TWI440743B - Treatment tank - Google Patents

Description

處理液槽

本發明係關於可供給排放電鍍液等之各種處理液之處理液槽，尤其係關於具備可在短時間進行處理液之供給排放，且具有可使垂直狀態之板狀工件不作升降地通過之工件通過口之閘門裝置的處理液槽。

在電鍍處理裝置等之處理液槽中，具備具有工件通過口之閘門裝置之情形時，該閘門裝置在工件不通過時係關閉工件通過口，可進行向處理液槽內之處理液之填充，而在工件通過時，則使工件通過口開啟。上述閘門裝置之構造係例如具備在水平方向上滑動自如之板狀之閘門構件，或以左右對開形式在垂直軸周圍旋轉自如之一對板狀閘門構件，藉由具有馬達及減速齒輪機構之機械性驅動機構，使閘門構件啟閉驅動(專利文獻1)。

又，作為其他之啟閉方式之閘門裝置，其構成方式亦可為：具備板狀閘門構件成上下方向滑動自如，且在上述閘門構件上安裝浮子(浮具)，藉由處理液槽內之處理液之增加，使閘門構件與浮子同時上升，從而關閉工件通過口(專利文獻2)。

上述各閘門裝置由於均具有矩形狀之寬度較大之工件通過口，並藉由驅動機構驅動一個或一對閘門構件而使工件通過口整體啟閉之構造，故啟閉工件通過口需花費時間，在連續處理多數工件之情形時，無法以短時間進行處理液之供給排放，而使作業效率不佳。

相對於具有如上述之工件通過口及閘門裝置之處理液槽，在專利文獻3中揭示有一種處理液槽，其係將工件通過口之形狀，形成為具有可供工件及保持工件之構件通過的大致最小限度之面積的形狀。

專利文獻3之處理液槽，如圖22所示，在電鍍液槽14與箱槽15之間之槽壁82，或在箱槽15與空台16之間之槽壁83上，形成有工件通過口88。各工件通過口88包含有最小限度可供垂直狀態之工件通過之狹長寬度之狹縫狀開口部88b，及可供支持工件上端部之保持構件通過之擴張開口部88a。為啟閉狹縫狀開口部88b，而伸縮自如地具備有袋狀彈性構件製之閘門構件(未圖示)，藉此，可縮短處理液之供給排放時間，且使閘門裝置關閉時之密封功能提高。再者，形成上述擴張開口部88a之理由為以使工件之上端沉入距電鍍液面(L1)50mm左右的方式浸漬工件，藉此而防止電流集中於工件之上端部，從而防止電流集中所造成之電鍍膜厚之不均一。

[專利文獻1]日本特開2004-99957號公報

[專利文獻2]日本特開昭55-141558號公報

[專利文獻3]日本特開2007-113066號公報

然而，如圖22(專利文獻3)所示，即使工件通過口88包含狹縫狀開口部88b與擴張開口部88a，在僅具備有啟閉狹縫狀開口部88b之閘門構件之情形時，擴張開口部88a將總是開著，即使欲在處理液槽內收納期望量之處理液，處理液也會從擴張開口部88a漏出，而難以長期保持特定量之處理液。

例如，若在箱槽15與空台16之間之槽壁83上所形成之開口88之擴張開口部88a總是開著，則箱槽15在充滿時(以實線表示之液面L1)，電鍍液將從箱槽15透過擴張開口部88a漏出至空台16，且電鍍液勢必衝撞空台16之底面，而發生氣泡。又，在箱槽15之排液時(以二點鏈線表示之液面L2)，電鍍液會從電鍍液槽14透過槽壁82之擴張開口部88a漏出至箱槽15，電鍍液勢必衝撞於箱槽15之排液面(L2)並發生氣泡。如此，一旦發生氣泡，氣泡將從各槽15、16溢出，而污染裝置周圍。又由於氣泡附於工件，故若工件搬送至下個步驟，下個步驟之裝置會被氣泡污染。針對於此，用以清潔工件或裝置之步驟及機構乃成為必要。

本發明之目的在於提供一種處理液槽，藉由使工件通過口具有狹縫狀開口部及擴張開口部，藉此，將工件通過口之開口面積限於必要最小限度，且即使為具有上述形狀之工件通過口之處理液槽，亦可以短時間且確實啟閉工件通過口全體，且亦可維持工件通過口之密封性。

為解決上述問題，本發明之具備給液機構及排液機構且在槽壁設置具有工件通過口之閘門裝置之處理液槽中，上述工件通過口具有：可供垂直狀態之板狀工件通過之於上下方向細長之狹縫狀開口部，及在該狹縫狀開口部之上端相較上述狹縫狀開口部較寬而形成之擴張開口部，且上述閘門裝置具備藉由驅動機構在大致水平方向移動或變形並啟閉上述狹縫狀開口部之閘門構件，及與該閘門構件另外之啟閉上述擴張開口部之活動遮板，上述活動遮板具備配置於處理液槽內之浮子，藉由隨著處理液槽內之處理液增減的浮子升降，可使上述活動遮板在開啟位置與關閉位置之間變更位置。

(1)根據上述構成，由於可將工件通過口之開口面積限制在可供工件及工件保持構件通過之大致最小面積，故可抑制處理液從工件通過口漏出。

(2)由於將狹縫狀開口部藉由在水平方向滑動或變形自如之閘門構件而啟閉，並使擴張開口部藉由繞著水平旋轉軸自由旋轉之活動遮板而啟閉，故可以短時間啟閉工件通過口全體，而可使連續之工件處理作業之效率提高。即，由於根據各開口部之形狀分別具備有滑動或變形式之閘門構件或旋轉式之活動遮板，故可大為縮短工件通過口全體之啟閉時間。

(3)由於利用配置於處理液槽內之浮子而使活動遮板運作，故無須具備活動遮板啟閉用之馬達等之特別之驅動機構，從而可簡易化閘門裝置。

本發明在上述構成中，可以V字形形成上述擴張開口部。

根據上述構成，狹縫狀開口部及連接於其上方之擴張開口部之形成作業較為簡單。

本發明在上述構成中，上述浮子可固著於活動遮板之旋轉軸，從而可與活動遮板一體旋轉。

根據上述構成，可將浮子與活動遮板一體緊密地配置。

本發明在上述構成中，亦可代替旋轉式之浮子，而構造成經由索狀構件使浮子連接於活動遮板，並將上述索狀構件從活動遮板延伸至下方，且經由反轉篩折回至上方，在折回之上端部連接上述浮子。

根據上述構成，可在處理液槽內之期望位置，配置浮子。即，增加浮子佈局之靈活性。

[第1實施形態] (電鍍裝置整體之概略)

圖1~圖10顯示具備本發明之處理液槽及驅動機構之電鍍裝置。圖1係電鍍裝置整體之平面圖，在以大致橢圓形狀所構成之電鍍處理線，從處理線之長度方向之一端部(圖1之右端部)之裝載部10，於箭頭F方向(順時鐘旋轉方向)依次具備有前處理步驟之前處理槽(淋浴槽)11、空台12、箱槽13、電鍍步驟之電鍍槽14、後處理步驟之箱槽15、空台16、第1後處理槽(淋浴槽)17、長度方向之另一端部之第2後處理槽(回收槽)18、卸載部19、剝離步驟(吊具返回步驟)之空台20、箱槽21、剝離槽22、箱槽23、空台24及剝離後處理槽(淋浴室)25。在浸漬處理槽之電鍍槽14及剝離槽22之工件搬送方向之前後，分別毗連有箱槽13、15、21、23，箱槽13、21之出口兼有電鍍槽14及剝離槽22之入口，而箱槽15、23之入口兼有電鍍槽14及剝離槽22之出口。

在上述電鍍處理線之內周側以橢圓形狀敷設有導軌27，在該導軌27以軌道長度方向可移動而支持有複數之搬送吊具28。

在導軌27之內周側，為使搬送吊具28在水平方向移動，配置有複數之獨立的搬送裝置31、32...40。該搬送裝置31、32、...40中，在與各箱槽13、15、21、23對應之位置，分別配設有直線加速器型往復動式之採集搬送裝置31、32、33、34。在與前處理步驟之前處理槽11及空台12對應之位置、與電鍍槽14對應之位置、與後處理步驟之空台16及第1後處理槽17對應之位置、與剝離步驟之空台20對應之位置、與剝離槽22對應之位置、及與空台24及剝離後處理槽25對應之位置，分別配設有鏈條輸送機型之連續搬送裝置35、36、37、38、39、40。又，從後處理步驟之第1後處理槽17經由第2後處理槽18至卸載部19之間，與從剝離後處理槽25經由裝載部10至前處理槽11之間，配置有未圖示之推動搬送吊具之推進裝置。在圖1中，以雙重線箭頭所表示之各區間A1~A6係顯示利用鏈條輸送機型之連續搬送裝置35、36、37、38、39、40之搬送區間，而以虛線箭頭所表示之各區間B1~B4係顯示利用直線加速器型之採集搬送裝置31、32、33、34之搬送區間，而以實線箭頭所表示之區間C1、C2、C3、C4係顯示利用推進裝置之搬送區間。

圖2係圖1之電鍍槽14、後處理步驟之箱槽15、空台16及第1後處理槽17之縱剖面放大簡圖，該等電鍍槽14、箱槽15、空台16及第1後處理槽17被設置於一定高度之架台42上，而架台42內配置有預備槽43。在箱槽15之上方，透過未圖示之架台，配設有特定容積之圓柱槽(給液機構)47。

在箱槽之15之底壁，設置有可啟閉之排出口栓(排液機構)46，在該排出口栓46，設置有用於啟閉驅動該排出口栓46之操作部46a。在預備槽43與圓柱槽47之間配設配管48，在該配管48，設置有用於從預備槽43向圓柱槽47導入電鍍液(處理液)之泵49及過濾器50。圓柱槽47之底部，可啟閉地設置有可從上方供給處理液至箱槽15之排出口栓51。

在預備槽43與電鍍槽14之間並設有2個配管55、56，任一配管55、56皆設置有泵57、59及過濾器58、60，用以從預備槽43向電鍍槽14供給電鍍液。其中一者之配管55係在箱槽15之閘門啟閉時，用於將電鍍槽14之液面維持於特定高度者，另一者之配管56則用於電鍍液循環。又，在空台16之底部設置有用於向預備槽43排出電鍍液之排出管44，再者，在電鍍槽14，亦設置有用於將溢流之電鍍液排出至預備槽43之溢流管61。

(搬送吊具)

圖3係搬送吊具28之圖2之III-III剖面放大圖，搬送吊具28包含有在上述導軌27支持導軌長方向移動自如之移動基台63、從該移動基台63水平延伸至與導軌27大致直角方向之臂部64、及從該臂部64之前端部延伸至下方之工件吊持部65，在工件吊持部65之下端部，設置有吊持銷66及夾具67。將工件(例如電路用基板)W之上端部之扣合孔扣合於上述吊持銷66，並藉由夾具67使其保持不脫落。所吊持之工件W透過吊持部65及雖未圖示但適宜之導電機構，電力連接於導軌27後，從導軌27供給電力。在移動基台63之上面，固著有在與臂部64成相反方向水平延伸之支軸70，該支軸70以使鏈輪71透過單向離合器72僅向一個方向旋轉的方式而予以支持。具體而言，在圖2中，上述鏈輪71以在箭頭R方向旋轉，但不在箭頭R反方向旋轉的方式而構成。

(搬送裝置)

在圖2中，鏈條輸送機型之連續搬送裝置36、37係由驅動鏈輪73、從動鏈輪74、及在兩鏈輪73、74之間所捲繞之搬送鏈條75(圖3)所構成，在搬送鏈條75之上側行駛部份，上述搬送吊具28之鏈輪71為扣合之狀態。搬送吊具28如上所述，具備有單向離合器72(圖3)，藉此，以扣合於搬送鏈條75的狀態，使其與搬送鏈條75之上側部份同時向圖2之箭頭F方向移動。

在圖2中，直線加速器型之採集搬送裝置32，係構成為在與導軌27以並行而配置之引導部76上，以與導軌27平行移動地支持滑件77，該滑件77藉由雖未圖示但具備於引導部76之螺紋推進機構及伺服馬達等，使引導部76往復移動。

圖4係圖2之IV-IV截面放大圖，在上述滑件77上，固著有向搬送吊具28側大致水平延伸之支軸78，而該支軸78支持有在下方延伸之採集爪79使其可繞著支軸78旋轉。上述採集爪79藉由未圖示之阻擋器，在圖2所示之狀態，從箭頭S反方向扣止，而從箭頭F反方向側扣合於搬送吊具28之支軸70，並向滑件77之箭頭F方向移動，藉此，透過採集爪79，而使搬送吊具28朝箭頭F方向移動。再者，滑件77相對於搬送吊具28於箭頭F反方向側移動時，可使採集爪79在箭頭S方向旋轉並跨過搬送吊具28之支軸78。

(電鍍槽及其前後之箱槽13、15等之構造)

圖5係電鍍槽14與其前後之箱槽13、15及空台12、16之縱剖面概略圖，圖6係後處理步驟之箱槽15之放大平面圖，圖7係圖6之Ⅶ-Ⅶ剖面放大圖，圖8係圖7之平面圖，圖9係顯示開啟狀態之閘門裝置之作用說明圖，圖10係顯示關閉狀態之閘門裝置之作用說明圖。再者，在方便說明之基礎上，將與工件搬送方向F正交之水平方向，如圖7從搬送方向F側看之方向作為「左右方向」，而作以下說明。

在圖6中，後處理步驟之箱槽15，在與箭頭F方向正交之方向隔以特定之間隔，配置左右一對箱部15a，在左右箱部15a間使工件W通過。藉由具備箱部15a，使向箱槽15所供給之液量變少，從而可減少啟閉閘門裝置84時之電鍍液之變動，且可縮短向箱槽15所供給之電鍍液之排出時間。

在電鍍槽14與後處理用之箱槽15之間之縱壁82上，設置有僅具滑動式之閘門構件93之閘門裝置84，在箱槽15與空台16之間之縱壁83上，按照本發明，設置有具滑動式之閘門構件93與浮子式活動遮板150之閘門裝置85。又，在配置於圖5之電鍍槽14之搬送上游側之前處理用之箱槽13與電鍍槽14之間及箱槽13與空台12之間，亦可分別設置有與後處理用同樣之閘門裝置84、85。

(閘門裝置85)

說明後處理用之箱槽15與電鍍槽14之間之閘門裝置85之構造。在圖7中，在縱壁83之左右寬之中央部，形成有U字狀之閘門裝置安裝用凹部89，在該凹部89，透過橡膠管製襯墊90，安裝有閘門裝置85。該閘門裝置85在左右寬之中央部具有工件通過口88。該工件通過口88係由在上下方向延伸之狹縫狀開口部88b，及形成於該狹縫狀開口部88b之上端且向上擴大之V字狀之擴張開口部88a所構成。狹縫狀開口部88b之左右寬度比板狀工件W之厚度大，V字狀開口部88a為可供搬送吊具28之吊持部65及夾具67通過之大小。作為閘門構件92、93之材料，宜選擇例如耐蝕性及耐久性強之樹脂等。

形成上述V字狀之擴張開口部88a之理由在先前技術之說明項已有說明，其係以使工件W之上端沉降至距電鍍液面等50mm左右的方式，浸漬工件W，藉此，防止電流集中於工件W之上端部，從而防止因電流集中所造成之電鍍膜厚之不均一化。因此，把持工件W之上端部之夾具67之下端部份亦有必要以浸漬於電鍍液之狀態而搬送，為夾具67通過用而形成有上述擴張開口部88a。

閘門裝置85具備有縱長U字狀之閘門裝置本體91；固定於該U字狀閘門裝置本體91之左側柱部91a之阻擋構件92；為啟閉狹縫狀開口部88b並支持在閘門裝置本體91之右側柱部91b於左右方向移動自如之上述可動閘門構件93；具有用以移動該可動閘門構件93之第1及第2管體構件101、102之驅動機構94；具備為啟閉擴張開口部88a而繞著水平之旋轉軸152旋轉自如之上述浮子式活動遮板150；及為使該浮子式活動遮板150運作之浮子151。

在圖8中，阻擋構件92之前端部，在上下方向之大致全長上，安裝有襯墊108。而閘門裝置本體91之右側柱部91b上，在工件搬送方向F側之面上，固定有引導上述可動閘門構件93滑動自如之導板110，在與導板110之工件搬送方向F側成相反側之面，配置有用以收納上述第1及第2管體構件101、102之L字形之導箱111。

在由上述導板110、導箱111、及右側柱部91b之右面所圍成之管體收納室內，左右方向移動自如地收納有水平剖面矩形狀之滑動部93a，在該滑動構件93a之左側之空間部，收納有上述第1管體構件101，而在右側之空間部收納有上述第2管體構件102。兩管體構件101、102為具彈性之橡膠製管體，藉由在內部壓入空氣使其膨脹，並藉由排出內部之空氣而使其收縮。

上述滑動部93a與從管體收納室於左方突出之上述可動閘門構件93一體成形，藉此，可使可動閘門93與滑動部93a一體地在左右方向移動。

在圖7中，兩管體構件101、102之下端部總是以密封狀態而閉塞，兩管體構件101、102之上端部分別連接於金屬製或樹脂製之接頭管121、122。兩接頭管121、122透過空氣管連接於空氣轉換閥130，在該空氣轉換閥130，連接有壓縮機等之壓縮空氣供給源132，且設置有空氣排出部133。該空氣轉換閥131，係在於第1管體構件101中供給壓縮空氣使第1管體構件101膨脹，且將第2管體構件102內之空氣排出使第2管體構件102收縮之狀態，與於第2管體構件102供給壓縮空氣使第2管體構件102膨脹，且將第1管體構件101內之空氣排出使第1管體構件101收縮之狀態之間自由轉換。

在第1管體構件101中壓入空氣使其膨脹，從第2管體構件102將空氣排出使其收縮，藉此，使滑動部93a及可動閘門構件93一體在開啟方向(右方向)移動，從而可開啟工件通過口88。另一方面，在第2管體構件102中壓入空氣使其膨脹，從第1管體構件101將空氣排出使其收縮，藉此，使滑動部93a及可動閘門93一體在關閉方向(左方向)移動，從而可關閉工件通過口88。在該關閉狀態，可動閘門構件93之端緣壓接於阻擋構件92之襯墊108。

(浮子式活動遮板150之詳細構造)

在圖8中，在閘門裝置本體91之左側柱部91a上，旋轉自如地支持有在工件搬送方向F延伸之旋轉軸152，該旋轉軸152之兩端部分別突出於空台16與箱槽15。在旋轉軸152之空台16側之突出端部，一體固著有活動遮板150，在旋轉軸152之箱槽15側之突出端部，一體固著有中空狀之浮子151，藉此，活動遮板150與浮子151將繞著旋轉軸152之軸芯一體地旋轉。活動遮板150例如可為氯乙烯樹脂，且不折不扣為板狀之構件，另一方面，浮子151例如可為聚丙烯，藉由以中空狀形成，而可在處理液內產生特定值以上大小之浮力。

在圖10中，活動遮板150之構成方式為在關閉狀態，形成為左右較長之大致矩形狀，且左右寬之大致中央部之下端附近固著於上述旋轉軸152，將旋轉軸152作為旋轉軸芯，使圖10之順時針方向之關閉方向B1之力矩，與逆時針方向之開啟方向B1之力矩大致相等，或開啟方向B2之力矩略大。活動遮板150之左端緣以一直線狀而形成，而右端緣成為使距離上端大致1/3之上側部份150a抵接於在關閉位置中之導板110之擴張開口部88a之右斜面110a之傾斜面，中間部份150b成為抵接於導板110之垂直之端面110b之垂直面，且距離下端大致1/3之下側部份150c成為與上述上側部份150a同方向傾斜之傾斜面。即，活動遮板150藉由至少上側部份150a抵接於擴張開口部88a之右斜面110a，成為以關閉位置被扣止。

浮子151以相對於旋轉軸152在左側延伸的方式被固著，藉由浮子151之自身重量，對於活動遮板150，賦予開啟方向B2之力矩。即，浮子151無懸浮力時，藉由大概浮子151之重量，將使活動遮板150在開啟方向B2旋轉。活動遮板150係藉由例如設置於閘門裝置本體91之阻擋器155，以如圖9所示之開啟狀態而被扣止。

(運作)

電鍍處理步驟及其後之吊具之剝離步驟等，由於歷來眾所周知，故以簡單而說明之。在圖1中，以裝載部10將電鍍處理前之工件W吊持於搬送吊具28，藉由推進裝置將搬送吊具28及工件W搬送至前處理槽11內，並使搬送吊具28之鏈輪71扣合於前處理槽11之連續搬送裝置35之搬送鏈條75之始端部。

從上述連續搬送裝置35朝箭頭F方向依次藉由採集搬送裝置31、連續搬送裝置36、採集搬送裝置32及連續搬送裝置37而移動搬送吊具28，藉此，工件W通過前處理槽11、空台12、箱槽13、電鍍槽14、箱槽15、空台16及第1後處理槽17，或在特定之處理位置停止特定時間，並進行前處理、電鍍處理及清潔等之後處理。電鍍處理完成後之工件，藉由未圖示之推進裝置，透過第2後處理槽18搬送至卸載部19，從搬送吊具28拆卸電鍍處理後之工件W。

將工件W卸下後之搬送吊具28接著在剝離步驟之空台20之連續搬送裝置38之鏈條輸送機75上扣合鏈輪71，從該連續搬送裝置38朝箭頭F方向依次藉由採集搬送裝置33、連續搬送裝置39、採集搬送裝置34及連續搬送裝置40而使其移動，剝離吸附物，清潔，並再次返回至裝載部10。

在上述電鍍處理中，將工件W例如從空台12經由箱槽13在電鍍槽14水平移動時，及從電鍍槽14經由箱槽15在空台16水平移動時，各閘門裝置84、85分別開啟，藉此，工件W不作上升動作而通過工件通過口88等。若工件W通過工件通過口88等之後，則關閉各閘門裝置84、85之工件通過口88等。

(閘門裝置85之啟閉運作之詳細說明)

(1)圖5係如上所述，簡單顯示有將工件W從空台12經由箱槽13移動至電鍍槽14之步驟，及從電鍍槽14經由箱槽15移動至空台16之步驟。在電鍍槽14，電鍍液總是保持在大致充滿狀態，空台12、16總是藉由排出電鍍液，而保持在略空狀態。箱槽13、15在工件W於電鍍槽14之間移動時，藉由從圓柱槽47等以短時間供給電鍍液，而保持與電鍍槽14大致相同之充滿狀態，工件W在各箱槽13、15與各空台12、16之間移動時，藉由開啟排出口栓46，以短時間排液至略空狀態。

(2)箱槽13、15在如上述之電鍍液為充滿之情形時，電鍍槽14與箱槽15之間之閘門裝置84開啟，呈可供工件W通過之狀態，另一方面，箱槽13、15與空台12、16之間之閘門裝置85則關閉。相反的，箱槽13、15從充滿狀態成為空狀態之情形時，電鍍槽14與箱槽13、15之間之閘門裝置84關閉，另一方面，箱槽13、15開啟排出口栓46，且亦開啟空台12、16之間之閘門裝置85，從而將電鍍液排出。

(3)詳細說明在後處理用之箱槽15從空狀態成為充滿狀態之過程的閘門裝置95之運作。在圖9中，箱槽15內為空之狀態時，可動閘門構件93移動至開啟位置，藉此工件通過口88之狹縫狀開口部88b開啟，又，活動遮板150旋轉至開啟位置，藉此擴張開口部88a亦開啟。

在箱槽15中供給電鍍液之情形時，如圖10所示，首先，可動閘門構件93移動至關閉位置，狹縫狀開口部88b關閉。在該狀態，若從圓柱槽47(圖5)將電鍍液供給至箱槽15，則隨著箱槽15內所供給之電鍍液增加，浮子151因浮力而上升，且活動遮板150與浮子151同時旋轉至關閉方向B1，從而關閉擴張開口部88a之下半部。藉此，可在箱槽15內，確實儲存至水平線L1為止之電鍍液。上述水平線L1如圖7所示，其係可將把持於搬送裝置28之工件W之上端緣浸漬至大致50mm左右之高度。藉此，可將在電鍍槽14內之工件W整體電鍍處理。

上述說明係從電鍍槽14經由箱槽15將工件W搬送至空台16之情形之閘門裝置85等之啟閉，然而於從圖5之入口側之空台12經由箱槽13將工件搬送至電鍍槽14之情形，配置於入口側箱槽13與入口側空台12之間之具活動遮板的閘門裝置85之啟閉，亦與上述閘門裝置85同樣進行。

(實施形態之效果)

(1)圖6所示之箱槽15與空台16之間之閘門裝置85係如圖7，具備有藉由驅動機構94(管體構件101、102)在大致水平方向移動而啟閉狹縫狀開口部88b之閘門構件93，及與該閘門構件93另外之繞著水平旋轉軸152旋轉，而啟閉擴張開口部88a之活動遮板150，於該活動遮板150上連動連接有配置於箱槽15內之浮子151，藉由隨著箱槽15之電鍍液增加的浮子151之上升，而使上述活動遮板150旋轉至關閉位置，故可將工件通過口88之開口面積限制於可供工件W及工件保持用之夾具67等通過之大致最小面積，從而可抑制電鍍液從工件通過口88漏出。

(2)由於狹縫狀開口部88b係藉由在水平方向可滑動自如之可動閘門構件93而使其啟閉，且擴張開口部88a係藉由繞著水平旋轉軸152旋轉自如之活動遮板150而使其啟閉，故可以短時間啟閉工件通過口88全體，從而可使連續的工件處理作業之效率提高。即，由於根據各開口部88b、88a之形狀，分別具備有滑動式之閘門構件93與旋轉式之活動遮板150，故可大為縮短工件通過口88整體之啟閉時間。

(3)由於利用配置於箱槽15內之浮子151，使活動遮板150上升，故不必特別具備馬達等之活動遮板啟閉用驅動機構，從而可簡易化閘門裝置85。

(4)由於以V字形形成有擴張開口部88a，故在狹縫狀開口部88b及其上方之連續的擴張開口部88a之形成作業較為容易。

(5)由於浮子151固著於活動遮板150之旋轉軸152，而可與活動遮板150一體旋轉，故可將浮子151與活動遮板150一體緊密地配置。

[第2實施形態]

圖11及圖12顯示第2實施形態，在圖11中，在箱槽15(紙面之正前側)與空台(面向紙面之側)16之間之槽壁83上，具備有與工件通過口88之擴張開口部88a之形狀對應之三角形狀的活動遮板150，及透過繩子161連接於該活動遮板150之臂部150a之浮子151。活動遮板150與浮子151均配置於箱槽15內。且，與上述第1實施形態同樣，具備有啟閉狹縫狀開口部88b之閘門裝置85，但在圖中省略，僅顯示活動遮板150及其驅動機構。

活動遮板150之臂部150a透過大致水平之旋轉軸152而可旋轉自如地支持在槽壁83(或閘門裝置本體)上，在臂部150a之另一端部，設置有錘164以使相對於活動遮板150在開啟方向B2施加力矩。在相對於旋轉軸152，與錘164之配置側成相反側之臂部150a之部位，連接有上述繩子161，該繩子161延伸至箱槽15下方，並捲繞在設置於箱槽15之下端部附近之回轉槽輪162上，而朝上方折回，且在繩子161之另端部連接有浮子151。

如圖11所示，在箱槽15為略空之狀態時，浮子151位於箱槽15之底面附近，活動遮板150藉由因錘164產生之開啟方向B2之力矩，位於開啟位置。

如圖12，若將電鍍液供給於箱槽15，則浮子151因浮力而上升，並拉緊繩子161，從而使活動遮板150旋轉至關閉方向B1。旋轉至關閉方向B1之活動遮板150以阻擋器163而被扣止，藉此，保持於關閉位置，從而關閉擴張開口部88a之下半部。

根據上述實施形態，增加浮子151之配置靈活性，從設計將變得簡單。再者，在該實施形態中，連接浮子151與活動遮板150之繩狀體不限制於繩子，亦可利用柔軟之導線或鏈。

[第3實施形態]

圖13及圖14係本發明之第3實施形態，在顯示平面圖之圖13中，在電鍍液槽14與箱槽15之間之槽壁82上，設置有活動遮板350，活動遮板350配置於電鍍槽14內，浮子351配置於箱槽15內。在槽壁82(或閘門裝置本體)上，旋轉自如地支持有貫通槽壁之水平旋轉軸352，在旋轉軸352之電鍍槽14側之端部固著有活動遮板350之臂部350a之基端部，在旋轉軸352之箱槽15側之端部，透過臂部351a固著有浮子351。且，與上述第1實施形態同樣，具備有啟閉狹縫狀開口部88b之閘門裝置84，但在圖中省略，僅顯示有活動遮板350及其驅動機構。

圖14係圖13之XIV-XIV剖面圖，顯示活動遮板350為關閉之狀態，在槽壁82之擴張開口部88a之附近，設置有關閉位置扣止用之阻擋器354，在電鍍液槽14之側壁之上端部，設置有開啟位置扣止用之阻擋器353。

在箱槽15為空狀態時，如圖14所示，藉由浮子351及活動遮板350之重力，活動遮板350旋轉至關閉方向B1，並被阻擋器354扣止，藉此，保持於關閉位置。即，關閉擴張開口部88a之下半部。藉此，防止電鍍液從電鍍液槽14漏出至箱槽15。

若於箱槽15中供給電鍍液，則藉由浮子351因浮力上升，浮子351及活動遮板350旋轉至開啟方向B2，並開啟擴張開口部88a。活動遮板350藉由開啟位置扣止用之阻擋器353，被扣止及保持。藉此，可快速地將箱槽15達到與電鍍液槽14內相同之充滿狀態。

[第4實施形態]

圖15係本發明之第4實施形態，在箱槽15與空台16之間之槽壁83上，設置有活動遮板450。活動遮板450與上述第3實施形態同樣，形成為具臂部450a之三角形狀，並配置於箱槽15內。活動遮板450之臂部450a之基端部透過大致水平之旋轉軸452，旋轉自如地支持在槽壁83。在本實施形態中，藉由將活動遮板450自身製作為中空形狀或以比重小之材料製作，作為在電鍍液中或水中浮動之浮子而利用。且，與上述第1實施形態同樣，具備有啟閉狹縫狀開口部88b之閘門裝置85，但在圖中省略，僅顯示有活動遮板450及其驅動機構。

在箱槽15為空狀態時，活動遮板450藉由重力成為以虛線表示之垂下狀態，而開啟擴張開口部88a。

若於箱槽15內供給電鍍液，則活動遮板(浮子)450藉由浮力而旋轉至關閉方向B1，並抵接於上方之阻擋器454，藉此，扣止於關閉位置，從而關閉擴張開口部88a。

[第5實施形態]

圖16及圖17係本發明之第5實施形態，在空台16與箱槽15之間之槽壁83上，設置有活動遮板550。圖16係平面圖，圖17係圖16之XVII-XVII剖面圖，在圖17中，在槽壁83之箱槽15側之面上，將剖面為略字狀之滑軌558以傾斜狀態而固定，在該滑軌558內，滑動自如地支持平行四邊形狀之活動遮板550之一側端部550a。上述滑軌558以隨著行駛至下方從工件通過口88脫離的方式而傾斜，因此，活動遮板550若移動至上方，則向工件通過口88移動，而關閉擴張開口部88a，若移動至下方，則從工件通過口88脫離而使擴張開口部開啟。又，在活動遮板550之軌道之上下端，分別設置有關閉位置扣止用之阻擋器554，及開啟位置扣止用阻擋器553。

在圖16中，在滑軌558沿著軌道長方向開口有槽558a開口，透過該槽558a使活動遮板550向外部突出。

在該實施形態，活動遮板550自身亦成為浮子，形成為中空狀，或以浮於電鍍液之比重較輕之材料(例如聚丙烯等)而成形。

在箱槽15內為空狀態時，如圖17以假想線所表示，活動遮板550因自身重量而下降至開啟位置，並以開啟位置扣止用之阻擋器553扣止。即，開啟擴張開口部88a。

若在箱槽15內供給電鍍液，則活動遮板550藉由自身之浮力而上升，抵接於上端之關閉位置扣止用之阻擋器554，藉此，將擴張開口部88a保持於關閉狀態。

[第6實施形態]

圖18及圖19係本發明之第6實施形態，其係在空台16與箱槽15之間之槽壁83上，具備螺旋移動型之活動遮板650之實例。

在顯示平面圖之圖18中，在槽壁83之箱槽15側之面上，將引導筒655大致垂直狀態固著，在該引導筒655內，上下方向移動自如且旋轉自如地嵌合有圓筒狀之浮子651。

圖19係圖18之XIX-XIX剖面圖，在引導筒655之周壁，形成有連通引導筒655之內部與外部之螺旋狹縫656，透過插通於該螺旋狹縫656之臂部650a，三角形狀之活動遮板650連接於浮子651。

在箱槽15內為空狀態時，如以假想線所示，活動遮板650藉由重力與浮子651同時下降至開啟位置，位於與狹縫狀之開口部88b成相反之側。即，開啟擴張開口部88a。

若在箱槽15內供給電鍍液，則藉由浮子651之浮力，浮子651與活動遮板650一體上升，但藉由臂部650a沿著螺旋狹縫656而移動，活動遮板650係螺旋狀上升。因此在上升之關閉位置，朝擴張開口部88a側旋轉，從而關閉擴張開口部88a。再者，在本實施形態中，藉由將活動遮板650自身使用中空形狀或比重較小之材料，亦可作為在電鍍液中浮動之浮子。

[第7實施形態]

圖20及圖21係本發明之第7實施形態，其係在電鍍槽14與箱槽15之間之槽壁82上，配置活動遮板750之實例，藉由浮子751上升，而使擴張開口部88a開啟。

在顯示關閉狀態之圖20中，具備有與擴張開口部88a之形狀對應之三角形狀之上述活動遮板750，及在該活動遮板750之臂部750a之另一端部透過繩子761而連接之浮子751。臂部750a透過大致水平之旋轉軸752旋轉自如地支持在槽壁82。

上述繩子761從臂部750a延伸至下方，並捲繞在設置於箱槽15之下端部附近之回轉槽輪762上，而朝上方折回。

如圖20所示，箱槽15為略空狀態時，浮子751位於箱槽15之底面附近，活動遮板750藉由自身重量旋轉至關閉方向B1，從而關閉擴張開口部。活動遮板750以阻擋器754而扣止，藉此，保持於關閉位置。

若在箱槽15內供給電鍍液，則浮子751藉由浮力上升，並透過繩子761拉緊臂部750a之另一端部，如圖21，活動遮板750旋轉至開啟方向B2，從而開啟擴張開口部88a。

[其他之實施形態]

(1)在上述圖1至圖21之實施形態中，為啟閉狹縫狀開口部88b，具備水平方向移動自如之閘門構件93，且作為驅動該閘門構件93之驅動機構94，具備有一對管體構件101、102，但亦可具備有藉由其他驅動機構在水平方向移動之閘門構件。又，亦可為藉由管體構件之膨脹，以管體構件直接關閉狹縫狀開口部之構造。

(2)本發明之閘門裝置不限制於電鍍裝置，例如亦可適用於藉由儲存於處理液槽內之處理液，而清潔工件之剝離槽等之浸漬處理裝置。

[產業上之可利用性]

本發明係除電鍍裝置外，亦可適用於鉻酸處理裝置、鋁之陽極氧化處理裝置、電解研磨裝置或電解酸洗裝置等之處理裝置。

15．．．箱槽(處理液槽之一例)

46．．．排出口栓(排液機構之一例)

47．．．圓柱槽(給液機構之一例)

85．．．閘門裝置

88．．．工件通過口

88a．．．狹縫狀開口部

88b．．．擴張開口部

93．．．可動閘門構件

94．．．可動閘門構件之驅動機構

150．．．活動遮板

151．．．浮子

152．．．活動遮板之旋轉軸

161．．．繩子(繩狀體之一例)

圖1係本發明之第1實施形態，其係電鍍裝置之整體平面圖；

圖2係圖1之電鍍槽及箱槽附近之縱剖面放大圖；

圖3係圖2之III-III剖面放大圖；

圖4係圖2之IV-IV剖面放大圖；

圖5係圖1之電鍍槽、箱槽及空台之縱剖面概略圖；

圖6係圖5之箱槽之平面圖；

圖7係圖6之VII-VII剖面圖；

圖8係圖7之閘門裝置之平面放大圖；

圖9係顯示工件通過口為開啟狀態之閘門裝置之作用說明圖；

圖10係顯示工件通過口為關閉狀態之閘門裝置之作用說明圖；

圖11係本發明之第2實施形態，其係活動遮板為開啟狀態之處理液槽之縱剖面概略圖；

圖12係與圖11同樣之處理液槽，其係顯示活動遮板為關閉狀態之剖面概略圖；

圖13係本發明之第3實施形態，其係活動遮板為開啟狀態之處理液槽之平面圖；

圖14係圖13之XIV-XIV剖面圖；

圖15係本發明之第4實施形態，其係活動遮板為關閉狀態之處理液槽之縱剖面概略圖；

圖16係本發明之第5實施形態，其係處理液槽之平面圖；

圖17係圖16之XVII-XVII剖面圖；

圖18係本發明之第6實施形態，其係處理液槽之平面圖；

圖19係圖18之XIX-XIX剖面圖；

圖20係本發明之第7實施形態，其係處理液槽之縱剖面概略圖；

圖21係圖20之XXI-XXI剖面圖；及

圖22係顯示先前之處理液槽之排液及給液時之作用的立體圖。

15．．．箱槽

28．．．搬送吊具

65．．．工件吊持部

67．．．夾具

83．．．槽壁

85．．．閘門裝置

88．．．工件通過口

88a．．．狹縫狀開口部

88b．．．擴張開口部

89．．．凹部

90．．．襯墊

91．．．閘門裝置本體

91a．．．左側柱部

91b．．．右側柱部

92．．．閘門構件

93．．．可動閘門構件

94．．．可動閘門構件之驅動機構

101、102．．．管體構件

121、122．．．接頭管

130．．．空氣轉換閥

132．．．壓縮空氣供給源

133．．．空氣排出部

150．．．活動遮板

151．．．浮子

152．．．活動遮板之旋轉軸

L1．．．水平線

W．．．工件

Claims (4)

1. 一種處理液槽，具備給液機構及排液機構，且在槽壁上設置具有工件通過口之閘門裝置，該處理液槽之特徵在於：上述工件通過口具有可供垂直狀態之板狀工件通過且於上下方向細長之狹縫狀開口部；及在該狹縫狀開口部之上端，形成比上述狹縫狀開口部寬度更寬之擴張開口部；且上述閘門裝置具備藉由驅動機構在大致水平方向移動或變形而啟閉上述狹縫狀開口部之閘門構件，及與該閘門構件另外之啟閉上述擴張開口部之活動遮板；上述活動遮板，具備配置於處理液槽內之浮子，藉由隨著處理液槽內之處理液增減的浮子升降，使上述活動遮板在開啟位置與關閉位置之間變更位置。
2. 如請求項1之處理液槽，其中上述擴張開口部係以V字形形成。
3. 如請求項1或2之處理液槽，其中上述活動遮板固著於大致水平之旋轉軸，藉由繞著該旋轉軸旋轉，可在關閉位置與開啟位置之間變更位置，上述浮子固著於上述活動遮板之旋轉軸，並可與活動遮板一體旋轉。
4. 如請求項1或2之處理液槽，其中上述浮子經由繩狀構件連接於活動遮板，上述繩狀構件係從活動遮板延伸至下方，且經由回轉槽輪朝上方折回，且上述浮子連接於折回之上端部。