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TWI338785B - - Google Patents

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TWI338785B
TWI338785B TW96107571A TW96107571A TWI338785B TW I338785 B TWI338785 B TW I338785B TW 96107571 A TW96107571 A TW 96107571A TW 96107571 A TW96107571 A TW 96107571A TW I338785 B TWI338785 B TW I338785B
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

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1338785 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種測試機台,尤其是一種批次檢測待 測元件之機台及該測試方法。 5【先前技術】 積體電路元件已經成為幾乎所有電子設備中不可或 缺的核心,元件之可靠度,也無疑成為決定電子設備可靠 度之極重要環節。所以,在積體電路元件出廠前均會進行 出廠檢測’以維持良好之品質。 10 現有之檢測機台雖然已經全面自動化,但如圖丨所 示,一般仍以單一機台9設置多組基座9〇,每一基座9〇 形成單顆元件之測試位置,亦因此,即使多組基座9〇同 時運行,但總檢驗效率仍相當有限,一旦所需檢驗之產品 屬於大量製造與檢驗者,就會因費時、效率不高,而不符 1 5市場之需求。 另方面,由於前述單顆測試之前與之後,猶需依賴較 慢速之機械設備逐一搬遷待測元件,相較於檢測過程中快 速之電子訊號傳輸作業,機械移動無疑會減緩整體測試流 程之順暢運作,測試成本亦因而提高,從而影響產品售 20價’並降低產品之市場接受度。 本發明是關於-種批次檢測待測元件之機台及該測 試方法,分批檢驗待測元件,而減少檢測的時間及檢測成 本,使得檢測待測元件之過程更為經濟,以提升該元件的 生產力及市場競爭力。 /
5 【發明内容】 因此,本發明之一目的,在提供—種批次檢測待測元 件之機台’單次檢測多顆待測元件,以提高檢測之效率。 本發明之另-目的,在提供—種減少檢測過程中機械 移動次數之高效能批次檢測機台。 本發明之再-目的,在提供_種高效率的機台以減 少同一工財對於機台需求的數目,節省廠區空間。' 本發明之又-目的,在提供—種高效率之批次檢測方 法’以降低檢測成本。 因此,本發明之批次檢測機台,係供檢測複數分別具 有複數測料的待測元件之電氣特性,該等待測元件係被 容置於-具有供將該等測試淳暴露開口之待測元件承栽 盤上,該機台包含:一用以承載並自一起始位置搬移該待 測元件承載盤至一預定檢測位置區域之承載移動裝置;一 自該開Π接觸料制元㈣料、批讀得該#待測元 件電氣特性訊號資料之檢測裝置;一驅動該承載移動裝 置、並接收該撿測裝置所獲得該等訊號資料、分析該等待 測π件電氣特性之控制裝置;及一受該控制裝置驅動、將 承載盤上之待測元件撿取至預定檢測位置及將該等電氣 特性不合格待測元件撿取脫離該承載盤之撿取裝置。 藉由批次檢驗,縮減檢測單一元件之時間,且減少機 械移動,提升檢測之效率,同時降低檢測之成本,提高受 測元件之市場競爭力;與财之單—元件檢測機台相較, 亦可精簡機台所佔的空間,而更有效利用廠房空間。 【實施方式】 有關本發明之前述及其他技術内容、特點與功效,在 、下配σ參考圖式之較佳實施例的詳細說明中,將可清 的呈現。 5 Α說明起見,本例之待測元件80如圖2所示,具有 例如兩個可供測試及焊接於電路板上之接點800,藉以達 成與電路板之電性連結,發揮元件之功效;而探測該等接 亦可得知δ亥待測元件之電氣特纟’以判別豸元件是否 良好,故在此稱為測試淳。當然,如熟於此技者所能輕易 10理解’待測元件亦可額外設置有凸出作為測試蜂及焊接點 之接腳。 目前對於待測it件8G ’如圖3、4所示,-般係置放 於一承載盤8中,以供搬移輸送。承載盤8具有複數容室, 在本例中,係以例如1〇〇個容室為例,每一容室形成有— 15向上暴露開口,供置入/取出待測元件80,且為提供本例 中自上而下的檢測裝置接觸,待測元件係被以底部朝 上的方向置放於容室中,以暴露其接點800。 本案第一較佳實施例之批次檢測待測元件之機台i i 如圖5、圖6所示,包括一控制裝置1〇、一待測元件承載 20移動裝i 12、一檢測裝置14、一感測單元144及一撿取 t置16。本例中之承載移動裝置12係一雙分別設置於圖 式承載盤8上下兩側之皮帶輪,供將承載盤8朝圖式左右 向移動§然,如熟於此技術者所能輕易理解,此結構 亦可以其他類似者如螺桿驅動之載台等而達成。 1338785 故#參照圖8,當步驟41 _,先將裝有待測元 承載盤8放置於_起始位置i 3,依照目前技術, 承載盤8通韦疋彼此上下疊置於此起始位置η,並由承 載移動裝置12將承載盤8向右搬移至對應於檢測裝置" 5 之預定檢測位置15。 為說明起見,本例中之檢測裝置14如圖7之放大圖 所示,具有一例如為一機械臂之顯動單元140、及設置於 • 試機械彳140底端作為感測之感測單元144。步驟42 時,檢測裝置14驅動測試機械臂14〇對應於預定檢測位 1〇置15下移,使該測試機械臂14〇底端感測單元⑷對應 接觸第-行例如1{)顆待測元件8G之接點_,以批次檢 職等待測元件之電氣特性,並回傳至控制裝置10,將 整批10顆元件之優劣分別加以記錄。 隨後,於步驟43,由檢測裝置14驅動該测試機械臂 丨5 140上移,遠離該待測元件80,以便承載移動裝置12在 φ 步驟44將承載盤8稍微向右,相對於機械臂14〇移動一 格,讓次一行待測元件移動至對應檢測裝置丨4之位置受 檢’直至承載盤8上之待測元件8〇均完成檢測為止。 於步驟45所示,將該完成檢測之承載盤8仍由承載 °移動裝置12繼續向右搬移,至對應於撿取裝置μ之預定 撿取位置Π;步驟46中,具有一撿取機械臂16〇之檢取 裝置16,受控制裝置10之驅動由一預備位置移至對應於 上述預定撿取位置17,且位於機械臂底端之一吸嘴162 隨機械臂下移,並依控制裝置丨〇原先從檢測裝置14所得 8 1338785 之檢測資訊,以真空吸取方式撿取電氣特性不符預期之待 測元件80’ ,並依照其不合格程度,排列置放於次級品 承載盤或廢品承載盤(圖未示)。 在本例中,撿取裝置16不僅負責將承載盤8中之不 5合格70件8〇’取出,也隨後於步驟47,由控制裝置10驅 動機械臂160下移,並吸取位於預備位置18上之備品承 載盤8’内經過檢測之合格元件181,將該合格元件i8i 移置該待測元件承載盤8,填補該承載盤中空餘位置。 虽然,如熟於此技術領域者所能輕易理解,當待測元 件為例如LED,其發光側為頂面,且接點若位於底面時, 就不能將發光面向下置於一底部封閉之承載盤中,以免致 能後所發光束無法透出而被檢測。故如圓9所示,承載盤 8”需在各容室底部形成暴露開π88”,使得各待測元件 80”作為測試埠之接點800”由承載盤底部暴露開口 15 88”露出。 第二實施例中’作為感測單元144”則設置於承載盤 下方,承載盤8”則由承載移動裝置i2驅動,直到被準 確對位放置,使得各接點800”對正感測單元144,,置 放,從而接收絲各待測元件80” &檢測資訊,並隨後 檢取補齊,達成前述檢測流程,相同之處不再贅述。
此外,如熟於此技者所能輕易理解,為順應例如要在 嚴酷溫度環境作業之電路元件檢驗條件,亦可考慮將批次 檢測待測元件機台外側設置一絕熱殼體21〇,並在絕熱殼 趙210中設置例如-液餘噴嘴(圖未示),以控制檢Z 20 1338785 置處之溫度於例如零下卅度。 如圖1 0、11所示,為避免待測元件從室溫立即遽降 至零下卅度,材料間熱漲冷縮程度不一而導致元件無謂損 壞’也為避免溫度遽降所造成空氣中蒸汽凝結等問題,起 5始位置13處可疊置數盤承載盤,由於起始位置13與檢測 位置14有一段距離’起始位置13更設置有一預冷裝置 211作為溫度緩衝裝置’使此處之溫度從而介於預定檢測 溫度與室溫間,可容許待測元件逐步降溫。為便於說明, 在將上述絕熱殼體210、預冷裝置211及喷嘴等共同稱為 1〇 —溫度控制裝置20。 當然,亦可取消預冷裝置211,僅將待測元件同樣置 於絕熱殼體210中,即可受到例如噴嘴喷出氮氣預冷,再 由該承載移動裝置12將該承載盤8搬移至預定檢測位置 15 ’逐步降溫至預定的受測溫度而可進行元件之檢測流 15程,待檢測完成後將該待測元件承載盤8搬移至撿取位置 14,其餘則均與本發明之第一實施例相同,不再詳述。 惟以上所述者’僅為本發明之較佳實施例而已,當不 忐以此限定本發明實施之範圍,即大凡依本發明申請專利 範圍及發明說明書内容所作之簡單的等效變化與修飾,皆 20應仍屬本發明專利涵蓋之範圍内。 10 1338785 【圖式簡單說明】 圖1是習知檢測待測元件之機台; 圖2是待測元件之立體示意圖; 圖3、4是待測元件容置於承載盤之立體示意圖及剖 5 面示意圖; 圖5是本案檢測機台第—較佳實施取結構方塊圖; 圖6本發明批次檢測待測元件之機台第一較佳實施 例之示意圖; 圖7是檢測裝置之立體放大示意圖 0 圖8疋本案測試方法之流程圖; 圖9本案檢測機台第二較佳實施例之容置有待測元 件之承載盤侧視示意圖; 圖10疋本案檢測機台第三較佳實施例之結構方塊 圖;及 5 圖11是本案檢測機台第三較佳實施例之示意圖。 1338785 8、8”承載盤 12…承載移動裝置 14…檢測裝置 16…撿取裝置 18…預備位置 41〜47…步驟 8 0 ’…不合格元件 140···驅動單元 【主要元件符號說明】 9、11…機台 10…控制裝置 13…起始位置 5 1 5···預定檢測位置 17···預定撿取位置 20…溫度控制裝置 80、80”…待測元件 9 0…基座 10 144、144”…感測單元 160…撿取裝置撿取機械臂 162…撿取裝置吸嘴 181…合格元件 210…絕熱殼體 211…預冷裝置 800、800”…待測元件接點 15 8’ …備品承載盤 88”…開口
12

Claims (1)

1338785 十、申請專利範園:
5 1.-種批次檢測待測元件之方法,係被應用於一具有一承 载移動裝置、-檢測袭置、及—撿取裝置之檢測機台, 其中,複數具有複數測試埠之待測元件係被容置於一具 有供將該等測試埠暴露開σ之待測元件承載盤,該檢測 方法包含下列步驟:
10
υ由承載移動裝置將該待測元件承載盤自—起始位置 搬移至一預定檢測位置區域; 2) 檢測裝置由該暴露開σ電性接觸該等測試埠,於預定 檢測位置區域下移對應接觸第一批次待測元件,以單 次檢驗複數該等待測元件方式進行批次檢測,測得該 等待測元件電氣特性並回傳至控制裝置; 3) 該檢職置遠離該待測元件,該承載移動裝置將承 載盤相對檢測裝置移動’讓承載盤之次一批次待測元 件移動至對應檢測裝置之位置受檢;及 4) 依照該等待心件電氣特性,以撿取裝置移除該承載 盤上不合格元件。 2. 依照中請專利範圍第i項所述之方法,更包含於步驟 4)於撿取不合格元件後’以事先準備之合乎品質的元件 20 補齊該待測元件承載盤上空餘位置之步驟5)。 3. 依照中請專利範圍第丨項所述之方法,更包含介於該批 次檢測步驟3)至該檢測步驟4)間,以該承載移動裝置 將承載有該等測畢待測元件之待測元件承載盤從該檢 測位置搬移至一撿取位置之步驟6)。 1338785 次檢測機台,係供檢測複數分別具有複數測試棒 的待測元件之電氣特性,該等待測元件係被容置於一且 有供將該㈣料暴露_之待測元件承龍上, 台包含: 5 _用以承載並自-起始位置搬移該待測元件承載盤至 一預定檢測位置區域之承載移動裝置; 自該開口接觸該等待測元件測試埠批次獲得該等 • 待測元件電氣特性訊號資料之檢測裝置,; -驅動該承載移動裝置、並接收該檢測裝置所獲得該 10 等訊號資料、分析該等待測元件電氣特性之控制裝 置;及 -文該控制裝置驅動、將該等電氣特性不合格待測元 件檢取脫離該承載盤之檢取裝置; 其中,該檢測裝置係於預定檢測位置區域下移對應接 15 觸第—批次待測元件’以批次檢測該等待測元件之 • 電氣特性並回傳至控制裝置,隨後由檢測裝置遠離 該待測元件,該承載移動裝置將承載盤相對檢測裝 置移動,讓次一批次待測元件移動至對應檢測裝置 之位置受檢。 20 5_依照申請專利範圍第4項所述之機台,其中該檢測裝置 包括: 一用以接觸感測該等待測元件該等檢測埠之感測單 元;及 用以致動該感測單元在一當該承載盤位於該預定檢 14 1338785 • 測位置區域時,電氣接觸該等待測元件檢測埠之感 測位置;以及遠離該等檢測埠之預備位置間移動之 驅動單元。 6.依照申請專利範圍第4項所述之機台,更具有一供置放 5 一承載有複數預備元件之預備元件承載件之預備位 置,且該撿取裝置係、-在該預備位置及—撿除該承載盤 中該等不合格待測元件之撿取位置間移動的機械臂。 • 7.依照申請專利範圍第4項所述之機台,更包含一供控制 該預定檢測位置區域溫度至一預定操作檢測溫度之溫 10 度控制裝置。 8. 依照申請專利範圍第7項所述之機台,其中該溫度控 裝置包括-涵蓋該預定檢測位置區域之絕熱殼體。 9. 依照中請專利8項所述之機台,更包含一涵蓋 15 使該起始位置溫度介於該操作檢測溫度與室溫間之 溫度緩衝裝置。 15
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