TWI482975B - Spring-type micro-high-frequency probe - Google Patents

Description

彈簧式之微型高頻探針

本發明係與垂直式探針結構有關，更詳而言之是指一種彈簧式之微型高頻探針。

圖1所示為一種已知的垂直式探針單元1，該探針單元1必須包括有彈簧結構2，目的在於利用彈簧結構2具有的壓縮變形特性，以提供連接在彈簧結構2一端的探針3在接觸待測電子元件的接觸墊(Pad)9時所需要的緩衝行程，據以確保探針3與接觸墊9之間有良好的接觸效果，並避免過大的接觸壓力對探針3或待測電子元件造成損壞。

圖2所示為另一種已知的垂直式探針單元5，該探針單元5同樣具備有彈簧結構，不同的是，其彈簧結構包括有一第一彈簧6與一第二彈簧7，且第一彈簧6外端連接一探針6a，第二彈簧7外端連接一桿體7a，換言之，此探針單元5的探針6a及桿體7a是可受壓而改變位置的，此結構乃因應不同使用環境而設計，其功效與上述探針單元1之可達成功效相同。

上述各已知的探針單元雖可達成測試使用目的，但卻存在著相同的缺失而有待改善，尤其是當探針單元用於傳輸高頻訊號時，蓋因具有良好高頻訊號傳輸效能的探針單元，有助於精準檢測待測電子元件的品質。然而，上述各已知探針單元具有相同特點，即彈簧結構皆被框限在一個具有內壁的固定座當中，如圖1所示，彈簧結構2位在護桿4的二平行邊牆之間，圖2所示之第一彈簧6與第二彈簧7則位於套筒8中，前述情形皆對彈簧結構的寬度W造成了限制。當該探針單元設計尺寸越來越小時，在有限的治具孔徑內，上述護桿4或套筒8所佔據的體積，相對於彈簧尺寸設計的限制將大幅影響該探針單元的性能表現。此外，一般習知彈簧針僅能垂直上下作動，對於測平面待測墊時，探針針尖無法側向刮開表面氧化層，造成接觸阻抗過大，無法適用於此類測試。

有鑑於此，吾人期望探針單元在有限的外徑D(即護桿或套筒之外徑)與材料降伏強度限制下，能藉由結構設計將彈簧結構寬度W儘量放大，以期達到最佳壓縮性能(即最佳工作行程)，此時即可縮短整體彈簧長度，降低電訊號傳輸電感，提升傳輸頻寬；進一步地，希望藉由結構設計來控制彈簧動態，以符合不同待測物的需求，例如測平面測墊時，探針針尖若可側向刮除表面氧化層動態時，相較於一般習知彈簧針只能垂直上下接觸平面測墊而言，其接觸阻抗可更加穩定，可提供較佳之測試品質。

有鑑於此，本發明之主要目的在於提供一種彈簧式之微型高頻探針，可在不增加彈簧結構長度的情況下，使得探針具有最佳工作行程，且有效提升高頻訊號的傳輸效能。

緣以達成上述目的，本發明所提供彈簧式之微型高頻探針包含有一導體，該導體具有一第一導電端與一第二導電端，其特徵在於：導體包括有一固定身部及一活動身部，其中，固定身部包括有該第一導電端、一接觸端與一第一導引件形成於該第一導電端與該接觸端之間；活動身部包括有該第二導電端、一彈簧結構與一第二導引件，該第二導電端位於該固定身部的接觸端外側，該彈簧結構一端連結該固定身部，另一端連接該第二導電端，且彈簧結構的寬度大於該第一導引件寬度，該第二導引件連結於彈簧結構上，並與該第一導引件配合，使得彈簧結構之壓縮方向受到侷限。

在一實施例中，固定身部具有彼此連結且相隔一固定間距的一上夾板與一下夾板，該上、下夾板之至少其中之一者具有一導軌構成該第一導引件，且上、下夾板相連結的一端設有一穿孔，該穿孔內壁構成該接觸端；該活動身部之彈簧結構位於該上、下夾板之間，且彈簧結構連接一穿過該穿孔的針體，該針體末端構成該第二導電端，該第二導引件包括至少二導塊連結於彈簧結構上，且該二導塊分別位於夾板的導軌之兩側。

在一實施例中，活動身部之彈簧結構包括有複數段相連接的懸臂樑，且至少鄰近於該導軌之懸臂樑兩端的距離為彈簧結構的寬度且大於該夾板導軌的寬度。

在一實施例中，更包括有至少一導電板，該導電板設於該上、下夾板其中之一者的表面上。

在一實施例中，固定身部為一板體，該板體具有一導槽構成該第一導引件；該活動身部之彈簧結構包括有一上彈簧與一下彈簧，該上、下彈簧分別位於該板體的兩側面，且上、下彈簧的末端共同連結一導柱，該導柱末端構成該第二導電端。

在一實施例中，固定身部之導槽具有一封閉端與一開放端，導槽於開放端的內壁構成該接觸端；活動身部之上、下彈簧末端所連結的導柱穿出該導槽的開放端。

在一實施例中，第一導引件為彎曲桿體或彎曲導槽。

本發明再提供一種彈簧式之微型高頻探針包含有一導體，該導體具有一第一導電端與一第二導電端，其特徵在於：該導體包括有一固定身部及一活動身部，其中，固定身部包括有一第一接觸端、一第二接觸端與一第一導引件位於該第一接觸端與該第二接觸端之間；活動身部包括有該第一導電端、該第二導電端、一彈簧結構與一第二導引件，其中，彈簧結構一端連接該第一導電端，且第一導電端位於該固定身部的第一接觸端外側；彈簧結構另一端連接該第二導電端，且第二導電端位於該固定身部的第二接觸端外側；該第二導引件連結於彈簧結構上，並與第一導引件配合，使得彈簧結構之壓縮方向受到侷限，另，彈簧結構的寬度大於對應第一導引件的寬度。

在一實施例中，本發明的微型高頻探針包括有一分隔件連接該固定身部與活動身部，且該分隔件對該固定身部之第一導引件區分成兩部分，以及對該活動身部之彈簧結構區分出一第一彈簧結構與一第二彈簧結構，其中，第一彈簧結構位於第一導引件的其中一部分中，第二彈簧結構位於第一導引件的另一部分中。

為能更清楚地說明本發明，茲舉較佳實施例並配合圖示詳細說明如后。

圖3、圖4及圖5所示為本發明第一較佳實施例之彈簧式微型高頻探針10，尤其是指其外徑尺寸亦被設定同上述已知探針的外徑D，在該限制條件下，本實施例之高頻探針10具有一用以將檢測機的高頻測試訊號傳導至一對應待測電子元件的導體12，該導體12係經微影蝕刻製程而製得有一固定身部14與一活動身部16的層疊結構，因微影蝕刻製程為既有技藝，於此不予贅述。茲就該導體12之結構敘述如後，其中：固定身部14具有前、後端彼此連結且相隔一固定間距的一上夾板141與一下夾板142，在本實施例中，上、下夾板為相同結構者，為便於描述，茲以上夾板141為例說明，且於後之各實施例亦同。

上夾板141具有依序連接的一第一寬面部141a、一以導軌141b為例的第一導引件與一第二寬面部141c，該導軌141b的寬度為d。又，固定身部14在上、下夾板相連結的前端構成該導體12的第一導電端12a，該第一導電端12a用於電性連接檢測機的訊號傳輸接點(圖未示)；固定身部14在上、下夾板相連結的後端則具有一個穿孔143，該穿孔143是在微影蝕刻製程中預留形成的，其內壁構成一接觸端143a。

活動身部16具有一位於該上夾板141與下夾板142之間且可壓縮變形的彈簧結構，該彈簧結構在本實施例中是由複數段相連接的懸臂樑161所組成，且每一懸臂樑161由一水平段161a與一垂直段161b構成，其中，懸臂樑161之水平段161a的兩端距離D即為所述高頻探針10外徑，且該距離D大於該導軌141b的寬度d。

彈簧結構一端連接於該固定身部14近前端處，另一端則一體連接有一針體162，該針體162穿過該固定身部14後端的穿孔143，且針體162末端構成該導體12的第二導電端12b，如圖5所示，該第二導電端12b位於該固定身部14的外側而可用於接觸待測電子元件60，又，針體162與穿孔143內壁之間僅有極細微的間隙，換言之，在圖6所示之針體162觸壓待測電子元件60並有微量偏移時，針體162側邊將與構成該接觸端143a的穿孔143內壁接觸，進而使得針體162與該固定身部14形成電性連接。

另，上述活動身部16更具有一由二導塊163構成的第二導引件，該二導塊163連結於懸臂樑161上，且分別位在該固定身部14之導軌141b的兩側，該二導塊163提供彈簧結構於壓縮變形時不會往左右側擠壓變形，彈簧結構同時受到該上夾板141與下夾板142的夾制而不會往上下側擠壓變形，據以確保彈簧結構穩定壓縮變形，藉此控制該第二導電端12b受壓迫時的滑移動態。

在上述結構中，高頻探針10的活動身部16不僅受到良好的拘束限制，且其彈簧結構的每一懸臂樑161之水平段161a長度被以相同圖1或圖2所揭露探針單元的固定座外徑D限制而製作時，將使得每一懸臂樑161的壓縮變形更為容易，更具體地說，在高頻探針10的最大外徑被要求與已知探針單元外徑相同的限制條件下，本發明的彈簧結構可在更短的結構高度內達到相同的壓縮空間，意即相同於已知探針單元之探針的預設壓縮退移量，換言之，該固定身部14的前、後端距離亦將獲得減縮，高頻探針10的總長度受到縮減。

而在高頻探針10之針體162觸壓待測電子元件60致偏移抵接固定身部14的穿孔143內壁時，雖然在導體12的第一導電端12a與第二導電端12b之間將有包括固定身部14以及活動身部16的兩條訊號傳輸路徑形成，但因電子訊號會選擇路徑較短的傳導路徑前進，故當高頻探針10處於圖6所示的狀態時，來自檢測機的高頻測試訊號將依序循著第一導電端12a、固定身部14、第二導電端12b，再進入待測電子元件60，而不會走包含複數懸臂樑161的活動身部16，換言之，該高頻探針10因訊號傳導路徑縮短而降低其電感性，提高了傳輸頻寬。

另外值得一提的是，藉由控制第一寬面部141a與第二寬面部141c的面積，可達調整高頻探針10阻抗匹配的目的。

圖7及圖8所示為本發明第二較佳實施例之彈簧式微型高頻探針20，其具有大致相同上述第一較佳實施例的層疊結構，即包括有上夾板22、下夾板24、彈簧結構26及針體28，惟不同的是：該高頻探針20的各夾板之導軌(僅以上夾板22之導軌22a為例)延展長度大於第一較佳實施例的導軌141b長度；彈簧結構26為多個彈性體組成，其導塊區分有複數個左導塊26a與複數個右導塊26b，且各左、右導塊自夾板的前端往後端方向各別連結於對應的每一懸臂樑上，而呈左右夾制該導軌22a，據以確保彈簧結構26穩定壓縮變形的目的。

另說明的是，由於上述二實施例中固定身部的夾板係位在高頻探針的最外側處，基此，本發明可再加設至少一面的導電板貼於夾板表面，利用放大訊號傳導面積的方式來達到再提高傳輸頻寬的目的，或者說控制導電板的面積大小，來設計高頻探針所需要的目標特性阻抗，達到阻抗匹配的效果。請參圖9所示之第三較佳實施例，即以第二較佳實施例的高頻探針20為基礎，再於其上夾板22的表面貼設有導電板29，且導電板29是以不會干涉彈簧結構壓縮變形的方式被加裝。在本發明第一較佳實施例中，第一寬面部141a及第二寬面部141c的面積大於該導軌141b的面積，其作用即在於調整第一寬面部141a及第二寬面部141c的面積，以達到阻抗匹配的效果。

圖10及圖11所示為本發明第四較佳實施例之彈簧式微型高頻探針30，其仍是經微影蝕刻製程而製得，惟與上述各實施例不同的是：本實施例導體結構中的固定身部為一板體31，板體31具有一導槽311構成的第一導引件，該導槽311在本實施例中係具有一封閉端311a與一開放端311b，且導槽311於開放端311b的內壁構成該接觸端，板體31於相對該接觸端的另一端則構成用於電性連接檢測機訊號傳輸接點的第一導電端。必須強調的是，導槽結構並不以具備開放端為必要，其可為完全封閉狀，亦即，封閉導槽的內壁即是接觸端。

導體結構中的活動身部之彈簧結構則包括有一上彈簧32與一下彈簧33，該上、下彈簧分別位於該板體31的兩側面，且不受板體31的影響而於受壓時可變形，由於上、下彈簧結構相同，茲以該上彈簧32為例繼續說明。上彈簧32亦由複數段相連接的懸臂樑321所組成，且各懸臂樑321由一水平段321a與一垂直段321b構成，同樣地，懸臂樑321之水平段321a兩端的距離D亦被設定為高頻探針的最大外徑，且該距離D大於導槽311的槽寬。

該上、下彈簧並在末端處共同連結有一導塊34構成的第二導引件，導塊34再連結一導柱341，該導柱341穿出該導槽311的開放端311b，且其末端構成可用於接觸待測電子元件(圖未示)的第二導電端，導柱341的移動行程受到該導槽311之封閉端311a限制。同樣地，導柱341在觸壓待測電子元件時將因微量偏移而接觸該導槽311開放端311b的內壁(即該接觸端)，以使導柱341與該板體31電性連接形成最短傳導路徑，進而達成降低導體的電感性以提升高頻訊號傳輸效能的目的。

圖12及圖13所示為本發明第五較佳實施例之彈簧式微型高頻探針，其具有與上述第四較佳實施例大致相同的結構及功效，惟不同的是：本第五較佳實施例的高頻探針35僅具有一彈簧結構36貼近板體37，且彈簧結構36一端連接一導柱38，導柱38下方設有一導塊39，導塊39即是構成第二導引件，且其可沿著板體37的一導槽37a(即第一導引件)而移動。同樣地，導槽37a不以必須具備開放端為限。前述結構的特色在於構件簡化。

圖14及圖15所示為本發明第六較佳實施例之彈簧式微型高頻探針40，其具有別於上述各實施例僅具單一個可受壓改變位置的導電端之結構，亦即，該高頻探針40的第一導電端40a與第二導電端40b是可受壓而改變位置的，為達成前述目的，該高頻探針40之導體是以圖7所示結構為基礎再作衍生變化，更具體地說，高頻探針40具有上、下夾板連結而成的固定身部42，且固定身部42之兩端分別具有一第一穿孔421與一第二穿孔422，穿孔內壁各別為一第一接觸端421a及一第二接觸端422a，另有一分隔件423位於上、下夾板的中間部位，用以區分出呈直桿狀的一第一導軌424(即第一導引件)形成於該第一接觸端421a與該分隔件423之間，以及呈直桿狀的一第二導軌425(即另一第一導引件)形成於該第二接觸端422a與該分隔件423之間。

高頻探針40之活動身部44包括有一第一彈簧結構441、一第二彈簧結構442、一桿體443與一針體444，其中，第一彈簧結構441與第二彈簧結構442亦分別由複數懸臂樑所組成，且一端各別連結於該分隔件423上，所述懸臂樑的水平段之兩端距離即為高頻探針40的最大外徑且大於上述導軌的寬度，另說明的是，各彈簧結構一端並不以必須連結該分隔件423為限，其可改成與分隔件423為活動接觸的分離方式設計。第一彈簧結構441之另一端連接該桿體443，該桿體443穿過第一穿孔421且末端構成該第一導電端40a；第二彈簧結構442之另一端則連接該針體444，該針體444穿過第二穿孔422且末端構成該第一導電端40b。前述第一導電端40a用於電性連接檢測機的訊號傳輸接點，第二導電端40b則用於接觸待測電子元件(圖未示)。

同樣地，高頻探針40亦在每一彈簧結構的懸臂樑上分別設置有至少二導塊45(即第二導引件)，用以夾制各導軌，以避免彈簧結構受壓時產生側向擠壓變形。本高頻探針40即是利用桿體443與針體444分別承受來自上方及下方的壓力而偏移接觸該第一接觸端421a及第二接觸端422a，進一步形成最短傳導路徑而可提升高頻訊號傳輸效能。

另說明的是，可使兩個導電端受壓而改變位置的結構不以圖14所示必須具備第一與第二彈簧結構者為限，亦即，吾人可將第一與第二彈簧結構整合成單一彈簧結構體，該單一彈簧結構體的兩端即各別是一個導電端，配合取消固定身部之分隔件結構，即可在該單一彈簧結構體承受來自上、下兩端的外力作用下，促使該二導電端改變位置。

圖16為本發明第七較佳實施例之彈簧式微型高頻探針46，其第一導電端46a與第二導電端46b同樣是可受壓而改變位置的，該高頻探針46是以圖3所示結構為基礎再作衍生變化，更具體地說，高頻探針46亦具有一由上、下夾板連結而成的固定身部47，該固定身部47兩端分別具有穿孔47a與穿孔47b，另，高頻探針46具有設置於該固定身部47中的第一彈簧結構48與第二彈簧結構49，其中第一彈簧結構48的一端穿出該穿孔47a，並於末端構成該第一導電端46a，第二彈簧結構49的一端穿出該穿孔47b，並於末端構成該第二導電端46b。

再說明的是，類似上述具有兩個活動導電端的結構除了圖14及圖16所呈現者外，其中圖12所揭露的高頻探針亦可被製作成具有兩個活動導電端的結構，如圖17所示之第八較佳實施例即是。又，上述高頻探針40與高頻探針46亦可選擇在其上、下夾板之一者的表面貼設有導電板(圖未示)以提高傳輸頻寬。

圖18及圖19所示為本發明第九較佳實施例之彈簧式微型高頻探針50，其同樣具有可受壓改變位置的第一導電端50a與第二導電端50b，不同的是，高頻探針50是以圖10所示結構為基礎再作衍生變化，即，其固定身部仍為一板體52，其第一導引件為一第一導槽52a，另一第一導引件為一第二導槽52b，各導槽內壁亦構成接觸端；活動身部的第一彈簧結構54與第二彈簧結構56各由分別位在該板體52兩側的一上彈簧54a,56a與一下彈簧54b,56b所構成，其中第一彈簧結構54的上、下彈簧之間連結一導塊55構成的第二導引件，導塊55再連結一桿體551，桿體551順沿第一導槽52a移動且末端構成該第一導電端50a；第二彈簧結構56的上、下彈簧之間亦連結一導塊57構成的第二導引件，導塊57再連結一針體571，該針體571順沿第二導槽52b移動且末端構成該第二導電端50b。同樣地，在桿體551及針體571接觸對應導槽的內壁時，該針體571、板體52及桿體551將共同形成最短傳導路徑而可提升高頻訊號的傳輸效能。

另一提的是，上述包括有第一彈簧結構與第二彈簧結構，或包括有上彈簧與下彈簧的高頻探針，可選擇在其各彈簧結構之間以增設連結塊的方式來連接彼此，或不選擇設置連結塊而使得各彈簧結構互為獨立。

上述所有實施例中的第一導引件型態有兩種，其一是直桿狀的導軌，如圖3、圖7、圖14及圖16，其二為導槽結構，如圖11、圖12、圖17及圖19；當然配合第一導引件型態的第二導引件亦有兩種型態，即是圖3、圖7、圖14及圖16所示的導塊，以及圖11、圖12、圖17及圖19所示的導塊。而為強化高頻探針的針體在接觸待測電子元件時，能以其針尖部位刮除氧化物表層，以收降低接觸阻抗的效果，本發明之第一導引件型態更可以製作成圖20所示的彎曲桿體62，或如圖21所示的彎曲導槽64。利用非直線軌跡的引導設計，以使高頻探針的針體能產生側向刮除氧化物的功能，據以降低接觸阻抗。

補充說明的是，上述各實施例用以接觸待測電子元件的針體並不以單一個為限，其視使用需求而可設計成具有多數相鄰的針體，針體形狀可如片狀。又，導軌與導塊的數量並非固定，而係可視彈簧結構長度予以變更設計。

最後再說明的是，上述所有實施例之高頻探針係採垂直立設使用，而由於高頻探針的橫切斷面係呈矩形，因此，為使該些高頻探針能穩定的上下移動，所選擇用以支撐該些高頻探針的導板70，其板體上的每一個限位孔72的開口形狀以圖22所示之矩形為佳。

以上所述僅為本發明較佳可行實施例而已，舉凡應用本發明說明書及申請專利範圍所為之等效結構及製作方法變化，理應包含在本發明之專利範圍內。

10．．．高頻探針

12．．．導體

12a．．．第一導電端

12b．．．第二導電端

14．．．固定身部

141．．．上夾板

141a．．．第一寬面部

141b．．．導軌

141c．．．第二寬面部

142．．．下夾板

143．．．穿孔

143a．．．接觸端

16．．．活動身部

161．．．懸臂樑

161a．．．水平段

161b．．．垂直段

162．．．針體

163．．．導塊

20．．．高頻探針

22．．．上夾板

22a．．．導軌

24．．．下夾板

26．．．彈簧結構

26a．．．左導塊

26b．．．右導塊

28．．．針體

29．．．導電板

30．．．高頻探針

31．．．板體

311．．．導槽

311a．．．封閉端

311b．．．開放端

32．．．上彈簧

321．．．懸臂樑

321a．．．水平段

321b．．．垂直段

33．．．下彈簧

34．．．導塊

341．．．導柱

35．．．高頻探針

36．．．彈簧結構

37．．．板體

37a．．．導槽

38．．．導柱

39．．．導塊

40．．．高頻探針

40a．．．第一導電端

40b．．．第二導電端

42．．．固定身部

421．．．第一穿孔

421a．．．第一接觸端

422．．．第二穿孔

422a．．．第二接觸端

423．．．分隔件

424．．．第一導軌

425．．．第二導軌

44．．．活動身部

441．．．第一彈簧結構

442．．．第二彈簧結構

443．．．桿體

444．．．針體

45．．．導塊

46．．．高頻探針

46a．．．第一導電端

46b．．．第二導電端

47．．．固定身部

47a．．．穿孔

47b．．．穿孔

48．．．第一彈簧結構

49．．．第二彈簧結構

50．．．高頻探針

50a．．．第一導電端

50b．．．第二導電端

52．．．板體

52a．．．第一導槽

52b．．．第二導槽

54．．．第一彈簧結構

54a．．．上彈簧

54b．．．下彈簧

55．．．導塊

551．．．桿體

56．．．第二彈簧結構

56a．．．上彈簧

56a．．．上彈簧

56b．．．下彈簧

57．．．導塊

571．．．針體

60．．．待測電子元件

62．．．彎曲桿體

64．．．彎曲導槽

70．．．導板

72．．．限位孔

圖1為一種已知垂直式探針結構；

圖2為另一種已知垂直式探針結構；

圖3為本發明第一較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖4為圖3之局部剖面立體圖；

圖5為一側視圖，揭示高頻探針未下壓；

圖6為一側視圖，揭示高頻探針下壓接觸待測電子元件；

圖7為本發明第二較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖8為圖7之局部剖面立體圖；

圖9為本發明第三較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖10為本發明第四較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖11為圖10之局部剖面立體圖；

圖12為本發明第五較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖13為圖12之仰視圖；

圖14為本發明第六較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖15為圖14之局部剖面立體圖；

圖16為本發明第七較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖17為本發明第八較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖18為本發明第九較佳實施例之高頻探針立體圖；

圖19為圖18之局部剖面立體圖；

圖20為一立體圖，揭示導軌型態為彎曲桿體；

圖21為一立體圖，揭示導軌型態為彎曲導槽；

圖22為一平面圖，揭示導板之限位孔形狀呈矩形。

12b．．．第二導電端

141a．．．第一寬面部

141b．．．導軌

143a．．．接觸端

161．．．懸臂樑

161a．．．水平段

161b．．．垂直段

162．．．針體

163．．．導塊

60．．．待測電子元件

Claims (20)

1. 一種彈簧式之微型高頻探針，包含有一導體，且該導體具有一第一導電端與一第二導電端，其特徵在於：該導體包括有一固定身部及一活動身部，其中：固定身部包括有該第一導電端、一接觸端與一第一導引件形成於該第一導電端與該接觸端之間；活動身部包括有該第二導電端、一彈簧結構與一第二導引件，其中，該第二導電端位於該固定身部的接觸端外側，該彈簧結構一端連結該固定身部，另一端連接該第二導電端，且彈簧結構的寬度大於該第一導引件寬度，該第二導引件連結於彈簧結構上，並與該第一導引件配合，使得彈簧結構之壓縮方向受到侷限。
2. 如請求項1所述彈簧式之微型高頻探針，其中該固定身部具有彼此連結且相隔一固定間距的一上夾板與一下夾板，該上、下夾板之至少其中之一者具有一導軌構成該第一導引件，且上、下夾板相連結的一端設有一穿孔，該穿孔內壁構成該接觸端；該活動身部之彈簧結構位於該上、下夾板之間，且彈簧結構連接一穿過該穿孔的針體，該針體末端構成該第二導電端，該第二導引件包括至少二導塊連結於彈簧結構上，且該二導塊分別位於夾板的導軌之兩側。
3. 如請求項2所述彈簧式之微型高頻探針，其中該活動身部之彈簧結構包括有複數段相連接的懸臂樑，且至少鄰近於該導軌之懸臂樑兩端的距離為彈簧結構的寬度且大於該夾板導軌的寬度。
4. 如請求項2所述彈簧式之微型高頻探針，更包括有至少一導電板，該導電板設於該上、下夾板其中之一者的表面上。
5. 如請求項1所述彈簧式之微型高頻探針，其中該固定身部為一板體，該板體具有一導槽構成該第一導引件；該活動身部之彈簧結構包括有一上彈簧與一下彈簧，該上、下彈簧分別位於該板體的兩側面，且上、下彈簧的末端共同連結一導塊構成的第二導引件，該導塊再連結一導柱，該導柱末端構成該第二導電端。
6. 如請求項5所述彈簧式之微型高頻探針，其中該固定身部之導槽具有一封閉端與一開放端，導槽於開放端的內壁構成該接觸端；該活動身部之上、下彈簧末端所連結的導柱穿出該導槽的開放端。
7. 如請求項5所述彈簧式之微型高頻探針，其中該活動身部之彈簧結構包括有複數段相連接的懸臂樑，且至少鄰近於該導槽之懸臂樑兩端的距離為彈簧結構的寬度且大於該導槽的槽寬。
8. 如請求項1所述彈簧式之微型高頻探針，其中該第一導引件為彎曲桿體。
9. 如請求項1所述彈簧式之微型高頻探針，其中該第一導引件為彎曲導槽。
10. 如請求項1所述彈簧式之微型高頻探針，其中該活動身部的彈簧結構為多個彈性體組成。
11. 一種彈簧式之微型高頻探針，包含有一導體，且該導體具有一第一導電端與一第二導電端，其特徵在於：該導體包括有一固定身部及一活動身部，其中：固定身部包括有一第一接觸端、一第二接觸端與一第一導引件位於該第一接觸端與該第二接觸端之間；活動身部包括有該第一導電端、該第二導電端、一彈簧結構與至少一第二導引件，其中，該彈簧結構一端連接該第一導電端，且第一導電端位於該固定身部的第一接觸端外側；該彈簧結構另一端連接該第二導電端，且第二導電端位於該固定身部的第二接觸端外側；該第二導引件連結於彈簧結構上，並與第一導引件配合，使得彈簧結構之壓縮方向受到侷限，另，彈簧結構的寬度大於對應第一導引件的寬度。
12. 如請求項11所述彈簧式之微型高頻探針，其中：該固定身部具有彼此連結且相隔一固定間距的一上夾板與一下夾板，該上、下夾板之至少其中之一者具有一導軌構成該第一導引件，且上、下夾板在相連結的兩端分別設有一穿孔，其中一穿孔內壁構成該第一接觸端，另一穿孔內壁構成該第二接觸端；該活動身部之彈簧結構位於該上、下夾板之間，彈簧結構一端連接一穿過穿孔的桿體，該桿體末端構成該第一導電端，彈簧結構另一端連接一穿過穿孔的針體，該針體末端構成該第二導電端；第二導引件包括至少二導塊，該些導塊對應位於導軌的兩側。
13. 如請求項12所述彈簧式之微型高頻探針，包括有至少一導電板，該導電板設於該上、下夾板其中之一者的表面上。
14. 如請求項12所述彈簧式之微型高頻探針，其中該活動身部之彈簧結構包括有複數段相連接的懸臂樑，每一懸臂樑兩端的距離為彈簧結構的寬度且大於導軌寬度。
15. 如請求項11所述彈簧式之微型高頻探針，其中：該固定身部為一板體，其第一導引件為一導槽，且該導槽內壁構成該第一接觸端；該活動身部之彈簧結構包括有分別位於該板體兩側的一上彈簧與一下彈簧，其中，上、下彈簧共同連結的一端連接有一導塊構成的第二導引件，導塊再連接穿出導槽的桿體，桿體末端構成該第一導電端，上、下彈簧共同連結的另一端再連接有一導塊構成的第二導引件，導塊再連接穿出導槽的針體，該針體末端構成該第二導電端。
16. 如請求項15所述彈簧式之微型高頻探針，其中該活動身部之彈簧結構包括有複數段相連接的懸臂樑，每一懸臂樑兩端的距離為彈簧結構的寬度且大於導槽的槽寬。
17. 如請求項11所述彈簧式之微型高頻探針，包括有一分隔件連接該固定身部與活動身部，且該分隔件對該固定身部之第一導引件區分成兩部分，以及對該活動身部之彈簧結構區分出一第一彈簧結構與一第二彈簧結構，其中，第一彈簧結構位於第一導引件的其中一部分中，第二彈簧結構位於第一導引件的另一部分中。
18. 如請求項11所述彈簧式之微型高頻探針，其中該第一導引件為彎曲桿體。
19. 如請求項11所述彈簧式之微型高頻探針，其中該第一導引件為彎曲導槽。
20. 如請求項11所述彈簧式之微型高頻探針，其中該活動身部的彈簧結構為多個彈性體組成。