TWI488791B - 搬運器裝置 - Google Patents

Description

搬運器裝置

此處所討論之實施例係針對搬運器裝置。

已知有習知搬運器裝置，其置放搬運用於半導體晶圓或液晶面板的板之多接頭機器人在被稱作EFEM(設備前端模組)的搬運器室中。

習知搬運器裝置的搬運器室大體上具有由壁所圍繞之矩形實心的形狀。構成周圍壁的一部分之縱向側壁係設置有與外面相通之複數個連接孔。板的儲存容器及處理室係透過連接孔彼此相通。

置放在搬運器室中之多接頭機器人通常被設置接近於搬運器室的一側壁。此處，大致多接頭機器人包括手臂部，其包括底端透過第一主軸連接在基板上之第一手臂，以及底端透過第二主軸連接到第一手臂的前導端之第二手臂，以及前導端係設置有手。多接頭機器人驅動複數個手臂及手臂部的手，以使手存取儲存容器及處理室。

如在例如日本先行公開專利出版號碼2008-28134一般已知習知技術。

然而，當將板搬運出或搬運入想要的儲存容器或處理室時，習知搬運器裝置應該使多接頭機器人在將多接頭機器人的第一手臂、第二手臂、及手彼此連鎖的同時執行極複雜的動作。因此，具有手到儲存容器或處理室之存取速 度被降低的可能性。而且，具有手的存取位置之精確性連同複雜動作一起被降低的可能性。

實施例的態樣之目的在於設置搬運器裝置，其能夠提高手到儲存容器或處理室之存取速度以及存取位置的精確性。

根據實施例的態樣之搬運器裝置包括：搬運器室，其具有板搬運空間；機器人，其置放在搬運器室中之一縱向側壁附近；以及線性移動機構，其具有沿此機器人線性移動在搬運器室的縱向方向上之軌道。搬運器室的板搬運空間係由被壁所圍繞之大體上矩形實心所形成，及係設置有並排設置在周圍壁的縱向側壁上以與外面相通之複數個連接孔。機器人的底端係設置在基座上，以透過手臂主軸可水平旋轉，以及前導端係設置有單一手臂，在其上固持透過連接孔搬運進搬運出的板之手係設置成可水平旋轉。機器人的手臂被界定成即使手臂繞著手臂主軸旋轉手臂仍未干擾另一側縱向側壁之長度。而且，線性移動機構的軌道具有垂直於軌道之手的前導端到達位在複數個連接孔中之一端的連接孔中之預定位置的長度。

根據實施例的態樣，能夠提高手到儲存容器或處理室之存取速度以及存取位置的精確性。

在下文中，將參考附圖詳細說明根據本揭示的實施例之搬運器裝置。此外，下面所揭示的實施例並不想要限制本發明。

首先，將參考圖1至3說明根據實施例之搬運器裝置10的概要。圖1為根據本實施例之搬運器裝置10的概要平面圖。圖2為搬運器裝置10的概要側視圖。圖3為搬運器裝置10的方塊圖。

如圖1及2所示，搬運器裝置10包括搬運器室1，其係設置有與外面相通之複數個連接孔11；以及水平搬運機器人2，其置放在搬運器室1中，及可搬運用於半導體晶圓或液晶面板之板4。

搬運器室1通常為被稱作EFEM(設備前端模組)的局部潔淨室，及具有由壁所圍繞之大體上矩形實心板搬運空間170。壁係由第一縱向側壁110、第二縱向側壁120、第一短側壁130、第二短側壁140、天花板壁150、及地板壁160所組成。此處，第一縱向側壁110、第二縱向側壁120、第一短側壁130、及第二短側壁140可被稱作周圍壁。而且，地板壁160的下表面係設置有腳180，其將搬運器室1支撐在安裝表面100上。

搬運器室1設置將用以淨化氣體之過濾器儲存在其內的過濾器單元190在天花板壁150內部。在搬運器室1與外面隔離的狀態下，搬運器室1係由過濾器單元190所淨化，及藉由使用落下的淨化空氣流來清潔其內部。

在構成搬運器室1之周圍壁的一部分之第一及第二縱 向側壁110及120中，將複數個連接孔11設置成一線。

在本實施例中，被稱作FOUP(前開式晶圓盒)及可以多階段方式將諸如晶圓等板4儲存在其內之儲存容器3係裝附至以預定間距形成在第一縱向側壁110中的兩個連接孔11。

而且，在板4上執行諸如CVD(化學氣相沉積)、曝光、蝕刻、灰化等預定處理之處理室5係裝附至形成在第二縱向側壁120中之三個連接孔11。

同時，儲存容器3及處理室5係透過諸如開閉器(未圖示)等打開及關閉室裝附至連接孔11。驅動打開及關閉構件之打開及關閉機構7(見圖3)係設置在固持儲存容器3的儲存容器檯30及固持處理室5的處理室檯50中。

在根據本實施例之搬運器裝置10中，與兩側處理室5比較，中央處理室5為大型室。然而，可適當設定處理室5的尺寸或形狀。而且，被稱作FOUP之儲存容器3的形狀及組態以及連接這些容器之搬運器室1具有依據SEMI(國際半導體設備暨材料組織)標準的結構就足夠。

根據本實施例之機器人2被置放在第一縱向側壁110附近，及包括設置有固持透過連接孔11搬運進搬運出之板4的手23之單一手臂21。

單一手臂21的底端係透過手臂主軸210設置在基座20上以可水平旋轉，及前導端係設置有手23以透過手主 軸230可水平旋轉(在下文中，“水平旋轉”可被表示做“轉動”)。而且，手23可具有手能夠置放在其上及藉由其叉狀前導端搬運板4之組態、手可吸收板4之組態、或手可抓握板4之組態。

手臂主軸210及手主軸230係連接到轉動機構(未圖示)，其包括電動機、減速機等等。

支撐單一手臂21之柱狀手臂主軸210係裝附至基座20，以藉由儲存在基座20中之舉起及降下機構250來自由舉起或降下。

而且，搬運器裝置10包括線性移動機構6，其具有沿此機器人2線性移動在搬運器室1的縱向方向(長度方向)上之軌道60。

如圖1及2所示，線性移動機構6係置放在搬運器室1之第一縱向側壁110的大體上中央，被左及右儲存容器3所夾置。

換言之，線性移動機構6在第一縱向側壁110的大體上中央包括機殼600，其被置放成位在左及右儲存容器3之間。充作線性致動器之滾珠螺桿機構61係置放在機殼600中。而且，具有與板運送空間170及機殼600相通的縫隙之軌道60係形成在面向搬運器室1的板運送空間170之機殼600的側邊上。

如圖2所示，滾珠螺桿機構61包括：滾珠螺桿軸610，其延伸在機殼600下方的縱向方向上；以及驅動電動機620，其耦合至滾珠螺桿軸610的一端。而且，可利 用線性電動機來取代滾珠螺桿機構。

而且，根據本實施例之線性移動機構6包括儲存框架630，其可儲存機器人2在其內及沿著軌道60移動。如圖2所示，可在機器人儲存於儲存框架630之狀態中移動機器人2。

延伸在縱向方向上之引導軸632係置放在機殼600中。另一方面，如圖2所示，與引導軸632嚙合來滑動之引導手臂631係設置在儲存框架630的背面。引導手臂631從形成在機殼600的頂部上之軌道60延伸到機殼600內，另外其引導端向下摺疊。摺疊部及引導軸632係彼此嚙合。

因此，當驅動線性移動機構6的驅動電動機620時，在搬運器室1的縱向方向上，透過儲存框架630，機器人2連同基座20滑順且穩定地線性移動。

而且，如圖3所示，根據本實施例之搬運器裝置10包括控制裝置8，其執行包括單一手臂21及手23的旋轉操作之機器人2的操作控制，以及線性移動機構6的操作控制。

如圖3所示，控制裝置8包括通訊I/F(介面)81、控制單元82、記憶體單元83、及指令單元84。

機器人2的各個驅動系統、包括線性移動機器人2的線性致動器之線性移動機構6、及驅動儲存容器3及處理室5的打開及關閉構件之打開及關閉機構7係連接到控制裝置8。而且，下面欲待說明之高階裝置9係透過通訊 I/F 81連接到控制裝置8。

此處，通訊I/F 81為在控制裝置8與高階裝置9之間執行通訊資料的輸送及接收之裝置。例如，為了更新儲存在記憶體單元83中之各種程式，通訊I/F 81可從高階裝置9接收適當資料。

記憶體單元83為諸如RAM(隨機存取記憶體)、ROM(唯讀記憶體)、及硬碟等裝置。記憶體單元83儲存機器人2、線性移動機構6、以及打開及關閉機構7的驅動程式。

控制單元82包括諸如中央處理單元(CPU)等算術單元。根據儲存在記憶體單元83中之驅動程式，透過指令單元84，控制單元82輸出驅動訊號到機器人2、線性移動機構6、以及打開及關閉機構7。通常，用於打開及關閉機構7的驅動訊號係輸出自高階裝置9。

而且，控制單元82計算基座20及手臂部200上之機器人2的預定基座點之位置，及依據基座點來執行手23直到儲存容器3及處理室5之移動距離的計算處理。

在根據本實施例之機器人2中，手臂主軸210及手主軸230的中央以及置放在手23上之板4的中央被使用作為手臂部200的基座點。基座20的下表面中央被使用作為基座20的基座點。

如上述，控制單元82計算及管理機器人2的位置資訊，以控制機器人2的動作。

然後，控制單元82依據計算結果來控制線性移動機 構6、手臂部200、以及舉起及降下機構250。例如，控制單元82使機器人2能夠在其縱向方向上移動到搬運器室1的適當位置，同時若需要的話驅動“舉起及降下機構250”及“單一手臂21及手23”二者或其中之一，以此種方式，使板4能夠在最短時間內被搬運到想要的位置。以此方式，機器人2能夠適當舉起或降下及轉動單一手臂21，以使板4能夠透過連接孔11進出以及在想要的位置搬運所固持的板4。

換言之，根據本實施例之搬運器裝置10的控制裝置8可同時致動線性移動機構6只用於簡易的直線動作，以及機器人2的單一手臂21及手23，以使手23能夠存取想要的位置。

如上述，根據本實施例之搬運器裝置10不需要複雜的控制來移動習知搬運器裝置的機器人之兩或更多個手臂，如此只執行簡易操作控制的組合。因此，能夠提高手23到儲存容器3及處理室5之存取速度。而且，能夠提高手23的存取位置之精確性。

除了上述組態之外，根據本實施例之搬運器裝置10另具有下面組態。

換言之，即使機器人2的單一手臂21繞著手臂主軸210旋轉，單一手臂21的長度仍被界定，使得其前導端不干擾第二縱向側壁120。換言之，如圖1所示，單一手臂21的轉動軌道R未接觸第二縱向側壁120及處理室5。

因此，若手23具有手未從單一手臂21的前導端突出之姿勢，則控制裝置8可隨時驅動線性移動機構6，及可以高速在軌道60的兩端之間的想要位置中移動機器人2。

換言之，因為藉由線性移動機構6的線性移動不需要複雜的控制，所以機器人可以高速移動。而且，因為根據本實施例之控制裝置8同時致動線性移動機構6以及機器人2的“單一手臂21及手23”，所以控制裝置8可使手23在最短時間內存取想要的儲存容器3或處理室5。

線性移動機構6的軌道60被界定成最小必要長度，以用於垂直於軌道60的手23之前導端到達位在複數個連接孔11中的端之連接孔11中的預定位置。換言之，軌道60被界定成最小必要長度，以用於被固持在手23中之板4到達位在複數個連接孔11中的端之連接孔11中的預定位置。

換言之，軌道60的長度比搬運器室1的第一及第二縱向側壁110及120短相當多。然而，即使機器人2未直接面對透過連接孔11所連接之儲存容器3或處理室5，尤其是位在端部之儲存容器3或處理室5，連接到斜的單一手臂21之手23的前導端仍能夠在垂直於軌道60之姿勢中到達連接孔11的預定位置。

以此方式，因為能夠盡可能減少軌道60的長度，所以例如用以安裝諸如機器人控制器等任何裝置的空間可被設置在搬運器室1的第一縱向側壁110之兩角附近。因 此，根據本實施例之搬運器裝置10，可有效使用搬運器室1的內部。

而且，軌道60的長度可使手23在手直接面向儲存容器3及處理室5的姿勢中存取位在端部中之儲存容器3及處理室5，並且可使手23存取接近機器人2的手臂主軸210之儲存容器3及處理室5。換言之，以手23能夠滑順地存取接近手臂主軸210之儲存容器3及處理室5的此種方式，考慮及界定使機器人2能夠與儲存容器3及處理室5保持距離之足夠長度。

而且，在根據本實施例之搬運器裝置10中，線性移動機構6的軌道60未設置在搬運器室1的地板壁160上而是設置在周圍壁上。因此，不可能對從過濾器單元190降下的潔淨空氣之氣流有不好的影響。然而，並未禁止將線性移動機構6的軌道60設置在搬運器室1的地板壁160上。

此處，特別說明根據本實施例之搬運器裝置10的板搬運操作。根據上述的驅動程式來執行搬運操作的控制處理。

圖4及5為搬運器裝置10的搬運操作之例子的概要說明圖。首先，將參考圖4說明位在第二縱向側壁120之圖式的左側之處理室5中的手23例如存取面向處理室之左側儲存容器3的搬運操作。

在圖4及5中，為了方便，並未圖解板4，及省略詳細組件的參考號碼。

圖4的(a)之狀態為由機器人2固持終止預定處理的板4之狀態。如圖4(a)所示，根據本實施例之搬運器裝置10的機器人2係位在線性移動機構6之軌道60(見圖1)的一端(圖4的左端)。此時，單一手臂21的前導端係指向對角左方向，及手23直直地擠入處理室5內。

從此狀態，機器人2移動在軌道60的右方向上，及單一手臂21繞著手臂主軸210旋轉。以此方式，線性移動機構6與單一手臂21及手23同時被致動，如此手23及所固持的板4被向後牽引，而未干擾處理室5的內壁，如圖4的(b)所示。

然後，手23係繞著手主軸230旋轉，及手23的前導端係指向第一縱向側壁110，如圖4的(c)所示。

然後，如圖4的(d)所示，機器人2係移動在軌道60的左方向上，及單一手臂21係朝向第一縱向側壁110旋轉。

接著，如圖4的(e)所示，機器人2係移動在軌道60的右方向上，及單一手臂21繼續朝向第一縱向側壁110旋轉。同時，在旋轉手的同時控制手23的姿勢，手23存取儲存容器3，及儲存所處理的板4。

接著，將參考圖5說明使位在圖式的左側之處理室5中的手23能夠存取與處理室對角相對之右側儲存容器3的搬運操作。

圖5的(a)至(c)之機器人2的操作與上述圖4之 (a)至(c)的操作相同。

藉由從手23的前導端係指向第一縱向側壁110之圖5的(c)之狀態驅動線性移動機構6，機器人2係移動在軌道60的右方向上(見圖1)，如圖5的(d)所示。

此時，單一手臂21係繞著手臂主軸210旋轉，及手23係繞著手主軸230旋轉。手臂部200係從第二短側壁140附近平行移動到第一短側壁130附近，如圖5的(e)所示。

接著，如圖5的(f)所示，機器人2係移動在軌道60的左方向上，及單一手臂21係朝相第一縱向側壁110旋轉。同時，在旋轉手23的同時控制手23的姿勢，手23存取右側儲存容器3，及儲存所處理的板4。

可選擇例子

圖6A至6C圖解搬運器裝置10的可選擇例子。在圖6A至6C所示之可選擇例子中，與上述根據實施例之搬運器裝置10的組件相同之組件具有相同參考號碼，及省略其說明。

第一可選擇例子

將說明圖6A所示之可選擇例子。在上述實施例中，已說明線性移動構件6係設置在搬運器室1的第一縱向側壁110中(見圖1及2)。然而，在圖6A所示之搬運器裝置10中，線性移動機構6係置放在第二縱向側壁120 中。此可選擇例子亦具有與根據實施例的搬運器裝置10之效果相同的效果。

而且，在實施例中已說明線性移動機構6係置放在左及右儲存容器3之間。然而，在根據可選擇例子之搬運器裝置10中，線性移動機構6係置放在設置於第二縱向側壁120中的左及右處理室5之間。

而且，依據處理室5及儲存容器3的高度，或藉由適當改變這些尺寸，線性移動機構6可被置放成，與當從頂部觀看時之位置大體上相同的位置與處理室5及儲存容器3重疊。

第二可選擇例子

接著，將說明圖6B所示之可選擇例子。在圖6B所示之搬運器裝置10中，三個儲存容器3係裝附至第一縱向側壁110，及大體上相同尺寸的三個處理室5係設置在第二縱向側壁120中。換言之，裝附儲存容器3及處理室5之連接孔11的其中之一係位在其縱向方向上的第一及第二縱向側壁110及120之大體上中央。

此處，線性移動機構6係設置在搬運器室1的地板壁160中(見圖2)。在線性移動機構6之事例中，可使用滾珠螺桿機構61、線性電動機等等作為線性致動器。例如，線性電動機係置放在縱向方向上之第一縱向側壁110附近，及機器人2係藉由線性電動機連同基座20一起移動。此可選擇例子具有與上述根據實施例的搬運器裝置 10之效果相同的效果。

第三可選擇例子

在圖6C所示之搬運器裝置10中，三個儲存容器3係裝附至第一縱向側壁110，及大體上相同尺寸的三個處理室5係設置在第二縱向側壁120中。

如圖6C所示，在本可選擇例子中，線性移動機構6係設置在地板壁160的第二縱向側壁120附近(見圖2)。在此事例中，線性移動機構6具有與上述第二可選擇例子之組態相同的組態。

根據第三可選擇例子之搬運器裝置10具有與根據上述實施例及可選擇例子的搬運器裝置10之效果相同的效果。

同時，圖6B及6C所示之第二及第三可選擇例子具有軌道60比根據實施例及第一可選擇例子之線性移動機構6長之組態。因此，藉由移動機器人2直到適當位置，手23可容易地存取並排配置在第一縱向側壁110及第二縱向側壁120的縱向方向上之儲存容器3及處理室5中的中央儲存容器3及處理室5。

在圖6B及6C所示之可選擇例子中，線性移動機構6(軌道60)被置放成具有藉由使用中央儲存容器3或處理室5的中間位置作為標準而等距延伸左及右之長度。然而，線性移動機構6的長度滿足用於垂直於軌道60之手23的前導端到達位在複數個連接孔11中之端的連接孔11 中之預定位置的最小必要長度條件較佳。

因此，線性移動機構6亦可被界定成用於垂直於軌道60之手23的前導端到達中央儲存容器3或處理室5以及到達位在左及右端的其中之一的連接孔11中之預定位置的最小必要長度。換言之，線性移動機構6可藉由使用中央儲存容器3或處理室5的中間位置作為標準而未均等地延伸在左及右的任何方向上。

在第一及第二可選擇例子中，已說明線性移動機構6係置放在地板壁160中。然而，線性移動機構6可裝附於第一及第二縱向側壁110及120的任何壁表面上，如同實施例及可選擇例子所說明一般(見圖1至5)。

以此方式，線性移動機構6可置放在第一及第二縱向側壁110及120的任何壁表面上，或者可設置在其與處理室5或儲存容器3重疊之狀態中。而且，線性移動機構6未設置在第一及第二縱向側壁110及120上，而是可設置在接近第一及第二縱向側壁110及120的任一個之地板壁160上。

如上述，根據本實施例之搬運器裝置10包括手臂部200以及線性移動機構6的組合，手臂部200包括係設置有手23的單一手臂21，而線性移動機構6在搬運器室1的縱向方向上直線移動手臂部200及基座20。然後，搬運器裝置10同時致動手臂部200及線性移動機構6。因此，在有效使用搬運器室1中之板搬運空間170的同時，能夠提高手23到儲存容器3及處理室5的存取速度以及 提高存取位置的精確性。

同時，根據本實施例之搬運器裝置10的機器人2為一手臂機器人，其具有包括單一手臂21及手23之一手臂部200。然而，機器人2可以是具有兩手臂部200之兩手臂機器人，或者可以是具有三或更多個手臂部200之多手臂機器人。當機器人2為兩手臂機器人時，機器人2可藉由使用一手臂部200透過預定連接孔11來取出板4，而藉由另一手臂部200透過連接孔11來放入新板4，以同時執行兩工作操作。

已說明根據本實施例之機器人2具有單一手23。然而，機器人2可具有複數個手係以多階段方式設置在單一手臂21的前導端上之組態。

R‧‧‧轉動軌道

1‧‧‧搬運器室

2‧‧‧機器人

3‧‧‧儲存容器

4‧‧‧板

5‧‧‧處理室

6‧‧‧線性移動機構

7‧‧‧打開及關閉機構

8‧‧‧控制裝置

9‧‧‧高階裝置

10‧‧‧搬運器裝置

11‧‧‧連接孔

20‧‧‧基座

21‧‧‧單一手臂

23‧‧‧手

30‧‧‧儲存容器檯

50‧‧‧處理室檯

60‧‧‧軌道

61‧‧‧滾珠螺桿機構

81‧‧‧通訊介面

82‧‧‧控制單元

83‧‧‧記憶體單元

84‧‧‧指令單元

100‧‧‧安裝表面

110‧‧‧第一縱向側壁

120‧‧‧第二縱向側壁

130‧‧‧第一短側壁

140‧‧‧第二短側壁

150‧‧‧天花板壁

160‧‧‧地板壁

170‧‧‧板搬運空間

180‧‧‧腳

190‧‧‧過濾器單元

200‧‧‧手臂部

210‧‧‧手臂主軸

230‧‧‧手主軸

250‧‧‧舉起及降下機構

600‧‧‧機殼

610‧‧‧滾珠螺桿軸

620‧‧‧驅動電動機

630‧‧‧儲存框架

631‧‧‧引導手臂

632‧‧‧引導軸

藉由參考連同附圖一起考量之下面的詳細說明，由於更加瞭解本發明，所以更容易獲得本發明更完整的體會及其附加有利點，其中：圖1為根據實施例之搬運器裝置的概要平面圖；圖2為搬運器裝置的概要側視圖；圖3為搬運器裝置的方塊圖；圖4為搬運器裝置的搬運操作之例子的概要說明圖；圖5為搬運器裝置的搬運操作之例子的概要說明圖；圖6A為根據第一可選擇例子之搬運器裝置的概要平面圖； 圖6B為根據第二可選擇例子之搬運器裝置的概要平面圖；以及圖6C為根據第三可選擇例子之搬運器裝置的概要平面圖。

1‧‧‧搬運器室

2‧‧‧機器人

3‧‧‧儲存容器

4‧‧‧板

5‧‧‧處理室

6‧‧‧線性移動機構

10‧‧‧搬運器裝置

11‧‧‧連接孔

20‧‧‧基座

21‧‧‧單一手臂

23‧‧‧手

60‧‧‧軌道

110‧‧‧第一縱向側壁

120‧‧‧第二縱向側壁

130‧‧‧第一短側壁

140‧‧‧第二短側壁

170‧‧‧板搬運空間

200‧‧‧手臂部

600‧‧‧機殼

631‧‧‧引導手臂

Claims (8)

1. 一種搬運器裝置，包含：搬運器室，其具有由壁所圍繞之大體上矩形實心板搬運空間，及具有並排設置在周圍壁的縱向側壁中以與外面相通之複數個連接孔；機器人，其置放在該搬運器室中之該一縱向側壁附近，及其底端係設置在基座上以透過手臂主軸可水平旋轉，而前導端係設置有手臂部，在該手臂部上設置有可水平旋轉的手，該手固持欲待透過該連接孔搬運進搬運出的板；線性移動機構，其使支持該手臂部的該基座沿著沿該縱向側壁的軌道線性移動；以及控制裝置，其控制該手臂部與該線性移動機構的動作，其中該機器人的該手臂部具有單一手臂，該單一手臂被界定成將該底端設置成透過該手臂主軸可水平旋轉且在該前導端透過手主軸設置有該手，且該單一手臂被界定成即使該單一手臂繞著該手臂主軸旋轉而仍未干擾另一側縱向側壁之長度，以及該控制裝置使該基座的運行、該單一手臂的旋轉及該手的旋轉連動，使得當該手分別到達兩端的該連接孔的預定位置時，以讓到達該預定位置的該手的姿勢成為與該連接孔垂直的方式，將該基座保持在相對於所到達的該連接孔的前面位於接近另一端的連接孔側之狀態。
2. 根據申請專利範圍第1項之搬運器裝置，其中該複數個連接孔的至少其中之一係位在其縱向方向上的該縱向側壁之大體上中央中，以及該線性移動機構的該軌道具有垂直於該軌道之該手的該前導端到達位在該大體上中央之該連接孔中的預定位置之長度。
3. 根據申請專利範圍第1項或第2項之搬運器裝置，其中，該線性移動機構的該軌道被界定成用於垂直該軌道之該手的該前導端到達位在該複數個連接孔中之該端的該連接孔之預定位置中的最小必要長度。
4. 根據申請專利範圍第1項之搬運器裝置，其中，該控制裝置執行包括該單一手臂的旋轉操作之該機器人的操作控制以及該線性移動機構的操作控制。
5. 根據申請專利範圍第4項之搬運器裝置，其中，該控制裝置同步致動該線性移動機構及該機器人的至少該單一手臂。
6. 根據申請專利範圍第1項之搬運器裝置，其中，該線性移動機構包括線性致動器，其連同該基座一起傳送該機器人。
7. 根據申請專利範圍第1項之搬運器裝置，其中，該線性移動機構的該軌道係設置在該一縱向側壁中。
8. 根據申請專利範圍第1項之搬運器裝置，其中該線性移動機構具有沿著該軌道移動之儲存框架，以及 該機器人係置放在該儲存框架中。