TWI497050B - Rectangular plate-like crack inspection method and an inspection apparatus of - Google Patents
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Description
本發明係關於一種玻璃板等矩形板狀物之裂縫檢查方法及檢查裝置,本發明尤其係關於一種可迅速地對裂縫進行檢查而不必等待玻璃板等矩形板狀物之切斷完成之檢查方法。
先前,於品質管理方面,要求對玻璃板等矩形板狀物之端面之裂縫進行檢查,作為因應該要求的裝置,例如已提出有如下檢查裝置,該檢查裝置對透明基板之端面進行拍攝,使用該拍攝的圖像對透明基板之端面之缺陷等進行檢測(例如參照專利文獻1)。
[專利文獻1]國際專利公開第04/079352號小冊子
然而,專利文獻1所揭示之檢查裝置包括如下構成:於將透明基板切斷之後,對該切斷之後之透明基板之端面進行拍攝,基於該拍攝的圖像中之光之強度(濃度等)而對裂縫等缺陷進行檢測。因此存在如下問題:為了對透明基板之端面進行檢查,必需等待透明基板之切斷完成,從而無法迅速地對端面進行檢查。
本發明係鑒於如上所述之情形開發而成之發明,其目的在於提供一種可迅速地對裂縫進行檢查而不必等待玻璃板等矩形板狀物之切斷完成的檢查方法。
請求項1所揭示之發明係一種檢查方法,其使用設有刀刃之切割機而對作為切折對象之矩形板狀物之裂縫進行檢查,上述刀刃與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸,且自該一端面朝其相反側之另一端面移動,同時使上述矩形板狀物之表面產生成為切折之起點之劃痕,當到達上述另一端面時,解除對於上述表面及另一端面之接觸,該檢查方法之特徵在於包括如下步驟:檢測上述刀刃是否已與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸;將上述刀刃與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸之時點的該刀刃之位置,檢測為上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面之位置;將上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面之位置與既定之設定範圍作比較;以及基於上述比較之結果,判定上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面是否存在裂縫。
根據請求項1所揭示之發明,將刀刃與作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸之時點的該刀刃之位置,檢測為作為切折對象之矩形板狀物之一端面之位置,將該檢測出之作為切折對象之矩形板狀物之一端面的位置與既定之設定範圍作比較,基於該比較之結果,判定作為切折對象之矩形板狀物之一端面是否存在裂縫,因此,可不必等待矩形板狀物之切斷完成,而於矩形板狀物之切斷途中,檢查矩形板狀物之一端面是否存在裂縫,亦即,可使作為切折對象之矩形板狀物之表面產生成為切折之起點的劃痕,同時檢測該作為切折對象之矩形板狀物是否存在裂縫。
又,因刀刃與切折對象之矩形板狀物之一端面接觸而對裂縫進行檢測,因此,與非接觸地進行檢測之情形相比較,可使誤判定減少。
如請求項1所揭示之發明,請求項2所揭示之發明之特徵在於包括如下步驟:檢測上述刀刃與上述表面及另一端面之接觸是否已經解除;將上述刀刃與上述表面及另一端面之接觸解除之時點之該刀刃的位置,檢測為上述作為切折對象之矩形板狀物之另一端面之位置;將上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之另一端面的位置與既定之設定範圍作比較;以及基於上述比較之結果,判定上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之另一端面是否存在裂縫。
根據請求項2所揭示之發明,將刀刃與作為切折對象之矩形板狀物之表面及另一端面之接觸解除的時點之該刀刃之位置,檢測為作為切折對象之矩形板狀物之另一端面之位置,將該檢測出之作為切折對象之矩形板狀物之另一端面的位置與既定之設定範圍作比較,基於該比較之結果,判定作為切折對象之矩形板狀物之另一端面是否存在裂縫,因此,可不必等待矩形板狀物之切斷完成,而於矩形板狀物之切斷途中,檢查矩形板狀物之另一端面是否存在裂縫,亦即,可使作為切折對象之矩形板狀物之表面產生成為切折之起點之劃痕,同時檢測該作為切折對象之矩形板狀物是否存在裂縫。
又,於上述請求項1或2所揭示之發明中,矩形板狀物較佳為FPD用玻璃基板。原因在於:可高精度地對端面進行加工。
又,請求項3所揭示之發明係一種檢查裝置,其使用設有刀刃之切割機而對作為切折對象之矩形板狀物之裂縫進行檢查,上述刀刃與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸,且自該一端面朝其相反側之另一端面移動,同時使上述矩形板狀物之表面產生成為切折之起點之劃痕,當到達上述另一端面時,解除對於上述表面及另一端面之接觸,該檢查裝置之特徵在於包括:檢測上述刀刃是否已與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸的機構;將上述刀刃與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸之時點的該刀刃之位置,檢測為上述切折對象之矩形板狀物之一端面之位置的機構;將上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面的位置與既定之設定範圍作比較的機構;以及基於上述比較之結果,判定上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面是否存在裂縫的機構。
根據請求項3所揭示之發明,可提供不使用複雜之構成之切斷裝置、易於保養、可使步驟中之處理時間縮短且可靠性高之檢查方法及檢查裝置。本發明可適用於矩形板狀物之切折步驟,本發明適用於製造要求形狀品質或端面品質之精度之電子元件用之玻璃板。尤其適合於製造FPD用玻璃基板。
如以上之說明所述,根據本發明,可提供可迅速地對裂縫進行檢查而不必等待玻璃板等矩形板狀物之切斷完成之檢查方法。
以下,參照圖式,對本發明之玻璃板之裂縫檢查方法之較佳實施形態進行詳細說明。
圖1係用以對本發明之一實施形態即玻璃板之裂縫檢查方法中使用之玻璃切割機10所使用的玻璃刀刃部之動作進行說明之圖。圖2係本發明之一實施形態即玻璃板之裂縫檢查方法中使用之玻璃切割機10的系統構成圖。圖3係玻璃板之一般之製造步驟之說明圖。
[玻璃切割機之概要]
如圖3所示,一般而言,經由切折步驟(T1
)、倒角步驟(T2
)、清洗‧乾燥步驟(T3
)、以及測定步驟(T4
)等而製造平板顯示器用之玻璃板(例如,液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)用之玻璃板、場發射顯示器用之玻璃板、有機EL(Electroluminescence,電致發光)顯示器或有機EL平面光源用之玻璃板),上述切折步驟(T1
)將製造為特定之厚度之玻璃板切折為特定尺寸,上述倒角步驟(T2
)使用研削磨石或研磨磨石而對上述切折之後之玻璃板之端面實施倒角加工,上述清洗‧乾燥步驟(T3
)對上述倒角加工之後之玻璃板進行清洗‧乾燥,上述測定步驟(T4
)對上述清洗‧乾燥之後之玻璃板之外形形狀進行測定。
如圖1所示,玻璃切割機10係設有刀刃12b之裝置。刀刃12b係如下裝置,其用以與作為切折對象之玻璃板20之一端面(例如20a)接觸,且自該一端面(例如20a)朝其相反側之另一端面(例如20b)移動,同時使上述作為切折對象之玻璃板20之表面產生成為彎折之起點之劃痕。上述刀刃12b設置於切折步驟之上游側。作為切折對象之玻璃板20為矩形之玻璃板(例如長度數米×寬度數米×厚度數毫米左右),藉由眾所周知之搬送機構(未圖示)而搬送該作為切折對象之玻璃板20,將其定位且載置於玻璃切割機10之平台(未圖示)上。
玻璃切割機10使用刀刃12b而使定位且載置於上述平台上的作為切折對象之玻璃板20之表面產生作為彎折之起點之劃痕。又,與此同時,可檢測上述作為切折對象之玻璃板20是否存在裂縫。
[玻璃切割機之構成]
如圖1、圖2所示,本例中之玻璃切割機10對應於玻璃板20之四條邊而設有四個玻璃刀刃部12X1
~12Y2
、四個刀刃驅動機構14X1
~14Y2
、控制裝置16、以及記憶裝置18等。
如圖2所示,玻璃刀刃部12X1
~12Y2
分別包括:刀刃塊體12a、可上下移動地安裝於該刀刃塊體12a的刀刃12b(例如鑽石片)、以及接觸感應器之開關(未圖示)等,該開關例如當上述刀刃12b與玻璃板20之端面(例如20a)接觸而相對於刀刃塊體12a朝上方移動特定量時通電,當上述接觸解除,刀刃12b相對於刀刃塊體12a恢復至原來之狀態時不通電。
玻璃刀刃部12X1
、12X2
分別例如滑動自如地安裝於隔開固定間隔地配置且於X方向上延伸之兩根引導構件(未圖示)。同樣地,玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
例如滑動自如地安裝於隔開固定間隔地配置且於Y方向上延伸之兩根引導構件(未圖示)。
刀刃驅動機構14X1
、14X2
分別係用以使玻璃刀刃部12X1
、12X2
沿於X方向上延伸的引導構件(未圖示)而於X方向上直動之機構。例如,上述刀刃驅動機構14X1
、14X2
係包含連結於玻璃刀刃部12X1
、12X2
且於X方向上延伸之滾珠螺桿、以及用以使該滾珠螺桿旋轉之伺服馬達(均未圖示)等伺服機構。同樣地,刀刃驅動機構14Y1
、14Y2
分別係用以使玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
沿於Y方向上延伸之引導構件而於Y方向上直動之機構。例如,上述刀刃驅動機構14Y1
、14Y2
係包含連結於玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
且於Y方向上延伸之滾珠螺桿、以及用以使該滾珠螺桿旋轉之伺服馬達(均未圖示)等伺服機構。
控制裝置16包括MPU(Micro Processor Unit,微處理單元)或CPU(Central Processing Unit,中央處理單元)等運算‧控制機構,該運算‧控制機構係作為如下控制機構等而發揮功能,該控制機構等執行讀入至記憶裝置18之特定程式,藉此,對各個伺服馬達進行控制,使得玻璃刀刃部12X1
~12Y2
自原點位置移動至指令位置為止。
記憶裝置18為RAM(Random Access Memory,隨機存取記憶體)等記憶裝置,其預先儲存有既定之設定範圍(例如,無裂縫之正常之玻璃板之端面的位置±數毫米之範圍)。
[玻璃板之裂縫檢查方法]
其次,參照圖,說明用以使用上述玻璃切割機10對玻璃板之裂縫進行檢查之方法。圖4係用以對該方法進行說明之流程圖。以下之處理主要係藉由控制裝置16執行讀入至記憶裝置18之特定程式而實現。
於以下之處理中,將作為切折對象之玻璃板20定位且載置於玻璃切割機10之平台(未圖示)上。
控制裝置12對各伺服馬達進行控制,使得玻璃刀刃部12X1
~12Y2
(之刀刃12b)自原點位置移動至指令位置為止(步驟S10)。
各伺服馬達根據來自控制裝置16之控制而旋轉,從而使滾珠螺桿旋轉。藉此,玻璃刀刃部12X1
、12X2
自原點位置沿於X方向上延伸之引導構件,朝X方向(彼此相對向之方向)滑動,玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
自原點位置沿於Y方向上延伸之引導構件,朝Y方向(彼此相對向之方向)滑動(參照圖1)。
玻璃刀刃部12X1
、12X2
不久成為如下形態,即,各個刀刃12b與玻璃板20之一端面20a、20b接觸,且擱置於玻璃板20之表面(參照圖2)。藉此,玻璃刀刃部12X1
、12X2
各自之刀刃12b相對於刀刃塊體12a朝上方移動特定量,作為接觸感應器之開關通電。
同樣地,玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
不久成為如下形態,即,各個刀刃12b與玻璃板20之端面20c、20d接觸,且擱置於玻璃板20之表面(參照圖2)。藉此,玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
各自之刀刃12b相對於刀刃塊體12a朝上方移動特定量,作為接觸感應器之開關通電。
控制裝置16對作為接觸感應器之開關各自之通電狀態進行檢查(步驟S12),藉此,檢測玻璃刀刃部12X1
~12Y2
各自之刀刃12是否已與玻璃板20之一端面20a~20d接觸。
控制裝置16於檢測出上述開關之通電時(步驟S14:Yes之方向之分支),亦即,於檢測出玻璃刀刃部12X1
~12Y2
各自之刀刃12與玻璃板20之一端面20a~20d接觸時,將該通電之時點之玻璃刀刃部12X1
~12Y2
各自之刀刃12b的位置(該位置例如自控制裝置16取得)檢測為玻璃板20之一端面20a~20d之位置(步驟S16)。
繼而,控制裝置16將該檢測出之玻璃板20之一端面20a~20d之位置分別與既定的設定範圍(例如,預先儲存於記憶裝置18之無裂縫之正常之玻璃板的端面之位置±數毫米之範圍)作比較,藉此,進行玻璃板20之裂縫判定(步驟S18)。
亦即,若上述檢測出之玻璃板20之一端面20a~20d之位置處於既定的設定範圍外,則控制裝置16判定為該經檢測之玻璃板20之一端面20a~20d存在裂縫(步驟S18:朝向No之方向之分支),藉由顯示警報等而報知上述內容(步驟S30)。
另一方面,若上述檢測出之玻璃板20之一端面20a~20d之位置處於既定的設定範圍內,則控制裝置16判定為該經檢測之玻璃板20之一端面20a~20d不存在裂縫(步驟S18:朝向Yes之方向之分支),對各伺服馬達進行控制,使得玻璃刀刃部12X1
~12Y2
移動至指令位置為止(步驟S20)。
各伺服馬達根據來自控制裝置16之控制而旋轉,從而使滾珠螺桿旋轉。藉此,玻璃刀刃部12X1
、12X2
沿於X方向上延伸之引導構件,朝X方向(彼此相對向之方向)滑動,玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
沿於Y方向上延伸之引導構件,朝Y方向(彼此相對向之方向)滑動(參照圖1)。
玻璃刀刃部12X1
、12X2
一面使玻璃板20之表面產生於X方向上延伸之劃痕一面滑動,不久各個刀刃12b到達玻璃板20之另一端面20b、20a,解除對於玻璃板20之表面及端面20b、20a之接觸。藉此,玻璃刀刃部12X1
、12X2
各自之刀刃12b恢復至原來之狀態(亦即,各個刀刃12b相對於刀刃塊體12a朝下方移動特定量),作為接觸感應器之開關不通電。
同樣地,玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
一面使玻璃板20之表面產生於Y方向上延伸之劃痕一面滑動,不久各個刀刃12b到達玻璃板20之另一端面20d、20e,解除對於玻璃板20之表面及端面20d、20e之接觸。藉此,12Y1
、12Y2
各自之刀刃12b恢復至原來之狀態(亦即,各個刀刃12b相對於刀刃塊體12a朝下方移動特定量),作為接觸感應器之開關不通電。
控制裝置16對作為接觸感應器之開關各自之通電狀態進行檢查(步驟S22),藉此,檢測玻璃刀刃部12X1
~12Y2
各自之刀刃12是否已經解除與玻璃板20之表面及另一端面20a~20d接觸。
控制裝置16於檢測出上述開關未通電時(步驟S24:朝向Yes之方向之分支),亦即,於檢測出玻璃刀刃部12X1
~12Y2
各自之刀刃12解除與玻璃板20之表面及另一端面20a~20d接觸時,將該未通電之時點之玻璃刀刃部12X1
~12Y2
各自之刀刃12b的位置(該位置例如自控制裝置16取得)檢測為玻璃板20之另一端面20a~20d之位置(步驟S26)。
繼而,控制裝置16將上述檢測出之玻璃板20之另一端面20a~20d之位置分別與既定的設定範圍(例如預先儲存於記憶裝置18之無裂縫之正常之玻璃板的端面之位置±數毫米之範圍)作比較,藉此,進行玻璃板20之裂縫判定(步驟S28)。
亦即,若上述檢測出之玻璃板20之另一端面20a~20d之位置處於既定之設定範圍外,則控制裝置16判定為該經檢測之玻璃板20之另一端面20a~20d存在裂縫(步驟S28:朝向No之方向之分支),藉由顯示警報等而報知上述內容(步驟S30)。
另一方面,若上述檢測出之玻璃板20之另一端面20a~20d之位置處於既定之設定範圍內,則控制裝置16判定為該檢測出之玻璃板20之另一端面20a~20d不存在裂縫(步驟S28:朝向Yes之方向之分支),使處理結束。
如上所述,本實施形態之玻璃切割機10使用刀刃12b而使作為切折對象之玻璃板20之表面產生成為切折之起點之劃痕,同時檢測該作為切折對象之玻璃板20是否存在裂縫。
如以上之說明所述,根據本實施形態,將刀刃12b與作為切折對象之矩形板狀物即玻璃板20之一端面20a等接觸之時點的該刀刃12b之位置,檢測為玻璃板20之一端面20a等之位置,將該檢測出之玻璃板20之一端面20a等之位置與既定之設定範圍作比較(步驟S18),基於該比較之結果,判定玻璃板20之一端面20a等是否存在裂縫(步驟S18),因此,不必等待玻璃板20之切斷完成,而可於玻璃板20之切斷途中,檢查該玻璃板20之一端面20a等是否存在裂縫。
又,因刀刃12與作為切折對象之玻璃板20之一端面20a等接觸而對裂縫進行檢測,因此,與非接觸地進行檢測之情形相比較,可使誤判定減少。
又,根據本實施形態,將刀刃12b解除與作為切折對象之矩形板狀物即玻璃板20之表面及另一端面20b等接觸之時點的該刀刃12b之位置,檢測為玻璃板20之另一端面20b等之位置,將該檢測出之玻璃板20之另一端面20b等之位置與既定之設定範圍作比較,基於該比較之結果,判定玻璃板20之另一端面20b等是否存在裂縫(步驟S28),因此,不必等待玻璃板20之切斷完成,而可於玻璃板20之切斷途中,檢查該玻璃板20之另一端面20b等是否存在裂縫。
其次,對本發明之變形例進行說明。
於上述實施形態中,說明了作為切折對象之玻璃板20為平板顯示器用之玻璃板之例子,但本發明並不限定於此。例如,可將汽車用之玻璃板、或樹脂板等所有矩形板狀物作為切折對象。
又,於上述實施形態中,說明了玻璃刀刃部12X1
、12X2
(玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
亦相同)如圖1所示,分別朝彼此相對向之方向移動,但本發明並不限定於此。例如,亦可將玻璃刀刃部12X1
、12X2
(玻璃刀刃部12Y1
、12Y2
亦相同)控制為如圖5所示,分別朝同一方向移動。
又,於上述實施形態中,說明了分別設置有四個玻璃刀刃部12X1
~12Y2
之例子,但本發明並不限定於此。例如,即便為一個~三個或五個以上之玻璃刀刃部,亦可同樣地適用。
上述實施形態於所有之方面僅為單純之例示。不可解釋為藉由上述揭示而對本發明進行限定。本發明可不脫離其精神或主要特徵而以其他各種形式實施。
10...玻璃切割機
12a...刀刃塊體
12b...刀刃
12X1
~12Y2
...玻璃刀刃部
14X1
~14Y2
...刀刃驅動機構
16...控制裝置
18...記憶裝置
20...玻璃基板
20a...一端面
20b...另一端面
20c、20d...端面
S10、S12、S14、S16、S18、S20、S22、S24、S26、S28、S30...步驟
T1
...切折步驟
T2
...倒角步驟
T3
...清洗‧乾燥步驟
T4
...測定步驟
圖1係本發明之一實施形態即玻璃板之裂縫檢查方法中使用之玻璃切割機10中所使用的玻璃刀刃部之動作之說明圖。
圖2係本發明之一實施形態即玻璃板之裂縫檢查方法中使用之玻璃切割機10的系統構成圖。
圖3係玻璃板之製造步驟(切斷後之後續步驟)之說明圖。
圖4係用以說明用於檢查玻璃板20之裂縫之方法的流程圖。
圖5係本發明之一實施形態即玻璃板之裂縫檢查方法中使用之玻璃切割機10中所使用的玻璃刀刃部之動作(變形例)之說明圖。
10...玻璃切割機
12a...刀刃塊體
12b...刀刃
12X1
~12Y2
...玻璃刀刃部
14X1
~14Y2
...刀刃驅動機構
16...控制裝置
18...記憶裝置
20...玻璃基板
20a...一端面
20b...另一端面
20c、20d...端面
Claims (3)
- 一種矩形板狀物之裂縫檢查方法,其使用設有刀刃之切割機檢查作為切折對象之矩形板狀物之裂縫,上述刀刃與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸,且自該一端面朝其相反側之另一端面移動,同時在上述矩形板狀物之表面產生作為切折之起點之劃痕,當到達上述另一端面時,解除對於上述表面及另一端面之接觸,該矩形板狀物之裂縫檢查方法之特徵在於包括如下步驟:檢測上述刀刃是否已與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸;檢測上述刀刃接觸上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面之時點的該刀刃之位置,作為上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面之位置;將上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面之位置與既定之設定範圍作比較;以及基於上述比較之結果,判定上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面是否存在裂縫。
- 如請求項1之矩形板狀物之裂縫檢查方法,其中包括如下步驟:檢測上述刀刃與上述表面及另一端面之接觸是否已經解除;檢測上述刀刃與上述表面及另一端面之接觸解除之時點之該刀刃的位置,作為上述作為切折對象之矩形板狀物之另一端面之位置;將上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之另一端面的位置與既定之設定範圍作比較;以及基於上述比較之結果,判定上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之另一端面是否存在裂縫。
- 一種矩形板狀物之裂縫檢查裝置,其使用設有刀刃之切割機檢查作為切折對象之矩形板狀物之裂縫,上述刀刃與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸,且自該一端面朝其相反側之另一端面移動,同時在上述矩形板狀物之表面產生作為切折之起點之劃痕,當到達上述另一端面時,解除對於上述表面及另一端面之接觸,該矩形板狀物之裂縫檢查裝置之特徵在於包括:檢測上述刀刃是否已與上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面接觸的機構;檢測上述刀刃接觸上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面之時點的該刀刃之位置以作為上述切折對象之矩形板狀物之一端面之位置的機構;將上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面的位置與既定之設定範圍作比較的機構;及基於上述比較之結果,判定上述檢測出之上述作為切折對象之矩形板狀物之一端面是否存在裂縫的機構。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58198710A (ja) * | 1982-05-13 | 1983-11-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 自動型検査装置 |
| JPH09156940A (ja) * | 1995-12-01 | 1997-06-17 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板製造装置の板割れ検出機 |
| JP2002062122A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-28 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の形状測定方法及び形状測定装置 |
| JP2006300663A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Asahi Glass Co Ltd | 欠点検出システム |
| JP2009234819A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の切線加工装置及び切線加工方法 |
Family Cites Families (11)
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|---|---|---|---|---|
| JPS63150649A (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-23 | Omron Tateisi Electronics Co | 海苔検査装置 |
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| JP2002005923A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-09 | Nippon Kayaku Wasser Kk | コンクリート構造物の検査方法および装置 |
| KR100535569B1 (ko) * | 2003-05-31 | 2005-12-08 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 유리 기판에 존재하는 결함의 깊이방향 위치 검출방법 |
| JP4176622B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2008-11-05 | 日本板硝子株式会社 | 板状ガラスの欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
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| JP2009263200A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料スクライブ装置及び脆性材料スクライブ方法 |
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58198710A (ja) * | 1982-05-13 | 1983-11-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 自動型検査装置 |
| JPH09156940A (ja) * | 1995-12-01 | 1997-06-17 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板製造装置の板割れ検出機 |
| JP2002062122A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-28 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の形状測定方法及び形状測定装置 |
| JP2006300663A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Asahi Glass Co Ltd | 欠点検出システム |
| JP2009234819A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の切線加工装置及び切線加工方法 |
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