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TWI443037B - 架空式搬運系統及物品之移載方法 - Google Patents

架空式搬運系統及物品之移載方法 Download PDF

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TWI443037B
TWI443037B TW099105919A TW99105919A TWI443037B TW I443037 B TWI443037 B TW I443037B TW 099105919 A TW099105919 A TW 099105919A TW 99105919 A TW99105919 A TW 99105919A TW I443037 B TWI443037 B TW I443037B
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TW099105919A
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TW201036888A (en
Inventor
石川和廣
Original Assignee
村田機械股份有限公司
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Description

架空式搬運系統及物品之移載方法
本發明係關於一種架空式搬運系統中的物品移載。
以往架空式搬運系統的問題點在於若架空式移行車為進行與站點(station)間的移載而停止，則會使移行路徑堵塞而發生阻塞的情形。相關此情形，專利文獻1：JP2006-224944A中有揭示：在第1架空式移行車的移行滑軌下方設置緩衝區，而第1架空式移行車僅在與緩衝區間進行移載，至於緩衝區與站點間，則由在其他移行滑軌上移行的第2架空式移行車進行移載。此情況，因為第1架空式移行車係使升降台進行升降，而在與緩衝區間進行移載，因此在緩衝區上部的停止時間將會拉長，此期間會造成移行路徑發生堵塞。
本發明之課題在於藉由縮短架空式移行車移載物品所需的停止時間，致不妨礙後續架空式移行車的移行。
本發明之架空式搬運系統，其具備有：設於地上側之站點、及設於頂部側之架空式移行車系統；其中在上述架空式移行車系統設有：支撐物品底部並進行移行的架空式移行車、及設在該架空式移行車底部側的移行滑軌，同時設有移載裝置，該移載裝置藉由從上方可釋放自如地保持物品，而在與上述架空式移行車之間移載物品，並使物品在架空式移行車上部與上述移行滑軌側邊之上述站點上部之間橫向移動，且使物品在與上述站點之間升降而進行移載。
本發明之利用架空式搬運系統之物品移載方法，為了可在設於地上側之站點、及設於頂部側之架空式移行車系統之間移載物品，而設置有：使上述架空式移行車系統之架空式移行車支撐物品底部而沿移行滑軌移行的步驟；經由移載裝置從架空式移行車上方保持及釋放物品，藉此在移載裝置與架空式移行車之間移載物品的步驟；經由上述移載裝置使物品在架空式移行車上部與上述移行滑軌側邊之上述站點上部之間橫向移動的步驟；及經由上述移載裝置使物品升降，而在與上述站點之間移載物品的步驟。
於本說明書中，架空式搬運系統之相關記載，可直接應用於利用架空式搬運系統之移載方法，反之，移載方法之相關記載，亦可直接應用於架空式搬運系統。在與移載裝置之間進行移載時，架空式移行車保持停止、亦可移行。
架空式移行車以下，說明從架空式移行車移載至站點之發明作用，又在移載至架空式移行車之情況時則以相反之順序即可。本發明中，藉由移載裝置，從上方保持架空式移行車上之物品，使物品從架空式移行車上朝移行滑軌側邊移動，以防止與後續架空式移行車及架空式移行車上之物品發生干涉。其次，藉由移載裝置使物品升降，在與站點之間進行物品的移載。架空式移行車不必要為進行移載而使升降台升降，可以短時間完成移載。又，因為藉由移載裝置使物品朝移行滑軌側邊移動，因而可使後續架空式移行車迅速地通過，可獲得高效率之架空式搬運系統。更進一步，因為架空式移行車不必具有移載裝置，因而只要簡單的移行車即可，故可易於達高速化。
最好移載裝置具備有：從上方保持物品的升降台、使升降台升降的升降驅動部、及使升降驅動部在上述移行滑軌上方與站點上方之間橫向移動的橫向饋進部。如此一來，可迅速地使物品朝移行滑軌側邊移動，可迅速地在與站點之間進行升降。
更好是設置上述移載裝置之移行滑軌，使移載裝置與架空式移行車之移行滑軌平行移行。如此一來，架空式移行車可於任意位置處，在與移載裝置之間進行物品移載。又，亦可在不停止架空式移行車下進行物品移載，而可以更高速進行物品的搬送。
此處，若設置可供移載裝置移載物品自如的緩衝區，可暫時保管物品，且無關站點是否可利用，移載裝置均可在與架空式移行車之間進行物品的移載。同樣，無關架空式移行車是否可利用，移載裝置均可在與站點之間進行物品之移載。
與緩衝區之配置有關地，在例如上述移載裝置之移行滑軌下方，俯視下與移載裝置之移行滑軌相重疊地配置有架空式移行車之移行滑軌，同時在上述移載裝置之移行滑軌左右第1側設置上述緩衝區，在上述移載裝置之移行滑軌左右第2側配置有上述站點。於此情況下，移載裝置之橫向饋進部構成為可朝左右兩邊橫向饋進物品，當在與架空式移行車之間進行物品移載之情況時，因為不需要使橫向饋進裝置動作，因而可確實地移載物品。
亦可在上述移載裝置之移行滑軌左右第1側下方，配置有架空式移行車之移行滑軌，同時在上述移載裝置之移行滑軌下方，俯視下與移載裝置之移行滑軌相重疊地配置有上述站點。如此一來，當以橫向饋進裝置將物品拉近至移載裝置之移行滑軌下方，則物品不會與架空式移行車系統相干涉。因此，可縮短移載裝置所保持之物品與架空式移行車系統相干涉的時間。如此，可提升架空式移行車系統之搬送能力。
最好在上述移載裝置之移行滑軌左右第2側設有上述緩衝區。如此一來，移載裝置可在與緩衝區及站點之間進行物品的移載，而不會與架空式移行車系統互相干涉。
最好在上述移載裝置之移行滑軌下方，上述站點與站點之間，俯視下與移載裝置之移行滑軌相重疊地設有上述緩衝區。如此一來，移載裝置可在與緩衝區及站點之間進行物品的移載，而亦不會與架空式移行車系統互相干涉。
最好在上述架空式移行車之移行滑軌下方，俯視下與架空式移行車之移行滑軌相重疊地設有上述緩衝區。如此一來，移載裝置可在與緩衝區及站點之間進行物品的移載，而亦不會與架空式移行車系統互相干涉。
以下，揭示本發明的最佳實施例。實施例可參照該領域的習知技術而適當變更，並非用於限定本發明之範圍。
圖1至圖11表示實施例與其變化。圖1至圖7表示最初實施例與其變化，架空式搬運系統由架空式移行車系統2、移載台車系統4、以及緩衝系統6所構成。架空式搬運系統被設置於例如半導體製造工廠或平面顯示器製造工廠等之無塵室內，元件符號8係指半導體或平面顯示器等之處理裝置，元件符號10係指裝載埠口，為站點例。架空式移行車系統2與移載台車系統4沿處理裝置8並列設置，緩衝系統6當從移載台車系統4觀看時，係被設置於處理裝置8列之相反側，其具備有多數個緩衝區7。
如圖2等所示，架空式移行車系統2具備有線性馬達滑軌12與架空式移行車(OHS：OverHead Shuttle)14，線性馬達滑軌12具備有未圖示線性馬達的初級側(primary part)，架空式移行車14具備有線性馬達的次級側(secondary part)。此外，元件符號16係匣盒等物品，其每次收容例如1片或複數片半導體基板或平面顯示器等基板。移載台車系統4在無塵室頂部附近具備有移行滑軌18，架空式移行車系統2之線性馬達滑軌12位於較其更低的位置處，架空式移行車14在線性馬達滑軌12上側移行。在移行滑軌18下方且俯視下與移行滑軌18相重疊地設置有線性馬達滑軌12，在移行滑軌18的左右一邊設有緩衝區7，而在另一邊下方設置裝載埠口10。
另外，在本案申請專利範圍中，將架空式移行車系統2之線性馬達滑軌12稱為「移行滑軌」。此外，亦可在架空式移行車14中設置旋轉式移行馬達。但是，若於線性馬達滑軌12設置線性馬達之初級側，並於架空式移行車14設置線性馬達之次級側，則架空式移行車可在地面上集中控制多數架空式移行車14，使其可以高速且較短的車間距離移行。更進一步，其可輕易地與後述移載台車20等速移行。
元件符號20係移載台車，為轉用習知架空式移行車(Overhead Hoist Transport)者。移行滑軌18具備有移行面22與供電部23，移載台車20由上而下依序具備有移行單元24、受電單元25、橫向移動單元26、轉動單元27、升降驅動部28、及升降台30。於實施例中，移載台車20之移行單元24支撐於移行滑軌18內之移行面22而自動推進，但亦可透過如皮帶、鏈條、螺桿等力移行移載台車20本體。此外，移行單元24具備有旋轉式馬達，但亦可具備有線性馬達。受電單元25從供電部23受電之同時，亦經由無線LAN等而與未圖示地上側控制器間進行通信。受電可為非接觸供電方式、或為經由電纜鏈條(cableveyor)等配線方式。
橫向移動單元26使轉動單元27與升降驅動部28、及其下部之升降台30，朝例如移載台車20移行方向之左右二側橫向移動。轉動單元27使升降驅動部28與升降台30在水平面內轉動，但亦可不設置轉動單元27。升降驅動部28使用懸吊材31而使升降台30升降。元件符號32係設於升降台之夾具，可自如地握持/釋放物品16上部所設置之卡合部34。
於實施例中，橫向移動單元26使升降驅動部28朝橫向移動，但升降驅動部28亦可使橫向移動單元26與升降台30橫向移動。元件符號33係相對位置感測器，測定移載台車20在移行方向對於架空式移行車14之相對位置，且從相對位置之變化，求取移載台車20與架空式移行車14之相對速度。
使架空式移行車14與移載台車20等速平行移行，並由升降驅動部28使升降台30以例如數mm程度之行程升降，而進行物品16之移載。此時，依照升降台30是否保持物品16，而變化施加至物品16之風壓力。為防止此力使升降台30沿移行方向產生振動，因而在升降台30或升降驅動部28設置銷35，使其與在對象側所設置的銷孔36相卡合，使升降台30在移行方向相對於升降驅動部28的位置保持一定。只要為可將升降台30沿移行方向相對於升降驅動部28進行定位的手段，則可使用任意手段，而並不受限於銷35與銷孔36。另外，為在與裝載埠口10之間進行移載，若使升降台30以較長行程下降，則銷35從銷孔36脫出，若使升降台30上升，則歸位於銷孔36內。
架空式移行車14具備有移行單元40，其內部具備有未圖示之線性馬達次級側。此外，架空式移行車14之支撐單元41突出於線性馬達滑軌12上部，並支撐物品16底部。支撐單元41之例如上面設有標記42，可由移載台車20側之相對位置感測器33所讀取，而檢測其相對位置。元件符號44、45係支柱，支柱44由無塵室等之頂部而支撐線性馬達滑軌12，支柱45同樣地由無塵室等之頂部而支撐緩衝系統6。另外，亦可透過線性馬達滑軌12而支撐緩衝系統6。
圖3表示在升降驅動部28與升降台30之間設有伸縮架(pantograph)38的變化例，利用懸吊材31升降伸縮架38，藉此可使升降台30以較小行程升降。然後，在與架空式移行車14間之物品移載中，係使用伸縮架38使升降台30升降，而在與緩衝系統6及裝載埠口10間之移載中，則使用升降驅動部28與懸吊材31使升降台30升降。如此一來，當在與架空式移行車14之間進行物品16移載時，即便施加至升降台30的力量以施加至物品16的風壓量而變化，升降台30亦難以朝移行方向的前後振動。因此，可更滑順地進行物品16之移載。
圖4表示架空式移行車14側之標記42，此處標記42由一維或二維條碼構成，而相對位置感測器33則由線感測器或CCD感測器等光學感測器、與影像處理部構成。目前考慮例如將移載台車與架空式移行車14之相對速度設定在1mm/sec以下，並將移行方向之位置誤差設定在0.1mm以下。此情況下，例如將相對位置感測器33之解析度設定為0.03mm左右，感測器33以每隔例如0.03秒左右的間隔拍攝標記42，求取前次影像與本次影像之差量。若相對速度在1mm/sec以下，則每隔0.03秒所拍攝到影像之偏移在解析度以下，差量幾乎為0。當就相對速度之容許範圍更廣的情況下，感測器之解析度可更小，當更加縮短感測器之測定時間之情況下，則更加提高解析度。
由以上可知，相對速度被檢測到相當小，同時亦有經對位。若條碼有記載架空式移行車14之ID等，則移載台車20可確認架空式移行車14之ID。移載台車20與架空式移行車14之間之對位，並不受限於條碼，亦可使用任意光學式標記與光學感測器，在移載時相對速度等之容許誤差較大之情況時，亦可不設置相對位置感測器33與標記42。
圖5表示架空式搬運系統之控制系統，搬運控制器50控制架空式搬運系統整體，線性馬達控制器52控制線性馬達滑軌內所設置的線性馬達，而可控制架空式移行車14之移行。移載台車之機上控制器54控制移載台車，藉由控制移行馬達55，可使其與移載對象之架空式移行車等速移行。
關於架空式移行車與移載台車間之移載，係從搬運控制器50送出移載指令，該指令包含有在哪個位置處、於哪個架空式移行車、與哪個移載台車之間進行移載。另外，在移載時架空式移行車及移載台車之速度模式保持一定，控制器52、54記憶該等模式，並依照移載指令控制線性馬達53與移行馬達55。此外，線性馬達控制器52將移載對象之架空式移行車(OHS)之位置及速度通知給移載台車側。移載台車根據此資料而縮小其與架空式移行車之相對速度，同時控制相對位置，由相對位置感測器之信號進行正確對位與等速化，而移載物品。
圖6、圖7表示從架空式移行車移載物品至移載台車時之演算法。當移載位置越靠近時，則減速架空式移行車，同時加速移載台車，架空式移行車之速度模式就移載台車而言為已知。即使使升降台升降，只要夾具未動作，因為其不會與架空式移行車上之物品相干涉，因此可在架空式移行車與移載台車達等速之前，使升降台下降。其次，由移載台車之感測器監視相對速度與相對位置，當使移行速度相等、且將夾具對位於卡合部後，則使升降台微速上升，而進行物品之移載。使移行速度相等的理由在於防止當進行物品的移載時不會因架空式移行車與移載裝置間之相對速度而施加衝擊。所謂「等速」係指速度差例如在30mm/sec以下、較佳在10mm/sec以下、更佳在3mm/sec以下，實施例中設為1mm/sec以下。此外，在使升降台微速上升，將物品之支撐從架空式移行車切換為移載台車之期間，必須以等速進行移行。
在移載物品時，施加至升降台的力量會發生變化，為不因此而造成升降台振動，而透過上述銷或伸縮架等防止升降台之振動。由設於升降台之夾具的未圖示載重感測器等而檢測移載是否完成，增加升降台之上升速度，同時通知已完成從移載台車朝線性馬達控制器52之移載。藉此，架空式移行車增速，而移載台車則等待升降台之上升完成後，才開始減速，移行至卸下物品的緩衝區或裝載埠口處而停止。另外，在從移載台車移載物品至架空式移行車之情況時，當二者設為大致等速之後，一邊使升降台下降，一邊使移載台車與架空式移行車進行對位，同時使速度合致。當速度合致且經對位後，使升降台些微下降，並將物品之支撐從移載台車切換為架空式移行車。當載重感測器檢測到移載已完成後，架空式移行車會再加速，移載台車打開夾具，同時使升降台更進一步下降，避免與物品相干涉，其次開始升降台之上升與減速。
返回圖2，在緩衝區7與移載台車20之間，由橫向移動單元26使升降驅動部28等橫向移動，而移載物品。此外，在緩衝區7與裝載埠口10間之物品移載，亦是由橫向移動單元26使升降驅動部28等橫向移動，並由升降驅動部28使升降台30升降而移載。另外，圖2之元件符號29係橫向移動單元26之上端部，為左右方向移動最大的部分。在緩衝區7與裝載埠口10之移載中，移載台車20保持停止而未移行。
移載台車系統4之移行滑軌18平行於架空式移行車系統2之線性馬達滑軌12而設置於其上部，並於移行滑軌18左右設置緩衝系統6與裝載埠口10。此外，針對複數處理裝置8分配1條移行滑軌18，最好使複數台移載台車20以1條移行滑軌18移行，對複數處理裝置8進行物品的供給與搬出。如此一來，可使用複數台移載台車20，對作業集中的處理裝置集中進行物品供給與搬出。
實施例可獲得以下作用及效果。
(1)架空式移行車14可不停止地進行物品的移載。此時，架空式移行車14雖有減速，但相較於停止的情況，對後續架空式移行車而言堵塞移行路徑的時間較短，而難以發生阻塞之情形。另外，亦可不使架空式移行車14減速，而是將移載台車20加速至架空式移行車14之通常速度而進行移載，但會使物品之移載變為較困難。
(2)移載台車20可相對裝載埠口10進行物品16之供給與搬出，並可使用緩衝系統6暫時保管物品。
(3)架空式移行車14中，支撐單元41位於上方，而在移載台車20中，升降台30則朝下配置。因此，可在架空式移行車14與移載台車20不會相干涉的情況下進行移載。另外，升降台30亦可由電磁石之吸附而非由夾具32等來保持卡合部34。
(4)當移載台車20以些微行程使升降台30升降時，可與架空式移行車14之間進行物品的移載，等速移行所必要的時間例如為0.1秒級(order)。因為架空式移行車14不必停止，因此加減速時間例如減速與加速分別在1秒以下。作為其中1例，若架空式移行車14之速度為5m/sec、加速度為2.5m/sec2 、移載時速度為3m/sec、等速移行時間為0.1秒，則後續架空式移行車移載不減速之車間距離為1.8m。此外，若移載時速度為4m/sec，則所必要之車間距離為0.5m。相相同條件下，若架空式移行車14停止1秒鐘而進行移載，則為防止後續架空式移行車減速，則必須保持15m之車間距離。
(5)移載時物品所承受的風壓係與速度之二次方~三次方成比例。又，供移載台車20加減速的行程係與速度之二次方成比例。因此，架空式移行車14減速，較移載台車20加速至架空式移行車14之通常移行速度而更為有利。
(6)因為架空式移行車14不需要移載機構，因此可由地上1次線性馬達而輕易地控制。故，可以較短之車間距離集中控制多數台架空式移行車14，亦使與移載台車20之等速移行較為容易。
圖1至圖7之實施例中，當升降台30在保持物品16之狀態下而通過線性馬達滑軌12上部時，會妨礙架空式移行車14之移行。為解決此種問題，如圖8至圖11之實施例所示，該等實施例之緩衝系統配置，亦可併用圖2中緩衝系統6之配置。圖8中，於處理裝置8上部設置有緩衝系統6，在移載台車系統4正下方，且俯視下與移行滑軌18相重疊地設置有裝載埠口10。架空式移行車系統2位於移行滑軌18之左右其中一側，而緩衝系統6則位於左右之另一側。此外，移載台車利用橫向移動單元26而在與架空式移行車14之間移載物品。而其餘與圖1至圖7之實施例同樣，圖8之實施例可將處理裝置8之上部閒置空間利用於緩衝系統6之設置。
圖9之實施例中，亦利用橫向移動單元26而在與架空式移行車14之間移載物品，在此情況下，橫向移動單元26只要在與線性馬達滑軌12之間橫向移動物品16即可，但亦可不使物品沿左右兩邊橫向移動。在移載台車系統4下方，俯視下與移行滑軌18相重疊地設置有裝載埠口10與緩衝系統86，各個緩衝區86a被配置於裝載埠口10、10間之空間。另外，元件符號87係緩衝系統86之支柱，亦可使用架空式移行車系統2等支撐緩衝系統86。
圖10、圖11之實施例中，在線性馬達滑軌12之下部空間，俯視下與線性馬達滑軌12相重疊地設置有緩衝系統96，元件符號97係其支柱。圖10、圖11之實施例中，在移載台車之轉動單元27下部設置升降驅動部，使橫向 移動單元26升降，在橫向移動單元26之上端部29設置升降台30。此處，在懸吊材31大幅繞出之狀態下與緩衝系統96之間移載物品16時，會有橫向移動單元26朝移行方向左右傾斜之可能性。因此，於升降驅動部28等朝下安裝例如前後一對導件90，並於橫向移動單元26設置被導引體92，透過導件90一邊進行導引一邊進行升降。另外，由於與裝載埠口10之間的移載不需要導件90，因此導件90位在高於裝載埠口10之位置處即可，橫向移動單元側之被導引體92可自如地通過導件90下端。另外，橫向移動單元26只要在與線性馬達滑軌12及緩衝系統96之間橫向移動物品16即可。
另外，亦可在移載時停止架空式移行車14而在與移載台車20之間移載物品，在此情況下，移載台車20亦可為不具有移行單元24之固定式移載裝置。
2‧‧‧架空式移行車系統
4‧‧‧移載台車系統
6‧‧‧緩衝系統
7‧‧‧緩衝區
8‧‧‧處理裝置
10‧‧‧裝載埠口
12‧‧‧線性馬達滑軌
14‧‧‧架空式移行車
16‧‧‧物品
18‧‧‧移行滑軌
20‧‧‧移載台車
22‧‧‧移行面
23‧‧‧供電部
24‧‧‧移行單元
25‧‧‧受電單元
26‧‧‧橫向移動單元
27‧‧‧轉動單元
28‧‧‧升降驅動部
29‧‧‧頂部
30‧‧‧升降台
31‧‧‧懸吊材
32‧‧‧夾具
33‧‧‧相對位置感測器
34‧‧‧卡合部
35‧‧‧銷
36‧‧‧銷孔
38‧‧‧伸縮架
40‧‧‧移行單元
41‧‧‧支撐單元
42‧‧‧標記
44、45‧‧‧支柱
50‧‧‧搬運控制器
52‧‧‧線性馬達控制器
53‧‧‧線性馬達
54‧‧‧機上控制器
55‧‧‧移行馬達
86‧‧‧緩衝系統
86a‧‧‧緩衝區
87‧‧‧支柱
90‧‧‧導件
92‧‧‧被導引體
96‧‧‧緩衝系統
97‧‧‧支柱
圖1為實施例之架空式搬運系統之要部俯視圖。
圖2為實施例之架空式搬運系統之要部放大前視圖。
圖3為表示變化例之升降驅動部與升降台間之伸縮架之前視圖。
圖4為表示實施例之架空式移行車與周圍移行滑軌之俯視圖。
圖5為表示實施例之控制系統之方塊圖。
圖6為表示實施例之架空式移行車與移載台車間之移載演算法之流程圖。
圖7(1)至(4)為架空式移行車與移載台車間之移載時序圖，其中(1)表示架空式移行車之速度，(2)表示移載台車之速度，(3)表示升降台之高度，(4)表示夾具之開閉。
圖8為第2實施例之要部放大前視圖。
圖9為第3實施例之要部放大前視圖。
圖10為第4實施例之要部放大前視圖。
圖11為圖10之XI-XI方向之放大剖視圖。
2．．．架空式移行車系統
6．．．緩衝系統
7．．．緩衝區
8．．．處理裝置
10．．．裝載埠口
12．．．線性馬達滑軌
14．．．架空式移行車
16．．．物品
18．．．移行滑軌
20．．．移載台車
22．．．移行面
23．．．供電部
24．．．移行單元
25．．．受電單元
26．．．橫向移動單元
27．．．轉動單元
28．．．升降驅動部
29．．．頂部
30．．．升降台
31．．．懸吊材
32．．．夾具
33．．．相對位置感測器
34．．．卡合部
35．．．銷
36．．．銷孔
40．．．移行單元
41．．．支撐單元
42．．．標記
44、45．．．支柱

Claims (9)

  1. 一種架空式搬運系統，其具備有：設於地面側之站點(station)、及設於天花板側之架空式移行車系統；在上述架空式移行車系統設有：支撐物品底部並進行移行的架空式移行車、及設在該架空式移行車底部側的移行滑軌，同時設有移載台車，該移載台車係藉由從上方可釋放自如地保持物品，而在與上述架空式移行車之間移載物品，並使物品在架空式移行車上部與上述移行滑軌側邊之上述站點上部之間橫向移動，且使物品在與上述站點之間升降而進行移載，而藉由使上述移載台車與架空式移行車之移行滑軌平行地、且與架空式移行車等速地移行，可使架空移行車不須停止，而在移載台車與架空式移行車之間移載物品。
  2. 如申請專利範圍第1項之架空式搬運系統，其中，上述移載台車具備有：從上方保持物品的升降台、使升降台升降的升降驅動部、及使升降驅動部在上述移行滑軌上方與站點上方之間橫向移動的橫向饋進部。
  3. 如申請專利範圍第2項之架空式搬運系統，其中，更進一步設有用於暫時保管物品的緩衝區。
  4. 如申請專利範圍第3項之架空式搬運系統，其中，在上述移載台車之移行滑軌下方，俯視下與移載台車之 移行滑軌相重疊地配置有架空式移行車之移行滑軌，同時在上述移載台車之移行滑軌左右第1側設置上述緩衝區，在上述移載台車之移行滑軌左右第2側配置有上述站點。
  5. 如申請專利範圍第3項之架空式搬運系統，其中，在上述移載台車之移行滑軌左右第1側下方，配置有架空式移行車之移行滑軌，同時在上述移載台車之移行滑軌下方，俯視下與移載台車之移行滑軌相重疊地配置有上述站點。
  6. 如申請專利範圍第5項之架空式搬運系統，其中，在上述移載台車之移行滑軌左右第2側設有上述緩衝區。
  7. 如申請專利範圍第5項之架空式搬運系統，其中，在上述移載台車之移行滑軌下方，於上述站點與站點之間俯視下與移載台車之移行滑軌相重疊地設有上述緩衝區。
  8. 如申請專利範圍第5項之架空式搬運系統，其中，在上述架空式移行車之移行滑軌下方，俯視下與架空式移行車之移行滑軌相重疊地設有上述緩衝區。
  9. 一種利用架空式搬運系統之物品移載方法，為了可在設於地面側之站點、及設於天花板側之架空式移行車系統之間移載物品，而進行以下步驟： 為了使上述架空式移行車系統之架空式移行車支撐物品底部而沿移行滑軌移行的步驟；為了使移載台車與架空式移行車之移行滑軌平行地、且與架空式移行車等速地移行，同時經由移載台車從架空式移行車上方保持及釋放物品，藉此可使架空移行車不須停止，而在移載台車與架空式移行車之間移載物品的步驟；為了經由上述移載台車使物品在架空式移行車上部與上述移行滑軌側邊之上述站點上部之間橫向移動的步驟；及為了經由上述移載台車使物品升降，而在與上述站點之間移載物品的步驟。
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Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008059711A1 (de) * 2008-11-29 2010-06-10 Eisenmann Anlagenbau Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Umsetzen von Gegenständen sowie Förderanlagen mit einer solchen Vorrichtung
JP5273118B2 (ja) * 2010-10-04 2013-08-28 村田機械株式会社 搬送車及び搬送システム
KR101533366B1 (ko) 2010-11-04 2015-07-02 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
JP5229363B2 (ja) * 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
TWI415785B (zh) * 2011-01-12 2013-11-21 Inotera Memories Inc 天車輸送系統與其操作方法
JP5750926B2 (ja) * 2011-02-15 2015-07-22 村田機械株式会社 天井搬送車
JP5316907B2 (ja) * 2011-03-17 2013-10-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5454502B2 (ja) * 2011-03-29 2014-03-26 村田機械株式会社 搬送車システム
US9457956B2 (en) * 2011-05-31 2016-10-04 Murata Machinery, Ltd. Drawer device and storage device
JP5674041B2 (ja) * 2011-08-11 2015-02-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN102514939A (zh) * 2011-11-14 2012-06-27 深圳市华星光电技术有限公司 空间立体式在线搬送系统
KR101874320B1 (ko) * 2011-11-29 2018-07-05 삼성전자주식회사 호이스트 장치 및 이를 포함하는 호이스트 반송시스템
US20130218518A1 (en) * 2012-02-21 2013-08-22 International Business Machines Corporation Automated, three dimensional mappable environmental sampling system and methods of use
KR101680271B1 (ko) * 2012-07-26 2016-11-28 무라다기카이가부시끼가이샤 천정 주행차 시스템 및 천정 주행차 시스템에서의 이재 제어 방법
CN102897538B (zh) * 2012-09-18 2016-12-21 上海集成电路研发中心有限公司 自动化物料传输系统及其方法
JP6007880B2 (ja) * 2013-10-10 2016-10-12 株式会社ダイフク 天井搬送車
KR101829650B1 (ko) * 2014-01-07 2018-02-19 무라다기카이가부시끼가이샤 이동 재치 장치 및 이동 재치 장치의 제어 방법
KR101595001B1 (ko) 2014-01-20 2016-02-26 주식회사 에스에프에이 이송장치
JP6314713B2 (ja) * 2014-07-14 2018-04-25 株式会社ダイフク 階間搬送設備
KR20170058393A (ko) * 2014-09-25 2017-05-26 무라다기카이가부시끼가이샤 퍼지 장치 및 퍼지 방법
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
KR102207870B1 (ko) * 2014-12-02 2021-01-26 세메스 주식회사 그립부 지지유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치
KR102441186B1 (ko) * 2015-08-28 2022-09-08 삼성전자주식회사 기판 이송 장치
SG11201806900WA (en) * 2016-03-03 2018-09-27 Murata Machinery Ltd Temporary storage system
KR101854034B1 (ko) 2016-08-30 2018-05-02 세메스 주식회사 비접촉 주행 모듈 및 이를 포함하는 이송 장치
US10988359B2 (en) * 2016-10-18 2021-04-27 Murata Machinery, Ltd. Overhead transport vehicle and transport system
JP6696406B2 (ja) * 2016-10-31 2020-05-20 株式会社ダイフク 移載機
KR102227453B1 (ko) * 2016-11-14 2021-03-12 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송 시스템과 이에 이용하는 중계 반송 장치 및 반송 방법
JP6607175B2 (ja) * 2016-12-07 2019-11-20 株式会社ダイフク 移載機
TWI612006B (zh) * 2017-01-13 2018-01-21 中國鋼鐵股份有限公司 扁鋼胚自動儲放系統及其操作方法
KR102166348B1 (ko) 2018-10-05 2020-10-15 세메스 주식회사 이송 장치의 동작 제어 방법
JP7095750B2 (ja) * 2018-11-06 2022-07-05 村田機械株式会社 天井吊下棚
JP7120434B2 (ja) * 2019-02-26 2022-08-17 村田機械株式会社 移載装置及び天井搬送車
KR102233475B1 (ko) * 2019-11-14 2021-03-26 시너스텍 주식회사 슬라이드 처짐 방지용 지그를 구비한 oht
US11854849B2 (en) * 2020-06-12 2023-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Method for operating conveying system
KR102181492B1 (ko) 2020-10-08 2020-11-23 세메스 주식회사 이송 장치의 동작 제어 방법
IL303939A (en) * 2021-01-05 2023-08-01 Murata Machinery Ltd Ceiling depository system
US11590849B1 (en) * 2021-08-17 2023-02-28 Amazon Technologies, Inc. Wireless powering and control of conveyors on shuttles
TWI797040B (zh) * 2022-02-17 2023-03-21 盟立自動化股份有限公司 高空走行式無人搬運車的搬運系統及無人搬運車
KR102749079B1 (ko) * 2022-09-20 2024-12-31 세메스 주식회사 컨테이너 중계 유닛 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0318405Y2 (zh) * 1986-09-02 1991-04-18
JPH01149310U (zh) * 1988-04-07 1989-10-16
JP2525297B2 (ja) * 1991-06-21 1996-08-14 村田機械株式会社 移載装置
JP2528416B2 (ja) * 1992-06-04 1996-08-28 村田機械株式会社 移載装置
JP2827776B2 (ja) 1992-12-28 1998-11-25 株式会社ダイフク 搬送設備
JP3261445B2 (ja) * 1993-12-01 2002-03-04 株式会社ダイフク 搬送設備
JPH09153533A (ja) 1995-12-01 1997-06-10 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウエハ保管システムおよびそのシステムを使用した半導体装置の製造方式
JP3436334B2 (ja) * 1996-08-06 2003-08-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JPH1159829A (ja) 1997-08-08 1999-03-02 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
JP2000053237A (ja) * 1998-08-07 2000-02-22 Shinko Electric Co Ltd 搬送設備
JP2000099151A (ja) * 1998-09-21 2000-04-07 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2003171081A (ja) * 2001-12-06 2003-06-17 Murata Mach Ltd 天井搬送システム及びその搬送方法
JP2005294280A (ja) 2002-04-12 2005-10-20 Hirata Corp 密閉容器搬送システム
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP4045451B2 (ja) 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4092582B2 (ja) * 2004-08-27 2008-05-28 村田機械株式会社 搬送台車
JP2006096427A (ja) * 2004-09-28 2006-04-13 Murata Mach Ltd 物品保管設備
JP4296601B2 (ja) 2005-01-20 2009-07-15 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP2007331906A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP5145686B2 (ja) * 2006-10-20 2013-02-20 村田機械株式会社 搬送システム
US20080217268A1 (en) 2006-11-15 2008-09-11 Daifuku Co., Ltd. Frame system for an article storage apparatus
JP4277287B2 (ja) * 2006-11-27 2009-06-10 村田機械株式会社 天井走行車
CN201172549Y (zh) * 2007-09-11 2008-12-31 王树生 同步式悬挂输送机

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Publication number Publication date
KR101356569B1 (ko) 2014-01-28
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