如第10圖所示，於左右一對之垂直側板22、23，形成有殼體吸氣口22b、23b，介由該等殼體吸氣口22b、23b，可吸引殼體構件2內之空氣。

此外，於形成在垂直側板22、23之上端的水平上板部分22a、23a，裝設有吸氣用導管7、8，於各吸氣用導管7、8與水平上板部分22a、23a之間，形成有沿著開口部27、28延伸之寬度較狹之導管用吸氣口7b、8b。所以，殼體內所發生之粉塵，從形成於左右垂直側板22、23之殼體吸氣口22b、23b被吸引至外部之集塵機等(未圖示)，而從該殼體構件2內被除去。

此外，於無塵室等，一般會形成降流狀態之空氣流。所以，介由配置於開口部27、28之隣接位置之導管用吸氣口7b、8b實施吸氣動作時，從開口部27、28漏出之粉塵會與降流之空氣流一齊被該導管用吸氣口7b、8b吸引。因此，粉塵不會飛散至周圍而被確實地吸引除去。

專利文獻1：日本特開2000-266151號公報

專利文獻2：日本特開2005-188600號公報

然而，上述專利文獻1之附防塵機構的直線致動器，在一般條件下使用時，可以適度地發揮防塵機能，然而，要求高速化時，則有防塵機能降低的問題。

亦即，追求利用直線致動器之導引運動的高速化時，致動器殼體之內壓會因為移動台之高速移動而急速上昇，尤其是，有致動器殼體之兩端側容易漏出粉塵的問題。

有鑑於上述課題，本發明之目的，係在提供例如高速化之致動器時，行程範圍之全域皆可發揮確實防塵機能之附防塵機構的直線致動器。

本發明之附防塵機構的直線致動器，係具備：滾珠螺桿；具有卡合於前述滾珠螺桿之滾珠螺桿螺帽，可隨著前述滾珠螺桿之旋轉運動而於該滾珠螺桿之軸方向自由進行往返直線運動之移動台；以至少覆蓋前述滾珠螺桿而設置之殼體構件；沿著前述移動台之移動軌跡形成於前述殼體構件之開口部；以及以封閉前述開口部而設置於前述殼體構件之內側的防塵帶；且，為了實現維持以前述防塵帶封閉前述開口部而沿著前述移動台之前述開口部移動，於前述移動台，配設以使重疊於前述移動台之位置的前述防塵帶進行迂迴之迂迴手段的附防塵機構的直線致動器，其特徵為，具備覆蓋前述殼體構件之端部側的端板蓋。

本發明之附防塵機構的直線致動器，前述端板蓋於接觸前述殼體構件之部位應具備彈性構件。

此外，本發明之附防塵機構的直線致動器，前述端板蓋應以前述殼體構件之前述防塵帶之配置部位之附近區域寬於其他區域進行覆蓋之形狀而構成。

此外，本發明之附防塵機構的直線致動器，前述端板蓋應具有鍔部而構成，該鍔部配置於與前述殼體構件之前述防塵帶之配置部位相對的位置。

此外，本發明之附防塵機構的直線致動器，係具備：滾珠螺桿；具有卡合於前述滾珠螺桿之滾珠螺桿螺帽，可隨著前述滾珠螺桿之旋轉運動而於該滾珠螺桿之軸方向自由進行往返直線運動之移動台；以至少覆蓋前述滾珠螺桿而設置之殼體構件；沿著前述移動台之移動軌跡形成於前述殼體構件之開口部；以及以封閉前述開口部而配置於前述殼體構件之內側的防塵帶；且，為了實現維持以前述防塵帶封閉前述開口部而沿著前述移動台之前述開口部移動，於前述移動台，配設以使重疊於前述移動台之位置的前述防塵帶進行迂迴之迂迴手段之附防塵機構的直線致動器，其特徵為，於前述殼體構件之端部側，具備密封前述殼體構件之內部粉塵的集塵手段。

此外，本發明之附防塵機構的直線致動器，前述集塵手段應具備：氣密地形成於前述殼體構件之端部的集塵室、用以連通前述集塵室之內部與前述殼體構件之內部的連通孔、以及用以排出前述集塵室內部之粉塵的吸引口。

此外，本發明之附防塵機構的直線致動器，前述連通孔，形成有排氣手段。

此外，本發明之附防塵機構的直線致動器，前述排氣手段為風扇。

此外，本發明之附防塵機構的直線致動器，前述防塵帶，具有用以進行與前述殼體構件之固定的裝設孔，該裝設孔，係至少形成於前述防塵帶之兩端部側之各1對的合計4部位，前述裝設孔皆形成於靠近前述防塵帶之端位置。

此外，本發明之附防塵機構的直線致動器，配設於前述移動台之前述迂迴手段，係以旋轉自如之狀態設置，而且，具有用以支撐並使前述防塵帶跨過之複數滾輪，前述複數之滾輪，至少滾輪表面係由樹脂材料所構成。

依據本發明，可以提供，例如高速化之致動器時，行程範圍之全域皆可發揮確實防塵機能之附防塵機構的直線致動器。

以下，參照圖式，針對以實施本發明之良好實施形態進行說明。此外，以下之實施形態，並非用以限制各申請專利範圍之發明，此外，實施形態中所說明之特徵的全部組合並非發明之解決手段的必要條件。此外，以下之實施形態說明時，與背景技術欄所說明之構件為相同或類似之構件，賦予相同符號並省略其說明。

[第1實施形態]

參照第1圖至第6圖，針對第1實施形態之附防塵機構的直線致動器100進行說明。此處，第1圖係第1實施形態之附防塵機構的直線致動器100之外觀透視圖。此外，第2圖係第1實施形態之附防塵機構的直線致動器100之外觀構成說明圖，圖中之(a)係上面圖，圖中之(b)係正面圖，圖中之(c)係馬達側側面圖，圖中之(d)係馬達側之相反側的側面圖。此外，第3圖係用以說明第1實施形態之附防塵機構的直線致動器100之內部構成的透視圖，圖中之(a)係上面圖，圖中之(b)係正面圖，圖中之(c)係馬達側之側面圖，圖中之(d)係馬達側之相反側的側面圖。此外，第4圖係設置於馬達側之相反側的端板蓋105a圖，第5圖係設置於馬達側之端板蓋105b圖。此外，第4圖及第5圖中，圖中之(a)皆係上面圖，圖中之(b)皆係正面圖，圖中之(c)皆係側面圖。此外，第6圖係第1實施形態之端板蓋105b的作用說明圖。

第1實施形態之附防塵機構的直線致動器100，具有與上述先前技術之附防塵機構的直線致動器1大致相同的構成，然而，為了進一步提高防塵機能，如第1圖至第3圖所示，具備可覆蓋殼體構件2之兩端部側的端板蓋105a、105b。

參照第4圖及第5圖，針對該等端板蓋105a、105b進行詳細說明，端板蓋105a、105b係以分別跨越殼體構件2之端部側、上面側、及側面側之一部分而形成的構件，以覆蓋於殼體構件2之端部上方側附近的方式而構成。亦即，端板蓋105a、105b，係具有於殼體構件2之端部側，以防塵帶29、30之配置部位之附近區域廣泛覆蓋其他區域之形狀而構成之特徵的構件。

以設置於馬達側之相反側之端板蓋105a為例，針對其形狀進行更具體之說明，如第4圖所示，端板蓋105a，係由：覆蓋殼體構件2之端部側之略呈長方形的端部側板106a；覆蓋殼體構件2之上面側之略呈長方形的上面側板107a；連結於該等端部側板106a及上面側板107a，且覆蓋殼體構件2之側面側之略呈直角三角形狀的一對側面側板108a、109a；所構成。側面側板108a、109a，係由形成為略呈直角三角形狀之直角的2邊連結於端部側板106a及上面側板107a而形成，其構成，係以與直角之角相對之斜邊朝向殼體構件2之中央側下方向之方式配置。亦即，於端板蓋105a，具有由上面側板107a與一對側面側板108a、109a所形成之鍔部的構造。

此外，上面側板107a之前端部分，亦即，於與端部側板106a之連結側為相反側之部分，形成有朝下方延伸之垂下板110a。該垂下板110a，係以提高殼體構件2當中之輪廓形狀較為複雜而難以提高密封性之上面側的防塵性而配設的構件。藉由該垂下板110a之存在，於殼體構件2之上面側與端板蓋105a之上面側板107a之間，亦即，於端板蓋105a之鍔部之位置形成有間隙。

該間隙係由被殼體構件2之上面側、端板蓋105a之上面側板107a、端部側板106a、一對之側面側板108a、109a、以及垂下板110a從全方位所圍繞之空間所構成。此外，形成有間隙之位置，亦即，鍔部之設置位置，因為係與防塵帶29、30之配置部位相對之位置，移動台4高速移動時，殼體構件2之內部壓力增高而重疊於粉塵最易漏出之位置。然而，即使假設從殼體構件2之內部漏出粉塵，粉塵亦會滯留於該間隙，而防止粉塵直接漏出至外部，故不會立即造成外部之粉塵環境的惡化。此外，依據發明者之調查．研究結果，確認滯留於該間隙之粉塵的大部分保持滯留於間隙，或者，被再吸引至殼體構件2之內部，故得知間隙之存在可大幅提高防塵性(參照第6圖)。

此外，於端板蓋105a之接觸殼體構件2的部位設置有彈性構件111a，用以提高殼體構件2與端板蓋105a之密貼性。第4圖所示之本實施形態之彈性構件111a，係採用被稱為發泡酯(Moltpren)之特殊聚氨酯發泡體，只要為具有彈力性之素材，亦可以採用橡膠及海綿等公知之所有彈性材料。藉由於端板蓋105a設置有彈性構件111a，而進一步提高附防塵機構的直線致動器100之防塵性能。

此外，第5圖所示之設置於馬達側之端板蓋105b，與設置於上述馬達側之相反側之端板蓋105a具有大致相同之構造，然而，因為必須避開馬達5來進行設置，而於端部側板106b之形狀略呈長方形之板形成切口而為略呈倒U字形之形狀之點有所不同。

[第2實施形態]

上述第1實施形態時，係針對具備使粉塵不會飛散至周圍之覆蓋於殼體構件之端部側之端板蓋之附防塵機構的直線致動器100進行說明。以下說明之第2實施形態時，係針對採用以進一步提高防塵機能為目的之構成之附防塵機構的直線致動器進行說明。

第7圖係第2實施形態之附防塵機構的直線致動器之構成及作用說明圖。如第7圖所示，第2實施形態之附防塵機構的直線致動器200的特徵，係於殼體構件2之端部氣密地形成有集塵室50，集塵室50之內部與殼體構件2之內部，介由排氣手段53而以連通孔51進行連通。此外，其特徵為，於集塵室50形成有吸氣口52，可將集塵室50之內部之粉塵排出至外部。

集塵室50係由箱狀之構件所形成，氣密地裝設於殼體構件2之端部。集塵室50之內部與殼體構件2之內部，藉由連通孔51進行連通，而以殼體構件2之內部之粉塵不會漏出至集塵室50之裝設面的方式進行裝設。

排氣手段53係由風扇所構成，可將殼體構件2之內部之粉塵保持與殼體構件2之內部空氣一起導入並密封於集塵室50。此外，排氣手段53亦可以使用對應殼體構件2之內壓變化而進行開關作動之此回閥等。

於集塵室50，形成由從集塵室50內吸引空氣之吸氣口52。所以，被捕集至集塵室50內之粉塵，可以與空氣一起被從吸氣口52排出至無塵室外而使粉塵不會飛散於周圍。

如上面所述，利用直線致動器追求導引運動之高速化時，移動台之高速移動將導致致動器殼體之內壓急速上昇，尤其是，致動器殼體之兩端側容易漏出粉塵。所以，第2實施形態時，於容易漏出粉塵之致動器殼體之端部，形成有集塵室50。此外，因為從吸氣口52吸引之空氣量保持一定，殼體構件2之內壓急速上昇時，若為以將空氣暫時密封捕集於集塵室50之方式來吸引集塵室50之內部之空氣的構成，則在吸引之空氣量保持一定的情況下，可防止殘留於殼體構件2之內部的粉塵，從致動器殼體之任意間隙漏出至外部。

以上，針對本發明之良好實施形態進行說明，然而，本發明之技術範圍並未受限於上述各實施形態項所記載之範圍。上述各實施形態，可以進行各種變更或改良。

[防塵帶之改良]

例如，先前技術之防塵帶29、30，如第8圖之(a)所示，具有以實現與殼體構件2之固定為目的之裝設孔120，該裝設孔120，為了裝設及加工之容易性，形成於靠近防塵帶29、30之中央側的位置。

然而，於第8圖之(a)所示之位置，形成裝設孔120時，如第8圖之(b)所示，於防塵帶29、30之寬度方向會發生鬆弛，而有殼體構件2與防塵帶29、30間之密封性能降低的危險性。

所以，本發明者，如第9圖所示，進行使裝設孔121分別形成於靠近防塵帶29、30之端位置的改良。尤其是，因為裝設孔121之形成係於防塵帶29、30之兩端部側各為1對而為合計4部位，如本改良所示，使裝設孔121形成於靠近防塵帶29、30之端位置的構成，利用裝設孔121以拉緊防塵帶29、30之四角的方式進行固定，故為非常良好的形態。藉由採用此種構成，殼體構件2與防塵帶29、30間之密封性能，可以比先前技術大幅提升。

[滾輪之改良]

此外，於先前技術之附防塵機構的直線致動器1，採用從移動台4朝水平突出之旋轉自如的滾輪61～66做為設置於移動台4之防塵帶29、30的迂迴手段。其次，先前技術時，該滾輪61～66係採用只由金屬材料形成之金屬滾輪。

然而，由樹脂材料所構成之防塵帶29、30與由金屬材料所構成之滾輪61～66，尤其是，以高速進行重複滑動時，隨著張力上昇及速度上昇，污物明顯附著於防塵帶29、30。

本發明者從該現象發現，尤其是，進行附防塵機構的直線致動器1之高速驅動時，從發生污染之觀點而言，樹脂製之防塵帶29、30與金屬製之滾輪61～66之互適性較差。其次，發明者進行審慎研究的結果，發現以樹脂材料形成滾輪61～66之滾輪表面而利用樹脂彼此進行滑動動作，可以抑制污染之發生。

由以上可以得知，設置於移動台4之當做迂迴手段使用的滾輪61～66，以至少滾輪表面由樹脂材料所構成為佳。具體之實現手段，亦可以為藉由將樹脂蓋壓入由金屬材料所構成之滾輪，而以樹脂材料來構成滾輪表面，亦可以樹脂材料構成滾輪本身。藉由採用此種構成，可以抑制防塵帶29、30及滾輪61～66之附著污染，而得到可抑制粉塵發生之附防塵機構的直線致動器。

由專利申請範圍之記載，亦可以得知，進行如以上之變更或改良的形態，亦包含於本發明之技術範圍內。

1．．．先前技術之附防塵機構的直線致動器

2．．．殼體構件

3．．．滾珠螺桿

4．．．移動台

5．．．驅動馬達

7、8．．．吸氣用導管

7b、8b．．．導管用吸氣口

21．．．水平基板

22、23．．．垂直側板

22a、23a．．．水平上板部分

22b、23b．．．殼體吸氣口

24、25．．．端部塊

26．．．中央區隔板

27、28．．．開口部

29、30．．．防塵帶

31．．．直線導軌

41．．．螺帽塊

42．．．下板

43．．．中板

44．．．上板

50．．．集塵室

51．．．連通孔

52．．．吸氣口

53．．．風扇(排氣手段)

61、62、63、64(65)、66．．．滾輪

100．．．第1實施形態之附防塵機構的直線致動器

105a、105b．．．端板蓋

106a、106b．．．端部側板

107a、107b．．．上面側板

108a、108b、109a、109b．．．側面側板

110a、110b．．．垂下板

111a、111b．．．彈性構件

120．．．(先前技術之)裝設孔

121．．．(本發明之)裝設孔

200．．．第2實施形態之附防塵機構的直線致動器

第1圖係第1實施形態之附防塵機構的直線致動器之外觀透視圖。

第2圖係第1實施形態之附防塵機構的直線致動器之外觀構成說明圖，圖中之(a)係上面圖，圖中之(b)係正面圖，圖中之(c)係馬達側之側面圖，圖中之(d)係馬達側之相反側之側面圖。

第3圖係用以說明第1實施形態之附防塵機構的直線致動器之內部構成的透視圖，圖中之(a)係上面圖，圖中之(b)係正面圖，圖中之(c)係馬達側之側面圖，圖中之(d)係馬達側之相反側的側面圖。

第4圖係設置於馬達側之相反側的端板蓋圖，圖中之(a)係上面圖，圖中之(b)係正面圖，圖中之(c)係側面圖。

第5圖係設置於馬達側之端板蓋圖，圖中之(a)係上面圖，圖中之(b)係正面圖，圖中之(c)係側面圖。

第6圖係第1實施形態之端板蓋之作用說明圖。

第7圖係第2實施形態之附防塵機構的直線致動器之構成及作用說明圖。

第8圖係先前技術之防塵帶的構成圖，圖中之(a)係配設於防塵帶之裝設孔的位置說明圖，圖中之(b)係防塵帶之裝設狀態的剖面圖。

第9圖係本實施形態之改良形態之防塵帶的構成圖，圖中之(a)係配設於防塵帶之裝設孔的位置說明圖，圖中之(b)係防塵帶之裝設狀態的剖面圖。

第10圖係先前技術之附防塵機構的直線致動器之構成說明圖，圖中之(a)係附防塵機構的直線致動器之上面圖，圖中之(b)係附防塵機構的直線致動器之正面圖，圖中之(c)係附防塵機構的直線致動器之橫剖面圖。

2．．．殼體構件

4．．．移動台

5．．．驅動馬達

22a、23a．．．水平上板部分

26．．．中央區隔板

27、28．．．開口部

29、30．．．防塵帶

44．．．上板

100．．．第1實施形態之附防塵機構的直線致動器

105a、105b．．．端板蓋

Claims (9)

1. 一種附防塵機構的直線致動器，係具備：滾珠螺桿；移動台，具有卡合於前述滾珠螺桿之滾珠螺桿螺帽，可隨著前述滾珠螺桿之旋轉運動而於該滾珠螺桿之軸方向自由進行往返直線運動；殼體構件，以至少覆蓋前述滾珠螺桿而設置；開口部，沿著前述移動台之移動軌跡形成於前述殼體構件；以及防塵帶，以封閉前述開口部而配置於前述殼體構件之內側；且為了實現維持以前述防塵帶封閉前述開口部而沿著前述移動台之前述開口部移動，於前述移動台，配設以使重疊於前述移動台之位置的前述防塵帶進行迂迴之迂迴手段的附防塵機構的直線致動器，其特徵為：具備覆蓋前述殼體構件之端部側的端板蓋。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之附防塵機構的直線致動器，其中前述端板蓋於接觸前述殼體構件之部位具備彈性構件。
3. 如申請專利範圍第1或2項所記載之附防塵機構的直線致動器，其中前述端板蓋係以前述殼體構件之前述防塵帶之配置部位之附近區域寬於其他區域進行覆蓋之形狀而構成。
4. 如申請專利範圍第3項所記載之附防塵機構的直線致動器，其中前述端板蓋具有鍔部而構成，該鍔部配置於與前述殼體構件之前述防塵帶之配置部位相對的位置。
5. 一種附防塵機構的直線致動器，係具備：滾珠螺桿；移動台，具有卡合於前述滾珠螺桿之滾珠螺桿螺帽，可隨著前述滾珠螺桿之旋轉運動而於該滾珠螺桿之軸方向自由進行往返直線運動；殼體構件，以至少覆蓋前述滾珠螺桿而設置；開口部，沿著前述移動台之移動軌跡形成於前述殼體構件；以及防塵帶，以封閉前述開口部而配置於前述殼體構件之內側；且為了實現維持以前述防塵帶封閉前述開口部而沿著前述移動台之前述開口部移動，於前述移動台，配設以使重疊於前述移動台之位置的前述防塵帶進行迂迴之迂迴手段的附防塵機構的直線致動器，其特徵為：於前述殼體構件之端部側，具備密封前述殼體構件之內部粉塵之集塵手段，前述集塵手段具備：氣密地形成於前述殼體構件之端部的集塵室、用以連通前述集塵室之內部與前述殼體構件之內部的連通孔、以及用以排出前述集塵室內部之粉塵的吸引口。
6. 如申請專利範圍第5項所記載之附防塵機構的直線致動器，其中前述連通孔形成著排氣手段。
7. 如申請專利範圍第6項所記載之附防塵機構的直線致動器，其中前述排氣手段係風扇。
8. 如申請專利範圍第1或2項所記載之附防塵機構的直線致動器，其中前述防塵帶，具有用以進行與前述殼體構件之固定的裝設孔，該裝設孔，係至少形成於前述防塵帶之兩端部側之各1對的合計4部位，而且，前述裝設孔皆形成於靠近前述防塵帶之端位置。
9. 如申請專利範圍第1或2項所記載之附防塵機構的直線致動器，其中配設於前述移動台之前述迂迴手段，係以旋轉自如之狀態設置，而且，具有用以支撐並使前述防塵帶跨過之複數滾輪，前述複數之滾輪，至少滾輪表面係由樹脂材料所構成。