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TWI405961B - 空氣過濾網洩漏檢測方法 - Google Patents

空氣過濾網洩漏檢測方法 Download PDF

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TWI405961B
TWI405961B TW098138098A TW98138098A TWI405961B TW I405961 B TWI405961 B TW I405961B TW 098138098 A TW098138098 A TW 098138098A TW 98138098 A TW98138098 A TW 98138098A TW I405961 B TWI405961 B TW I405961B
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heads
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Yang You Chung
Ming Chuan Hu
Chia Chun Su
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Taiwan Textile Res Inst
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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Description

空氣過濾網洩漏檢測方法
本發明是有關於一種空氣過濾網洩漏檢測方法，且特別是有關於一種檢測效率高、準確性佳、並可避免設備損毀的空氣過濾網洩漏檢測方法。
隨著人類工業技術的演進，在許多新型態的實驗室、醫院及工廠中，空氣的潔淨度對於製程、環境安全及設備的影響甚鉅，甚至有的環境會要求每立方英呎空氣中的0.5μm的懸浮微粒不得超過1顆。為得到具有高潔淨度的空氣，必須要使用HEPA(High Efficiency Particulate Air,HEPA)或ULPA(Ultra-Low Particulate Air,ULPA)等級的空氣過濾網來過濾外界的空氣。然而，若高效率的空氣過濾網在製造的過程中產生洩漏，則空氣過濾網會失去原有的過濾效果，如此對製程、環境安全及設備將造成嚴重的影響。因此，為了提升空氣過濾網的可靠度，必須對空氣過濾網是否洩漏加以檢測。
美國專利4494403提出了一種空氣過濾網洩漏檢測方法，其利用檢測頭於空氣過濾網之一側來回移動以檢測空氣過濾網。然而，在進行空氣過濾網洩漏檢測時，隨著待檢測空氣過濾網之尺寸以及所使用檢測頭的數量不同，檢測頭可能會在移動時超出待檢測空氣過濾網之範圍。如此一來，檢測頭將無法有效率地利用進行檢測，甚至檢測頭可能會撞擊用以固定空氣過濾網之框架或擋板而造成檢測設備損毀。由此可知，習知的空氣過濾網洩漏檢測方法仍有許多改進的空間。
本發明提出一種空氣過濾網洩漏檢測方法，其可提高空氣過濾網洩漏檢測之效率以及準確性，並可避免設備損毀。
本發明提供一種空氣過濾網洩漏檢測方法，其包括下列步驟。首先，使具有微粒之待過濾氣體由空氣過濾網之一側通過空氣過濾網，其中空氣過濾網具有彼此平行的第一邊與第二邊。繼之，於空氣過濾網之另一側提供測漏單元，此測漏單元包括n個檢測頭，其中n為正整數，且檢測頭面向空氣過濾網。然後，設定移動程序，使得檢測頭來回移動於第一邊與第二邊之間，從而掃描空氣過濾網的所有部分。當檢測頭移動至第二邊時，檢測頭沿著第二邊的延伸方向移動設定距離，其中設定距離小於各檢測頭的長度，並且，根據檢測頭的數量、各檢測頭的長度以及空氣過濾網的高度決定檢測頭來回移動於第一邊與第二邊之間的次數。
在本發明之一實施例中，檢測頭由第一邊沿著水平方向移動至第二邊、或由第二邊沿著水平方向移動至第一邊，其中水平方向垂直於第二邊的延伸方向。
在本發明之一實施例中，在設定移動程序的步驟中，包括以下列式(1)決定檢測頭來回移動於第一邊與第二邊之間的次數，
其中，n表示檢測頭的數量，i表示檢測頭來回移動於第一邊與第二邊之間的次數，w表示各檢測頭的長度，C表示補償值，y表示空氣過濾網的高度。
在本發明之一實施例中，C等於5。
在本發明之一實施例中，空氣過濾網固定於邊框上。
在本發明之一實施例中，各檢測頭在沿著第二邊的延伸方向移動設定距離前的位置，與在沿著第二邊的延伸方向移動設定距離後的位置形成重疊面積，且此重疊面積如下列式(2)所示，
其中，OL表示重疊面積，n表示檢測頭的數量，i表示檢測頭來回移動於第一邊與第二邊之間的次數，w表示各檢測頭的長度，y表示空氣過濾網的高度，fw表示邊框的寬度。
在本發明之一實施例中，在設定移動程序的步驟中，更包括根據重疊面積決定檢測頭沿著第二邊的延伸方向移動的設定距離。
在本發明之一實施例中，測漏單元包括多個檢測頭。
在本發明之一實施例中，在使多個檢測頭移動前，更包括根據下列式(3)調整多個檢測頭之間的間距，
G =OL ×2-w -----式(3)
其中，G表示相鄰的兩個檢測頭之間的間距，OL表示重疊面積，w表示各檢測頭的長度。
在本發明之一實施例中，在設定移動程序的步驟中，更包括在第j次使檢測頭來回移動於第一邊與第二邊之間以前使檢測頭移動至第j起始位置，其中j為正整數，且j小於或等於檢測頭來回移動於第一邊與第二邊之間的次數。
在本發明之一實施例中，在設定移動程序的步驟中，更包括根據下列式(4)使各檢測頭移動至第j起始位置，
其中，Pj 表示第j起始位置，Pj-1 表示第j-1起始位置，w表示各檢測頭的長度，G表示相鄰的兩個檢測頭之間的間距，PO表示檢側頭偏移補償參數。
在本發明之一實施例中，檢側頭偏移補償參數等於設定距離。
在本發明之一實施例中，在設定移動程序的步驟中，更包括設定檢測頭的移動速率。
在本發明之一實施例中，設定檢測頭的移動速率為20~150毫米/秒。
在本發明之一實施例中，測漏單元更包括傳動機構、n個粒子計數器以及後端處理單元。檢測頭配置於傳動機構上，且傳動機構適於帶動檢測頭移動。每個粒子計數器連接於其中一個檢測頭。後端處理單元與傳動機構以及粒子計數器連接，以控制傳動機構之作動以及讀出並處理粒子計數器所輸出的信號。
基於上述，本發明之空氣過濾網洩漏檢測方法根據所使用的檢測頭以及空氣過濾網尺寸來決定檢測頭之移動路徑，並且檢測頭在來回移動時會有部分重疊掃描的面積，因此本發明之空氣過濾網洩漏檢測方法可提高空氣過濾網洩漏檢測之效率以及準確性，並可避免檢測設備損毀。
為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。
圖1為本發明一實施例中，對一空氣過濾網進行洩漏檢測時的側視示意圖。圖2為面對於圖1中空氣過濾網的示意圖。請參照圖1與圖2，首先，使具有微粒之待過濾氣體210由空氣過濾網220之一側通過空氣過濾網220，其中空氣過濾網220具有彼此平行的第一邊222與第二邊224。在本實施例中，空氣過濾網220例如是固定於邊框240上，以便進行後續的洩漏檢測。
繼之，於空氣過濾網220之另一側提供測漏單元230。在本實施例中，測漏單元230例如包括一個檢測頭232，且檢測頭232面向空氣過濾網220。此處要注意的是，雖然本實施例是使用一個檢測頭232來作說明，但本發明實際上亦可使用兩個或兩個以上檢測頭232，此部分可視實際需要而定，後面會有更為詳細的說明。
在本實施例中，測漏單元230更包括傳動機構234、粒子計數器236以及後端處理單元238。檢測頭232配置於傳動機構234上，且傳動機構234適於帶動檢測頭232移動。在本實施例中，傳動機構234例如為三軸機械手臂、或其他適於帶動檢測頭232移動的裝置。粒子計數器236連接於檢測頭232，而本實施例所使用的粒子計數器236例如為雷射粒子計數器。在其他實施例中，例如可使用兩個以上的檢測頭232，此時，每個粒子計數器236連接於其中一個檢測頭232，藉以分別檢測空氣過濾網220的洩漏點或洩漏量。
後端處理單元238與傳動機構234以及粒子計數器236連接，以控制傳動機構234之作動以及讀出並處理粒子計數器236所輸出的信號。詳言之，本實施例之後續處理單元238例如還可包括多個介面卡，例如：伺服馬達控制卡、計數器卡、RS232通訊卡、訊號I/O卡，或其他的介面卡。
圖3為本發明一實施例中，使用一個檢測頭進行空氣過濾網洩漏檢測的移動路徑示意圖。然後，請參照圖3，設定移動程序，使得檢測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間，從而掃描空氣過濾網220的所有部分。當檢測頭232移動至第二邊224時，檢測頭232沿著第二邊224的延伸方向D2移動設定距離d，其中設定距離d小於檢測頭232的長度w，並且，根據檢測頭232的數量、檢測頭232的長度w以及空氣過濾網220的高度y決定檢測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間的次數。圖3所繪示的檢測頭移動路徑僅為舉例說明，本發明非限於此。
檢測頭232一次的來回移動包括：檢測頭232由第一邊222移動到第二邊224、以及由第二邊224移動到第一邊222。並且，檢測頭232是由第一邊222沿著水平方向D1移動至第二邊224、或由第二邊224沿著水平方向D1移動至第一邊222，其中水平方向D1垂直於第二邊224的延伸方向D2。
具體而言，本實施例在設定移動程序的步驟中，例如是以下列式(1)決定檢測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間的次數，
其中，n表示檢測頭232的數量，i表示檢測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間的次數，w表示各檢測頭232的長度，C表示補償值，y表示空氣過濾網220的高度。在本實施例中，補償值C例如等於5。
圖4為圖3之檢測頭在移動設定距離前、以及在移動設定距離後的位置的示意圖。請參照圖3與圖4，在本實施例中，各檢測頭232在沿著第二邊224的延伸方向D2移動設定距離d前的位置P1，與在沿著第二邊224的延伸方向D2移動設定距離d後的位置P2形成重疊面積OL，且此重疊面積OL如下列式(2)所示，
其中，OL表示重疊面積，n表示檢測頭的數量，i表示檢測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間的次數，w表示檢測頭232的長度，y表示空氣過濾網220的高度，fw表示邊框240的寬度。
將式(1)中所得之i值以及上述其他條件(n、w、y以及fw)代入式(2)中，即可計算出重疊面積OL。然後，可根據重疊面積OL來決定檢測頭232沿著第二邊224的延伸方向D2移動的設定距離d。舉例來說，可將經計算而得的重疊面積OL除以檢測頭232的厚度t，從而得到設定距離d。在本實施例中，設定距離d大約為檢測頭232長度w的一半。
由於設定距離d小於檢測頭232的長度w，因此，當檢測頭232每次來回移動於第一邊222與第二邊224之間時，檢測頭232可重複確認空氣過濾網220上之洩漏檢測結果，例如洩漏點與洩漏量等。換言之，以本實施例的方式檢測空氣過濾網220可具有良好的準確性。
圖5為本發明另一實施例中，使用兩個檢測頭進行空氣過濾網洩漏檢測的示意圖。請參照圖5，在此一實施例中，例如是同時使用兩個檢測頭232進行洩漏檢測。在圖5所示的實施例中，在使檢測頭232進行洩漏檢檢測前，更包括根據下列式(3)調整兩個檢測頭232之間的間距G，
G =OL ×2-w -----式(3)
其中，G表示相鄰的兩個檢測頭232之間的間距，OL表示重疊面積，w表示各檢測頭232的長度。在其他未繪示的實施例中，也可以使用兩個以上的檢測頭232進行洩漏檢測，而類似地，也可以使用上述式(3)求得多個檢測頭232彼此之間的間距G。
另一方面，在上述設定移動程序的步驟中，更包括在第j次使檢測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間以前，使檢測頭232移動至第j起始位置，其中j為正整數，且j小於或等於檢測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間的次數。為便於理解，以下透過使用一個檢測頭232進行洩漏檢測的實施例來對此部分加以說明。
圖6為本發明一實施例中，檢測頭的第j起始位置示意圖。請參照圖3與圖6，在檢測頭232沿著第二邊224的延伸方向D2移動設定距離d後，檢測頭232會繼續沿著水平方向D1移動至第一邊222。然後，在檢測頭232繼續由第一邊222沿著水平方向D1移動至第二邊224前，檢測頭232會先移動至第j起始位置(例如P1 、P2 、P3 、P4 或P5 )。
具體而言，本實施例在設定移動程序的步驟中，例如是根據下列式(4)使檢測頭232移動至第j起始位置，
P i =(w +G )×n +PO +P i -1 ----式(4)
其中，Pj 表示第j起始位置，Pj-1 表示第j-1起始位置，w表示檢測頭232的長度，G表示相鄰的兩個檢測頭232之間的間距，PO表示檢側頭232偏移補償參數。在本實施例中，檢側頭偏移補償參數PO例如等於設定距離d。
由於本實施例僅使用一個檢測頭232進行洩漏檢測，因此檢測頭232之間的間距G等於零，而第j起始位置會等於第j-1起始位置加上檢測頭232的長度w以及設定距離d。本實施例的第j起始位置僅為舉例，實際上，第j起始位置可以是空氣過濾網220上的任何位置，而檢側頭偏移補償參數PO例如還包括機械作動之補償。另外，本領域具通常知識者，當可依照上述式(4)求得使用多個檢測頭232的第j起始位置。
由上述實施例之說明，可依照式(1)決定檢測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間的次數，並依照式(2)決定每次檢測頭232沿著第二邊224的延伸方向D2移動的設定距離d。在使用多個檢測頭232時，可在進行洩漏檢測前，先依照式(3)調整檢測頭232之間的間距G。此外，可依照式(4)決定檢測頭232在每次來回移動於第一邊222與第二邊224之間前的起始位置。
簡言之，本發明可經過上述簡單的公式計算來設計所需的檢測頭232移動路徑R。在本實施例中，例如可將所需的檢測頭232移動路徑R資料輸入圖1所示的後端處理單元238中，使得傳動機構234依照所輸入的移動路徑R帶動檢測頭232移動，從而掃描空氣過濾網220的所有部份。如此一來，檢測頭232可在整個空氣過濾網220之範圍內有效率地完成洩漏檢測，並避免檢測頭232超出空氣過濾網220範圍而造成設備損毀。
另外，在上述的實施例中，例如還可在設定移動程序的步驟中設定檢測頭232的移動速率。舉例而言，在一實施例中，設定檢測頭232的移動速率為20~150毫米/秒，並將其結果示於下列表1中。
如表1所示，當檢測頭232以不同的移動速率對一空氣過濾網進行檢測時，洩漏檢測的結果相當一致，檢測頭均可有效地偵測到空氣過濾網上的洩露位置。換言之，本發明的空氣過濾網洩漏檢測方法可以有效率的完成空氣過濾網洩漏檢測。當然，此處僅為舉例，本發明並不限制檢測頭的移動速率。
綜上所述，本發明的空氣過濾網洩漏檢測方法可根據所使用的檢測頭以及空氣過濾網尺寸來決定檢測頭之移動路徑、且檢測頭可在來回移動時重複確認洩漏檢測結果，因此本發明可提高空氣過濾網洩漏檢測的準確性以及效率、且避免檢測設備損毀。在部分的實施例中，本發明的空氣過濾網洩漏檢測方法還可使用兩個以上的檢測頭進行洩漏檢測，並透過簡單的公式計算求得到最佳化的檢測頭間距，藉以進一步提高空氣過濾網洩漏檢測之效率。
雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
210．．．待過濾氣體
220．．．空氣過濾網
222．．．第一邊
224．．．第二邊
230．．．測漏單元
232．．．檢測頭
234．．．傳動機構
236．．．粒子計數器
238．．．後端處理單元
240．．．邊框
d．．．設定距離
fw‧‧‧邊框的寬度
w‧‧‧檢測頭的長度
y‧‧‧空氣過濾網的高度
D1‧‧‧水平方向
D2‧‧‧第二邊的延伸方向
G‧‧‧檢測頭之間的間距
OL‧‧‧重疊面積
P1、P2‧‧‧位置
P1 、P2 、P3 、P4 、P5 ‧‧‧第j起始位置
圖1為本發明一實施例中，對一空氣過濾網進行洩漏檢測時的側視示意圖。
圖2為面對於圖1中空氣過濾網的示意圖。
圖3為本發明一實施例中，使用一個檢測頭進行空氣過濾網洩漏檢測的移動路徑示意圖。
圖4為圖3之檢測頭在移動設定距離前、以及在移動設定距離後的位置的示意圖。
圖5為本發明另一實施例中，使用兩個檢測頭進行空氣過濾網洩漏檢測的示意圖。
圖6為本發明一實施例中，檢測頭的第j起始位置示意圖。
220．．．空氣過濾網
222．．．第一邊
224．．．第二邊
232．．．檢測頭
240．．．邊框
d．．．設定距離
y．．．空氣過濾網的高度
w．．．檢測頭的長度
D1．．．水平方向
D2．．．第二邊的延伸方向
R．．．移動路徑

Claims (13)

  1. 一種空氣過濾網洩漏檢測方法，包括：使一具有微粒之待過濾氣體由一空氣過濾網之一側通過該空氣過濾網，其中該空氣過濾網具有彼此平行的一第一邊與一第二邊；於該空氣過濾網之另一側提供一測漏單元，該測漏單元包括n個檢測頭，其中n為正整數，且該些檢測頭面向該空氣過濾網；以及設定一移動程序，使得該些檢測頭來回移動於該第一邊與該第二邊之間，從而掃描該空氣過濾網的所有部分，其中，當該些檢測頭移動至該第二邊時，該些檢測頭沿著該第二邊的延伸方向移動一設定距離，其中該設定距離小於各該檢測頭的長度，並且，根據該些檢測頭的數量、各該檢測頭的長度以及該空氣過濾網的高度決定該些檢測頭來回移動於該第一邊與該第二邊之間的次數，其中在設定該移動程序的步驟中，包括以下列式(1)決定該些檢測頭來回移動於該第一邊與該第二邊之間的次數， 其中，n表示該些檢測頭的數量，i表示該些檢測頭來回移動於該第一邊與該第二邊之間的次數，w表示各該檢測頭的長度，C表示一補償值，y表示該空氣過濾網的高度。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中該些檢測頭由該第一邊沿著一水平方向移動 至該第二邊、或由該第二邊沿著該水平方向移動至該第一邊，其中該水平方向垂直於該第二邊的延伸方向。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中C等於5。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中該空氣過濾網固定於一邊框上。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中各該檢測頭在沿著該第二邊的延伸方向移動該設定距離前的位置，與在沿著該第二邊的延伸方向移動該設定距離後的位置形成一重疊面積，且該重疊面積如下列式(2)所示， 其中，OL表示該重疊面積，n表示該些檢測頭的數量，i表示該些檢測頭來回移動於該第一邊與該第二邊之間的次數，w表示各該檢測頭的長度，y表示該空氣過濾網的高度，fw表示該邊框的寬度。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中在設定該移動程序的步驟中，更包括根據該重疊面積決定該些檢測頭沿著該第二邊的延伸方向移動的該設定距離。
  7. 如申請專利範圍第5項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中在使該些檢測頭移動前，更包括根據下列式(3)調整該些檢測頭之間的間距，G =OL ×2-w -----式(3)其中，G表示相鄰的兩個該些檢測頭之間的間距，OL 表示該重疊面積，w表示各該檢測頭的長度。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中在設定該移動程序的步驟中，更包括在第j次使該些檢測頭來回移動於該第一邊與該第二邊之間以前使該些檢測頭移動至一第j起始位置，其中j為正整數，且j小於或等於該些檢測頭來回移動於該第一邊與該第二邊之間的次數。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中在設定該移動程序的步驟中，更包括根據下列式(4)使各該檢測頭移動至該第j起始位置，P j =(w +G )×n +PO +P j -1 -----式(4)其中，Pj 表示該第j起始位置，Pj-1 表示一第j-1起始位置，w表示各該檢測頭的長度，G表示相鄰的兩個該些檢測頭之間的間距，PO表示一檢側頭偏移補償參數。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中該檢側頭偏移補償參數等於該設定距離。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中在設定該移動程序的步驟中，更包括設定該些檢測頭的一移動速率。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中設定該些檢測頭的該移動速率為20~150毫米/秒。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之空氣過濾網洩漏檢測方法，其中該測漏單元更包括：一傳動機構，其中該些檢測頭配置於該傳動機構上， 且該傳動機構適於帶動該檢測頭移動；n個粒子計數器，其中每個該粒子計數器連接於其中一個該檢測頭；以及一後端處理單元，與該傳動機構以及該些粒子計數器連接，以控制該傳動機構之作動以及讀出並處理該些粒子計數器所輸出的信號。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9772271B2 (en) * 2012-06-21 2017-09-26 Hamilton Associates, Inc. Apparatus for testing a filter
CN103033451A (zh) * 2012-12-12 2013-04-10 深圳市华星光电技术有限公司 一种储仓的空气微粒的检测系统及其检测方法
CN107110735A (zh) * 2014-10-05 2017-08-29 凯米费勒美国有限公司 非侵入式滤体扫描
CN104535471B (zh) * 2014-12-16 2017-06-13 广东美的制冷设备有限公司 空气净化设备过滤网状态的检测方法及装置
EP3491649A1 (en) 2016-08-01 2019-06-05 Curium US LLC Automated hepa filter integrity testing
JP6803607B2 (ja) * 2016-11-16 2020-12-23 株式会社エアレックス リーク検査支援装置及びこれを用いたリーク検査方法
US10578521B1 (en) 2017-05-10 2020-03-03 American Air Filter Company, Inc. Sealed automatic filter scanning system
CN108106786B (zh) * 2018-01-30 2024-02-20 唐山同海净化设备有限公司 一种用于生物安全过滤器的检测装置
US11181461B2 (en) * 2018-09-07 2021-11-23 American Air Filter Company, Inc. Filter testing apparatus and method
CN109406060B (zh) * 2018-12-10 2024-02-27 安徽高博过滤科技有限公司 一种滤清器气密性能试验台
CN111397903B (zh) 2019-01-03 2022-07-12 康明斯公司 用于检查微粒过滤器的系统和方法
SE543277C2 (en) * 2019-03-14 2020-11-10 Camfil Ab Aerosol distribution in filter testing systems
US11175210B2 (en) * 2019-06-24 2021-11-16 The Boeing Company System and methods for evaluating an air purification system
IT201900010134A1 (it) * 2019-06-26 2020-12-26 Sidel Participations Sas Impianto di trattamento di recipienti adatti a contenere un prodotto versabile
CN110812964B (zh) * 2019-10-22 2022-08-12 南京科赫科技有限公司 一种智能报警袋式除尘器
WO2025072813A1 (en) * 2023-09-28 2025-04-03 CertAir LLC Cleanroom certification and hepa filter scanning
CN119139833B (zh) * 2024-09-29 2025-10-14 湖北西塞山发电有限公司 一种火力发电厂煤尘处理回收装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4494403A (en) * 1982-07-14 1985-01-22 Flanders Filters, Inc. Filter testing apparatus and method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3715214A1 (de) * 1987-05-07 1988-11-17 Flaekt Ab Verfahren und vorrichtung zum pruefen von filtern
US7010960B1 (en) * 2003-10-10 2006-03-14 Grantham James I Scan device and method for testing filters for leaks
ATE479486T1 (de) * 2005-04-28 2010-09-15 Camfil Farr Inc Abgasfiltermodul mit mechanisch positionierbarer abtastsonde

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4494403A (en) * 1982-07-14 1985-01-22 Flanders Filters, Inc. Filter testing apparatus and method

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