TWI411568B - 物品處理設備及其控制方法 - Google Patents

Description

物品處理設備及其控制方法 發明領域

本發明係有關於物品處理設備，該物品處理設備設有可沿著經由對應於物品處理裝置配置之物品移載處之移動路徑自由移動之物品搬送體及可自由升降地設於前述物品搬送體且在保持物品之保持狀態與解除物品之保持的解除狀態之間自由切換之物品保持部，且運轉控制機構構造成在相對於前述物品處理裝置之物品搬出搬入部搬出或搬入物品時，控制前述物品搬送體之行走作動，使其停在前述物品移載處，且在將物品傳送至前述物品搬出搬入部或從前述物品搬出搬入部接收物品時，控制前述物品保持部之升降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動。

發明背景

上述物品處理設備之習知例係如下所述地構成，即，用以暫置物品之物品載置體為了對停止於物品移載處之物品搬送體進行物品之授受(傳送與接收)，係設於移動路徑之其中一側附近，且，於物品搬送體設有用以使升降體在移動路徑之側邊附近橫向移動之橫向移動操作機構，並且，物品搬送體在停在前述物品移載處之狀態下，可從物品載置體接收物品以及將物品傳送至物品載置體，又，前述運轉控制機構在當前述物品搬出搬入部中有搬出用物品存在 時要將所保持之搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部時，可在將所保持之搬入用物品暫置於物品載置體後，將位於前述物品搬出搬入部之搬出用物品搬送至目標搬送處，並控制前述橫向移動操作機構之橫向移動操作作動、前述物品保持部之升降作動、前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動(例如參照特開2006-54389號)。

在上述習知物品處理設備中，物品搬送體在將位於前述物品搬出搬入部之搬出用物品搬送至目標搬送處後，必須再回到已被暫置之搬入用之物品搬送體所配置之處。

又，上述文獻中，由於在物品搬出搬入部附近設有多數暫置用物品載置體，故在暫置搬入用物品後，可將位於物品搬出搬入部之搬出用物品暫置於與已暫置搬入用物品之物品載置體不同之物品載置體，然後將暫置之搬入用物品傳送至物品搬出搬入部，並控制物品搬送體之作動。

如上所述，藉由在物品移載處附近設置多數物品暫置用物品載置體，則即使物品搬出搬入部中有搬出用物品存在，亦可藉由保持有搬入用物品之物品搬送體將搬入用物品傳送至物品搬出搬入部，以達成多樣化之物品搬送體所進行之物品處理形態。

在上述習知物品處理設備中，當物品搬出搬入部附近設有多數暫置用物品載置體時，從上述文獻中所參照之專利第3067656號之第9圖的記載可知，在物品搬送體之移動路徑方向上，在物品處理裝置之物品搬出搬入部前後位置 配置有物品載置體。

發明概要

然而，由於上述習知物品處理設備在移動路徑之其中一側附近的一處或移動路徑方向上前後不同的多處設置暫置用物品載置體，因此會有下列問題。

當在移動路徑之其中一側附近的一處設置暫置用物品載置體時，如上所述，為了將已暫置之搬入用物品傳送至物品搬出搬入部，必須使未保持物品之物品搬送體行走至物品移載處。此時，會變成已暫置搬入用物品之物品搬送體要在結束其他處理後再來因應，或者由其他物品搬送體來因應的情況。不管哪種情況，為了將已被暫置之搬入用物品傳送至物品搬出搬入部，就會產生與該物品處理裝置相關之新的物品搬送指令，如此，在有限的物品搬送體中，可分給與其他物品處理裝置相關之物品搬送指令的物品搬送體的數量就會減少，因此，由多數物品處理裝置並列地進行處理之能力就會下降，且整體之搬送效率會降低。

又，當在移動路徑之其中一側附近，在移動路徑方向上前後不同的多處設置暫置用物品載置體時，假設要將搬入用物品暫置於移動路徑方向上位於上游之物品載置體，則為了將已暫置之搬入用物品傳送至物品搬出搬入部，運轉控制機構會如下地控制物品搬送體之作動。

即，在停在相對於上游之物品載置體之停止位置之狀 態下，在將搬入用物品暫置於該物品載置體後，會前進移動至物品移載處，且接收位於物品搬出搬入部之搬出用物品，然後，會前進行走至相對於下游之物品載置體之停止位置，且在停在該停止位置之狀態下，將搬出用物品暫置於下游之物品載置體。然後，運轉控制機構會控制物品搬送體之作動，藉此後退行走或再度環繞行走至相對於暫置有搬入用物品之上游之物品載置體的停止位置，且在停在該停止位置之狀態下，取出暫置於上游之物品載置體之搬入用物品，然後，前進行走至物品移載處，並將搬入用物品傳送至物品搬出搬入部。

如此一來，當在移動路徑之其中一側附近，在移動路徑方向上前後不同的多處設置暫置用物品載置體時，由於在進行搬入用物品之暫置、搬出用物品之暫置、搬入用物品之取出、搬入用物品之傳送等各種處理時會伴隨著物品搬送體之行走作動，故最終將搬入用物品傳送至物品搬出搬入部需要很長的時間，因而降低搬送效率。

又，習知物品處理設備中，當欲將物品暫置於物品載置體時，為了使物品保持部進行升降作動，以位於配置於移動路徑之側邊附近之物品載置體上，會藉由橫向移動操作機構來水平移動操作物品保持部，因此，為了避免物品保持部之水平移動操作結束後所產生之搖動的影響，在使暫置作業用升降位置中之物品保持部的升降作動開始之前需要一定的待機時間，因此，物品相對於物品搬出搬入部之搬出搬入所需的時間會變長。

本發明有鑑於上述實際情況，其目的在於提供可藉由多樣的處理態樣來處理物品相對於物品搬出搬入部之搬出搬入且可迅速處理之物品處理設備。

本發明之物品處理設備設有：物品搬送體，係可沿著經由對應於物品處理裝置配置之物品移載處之移動路徑自由移動者；及物品保持部，係設於前述物品搬送體且可自由升降，並可自由切換至保持物品之保持狀態與解除物品之保持的解除狀態者，且運轉控制機構構造成在相對於前述物品處理裝置之物品搬出搬入部搬出或搬入物品時，控制前述物品搬送體之行走作動，使其停在前述物品移載處，並且，在將物品傳送至前述物品搬出搬入部，或從前述物品搬出搬入部接收物品時，則控制前述物品保持部之升降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動。

其第1特徵構造為前述物品處理設備設有用以暫置物品之一對物品載置體，前述一對物品載置體分別構成為可在突出於前述移動路徑之突出位置與退回至遠離前述移動路徑之退回位置之間位移，以與停在前述物品移載處之前述物品搬送體進行物品之傳送與接收。

前述物品搬送體在停在前述物品移載處之狀態下，相對於位於前述突出位置之前述物品載置體進行物品之傳送與接收。

前述運轉控制機構係構造成控制前述物品保持部之升 降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動、以及一對前述物品載置體之進退作動，以在將前述物品保持部所保持之搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部時，若前述物品搬出搬入部中有搬出用物品存在，則在將前述搬入用物品暫置於一對前述物品載置體的其中一個後，將位於前述物品搬出搬入部之搬出用物品暫置於一對前述物品載置體的另一個，接著，將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部。

與前述構造相對應之控制方法中包括下列步驟：在將前述物品保持部所保持之搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部時，當前述物品搬出搬入部中有搬出用物品存在時，係在將前述搬入用物品暫置於一對前述物品載置體的其中一個後，將位於前述物品搬出搬入部之搬出用物品暫置於一對前述物品載置體的另一個；及將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部。

根據本發明之第1特徵構造或與其對應之控制方法，控制機構在物品搬出搬入部中有搬出用物品存在之狀態下，要將所保持之搬入用物品傳送至物品搬出搬入部時，在物品搬送體停在物品移載處之狀態下，控制一對物品載置體之進退作動，使一對物品載置體的其中一個位於突出位置，且控制物品保持部之升降作動及物品保持部之保持狀態與解除狀態之切換作動，使所保持之搬入用物品暫置於位於突出位置之一對物品載置體的其中一個。

然後，控制一對物品載置體之進退作動，使暫置有搬 入用物品之物品載置體返回退回位置，同時控制物品保持部之升降作動及物品保持部之保持狀態與解除狀態之切換作動，以接收位於物品搬出搬入部之搬出用物品。

然後，控制一對物品載置體之進退作動，使一對物品載置體的另一個位於突出位置，且控制物品保持部之升降作動及物品保持部之前述保持狀態與解除狀態之切換作動，使所保持之搬出用物品暫置於位於突出位置之一對物品載置體的另一個。

然後，控制一對物品載置體之進退作動，以在使暫置有搬出用物品之物品載置體返回退回位置後，為了要取出已暫置之搬入用物品，使暫置有搬入用物品之物品載置體位於突出位置，且控制物品保持部之升降作動及物品保持部之保持狀態與解除狀態之切換作動，以保持載置於位於突出位置之一對物品載置體的其中一個之搬入用物品。

在取出搬入用物品後，控制一對物品載置體之進退作動，使暫置該搬入用物品之物品載置體返回退回位置，同時控制物品保持部之升降作動及物品保持部之保持狀態與解除狀態之切換作動，以將搬入用物品傳送至物品搬出搬入部。

如此一來，藉由使一對物品載置體的其中一個突出於移動路徑而位於突出位置，可在物品搬送體停在物品移載處之狀態下，相對於突出位置之物品載置體進行物品之傳送及接收。即，搬入用物品之暫置動作由於在物品搬送體位於物品移載處之狀態下進行，故控制機構可在不使物品 搬送體行走而使其停在原來的停止位置之狀態下，使其接收位於物品搬出搬入部之搬出用物品。

因此，控制機構在物品搬出搬入部中有搬出用物品存在之狀態下要將所保持之搬入用物品傳送至物品搬出搬入部時，可在物品搬送體停在物品移載處之狀態下，完成將所保持之搬入用物品暫置於一對物品載置體之其中一個的暫置動作。

並且，若是物品搬送體位於物品移載處之狀態，則控制機構可藉由使一對物品載置體中另一個物品載置體突出於突出位置，使物品搬送體所保持之物品暫置於一對前述物品載置體的另一個，如此，控制機構在將搬入用物品暫置於一對物品載置體的其中一個後，可在不使物品搬送體行走之狀況下，將位於物品搬出搬入部之搬出用物品暫置於一對物品載置體的另一個。

主要是若根據本發明之第1特徵構造或與其對應之控制方法，則在物品搬出搬入部中有搬出用物品存在之狀態下要將所保持之搬入用物品傳送至物品搬出搬入部時，只要使物品搬送體行走至物品移載處，以將搬入用物品傳送至物品搬出搬入部，之後即可在不使物品搬送體行走之狀況下，進行將所保持之搬入用物品暫置於一對物品載置體之其中一個、將位於物品搬出搬入部之搬入用物品暫置於一對物品載置體之另一個，以及將所暫置之搬入用物品傳送至物品搬出搬入部等各作業，而可用不會產生物品搬送體之行走作動的部份迅速地處理物品對物品搬出搬入部之 搬出搬入。

又，由於物品保持部設於物品搬送體且可自由升降，故當物品搬送體停在物品移載處時，物品保持部之升降路徑是固定的。並且，在物品搬送體停在物品移載處後，可在不使物品搬送體行走作動之情況下，進行物品對物品載置體之暫置或物品對物品搬出搬入部之傳送，故可維持物品搬送體繼續停止之狀態。因此，在進行物品對物品載置體之暫置或物品對物品搬出搬入部之傳送時可使物品保持部穩定地升降作動。

於此，當欲將物品暫置於物品載置體時，希望可高精度地載置於物品載置體之預定位置。但，若如過去在暫置作業中伴隨有物品保持部之橫向移動，則會有物品保持部相對於物品載置體之位置搖動而不穩定之虞，為了高精度地將物品載置於物品載置體之預定位置，必須採取例如待機至搖動停止為止等針對物品保持部之橫向移動所造成之搖動的對策，而無法迅速地進行物品之暫置。在藉由物品保持部保持暫置於物品載置體之物品時也同樣必須採取針對物品保持部相對於物品載置體之位置的搖動之對策，而無法由物品保持部迅速地保持物品。

相對於此，根據本發明之第1特徵構造或與其對應之控制方法，當將物品暫置於物品載置體時，由於物品保持部僅進行昇降作動，即可將物品載置於位於突出位置之物品載置體，故可固定使物品保持部昇降作動時之物品保持部相對於位於突出位置之物品載置體之位置。因此，即使不 採取在物品保持部相對於物品載置體之位置固定之前待機等對策，亦可高精度地將物品載置於物品載置體之預定位置，且可迅速且確實地暫置物品。又，在藉由物品保持部保持暫置於物品載置體之物品時也同樣即使不採取在物品保持部相對於物品載置體之位置固定之前待機等對策，亦可藉由物品保持部迅速且確實地保持物品。

如此一來，根據本發明之第1特徵構造或與其對應之控制方法，可得到可由多樣的處理態樣來處理物品對物品搬出搬入部之搬出搬入，且可迅速地處理之物品處理設備。

本發明之第2特徵構造係前述運轉控制機構構造成在將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部後，控制前述物品保持部之升降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動、前述物品載置體之進退作動以及前述物品搬送體之行走作動，以將所暫置之前述搬出用物品搬送至目標搬送處。

在對應該特徵構造之控制方法中，在將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部之步驟後，包括將所暫置之前述搬出用物品搬送至目標搬送處之步驟。

根據本發明之第2特徵構造或與其對應之控制方法，由於將搬入用物品傳送至物品搬出搬入部而成為未保持物品之狀態之物品搬送體將所暫置之搬出用物品搬送至目標搬送處，故當欲將所暫置之搬出用物品搬送至目標搬送處時，不必使未保持物品之其他物品搬送體行走至物品移載處，而可藉由位於該物品移載處之物品搬送體將物品搬送 至目標搬送處。

因此，可迅速地將暫置之搬出用物品搬送至目標搬送處，同時可極力防止物品搬送體在未保持物品之狀態下行走作動，並可提高運轉效率。

如此一來，根據本發明之第2特徵構造或與其對應之控制方法，可得到可由多樣的處理態樣來處理物品對物品搬出搬入部之搬出搬入且可迅速地處理，並可提高運轉效率之物品處理設備。

在本發明之第3特徵構造及與其對應之控制方法中，於前述物品搬送體設有進退操作機構，該進退操作機構在前述物品載置體停在前述物品移載處之狀態下，將該物品載置體進退操作至前述突出位置與前述退回位置，又，前述運轉控制機構構造成可控制前述進退操作機構之作動，以進行前述物品載置體之進退作動。

根據本發明之第3特徵構造，控制機構藉由控制設於物品搬送體之進退操作機構之作動，可在突出位置與退回位置之間進退操作物品載置體，因此，不必設置用以將進退操作用電力供給至各物品載置體之供電機構或用以下達控制指令之指令傳達機構即可。因此，可簡化物品處理設備之構造。

如此一來，根據本發明之第3特徵構造，可得到可由多樣的處理態樣來處理物品對物品搬出搬入部之搬出搬入且可迅速地處理，並可簡化物品處理設備之構造之物品處理設備。

在本發明之第4特徵構造或對應之控制方法中，一對前述物品載置體的其中一個設於前述移動路徑左右側的其中一側附近，而一對前述物品載置體的另一個則設於前述移動路徑左右側的另一側附近。

根據本發明之第4特徵構造或對應之控制方法，由於一對物品載置體設於移動路徑側邊附近，故可使一對物品載置體兩者的高度相同。藉由使物品載置體兩者的高度相同，在將物品暫置於其中一物品載置體時，以及將物品暫置於另一物品載置體時，可使物品保持部之升降位置相同。又，同樣地，在欲將所暫置之物品保持於其中一物品載置體時，以及欲將所暫置之物品保持於另一物品載置體時，可使物品保持部之升降位置相同。

因此，藉由將物品載置體設於移動路徑的兩側附近，可使相對於各物品載置體之升降位置共通，以簡化物品保持部之升降控制內容。

如此一來，根據本發明之第4特徵構造或對應之控制方法，可得到可由多樣的處理態樣來處理物品對物品搬出搬入部之搬出搬入且可迅速地處理，並可簡化物品保持部之升降控制內容之物品處理設備。

如本發明之第5特徵構造，前述移動路徑宜由高架的軌道形成，且前述物品搬送體係構造成可沿著前述軌道移動之移動車，並在前述移動車設有具柔軟構件之升降操作機構，又，前述物品保持部構造成可藉由前述升降操作機構，透過前述柔軟構件在上升位置與下降位置之間自由升降。

如本發明之第6特徵構造，前述移動車宜在其前進方向上有前縱框體與後縱框體，又，前述上升位置為前述物品保持部配置於前述前與後框體之間的位置，且前述下降位置為適合將物品載置於配置在地面之前述物品搬出搬入部的位置。

如本發明之第7特徵構造，前述物品載置體宜配置在與位於前述上升位置之前述物品保持部大致相同的高度，且藉由前述物品載置體於前述突出位置實質地水平移動，使前述物品載置體可從前述物品保持部接收物品。

圖式簡單說明

第1圖係物品處理設備之平面圖。

第2圖係移動車與處理站之側視圖。

第3圖係移動車之側視圖。

第4圖係移動車之縱截正視圖。

第5圖係物品載置體之透視圖。

第6圖係退回位置之物品載置體之透視圖。

第7圖係突出位置之物品載置體之透視圖。

第8圖係退回位置之物品載置體之平面圖。

第9圖係突出位置之物品載置體之平面圖。

第10(A)圖~第10(C)圖係顯示各指令之物品之移動路徑的例子之模式圖。

第11(A)圖~第11(C)圖係顯示同時下達取出搬入指令及搬出保管指令時物品之移動路徑的例子之模式圖。

第12(D)圖係顯示同時下達取出搬入指令及搬出保管 指令時物品之移動路徑的例子之模式圖。

第13圖係顯示同時下達取出搬入指令及搬出保管指令時臺車用控制部之控制動作的流程圖。

較佳實施例之詳細說明

根據圖式說明本發明之物品處理設備之實施形態。

該物品處理設備如第1圖及第2圖所示，以經由相對於多數物品處理裝置1之物品移載處之狀態設置作為移動路徑之引導軌道2，且設有可沿著該引導軌道2自由移動之作為物品搬送體之移動車3。然後，將收納有半導體基板之容器5作為物品，移動車3在多數物品處理設備1之間搬送容器5。

在各物品處理裝置1中，對半導體基板之製造中途之半製品等進行預定處理。多數物品處理裝置1依半導體基板之製造步驟的順序，依第1處理裝置1a、第2處理裝置1b、第3處理裝置1c的順序沿著引導軌道2設置，且各物品處理裝置1所具有之各處理站7(第1處理站7a、第2處理站7b、第3處理站7c)位於引導軌道2正下方。

前述移動車3具有可自由升降且以懸吊狀態保持容器5之物品保持部4(以下僅稱作保持部4)。前述保持部4在移動車3已停止之狀態下，藉由捲起或放出金屬線6，可自由地升降於接近移動車3之上升位置與在與設於移動車3下方之處理站7之間進行物品移載之下降位置。附帶一提，第2圖在右側顯示保持部4從上升位置下降至下降位置的情況，且在左側顯示使保持部4從下降位置上升至上升位置的情況。

前述處理站7由載置支持容器5之載置台構成。並且，處理站7係從移動車3接收藉由物品處理裝置1進行預定處理之容器5，或將已藉由物品處理裝置1進行預定處理之容器5傳遞至移動車3，即，相當於本發明之物品搬出搬入部。

然後，移動車3在使保持部4位於上升位置之狀態下沿著引導軌道2移動，且在相對於多數處理站7之物品移載處中，在停在相對於移載對象之處理站7之物品移載處之狀態下，使保持部4在上升位置與下降位置之間升降，藉此可與處理站7之間傳遞或接收容器5。

前述引導軌道2如第2圖~第4圖所示，藉由引導軌道用托架8以固定狀態設置於頂部。前述移動車3藉由前後之連結桿10、11連結位於引導軌道2內側空間部之上方車體9與位於引導軌道2下方之下方車體12。

前述上方車體9以接近且與設於引導軌道2內側空間部之磁鐵13相向之狀態具有一次線圈14。並且，上方車體9為藉由磁鐵13與一次線圈14所構成之線性馬達得到推進力之線性馬達式，且移動車3可藉由該推進力沿著引導軌道2移動。

在前述引導軌道2之內側空間部形成有與上方車體9所具有之行走輪15相向之行走引導面16、與上方車體9具有之止震輪17相向之止震引導面18。

又，在引導軌道2設有供電線19，且在上方車體9設有受電線圈20，藉由交流電流之通電，在供電線19產生磁場，且藉由該磁場，在受電線圈20產生移動車3側之所需電力， 並在無接觸狀態下進行供電。

該實施形態舉出藉由線性馬達得到推進力來驅動之線性馬達式作為驅動上方車體9的方式，但例如亦可使用設置用以旋轉驅動行走輪15之電動馬達，且藉由該電動馬達來旋轉驅動行走輪15，以驅動上方車體9的方式。

前述下方車體12由朝移動車3之前後方向延伸之前後框體21、從前後框體21之前端處及後端處延伸至下方之前後一對縱框體22所構成。並且，下方車體12從側面看形成為下方開放之コ字形，且於前後方向之中央部配置有保持部4。

前述保持部4設於可相對於上方車體9自由升降之升降體23，該升降體23可藉由設於前述框體21之升降操作機構24自由升降操作。

前述升降操作機構24係將4條金屬線6捲在藉由凸輪驅動用馬達25可自由旋動之旋轉凸輪26所構成。並且，升降操作機構24係構成為藉由使旋轉凸輪26正反旋轉且同時捲入及捲出4條金屬線6，以將升降體23維持成大致水平姿勢，並一面升降操作。亦可使用帶子取代金屬線6。將金屬線或帶子稱作柔軟構件。

在前述保持部4設有用以保持容器5之凸緣5a之一對保持具4a。並且，構成為可自由地切換於一對保持具4a藉由保持動作用馬達27之正反旋轉而朝互相接近之方向搖動以保持凸緣5a之保持狀態(第3圖中以實線表示之狀態)與一對保持具4a朝互相遠離之方向搖動以解除保持之解除狀態 (第3圖中以虛線表示之狀態)。

為了暫時載置要搬送至前述處理站7之容器5，在引導軌道2側邊附近如第1圖所示，相對於引導軌道2以在左右兩側成對之狀態設有物品載置體28。並且，物品載置體28以沿著引導軌道2並排之狀態設有多對。

該等物品載置體28中，相對於該等物品載置體28之物品移載處與相對於處理站7之物品移載處一致之一對物品載置體28在將容器5搬入處理站7及從處理站7搬出時，是為用以暫時性地暫置搬入該處理站7之容器5及從該處理站7搬出之容器5之暫置用物品載置體28(以下稱作暫置用載置體28T)，且相當於本發明之物品暫置用之一對物品載置體。

由於相對於該等一對暫置用載置體28T之物品移載處與相對於處理站7之物品移載處一致，故在移動車3停在相對於處理站7之物品移載處之狀態下，可將容器5分別移載至一對暫置用載置體28T。

又，物品載置體28中，相對於該物品載置體28之物品移載處與相對於處理站7之物品移載處不同之物品載置體28為在上游步驟之物品處理裝置1(例如第1處理裝置1a)中結束處理，且在將從該處理站7(例如第1處理站7a)搬出之容器5搬入移動車3之移動方向中位於下游之下一步驟的物品處理裝置1(例如第2處理裝置1b)之處理站7(例如第2處理站7b)時，會暫時性地保管該容器5之保管用物品載置體28(以下稱作保管用載置體28B)。

如第5圖~第9圖所示，各物品載置體28設成可自由進出 於停在相對於該等物品載置體28之物品移載處的移動車3要從保持部4接收容器5時突出至引導軌道2側之突出位置(參照第7圖及第9圖)與要將容器5傳送至保持部4而退回至遠離引導軌道2之退回位置(參照第6圖及第8圖)。所謂物品載置體28之突出位置意指以下說明之物品載置體28之移動框體30位於突出位置之狀態，而物品載置體28之退回位置則意指該移動框體30位於退回位置之狀態。

以下，將停在物品移載處之移動車3的前後方向簡稱為「前後方向」，且將相對於停在物品移載處之移動車3的遠近方向簡稱為「遠近方向」來說明。

前述物品移載處係分別對應於多數物品移載體28來定的。並且，在前後方向中，物品載置體28的寬度形成為較移動車3之前後一對縱框體22的間隔小。因此，在移動車3停在物品移載處之狀態下，可將物品載置體28插入移動車3之前後一對縱框體22之間或從其拔出。

當物品載置體28位於退回位置時，為了本身及本身所載置支持之容器5不要干擾到移動車3的移動或保持部4的升降，前述退回位置會定在遠近方向上偏離引導軌道2之存在處之引導軌道2的側邊附近。

當物品載置體28位於突出位置時，為了在停在物品移載處之移動車3中可在與位於接近上升位置之位置的保持部4之間收受容器5，前述突出位置會定在停在物品移載處之移動車3中與保持部4在上下方向重複的位置。

前述物品載置體28係如第5圖所示，由對應退回位置設 於頂部之固定框體29及支持成可相對於該固定框體29在遠進方向上自由移動之移動框體30所構成。

前述固定框體29由在遠近方向上形成為長條狀之一對側面框部29a所構成。一對側面框部29a藉由在遠近方向上隔著間隔配設之框體用第1連結體31a與框體用第2連結體31b連結。框體用第1連結體31a係連結遠近方向中接近停在物品移載處之移動車3側，框體用第2連結體31b則連結遠近方向中遠離停在物品移載處之移動車3側。

並且，固定框體29藉由安裝工具將分別從一對側面框部29a向上延設之多數懸吊用延設體32之上端部固定在兩條懸吊用支持體33而懸吊支持。前述懸吊用支持體33係藉由來自頂部之懸吊螺栓34來懸吊支持，且與引導軌道2平行而沿著引導軌道2之長向配設。

將前述固定框體29懸吊支持於頂部之構造並不限於上述構造，可適當作變更。例如，在固定框體29之上端部設置螺栓安裝用溝部，且將懸吊支持體的下端部螺栓固定於該螺栓安裝用溝部，並將懸吊支持體之上端部螺栓固定於頂部，藉此可將固定框體29懸吊支持於頂部。

如此一來，藉由將多數物品載置體28之各固定框體29個別地懸吊支持於頂部，可一次一個地安裝物品載置體28或將其取出，而可輕易地進行物品載置體28之增設或取出。

如第6圖及第7圖所示，前述移動框體30具有形成為朝遠近方向延伸之形狀的左右一對支持臂部體35及在遠近方向與該等左右一對支持臂部體35隔著間隔且以連接該等左 右一對支持臂部體35之狀態設置之多數連接框體36。

並且，移動框體30藉由多數連接框體36載置支持容器5之底部，且多數連接框體36分擔容器5之底部來載置支持。

前述連接框體36之截面形狀形成為中央部朝上方突出之凸狀，且藉由凸狀平的部份來載置支持容器5的底部。並且，連接框體36在載置於支持臂部體35中朝內側彎曲的部份之狀態下，兩端部藉由螺栓螺帽固定於支持臂部體35。

前述連接框體36由位於接近停在物品移載處之移動車3之細長狀的第1連接框體36a及位於遠離停在物品移載處之移動車3之細長狀的第2連接框體36b構成。並且，在第1連接框體36a設有朝接近停在物品移載處之移動車3側延伸且直立於上方之直立壁部37。該直立壁部37可限制容器5接近停在物品移載處之移動車3的移動。

前述左右一對支持臂部體35不僅連接框體36，亦藉由多數連結用框體45連接。前述連結用框體45由左右一對支持臂部體35下端部35a中用以連接遠離停在物品移載處之移動車3側之端部之第1連結用框體45a、用以連接左右一對支持臂部體35中間部35b之第2連結用框體45b、用以連接左右一對支持臂部體35上端部35c之第3連結用框體45c構成。

設有將前述物品載置體28支持成可自由地位置變更於退回位置(參照第6圖及第8圖)與突出位置(參照第7圖及第9圖)之滑動引導機構46。該滑動引導機構46使移動框體30相對於固定框體29朝遠近方向自由滑動移動。

前述滑動引導機構46由形成於固定框體29之軌道部47 與設於支持臂部體35之多數引導滾輪48構成。前述軌道部47分別設於一對側面框部29a。前述引導滾輪48設於支持臂部體35之上端部35c。並且，滑動引導機構46藉由軌道部47引導支持引導滾輪48，藉此將移動框體30支持成可相對於固定框體29自由滑動引導移動於退回位置與突出位置。

又，在固定框體29設有支持成可自由移動於遠近方向中接近停在物品移載處之移動車3之接近位置(參照第6圖及第8圖)與遠離停在物品移載處之移動車3之遠離位置(參照第7圖及第9圖)之被操作體49。並且，被操作體49與物品載置體28連動，以在接近位置將物品載置體28操作至退回位置，且在遠離位置將物品載置體28操作至突出位置。

前述被操作體49與長向之中央部設於其中一側面框部29a上部之板狀基台50樞軸連結，且可繞其連結處之第1搖動軸心P1自由搖動。並且，被操作體49在位於接近位置之狀態下，上下有段差而一體地形成從第1搖動軸心P1延伸至接近移動車3之第1被操作部分49a與從第1搖動軸心P1延伸至遠離移動車3之第2被操作部分49b。

前述被操作體49藉由繞第1搖動軸心P1的搖動可自由地切換於接近位置與遠離位置，且在接近位置(參照第6圖及第8圖)中，第1被操作部分49a係設成較第1搖動軸心P1更接近停在物品移載處之移動車3的姿勢。並且，在被操作體49位於接近位置之狀態下，在被操作體49之第1被操作部分49a設有沿著與遠近方向交叉之方向延伸至第1搖動軸心P1之溝部51。在該溝部51形成沿著遠近方向使接近停在物品 移載處之移動車3側之前端開口的形狀。

並且，設有用以使被操作體49的動作與物品載置體28的動作連動之連動機構52，藉此，當被操作體49位於接近位置時，則如第6圖及第8圖所示，會使物品載置體28位於退回位置，且當被操作體49位於遠離位置時，則如第7圖及第9圖所示，會使物品載置體28位於突出位置。

前述連動機構52由可繞上下軸心自由搖動之第1連結臂部53、第2連結臂部54及第3連結臂部55三個連結臂部所構成。第1連結臂部53之其中一端部係樞軸連結於被操作體49之第2被操作部分49b的其中一端部，且另一端部則樞軸連結於第2連結臂部54之長向的中途部份。第2連結臂部54之其中一端部係樞軸連結於基台50，且另一端部則樞軸連結於第3連結臂部55之其中一端部。第3連結臂部55之另一端部係樞軸連結於直立設於第3連結用框體45c之連動用被操作體56。

在前述移動車3設有用以使物品載置體28在退回位置與突出位置之間進退之進退操作機構S。前述進退操作機構S包含固定於移動車3且遠近方向上呈長條狀之基體57、可相對於該基體57在遠近方向上自由移動之長條狀的操作體58、設於該操作體58之前端部下面之卡合滾輪59。並且，進退操作機構S係進行藉由省略圖式之致動器的作動使操作體58相對於基體57進退，且使卡合滾輪59朝遠近方向移動之突出作動及退回作動。

附帶一提，在移動車3設有位於移動車3之移動方向右 側且用以進退操作物品載置體28之進退操作機構S及位於移動車3之移動方向左側且用以進退操作物品載置體28之進退操作機構S。

前述卡合滾輪59形成為前後方向中與被操作體49之溝部51的寬度相等或較該寬度小之直徑，且卡合滾輪59藉由在遠近方向的移動可自由地卡合與脫離被操作體49之溝部51。

並且，進退操作機構S構成為推拉式，即，藉由突出作動使卡合滾輪59卡合於溝部51且將被操作體49從接近位置推至遠離位置，且藉由退回作動使卡合滾輪59卡合於溝部51且將被操作體49從遠離位置拉至接近位置，然後使卡合滾輪59脫離溝部51。

當前述進退操作機構S藉由突出作動利用卡合滾輪59將被操作體49從接近位置操作至遠離位置時，藉由被操作體49位於遠離位置，可透過連動機構52將物品載置體28操作至突出位置，且將物品載置體28從退回位置進退操作至突出位置。

又，當進退操作機構S藉由進退作動利用卡合滾輪59將被操作體49從遠離位置操作至接近位置時，藉由被操作體49位於接近位置，可透過連動機構52將物品載置體28操作至退回位置，且將物品載置體28從突出位置進退操作至退回位置。

前述物品載置體28係構成為藉由在遠近方向隔著間隔的兩個連接框體36來分擔容器5的底部來載置支持，可達成 物品載置體28之輕量化。並且，兩個連接框體36配設成用以載置支持遠近方向中容器5底部之端部側部分，以平衡度良好地載置支持容器5。

在前述多數連接框體36支持有與容器5底部之被卡合部相卡合之突起狀的多數物品定位構件39。多數物品定位構件39以藉由位置限制構件40保持於分散在遠近方向及與之垂直之前後方向之適當相對位置關係的狀態設置。

附帶一提，調整遠近方向中第1連接框體36a之設置位置及第2連接框體36b之設置位置，使多數物品定位構件39在遠近方向中成為適當相對位置關係。

在前述移動車3設有用以控制移動車3的動作之臺車用控制部(相當於本發明之運轉控制機構)。並且，臺車用控制部根據來自用以管理物品處理設備整體的動作之管理用電腦的指令及設於移動車3之各種感測器的檢測資訊，來控制移動車3之行走作動及保持部4之上升位置與下降位置之升降作動及保持狀態與解除狀態之切換作動，同時，控制保持動作用馬達27及進退操作機構S之作動。臺車用控制部或電腦本身為眾所皆知，且具有CPU、記憶體、通訊電路等硬碟或用以執行本說明書所記載之功能的演算法。

例如，當從管理用電腦下達在多數處理站7中將第1處理裝置1a之處理站7a特定為搬送源之處理站7且將第2處理裝置1b之第2處理站7b特定為搬送處之處理站7之狀態下，將容器5從搬送源之第1處理站7a搬送至搬送處之第2處理站7b之搬出搬入指令時，臺車用控制部從搬送源之第1處理 站7a接收容器5，且將容器5傳送至搬送處之第2處理站7b，並控制移動車3的動作。若根據上述例子模式性地顯示被下達搬出搬入指令時之容器5的移動的模樣，則如第10(A)圖所示。

從管理用電腦除了兼具接收搬送源之處理站7中之容器5及傳送搬送處之處理站7中之容器5兩者之上述搬出搬入指令以外，更下達接收處理站7中之容器5，且將該所接收之容器5保管在下一步驟之處理裝置1之保管用28B的搬出保管指令或取出保管在暫置用載置體28T之容器5，並將該所取出之容器5傳遞至對應於該暫置用載置體28T之處理裝置1的處理站7的取出搬入指令C3。

若根據上述例子模式性地顯示下達搬出保管指令及取出搬入指令時容器5移動的模樣，則如第10(B)圖及第10(C)圖所示。

物品處理設備中，由於各處理裝置之處理時間不同，且要同時進行對多數容器5的處理，因此，臺車用控制部根據上述搬出搬入指令將容器5直接從搬送源之上游步驟的處理裝置1的處理站7(上述例子中為第1處理站7a)搬送至搬送處之下一步驟之處理裝置1之處理站7(上述例子中為第2處理站7b)的情況較少，而是臺車用控制部會根據搬出保管指令將從上游步驟之處理裝置1之處理站7(上述例子中為第1處理站7a)搬出之容器5暫時先保管在下一步驟之處理裝置1(上述例子中為第2處理裝置1b)之暫置用載置體28T，且根據取出搬入指令從保管在處理站7之暫置用載置 體28T之容器5中將先被保管的容器5依序搬入該處理站7。

再者，臺車用控制部控制物品保持部之升降作動及物品保持部之保持狀態與解除狀態之切換作動以及一對暫置用載置體28T之進退作動，藉此，在處理站7中有搬出用容器5存在之狀態下，當要將所保持之搬入用容器5傳遞至處理站7時，可在將所保持之搬入用容器5暫置於一對暫置用載置體28T的其中一個後，將位於處理站7之搬出用容器5暫置於一對暫置用載置體28T的另一個，接著將所暫置之搬入用容器5傳遞至處理站7。

又，臺車用控制部在將搬入用容器5傳送至處理站7後，將已暫置之搬出用容器5搬送至作為目標搬送處之下游步驟之處理裝置1的保管用載置體28B，且控制保持部4之升降作動及保持部4之保持狀態與解除狀態之切換作動、暫置用載置體28T的進退作動以及物品搬送體之行走作動。

如此一來，在本物品處理設備中，當在處理站7中有搬出保管指令之搬出對象的容器5存在之狀態下，要將已保持之取出搬入指令之搬入對象的容器5傳送至該處理站7時，利用一對暫置用載置體28T，在移動車3停在處理站7之物品移載處之狀態下，進行根據取出搬入指令傳送至處理站7之容器5與根據搬出保管指令從處理站7接收之容器5的交換動作，藉此，可藉由一台移動車3迅速地進行搬出用及搬入用容器5之搬出搬入處理。

以下，針對管理用電腦同時將從第2處理裝置1b之保管用載置體28B取出容器5且將容器5搬入第2處理裝置1b之第 2處理站7b之取出搬入指令，與搬出第2處理裝置1b之第2處理站7b之容器5且將該容器5保管至第3處理裝置1c之保管用載置體28B之搬出保管指令下達至臺車用控制部時，臺車用控制部對移動車3的控制動作來說明。

另，同時下達取出搬入指令與搬出保管指令意指兩指令連續下達之意，也包含先下達取出搬入指令且在開始根據該指令之控制動作後下達搬出保管指令之意，或者，相反地先下達搬出保管指令且在開始根據該指令之控制動作後，在允許插入取出搬入指令之狀態中下達取出搬入指令之意。無論何種狀況，一旦同時下達取出搬入指令與搬出保管指令，臺車用控制部會從根據取出搬入指令之控制動作移轉至根據搬出保管指令之控制動作。

以下，一面參照說明第13圖之流程圖以及第11圖及第12圖之容器5的移動順序的圖詳細地說明。另，第11圖及第12圖的1號箭頭並非容器5之移動，而是表示移動車3的移動。

首先，設定一狀況，結束根據將從第1處理站7a搬出之容器5保管至下一步驟之第2處理裝置1b之保管用載置體28B之過去的搬出保管指令之處理，移動車3以不保持容器5之狀態停止於第1圖所示之位置，與藉由上述過去之搬出保管指令保管之容器5不同之容器5(以下稱作搬入用容器5in)藉由較該過去之搬出保管指令更過去之搬出保管指令保管於第2處理裝置1b之保管用載置體28B。

另，保管有搬入用容器5in之保管用載置體28B例如相 對於引導軌道2位於第2處理裝置位置1b的相反側，且保管有搬出用容器5out之保管用載置體28B例如相對於引導軌道2位於與第3處理裝置位置1c同一側。

在該狀態下，變成第2處理裝置1b之第2處理站7b中有可搬出之狀態之容器5(以下稱作搬出用容器5out)存在之狀態，管理用電腦會下達以搬入用容器5in為取出搬入對象之取出搬入指令及以搬出用容器5out為搬出保管對象之搬出保管指令。

臺車用控制部首先在步驟#1中為了從保管有搬入用容器5in之保管用載置體28B取出搬入用容器5in，使移動車3移動至與保管有搬入用容器5in之保管用載置體28B相對應之物品移載處(參照第11(A)圖之1號箭頭)，且控制移動車3之行走作動。

臺車用控制部在步驟#2中，在移動車3停在與保管有搬入用容器5in之保管用載置體28B相對應之物品移載處之狀態下，從該保管用載置體28B取出搬入用容器5in，且控制移動車3之作動。

具體而言，臺車用控制部首先在移動車3停在與保管有搬入用容器5in之保管用載置體28B相對應之物品移載處之狀態下，使移動車3之移動方向中前方側之進退操作機構S突出作動，藉此使保管有搬入用容器5in之保管用載置體28B從退回位置變更至突出位置(參照第11(A)圖之2號箭頭)。然後，臺車用控制部使保持有搬入用容器5in之保持部4上升至上升位置，且控制保持部4之升降作動，然後使進 退操作機構S進退作動。並且，藉由進退操作機構S進行進退作動，使變空的保管用載置體28B從突出位置變更至退回位置。

臺車用控制部在步驟#3中將移動車3移動至與第2處理站7b相對應之物品移載處(參照第11(A)圖之3號箭頭)，且控制移動車3之行走作動。

臺車用控制部在步驟#4中，在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，將搬入用容器5in暫置於第2處理站7b之一對暫置用載置體28T的其中一個(相對於引導軌道2與第2處理裝置1b位於同一側)，且控制移動車3之作動。

具體而言，臺車用控制部首先在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，使移動車3之移動方向中後方側之進退操作機構S突出作動，藉此使一對暫置用載置體28T中相對於引導軌道2與第2處理裝置位置1B同一側之暫置用載置體28T從退回位置變更至突出位置。然後，臺車用控制部使保持有搬入用容器5in之保持部4從上升位置下降至與之接近之位置，且控制保持部4之升降作動，然後使保持動作用馬達27作動，以將一對保持具4a切換成解除姿勢，並從保持部4將搬入用容器5in卸下至位於突出位置之暫置用載置體28T。然後，臺車用控制部使保持部4上升至上升位置，且控制保持部4之升降作動，然後使進退操作機構S進退作動。然後，藉由進退操作機構S進行進退作動，使載有搬入用容器5in之暫置用載置體28T從突出位置 變更至退回位置(參照第11(A)圖的4號箭頭)。

臺車用控制部在步驟#5中，在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，從第2處理站7b接收搬出用容器5out，且控制移動車3之作動。

具體而言，臺車用控制部首先在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，使保持部4從上升位置下降至下降位置，且控制保持部4之升降作動。然後，臺車用控制部在保持部4位於下降位置時，使保持動作用馬達27作動，以將一對保持具4a切換成保持姿勢，並藉由一對保持具4a保持搬出用容器5out之凸緣5a以接收容器5。然後，臺車用控制部使保持有搬出用容器5out之保持部4從下降位置上升至上升位置，且控制保持部4之升降作動(參照第11(B)圖的5號箭頭)。

臺車用控制部在步驟#6中，在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，將搬出用容器5out暫置於第2處理站7b之一對暫置用載置體28T的另一個(相對於引導軌道2位於第2處理裝置1b之相反側)，且控制移動車3之作動。

具體而言，與步驟#4相同，臺車用控制部首先在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，使移動車3之移動方向中前方側之進退操作機構S突出作動，藉此使一對暫置用載置體28T中相對於引導軌道2與第2處理裝置位置1B相反側之暫置用載置體28T從退回位置變更至突出位置。然後，臺車用控制部使保持有搬出用容器5out 之保持部4從上升位置下降至與之接近之位置，且控制保持部4之升降作動，然後使保持動作用馬達27作動，以將一對保持具4a切換成解除姿勢，並從保持部4卸下搬出用容器5out至位於突出位置之暫置用載置體28T。然後，臺車用控制部使保持部4上升至上升位置，且控制保持部4之升降作動，然後使進退操作機構S進退作動。然後，藉由進退操作機構S進行進退作動，使載有搬出用容器5out之暫置用載置體28T從突出位置變更至退回位置(參照第11(B)圖的6號箭頭)。

臺車用控制部在步驟#7中，在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，從暫置用載置體28T取出搬入用容器5in，且控制移動車3之作動。

該控制動作與前述步驟#2中之控制動作，即，在移動車3停在與保管有搬入用容器5in之保管用載置體28B相對應之物品移載處之狀態下，從保管用載置體28B取出搬入用容器5in之控制作動相同。

具體而言，臺車用控制部首先在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，使移動車3之移動方向中後方側之進退操作機構S突出作動，藉此使保管有搬入用容器5in之暫置用載置體28T從退回位置變更至突出位置(參照第11(C)圖的7號箭頭)。然後臺車用控制部使保持部4從上升位置下降至與之接近之位置(參照第11(C)圖的8號箭頭)，且控制保持部4之升降作動，然後使保持動作用馬達27作動，以將一對保持具4a切換成保持姿勢，並從位於突 出位置之暫置用載置體28T將搬入用容器5in接收至保持部4。然後，臺車用控制部使保持有搬入用容器5in之保持部4上升至上升位置，且控制保持部4之升降作動，然後使進退操作機構S進退作動。然後，藉由進退操作機構S進行進退作動，使變空的暫置用載置體28T從突出位置變更至退回位置。

臺車用控制部在步驟#8中，在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，將搬入用容器5in傳遞至第2處理站7b，且控制移動車3之作動。

具體而言，臺車用控制部首先在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，使保持有搬入用容器5in之保持部4從上升位置下降至下降位置，且控制保持部4之升降作動。然後，臺車用控制部在保持部4位於下降位置時，使保持動作用馬達27作動，以將一對保持具4a切換成解除姿勢，並將搬入用容器5in傳遞至第2處理站7b。然後，臺車用控制部使保持部4從下降位置上升至上升位置，且控制保持部4之升降作動。

臺車用控制部在步驟#9中，在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，從暫置用載置體28T取出搬入用容器5in，且控制移動車3之作動。

該控制動作與前述步驟#2中之控制動作，即，在移動車3停在與保管有搬出用容器5out之保管用載置體28B相對應之物品移載處之狀態下，從保管用載置體28B取出搬出用容器5out之控制作動相同。又，該控制動作與前述步驟#7 中之控制動作，即，在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，從暫置用載置體28T取出搬入用容器5in之控制作動相同。

具體而言，臺車用控制部首先在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，使移動車3之移動方向中前方側之進退操作機構S突出作動，藉此使保管有搬出用容器5out之暫置用載置體28T從退回位置變更至突出位置(參照第12(D)圖的9號箭頭)。然後臺車用控制部使保持部4從上升位置下降至與之接近之位置，且控制保持部4之升降作動，然後使保持動作用馬達27作動，以將一對保持具4a切換成保持姿勢，並從位於突出位置之暫置用載置體28T將搬出用容器5out接收至保持部4。然後，臺車用控制部使保持有搬出用容器5out之保持部4上升至上升位置，且控制保持部4之升降作動，然後使進退操作機構S進退作動。然後，藉由進退操作機構S進行進退作動，使變空的暫置用載置體28T從突出位置變更至退回位置。

臺車用控制部在步驟#10中，為了將從第2處理裝置1b搬出之搬出用容器5out保管至下一步驟之第3處理裝置1c之保管用載置體28B，使移動車3移動至與保管該搬出用容器5out之第3處理裝置1c之保管用載置體28B相對應之物品移載處(參照第12(D)圖的10號箭頭)，且控制移動車3之行走作動。

臺車用控制部在步驟#11中，在移動車3停在與保管搬出用容器5out之保管用載置體28B相對應之物品移載處之 狀態下，將保管搬出用容器5out保管至該保管用載置體28B，且控制移動車3之作動。

該控制動作與前述步驟#4或步驟#6中之控制動作，即，在移動車3停在與第2處理站7b相對應之物品移載處之狀態下，將搬入用容器5in或搬出用容器5out暫置於暫置用載置體28T之控制作動相同。

具體而言，臺車用控制部首先在移動車3停在保管搬出用容器5out之保管用載置體28B之物品移載處之狀態下，使移動車3之移動方向中後方側之進退操作機構S突出作動，藉此使保管搬出用容器5out之保管用載置體28B從退回位置變更至突出位置。然後，臺車用控制部使保持有搬出用容器5out之保持部4從上升位置下降至與之接近之位置，且控制保持部4之升降作動，然後使保持動作用馬達27作動，以將一對保持具4a切換成解除姿勢，並從保持部4將搬出用容器5out卸下至位於突出位置之保管用載置體28B。然後，臺車用控制部使保持部4上升至上升位置，且控制保持部4之升降作動，然後使進退操作機構S進退作動。然後，藉由進退操作機構S進行進退作動，使載有搬出用容器5out之保管用載置體28B從突出位置變更至退回位置(參照第12(D)圖之11號箭頭)。

[其他實施形態]以下，列記其他實施形態。

(1)在上述實施形態中，控制機構在物品保持部之升降作動停止後，開始物品載置體之進退作動，但並不限於此，控制機構亦可在物品保持部之升降作動停止前，開始物品 載置體之進退作動。

(2)在上述實施形態中，物品載置體28在突出位置中，在與位於接近上升位置之位置的保持部4之間傳送容器5，但例如亦可在突出位置中，在與位於上升位置之保持部4之間傳送容器5。

又，在突出位置中，關於物品載置體28在與保持部4之間傳送容器5之位置，不僅接近上升位置之位置或上升位置，亦可為在上升位置之一設定高度下方之位置。此時，在物品載置體28位於突出位置之狀態下，藉由使保持部4低於上升位置僅一設定高度，可在物品載置體28與保持部4之間傳送容器5。

(3)在上述實施形態中，在移動車3設有用以變更操作位於移動車3之移動方向右側之物品載置體28之進退操作機構S與用以變更操作位於移動車3之移動方向左側之物品載置體28之進退操作機構S兩個進退操作機構S，但例如亦可相對於移動車3之移動方向，在右側及左側兩側設有可自由進出之卡合滾輪59，藉此在移動車3設置一個進退操作機構S來實施。

(4)在上述實施形態中，搬出用容器5out之目標搬送處在下一步驟之處理裝置1中為保管用載置體28B，但並不限於此，亦可適當地設定目標搬送處，例如，亦可為下一步驟之處理裝置1之處理站7，亦可為圖外之其他搬送處。

(5)在上述實施形態中，一對物品載置體設於移動路徑之兩側附近，但取而代之，亦可設成一對物品載置體在移 動路徑之其中一側附近呈上下排列之狀態。

(6)在上述實施形態中，是以用以搬送物品為收納有半導體基板之容器5之物品處理設備為例，但亦可適當地變更要搬送的物品。

1‧‧‧物品處理裝置

1a‧‧‧第1處理裝置

1b‧‧‧第2處理裝置

1c‧‧‧第3處理裝置

2‧‧‧引導軌道

3‧‧‧移動車

4‧‧‧物品保持部

4a‧‧‧保持具

5‧‧‧容器

5a‧‧‧凸緣

6‧‧‧金屬線

7‧‧‧處理站

7a‧‧‧第1處理站

7b‧‧‧第2處理站

7c‧‧‧第3處理站

8‧‧‧引導軌道用托架

9‧‧‧上方車體

10、11‧‧‧連結桿

12‧‧‧下方車體

13‧‧‧磁鐵

14‧‧‧一次線圈

15‧‧‧行走輪

16‧‧‧行走引導面

17‧‧‧止震輪

18‧‧‧止震引導面

19‧‧‧供電線

20‧‧‧受電線圈

21‧‧‧前後框體

22‧‧‧縱框體

23‧‧‧升降體

24‧‧‧升降操作機構

25‧‧‧凸輪驅動用馬達

26‧‧‧旋轉凸輪

27‧‧‧保持動作用馬達

28‧‧‧物品載置體

28T‧‧‧暫置用載置體

28B‧‧‧保管用載置體

29‧‧‧固定框體

29a‧‧‧側面框部

30‧‧‧移動框體

31a‧‧‧框體用第1連結體

31b‧‧‧框體用第2連結體

32‧‧‧懸吊用延設體

33‧‧‧懸吊用支持體

34‧‧‧懸吊螺栓

35‧‧‧支持臂部體

35a‧‧‧下端部

35b‧‧‧中間部

35c‧‧‧上端部

36‧‧‧連接框體

36a‧‧‧第1連接框體

36b‧‧‧第2連接框體

37‧‧‧直立壁部

39‧‧‧物品定位構件

40‧‧‧位置限制構件

45‧‧‧連結用框體

45a‧‧‧第1連結用框體

45b‧‧‧第2連結用框體

45c‧‧‧第3連結用框體

46‧‧‧滑動引導機構

47‧‧‧軌道部

48‧‧‧引導滾輪

49‧‧‧被操作體

49a‧‧‧第1被操作部分

49b‧‧‧第2被操作部分

50‧‧‧板狀基台

51‧‧‧溝部

52‧‧‧連動機構

53‧‧‧第1連結臂部

54‧‧‧第2連結臂部

55‧‧‧第3連結臂部

56‧‧‧連動用被操作體

57‧‧‧基體

58‧‧‧操作體

59‧‧‧卡合滾輪

P1‧‧‧第1搖動軸心

S‧‧‧進退操作機構

C3‧‧‧取出搬入指令

第1圖係物品處理設備之平面圖。

第2圖係移動車與處理站之側視圖。

第3圖係移動車之側視圖。

第4圖係移動車之縱截正視圖。

第5圖係物品載置體之透視圖。

第6圖係退回位置之物品載置體之透視圖。

第7圖係突出位置之物品載置體之透視圖。

第8圖係退回位置之物品載置體之平面圖。

第9圖係突出位置之物品載置體之平面圖。

第10(A)圖~第10(C)圖係顯示各指令之物品之移動路徑的例子之模式圖。

第11(A)圖~第11(C)圖係顯示同時下達取出搬入指令及搬出保管指令時物品之移動路徑的例子之模式圖。

第12(D)圖係顯示同時下達取出搬入指令及搬出保管指令時物品之移動路徑的例子之模式圖。

第13圖係顯示同時下達取出搬入指令及搬出保管指令時臺車用控制部之控制動作的流程圖。

1‧‧‧物品處理裝置

1a‧‧‧第1處理裝置

1b‧‧‧第2處理裝置

1c‧‧‧第3處理裝置

2‧‧‧引導軌道

3‧‧‧移動車

7‧‧‧處理站

7a‧‧‧第1處理站

7b‧‧‧第2處理站

7c‧‧‧第3處理站

28‧‧‧物品載置體

28T‧‧‧暫置用載置體

28B‧‧‧保管用載置體

Claims (14)

1. 一種物品處理設備，設有：物品搬送體，係可沿著經由對應於物品處理裝置配置之物品移載處之移動路徑自由移動者；及物品保持部，係設於前述物品搬送體且可自由升降，並可自由切換至保持物品之保持狀態與解除物品之保持的解除狀態者，且運轉控制機構構造成在相對於前述物品處理裝置之物品搬出搬入部搬出或搬入物品時，控制前述物品搬送體之行走作動，使其停在前述物品移載處，並且，在將物品傳送至前述物品搬出搬入部，或從前述物品搬出搬入部接收物品時，則控制前述物品保持部之升降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動，又，前述物品處理設備設有用以暫置(temporarily store)物品之一對暫置用物品載置體，前述一對暫置用物品載置體分別構成為可在突出於前述移動路徑之突出位置與退回至遠離前述移動路徑之退回位置之間位移，以與停在前述物品移載處之前述物品搬送體進行物品之傳送與接收，一對前述暫置用物品載置體的其中一個設於前述移動路徑左右側的其中一側附近，且一對前述暫置用物品載置體的另一個則設於前述移動路徑左右側的另一側附近， 且前述物品搬送體在停在前述物品移載處之狀態下，相對於位於前述突出位置之前述暫置用物品載置體進行物品之傳送與接收，於前述物品搬送體設有將停在前述物品移載處之狀態下位於前述物品搬送體之移動方向右側的前述暫置用物品載置體進退操作至前述突出位置與前述退回位置的右側用進退操作機構，和將停在前述物品移載處之狀態下位於前述物品搬送體之移動方向左側的前述暫置用物品載置體進退操作至前述突出位置與前述退回位置的左側用進退操作機構，而前述運轉控制機構係構造成控制前述物品保持部之升降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動、以及一對前述暫置用物品載置體之進退作動，以在將前述物品保持部所保持之搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部時，若前述物品搬出搬入部中有搬出用物品存在，則在將前述搬入用物品暫置於一對前述暫置用物品載置體的其中一個後，將位於前述物品搬出搬入部之搬出用物品暫置於一對前述暫置用物品載置體的另一個，接著，將暫置之前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部，前述運轉控制機構並構造成控制前述右側用進退操作機構和前述左側用進退操作機構以進行一對前述 暫置用物品載置體的進退作動。
2. 如申請專利範圍第1項之物品處理設備，其中前述運轉控制機構構造成在將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部後，控制前述物品保持部之升降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動、前述暫置用物品載置體之進退作動以及前述物品搬送體之行走作動，以將所暫置之前述搬出用物品搬送至目標搬送處。
3. 如申請專利範圍第1項之物品處理設備，其中在前述物品搬送體之移動方向上與前述暫置用物品載置體的上游側鄰接之處，沿前述移動方向以並排狀態設有複數個保管有要搬入前述物品搬出搬入部之物品的保管用物品載置體，前述保管用物品載置體分別可在突出於前述移動路徑之突出位置與退回至遠離前述移動路徑之退回位置之間位移，以與停在對應於該保管用物品載置體設置之物品移載處的前述物品搬送體進行物品之傳送與接收，前述物品搬送體在停在前述物品移載處之狀態下，相對於位於前述突出位置之前述保管用物品載置體進行物品之傳送與接收，而前述運轉控制機構係構造成在將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部後，控制前述物品保持部之升降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述 解除狀態之切換作動、前述暫置用物品載置體與前述保管用物品載置體之進退作動，以及前述物品搬送體之行走作動，以將所暫置之前述搬出用物品搬送至作為目標搬送處之前述保管用物品載置體。
4. 如申請專利範圍第3項之物品處理設備，其中前述右側用進退操作機構於前述物品搬送體停在前述保管用物品移載處之狀態下，將前述複數個保管用物品載置體中位於前述移動路徑之前述移動方向右側者進退操作至前述突出位置與前述退回位置，前述左側用進退操作機構於前述物品搬送體停在前述保管用物品移載處之狀態下，將前述複數個保管用物品載置體中位於前述移動路徑之前述移動方向左側者進退操作至前述突出位置與前述退回位置。
5. 如申請專利範圍第1~3項中任一項之物品處理設備，其中前述移動路徑由高架的軌道形成，且前述物品搬送體係構造成可沿著前述軌道移動之移動車，並在前述移動車設有具柔軟構件之升降操作機構，又，前述物品保持部構造成可藉由前述升降操作機構，透過前述柔軟構件在上升位置與下降位置之間自由升降。
6. 如申請專利範圍第5項之物品處理設備，其中前述移動車在其前進方向上具有前縱框體與後縱框體，又，前述上升位置為前述物品保持部配置於前述前與後縱框體之間的位置，而前述下降位置為適合將物品載置於配置在地面之前述物品搬出搬入部的位置。
7. 如申請專利範圍第6項之物品處理設備，其中前述暫置用物品載置體係配置在與位於前述上升位置之前述物品保持部大致相同的高度，且藉由前述暫置用物品載置體於前述突出位置實質地水平移動，使前述暫置用物品載置體可從前述物品保持部接收物品。
8. 一種物品處理設備之控制方法，而該物品處理設備設有：物品搬送體，係可沿著經由對應於物品處理裝置之物品搬出搬入部配置之物品移載處之移動路徑自由移動者；及物品保持部，係設於前述物品搬送體且可自由升降，且可自由切換至保持物品之保持狀態與解除物品之保持的解除狀態者，且運轉控制機構構造成在相對於前述物品處理裝置之物品搬出搬入部搬出或搬入物品時，控制前述物品搬送體之行走作動，使其停在前述物品移載處，並且，在將物品傳送至前述物品搬出搬入部，或從前述物品搬出搬入部接收物品時，則控制前述物品保持部之升降作動及前述物品保持部之前述保持狀態與前述解除狀態之切換作動，又，前述物品處理設備設有用以暫置(temporarily store)物品之一對暫置用物品載置體，前述一對暫置用物品載置體分別構成為可在突出於前述移動路徑之突出位置與退回至遠離前述移動路徑之退回位置之間位 移，以與停在前述物品移載處之前述物品搬送體進行物品之傳送與接收，一對前述暫置用物品載置體的其中一個設於前述移動路徑左右側的其中一側附近，且一對前述暫置用物品載置體的另一個則設於前述移動路徑左右側的另一側附近，且前述物品搬送體在停在前述物品移載處之狀態下，相對於位於前述突出位置之前述暫置用物品載置體進行物品之傳送與接收，於前述物品搬送體設有將停在前述物品移載處之狀態下位於前述物品搬送體之移動方向右側的前述暫置用物品載置體進退操作至前述突出位置與前述退回位置的右側用進退操作機構，和將停在前述物品移載處之狀態下位於前述物品搬送體之移動方向左側的前述暫置用物品載置體進退操作至前述突出位置與前述退回位置的左側用進退操作機構，而前述物品處理設備之控制方法包括下列步驟：在將前述物品保持部所保持之搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部時，若前述物品搬出搬入部中有搬出用物品存在，則在將前述搬入用物品暫置於一對前述暫置用物品載置體的其中一個後，將位於前述物品搬出搬入部之搬出用物品暫置於一對前述暫置用物品載置體的另一個；及 將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部。
9. 如申請專利範圍第8項之物品處理設備之控制方法，更包括在將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部之步驟後，將所暫置之前述搬出用物品搬送至目標搬送處之步驟。
10. 如申請專利範圍第8項之物品處理設備之控制方法，其中在前述物品搬送體之移動方向上與前述暫置用物品載置體的上游側鄰接之處，沿前述移動方向以並排狀態設有複數個保管有要搬入前述物品搬出搬入部之物品的保管用物品載置體，前述保管用物品載置體分別可在突出於前述移動路徑之突出位置與退回至遠離前述移動路徑之退回位置之間位移，以與停在對應於該保管用物品載置體設置之物品移載處的前述物品搬送體進行物品之傳送與接收，而前述控制方法包含在將前述搬入用物品傳送至前述物品搬出搬入部後，將所暫置之前述搬出用物品搬送至作為目標搬送處之前述保管用物品載置體之步驟。
11. 如申請專利範圍第10項之物品處理設備之控制方法，其中前述右側用進退操作機構於前述物品搬送體停在前述保管用物品移載處之狀態下，將前述複數個保管用物品載置體中位於前述移動路徑之前述移動方向右側者進退操作至前述突出位置與前述退回位置，前述左側用進退操作機構於前述物品搬送體停在 前述保管用物品移載處之狀態下，將前述複數個保管用物品載置體中位於前述移動路徑之前述移動方向左側者進退操作至前述突出位置與前述退回位置，而前述物品搬送體在停在前述物品移載處之狀態下，相對於位於前述突出位置之前述保管用物品載置體進行物品之傳送與接收。
12. 如申請專利範圍第8~10項中任一項之物品處理設備之控制方法，其中前述移動路徑由高架的軌道形成，且前述物品搬送體係構造成可沿著前述軌道移動之移動車，並在前述移動車設有具柔軟構件之升降操作機構，又，前述物品保持部構造成可藉由前述升降操作機構，透過前述柔軟構件在上升位置與下降位置之間自由升降。
13. 如申請專利範圍第12項之物品處理設備之控制方法，其中前述移動車在其前進方向上有前縱框體與後縱框體，又，前述上升位置為前述物品保持部配置於前述前與後縱框體之間的位置，而前述下降位置為適合將物品載置於配置在地面之前述物品搬出搬入部之位置。
14. 如申請專利範圍第13項之物品處理設備之控制方法，其中前述暫置用物品載置體係配置在與位於前述上升位置之前述物品保持部大致相同的高度，且藉由前述物品載置體於前述突出位置實質地水平移動，使前述暫置用物品載置體可從前述物品保持部接收物品。