[go: up one dir, main page]

TWI471601B - 將光束偏轉的裝置 - Google Patents

將光束偏轉的裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWI471601B
TWI471601B TW98145426A TW98145426A TWI471601B TW I471601 B TWI471601 B TW I471601B TW 98145426 A TW98145426 A TW 98145426A TW 98145426 A TW98145426 A TW 98145426A TW I471601 B TWI471601 B TW I471601B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
light exit
electrode
light
exit section
section
Prior art date
Application number
TW98145426A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201030371A (en
Inventor
Christoph Friese
Original Assignee
Bosch Gmbh Robert
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bosch Gmbh Robert filed Critical Bosch Gmbh Robert
Publication of TW201030371A publication Critical patent/TW201030371A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI471601B publication Critical patent/TWI471601B/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/103Scanning systems having movable or deformable optical fibres, light guides or waveguides as scanning elements
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N9/00Details of colour television systems
    • H04N9/12Picture reproducers
    • H04N9/31Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
    • H04N9/3129Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] scanning a light beam on the display screen

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Description

將光束偏轉的裝置
本發明關於一種將光束偏轉的裝置。
要將光束作光學偏轉(例如在投影機或掃瞄器中所作者),目前係使用微面鏡或微面鏡陣列。當前也考慮使用這類微面鏡用於汽車的平視(Head-up)顯示器。
微面鏡(Mikrospiegel,英:micro-mirror)一般有二條互相垂直的旋轉軸。在二軸式微面鏡的場合,該面鏡一般呈萬向接頭方式懸設在一可動的框上。在此,要將光束偏轉到二個互相獨立的空間方向(2D)或將光束在二個獨立的空間平面中的偏轉方向改變,係將面鏡的二條樞轉軸的調整軸(Stellwellen)可互相獨立地分別驅動。在該光偏轉手段的調節的範疇內,係面鏡繞該二條軸的個別的樞轉作用必須要互相獨立地分別檢出。此外,該二個獨立的樞轉機構在一些狀況對於其周圍條件(例空氣壓力/真空度)有不同的要求,因此這些將光偏轉的系統很繁複、昂貴、且容易故障。
因此,特別是在掃瞄器的設計與製造上,舉例而言可不用這種複雜的2D系統,而使用由二個分別的1D掃瞄器的組合(亦即二個面鏡,它們各只能繞單一條軸樞轉),這種組合或許可將二件個別的掃瞄器分別互相獨立地最佳化。但這種做法必然有一缺點,即:該二個1D掃瞄器須很費事地互相調整。因此我們無法指望在這種裝置能減少整個系統的構造尺寸或複雜度。
另一附加的要求係要有成影像的系統的光學裝置,這些系統往往用三種顏色的光源工作,例如紅、綠、藍的雷射二極體(=R-LD,G-LD,B-LD)。這些雷射二極體的光束須重疊,以共同會聚到一投射面上。
本發明提供一種裝置,它可克服上述的限制,依本發明提供一種將光束偏轉的裝置,具有一光波導線的一個支承成可樞轉方式的光出口部段及一個支承成可樞轉方式的面鏡,此外該裝置包含:一個第一樞轉裝置,設計成將該光波導線的光出口部段在一樞轉平面中樞轉,光可從該光出口部段跑到面鏡上,及一第二樞轉裝置,設計成將該面鏡繞一條在面鏡平面中的樞轉軸樞轉,該樞轉軸從垂直於樞轉平面的垂直線偏離。本發明的裝置的優點在於光束可利用一面鏡只在一空間方向偏轉。此外,光束的偏轉方向可利用一面鏡只在一空間平面中改變。要做這種光束的偏轉,或將光束的偏轉方向改變,可使用一簡單的一度空間掃瞄器。光束在另一獨立的空間平面中的偏轉方向利用光波導線或導光纖維本身的偏轉而改變。因此,光束在二個互相獨立的空間平面中的偏轉方向的改變係根據二個不同的簡單原理,它們很容易實施且干擾的情形很少。
該裝置宜設成用下述方式將光束偏轉到二個獨立的空間方向:使該面鏡的樞轉軸平行於光波導線的光出口部段的樞轉面。如果面鏡的樞轉軸垂直於該在靜止位置的光出口部段的縱軸,則特別有利。如此,光束的偏轉方向的改變量/面鏡或光波導線的每度偏轉的值為最大。
該第一樞轉裝置宜包含至少一電極以產生一電場,該電場設成將一靜電力量施到光波導線的光出口部段。為此,舉例而言,將該電極與一電壓源連接,經由該電壓源可將電極可變地充電到一電位。該光波導線的光出口部段可選擇性地設以一導電之鍍層。此鍍層也可與該電壓源連接,經由該電壓源可將此鍍層充電到一個「對立電位」(Gegenpotential,英:counter-potential)(相對於電極的電位),俾能控制光出口部段與電極之間的相吸引或相排斥的靜電力。
如果該至少一電極利用一不導電的層與光出口部段絕緣造成不導電的方式,則甚有利。如不用此方式,也可將光出口部段設以一不導電的外覆層。如此可防止當光出口部段與電極接觸時,該光出口部段的電位與電極短路的情事。否則當光出口部段與電極由反向互相接觸時,該二元件之間的電位差就抵消,如此會使靜電力瓦解。
最好將該二個電極中的至少一個電極設成使得當一電壓施到該電極時,該光波導線的光出口部段可垂直於其縱軸由其靜止位置在樞轉平面樞轉出來。在此,如果該光波導線夾入在一保持裝置,光出口部段由該保持裝置突伸出來,則甚有利,電極就設在光出口部段側面附近。利用電極與光出口部段之間的靜電力將光出口部段的自由端向夾入點彎曲。在此,如果將光出口部段的耐彎韌性作配合,使電極之預定充電量足夠達成光出口部段之預定彎曲度且因此使光出口方向的角度作預定的改變,則甚有利。
如果不利用靜電力將光出口部段樞轉,則也可用另種方式藉著將光波導線的光出口部段施覆一壓電活性(piezoaktiv,英:piezo-active)的陶瓷而造成第一樞轉裝置。當施加一電壓到光出口部段時,可在光波導線-陶瓷的複合物中產生一股機械應力,藉之可使光出口部段彎曲。這二種作用機構(作用到光出口部段的靜電力量和機械力量的作用)也可一齊使用,俾達到光出口部段的樞轉或彎曲作用。
依本發明一較佳實施例,數個電極互相相鄰平行於光波導線的光出口部段的樞轉平面,一股電壓可施到這些電極上(它們互不相干地被施電壓),因此藉著一個或數個電極選擇性地及/或加成性的施力到該光出口部段,可在樞轉平面中使光出口部段造成不同程度的彎曲情況。最好將數個電極扇形(Elektrosektor,英:electrosector)呈格子形設在光出口部段下方及/或上方。如果這些電極扇形之一施以電壓,則在電極面與鍍覆的光出口部段之間產生一股力量,這種力量使得光出口部段在其夾入點那一側彎曲,且因此使光出口部段朝各活化的電極扇形的方向運動。相鄰的電極扇形可直接在時間上先後相隨地(亦即序列地)切換,因此光出口部段可從一電極扇形到另一電極扇形且可因此越來彎曲得越厲害(一直到最大彎曲為止,如果光出口部段在電極格子的一最外的電極扇形的上方/下方的話)。這種電極的序列式切換的優點在於:格子的外側電極不須充電到很大的程序俾能施足夠的吸引作用到光出口部段,因為靜吸引力和電極-光出口部段的距離平方成反比。此外,由於光出口部段彎曲造成之作用到光出口部段的力量,在格子的外電極扇形的區域中係比在光出口部段的靜止位置的附近的內電極扇形區的區域中更多。此光出口部段的(彈性)力量和從靜止位置樞轉出來程度的平方成反比。因此之故,外電極扇形區的充電已比在內電極扇形區者大,以使光出口部段抗逆著其回復力量移到各電極扇形上方/下方。藉著上述電極扇形區的序列充電可將外電極扇形較高量的充電減少。因此藉著改變施加到電極扇形區的電壓,可使光出口部段在此樞轉平面中連續運動/彎曲。
依本發明另一實施例,該光波導線的光出口部段設在二個電極塊區之間,它們互相之間的距離從光出口部段的夾入點朝向其光發射端變大。在此,電極塊區宜具有從光光出口部段拱曲的電極面,這些電極面可限制該光出口部段在施加預定之電壓時最大運動遊隙空間。如果電極塊區充電到此預定電壓,則光出口部段彎曲到使得它曲折緊靠(anschmiegen)到二電極塊區之一的拱起的電極面並倚靠在該處。這種簡單系統可設計成使光出口部段作雙穩定式的偏轉,其中光出口部段係倚在其中一個或另一電極塊區上。
下述的另一實施例係為上述實施例的進一步發展。此處該電極塊區沿著朝向光出口部段的縱向分成數片段(Segment),對於這些片段(它們可互相絕緣)可以互相獨立不相干地施加電壓。這些片段離光出口部段的夾入點越遠,則一片段的電極面與在靜止位置的光出口部段夾成的角度越大。與上述具有格子形的電極扇形區的本發明的較佳實施例相似者,在此實施例中,個別的電極片段也可序列式地切換,因此光出口部段可先後地--從直接放在光出口部段的夾入點的電極段開始一直到光出口部段的光出口端上的最外電極片段為止--倚靠在越來越多的電極片段上且可彎曲得越來越厲害(直到一最大彎曲程度為止,當光出口部段倚在二電極塊區之一的所有電極片段上時),最好該片段之各調整一特定角度的電極面為平坦者,亦即沒有拱曲。如此,光出口部段在倚靠在活化的電極片段上時,正好呈延長部的方式突伸超出該活化的電極片段,因此可利用電極片段不同的調整角度,對於各電極片段面可達成特定的光出口方向。
電極片段之間的絕緣件可突伸超出電極面出去,且用於當作該沿電極片段方向彎曲的光出口部段用的止擋部。如此可省却光出口部段及/或電極面的電絕緣件,因為這些止擋部會防止光出口部段與電極面接觸。
本發明的實施例的其他特點與優點見於以下配合附圖的說明。
圖1顯示一個本發明之用於將光束偏轉的裝置,它有一條光波導線(1)(導光纖維或光纖)的一支承成可樞轉方式的光出口部段(1a)以及一支承成可樞轉方式的面鏡(2)(Spiegel,英:mirror)。此外,此裝置包含一第一樞轉裝置(10)及一第二樞轉裝置(20)。第一樞轉裝置(10)設計成將光波導線(1)的光出口部段(1a)[光L可從該處照到面鏡(2)上]在一樞轉平面(11)中樞轉。第二樞轉裝置(20)設計成將面鏡(2)繞一條在面鏡平面中的樞轉軸(21)樞轉,該樞轉軸從垂直於樞轉平面(11)的垂直線偏離。在圖1的視圖中,樞轉平面(11)[此平面係由光出口部段(1a)的不同樞轉狀態或彎曲狀態的軌跡組成]係垂直朝向者,且樞轉軸(21)[在側視圖中所示的面鏡(2)支承成可繞此樞轉軸(21)樞轉的方式]也是垂直朝向者。但也可為各種其他的朝向,特別是樞轉軸(11)的水平朝向。
圖2顯示本發明裝置的一第二實施例,此第二實施例除了包含和第一實施例以相同圖號標示的元件外,還有一光源(5),呈一紅雷射二極體R-LD,一綠雷射二極體G-LD及一藍雷射二極體B-LD的形式。這些雷射二極體的光耦入光波導線中,也可視需要經由一個或數個光纖耦合器(6)將此三條光波導線耦合在一齊成一單一光波導線。此光波導線(1)夾入在一保持手段,使得光出口部段(1a)(它從夾入點P一直延伸到導光纖維的光出口端)可自由振動。如不採此方式,也可將三條光波導線一直平行通到光出口端為止並同步振動。
一光波導線的末端對應於一個點光源,且因此產生一球形波或一大幅發散的光柱。為了避免這種效果,可在光出口端(纖維起端)設一聚焦光學手段。圖3a與3b顯示這種聚焦光學手段的二個實施例。圖3a顯示可藉著將光出口部段(1a)的光出口端熔化產生一球面透鏡的可能方式。如不採此方式也可將一球面透鏡或一所謂之GRIN透鏡(具有折射指數梯度的透鏡)粘接到該纖維端。
圖5顯示本發明裝置的一第三較佳實施例。此處數個電極E相鄰平行於光波導線(1)的光出口部段(1a)的樞轉軸(11)設置,可含將一電壓U+3 、U+2 、U+1 、U0 、U-1 、U-2 、U-3 經由一電壓供應源U施到這些電極(它們互相獨立地施電壓),因此藉著將一個或數個電極E選擇性及/或加成性也將力量作用到光出口部段(1a),可在樞轉平面(11)內達成不同程度的光出口部段(1a)的彎曲狀態。如果纖維(1a)在靜止位置/零位置,則中央電極扇形區E的面積被纖維(1a)蓋住。但此面積也可省却,因為纖維(1a)單獨地不受外力作用陷入到此位置。在靜止位置外,在光出口部段(1a)左右各有三個電極扇形區(E)。但也可考慮採用更多或更少的扇形區。如果扇形區之一施以電壓,則在電極面與鍍覆的纖維(1a)(1b)之間產生一力量。此力量使纖維(1a)彎曲且朝活化的扇形面E的方向運動。因此藉著施數個面或改變施加的電壓,可使纖維(1a)連續運動。
光出口部段(1a)可具有不同的鍍層,如圖4的橫剖面圖所示。圖4a顯示光出口部段(1a)的陽春型光波導線,它沒有鍍層。但依圖4b,光波導線(1)的光出口部段(1a)也可設以一導電的鍍層(1b)。此鍍層(1b)也可與一電壓源(U)連接,經由該電壓源,該鍍層(1b)可充電到一「對立電位」(相對於電極的電位),俾如此可控制在光出口部段(1a)與電極E之間的吸引式或推斥式的靜電力量。舉例而言,導電的鍍層(1b)可為金屬方式,且利用蒸鍍或濺鍍施覆,或也可由導電聚合物構成。如不與電壓源(U)接觸,此導電鍍層也可經由光出口部段的保持手段(纖維導引手段)接觸,且舉例而言,可和接地線連接。此外,可依圖4將光出口部段(1a)設一不導電的外覆層(1c),如此可防止當光出口部段(1a)接觸到電極(E)時,光出口部段(1a)或其導電的鍍層(1b)的電位與電極(E)造成短路的情事。
圖6顯示本發明裝置一第四實施例,此處,光波導線(1)的光出口部段(1a)設在二電極塊區(EB )之間,該二電極塊區互相間隔的距離從光出口部段(1a)的夾入點向其光發射端(3a)(3b)變大。在此,電極塊區(EB )宜具有從光出口部段(1a)拱曲起來的電極面,這些電極面限制在施一定電壓U時該光出口部段(1a)最大的運動游隙空間。如果電極塊區EB 充電到此預定電壓U,則光出口部段(1a)彎曲到使它彎曲靠緊到該二電極塊區EB 之一的拱起的電極面上且倚靠在該處。這種簡單系統可設計成用於使光出口部段作雙穩定的偏轉,其中光出口部段(1a)倚在一電極塊區另一電極塊區(EB )上。
圖7中顯示本發明裝置的第五實施例,它係第四實施例的進一步發展。此處,電極方塊EB 沿朝向光出口部段(1a)的縱方向分成片段。一電壓U可互相獨立地施到互相絕緣(絕緣件“I”)的片段EBS 。片段EBS 離光出口部段(1a)的夾入點P越遠,則一片段EBS 的電極面與在靜止位置的光出口片段(1a)形成越大的角度。片段EBS 的個別電極面與在靜止位置的導光纖維(1a)成一特定角度。由於片段EBS 可個別地啟動及斷路,故纖維(1a)可呈分段式彎曲。
為了避免未絕緣的光出口部段(1a)與同樣未絕緣的電極面EBS 接觸,該片段(EBS )之間的絕緣件(I)可突伸超出電極面且當作沿片段(EBS )方向彎曲的光出口部段(1a)的止擋部。
在以下申請專利範圍中對應於圖式之圖號及參考圖式的部分只用於使本發明容易了解,但並不限制本發明的保護範圍到圖中及說明書所例示的實施方式。
(1)...光波導線
(1a)...光出口部段
(1b)...纖維(鍍層)
(1c)‧‧‧外覆層
(2)‧‧‧面鏡
(3a)(3b)‧‧‧光發射端
(6)‧‧‧光纖耦合器
(10)‧‧‧第一樞轉裝置
(11)‧‧‧樞轉平面
(20)‧‧‧第二樞轉裝置
(21)‧‧‧樞轉軸
(U)‧‧‧電壓源
(E)‧‧‧電極
(EB )‧‧‧電極塊區
(EBS )‧‧‧片段
(I)‧‧‧絕緣件
(P)‧‧‧夾入點
圖1係本發明裝置的一第一實施例;
圖2係本發明裝置的一第二實施例;
圖3a係一光波導線的一光出口部段的一第一實施例;
圖3b係一光波導線的一光出口部段的一第二實施例;
圖4a係一光波導線的一光出口部段的一第三實施例;
圖4b係一光波導線的一光出口部段的一第四實施例;
圖4c係一光波導線的一光出口部段的一第五實施例;
圖5係本發明裝置的一第三實施例;
圖6係本發明裝置的一第四實施例;及
圖7係本發明裝置的一第五實施例。
(1a)...光出口部段
(2)...面鏡
(10)...第一樞轉裝置
(11)...樞轉平面
(20)...第二樞轉裝置
(21)...樞轉軸
(L)...光

Claims (15)

  1. 一種將光束偏轉的裝置,具有一光波導線(1)的一個支承成可樞轉方式的光出口部段(1a)及一個支承成可樞轉方式的面鏡(2),包含:一個第一樞轉裝置(10),設計成將該光波導線(1)的光出口部段(1a)在一樞轉平面(11)中樞轉,光(L)可從該光出口部段跑到面鏡(2)上,及一第二樞轉裝置,設計成將該面鏡(2)繞一條在面鏡平面中的樞轉軸(21)樞轉,該樞轉軸從垂直於樞轉平面(11)的垂直線偏離。
  2. 如申請專利範圍第1項之裝置,其中:該裝置設計成用於將光束偏轉到二個獨立的空間方向,該面鏡(2)的樞轉軸(21)平行於光波導線(1)的光出口部段(1a)的樞轉平面(11)。
  3. 如申請專利範圍第2項之裝置,其中:該面鏡(2)的樞轉軸(21)垂直於該在靜止位置的光出口部段(1a)的縱軸。
  4. 如申請專利範圍第1或第2項之裝置,其中:該第一樞轉裝置(10)至少包含一電極(E),(EB ),(EBS )以產生一電場,該電極設計成將一股靜電力作用到該光波導線(1)的光出口部段(1a)。
  5. 如申請專利範圍第1或第2項之裝置,其中:該光波導線(1)的光出口部段(1a)設有一導電的覆層(1b)。
  6. 如申請專利範圍第4項之裝置,其中:該至少一電極(E),(EB ),(EBS )利用一不導電的層與該光出口部段(1a)作電絕緣。
  7. 如申請專利範圍第5項之裝置,其中:該光出口部段(1a)設有一不導電的外覆層(1c)。
  8. 如申請專利範圍第4項之裝置,其中:該至少一電極(E),(EB ),(EBS )設置成使得在施一電壓到該電極時,該光波導線(1)的光出口部段(1a)可垂直於其縱軸由其靜止位置在樞轉平面(11)中樞轉出來。
  9. 如申請專利範圍第8項之裝置,其中:數個電極(E)相鄰平行於該光波導線(1)的光出口部段(1a)的樞轉平面(11)設置,一股電壓(U)(U+3 )(U+2 )(U+1 )(U0 )(U-1 )(U-2 )(U-3 )可互相獨立地施到該電極上,因此藉著一個或數個電極的選擇性及/或累積性的力量作用到該光出口部段(1a)上可在該樞轉平面(11)內造成光出口部段(1a)的各種不同程度的彎曲狀態。
  10. 如申請專利範圍第8項之裝置,其中:該光波導線(1)的光出口部段(1a)設在二個電極塊(EB )之間,該二電極塊互相的間隔從該光出口部段(1a)的夾入點(P)向其導光的末端(3a)(3b)變寬。
  11. 如申請專利範圍第10項之裝置,其中:該電極塊(EB )的電極面從光出口部段(1a)彎曲離開,該電極面限制該光出口部段(1a)在施一預定電壓(U)時最大的運動間隙空間。
  12. 如申請專利範圍第10項之裝置,其中:該電極塊區(EB )沿著朝光出口部段(1a)的縱方向分成片段且可將一電壓(U)互相獨立地施加到這些互相絕緣的片段(EBS ),其中一片段(EBS )距光出口部段(1a)的夾入端(P)越遠,則該片段(EBS )的電極面與該在靜止狀態的光出口部段(1a)形成越大的角度。
  13. 如申請專利範圍第12項之裝置,其中:在片段(EBS )之間的絕緣件(I)突伸超出電極面出來,且用於當作該沿片段(EBS )方向彎曲的光出口部段(1a)用的止擋部。
  14. 如申請專利範圍第8項之裝置,其中:該可施到電極(E)(EB )(EBS )上的電壓(U)可改變。
  15. 如申請專利範圍第1或第2項之裝置,其中:該第一樞轉裝置(10)利用具有一壓電活性的陶瓷的光波導線(1)的光出口部段(1a)的覆層做成,因此在施一電壓(U)時,可在該光波導線(1)陶瓷複合物中產生一機械應力,如此可造成光出口部段(1a)彎曲。
TW98145426A 2009-02-09 2009-12-29 將光束偏轉的裝置 TWI471601B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009000724A DE102009000724A1 (de) 2009-02-09 2009-02-09 Vorrichtung zum Ablenken von Lichtstrahlen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201030371A TW201030371A (en) 2010-08-16
TWI471601B true TWI471601B (zh) 2015-02-01

Family

ID=42317277

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW98145426A TWI471601B (zh) 2009-02-09 2009-12-29 將光束偏轉的裝置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8503054B2 (zh)
KR (1) KR20100091122A (zh)
DE (1) DE102009000724A1 (zh)
TW (1) TWI471601B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101869443B1 (ko) 2011-10-11 2018-06-21 삼성전자 주식회사 빛의 위치 제어 장치 및 그 제조 방법
JP5475204B1 (ja) * 2012-05-31 2014-04-16 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 走査内視鏡装置
US9096419B2 (en) * 2012-10-01 2015-08-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical systems device with protrusions to provide additional stable states
CN105934902B (zh) * 2013-11-27 2018-11-23 奇跃公司 虚拟和增强现实系统与方法
EP2902802B1 (de) * 2014-01-31 2016-10-26 S.M.S. Smart Microwave Sensors GmbH Sensorvorrichtung
CN110235046A (zh) * 2017-03-07 2019-09-13 歌尔股份有限公司 一种激光投影装置和一种激光投影系统
CN111751983A (zh) * 2019-03-29 2020-10-09 成都理想境界科技有限公司 一种小光斑光纤悬臂及扫描光成像显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020064341A1 (en) * 2000-11-27 2002-05-30 Fauver Mark E. Micro-fabricated optical waveguide for use in scanning fiber displays and scanned fiber image acquisition
US7068878B2 (en) * 2003-01-24 2006-06-27 University Of Washington Optical beam scanning system for compact image display or image acquisition
TW200702290A (en) * 2005-05-23 2007-01-16 Micro Prec Co & Ltd Optical deflection element
TW200813478A (en) * 2006-07-13 2008-03-16 Beamind Light beam deflecting method and device for scanning a target surface

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5404001A (en) * 1992-10-08 1995-04-04 Bard; Simon Fiber optic barcode reader

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020064341A1 (en) * 2000-11-27 2002-05-30 Fauver Mark E. Micro-fabricated optical waveguide for use in scanning fiber displays and scanned fiber image acquisition
US7068878B2 (en) * 2003-01-24 2006-06-27 University Of Washington Optical beam scanning system for compact image display or image acquisition
TW200702290A (en) * 2005-05-23 2007-01-16 Micro Prec Co & Ltd Optical deflection element
TW200813478A (en) * 2006-07-13 2008-03-16 Beamind Light beam deflecting method and device for scanning a target surface

Also Published As

Publication number Publication date
DE102009000724A1 (de) 2010-08-12
US20100202032A1 (en) 2010-08-12
KR20100091122A (ko) 2010-08-18
TW201030371A (en) 2010-08-16
US8503054B2 (en) 2013-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI471601B (zh) 將光束偏轉的裝置
US6906848B2 (en) Micromirror systems with concealed multi-piece hinge structures
US6386716B2 (en) Optical mirror system with multi-axis rotational control
US6091537A (en) Electro-actuated microlens assemblies
US6657759B2 (en) Bistable micromirror with contactless stops
US7567367B2 (en) Micro-mirror device and array thereof
US6632373B1 (en) Method for an optical switch on a substrate
US20020186483A1 (en) Optical mirror system with multi-axis rotational control
US9670056B2 (en) Electrostatically driven MEMS device
EP1130442A2 (en) Optical switches using dual axis micromirrors
US6701037B2 (en) MEMS-based noncontacting free-space optical switch
US6381382B2 (en) Dynamic multichannel fiber optic switch
US20080054757A1 (en) Tip-tilt actuator
US6504643B1 (en) Structure for an optical switch on a substrate
US6522802B2 (en) Optical switch using support structures with both fixed mirrors and pivotable mirrors
US6632374B1 (en) Method for an optical switch on a silicon on insulator substrate
US6466356B1 (en) Structure for an optical switch on a silicon substrate
JP5084732B2 (ja) 光スイッチ
US6628857B1 (en) Optical switch with an array of offset angled micro-mirrors
JP2009508172A5 (zh)
US6411427B1 (en) Structure for an optical switch on a glass substrate
CN105474059A (zh) Mems光纤开关
US20070018065A1 (en) Electrically controlled tiltable microstructures
JP2013138601A (ja) プレーナ型電磁アクチュエータ
CN103033885A (zh) 直梁屈曲静电式微机械光开关

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees