JP2013168441A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ハンドの収納容器や処理室へのアクセス速度、およびアクセスする位置精度を向上可能とした搬送装置を提供すること。
【解決手段】搬送室と、搬送室内の一側の長手側壁体寄りに配設されたロボットと、ロボットを搬送室の長手方向に直線移動させる走行路を有する直動機構とを備える。搬送室の周壁の一部を構成する長手側壁体には、外部と連通する複数の連通口部が並設される。ロボットは、基端部が基台上にアーム支軸を介して水平回転可能に設けられ、先端部には、連通口部を介して出し入れされる基板を保持するハンドが設けられたアームを有する。アームは回転してもアームの先端自体は長手側壁体と干渉しない長さに、また、走行路は、走行路と直交する姿勢のハンドの先端が、複数の連通口部のうち、端に位置する連通口部内の所定位置に達する長さを有する。
【選択図】図１

Description

開示の実施形態は、搬送装置に関する。

従来、半導体ウェハや液晶パネル用の基板を搬送する多関節ロボットを、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と呼ばれる搬送室内に配設した搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１を参照）。

上記した従来の搬送装置における搬送室は、壁体によって囲まれて略直方体に形成されており、周壁の一部を構成する長手側壁体には、外部と連通する複数の連通口部が並設されている。そして、連通口部を介して、基板の収納容器および基板の処理室を連通させている。

また、搬送室内に配設される多関節ロボットは、通常、搬送室の一側側壁に近接して設置されている。また、一般的な多関節ロボットの構成は、基台上に第１の支軸を介して基端部が連結された第１のアームと、第１のアームの先端部に、第２の支軸を介して基端部が連結され、先端部にハンドが設けられた第２のアームを備えたアーム部を備えている。そして、アーム部の複数のアームとハンドとを駆動して、収納容器や処理室にハンドをアクセスさせている。

特開２００８−２８１３４号公報

しかしながら、上記従来の搬送装置では、所望する収納容器や処理室に、基板を搬出あるいは搬入しようとすると、多関節ロボットの第１のアーム、第２のアーム、およびハンドを、互いに連動させながら極めて複雑な動きをさせなければならない。そのため、ハンドの収納容器や処理室へのアクセス速度が低下するおそれがある。また、複雑な動きに伴い、ハンドのアクセス位置の精度が低下するおそれもある。

開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、ハンドの収納容器や処理室へのアクセス速度、およびアクセスする位置精度を向上可能とした搬送装置を提供することを目的とする。

実施形態の一態様に係る搬送装置は、基板搬送空間を有する搬送室と、当該搬送室内の一側の長手側壁体寄りに配設されたロボットと、当該ロボットを前記搬送室の長手方向に直線移動させる走行路を有する直動機構とを備える。搬送室の基板搬送空間は、壁体によって囲まれて略直方体に形成され、周壁の一部を構成する長手側壁体に、外部と連通する複数の連通口部が並設されている。ロボットは、基端部が基台上にアーム支軸を介して水平回転可能に設けられるとともに、先端部には、前記連通口部を介して出し入れされる基板を保持するハンドが水平回転可能に設けられた単一のアームを有する。そして、前記ロボットの前記アームは、前記アーム支軸を中心に回転しても当該アームは他側の長手側壁体と干渉しない長さに規定されている。さらに、前記直動機構の前記走行路は、当該走行路と直交する姿勢の前記ハンドの先端が、前記複数の連通口部のうち、端に位置する連通口部内の所定位置に達する長さを有する。

実施形態の一態様によれば、収納容器や処理室へのハンドのアクセス速度アップ、およびアクセスする位置の精度向上を図ることが可能となる。

図１は、本実施形態に係る搬送装置の平面視による模式的説明図である。 図２は、同搬送装置の側面視による模式的説明図である。 図３は、同搬送装置のブロック図である。 図４は、同搬送装置における搬送動作の一例を示す模式的説明図である。 図５は、同搬送装置における搬送動作の一例を示す模式的説明図である。 図６Ａは、第１の変形例に係る搬送装置の平面視による模式的説明図である。 図６Ｂは、第２の変形例に係る搬送装置の平面視による模式的説明図である。 図６Ｃは、第３の変形例に係る搬送装置の平面視による模式的説明図である。

以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送装置の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

まず、本実施形態に係る搬送装置１０の概要について、図１〜図３を用いて説明する。図１は、本実施形態に係る搬送装置１０の平面視による模式的説明図、図２は、搬送装置１０の側面視による模式的説明図、図３は、搬送装置１０のブロック図である。

図１および図２に示すように、搬送装置１０は、外部と連通する複数の連通口部１１が設けられた搬送室１と、搬送室１内に配設され、半導体ウェハや液晶パネル用の基板４を搬送可能とした水平搬送型のロボット２とを備えている。

搬送室１は、一般的にＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と呼ばれる局所クリーンルームであり、壁体によって囲まれた略直方体の基板搬送空間１７０を有する。壁体は、第１の長手側壁体１１０、第２の長手側壁体１２０、第１の短手側壁体１３０、第２の短手側壁体１４０、天井壁体１５０、および床壁体１６０から構成される。なお、第１の長手側壁体１１０、第２の長手側壁体１２０、第１の短手側壁体１３０、および第２の短手側壁体１４０を周壁と呼ぶ場合がある。また、床壁体１６０の下面には、搬送室１を設置面１００上で支持する脚具１８０が設けられている。

また、搬送室１は、天井壁体１５０の内側に、気体を浄化するフィルタを収納したフィルタ部１９０が設けられており、外部と遮断した状態で、フィルタ部１９０により浄化されてダウンフローされる清浄気流により内部をクリーン化している。

複数の連通口部１１は、搬送室１の周壁の一部を構成する第１、第２の長手側壁体１１０，１２０に、それぞれ横並びに設けられている。

本実施形態では、第１の長手側壁体１１０に所定の間隔をあけて形成した２つの連通口部１１に、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれ、ウェハなどの基板４を多段に収容可能とした収納容器３を取付けている。

また、第２の長手側壁体１２０に形成した３つの連通口部１１には、たとえば、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）、露光、エッチング、アッシングといった所定の処理を基板４に対して行う処理室５をそれぞれ取付けている。

ところで、収納容器３および処理室５は、図示しないシャッタなどの開閉部材を介して連通口部１１に取付けられている。そして、かかる開閉部材を駆動する開閉機構７（図３を参照）が、収納容器３を保持する収納容器テーブル３０および処理室５を保持する処理室テーブル５０の内部に設けられている。

なお、本実施形態に係る搬送装置１０では、中央の処理室５を両隣の処理室５に比べて大型の構成としている。しかし、処理室５の大きさや形状などは、適宜設定可能である。また、ＦＯＵＰからなる収納容器３、さらにはこれらを連接する搬送室１の形状や形態については、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格に準拠した構造であればよい。

また、本実施形態におけるロボット２は、第１の長手側壁体１１０寄りに配設されており、連通口部１１を介して出し入れされる基板４を保持するハンド２３を設けた単一のアーム２１を備えている。

アーム２１は、基端部がアーム支軸２１０を介して基台２０上に水平回転可能に設けられており、先端部にハンド支軸２３０を介してハンド２３を水平回転可能に設けている（以下、「水平回転」を「旋回」と表現する場合がある）。なお、ハンド２３の構造としては、先端部をフォーク状に構成して基板４を載置して搬送可能とする他、基板４を吸着する構造、あるいは、基板４を把持可能な構造とすることができる。

なお、アーム支軸２１０およびハンド支軸２３０は、それぞれ、モータや減速機等からなる図示しない旋回機構に連動連結している。

アーム２１を支持する柱状に形成されたアーム支軸２１０は、基台２０に収納した昇降機構２５０により昇降自在に取付けられている。

また、搬送装置１０は、ロボット２を搬送室１の長手方向に直線移動させる走行路６０を有する直動機構６を備えている。

直動機構６は、図１および図２に示すように、左右の収納容器３に挟まれるように、搬送室１の第１の長手側壁体１１０の略中央に配設されている。

すなわち、直動機構６は、第１の長手側壁体１１０の略中央に、左右の収納容器３の間に位置するように配設したケーシング６００を備え、ケーシング６００内に、リニアアクチュエータとしてのボールネジ機構６１が配設されている。また、ケーシング６００における搬送室１の基板搬送空間１７０に臨む面には、基板搬送空間１７０とケーシング６００内とを連通するスリット部を有する走行路６０が形成されている。

ボールネジ機構６１は、図２に示すように、ケーシング６００の下部において、長手方向に延在するボールネジ軸６１０と、ボールネジ軸６１０の一端に連結した駆動モータ６２０とを備えている。なお、ボールネジ機構に代えて、リニアモータを採用することもできる。

また、本実施形態に係る直動機構６は、ロボット２を収納可能で、かつ走行路６０に沿って移動する収納枠体６３０を備えている。そして、図２に示すように、かかる収納枠体６３０内に収納された状態でロボット２は移動可能となっている。

また、ケーシング６００内には、長手方向に延在するガイド軸６３２が配設されている。一方、収納枠体６３０の背部には、図２に示すように、ガイド軸６３２に係合して摺動するガイドアーム６３１が設けられている。ガイドアーム６３１は、ケーシング６００の上部に形成された走行路６０から当該ケーシング６００内に伸延するとともに、先端を下方に折曲している。かかる折曲した部分とガイド軸６３２とが係合している。

したがって、直動機構６の駆動モータ６２０を駆動させると、収納枠体６３０を介してロボット２を基台２０ごと搬送室１の長手方向へ円滑に、かつ、安定した状態で直線移動する。

また、本実施形態に係る搬送装置１０は、図３に示すように、アーム２１やハンド２３の回転動作を含むロボット２の動作制御および直動機構６の動作制御を行う制御装置８を備えている。

図示するように、制御装置８は、通信Ｉ／Ｆ（インターフェイス）８１と、制御部８２と、記憶部８３と、指示部８４とを備えている。

そして、かかる制御装置８に、上述してきたロボット２の各駆動系、ロボット２を直線的に移動させるリニアアクチュエータを含む直動機構６、さらには、収納容器３および処理室５の開閉部材を駆動する開閉機構７が接続されている。また、制御装置８には、通信Ｉ／Ｆ８１を介して後述する上位装置９が接続されている。

ここで、通信Ｉ／Ｆ８１は、制御装置８と上位装置９との間で通信データの送受信を行うデバイスであり、たとえば、記憶部８３に記憶される各種プログラムのアップデートなどを行うために、上位装置９から適宜のデータを受けることができる。

記憶部８３は、ＲＡＭ（Random Access Memory）およびＲＯＭ（Read Only Memory）、ハードディスクといった記憶デバイスで構成される。また、この記憶部８３は、ロボット２、直動機構６、および開閉機構７の各駆動プログラムなどが記憶される。

制御部８２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算装置を備え、記憶部８３に記憶された駆動プログラムにしたがって、ロボット２、直動機構６、および開閉機構７に対する駆動信号などを、指示部８４を介して出力する。なお、開閉機構７に対しての駆動信号は、通常は上位装置９から出力される。

また、制御部８２は、ロボット２の基台２０およびアーム部２００における所定の基準点の位置を算出するとともに、基準点に基づいて、ハンド２３の収納容器３や処理室５までの移動距離の算出処理などを行う。

なお、本実施形態におけるロボット２では、アーム部２００の基準点として、アーム支軸２１０、ハンド支軸２３０の各中心、およびハンド２３に載置される基板４の中心としている。基台２０の基準点としては、基台２０の下面中心としている。

このように、制御部８２は、ロボット２の動きを制御するために、ロボット２の位置情報を算出してこれを管理している。

そして、算出結果に基づいて、直動機構６とアーム部２００や昇降機構２５０を制御する。たとえば、基板４を必要位置まで最短時間で搬送できるように、必要に応じて、昇降機構２５０やアーム２１とハンド２３との両方、あるいはいずれか一方を駆動させつつ、ロボット２を搬送室１の長手方向の適宜位置に移動させる。こうして、ロボット２は、アーム２１を適宜昇降および旋回させ、連通口部１１を介して基板４を出し入れするとともに、保持した基板４を所望する位置へと搬送することができる。

すなわち、本実施形態に係る搬送装置１０の制御装置８は、単純な直進動作のみの直動機構６と、ロボット２の単一のアーム２１とハンド２３とを同期して動作させ、所望する位置にハンド２３をアクセス可能としている。

このように、本実施形態における搬送装置１０では、従来の搬送装置のロボットのように２本以上のアームを複雑に動かす制御は不要であり、単純な動作制御の組み合わせを行うだけでよい。そのため、収納容器３や処理室５へのハンド２３のアクセス速度をアップさせることができる。また、ハンド２３がアクセスする位置の精度向上を図ることも可能となる。

本実施形態における搬送装置１０は、上述してきた構成に加え、さらに以下の構成を有する。

すなわち、ロボット２が備える単一のアーム２１は、アーム支軸２１０を中心に回転してもアーム２１の先端自体は、第２の長手側壁体１２０と干渉しない長さに規定されている。すなわち、図１に示すように、アーム２１の旋回軌跡Ｒは、第２の長手側壁体１２０や処理室５などと干渉することがない。

したがって、ハンド２３がアーム２１の先端よりも突出しない姿勢であれば、制御装置８は、直動機構６をいつでも駆動させ、ロボット２の位置を、走行路６０の両端間の所望する位置に高速で移動させることができる。

すなわち、直動機構６による直線移動は、複雑な制御が不要なため、高速移動が可能となっている。しかも、本実施形態に係る制御装置８は、直動機構６とロボット２のアーム２１とハンド２３とを同期して動作させるため、最短時間で所望する収納容器３や処理室５へハンド２３をアクセスさせることが可能となる。

また、直動機構６の走行路６０は、走行路６０と直交する姿勢のハンド２３の先端が、複数の連通口部１１のうち、端に位置する連通口部１１内の所定位置に達するだけの必要最小限の長さに規定されている。換言すれば、ハンド２３に保持された基板４が、複数の連通口部１１のうち、端に位置する連通口部１１内の所定位置に達するだけの必要最小限の長さに規定されている。

すなわち、走行路６０の長さが、搬送室１の第１、第２の長手側壁体１１０，１２０に比べてかなり短尺な構成となっている。しかし、連通口部１１を介して連結された収納容器３や処理室５に対して、特に、端に位置する収納容器３や処理室５に対してロボット２が正対した位置になくても、斜め姿勢としたアーム２１に連結されたハンド２３の先端が走行路６０と直交する姿勢で連通口部１１内の所定位置に到達できる。

こうして、走行路６０の長さを、可及的に短尺な構成とすることができるため、たとえば、搬送室１における第１の長手側壁体１１０の両側隅部近傍に、ロボットコントローラなど、何らかの装置を設置するスペースを設けることができる。したがって、本実施形態に係る搬送装置１０によれば、搬送室１の内部を有効利用することができる。

なお、走行路６０の長さは、端に位置する収納容器３や処理室５に対してハンド２３が正対する姿勢でアクセス可能とするだけではなく、ロボット２のアーム支軸２１０に近接する収納容器３や処理室５に対してハンド２３をアクセスできる長さとしている。すなわち、ロボット２を、アーム支軸２１０に近接する収納容器３や処理室５にも円滑にハンド２３をアクセスできるように、ロボット２自体を、これら収納容器３や処理室５から遠ざけるだけの長さも考慮に入れて規定している。

また、本実施形態に係る搬送装置１０では、直動機構６の走行路６０を、搬送室１の床壁体１６０ではなく、周壁に設けている。そのたため、フィルタ部１９０からダウンフローされる清浄空気の流れに悪影響を及ぼすおそれがない。しかし、直動機構６の走行路６０を搬送室１の床壁体１６０に設けることを禁止するものではない。

ここで、本実施形態に係る搬送装置１０の基板搬送動作について、具体的に説明する。かかる搬送動作の制御処理は、前述した駆動プログラムにしたがって行われる。

図４および図５は、搬送装置１０における搬送動作の一例を示す模式的説明図である。先ず、図４を参照して、たとえば、第２の長手側壁体１２０における、図面上左側の処理室５に位置しているハンド２３を、対向して位置する左側の収納容器３アクセスする搬送動作について説明する。

なお、便宜上、図４および図５においては、搬送される基板４の図示を省略するとともに、細かい構成要素に関する符号の表記は省略した。

図４（ａ）に示す状態は、所定の処理が終了した基板４を、ロボット２が保持しているところであり、図示するように、本実施形態に係る搬送装置１０のロボット２は、直動機構６の走行路６０（図１を参照）の一端（図４における左端）に位置している。そして、アーム２１は先端が左斜め方向を向き、ハンド２３が処理室５に真っ直ぐ入り込んだ状態にある。

かかる状態から、ロボット２を、走行路６０の右方向へ移動させるとともに、アーム２１をアーム支軸２１０周りに回転させる。このように、直動機構６とアーム２１とハンド２３とを同期させて動作させることにより、図４（ｂ）に示すように、ハンド２３や保持している基板４を処理室５の内壁などに干渉させないように後方へ引く。

引き続き、ハンド２３をハンド支軸２３０周りに回動させ、図４（ｃ）に示すように、ハンド２３の先端を第１の長手側壁体１１０側に向ける。

そして、図４（ｄ）に示すように、今度は、ロボット２を走行路６０の左方向へ移動させるとともに、アーム２１を第１の長手側壁体１１０側に向けて回動する。

次に、図４（ｅ）に示すように、ロボット２を走行路６０の右方向へ移動させるとともに、アーム２１を引き続き第１の長手側壁体１１０側へ回動する。このとき、同時にハンド２３を回動させながらその姿勢を制御して、収納容器３へハンド２３をアクセスし、処理後の基板４を収納する。

次に、図５を参照して、同じく図面上左側の処理室５に位置しているハンド２３を、斜向かいに位置する右側の収納容器３へハンド２３をアクセスする搬送動作について説明する。

図５（ａ）〜図５（ｃ）におけるロボット２の動作は、上述した図４（ａ）〜図４（ｃ）と同じである。

ハンド２３の先端が第１の長手側壁体１１０側に向いている図５（ｃ）の状態から、直動機構６を駆動して、図５（ｄ）に示すように、ロボット２を走行路６０（図１を参照）の右方向に移動させる。

このとき、アーム２１をアーム支軸２１０周りに回転するとともに、ハンド２３をハンド支軸２３０周りに回転させる。アーム部２００の姿勢を、図５（ｅ）に示すように、第２の短手側壁体１４０の側から第１の短手側壁体１３０の側へ平行移動させる。

次に、図５（ｆ）に示すように、ロボット２を走行路６０の左方向へ移動させるとともに、アーム２１を第１の長手側壁体１１０側へ回動する。このとき、同時にハンド２３を回動させながらその姿勢を制御して、右側の収納容器３へハンド２３をアクセスして、処理後の基板４を収納する。

（変形例）
図６Ａ〜図６Ｃに搬送装置１０の変形例を示す。以下の図６Ａ〜図６Ｃに示す各変形例の説明では、上述してきた実施形態に係る搬送装置１０と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。

（第１の変形例）
図６Ａに示した変形例について説明する。上述してきた実施形態では、直動機構６を、搬送室１の第１の長手側壁体１１０に設けていたが（図１および図２を参照）、図６Ａに示した搬送装置１０では、図示するように、直動機構６を第２の長手側壁体１２０に配設している。かかる変形例においても、上述の実施形態に係る搬送装置１０と同等な効果を奏する。

また、上述してきた実施形態では、直動機構６を左右の収納容器３の間に配設したが、変形例に係る搬送装置１０では、直動機構６を、第２の長手側壁体１２０に設けた左右の処理室５の間に配設している。

なお、処理室５や収納容器３の高さ方向の寸法によっては、あるいはこれらの寸法を適宜、設計変更することにより、直動機構６を、処理室５や収納容器３と平面視で略同位置に重なるように配置することもできる。

（第２の変形例）
次に、図６Ｂに示した変形例について説明する。図６Ｂに示した搬送装置１０では、第１の長手側壁体１１０に３つの収納容器３が取付けられるとともに、第２の長手側壁体１２にも略同サイズの処理室５が３つ並設されている。すなわち、収納容器３や処理室５を取付けた複数の連通口部１１のうちの１つが、第１、第２の長手側壁体１１０，１２０の長手方向の略中央に位置している。

また、ここでは、直動機構６を搬送室１の床壁体１６０（図２を参照）に設けている。そして、この場合の直動機構６についても、リニアアクチュエータとして、ボールネジ機構６１やリニアモータなどを用いることができる。例えば、第１の長手側壁体１１０寄りにリニアモータを長手方向に配設し、リニアモータによってロボット２を基台２０ごと移動させるのである。かかる変形例においても、上述してきた実施形態に係る搬送装置１０と同等な効果を奏する。

（第３の変形例）
また、図６Ｃに示した搬送装置１０においても、第１の長手側壁体１１０には３つの収納容器３が取付けられ、第２の長手側壁体１２には略同サイズの処理室５が３つ並設されている。

そして、図示するように、本変形例では、直動機構６を、床壁体１６０（図２を参照）の第２の長手側壁体１２０寄りに設けている。この場合の直動機構６も、上述した第２の変形例と同様の構成としている。

かかる第３の変形例に係る搬送装置１０においても、上述してきた実施形態に係る搬送装置１０と同等な効果を奏する。

ところで、図６Ｂ，図６Ｃに示した第２、第３の変形例では、先の実施形態に係る直動機構６に比べて、走行路６０が比較的に長い構成としている。そのため、ロボット２を適宜位置まで移動させることによって、第１の長手側壁体１１０や第２の長手側壁体１２０の長手方向に並べて配置した収納容器３や処理室５のうち、中央の収納容器３や処理室５にも、ハンド２３を容易にアクセスさせることが可能である。

また、図６Ｂ，図６Ｃに示した各変形例では、直動機構６（走行路６０）の配置の態様は、中央の収納容器３や処理室５の中央位置を基準にすると左右均等の伸延長さとなっている。しかし、直動機構６長さは、走行路６０と直交する姿勢のハンド２３の先端が、複数の連通口部１１のうち、端に位置する連通口部１１内の所定位置に達するだけの必要最小限の長さに規定する条件を満たすことが好ましい。

そこで、直動機構６の長さを、走行路６０と直交する姿勢のハンド２３の先端が、中央の収納容器３や処理室５にも達することが可能で、かつ、左右いずれかの端に位置する連通口部１１内の所定位置に達するだけの必要最小限の長さに規定することもできる。すなわち、直動機構６の配置態様として、中央の収納容器３や処理室５の中央位置を基準にして、左右いずれかの方向に偏って長く伸延する態様とすることもできる。

なお、第１、第２の変形例では、直動機構６が床壁体１６０に設けられていることとして説明したが、直動機構６は、上述してきた実施形態（図１〜図５を参照）で説明したように、第１、第２長手側壁体１１０，１２０のいずれの壁面に取付けることもできる。

このように、直動機構６は、第１、第２の長手側壁体１１０，１２０のいずれの壁面に設けても構わないし、処理室５や収納容器３と重合させた状態で設けても構わない。また、第１、第２の長手側壁体１１０，１２０のいずれでもなく、第１、第２の長手側壁体１１０，１２０のいずれか側に寄った床壁体１６０上に設けることもできる。

以上説明してきたように、本実施形態に係る搬送装置１０は、ハンド２３を設けた単一のアーム２１からなるアーム部２００と、このアーム部２００を基台２０ごと搬送室１の長手方向に直進移動させる直動機構６とを組み合わせている。そして、これらアーム部２００および直動機構６を同期させて動作させる。したがって、搬送室１の内部の基板搬送空間１７０を有効利用しつつ、収納容器３や処理室５へのハンド２３のアクセス速度の向上、およびアクセスする位置の精度向上を図ることができる。

ところで、本実施形態に係る搬送装置１０のロボット２は、アーム２１およびハンド２３で構成される１本のアーム部２００を有する片腕ロボットとしている。しかし、ロボット２としては、２本のアーム部２００を有する双腕ロボットでもよいし、３本以上のアーム部２００を有する構成であってもよい。双腕ロボットの場合、所定の連通口部１１を介して一方のアーム部２００で基板４を取り出しつつ、他方のアーム部２００で当該連通口部１１を介して新たな基板４を搬入するなど、２つの作業を平行して同時に行うこともできる。

また、本実施形態に係るロボット２は、単一のハンド２３を有する構成としたが、アーム２１の先端部に複数のハンド２３が多段に設けられた構成とすることもできる。

また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１ 搬送室
２ ロボット
３ 収納容器
４ 基板
５ 処理室
６ 直動機構
８ 制御装置
１０ 搬送装置
１１ 連通口部
２０ 基台
２１ アーム
２３ ハンド
６０ 走行路
１１０ 第１の長手側壁体
１２０ 第２の長手側壁体
１７０ 基板搬送空間
２００ アーム部
６３０ 収納枠体

Claims (8)

1. 壁体によって囲まれた略直方体の基板搬送空間を有し、周壁の一部を構成する長手側壁体に、外部と連通する複数の連通口部が並設された搬送室と、
   前記搬送室内の一側の長手側壁体寄りに配設され、基端部が基台上にアーム支軸を介して水平回転可能に設けられるとともに、先端部には、前記連通口部を介して出し入れされる基板を保持するハンドが水平回転可能に設けられた単一のアームを有するロボットと、
   前記ロボットを前記搬送室の長手方向に直線移動させる走行路を有する直動機構と、
   を備え、
   前記ロボットの前記アームは、
   前記アーム支軸を中心に回転しても当該アームは他側の長手側壁体と干渉しない長さに規定されており、
   前記直動機構の前記走行路は、
   当該走行路と直交する姿勢の前記ハンドの先端が、前記複数の連通口部のうち、端に位置する連通口部内の所定位置に達する長さを有すること
   を特徴とする搬送装置。
2. 前記複数の連通口部のうちの１つは、少なくとも長手側壁体の長手方向の略中央に位置しており、
   前記直動機構の前記走行路は、
   当該走行路と直交する姿勢の前記ハンドの先端が、前記略中央に位置する連通口部内の所定位置に達する長さを有すること
   を特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記直動機構の前記走行路の長さは、
   前記走行路と直交する姿勢の前記ハンドの先端が、前記複数の連通口部のうち、端に位置する前記連通口部内の所定位置に達するだけの必要最小限の長さに規定されていること
   を特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 前記アームの回転動作を含む前記ロボットの動作制御および前記直動機構の動作制御を行う制御装置をさらに備えること
   を特徴とする請求項１、２または３に記載の搬送装置。
5. 前記制御装置は、
   前記直動機構と、前記ロボットの少なくとも前記アームとを、同期して動作させること
   を特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
6. 前記直動機構は、
   前記ロボットを前記基台ごと移送するリニアアクチュエータを備えること
   を特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の搬送装置。
7. 前記直動機構の走行路は、
   前記一側の長手側壁体に設けられている
   ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の搬送装置。
8. 前記直動機構は、
   前記走行路に沿って移動する収納枠体を有し、当該収納枠体に前記ロボットを配設したこと
   を特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の搬送装置。

Images