TWI334011B - Valve - Google Patents

Description

1334011 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域3 發明領域 本發明係有關於一種在半導體裝置中，用於將藥液等 液體供給半導體晶圓之回路之開閉閥及回吸閥。更詳而言 之，本發明係有關於一種開閉閥及回吸閥係形成一體之 閥，且流路形狀簡單而不易積存氣泡，並可輕易調整回吸 量者。 【先前技術3 發明背景 以往為於封閉管線内之流路後，防止管線内之流體從 末端滴落，乃使用回吸閥。回吸閥一般有具有藉使隔板變 位，改變閥内之容積，以將流體往上吸之機構者或如曰本 專利公開公報2003-254459號公報所示，於回吸閥之上流設 置用以關閉停止流體之流動之隔板式開閉閥，且使該開閉 閥與回吸閥為一體化者。在此種閥之動作上，首先關閉配 置於上流之開閉閥，接著再使回吸閥作動。又，如日本專 利公開公報2003-278927號所載，亦有使用隔板，且同時進 行開閉閥與回吸閥之動作者。 習知與開關閥一體形成類型之回抽閥中，由於分別控 制開閉閥與回吸閥，故要使關閉開關閥之時間與進行回抽 動作之時間配合並不容易，而有無法獲得預定之回吸量， 而產生液體滴落之問題。又，時間之調整不僅費時，且由 於一旦進行調整後，當使閥動作之空氣壓變動時，開閉閥 5 1334011 之關閉與回吸動作之時間便失調，故有需頻繁調整之問 題。再者，若作為半導體製造上之光阻劑之塗佈用時，由 於使用隔板之開閉閥為氣泡易積存於閥室内之結構，故亦 有積存之氣泡流出而擴散至晶圓上，產生塗佈斑點而導致 成品率惡化之問題。又，就使用隔板之回吸閥而言亦有相 同之問題。 【發明内容3 發明概要 為解決上述習知技術之問題，本發明之目的在於提供 一種具有不需調整流路關閉與回吸動作之時間，且流路簡 單而不易積存氣泡之結構之閥。 本發明之閥係具有閥本體及穿過該閥本體内而延伸且 由彈性體製成之管體，而用以關閉停止前述管體内之流體 之流動者，該閥更具有夾持前述管體而相對配置之夾壓機 構，前述夾壓機構係構造成藉使前述夾壓機構接近，而擠 壓前述管體，以關閉前述管體内之流路後，藉使至少一夾 壓機構沿前述管體移動，而在保持關閉前述流路之狀態 下，使以前述夾壓機構擠壓前述管體之擠壓位置移動。 在上述閥中，前述夾壓機構宜由可移動之輥及設置於 前述閥本體之按壓面所構成，前述管體之一部份宜沿前述 按壓面配置，前述輥可移動至與前述按壓面相對之位置， 擠壓前述管體，而與前述按壓面平行移動。 前述輥宜為一旋轉體所支撐，該旋轉體係可相對於前 述閥本體，環繞旋轉軸線旋轉者，前述按壓面宜為設置於 6 1334011 前述閥本體而以前述旋轉轴線為中心延伸之圓弧狀表面。 此時，舉例言之，於前述閥本體内設置收容活塞之缸室， 藉以作動流體於前述缸室之軸線方向驅動前述活塞，可使 前述旋轉體與前述活塞連動而環繞前述旋轉軸旋轉。 宜於前述缸室内設置彈簧，該彈簧賦與前述活塞勢能 而使其朝向前述缸室之軸線方向一端。 前述活塞以藉前述彈簧而位於中間位置為佳，在前述 中間位置上，以與前述活塞連動之前述旋轉體所支撐之前 述輥宜將前述管體擠壓在其與前述按壓面間，而關閉前述 管體内之流路，當開放前述管體内之流路時及一面在前述 輥與前述按壓面間擠壓前述管體，一面使前述輥沿前述管 體之流路軸線移動時，利用作動流體之壓力，使前述活塞 從閥全關閉位置及前述中間位置移動。 一較佳實施形態為前述旋轉體更具有隔著其旋轉軸線 而位於前述輥之反向側，且與旋轉軸線平行延伸之卡合軸 部，於前述活塞形成有於與該活塞之移動方向垂直之方向 延伸之缺口部，前述卡合軸部可與前述缺口部卡合，而使 前述卡合軸部隨著前述活塞之移動環繞前述旋轉體之旋轉 轴線旋轉，藉此，可使前述旋轉體環繞前述旋轉軸線旋轉。 又，另一較佳實施形態為前述旋轉體具有圓筒面，於 前述活塞侧面形成齒條，並於前述旋轉體之圓筒面形成可 與該齒條卡合之齒輪，而使前述旋轉體可隨前述活塞之移 動環繞旋轉軸線旋轉。 前述旋轉體亦可為電動馬達驅動。又，前述電動馬達 7 1334011 宜為步進馬達。 於前述閥本體内宜形成與前述管體平行延伸之缸室， 前述夾壓機構係由輥及設置於前述閥本體之按壓面所構 成，該輥係設置於從收容於前述缸室内之活塞開始與該活 塞之移動轴線垂直地延伸之凸部前端。前述按壓面宜具有 階梯狀表面。 本發明之閥具有夾壓機構，可使為該夾壓機構擠壓管 體之擠壓位置沿管體之流路軸線移動。因而，可以一連串 之動作，進行管體内之流路關閉及回吸動作，而不需調整 流路關閉與回吸動作之時間，且，時間不致於設置閥後失 調。再者，由於流路呈管狀而使流體之流動順暢，不易積 氣泡，故可減少氣泡所造成之半導體製造上之光阻劑塗佈 製程中之成品率惡化。 本發明之上述及其他目的、特徵、優點在以下參考圖 式，依本發明之實施形態進一步詳細說明。 圖式簡單說明 第1圖係顯示本發明閥之第1實施例之開放狀態的縱截 面圖。 第2圖係從下方觀看第1圖之閥之上側閥殼體的立體 圖。 第3圖係第1圖之閥之下側閥殼體的立體圖。 第4圖係第1圖之閥之活塞的立體圖。 第5圖係第1圖之閥之轉子的立體圖。 第6圖係顯示第1圖之閥之關閉狀態的縱截面圖。 8 1334011 第7圖係顯示第1圖之閥進行回吸動作之狀態的縱截面 圖。 第8圖係顯示本發明閥之第2實施例之縱截面圖。 第9圖係顯示第8圖之閥進行回吸動作之狀態的縱截面 圖。 第10圖係顯示本發明閥之第3實施例之開放狀態的縱 截面圖。 第11圖係顯示本發明閥之第4實施例之分解立體圖。 第12圖係顯示本發明閥之第5實施例之開放狀態的縱 截面圖。 第13圖係顯示第12圖之閥之關閉狀態的縱截圖。 第14圖係顯示第12圖之閥進行回吸動作之狀態的縱截 面圖。

【實施方式J 較佳實施例之詳細說明 以下，參照圖式，說明本發明之實施形態，本發明並 不以本實施形態為限是不需贅言的。 第1圖至第7圖顯示本發明之第1實施例。 在第1圖中，參照標號”1”係指上側閥殼體，上側閥殼 體1之内部具有缸室6及與該缸室6連通之一對作動流體供 給口7、8，其下方之中央部形成有截面呈矩形狀之凹部9。 凹部9之上面形成有與缸室6連通之長方形開口部10，位於 與軸線方向垂直之方向上之凹部9上面的兩外側形成有截 面呈半圓形之溝狀軸承部11。又，在上側閥殼體1之底面， 9 1334011 於位於軸線方向上之凹部9之兩側設置有分別與缸室6之軸 線方向平行延伸且截面呈半圓形之溝部12 (參照第2圖）。 參照標號”2”係指下側閥殼體，下側間殼體2約略呈倒丁 字形。於下側閥殼體2之上面兩側部分別形成有與上側間殼 H1之；#部12㈣應且截面呈半圓形之溝部13。溝部13將内 部形成流體之流路且由雜體製成之㈣3㈣固定於其 與上側閥殼體1之溝部12間，且於溝部13之中央形成於與管 體3垂直之方向延伸且往與管體3呈水平之方向凹陷成截面 呈圓弧狀之按壓面14。再者，於與溝部13之軸線方向垂直 之方向之按壓面14兩側設置與上侧閥殼體丨之凹部9嵌合之 一對凸部15 ’與上側閥殼體1之軸承部16相對應且截面呈半 圓形之軸承部16係與按壓面14約略同軸地形成於該凸部15 之上面中央（參照第3圖）。 參照標號”4”係指圓柱狀之活塞’活塞4之兩端部具有 安裝0形環17、18之溝，活塞4可滑動自如地嵌插於上侧閥 殼體1之缸室6。於從上側閥殼體丨之開口部1〇露出之活塞4 之中央部設置有於與缸室6之軸線方向垂直之方向延伸之 溝狀缺口部19 (參照第4圖）。 參照標號”5”係指具有旋轉體功能之轉子，於轉子5之 中央形成圓柱部2〇，於圓柱部20之兩側連續形成圓盤部21 與軸部22。轴部22藉上側閥殼體丨之轴承部^與下側閥殼體 2之軸承部16支撐成可旋轉之狀態。在圓盤部21上，藉轉子 5之旋轉而以轉子5之旋轉軸線為中心公轉之2個輥23、24係 旋轉自如地設置於隔著轉子5之旋轉軸線相對之位置。其中 10 1334011 之一轉子23具有作為隨者轉子5之旋轉，將管體3按壓至下 側閥殼體2之按壓面14之夾壓機構的功能，另一轉子24具有 作為卡合於活塞4之缺口部19之卡合軸部的功能（參照第5 圖）0 另，將管體3與外部之管線連接之方法未特別限定。 接著，由上述結構構成之本實施例之閥之動作說明如 下。 第1圖顯示閥之開放狀態。此外，流體係在管體3之内 部由圖中左側向右側流動者。當從外部經由設置於上側間 殻體1之作動流體供給口 7將作動流體（諸如經壓縮之空氣 等）供給至缸室6時，因該作動流體之壓力而使活塞4往右 侧移動。此時，由於卡合於缺口部19之輥24亦同樣地一面 於缺口部19内上下移動，一面往右側移動，同時，設置有 輥24之轉子5順時鐘旋轉，故另一輥23將管體3擠壓在其與 下側閥殼體2之按壓面μ間，而關閉管體3内部之流體（第6 圖之狀態）。 進一步，當活塞4往右側移動時，轉子5亦隨之順時鐘 旋轉，輥23擠壓管體3之擠壓位置在保持使流體關閉停止之 狀態下，往左側移動，此時，較擠壓位置位於下流側之管 體3之内部容積較最初流體關閉停止之瞬間之擠壓位置位 於下流之管體3的内部容積增加（第7圖之狀態）。藉此，可 進行將下流之流體吸回之回吸動作。 另一方面，當經由作動流體供給口 8將作動流體供给缸 室6時，活塞4便往左側移動，轉子5亦隨之逆時鐘旋轉，而 11 1334011 使閥呈開放狀態（第1圖之狀態）。 於第8圖顯示本發明之閥之第2實施例。 第2實施例之上側閥殼體25、下側閥殼體26及轉子2之 構造除了以下之點外’皆與第1實施例之上側間殼體1、下 側閥殼體2及轉子5之構造相同，此不同點即，於形成於活 塞28之其中之一轴線方向端面之凹部内收納有彈簧36，彈 簧36賦與該活塞勢勢能而朝向右向，即閥之關閉方向。 在第8圖中’活塞28藉從作動流體供給口 31導入之壓縮 空氣往左向’即閥之開放方向移動、此時，配置於活塞28 之左側之彈簧36被壓縮。 當從此狀態經由作動流體供給口 31抽出壓縮空氣時， 活塞28藉彈簧36之附勢力向右方移動。此時，由於具有作 為卡合於缺口部33之卡合軸部之功能的轉子35亦一面於缺 口部33内上下移動，一面同樣地向右侧移動，同時設置有 輥35之轉子29順時鐘旋轉，故另一轉子34將管體27擠壓在 其與下側閥殼體26之按壓面32間，而關閉管體27之内部之 流體之流路。 進—步’當活塞28因彈簧36之附勢力往右側移動時， 轉子29亦隨之順時鐘旋轉，擠壓管體27之擠壓位置在保持 關關流體之流路之狀態下，往左側移動，此時，較擠壓位 置位於下流側之管體27之内部容積較最初流體關閉停止之 瞬間之擠壓位置位於下流之管體27的内部容積增加（第9圖 之狀態）。藉此，進行將下流之流體吸回之回吸動作。 此外’在本實施例中，僅閥從全開放狀態至全關閉狀 12 1334011 態之動作是藉由彈簀36之附勢力所進行（即，從未將管體 27擠壓在輥34與按壓面32間之狀態轉換成輥％移動至與按 壓面32相對之位置而將管體27擠壓在輥34與按壓面32間之 狀態），之後，藉將經由作動流體供給口 3〇導入之壓縮空氣 之力進行回吸動作（即，保持在將管體27按壓在輥34與按 壓面Μ間而關閉流路之狀態下，使輥34沿管體27及按麼面 3 2移動之動作）。 如上述’至少閥從全開放狀態轉換成全關閉狀態之動 作疋藉彈簧之附勢力所進行’藉此，當因某些問題，停止 作動流體之供給時，閥便自動切換成全關閉狀態，而可防 止藥液流出。 於第10圖顯示本發明之閥之第3實施例。 由於第10圖之上側閥殼體37之下側閥殼體38之構造與 前述第1實施例之上側閥殼體1及下側閥殼體2之構造相 同，故省略該等之說明。 參照標號”40”係指圓柱狀之活塞，活塞4〇之兩端部具 有安裝0形環47、48之溝，活塞40滑動自如地嵌插於上側閥 殼體37之紅室42。於從上側閥殼體37之開口部45露出之活 塞40之中央部下面設置有齒條49。 參照標號”41”係指略呈圓形且一部份形成凸狀之轉 子。於轉子41之上側略呈圓形部之外周圓筒面形成有可與 活塞40之齒條49卡合之齒輪5〇，且藉轉子41之旋轉以轉子 41之旋轉軸線為中心而公轉之輥51係旋轉自如地設置於轉 子41之下側的凸狀部。輥51具有隨轉子41之旋轉而將管體 13 1334011 39擠壓至下側閥殼體％之按壓面46之夾壓機構的作用。於 轉子41之中央兩側设置有軸部，該軸部藉上側閥殼體π之 轴承部與下側閥殼體38之軸承部支撑成可旋轉之狀態（圖 中未示）。 接著，說明由上述結構構成之本實施例之閥之動作。 第10圖顯示閥之開放狀態。此外，流體係在管體39之 内部由圖中左側向右側流動者。當將作動流體（諸如經壓 縮之空氣等）從外部經由設置於上側閥殼體37之作動流體 供給口 43供給至缸室6時，因該作紐體之壓力而使活塞40 4右側移動n由於在齒輪部5G與齒條49卡合之轉子 員時鐘旋轉故輥51將f體39擠壓在其與下側閥殼體 之按壓面46間’而關閉管體39内部之流體之流路。進一步， 田塞40往右侧移動時，轉子41亦隨之順時鐘旋轉，為報 51擠壓管體3讀難置純持使㈣之流關閉之狀態 4左側移動&時’較擠壓位置位於下流側之管體刊 之内部容積較最初流體關閉停止之瞬間之擠壓位置位於下 流之管體39㈣部容積増加。藉此，進行將下流之流體吸 回之回吸動作。 另方面田經由作動流體供給口 44將作動流體供給 缸至42時，絲4G便往左側移動，轉子財、隨之逆時鐘旋 轉，而使閥呈開放狀態（第1()圖之狀態）。 於第11圖顯示本發明之閥之第4實施例。 第圖中I照;^號”52”係指上側閱殼體，於上側 間殼體52之下部形成截面呈矩形之凹部56，於凹部56之上 14 1334011 側形成收納轉子55之長方形開口（圖中未示）及於與流體 之流動方向垂直之方向延伸且截面呈半圓形之軸承部58。 又，在上側閥殼體52之底面，於位於流動方向上之凹部允 之兩側設置分別於其中央與流體之流動方向平行地收納管 體且截面呈半圓形之溝部57。 由於下側閥殼體53之構造與前述第丨實施例之下側閥 殼體2之構造相同’故省略其說明。 參照標號”55”係指轉子，於轉子55之中央形成圓柱部 63，並於圓柱部63之兩端連續形成圓盤部以與軸部65。軸 部65藉上側閥殼體52之軸承部58與下側閥殼體兄之軸承部 61支撐成可旋轉之狀態，軸部65之一邊與後述之步進馬達 67之軸部68之前端結合。藉轉子55之旋轉而以轉子％之旋 轉轴線為中心公轉之輥66旋轉自如地支撐於圓盤部64之外 周部。輥66具有隨轉子55之旋轉而將管體54擠壓在下側閥 殼體53之按壓面62之夾壓機構的作用。 參照標號”67”係指步進馬達，步進馬達67之轴部⑽之 前知與轉子55之轴部65結合並固定於該轴部μ，轉子55可 配合步進馬達67之旋轉而旋轉。 由於本實施例之閥之動作與前述第丨實施例相同，故省 略詳細說明，由於以步進馬達67控制轉子55之旋轉，故可 輕易調整回吸動作之速度與回吸量。 於第12圖顯示本發明之閥之第5實施例。 在第12圖中，參照標號，，69”係指上側閥殼體，上側閥 殼體69於其内部具有缸室73及與該缸室乃連通之一對作動 15 1334011 流體供給口 74、75。於上侧閥殼體69之下部中央形成有與 缸室73連通且截面呈長方形之開口部76，在上侧閥殼體69 之底面’於位於轴線方向上之開口部76之兩側中央分別設 置與缸室73之軸線方向平行延伸且截面呈半圓形之溝部 77。 參照標號”70”係指下側閥殼體，下側閥殼體70略呈倒T 字形。於下侧閥殼體7〇上側之兩侧部分別設置有與上側閥 殼體69之溝部77相對應且截面呈半圓形之溝部78，溝部78 將内部形成流體之流路且由彈性體製成之管體71夾持固定 於其與上側閥殼體69之溝部77間。於下側閥70之上面設置 有階梯，而以其上段部作為按壓面79。 參照標號”72”係指圓柱狀之活塞，活塞72之兩端部具 有安裝0形環80、81之溝，活塞72可滑動自如地嵌插於上側 閥殼體69之缸室73。於活塞72之中央部設置在與缸室73之 軸方向垂直之方向上從上侧閥殼體69之開口部76突出之凸 部82。與管體71垂直相交之輥83以可旋轉之狀態設置於凸 部82之前端。 由上述結構構成之本實施例之閥之動作說明如下。 第12圖顯示閥之開放狀態。此外，流體係在管體乃之 内部由圖中左側向右側流動者。當將作動流體（諸如經壓 縮之空氣等）從外部經由設置於上側閥殼體69之作動流體 供給口 75供給至缸室73時，因該作動流體之壓力而使活塞 72往左側移動。此時，凸部82之前端之輥83往左侧移動而 將管體71按壓在其與按壓面79間，而關閉管體71内部之流 16 1334011 體之流路（第13圖之狀態）。 進一步，當活塞72往左側移動時，為輥33擠壓管體3 之擠壓位置在保持使流體之流路關閉之狀態下，往左側移 動，此時，較擠壓位置位於下流側之管體71之内部容積較 最初流體關閉停止之瞬間之擠壓位置位於下流之管體71的 内部容積增加（第14圖之狀態）。藉此，進行將下流之流體 吸回之回吸動作。 另一方面，當經由作動流體供給口 74將作動流體供給 缸室73時，活塞72便往右側移動，輥83亦隨之移動至不擠 壓管體71之位置，而使閥呈開放狀態（第12圖之狀態）。 以上，就參考圖式所示之實施形態說明了本發明，惟， 此實施形態皆是作為說明本發明者，並非用以限定本發明 之實施範圍者。因此，本發明之範圍為申請專利範圍所限 定者，只要不超出申請專利範圍，皆可修正及變更本發明 之實施形態。 t圖式簡單說明3 第1圖係顯示本發明閥之第1實施例之開放狀態的縱截 面圖。 第2圖係從下方觀看第1圖之閥之上側閥殼體的立體 圖。 第3圖係第1圖之閥之下側閥殼體的立體圖。 第4圖係第1圖之閥之活塞的立體圖。 第5圖係第1圖之閥之轉子的立體圖。 第6圖係顯示第1圖之閥之關閉狀態的縱截面圖。 17 1334011 第7圖係顯示第1圖之閥進行回吸動作之狀態的縱截面 圖。 第8圖係顯示本發明閥之第2實施例之縱截面圖。 第9圖係顯示第8圖之閥進行回吸動作之狀態的縱截面 圖。 第10圖係顯示本發明閥之第3實施例之開放狀態的縱 截面圖。 第11圖係顯示本發明閥之第4實施例之分解立體圖。 第12圖係顯示本發明閥之第5實施例之開放狀態的縱 截面圖。 第13圖係顯示第12圖之閥之關閉狀態的縱截圖。 第14圖係顯示第12圖之閥進行回吸動作之狀態的縱截 面圖。 【主要元件符號說明】 1...上側閥殼體 11...軸承部 2...下側閥殼體 12...溝部 3...管體 13…溝部 4...活塞 14...按壓面 5...轉子 15...凸部 6...缸室 16...袖承部 7...作動流體供給口 17...0形環 8...作動流體供給口 18...0形環 9...凹部 19...缺口部 10...開口部 20…圓柱部 18 1334011 21...圓盤部 47...0形環 22...軸部 48...0形環 23…輥 49…齒條 24."輥 50...齒輪部 25...上側閥殼體 51".輥 26...下側閥殼體 52…上侧閥殼體 27...管體 53...下侧閥殼體 28...活塞 55…轉子 29...轉子 56…凹部 31...作動流體供給口 57…溝部 32...按壓面 58...軸承部 33...缺口部 61...軸承部 34...棍 62...按壓面 35...1¾ 63...圓柱部 36...彈簧 64...圓盤部 37...上侧閥殼體 65...軸部 38...下側閥殼體 66…報 39...管體 67...步進馬達 40...活塞 68...轴部 41...轉子 69...上側閥殼體 42...缸室 70...下側閥殼體 43...作動流體供給口 71...管體 44...作動流體供給 72...活塞 46...按壓面 73…缸室 19 1334011 74...作動流體供給口 79 75...作動流體供給口 82 76...開口部 83 77…溝部 78…溝部 ..按壓面 ..凸部 •.報 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Claims (1)

1334011 第93139195號專利申請案申請專利範圍替換& 201〇^8^Γ

十、申請專利範圍： 1· 一種閥，係具有閥本體及穿過該閥本體内而延伸且由彈 性體製成之管體，而用以關閉停止前述管體内之流體之 流動者，其特徵在於：該閥更具有隔著前述管體而相對 配置之夾壓機構’前述夾壓機構係構造成藉使前述失壓 機構接近，以擠壓前述管體，而關閉前述管體内之流路 後’藉使至少一前述夾壓機構沿前述管體移動，以在保 持關閉前述流路之狀態下’使以前述夾壓機構擠壓前述 管體之擠壓位置移動。 2·如申請專利範圍第1項之閥，其中前述夾壓機構係由可移 動之輕及設置於前述閥本體之按壓面所構成，前述管體 之一部份沿前述按壓面配置，前述輥可移動至與前述按 壓面相對之位置，擠壓前述管體，而與前述按壓面平行 移動。 3. 如申請專利範園第2項之閥’其中前述輥為一旋轉體所支 標’該旋轉體係可相對於前述閥本體，環繞旋轉轴線旋 轉者’前述按壓面為設置於前述閥本體而以前述旋轉轴 線為中心延伸之圓孤狀表面。 4. 如申請專利範圍第3項之閥，其中前述閥本體内設有收容 活塞之缸室’藉以作動流體於前述缸室之軸線:向驅: 前述活塞，可使前述旋轉體與前述活塞連動而環繞前述 旋轉軸旋轉。 5·如申請專利範圍第4項之閥，其中前述缸室内設有彈簧， 該彈簧賦與前述活塞勢能而使其朝向前述缸室之軸^方 21 1334011 向一端。 6. 如申請專利範圍第5項之閥，其中前述活塞藉前述彈簧而 位於中間位置，在前述中間位置上，由與前述活塞連動 之前述旋轉體所支撐之前述輥將前述管體擠壓在其與前 述按壓面間，而關閉前述管體内之流路，且當開放前述 管體内之流路時，及一面將前述管體擠壓在前述輥與前 述按壓面間，一面使前述輥沿前述管體之流路軸線移動 時，利用作動流體之壓力，使前述活塞從閥全關閉位置 及前述中間位置開始移動。 7. 如申請專利範圍第4項之閥，其中前述旋轉體更具有隔著 其旋轉軸線而位於前述輥之反向側，且與旋轉軸線平行 延伸之卡合軸部，於前述活塞形成有於與該活塞之移動 方向垂直之方向延伸之缺口部，前述卡合軸部可與前述 缺口部卡合，而使前述卡合軸部隨著前述活塞之移動環 繞前述旋轉體之旋轉軸線旋轉，藉此，可使前述旋轉體 環繞前述旋轉軸線旋轉。 8. 如申請專利範圍第4項之閥，其中前述旋轉體具有圓筒 面，於前述活塞側面形成有齒條，並於前述旋轉體之圓 筒面形成可與該齒條卡合之齒輪，而使前述旋轉體可隨 前述活塞之移動環繞旋轉軸線旋轉。 9. 如申請專利範圍第3項之閥，其中前述旋轉體為電動馬達 所驅動。 10. 如申請專利範圍第9項之閥，其中前述電動馬達為步進 馬達。 22 1334011 11. 如申請專利範圍第1項之閥，其中於前述閥本體内形成 有與前述管體平行延伸之缸室，前述夾壓機構係由輥及 設置於前述閥本體之按壓面所構成，該輥係設置於從收 容於前述缸室内之活塞開始與該活塞之移動軸線垂直地 延伸之凸部前端。 12. 如申請專利範圍第11項之閥，其中前述按壓面具有階梯 狀表面。 23